KR20070042250A - 칼라필터기판 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 블랙매트릭스 및 칼라필터의 전면연마를 통해 한 화소영역 내부의 칼라필터 단차와 각 화소영역 간의 칼라필터 및 블랙매트릭스의 두께 불균일을 최소화하는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 기판 상에 화소영역을 구분하도록 형성된 블랙매트릭스와 상기 화소영역에 형성된 칼라필터들을 포함하며, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들의 전면연마로 인해 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 표면은 평탄하고 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께는 유사한 것을 특징으로 하는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
블랙매트릭스, 칼라필터, 연마, 평탄화, 잉크젯

Description

칼라필터기판 및 이의 제조방법{COLOR FILTER SUBSTRATE AND FABRICATING METHOD THEREOF}
도1은 본 발명의 실시예에 따른 칼라필터기판을 나타낸 평면도이다.
도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ'선에 따른 단면도이다.
도3a 내지 도3f는 본 발명의 실시예에 따른 칼라필터기판의 제조방법을 나타낸 단면도이다.
도4는 전면연마 전 블랙매트릭스와 적색, 녹색, 청색칼라필터의 두께를 순차적으로 측정한 도면이다.
도5는 전면연마 후 블랙매트릭스와 적색, 녹색, 청색칼라필터의 두께를 순차적으로 측정한 도면이다.
도6은 전면연마 후 적색, 녹색, 청색칼라필터의 두께를 비순차적으로 측정한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
10 : 칼라필터기판 20 : 기판
30 : 블랙매트릭스 40 : 칼라필터
50 : 오버코트 60 : 공통전극
70 : 컬럼스페이서 100 : 연마기
110 : 유입부 120 : 연마부
본 발명은 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 특히 블랙매트릭스 및 칼라필터의 전면연마를 통해 한 화소영역 내부의 칼라필터 단차와 각 화소영역 간의 칼라필터 및 블랙매트릭스의 두께 불균일을 최소화하는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
현재 평판디스플레이 중에서 가장 널리 사용되고 있는 디스플레이는 전계를 이용한 액정의 광투과율 조절을 통해 화상을 표시함으로써 저소비전력, 대면적화, 고해상도를 구현하는 액정표시장치이다. 이러한 액정표시장치는 일반적으로 액정을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막트랜지스터기판 및 칼라필터기판을 구비한다.
박막트랜지스터기판에는 서로 교차되게 형성된 게이트선 및 데이타선, 그들의 교차부에 형성된 박막트랜지스터, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극이 기판 상에 형성된다.
칼라필터기판에는 빛샘 방지를 위한 블랙매트릭스, 칼라구현을 위한 칼라필 터, 칼라필터를 보호하기 위한 오버코트(Overcoat), 화소전극과 전계를 이루는 공통전극이 또 다른 기판 상에 형성된다. 여기서, 칼라필터는 일반적으로 특정 색안료가 함유된 포토레지스트를 도포 및 노광, 현상한 후 포스트베이크(Post Bake)를 수행하여 특정 색의 칼라필터를 형성한 후, 그 공정을 반복하여 각기 다른 색의 칼라필터를 순차적으로 형성하는 안료분산법을 통해 형성된다.
그러나, 안료분산법은 적색, 녹색, 청색 각각의 포토레지스트에 대해 도포, 노광, 현상, 포스트베이크를 진행해야 하기 때문에 그 제조공정이 복잡하다. 또한, 각각의 포토레지스트를 스핀코팅법으로 도포한 후 현상공정에서 대부분을 제거해내는 방법이므로 재료의 손실이 크기 때문에 칼라필터기판의 제조단가가 상승하게 된다.
이를 해결하기 위해 유기물질을 이용하여 두께가 상대적으로 두꺼운 블랙매트릭스를 형성하고, 그 블랙매트릭스의 사이에 안료와 용매를 포함하는 칼라잉크액을 노즐을 통해 분사하여 프린트한 후, 용매를 제거함으로써 칼라필터를 기판에 형성하는 방법인 잉크젯프린트법에 대해 많은 연구가 진행중이다. 이와 같은 잉크젯프린트법은 안료분산법에 비하여 재료의 사용량이 적어 칼라필터기판의 제조단가를 낮출 수 있으며 제조공정 또한 단순화시킬 수 있다.
