KR101227138B1 - 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폴리이미드액 도포 장치 및 그 방법이 제공된다. 폴리이미드막 도포 장치는 인쇄 테이블과, 잉크젯 헤드와, 폴리이미드액 공급 탱크를 포함하며, 잉크젯 헤드는 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 폴리이미드액을 분사하며, 이동 피치는 스캔 횟수에 반비례하도록 설정된다. 폴리이미드막 도포 방법은 기판이 놓여지는 단계와, 폴리이미드액 공급 탱크에 로딩시키는 단계와, 잉크젯 헤드에 공급되고, 잉크젯 헤드가 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 폴리이미드액을 분사하는 단계를 포함하되, 이동 피치는 상기 스캔 횟수에 반비례하도록 설정된다.
잉크젯, 폴리이미드막, 스캔, 노즐 피치

Description

폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법{Apparatus and method for coating polyimide layer on the glass}
도 1은 종래 기술에 따른 폴리이미드막 도포 장치의 스캔 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 장치의 구성도이다.
도 5는 도 4의 스캔 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 및 도 7은 도 5와 같은 스캔 방식의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 방법의 흐름도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100: 인쇄 테이블 101: 압력 탱크
102: 폴리이미드액 공급 탱크 103: 세정액 공급 탱크
110: 잉크젯 헤드 111: 노즐(Nozzle)
120: 기판 130: 와이퍼
131: 지지대
본 발명은 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉크젯 방식을 이용한 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 상하부의 투명 절연 기판인 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정층을 형성한 후, 액정층에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 컬러 필터 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다. 액정 표시 장치로는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)를 스위칭 소자로 이용하는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(TFT LCD)가 주로 사용되고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치는 화상을 표시하는 액정 패널과, 구동 신호를 인가하여 액정 패널을 구동하는 구동부로 크게 구분되며, 액정 패널은 일정한 간격을 두고 합착된 컬러 필터 기판 및 어레이 기판과, 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.
액정 패널의 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 수 차례의 마스크 공정을 거쳐 제조되는데, 마스크 공정이 끝난 다음 두 기판을 합착하기 이전에 두 기판 상에 액정 분자를 일정한 방향으로 배열시키기 위한 폴리이미드막을 도포하는 공정이 진행된다.
폴리이미드막 도포 공정에는 스핀, 스프레이, 잉크젯 방식 등 여러 가지 방식이 적용될 수 있는데, 잉크젯 방식을 이용한 폴리이미드막 도포 장치의 경우에는 폴리이미드액을 공급 받아 기판 상에 분사하는 복수의 잉크젯 헤드들을 사용하게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 폴리이미드막 도포 장치의 스캔 방식을 설명하기 위한 도면으로서, 2 스캔 방식을 도시하고 있다.
2 스캔 방식이란, 폴리이미드막을 2번으로 나누어 도포하는 방식을 말하며, 1차 스캔 후 잉크젯 헤드를 일정한 이동 피치(PS) 만큼 쉬프트해서 2차 스캔을 실시한다. 예를 들어, 노즐 피치 P1 = 1pitch, 오프셋 피치 P2 = 0.5pitch(0.371mm)로, 이동 피치 PS = 1.5pitch(1.114mm)가 되도록 설정한다.
그러면, 도 1에 도시된 것처럼, 잉크젯 헤드에 구성된 각 노즐들(N1, N2, N3, N4, N5, N6, …)이 1차 스캔 시에는 원래 위치에서, 2차 스캔 시에는 이동 피치(PS) 만큼 쉬프트된 위치에서 폴리이미드액을 분사하게 된다. 예를 들어, 노즐 N1은 1차 스캔 시 A11의 위치에서, 2차 스캔 시 A12의 위치에서 폴리이미드액을 분사한다.
도 2 및 도 3은 도 1의 문제점을 설명하기 위한 도면으로서, 도 1과 같은 2 스캔 방식에서, 노즐 N1이 막힌 경우에 B1 영역에서 발생되는 문제점을 도시하고 있다.
노즐 막힘이 없는 경우에는, 도 2에 도시된 것처럼, 1차 스캔 시 노즐 N2와 N3가 B11, B13에 각각 위치하여 폴리이미드액을 분사하고, 2차 스캔 시 노즐 N1이 B12의 위치로 쉬프트 되어 폴리이미드액을 분사하면서, B1 영역에 폴리이미드액을 도포하게 된다.
