JP2009244872A - 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置１において、塗布対象物Ｋに向けて塗布液を複数の吐出孔Ｎからそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させる移動機構４と、塗布ヘッド５及び移動機構４に対し、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させ、複数の吐出孔Ｎ毎に設定されて吐出孔Ｎからの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、複数の吐出孔Ｎからそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物Ｋ上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返させる手段と、走査塗布動作を一回行う度に、複数の吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定値を基準として増加又は減少させて変更する手段とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、塗布対象物に液滴を吐出して塗布する液滴塗布装置及び液滴塗布方法に関する。

液滴塗布装置は、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置及びプラズマ表示装置等の表示装置や半導体装置等を製造する場合、例えば、カラーフィルタを形成する場合（例えば、特許文献１参照）、あるいは、ガラス基板や半導体ウェハ等の基板に配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する場合等に用いられている。

この液滴塗布装置は、基板等の塗布対象物に向けてインク等の塗布液を複数の吐出孔（ノズル）からそれぞれ液滴として吐出（噴射）する塗布ヘッドを備えている。液滴塗布装置は、塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、その塗布ヘッドにより塗布対象物の塗布面に複数の液滴を順次着弾させ、所定の塗布パターンを形成する。

このような液滴塗布装置を用いてカラーフィルタを製造する場合には、カラーフィルタ製造用の基板に対して液滴が塗布される。すなわち、赤、緑及び青の着色インクが液滴として、カラーフィルタ製造用の基板表面に設けられた格子状の凸部（ブラックマトリクス）により区分された凹部内に塗布され、その凹部内に塗布膜としての着色層が形成される。なお、凹部は平面視において長方形をしており、この凹部が液晶表示パネルにおける一つの画素（サブピクセル）に対応する。

通常、各吐出孔から吐出される液滴の吐出量（液滴吐出量）は、スジムラの発生を防止するためほぼ同じになるように、例えば吐出孔間の液滴吐出量のバラツキが±１％以内になるように調整されている必要がある。また、液滴の着弾位置（液滴着弾位置）は全画素において凹部の底面中心に設定されており、その設定された液滴着弾位置（設定着弾位置）に液滴が塗布される。さらに、凹部の容量に対して一つの吐出孔から吐出される一滴の量が少ない場合には、凹部内に着色層を形成する際、一つの凹部に対して着色インクの液滴は複数滴塗布される。このとき、着色層を均一な厚さに形成する必要があるため、液滴着弾位置は凹部の長手方向に沿って等間隔に定められており、その設定された液滴着弾位置（設定着弾位置）に対して液滴が順次塗布される。

特開平９−２３０１２９号公報

しかしながら、前述のようにスジムラの発生を防止するためには、全吐出孔の液滴吐出量をほぼ同じに、例えば吐出孔間の液滴吐出量のバラツキが±１％以内になるように調整する必要があるが、液滴吐出量のバラツキを±１％以内に調整することは困難であるため、スジムラが発生してしまう。

また、液滴着弾位置が全画素において同じ位置になるように設定されているため、各凹部内の着色層の塗布形状（例えば厚さ方向の断面形状）がどれもほぼ同じとなる。この場合、液滴が設定着弾位置に正確に着弾すれば問題ないが、液滴の吐出方向に傾きが生じる等の予期せぬ不具合により一部の吐出孔から吐出された液滴に着弾位置のズレが生じた場合には、その吐出孔から吐出された液滴によって形成される着色層の塗布形状（断面形状）が、他の吐出孔から吐出された液滴によって形成される着色層の塗布形状と異なってしまう。このため、他の着色層とは塗布形状が異なる着色層がライン状に並ぶことになり、スジムラが発生してしまう。

本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置及び液滴塗布方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴塗布装置において、塗布面を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布面に沿う方向に相対移動させる移動機構と、塗布ヘッド及び移動機構に対し、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布面に沿う一方向に相対移動させ、複数の吐出孔毎に設定されて吐出孔からの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返させる手段と、走査塗布動作を一回行う度に、複数の吐出孔毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定値を基準として増加又は減少させて変更する手段と、を備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴塗布装置において、複数の塗布区画を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、塗布ヘッド及び移動機構に対し、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させ、塗布区画における液滴着弾位置が複数の塗布区画全てで同じになるように複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置を基準とし、複数の塗布区画毎に塗布区画における液滴着弾位置を隣接する塗布区画と異なるように変更し、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上の複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行させる手段とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、液滴塗布装置において、複数の塗布区画を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、塗布ヘッド及び移動機構に対し、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させ、塗布区画における液滴着弾位置が隣接する塗布区画と異なるように複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置に基づいて、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上の複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行させる手段とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第４の特徴は、液滴塗布方法において、塗布面を有する塗布対象物と塗布対象物の塗布面に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを塗布面に沿う一方向に相対移動させ、複数の吐出孔毎に設定されて吐出孔からの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返す工程と、繰り返す工程において、走査塗布動作を一回行う度に、複数の吐出孔毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定値を基準として増加又は減少させて変更する工程とを有することである。

本発明の実施の形態に係る第５の特徴は、液滴塗布方法において、複数の塗布区画を有する塗布対象物と塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを相対移動させ、塗布区画における液滴着弾位置が複数の塗布区画全てで同じになるように複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置を基準とし、複数の塗布区画毎に塗布区画における液滴着弾位置を隣接する塗布区画と異なるように変更し、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を実行することである。

本発明の実施の形態に係る第６の特徴は、液滴塗布方法において、複数の塗布区画を有する塗布対象物と塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを相対移動させ、塗布区画における液滴着弾位置が隣接する塗布区画と異なるように複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置に基づいて、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物上の複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行することである。