그러나, 잉크젯프린트법을 통해 형성된 칼라필터는 가운데 부분의 두께가 두껍고 가장자리의 두께가 얇은 돔(Dome)형상을 가지게 된다. 이는 칼라잉크액에 포함된 용매의 휘발성이 칼라필터의 가운데 부분에서는 작고 가장자리에서는 크기 때문에 발생한다. 그 결과, 잉크젯프린트법으로 형성된 칼라필터에서는 한 화소영역 내부의 칼라필터의 단차가 발생하게 된다. 이러한 한 화소영역 내부의 칼라필터의 단차는 투과광의 굴절뿐만 아니라 액정 배열 시 불규칙성을 유발할 수 있다. 또한, 잉크젯프린트법에 사용되는 잉크젯 헤드의 노즐 간 토출되는 액적 체적의 차이와 프린팅 감가속도에 의해 발생되는 액적 체적 차이에 의해 각 화소영역 간의 칼라필터의 두께 불균일이 발생될 수 있다. 그리고, 잉크젯프린트법을 통해 형성된 칼라필터는 그 표면의 거칠기로 인해 색품질이 저하되는 경우가 많다. 또한, 잉크젯프린트 시 열을 나누어서 프린트하기 때문에 각각의 열의 경계에서 용매의 휘발속도 차이에 따른 얼룩이 발생하게 된다. 그리고, 칼라필터와 블랙매트릭스의 큰 두께 차이로 인해 오버코트를 두껍게 형성해야 한다.
이를 막기 위해, 종래에는 블랙매트릭스 및 칼라잉크액 특성을 조절하는 방법, 칼라잉크액을 토출시키는 헤드의 구동조건(예를 들어, 칼라잉크액의 액적 속도와 체적, 화소영역 내 탄착시키는 액적수와 간격)을 조절하는 방법, 잉크젯 헤드의 노즐 간 토출편차를 프린트 전에 조사하여 각 노즐별로 구동파형을 독립적으로 제어하는 방법을 적용하고 있다.
그러나, 블랙매트릭스 및 칼라잉크액 특성을 조절하는 방법은 칼라필터를 완전히 평탄화시키지 못하는 문제점이 있다. 그리고, 칼라잉크액을 토출시키는 헤드의 구동조건을 조절하는 방법도 칼라필터의 형상 자체를 완전히 평탄화하기 어려우며 블랙매트릭스의 표면과 칼라잉크액의 특성의 재현성이 나오지 않을 경우 헤드의 최적구동조건이 매번 바뀔 가능성이 있다. 또한, 잉크젯 헤드의 노즐 간 토출편차를 프린트 전에 조사하여 각 노즐별로 구동파형을 독립적으로 제어하는 방법도 기 판 내 프린트되는 열마다 재현성이 일정하지 않고 동일 노즐에서 토출되는 체적도 일정하지 않다라는 한계가 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 블랙매트릭스 및 칼라필터의 전면연마를 통해 한 화소영역 내부의 칼라필터 단차와 각 화소영역 간의 칼라필터 및 블랙매트릭스의 두께 불균일을 최소화하는 칼라필터기판 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 상에 화소영역을 구분하도록 형성된 블랙매트릭스와 상기 화소영역에 형성된 칼라필터들을 포함하며, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들의 전면연마로 인해 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 표면은 평탄하고 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께는 유사한 것을 특징으로 하는 칼라필터기판을 제공한다.
상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께간의 차이는 0.2㎛ 이내인 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께는 1.2㎛ 이상인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 덮도록 형성된 오버코트와, 상기 오버코트 상에 형성된 공통전극을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 상에 화소영역을 구분하는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와, 상기 화소영역에 칼라필터들을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 표면이 평탄하고 및 두께가 균일하도록 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법을 제공한다.
상기 블랙매트릭스를 형성하는 단계는 상기 블랙매트릭스를 원하는 두께보다 두껍게 형성하는 단계인 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계는 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께간의 차이가 0.2㎛ 이내가 되도록 하는 단계인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계는 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께가 1.2㎛ 이상이 되도록 하는 단계인 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 칼라필터기판을 나타낸 평면도이고, 도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ'선에 따른 단면도이다.
