KR20070038342A - 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20070038342A
KR20070038342A KR1020050093560A KR20050093560A KR20070038342A KR 20070038342 A KR20070038342 A KR 20070038342A KR 1020050093560 A KR1020050093560 A KR 1020050093560A KR 20050093560 A KR20050093560 A KR 20050093560A KR 20070038342 A KR20070038342 A KR 20070038342A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
alignment
droplet
discharge head
alignment film
flat panel
Prior art date
Application number
KR1020050093560A
Other languages
English (en)
Inventor
정진수
윤용국
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020050093560A priority Critical patent/KR20070038342A/ko
Publication of KR20070038342A publication Critical patent/KR20070038342A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04581Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on piezoelectric elements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • H05K3/125Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing by ink-jet printing
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/60Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
    • H10K71/611Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes using printing deposition, e.g. ink jet printing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 배향막 형성 방법과 이를 포함하는 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 배향막 형성 방법은 잉크젯 인쇄 방식을 채용한다. 이 방법은 평판 표시 장치용 기판에 배향액의 액체방울을 토출하여 배향막을 형성하는 방법으로, 복수의 노즐을 갖는 토출헤드를 복수회 주사하면서 상기 배향액의 액체방울을 토출하되, 상기 복수회의 주사가 반복됨에 따라 액체방울의 토출량이 변경된다. 본 발명에 의하면, 주사가 반복될 때 배향액의 토출량을 적절하게 변경시킴으로써 기판 상에 배향막이 균일하게 형성될 수 있다.
잉크젯 인쇄 방식, 배향막, 토출헤드

Description

배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법{METHOD FOR FORMING ALIGNMENT LAYER AND METHOD FOR FABRICATING FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 플렉소그래피 방식의 인쇄 장치를 개략적으로 보여주는 도면,
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 배향막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도,
도 3a 및 도 3b는 주사회수에 따른 토출헤드의 이동경로를 설명하기 위한 도면이다.
♧ 도면의 주요부분에 대한 참조부호의 설명 ♧
100 : 기판 110 : 노즐
PI1 : 제1 액체방울 PI2 : 제2 액체방울
PL1 : 제1 배향막 PL2 : 제2 배향막
G : 기판 d : 노즐사이의 거리
n : 주사회수
본 발명은 평판 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 건조 장치 및 이 를 이용한 평판 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 장치(FPD:flat panel display)란 두께가 얇고 평평한 화면을 제공하는 표시 장치로, 대표적으로 노트북 컴퓨터 모니터로 널리 쓰이는 액정 표시 장치(LCD:liquid crystal display device), 대형 디지털 텔레비전으로 사용되는 플라즈마 디스플레이(PDP:plasma display panel), 또는 휴대전화에 사용되는 유기 전계발광 디스플레이(OELD:organic electroluminescent display) 등이 있다.
이러한 평판 표시 장치를 제조할 때 기판에 배향막을 형성하는 공정이 포함된다. 예를 들어, 액정 표시 장치의 기판에는 액정 분자들의 배열 상태를 균일하게 하기 위한 배향막이 형성된다. 이 배향막의 형성 공정에는 용제로 희석된 배향막을 기판의 한 쪽면에 인쇄하는 인쇄(printing) 공정과 인쇄된 배향막을 가열 경화시키는 가열 공정이 포함된다. 인쇄 공정에서는 스핀 코팅(spin coating) 방식이 이용되기도 하는데, 이 방식은 패턴을 형성한 후에 일정부분을 식각해야 하는 번거로움이 있다. 따라서, 별도의 식각 공정 없이 원하는 패턴으로 직접 인쇄하는 플렉소그래피(flexography) 방식이 주로 채용된다.