그러나, 폴리이미드액 도포 중 잉크젯 헤드 내 노즐 N1에서 막힘이 발생하 면, 2차 스캔이 수행된 이후에도 도 3에 도시된 것처럼, B12 영역에는 폴리이미드액의 미 토출이 발생하게 되고, 다른 하나의 노즐 N2나 N3가 커버해야 하는 도포 영역이 증가하게 된다. 이러한 경우, 폴리이미드액의 퍼짐성도 한계가 있으므로, 폴리이미드액이 도포되지 않는 미 도포 영역에 취약하다는 문제점이 있었다.
또한, 폴리이미드액의 퍼짐성 한계로 인하여, 결국, B12와 같이 미 토출이 발생한 부분에서 막 두께의 균일성(Uniformity)이 저하되고, 이러한 부분은 액정 패널에서 세로선 얼룩 등의 불량으로 나타나게 되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 스캔 횟수를 늘리고, 스캔 횟수에 따라 이동 피치를 적절히 설정하여 폴리이미드액이 퍼져 나가 레벨링(Leveling)되어야 할 폭을 감소시킴으로써, 폴리이미드액의 퍼짐 불량으로 인한 미 도포를 개선하고, 스캔 반복 시 일정 영역 내에서 서로 다른 노즐이 폴리이미드액을 분사하도록 하여 미 토출로 인한 세로선 얼룩이나 막 두께의 균일성(Uniformity) 저하를 방지할 수 있는 폴리이미드액 도포 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 폴리이미드액 도포 장치를 이용한 폴리이미드액 도포 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 장치는 기판이 놓여지는 인쇄 테이블과, 상기 인쇄 테이블의 상부에 위치하고, 상기 기판으로 폴리이미드액을 분사하기 위한 노즐들이 구비된 잉크젯 헤드와, 상기 폴리이미드액이 채워진 용기가 로딩되는 폴리이미드액 공급 탱크를 포함하며, 상기 잉크젯 헤드는 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 상기 폴리이미드액을 분사하며, 상기 이동 피치는 상기 스캔 횟수에 반비례하도록 설정되는 것을 특징으로 한다.
상기 이동 피치는, 상기 잉크젯 헤드에 구비된 상기 노즐들 간의 노즐 피치와, 상기 노즐 피치의 1/2N에 해당하는 오프셋 피치를 더한 값으로 설정하는 것이 바람직하다.
여기서, N의 값은 2이고, 상기 스캔 횟수는 4회이거나, N의 값은 4이고, 상기 스캔 횟수는 8회일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 방법은 인쇄 테이블에 박막 트랜지스터 어레이 기판 또는 컬러 필터 기판이 놓여지는 단계와, 폴리이미드액이 채워진 용기를 폴리이미드액 공급 탱크에 로딩시키는 단계와, 상기 폴리이미드액이 상기 인쇄 테이블 상부의 잉크젯 헤드에 공급되고, 상기 잉크젯 헤드가 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 상기 폴리이미드액을 분사하는 단계를 포함하되, 상기 이동 피치는 상기 스 캔 횟수에 반비례하도록 설정되는 것을 특징으로 한다.
상기 이동 피치는, 상기 잉크젯 헤드에 구비된 상기 노즐들 간의 노즐 피치와, 상기 노즐 피치의 1/2N에 해당하는 오프셋 피치를 더한 값으로 설정하는 것이 바람직하다.
여기서, N의 값은 2이고, 상기 스캔 횟수는 4회이거나, N의 값은 4이고, 상기 스캔 횟수는 8회일 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 장치 및 그 방법에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 장치의 구성도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 장치는 인쇄 테이블(100), 잉크젯 헤드(110), 압력 탱크(101), 폴리이미드액 공급 탱크(102), 와이퍼(130), 세정액 공급 탱크(103) 등을 포함하여 구성된다.
폴리이미드막 도포 장치는 폴리이미드막을 도포하기 위한 기판(120)이 놓여져 고정되는 인쇄 테이블(100)을 구비하며, 인쇄 테이블(100) 상에는 폴리이미드막 형성 공정을 진행할 기판(120)이 배치된다. 여기서, 기판(120)은 액정 표시 장치를 구성하는 컬러 필터 기판이나 박막 트랜지스터 어레이 기판 등이 될 수 있다.