도1 및 도2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 칼라필터기판(10)은 기판 (20) 상에 매트릭스 형태로 형성되어 화소영역을 정의하는 블랙매트릭스(30), 블랙매트릭스(30)에 의해 정의된 각 화소영역에 형성된 칼라필터(40), 블랙매트릭스(30) 및 칼라필터(40)를 덮도록 형성된 오버코트(50), 오버코트(50) 상에 형성된 공통전극(60), 칼라필터기판(10)이 박막트랜지스터기판과 소정 간격, 즉 셀갭(Cell Gap)을 유지하도록 하기 위한 컬럼스페이서(70)를 포함하고 있다.
블랙매트릭스(30)는 칼라필터(40)가 형성될 화소영역을 구분하도록 기판(20) 상에 매트릭스 형태로 형성됨과 아울러 박막트랜지스터기판의 게이트선 및 데이타선, 박막트랜지스터와 중첩되도록 형성된다. 이러한 블랙매트릭스(30)는 원하지 않는 액정 배열로 인해 생긴 투과광을 차단하여 액정표시장치의 콘트라스트를 향상시키고 박막트랜지스터로의 직접적인 광조사를 차단하여 박막트랜지스터의 광누설전류를 막는다. 이를 위해, 블랙매트릭스(30)는 불투명한 유기물질 등으로 형성된다. 여기서, 블랙매트릭스(30)는 그 표면이 전면연마를 통해 평탄한 구조를 가진다. 이 때, 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 1㎛ ~ 2.5㎛인 것이 바람직하다. 보다 바람직한 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 1.2㎛ ~ 1.7㎛이다.
칼라필터(40)는 색을 구현하기 위해 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)를 포함하고 있다. 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)는 각각 자신이 포함하고 있는 적색, 녹색, 청색안료를 통해 특정 파장의 광을 흡수 또는 투과시킴으로써 적색, 녹색, 청색을 띄게 된다. 이 때, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)를 각각 투과한 적색, 녹색, 청색광의 가법혼색을 통해 다양한 색상이 구현된다. 이러한 칼라필터(40)의 색의 배치는 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)가 일렬로 배치된 스트라 이프 형태를 가진다. 여기서, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B) 각각은 그 표면이 전면연마를 통해 평탄한 구조를 가진다. 이 때, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 1㎛ ~ 2.5㎛인 것이 바람직하다. 보다 바람직한 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 1.2㎛ ~ 1.7㎛이다. 그리고, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 각각 동일하다. 또는, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 간의 차이는 0.2㎛ 이내일 수 있다. 또한, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 및 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 전면연마 조건 및 각각의 재료의 경도에 따라 동일하거나 다를 수 있다. 이 때에도, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 및 블랙매트릭스(30)의 두께(A) 간의 차이는 0.2㎛ 이내인 것이 바람직하다.
오버코트(50)는 칼라필터(40)를 보호하며 공통전극(60)의 양호한 스텝 커버리지(Step Coverage)를 위해 형성된다.
공통전극(60)은 화소전극의 화소전압에 대응하여 액정에 공통전압을 인가한다. 이를 위해, 공통전극(60)은 투명하면서도 도전성을 가지는 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 물질로 형성된다. 공통전극(60)은 쉐브론(Chevron) 형태의 슬릿(65)을 포함하고 있다. 공통전극(60)의 쉐브론 형태의 슬릿(65)은 화소전극에 형성된 쉐브론 형태의 또 다른 슬릿을 사이에 두고 형성된다. 이러한 공통전극(60)의 슬릿(65)과 화소전극의 또 다른 슬릿으로 인해 액정은 일정 방향으로 기울어지며 이로써 광시야각이 확보된다.
컬럼스페이서(70)는 블랙매트릭스(30)와 중첩되어 형성되며 셀갭을 유지시킨 다. 이러한 컬럼스페이서(70)는 칼라필터기판(10)에 형성되지 않고 박막트랜지스터기판에 형성될 수 있다.
한편, 칼라필터기판(10)은 도3a 내지 도3f와 같은 제조공정을 통해 형성된다.