도 1은 플렉소그래피 방식의 인쇄 장치(10)를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 애니록스 롤(anilox roll,14) 상에 위치하는 디스펜서(dispenser,18)로부터 배향액인 폴리이미드(PI:polyimide) 용액이 떨어진다. 닥터 롤(doctor roll,16)은 애니록스 롤(14)과 함께 회전하며 애니록스 롤(14) 표면에 폴리이미드 용액이 균일하게 유지될 수 있도록 한다. 또한, 닥터 롤(16)의 표면 상에 장착된 닥터 블레이드(doctor blade,미도시)는 APR(Asahi kasei Photosensitive Resin) 플레이트(12)에 전사되는 PI용액의 양을 제어한다. 한편, APR 플레이트(12)는 기판(G)과 직접적으로 접촉하여 PI용액을 전사시킨다. 이러한 플렉소그래피 방식의 인쇄 장치는 배향막을 균일하게 형성할 수는 있지만, 최근에 대형화되고 있는 기판에 충분히 대응하지 못하는 문제점이 있다.
본 발명은 이상에서 언급한 상황을 고려하여 제안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 잉크젯 인쇄 방식에 의한 배향막 형성 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 잉크젯 인쇄 방식에 의해 배향막을 형성하는 것을 포함하는 평판 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 배향막 형성 방법은 잉크젯 인쇄 방식을 채용한다. 이 방법은 평판 표시 장치용 기판에 배향액의 액체방울을 토출하여 배향막을 형성하는 방법으로, 복수의 노즐을 갖는 토출헤드를 복수회 주사하면서 상기 배향액의 액체방울을 토출하되, 상기 복수회의 주사가 반복됨에 따라 액체방울의 토출량이 변경된다.
상기 방법의 일 실시예에서 상기 복수회의 주사가 반복됨에 따라 상기 액체방울의 토출량이 감소할 수 있다.
상기 액체방울의 토출량은 상기 토출헤드의 압전소자에 인가되는 전압에 의해 조절될 수 있으며, 이때 상기 복수회의 주사가 반복하여 진행됨에 따라 상기 전압이 감소함으로써 상기 액체방울의 토출량이 감소할 수 있다.
또한, 상기 노즐 사이의 간격과 주사회수를 고려하여 상기 토출헤드의 이동거리가 계산될 수 있다.
본 발명에 의하면, 주사가 반복될 때 배향액의 토출량을 적절하게 변경시킴으로써 기판 상에 배향막이 균일하게 형성될 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 평판 표시 장치의 제조 방법은 상기한 잉크젯 인쇄 방식에 의해 배향막을 형성하는 것을 포함한다.
본 발명에 의하면, 평판 표시 장치용 기판이 대형화되더라도 배향막을 균일하게 형성할 수 있다. 설비면에서도 잉크젯 방식의 인쇄기가 플렉소그래피 방식의 인쇄기보다 유리하다.
이하에서는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예 는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.
본 명세서의 실시예에서 제1, 제2 등의 용어가 배향액의 액체방울 및 배향막들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 본 발명이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이러한 용어들은 단지 어느 소정의 액체방울 및 배향막을 다른 액체방울 및 배향막과 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다.
도면들에 있어서, 구성요소들의 크기 등은 명확성을 기하기 위하여 과장되게 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조부호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 배향막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도로서 주사가 2회 실시되는 경우이다.
도 2a를 참조하면, 1회 주사(scan)시 토출헤드(미도시)로부터 배향액의 제1 액체방울(PI1)이 기판(G)으로 떨어진다. 제1 액체방울(PI1) 사이의 간격은 배향액을 토출시키는 토출헤드의 노즐(미도시) 사이의 간격과 같다. 일반적으로 노즐사이의 간격은 750㎛이므로, 제1 액체방울(P1) 사이의 간격도 750㎛가 된다. 제1 액체방울(PI1)의 크기는 40~50㎛정도가 된다.