기판(120)의 상부에는 기판(120)의 일측을 지나는 방향으로 복수의 잉크젯 헤드(110)들이 나란히 배열되고, 잉크젯 헤드(110) 각각에는 폴리이미드액이 채워진 용기를 로딩하는 방식으로 압력 탱크(101)로부터 폴리이미드액을 공급받아 일정한 압력과 양으로 잉크젯 헤드(110)에 공급하는 폴리이미드액 공급 탱크(102)가 연결되어 있다. 폴리이미드(polyimide)액은 열에 강하고, 화학적 안정성과 신뢰성이 높은 강점을 가지며, 액정 표시 장치의 경우 액정 분자의 배향을 위한 배향막으로 사용 가능하다.
압력 탱크(101)의 상부에는 외부로부터 질소 가스(N2)가 공급되는 가스 공급관이나, 잉크젯 헤드(110)로부터 폴리이미드액이 회수되어 공급되는 회수관, 가스 공급관에서 필터(Filter)를 거쳐 입력되는 질소 가스(N2)에 의해 폴리이미드액 공급 탱크(102)로 가압되는 폴리이미드액 공급관 등의 연결관들이 설치되며, 각 연결관에는 공급량이나 압력을 제어하기 위한 밸브(Valve)들이 사이사이에 설치된다.
잉크젯 헤드(110)들은 폴리이미드액이 분사되는 여러 개의 노즐들(N1, N2, N3, N4, N5, N6, N7, N8, N9, …)을 구비하여 인쇄 테이블(100)의 상부에서 기판(120)을 일정한 방향으로 스캔하면서 폴리이미드액을 분사하여 기판(120) 상에 폴리이미드막을 도포한다.
여기서, 각 잉크젯 헤드(110)는 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 일정 값의 이동 피치만큼 쉬프트(Shift) 되면서 인쇄 테이블(100) 상에 놓인 기판(120)으로 폴리이미드액을 분사하도록 구성하며, 이동 피치 는 스캔 횟수에 반비례하도록 설정한다.
즉, 종래의 2 스캔 방식으로 스캔 횟수를 한정하지 않고, 스캔 횟수를 더 늘려 가변하고, 스캔 횟수에 따라 잉크젯 헤드(110) 내 노즐들(N1, N2, N3, N4, N5, N6, N7, N8, N9, …)의 이동 피치가 적절한 간격으로 줄어들도록 조절함으로써, 폴리이미드액이 퍼져 나가 레벨링(Leveling)되어야 할 폭을 줄이고, 폴리이미드액의 퍼짐 불량으로 인한 미 도포를 개선할 수 있다.
이러한 폴리이미드막 형성 공정이 수행되고 나면, 잉크젯 헤드(110)의 분사면이 폴리이미드액에 의해 젖게 되므로, 와이핑(wiping) 동작에 의해 이를 제거하여 폴리이미드액 분사가 양호한 상태로 유지될 수 있도록 한다.
와이퍼(130)는 지지대(131)를 통해 잉크젯 헤드(110)의 분사면에 접촉하면서 이동하도록 설치되어 이동 시 잉크젯 헤드(110)의 분사면을 닦아내는 와이핑 동작을 수행하며, 세정 동작이 끝나면 회전하여 세정액 공급 탱크(103)에 채워진 세정액에 담긴 후 원래 위치로 다시 회전하게 된다. 이때, 와이핑 동작을 수행한 후 와이퍼(130) 상에 잔존하는 폴리이미드액은 세정액에 담기면서 제거된다.
와이퍼(130)가 와이핑 동작을 수행한 후 와이퍼(130) 표면에 폴리이미드액이 잔류하게 되면, 잉크젯 헤드(110)에 대한 와이핑 능력이 저하되어 폴리이미드액이 부분적으로 분사되지 않거나 균일하게 분사되지 않는 현상이 발생할 수 있으므로, 세정액 공급 탱크(103)를 적용하여 이러한 문제점을 개선할 수 있다.
세정액 공급 탱크(103)는 세정액이 채워진 용기를 로딩하여 와이퍼(130)의 세정 동작 시 필요한 세정액을 공급한다. 세정액으로는 이미드(imide)계 극성 용매 인 NMP(N-Methyl pyrrolidone) 등을 사용한다.
폴리이미드액 공급 탱크(102)와 세정액 공급 탱크(103)는 해당 물질이 담긴 용기를 로딩하는 구조이므로, 기계적으로 일체화하여 공정이 진행되는 순서에 따라 다른 물질이 담긴 용기를 사용하는 방식을 적용할 수 있을 것이다.
도 5는 도 4의 스캔 방식을 설명하기 위한 도면으로서, 4 스캔 방식을 적용한 경우 잉크젯 헤드(110)에 구비된 노즐들(N1, N2, N3, N4, N5, N6, N7, N8, N9, …)의 위치 변화를 예시하고 있다.
4 스캔 방식은 스캔 횟수를 4회(2N=4)로 하여 4회에 걸쳐 폴리이미드액을 도포하는 방식으로, 1회 스캔 후에는 잉크젯 헤드(110)를 일정한 이동 피치(PS) 만큼씩 쉬프트해서 도포 공정을 수행하게 된다.
여기서, 이동 피치(PS)는 스캔 횟수에 반비례하도록 설정되며, 특히, 잉크젯 헤드(110)에 구비된 노즐들(N1, N2, N3, N4, N5, N6, N7, N8, N9, …) 간의 노즐 피치(P1)와, 노즐 피치(P1)의 1/2N에 해당하는 오프셋 피치(P2)를 더한 값으로 설정하는 것이 바람직하다.
예를 들면, 도 1의 2 스캔 방식과 비교하여 노즐 간 간격인 노즐 피치 P1 = 1pitch, 오프셋 피치 P2 =0.25pitch(0.186mm)로, 이동 피치 PS = 1.25pitch(0.928mm)가 되도록 설정하는 것이다.
이와 같이, 스캔 횟수를 늘리고, 그에 대응하도록 이동 피치(PS)를 줄임으로써, 폴리이미드액이 퍼져 나가 레벨링 되어야 할 폭을 감소시키고, 일정한 영역 내에서 같은 노즐이 연속되지 않고 서로 다른 노즐이 인접하도록 스캔할 수 있다.
B2 영역의 예를 들면, 1차 스캔 시 B21, B25의 위치에서 노즐 N4, N5가 폴리이미드액을 분사하고, 2차 스캔 시 B22의 위치에서 노즐 N3가, 3차 스캔 시 B23의 위치에서 노즐 N2가, 4차 스캔 시 B24의 위치에서 N1이 각각 폴리이미드액을 분사하여 도포가 이루어지게 된다.
도 6 및 도 7은 도 5와 같은 스캔 방식의 효과를 설명하기 위한 도면으로서, 도 6은 노즐 막힘이 없는 경우의 정상적인 도포 상태를, 도 7은 노즐 N1이 막힌 경우 B2 영역의 도포 상태를 각각 도시하고 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 도 5와 같은 4 스캔 방식으로 폴리이미드액을 도포할 때, 1개 노즐 N3에서 미 토출이 발생하여 B22에 폴리이미드막이 미 도포된 경우, 다른 1개 노즐이 커버해야 할 영역이 2 스캔 대비 50%로 감소하여 미 토출에 의한 선 얼룩이나 폴리이미드액의 퍼짐 불량으로 인한 미 도포가 약해짐을 알 수 있다.
또한, 4 스캔 방식으로 도포할 때 인접 노즐에서 연속적으로 노즐 막힘이 발생하지 않는 이상 N3의 결함을 N1, N2, N4, N5가 어느 정도 완화하여 미 토출 및 그로 인한 미 도포 문제도 효율적으로 개선할 수 있다.
이상에서는, N의 값은 2이고, 스캔 횟수는 4회인 경우를 가정하였으나, N의 값은 4, 8, … 등 여러 값으로 설정될 수 있으며, 스캔 횟수도 그에 비례하여 8회, 16회 등 다양한 값으로 설정될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드막 도포 방법의 흐름도이다.
먼저, S100 단계에서, 인쇄 테이블(100) 상에 기판(120)을 놓고 고정한다. 여기서, 기판(120)은 액정 표시 장치로 제조되는 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 컬러 필터 기판이 된다.
다음으로, S110 단계에서, 폴리이미드액이 채워진 용기를 폴리이미드액 공급 탱크(102)에 로딩시킨다.
다음으로, S120 단계에서, 폴리이미드액이 인쇄 테이블(100) 상부의 잉크젯 헤드(110)에 공급되고, 잉크젯 헤드(110)가 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수에 따라 일방향으로 일정 값의 이동 피치 만큼 쉬프트 되면서 폴리이미드액을 분사한다. 여기서, 이동 피치는 스캔 횟수에 반비례하도록 설정한다. 이와 같이, 1차 스캔을 실시하여 기판(120) 상에 폴리이미드액을 도포한다.
S130 단계는 S131 단계 내지 S133 단계로 세분화될 수 있으며, 이 과정들은 스캔 횟수 만큼 반복된다.
S131 단계에서는, 설정된 스캔 횟수에 따라 스캔을 반복할지 여부를 결정하여 추가 스캔이 불필요한 경우 S140 단계로 진행하고, 추가 스캔이 필요한 경우 S132 단계로 진행하여 스캔 횟수에 대응하도록 설정된 이동 피치 만큼 잉크젯 헤드(110)를 쉬프트 시킨 후, S133 단계에서 추가 스캔을 통해 기판(120) 상에 폴리이미드액을 다시 도포한다.
다음으로, S140 단계에서, 잉크젯 헤드(110)의 분사면에 접촉하도록 와이퍼(130)를 이동시키면서 잉크젯 헤드(110)의 노즐(111)들을 닦아내는 와이핑 동작을 수행한다.
그리고, 세정액이 채워진 용기를 세정액 공급 탱크(103)에 로딩시킨 후, 와 이퍼(130)를 세정액 공급 탱크(103) 방향으로 회전시켜 세정액에 담기도록 하여 씻어내고, 원래 위치로 다시 회전시킨다. 세정액으로는 이미드(imide)계 극성 용매인 NMP(N-Methyl pyrrolidone) 등을 사용한다.
이와 같이, 스캔 횟수를 늘려 이동 피치가 감소되도록 하고, 일정한 영역 내에서 같은 노즐이 연속되지 않고, 서로 다른 노즐이 폴리이미드액을 분사하도록 구성함으로써, 막 두께 균일도를 향상시키고, 미 도포 및 미 토출에 의한 얼룩 등의 불량을 개선할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드액 도포 장치 및 그 방법에 따르면, 스캔 횟수를 늘리고, 스캔 횟수에 따라 이동 피치를 적절히 설정하여 폴리이미드액이 퍼져 나가 레벨링(Leveling)되어야 할 폭을 감소시킴으로써, 폴리이미드액의 퍼짐 불량으로 인한 미 도포를 개선할 수 있다.
또한, 스캔 반복 시 일정 영역 내에서 서로 다른 노즐이 폴리이미드액을 분사하도록 하여 1개 노즐에서 미 토출이 발생하는 경우에도 인접한 다른 노즐이 이를 커버할 수 있도록 함으로써, 미 토출로 인한 세로선 얼룩을 방지하고, 미 도포되는 영역을 최소화하여 막 두께의 균일성(Uniformity)을 향상시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 기판이 놓여지는 인쇄 테이블;
    상기 인쇄 테이블의 상부에 위치하고, 상기 기판으로 폴리이미드액을 분사하기 위한 노즐들이 구비된 잉크젯 헤드; 및
    상기 폴리이미드액이 채워진 용기가 로딩되는 폴리이미드액 공급 탱크를 포함하며,
    상기 잉크젯 헤드는 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수의 각 스캔시에 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 상기 폴리이미드액을 분사하며, 상기 이동 피치는 상기 스캔 횟수에 반비례하도록 설정되고,
    상기 이동 피치는, 상기 잉크젯 헤드에 구비된 상기 노즐들 간의 노즐 피치와, 상기 노즐 피치의 1/2N에 해당하는 오프셋 피치를 더한 값인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    N의 값은 2이고, 상기 스캔 횟수는 4회인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    N의 값은 4이고, 상기 스캔 횟수는 8회인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 장치.
  5. 인쇄 테이블에 박막 트랜지스터 어레이 기판 또는 컬러 필터 기판이 놓여지는 단계;
    폴리이미드액이 채워진 용기를 폴리이미드액 공급 탱크에 로딩시키는 단계; 및
    상기 폴리이미드액이 상기 인쇄 테이블 상부의 잉크젯 헤드에 공급되고, 상기 잉크젯 헤드가 2N(N≥2인 자연수)으로 정의되는 스캔 횟수의 각 스캔시에 일방향으로 소정의 이동 피치만큼 쉬프트 되면서 상기 폴리이미드액을 분사하는 단계를 포함하되, 상기 이동 피치는 상기 스캔 횟수에 반비례하도록 설정되고,
    상기 이동 피치는, 상기 잉크젯 헤드에 구비된 노즐들 간의 노즐 피치와, 상기 노즐 피치의 1/2N에 해당하는 오프셋 피치를 더한 값인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 방법.
  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서,
    N의 값은 2이고, 상기 스캔 횟수는 4회인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 방법.
  8. 제5항에 있어서,
    N의 값은 4이고, 상기 스캔 횟수는 8회인 것을 특징으로 하는 폴리이미드액 도포 방법.
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