本発明によれば、スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置及び液滴塗布方法を提供することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す模式図である。 図１に示す液滴塗布装置が行う塗布動作の流れを示すフローチャートである。 図２に示す塗布動作を説明するための説明図である。 図２に示す塗布動作を説明するための説明図である。 図２に示す塗布動作を説明するための説明図である。 図２に示す塗布動作と異なる塗布動作を説明するための説明図である。 本発明の第２の実施の形態に係る液滴塗布装置が行う塗布動作の流れを示すフローチャートである。 図７に示す塗布動作を説明するための説明図である。 一滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図９のＡ１−Ａ１線断面図である。 一滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図１１のＡ２−Ａ２線断面図である。 複数滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図１３のＡ３−Ａ３線断面図である。 複数滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図１５のＡ４−Ａ４線断面図である。 複数滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図１７のＢ１−Ｂ１線断面図である。 複数滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図１９のＢ２−Ｂ２線断面図である。 複数滴の液滴による塗布膜の生成を説明するための説明図である。 図２１のＢ３−Ｂ３線断面図である。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図１ないし図６を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の実施の形態に係る液滴塗布装置１は、塗布対象物としての基板Ｋが水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置される移動テーブル２と、その移動テーブル２を保持してＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構３と、そのＹ軸移動機構３を介して移動テーブル２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構４と、移動テーブル２上の基板Ｋに向けてインク等の塗布液を液滴として吐出する複数の塗布ヘッド５と、移動テーブル２上の基板Ｋに向けて撮像動作を行う撮像部６と、各部を制御する制御部７とを備えている。

移動テーブル２は、Ｙ軸移動機構３上に積層され、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。この移動テーブル２はＹ軸移動機構３によりＹ軸方向に移動する。なお、移動テーブル２には、基板Ｋが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Ｋを保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構を設けるようにしてもよい。このような移動テーブル２の端部には、各塗布ヘッド５の吐出を安定させるための吐出安定部２ａが設けられている。この吐出安定部２ａは、各塗布ヘッド５のダミー吐出用の受皿、及び各塗布ヘッド５の吐出面をワイプするワイプブレード等を有している。

Ｙ軸移動機構３は、移動テーブル２をＹ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＹ軸移動機構３は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。なお、Ｙ軸移動機構３としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。

Ｘ軸移動機構４は、Ｙ軸移動機構３をＸ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＸ軸移動機構４は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。なお、Ｘ軸移動機構４としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。

これらのＹ軸移動機構３とＸ軸移動機構４により、移動テーブル２に載置された基板Ｋと塗布ヘッド５とを基板Ｋの塗布面に沿う方向で相対移動させる移動機構が構成されている。

塗布ヘッド５は、インク等の塗布液を複数の吐出孔（ノズル）Ｎからそれぞれ液滴として吐出するインクジェットヘッドである。この塗布ヘッド５は、液滴を吐出するための各吐出孔Ｎにそれぞれ対応する複数の圧電素子（図示せず）を内蔵している。各吐出孔Ｎは、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて塗布ヘッド５の吐出面に形成されている。例えば、吐出孔Ｎの数は数十個から数百個程度であり、吐出孔Ｎの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、さらに、吐出孔Ｎのピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。

この塗布ヘッド５は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。塗布ヘッド５は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各吐出孔Ｎから塗布液を液滴として吐出する。塗布液は、その塗布液を収容する液体タンク（図示せず）から供給される。この塗布液は、基板Ｋ上に残留物として残留する溶質と、その溶質を溶解（分散）させる溶媒とにより構成された溶液である。溶媒は例えば揮発性を有している。本発明の実施の形態では、塗布液として、例えば、赤色、緑色及び青色の３種類のインクを用いる。この場合には、液体タンクは、色毎の３つのタンクを有しており、各色の溶液が赤色用、緑色用及び青色用の各々の塗布ヘッド５にそれぞれ供給される。

さらに、塗布ヘッド５は、回転機構（図示せず）によりθ方向（図１中、ＸＹ平面に沿う回転方向）に回転可能に設けられている。この塗布ヘッド５は、回転機構により、相対移動する基板Ｋの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾けられ、その状態で塗布を行う。なお、Ｘ軸方向に相対移動する基板Ｋに対して塗布を行う場合には、塗布ヘッド５の傾斜角度を変更することによって、Ｙ軸方向の液滴の塗布ピッチを調整することができる。また、液滴の吐出周波数（吐出タイミング）を変更することによって、Ｘ軸方向の塗布ピッチを調整することができる。

撮像部６は、基板Ｋ上のアライメントマークや基板Ｋ上に塗布された塗布膜を撮像するカメラであり、基板Ｋの位置調整用や塗布膜の検査用等に用いられる。この撮像部６は制御部７に電気的に接続されており、その駆動は制御部７により制御される。なお、撮像部６としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等を用いる。

制御部７は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。塗布情報は、ドットパターン等の所定の塗布パターン（すなわち、液滴吐出量に関する吐出量情報（例えば、吐出量自体や圧電素子に印加する駆動電圧）や液滴着弾位置に関する位置情報等）、塗布ヘッド５の傾斜角度、塗布ヘッド５の吐出周波数及び基板Ｋの移動速度に関する情報等を含んでいる。ここで、吐出量自体や圧電素子に印加する駆動電圧は設定値として吐出孔Ｎ毎に設定されている。その吐出孔Ｎ毎の設定値は、吐出孔Ｎからの液滴吐出量をそれぞれ決定する値である（この設定値を「設定液滴吐出量値」という）。