도3a를 참조하면, 기판(20) 상에 불투명한 유기물질과 같은 블랙층을 두껍게 도포한 후에 사진공정을 통해 블랙매트릭스(30)를 두껍게 형성한다.
구체적으로, 감광성을 가지는 블랙층을 스핀코팅법 등을 통해 기판(20) 상에 두껍게 도포한 후 사진공정을 통해 블랙매트릭스(30)를 두껍게 형성한다. 여기서, 블랙매트릭스(30)의 두께(A')는 도3d에 도시된 블랙매트릭스(30)의 두께(A)와 동일하거나 크다.
도3b를 참조하면, 블랙매트릭스(30)를 형성한 후에 잉크젯프린트법을 사용하여 칼라필터(40)를 형성한다.
구체적으로, 적색안료와 용매를 포함하는 적색칼라잉크액을 노즐을 통해 기판(20) 상에 분사하여 프린트한 후 용매를 제거하여 적색칼라필터(R)를 형성한다. 이어, 녹색안료와 용매를 포함하는 녹색칼라잉크액을 노즐을 통해 기판(20) 상에 분사하여 프린트한 후 용매를 제거하여 녹색칼라필터(G)를 형성한다. 다음으로, 청색안료와 용매를 포함하는 청색칼라잉크액을 노즐을 통해 기판(20) 상에 분사하여 프린트한 후 용매를 제거하여 청색칼라필터(B)를 형성한다. 이 때, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B) 각각의 가장자리의 두께(X', Y', Z')는 도3d에 도시된 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B) 각각의 두께(X, Y, Z)와 동일하거나 크다. 또한, 적 색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B) 각각은 가운데 부분의 두께(X", Y", Z")가 두껍고 가장자리의 두께(X', Y', Z')가 얇은 돔형상을 가진다. 또한, 도4에 도시된 바와 같이, 한 화소영역 내의 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B) 각각의 가운데 부분의 두께(X", Y", Z")와 가장자리의 두께(X', Y', Z')는 블랙매트릭스(30)의 두께(A')와 함께 반복적으로 형성된다. 그리고, 도6에 도시된 바와 같이, 각 화소영역 간에도 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께 편차가 발생한다. 이를 막기 위해, 도3c에 도시된 바와 같이, 블랙매트릭스(30)와 칼라필터(40)를 연마기(100)를 사용하여 전면연마한다.
도3c를 참조하면, 잉크젯프린트법을 사용하여 칼라필터(40)를 형성한 후에 연마기(100)를 사용하여 블랙매트릭스(30)와 칼라필터(40)의 전면연마공정을 실시한다.
연마기(100)는 전면연마공정 시 발생되는 파티클을 제거하기 위해 용매를 연마부(120)에 공급함과 아울러 연마부(120)의 중앙과 연결되어 연마부(120)를 회전시키는 유입부(110)와, 블랙매트릭스(30)와 칼라필터(40)를 전면연마하는 연마부(120)를 포함하고 있다.
유입부(110)로는 용매공급기로부터의 용매가 수 ㎪(예를 들어, 3㎪)의 압력으로 공급된다. 이 용매는 연마부(120)의 관통홀을 통해 기판 상에 분사된다. 여기서, 용매는 초순수일 수 있으며 유기용매일 수 있다. 유기용매의 경우에는 블랙매트릭스(30) 및 칼라필터(40)에 대한 용해도가 낮은 것이 바람직하다. 연마부(120)는 유입부(110)와 연결되어 있으며 유입부(110)의 회전(예를 들어, 30rpm으로 회 전)에 의해 회전하여 블랙매트릭스(30) 및 칼라필터(40)를 연마한다.
도3d를 참조하면, 전면연마공정 후에는 표면이 평탄하고 두께가 균일한 블랙매트릭스(30)와 칼라필터(40)가 형성된다.
구체적으로, 전면연마공정 후 형성된 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 1㎛ ~ 2.5㎛인 것이 바람직하다. 보다 바람직한 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 1.2㎛ ~ 1.7㎛이다. 또한, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 1㎛ ~ 2.5㎛인 것이 바람직하다. 보다 바람직한 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 1.2㎛ ~ 1.7㎛이다. 이 때, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 각각 동일하다. 또는, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 간의 차이는 0.2㎛ 이내일 수 있다. 또한, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 및 블랙매트릭스(30)의 두께(A)는 전면연마 조건 및 각각의 재료의 경도에 따라 동일하거나 다를 수 있다. 이 때에도, 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z) 및 블랙매트릭스(30)의 두께(A) 간의 차이는 0.2㎛ 이내인 것이 바람직하다. 즉, 도5에 도시된 바와 같이, 전면연마공정 후 한 화소영역 내의 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 가운데 부분과 가장자리 부분이 많은 차이를 보이지 않고 거의 균일해진다. 이러한, 한 화소영역 내의 적색, 녹색, 청색칼라필터(R, G, B)의 두께(X, Y, Z)는 블랙매트릭스(30)의 두께(A)와 함께 반복적인 패턴으로 형성된다. 또한, 도6에 도시된 바와 같이, 각 화소영역 간에도 적색, 녹색, 청색칼라필터(X, Y, Z)의 두께 편차가 발생하지 않게 된다.
도3e를 참조하면, 전면연마공정 후에 자외선 애싱(UV Ashing)을 한 후에 유기물질을 전면에 도포하여 오버코트(50)를 형성한다.
구체적으로, 블랙매트릭스(30)의 상부 및 칼라필터(40)의 상부에 남아있는 파티클 및 전면연마공정을 통해 제거되지 않은 일부의 작은 돌기들을 자외선 애싱을 통해 제거한다. 이후, 투명한 유기물질을 전면에 도포하여 오버코트(50)를 형성한다.
도3f를 참조하면, 오버코트(50) 상에 ITO나 IZO 같은 투명도전층을 증착한 후에 사진식각공정을 통해 슬릿(65)을 포함하는 공통전극(60)을 형성한다.
구체적으로, PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등의 방법을 이용한 스퍼터링(Sputtering) 방식 등으로 ITO나 IZO 같은 투명도전층을 증착한다. 이어, 증착된 투명도전층을 패터닝하여 공통전극(60) 및 슬릿(65)을 형성한다.
한편, 상술한 전면연마공정은 잉크젯프린트법을 이용한 다른 공정(예를 들어, 잉크젯프린트법을 이용한 박막트랜지스터기판의 게이트선 및 데이타선의 형성) 에도 적용될 수 있다.
본 발명에 따른 칼라필터기판 및 이의 제조방법은 전면연마공정을 통해 형성된 블랙매트릭스 및 칼라필터를 포함하고 있다. 이러한 전면연마공정을 통해 균일한 두께를 가지는 블랙매트릭스 및 칼라필터를 형성할 수 있다. 다시말하면, 칼라필터의 두께와 블랙매트릭스의 두께 차이의 최소화 및 한 화소영역 내의 칼라필터 의 균일한 두께, 각 화소영역 간의 칼라필터의 균일한 두께를 확보할 수 있다. 이 때문에, 광의 굴절이 생기지 않을 뿐더러 규칙적인 액정 배열을 얻을 수 있다. 또한, 전면연마공정을 통해 칼라필터의 표면을 연마함으로써 그 표면의 거칠기를 감소시켜 색품질을 향상시킬 수 있다. 그리고, 프린트 시 각각의 열의 경계에서 용매의 휘발속도 차이에 의해 발생된 얼룩을 제거할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 기판 상에 화소영역을 구분하도록 형성된 블랙매트릭스와;
    상기 화소영역에 형성된 칼라필터들을 포함하며,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들의 전면연마로 인해 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 표면은 평탄하고 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께는 유사한 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께간의 차이는 0.2㎛ 이내인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께는 1.2㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 덮도록 형성된 오버코트와;
    상기 오버코트 상에 형성된 공통전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  5. 기판 상에 화소영역을 구분하는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;
    상기 화소영역에 칼라필터들을 형성하는 단계와;
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 표면이 평탄하고 및 두께가 균일하도록 상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스를 형성하는 단계는
    상기 블랙매트릭스를 원하는 두께보다 두껍게 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계는
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께간의 차이가 0.2㎛ 이내가 되도록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들을 연마하는 단계는
    상기 블랙매트릭스 및 상기 칼라필터들 각각의 두께가 1.2㎛ 이상이 되도록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
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