도 2b를 참조하면, 기판(G)에 떨어진 제1 액체방울은 제1 배향막(PL1)으로 인쇄된다. 종래의 플렉소그래피 방식의 인쇄 장치에서는 APR 플레이트와 롤에 의해 배향막이 기판 상에서 눌러지나, 잉크젯 방식의 인쇄기는 배향액을 기판 상에서 눌러주는 수단을 구비하고 있지 않다. 따라서, 기판(G)에 떨어진 제1 액체방울은 스스로 퍼져야 한다. 이렇게 잉크젯 인쇄 방식에서는 액체방울이 스스로 퍼져야 하기 때문에 점도가 낮은 배향액이 사용된다. 플렉소그래피 인쇄 방식에서 사용되는 배향액의 점도가 23cP임에 비해 잉크젯 인쇄 방식에서 사용되는 배향액의 점도는 6~8cP로 매우 낮다.
다시 도 2b를 참조하면, 노즐사이의 간격은 750㎛이지만, 제1 액체방울의 크기는 40~50㎛이므로 제1 액체방울에 의해 형성되는 제1 배향막(PL1)으로는 기판을 완전히 덮을 수 없다. 노즐 사이의 간격을 줄이면 노즐의 개수 또한 증가하기 때문에 노즐 사이의 간격을 줄이는 것이 설비면에서 바람직하지 않을 수 있다. 예를 들어, 각 노즐에서의 토출압력이 균일하게 형성되지 않아 노즐마다 배향액의 토출량이 달라질 수 있다. 또한 너무 많은 양의 배향액이 토출되어 배향막이 균일하게 형성되지 않을 수 있다. 따라서, 주어진 장치로 배향막을 형성하기 위해서는 배향액이 다시 주사되어야 한다.
도 2c를 참조하면, 제1 배향막(PL1) 사이에 제1 액체방울보다 크기가 작은 제2 액체방울(PI2)이 토출된다. 이렇게 배향액의 토출량을 감소시키는 것은 토출헤드의 압전소자에 전압을 차등하게 인가함으로써 구현될 수 있다. 즉, 토출헤드에 인가되는 전압의 크기가 크면 토출량이 많아지고, 인가되는 전압의 크기가 작으면 토출량도 작아진다. 다만, 전압의 변화량에 대한 토출량의 변화량은 토출헤드마다 다르기 때문에 토출량을 변경하기 위해 전압을 얼마나 변경할 것인가는 각 토출헤드마다 결정되어야 한다.
도 2d를 참조하면, 제2 액체방울의 크기가 제1 액체방울보다 작아도 기판 상에서 퍼지는 정도가 제1 액체방울보다 작기 때문에 제1 배향막(PL1)과 제2 배향막(PL2)은 그 두께가 서로 균일하게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 배향막 형성 방법은 배향막 두께의 불균일에 의해 야기될 수 있는 얼룩 등을 방지할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 주사회수에 따른 토출헤트의 이동경로를 설명하기 위한 도면이다. 도 3a는 주사회수가 2회인 경우이고, 도 3b는 주사회수가 3회인 경우이다.
도 3a를 참조하면, 토출헤드(100)는 복수의 노즐(110)을 갖는다. 노즐(110) 사이의 간격은 d이다. 본 발명의 일 실시예에서는 복수의 노즐(110)이 일렬로 배치되어 있지만, 이에 한정되지 않는다. 화살표는 토출헤드(100)의 이동 방향을 나타낸다. 토출헤드(100)는 Y1방향으로 첫번째 주사(①)를 진행하고, X방향으로 이동한 후 다시 Y2방향으로 두번째 주사(②)를 진행한다. 이때, 토출헤드(100)가 첫번째 주사(①)를 끝낸 후에 X방향으로 이동하는 거리는 d/2가 된다. 예를 들어, 노즐(110) 사이의 간격이 750㎛인 경우 토출헤드(100)는 X방향으로 375㎛ 이동한다. 본 발명의 일 실시예에서는 기판(G)은 움직이지 않고, 토출헤드(100)가 이동하면서 주사가 진행되지만, 반대로 토출헤드(100)가 정지한 상태에서 기판(G)이 이동할 수 있다.