次に、前述の液滴塗布装置１が行う塗布動作について説明する。なお、液滴塗布装置１の制御部７が各種のプログラムに基づいて塗布処理を実行する。ここでは、液滴塗布装置１を用いてカラーフィルタ製造用の基板Ｋに塗布膜として着色層を形成する場合について説明する。このような液滴塗布装置１は、基板Ｋの塗布面Ｋａに設けられた格子状の凸部（ブラックマトリクス）により区分された塗布区画Ｈに対して赤、緑及び青の着色インクを選択的に吐出し、各塗布区画Ｈに所定の色の着色層を形成する。赤、緑及び青の着色層は、塗布区画Ｈの列方向（Ｘ軸方向）に同色で行方向（Ｙ軸方向）に赤、緑、青が順に繰り返されるように形成される。

図２に示すように、制御部７は、塗布情報（吐出孔Ｎ毎の設定液滴吐出量値も含む）に基づいて塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布を行う（ステップＳ１）。次いで、制御部７は、Ｘ軸方向への塗布が所定回数行われたか否かを判断し（ステップＳ２）、その塗布が所定回数行われていないと判断した場合には（ステップＳ２のＮＯ）、吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定液滴吐出量値を基準として変更し（ステップＳ３）、処理をステップＳ１に戻す。これにより、例えば最初に赤色用の塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、その塗布ヘッド５による液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の赤色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われる。すなわち、塗布ヘッド５は、Ｘ軸方向に移動する毎にＹ軸方向へ位置を変えつつ塗布を行うのであるが、所定回数のＸ軸方向の塗布によって、塗布面Ｋａの塗布区画Ｈにおける赤色の着色層を形成すべき塗布区画Ｈ全てに対して赤色の着色インクを塗布することができるのである。このとき、吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量は、Ｘ軸方向への塗布を繰り返す度に、それぞれ対応する設定液滴吐出量値を基準として許容される範囲内で異なるように変更される。

詳述すると、制御部７は、塗布情報に基づいてＹ軸移動機構３及びＸ軸移動機構４を制御し、まず赤色の塗布ヘッド５を基板Ｋの塗布面Ｋａに対向する塗布開始位置に位置付け、さらに、Ｘ軸移動機構４を制御し、移動テーブル２をＸ軸方向に移動させながら、塗布ヘッド５を制御し、吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量でその塗布ヘッド５に各吐出孔Ｎからそれぞれ液滴を順次吐出させて移動テーブル２上の基板Ｋの塗布面Ｋａに各液滴を複数列に着弾させる（走査塗布動作）。その後、制御部７は、その走査塗布動作を所定回数（例えば３回）繰り返す。なお、制御部７は、走査塗布動作毎に、塗布開始位置を所定量（例えばＹ軸方向の３画素ピッチ）Ｙ軸方向に移動させる。つまり、図３〜５に示す例では、吐出孔ＮのＹ軸方向における配置ピッチが、赤色に着色すべき塗布区画ＨのＹ軸方向におけるピッチ（３画素ピッチ）の３倍となっているので、塗布ヘッド５をＹ軸方向に３画素ピッチずつ位置を変えながら走査塗布動作を行う。

１回目のＸ軸方向への走査塗布動作では、赤色用の塗布ヘッド５は、図３に示すように、Ｘ軸方向（図３中の矢印方向）に移動する基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて各液滴を設定液滴吐出量値で順次吐出して赤色用の塗布区画Ｈに赤色の着色インクを塗布し、塗布面Ｋａ上にライン状に塗布膜Ｍを生成する。すなわち、図３に示す左端から１番目の吐出孔Ｎは、１列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図３に示す左端から２番目の吐出孔Ｎは、１０列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図３に示す左端から３番目の吐出孔Ｎは、１９列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行う。これにより、塗布膜Ｍが基板Ｋの塗布面Ｋａ上に複数のライン状に並び、図３において３本の赤色の塗布ラインが生成される。

ここで、各塗布区画Ｈは、カラーフィルタの各画素領域にそれぞれ対応する領域である。すなわち、カラーフィルタ製造用の基板Ｋの塗布面Ｋａには、格子状の凸部としてのブラックマトリクスが形成されている。このブラックマトリクスは、カラーフィルタの赤色、緑色及び青色の各画素を囲む格子状の黒色部分である。したがって、各塗布区画Ｈは、ブラックマトリクスで囲まれた複数の凹部である。言い換えると、凹部は格子状の凸部（ブラックマトリクス）により区分された部分であり、この凹部内に塗布膜Ｍとしての着色層が形成される。凹部は平面視において長方形をしており、この凹部が液晶表示パネルにおける一つの画素（サブピクセル）に対応する。なお、塗布ヘッド５は、例えば、一滴の液滴により一つの塗布膜Ｍを形成する場合や複数滴の液滴により一つの塗布膜Ｍを形成する場合がある。すなわち、凹部の容量に対して一つの吐出孔Ｎから吐出される一滴の量が少ない場合には、凹部内に着色層を形成する際、一つの凹部に対して液滴は複数滴塗布される。

次に、２回目のＸ軸方向への走査塗布動作では、赤色用の塗布ヘッド５は、図４に示すように、基板Ｋに対してＹ軸方向に３画素ピッチ分だけ相対移動しており、その状態で、Ｘ軸方向（図４中の矢印方向）に移動する基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて各液滴を、今度は設定液滴吐出量値を所定量増加させ、例えば、駆動電圧Ｖ１にΔＶを加えた駆動電圧Ｖ１ａで順次吐出して赤色用の塗布区画Ｈに塗布し、塗布面Ｋａ上にライン状に塗布膜Ｍを生成する。すなわち、図４に示す左端から１番目の吐出孔Ｎは、４（＝１＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図４に示す左端から２番目の吐出孔Ｎは、１３（＝１０＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図４に示す左端から３番目の吐出孔Ｎは、２２（＝１９＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行う。これにより、図４において、新たに３本の赤色の塗布ラインが生成され、合計６本の赤色の塗布ラインが存在することになる。

次いで、３回目のＸ軸方向への走査塗布動作でも、赤色用の塗布ヘッド５は、図５に示すように、基板Ｋに対してＹ軸方向にさらに３画素ピッチ分だけ相対移動しており、その状態で、Ｘ軸方向（図５中の矢印方向）に移動する基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて各液滴を、今度は設定液滴吐出量値を所定量減少させ、例えば、駆動電圧Ｖ１からΔＶを減じた駆動電圧Ｖ１ｂで順次吐出して赤色用の塗布区画Ｈに塗布し、塗布面Ｋａ上にライン状に塗布膜Ｍを生成する。すなわち、図５に示す左端から１番目の吐出孔Ｎは、７（＝１＋３＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図５に示す左端から２番目の吐出孔Ｎは、１６（＝１０＋３＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行い、図５に示す左端から３番目の吐出孔Ｎは、２５（＝１９＋３＋３）列目の赤用の塗布区画Ｈに対して塗布を行う。これにより、図５において、新たに３本の赤色の塗布ラインが生成され、合計９本の赤色の塗布ラインが存在することになる。

ここで、吐出孔Ｎから吐出される液滴吐出量の変更を行う場合には、制御部７が塗布ヘッド５の各圧電素子に印加する駆動電圧（設定液滴吐出量値）を変更することで、吐出孔Ｎ毎に前回の液滴吐出量と異なる液滴吐出量に次回の液滴吐出量を設定する。例えば、設定液滴吐出量値として駆動電圧Ｖ１が設定されていて、設定液滴吐出量値により決まる液滴吐出量に対して許容される増減の範囲が「±Δｑ」でこの増減の範囲±Δｑに対応する駆動電圧の増減の範囲が「±Δｖ」であった場合、制御部７は、走査塗布動作を繰り返す度に、駆動電圧Ｖ１に±Δｖの範囲で任意の値を加え、吐出孔Ｎからの液滴吐出量を前回の液滴吐出量と異なるように変更して塗布ヘッド５に複数の液滴を吐出させる。なおここで、液滴吐出量として吐出孔Ｎ毎に必要な液滴吐出量Ｑ１が設定されている場合には、制御部７は、この液滴吐出量Ｑ１を許容されえる増減の範囲±ｑで増減させるように予め設定された液滴吐出量と駆動電圧の関係に基づいて駆動電圧を増減させるように制御する。

このようにして、赤色用の塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数（例えば３回）繰り返される。これは、Ｙ軸方向の画素ピッチ（塗布区画Ｈのピッチ）が塗布ヘッド５によるＹ軸方向の液滴の塗布ピッチより狭いためである。この場合には、同じ吐出孔Ｎにより、隣接する同一色の列の塗布区画Ｈに液滴が塗布される。すなわち、図３ないし図５に示すように、左端の吐出孔Ｎが、１列目の赤用の塗布区画Ｈと、４列目の赤用の塗布区画Ｈと、７列目の赤用の塗布区画Ｈとに対して塗布を行うことになる。同様に、左端から２番目の吐出孔Ｎは、１０列目の赤用の塗布区画Ｈと、１３列目の赤用の塗布区画Ｈと、１６列目の赤用の塗布区画Ｈとに対して塗布を行うことになり、左端から３番目の吐出孔Ｎは、１９列目の赤用の塗布区画Ｈと、２２列目の赤用の塗布区画Ｈと、２５列目の赤用の塗布区画Ｈとに対して塗布を行うことになる。

ここで、各吐出孔Ｎから吐出される液滴の吐出量が走査塗布動作毎に変更されない場合について、図６を用いて説明する。

図６は、各吐出孔Ｎ間の液滴吐出量の調整を行う作業者の熟練度などに起因して、吐出孔Ｎ間の液滴吐出量に許容値（例えば、±１％）を越えるバラツキが生じた結果、左端および左から３番目に位置する吐出孔Ｎの液滴吐出量に対して左から２番目に位置する吐出孔Ｎの液滴吐出量が許容値を超えて多い例を示す。

この場合、赤用の１列目の塗布区画Ｈ、４列目の塗布区画Ｈおよび７列目の塗布区画Ｈには左端に位置する吐出孔Ｎから吐出された赤色の着色インクが塗布されるので、１列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、４列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び７列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さはほぼ同じになる。同様に、赤用の１０列目の塗布区画Ｈ、１３列目の塗布区画Ｈおよび１６列目の塗布区画Ｈには左端から２番目に位置する吐出孔Ｎから吐出された赤色の着色インクが塗布されるので、赤色の１０列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、赤色の１３列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び赤色の１６列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さがほぼ同じになり、さらに、赤色の１９列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、赤色の２２列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び赤色の２５列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さもほぼ同じになる。

ここで、左端から２番目に位置する吐出孔Ｎは、左端および左から３番目の吐出孔Ｎに対して上述したように液滴吐出量が多いので、１０列目、１３列目、１６列目の塗布ラインの塗布膜Ｍの厚さは、他の赤色の塗布ラインに比べて厚く形成されている。そして、塗布膜Ｍの厚い塗布ラインが３つ連続することで、塗布膜Ｍの厚さの違いによる濃淡の差が強調されることとなる。このため、図６では、左端から２番目に位置する吐出孔Ｎによって形成された３つの塗布ラインがスジムラＦとして視認されてしまう。なお、同じ吐出孔Ｎにより塗布された塗布ラインが増加する程、スジムラＦの幅が広くなるため、そのスジムラＦが認識されやすくなる。

一方、各吐出孔Ｎから吐出される液滴の吐出量が設定液滴吐出量値を基準として許容される範囲で走査塗布動作毎に変更される場合には、図５に示すように、赤色の１列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、赤色の４列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び赤色の７列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さは隣同士で同じにならずに許容される範囲内で異なるので、それら合計３列が１つの帯状のスジムラＦ（図６参照）として視認されることがなくなる。同様に、赤色の１０列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、赤色の１３列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び赤色の１６列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さは隣同士で同じにならず、さらに、赤色の１９列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ、赤色の２２列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さ及び赤色の２５列目の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さも隣同士で同じにならない。

これにより、図５では、赤色の塗布ラインにおける塗布膜Ｍの厚さが隣り合う塗布ライン間で異なるものとなり、塗布膜Ｍの厚さの違いによる濃淡の差が隣り合う塗布ライン同士で強調されることがないので、帯状のスジムラＦ（図６参照）は視認され難くなる。したがって、各吐出孔Ｎから吐出される液滴吐出量を走査塗布動作毎に変更することによって、スジムラＦの発生を確実に抑えることができる。その結果、カラーフィルタを有する表示パネルの品質を向上させることができる。このようなことから、設定液滴吐出量値の増減値として許容される範囲内とは、設定液滴吐出量値の変更の結果として着色層に生じた濃淡の差が、液晶表示パネルの表示品質に不具合を生じさせない程度である。

図２に戻り、制御部７は、全色の塗布が完了したか否かを判断し（ステップＳ４）、その全色の塗布が完了していないと判断した場合には（ステップＳ４のＮＯ）、使用する塗布ヘッド５を換えて（ステップＳ５）、処理をステップＳ１に戻す。例えば、赤色用の塗布ヘッド５を使用していた場合には、次に使用する塗布ヘッド５として緑色用の塗布ヘッド５を用い、緑色用の塗布ヘッド５を使用していた場合には、次に使用する塗布ヘッド５として青色用の塗布ヘッド５を用いる。

このようにして各色の塗布ヘッド５により塗布が行われ、すなわち、緑色用の塗布ヘッド５でも、その塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の緑色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われ、青色用の塗布ヘッド５でも、その塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の青色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われる。これにより、カラーフィルタ製造用の塗布が完了する。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、Ｘ軸方向への走査塗布動作を繰り返す度に吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定液滴吐出量値を基準として増減させることで変更し、塗布ヘッド５に各液滴を吐出させることによって、吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量が塗布ライン毎に異なり、塗布された塗布膜Ｍの厚さが塗布ライン毎に異なることになるので、吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量のバラツキに起因するスジムラＦ（図６参照）の発生を抑えることができる。したがって、スジムラＦの発生を防止するために全吐出孔Ｎの液滴吐出量をほぼ同じに、すなわち液滴吐出量のバラツキを±１％以内に調整することなく、スジムラＦの発生を容易にかつ確実に抑えることができる。

なお、第１の実施の形態では、走査塗布動作毎に吐出孔Ｎからの液滴吐出量を変更するものとしたが、走査塗布動作毎に加え、走査塗布動作中において吐出を１回行う毎、あるいは、複数回行う毎に液滴吐出量を変更するようにしても良い。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図７ないし図１２を参照して説明する。

本発明の第２の実施の形態は第１の実施の形態の変形例である。したがって、特に、第１の実施の形態と異なる部分、すなわち塗布動作（塗布処理）について説明する。なお、第２の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同じ部分の説明を省略する。

図７に示すように、制御部７は、塗布情報（吐出孔Ｎ毎の塗布区画Ｈに対する液滴の目標着弾位置Ｔに関する位置情報も含む）に基づいて塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布、すなわち画素毎に画素内における液滴着弾位置Ｔ（図８参照）を変えながらＸ軸方向への塗布を行う（ステップＳ１１）。次いで、制御部７は、Ｘ軸方向への塗布が所定回数行われたか否かを判断し（ステップＳ１２）、その塗布が所定回数行われていないと判断した場合には（ステップＳ１２のＮＯ）、処理をステップＳ１１に戻す。これにより、例えば最初に赤色用の塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、その塗布ヘッド５による液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の赤色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われる。このとき、吐出孔Ｎ毎の塗布区画Ｈに対する液滴着弾位置Ｔは、吐出を行う度に、前回の液滴着弾位置Ｔと異なるように変更される。

ここで、液滴着弾位置Ｔの変更を行う場合には、制御部７が吐出孔Ｎ毎に前回の液滴着弾位置Ｔと異なる着弾位置に次回の液滴着弾位置Ｔを設定する。すなわち、制御部７は、吐出動作を行う度に、吐出孔Ｎ毎の塗布区画Ｈに対する液滴着弾位置Ｔを前回の液滴着弾位置Ｔと異なるように変更して塗布ヘッド５に複数の液滴を吐出させる。なお、液滴着弾位置Ｔの変更は、予め設定され記憶部に記憶されている画素毎の設定着弾位置を用いて行われてもよいし、あるいは、画素の中心位置を基準として、これに対して許容される範囲の所定量をランダムに加算又は減算して行われても良い。この液滴着弾位置Ｔの変更は、例えば、１本の塗布ラインにおいて画素毎の液滴着弾位置Ｔが全て異なるように行われる。

このように、各吐出孔Ｎの画素内における液滴着弾位置Ｔが吐出動作毎に変更されると、図８に示すように、１列目の赤色の塗布ラインにおいて、１行目の液滴着弾位置Ｔ、２行目の液滴着弾位置Ｔ及び３行目の液滴着弾位置Ｔのように各行目の液滴着弾位置Ｔが全て異なる。同様に、４列目の赤色の塗布ライン及び７列目の赤色の塗布ラインにおいても、１行目の液滴着弾位置Ｔ、２行目の液滴着弾位置Ｔ及び３行目の液滴着弾位置Ｔのように各行目の液滴着弾位置Ｔが全て異なる。

ここで、図９に示すように、塗布ヘッド５が一滴の液滴により一つの塗布膜Ｍを形成する場合であって、液滴着弾位置Ｔが塗布区画Ｈの中央に設定されている場合には、吐出された液滴Ｅ１がその設定された液滴着弾位置（設定着弾位置）Ｔに着弾すると、その液滴Ｅ１は徐々に広がり、塗布区画Ｈ、すなわち凹部内で塗布膜Ｍ１となる。この塗布膜Ｍ１の断面形状（厚さ方向の断面形状）は、図１０に示すように、液滴Ｅ１が着弾した液滴着弾位置Ｔ上が最も厚くなるような形状となる。

また、図１１に示すように、液滴着弾位置Ｔが塗布区画Ｈの中央より上側に設定されている場合にも、吐出された液滴Ｅ１がその設定された液滴着弾位置Ｔに着弾すると、その液滴Ｅ１は徐々に広がり、塗布区画Ｈ、すなわち凹部内で塗布膜Ｍ１となる。この塗布膜Ｍ１の断面形状（厚さ方向の断面形状）も、図１２に示すように、液滴Ｅ１が着弾した液滴着弾位置Ｔ上が最も厚くなるような形状となる。図１２に示す塗布膜Ｍ１の断面形状は、図１０に示す塗布膜Ｍ１の断面形状と異なっている。したがって、液滴着弾位置Ｔが変わると、形成される塗布膜Ｍ１の断面形状は異なることになる。

このように各列の赤色の塗布ラインにおいて、画素毎に各液滴着弾位置Ｔが同じにならず（図８参照）、画素毎の塗布膜Ｍ１の断面形状（塗布形状）が異なるので、隣り合う複数の塗布ラインにおける画素毎の塗布膜Ｍ１の断面形状がほぼ同じである場合に生じるスジムラが視認されることはなくなる。したがって、画素毎に画素内における液滴着弾位置Ｔを変更することによって、スジムラの発生を確実に抑えることができる。その結果、カラーフィルタを有する表示パネルの品質を向上させることができる。

詳述すると、全ての塗布区画Ｈに対する液滴着弾位置Ｔが同じ位置、例えば塗布区画Ｈの中央に設定されていた場合、いずれかの吐出孔Ｎから吐出方向に経時変化等に起因する傾きが生じ着弾位置ズレが発生していたとすると、その吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの塗布膜Ｍ１の断面形状は他の吐出孔Ｎによって形成された塗布膜Ｍ１の断面形状とは異なるものとなる。塗布膜Ｍ１の断面形状が異なると着色層に濃淡の差が生じるから、着弾位置ズレが発生している吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの塗布膜Ｍ１は他の吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの塗布膜Ｍ１と比べて濃淡の差が生じる。第１の実施の形態と同様に、同じ吐出孔Ｎで３つの塗布ラインを連続して形成すると、濃淡の差が強調される結果、濃淡の差がスジムラとして視認されてしまう。

一方、塗布区画Ｈ毎に液滴着弾位置Ｔを変更すると、着弾位置ズレが発生している吐出孔Ｎがあったとしても、他の吐出孔Ｎによって形成された塗布膜Ｍ１と断面形状が異なる塗布膜Ｍ１が連続して並ぶということが抑制され、塗布膜Ｍ１の断面形状の違いによる着色層の濃淡の差が視認され難くなるので、スジムラＦの発生を抑えることができるのである。

図７に戻り、制御部７は、全色の塗布が完了したか否かを判断し（ステップＳ１３）、その全色の塗布が完了していないと判断した場合には（ステップＳ１３のＮＯ）、使用する塗布ヘッド５を換えて（ステップＳ１４）、処理をステップＳ１に戻す。例えば、赤色用の塗布ヘッド５を使用していた場合には、次に使用する塗布ヘッド５として緑色用の塗布ヘッド５を用い、緑色用の塗布ヘッド５を使用していた場合には、次に使用する塗布ヘッド５として青色用の塗布ヘッド５を用いる。

このようにして各色の塗布ヘッド５により塗布が行われ、すなわち、緑色用の塗布ヘッド５でも、その塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の緑色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われ、青色用の塗布ヘッド５でも、その塗布ヘッド５によるＸ軸方向への塗布が所定回数繰り返され、液滴塗布が基板Ｋの塗布面Ｋａ上の青色用の塗布区画Ｈ全てにわたって行われる。これにより、カラーフィルタ製造用の塗布が完了する。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、塗布区画Ｈ毎に塗布区画Ｈにおける液滴着弾位置Ｔを隣接する塗布区画Ｈと異なるように変更し、塗布ヘッド５に各液滴を吐出させることによって、液滴着弾位置Ｔが画素毎に異なり、塗布された塗布膜Ｍの塗布形状（例えば断面形状）が画素毎に異なることになるので、画素毎に塗布膜Ｍの塗布形状がほぼ同じことに起因するスジムラの発生を抑えることができる。したがって、スジムラの発生を防止するために全吐出孔Ｎの液滴吐出量をほぼ同じに、すなわち液滴吐出量のバラツキを±１％以内に調整することなく、スジムラの発生を容易にかつ確実に抑えることができる。

ここで、走査塗布動作は、塗布区画Ｈにおける液滴着弾位置Ｔが複数の塗布区画Ｈ全てで同じになるように複数の塗布区画Ｈ毎に設定された複数の設定着弾位置を基準とし、複数の塗布区画Ｈ毎に塗布区画Ｈにおける液滴着弾位置Ｔを隣接する塗布区画Ｔと異なるように変更して行われたり、あるいは、塗布区画Ｈにおける液滴着弾位置Ｔが隣接する塗布区画Ｈと異なるように複数の塗布区画Ｈ毎に設定された複数の設定着弾位置に基づいて行われたりする。

なお、図１３に示すように、塗布ヘッド５が複数滴の液滴により一つの塗布膜Ｍ２を形成する場合であって、液滴着弾位置Ｔが塗布区画Ｈの中央とその中央から所定ピッチＰ１で上側及び下側に設定されている場合には、吐出された各液滴Ｅ１がそれぞれ設定された各液滴着弾位置Ｔに着弾すると、それらの液滴Ｅ１は徐々に広がって１つになり、塗布区画Ｈ、すなわち凹部内で塗布膜Ｍ２となる。この塗布膜Ｍ２の断面形状（厚さ方向の断面形状）は、図１４に示すように、液滴Ｅ１が着弾した各液滴着弾位置Ｔが同じぐらいの厚さになるような形状となる。なお、図１３に示す上側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間、及び下側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間には、マージンＬ１が設定されている。

また、図１５に示すように、液滴着弾位置Ｔが塗布区画Ｈの中央とその中央から所定ピッチＰ２で上側及び下側に設定されている場合でも、吐出された各液滴Ｅ１がそれぞれ設定された各液滴着弾位置Ｔに着弾すると、それらの液滴Ｅ１は徐々に広がって１つになり、塗布区画Ｈ、すなわち凹部内で塗布膜Ｍ２となる。この塗布膜Ｍ２の断面形状（厚さ方向の断面形状）も、図１６に示すように、液滴Ｅ１が着弾した各液滴着弾位置Ｔが同じぐらいの厚さになるような形状となる。なお、図１５に示す上側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間、及び下側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間には、マージンＬ２が設定されている。

このように、図１６に示す塗布膜Ｍ２の断面形状は、図１４に示す塗布膜Ｍ２の断面形状と異なっている。したがって、複数滴により一つの塗布膜Ｍ２を生成する場合でも、液滴着弾位置Ｔが変わると、形成される塗布膜Ｍ１の断面形状は異なることになる。なお、液滴着弾位置Ｔの変更は、中心位置の変更やピッチＰ１、Ｐ２の変更（ピッチＰ１、Ｐ２を不等ピッチとすることも含む）、マージンＬ１、Ｌ２の変更等により行われる。

以上のように、塗布ヘッド５が複数滴の液滴により一つの塗布膜Ｍ２を形成する場合でも、各列の赤色の塗布ラインにおいて、画素毎に各液滴着弾位置Ｔが同じにならず、画素毎の塗布膜Ｍ１の断面形状（塗布形状）が異なるので、塗布ラインにおける画素毎の塗布膜Ｍ１の断面形状がほぼ同じである場合に生じるスジムラが視認されることがなくなる。したがって、画素毎に液滴着弾位置Ｔを変更することによって、スジムラの発生を確実に抑えることができる。その結果、カラーフィルタを有する表示パネルの品質を向上させることができる。

なお、前述のように、行列状に配列された長方形の画素（塗布区画Ｈ）に対し、走査塗布方向を長方形の長手方向に設定し、液滴着弾位置Ｔを走査塗布方向にずらす例を説明しているが、これに限るものではなく、走査塗布方向に対して直交する方向（長方形の短手方向）へも、液滴着弾位置Ｔをずらすようにしてもよく、また、それらのずらし方向を組み合わせるようにしてもよい。

図１７に示すように、塗布ヘッド５が複数滴の液滴Ｅ３により一つの塗布膜Ｍ３を形成する場合、液滴着弾位置Ｔが塗布区画Ｈの走査塗布方向に直交する方向における中央を通る直線上に等ピッチＰ３で設定されると、塗布膜Ｍ３の短手方向の断面形状は、図１８に示すように、中央付近が最も高くなるような形状となる。なお、図１７に示す上側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間、及び下側の液滴着弾位置Ｔと塗布区画Ｈとの間には、マージンＬ３が設定される。

また、図１９に示すように、液滴着弾位置Ｔが図１７に示す各液滴着弾位置Ｔをそれぞれ左方向へ所定距離だけずらして設定されると、塗布膜Ｍ３の短手方向の断面形状は、図２０に示すように、左付近が最も高くなるような形状となる。

加えて、図２１に示すように、液滴着弾位置Ｔが図１７に示す各液滴着弾位置Ｔをそれぞれ右方向へ所定距離だけずらして設定されると、塗布膜Ｍ３の短手方向の断面形状は、図２２に示すように、右付近が最も高くなるような形状となる。

このように、図１８に示す塗布膜Ｍ３の断面形状、図２０に示す塗布膜Ｍ３の断面形状及び図２２に示す塗布膜Ｍ３の断面形状はそれぞれ異なることになる。したがって、複数滴により一つの塗布膜Ｍ３を生成する場合でも、各液滴着弾位置Ｔが変わると、形成される塗布膜Ｍ３の断面形状は異なるので、前述と同様の作用効果を得ることができる。

ここで、塗布動作に関しては、第２の実施の形態のように、走査塗布方向で液滴着弾位置Ｔを順次変えるようにしてもよく、あるいは、第１の実施の形態のように、走査塗布動作１回毎に液滴着弾位置Ｔを切り替るようにしてもよい。この場合、１回目の走査塗布動作では、図１７に示す液滴着弾位置Ｔが設定され、２回目の走査塗布動作では、図１９に示す液滴着弾位置Ｔが設定され、３回目の走査塗布動作では、図２１に示す液滴着弾位置Ｔが設定され、４回目の走査塗布動作で、また図１７に示す液滴着弾位置Ｔが設定され、後はこれが繰り返される。

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

前述の第１の実施の形態においては、Ｘ軸方向への走査塗布動作を繰り返す度に吐出孔Ｎ毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定液滴吐出量値を基準として増減させる例を、吐出孔Ｎ間の液滴吐出量にバラツキが生じている場合に適用したもので説明したが、第２の実施の形態のように、いずれかの吐出孔Ｎに液滴の吐出方向に傾きが生じ着弾位置ズレが発生していた場合に適用するようにしてもよい。この場合にも、走査塗布動作毎に塗布膜の断面形状が異なることによる濃淡の差が生じるから、これにより、スジムラＦの発生を抑えることができる。反対に、第２の実施の形態を、第１の実施形態のような、吐出孔Ｎ間の液滴吐出量にバラツキが生じている場合に適用してもよい。この場合にも、走査塗布動作毎、或いは、画素毎に塗布膜の厚さが異なることになるので、スジムラＦの発生を抑えることができる。

また、前述の実施の形態においては、塗布ヘッド５に対して基板Ｋを移動させるようにしているが、これに限るものではなく、基板Ｋに対して塗布ヘッド５を移動させるようにしてもよく、要は、塗布ヘッド５と基板Ｋとを相対移動させるようにすればよい。

また、前述の実施の形態においては、カラーフィルタ製造用に液滴塗布装置１を用いているが、これに限るものではなく、カラーフィルタ製造用以外に液滴塗布装置１を用いるようにしてもよい。

さらに、前述の実施の形態においては、塗布区画Ｈを矩形状としているが、これに限るものではなく、例えば、矩形以外の多角形や楕円形などにしてもよい。

最後に、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。

１ 液滴塗布装置
４ 移動機構（Ｘ軸移動機構）
５ 塗布ヘッド
Ｈ 塗布区画
Ｋ 塗布対象物（基板）
Ｎ 吐出孔

Claims (8)

1. 塗布面を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、
   前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布面に沿う方向に相対移動させる移動機構と、
   前記塗布ヘッド及び前記移動機構に対し、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布面に沿う一方向に相対移動させ、前記複数の吐出孔毎に設定されて前記吐出孔からの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返させる手段と、
   前記走査塗布動作を一回行う度に、前記複数の吐出孔毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する前記設定値を基準として増加又は減少させて変更する手段と、
   を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
2. 複数の塗布区画を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、
   前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、
   前記塗布ヘッド及び前記移動機構に対し、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させ、前記塗布区画における液滴着弾位置が前記複数の塗布区画全てで同じになるように前記複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置を基準とし、前記複数の塗布区画毎に前記塗布区画における前記液滴着弾位置を隣接する前記塗布区画と異なるように変更し、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上の前記複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行させる手段と、
   を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
3. 前記手段は、前記設定着弾位置として前記塗布区画の中心位置を基準とし、前記塗布区画の中心位置に対して前記走査方向に所定範囲内で、前記塗布区画における前記液滴の着弾位置を隣接する前記塗布区画と異なるように変更することを特徴とする請求項２記載の液滴塗布装置。
4. 複数の塗布区画を有する塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドと、
   前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、
   前記塗布ヘッド及び前記移動機構に対し、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させ、前記塗布区画における液滴着弾位置が隣接する前記塗布区画と異なるように前記複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置に基づいて、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上の前記複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行させる手段と、
   を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
5. 塗布面を有する塗布対象物と前記塗布対象物の塗布面に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを前記塗布面に沿う一方向に相対移動させ、前記複数の吐出孔毎に設定されて前記吐出孔からの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返す工程と、
   前記繰り返す工程において、前記走査塗布動作を一回行う度に、前記複数の吐出孔毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する前記設定値を基準として増加又は減少させて変更する工程と、
   を有することを特徴とする液滴塗布方法。
6. 複数の塗布区画を有する塗布対象物と前記塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを相対移動させ、前記塗布区画における前記液滴着弾位置が前記複数の塗布区画全てで同じになるように前記複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置を基準とし、前記複数の塗布区画毎に前記塗布区画における前記液滴着弾位置を隣接する前記塗布区画と異なるように変更し、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上に着弾させる走査塗布動作を実行することを特徴とする液滴塗布方法。
7. 前記設定着弾位置として前記塗布区画の中心位置を基準とし、前記塗布区画の中心位置に対して前記走査方向に所定範囲内で、前記塗布区画における前記液滴の着弾位置を隣接する前記塗布区画と異なるように変更することを特徴とする請求項６記載の液滴塗布方法。
8. 複数の塗布区画を有する塗布対象物と前記塗布対象物に向けて塗布液を複数の吐出孔からそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッドとを相対移動させ、前記塗布区画における前記液滴着弾位置が隣接する前記塗布区画と異なるように前記複数の塗布区画毎に設定された複数の設定着弾位置に基づいて、前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させて前記塗布対象物上の前記複数の塗布区画に着弾させる走査塗布動作を実行することを特徴とする液滴塗布方法。

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