다시 도 2a, 도 2b, 및 도 3a를 참조하면, 토출헤드(100)가 Y1방향으로 첫번 째 주사(①)를 진행할 때 노즐(110)로부터 배향액의 제1 액체방울(PI1)이 기판(G)에 떨어진다. 떨어진 제1 액체방울(PI1)은 스스로 퍼진 후 제1 배향막(PL1)으로 인쇄된다.
다시 도 2c, 도 2d, 및 도 3a를 참조하면, 토출헤드(100)는 X방향으로 d/2만큼 이동한 후에 Y2방향으로 두번째 주사(②)를 진행한다. 제1 배향막(PL1) 사이에 제2 액체방울(PI2)이 토출된다. 이때, 제2 액체방울(PI2)은 제1 액체방울보다 작다. 제2 액체방울(PI2)의 크기가 작아도 퍼지는 정도가 작기 때문에, 제1 액체방울과 제2 액체방울(PI2)에 의해 각각 형성되는 제1 배향막(PL1)과 제2 배향막(PL2)의 두께는 균일하다.
도 3b를 참조하면, 상기 실시예와 마찬가지로 토출헤드(100)는 복수의 노즐(110)을 갖고, 노즐(110) 사이의 간격은 d이다. 또한, 화살표는 토출헤드(100)의 이동 방향을 나타낸다. 토출헤드(100)는 Y1방향으로 첫번째 주사(①)를 진행하고, X방향으로 이동한 후 Y2방향으로 두번째 주사(②)를 진행한다. 다시 X방향으로 이동한 후 Y1방향으로 세번째 주사(③)를 진행한 후 다시 X방향으로 이동하고, Y2방향으로 네번째 주사(④)를 진행한다. 이때, 토출헤드(100)가 주사를 끝낸 후에 X방향으로 각각 이동하는 거리는 d/4가 된다. 예를 들어, 노즐(110) 사이의 간격이 750㎛인 경우 토출헤드(100)는 X방향으로 매번 187.5㎛씩 이동한다.
이렇게 주사가 반복하여 진행될 때마다 토출되는 액체방울이 기판에서 퍼지는 정도가 감소한다. 따라서, 주사가 반복될 때마다 배향액의 토출량을 감소시키면 배향막이 균일하게 형성될 수 있다.
상기 실시예들에서는 토출헤드(100)가 X방향으로 이동하는 거리는 d/n(n은 주사회수)로 일정하게 하였으나, 토출량의 감소량을 고려하여 이동 거리를 적절하게 조절할 수 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.
그러므로, 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
상술한 본 발명에 의하면, 주사가 반복될 때 배향액의 토출량을 적절하게 변경시킴으로써 기판 상에 배향막이 균일하게 형성될 수 있다. 따라서, 배향막 두께의 불균일에 의해 야기되는 얼룩이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
잉크젯 방식의 인쇄기는 플렉소그래피 방식의 인쇄기와 달리 APR 플레이트와 롤이 구비될 필요가 없기 때문에 설비의 크기가 대폭 감소하는 등 장치 설비면에서 유리하다. 또한, 원부자재의 소비량이 감소하여 제조 원가가 크게 하락될 수 있다.
최근에 대형화되고 있는 기판에도 배향막이 균일하게 형성될 수 있다. 따라서, 평판 표시 장치를 제조함에 있어서 대형화된 기판이 사용될 수 있다.

Claims (7)

  1. 평판 표시 장치용 기판에 배향액의 액체방울을 토출하여 배향막을 형성하는 방법에 있어서,
    복수의 노즐을 갖는 토출헤드를 복수회 주사하면서 상기 배향액의 액체방울을 토출하되, 상기 복수회의 주사가 반복됨에 따라 액체방울의 토출량이 변경되는 배향막 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수회의 주사가 반복됨에 따라 상기 액체방울의 토출량이 감소하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체방울의 토출량은 상기 토출헤드의 압전소자에 인가되는 전압에 의해 조절되고,
    상기 복수회의 주사가 반복하여 진행됨에 따라 상기 전압이 감소하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐사이의 간격이 d인 경우에 주사가 반복될 때마다 상기 토출헤드를 d/n의 길이만큼 이동시키되, 상기 n은 정수인 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐사이의 간격이 d인 경우에 상기 주사가 반복될 때 상기 노즐에 의하여 액체방울이 토출되는 지점사이의 거리가 d/n이되, 상기 n은 정수인 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 n은 주사회수인 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항의 방법에 의하여 배향막을 형성하는 것을 포함하는 평판 표시 장치의 제조 방법.
KR1020050093560A 2005-10-05 2005-10-05 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법 KR20070038342A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050093560A KR20070038342A (ko) 2005-10-05 2005-10-05 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050093560A KR20070038342A (ko) 2005-10-05 2005-10-05 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070038342A true KR20070038342A (ko) 2007-04-10

Family

ID=38159726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050093560A KR20070038342A (ko) 2005-10-05 2005-10-05 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070038342A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101227138B1 (ko) * 2006-03-29 2013-01-28 엘지디스플레이 주식회사 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법
CN110421988A (zh) * 2018-07-18 2019-11-08 广东聚华印刷显示技术有限公司 喷墨控制方法和系统、喷墨打印设备

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101227138B1 (ko) * 2006-03-29 2013-01-28 엘지디스플레이 주식회사 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법
CN110421988A (zh) * 2018-07-18 2019-11-08 广东聚华印刷显示技术有限公司 喷墨控制方法和系统、喷墨打印设备
CN110421988B (zh) * 2018-07-18 2021-04-20 广东聚华印刷显示技术有限公司 喷墨控制方法和系统、喷墨打印设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8893618B2 (en) Patterning method and method for manufacturing liquid crystal display device using the same
US7503257B2 (en) Printing apparatus for liquid crystal display device and pattern forming method using the same
TWI221426B (en) Film forming apparatus, head cleaning method, device manufacturing system, and device
KR101458110B1 (ko) 접착물 도포장치 및 접착물 도포방법
US8186271B2 (en) Method for manufacturing printing plate
US7838103B2 (en) Patterned member and production method thereof
US20110274840A1 (en) Apparatus and method of fabricating thin film pattern
JP4894150B2 (ja) 電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置
JP2004031070A (ja) 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置
KR20130047451A (ko) 잉크젯 프린팅 기법을 이용하여 기판의 표면에 도전성 패턴을 형성하는 방법
JP2008004911A (ja) 薄膜パターンの製造装置及び方法
KR20070038342A (ko) 배향막 형성 방법과 평판 표시 장치의 제조 방법
US20070254239A1 (en) Resist for printing and patterning method using the same
JP2011054386A (ja) 有機elディスプレイの製造方法
JP2003280535A (ja) 表示装置製造方法、表示装置製造装置、表示装置、及びデバイス
JP2010040323A (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出方法ならびに有機el素子の製造方法
JP2006235596A (ja) 液晶表示装置のスペーサ形成方法
KR101041616B1 (ko) 액정표시장치용 기판 상의 배향막 형성 방법
JP2011148145A (ja) スクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法および液晶パネルの製造方法
KR20070010847A (ko) 잉크젯 배향막 인쇄 장치 및 그 방법
KR101038782B1 (ko) 잉크젯 방식을 이용하여 프린팅 패턴을 인쇄하는 프린팅장치 및 프린팅 패턴의 인쇄 방법
US20050087127A1 (en) Apparatus for forming an organic layer and method of forming an organic layer
JP2006189550A (ja) インクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法
US7441502B2 (en) Printing apparatus and method for forming patterns for liquid crystal display device using the same
JP2008264673A (ja) 機能膜の製造方法、液晶表示パネルの製造方法、及び、液晶表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid