KR20070034813A - 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

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KR20070034813A
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정재훈
김남덕
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 표시장치용 기판을 수용하는 중앙부와, 상기 중앙부에 형성되어 있는 자석부재와, 상기 중앙부에 수용된 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 상기 자석부재와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재와, 상기 중앙부의 둘레에 형성되어 있으며 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부를 포함하는 안착부재와; 상기 안착부재와 연결되어 있으며, 상기 중앙부가 하부를 향하도록 상기 안착부재를 반전회동시키는 회동부재를 포함한다. 이에 의해 표시장치용 기판의 제조과정에서 표시장치용 기판의 처짐을 감소시킬 수 있다.

Description

표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE SUBSTRATE}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 평면도,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도,
도 3a내지 도3d는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 이용한 표시장치용 기판의 제조과정을 순차적으로 나타낸 단면도, 및
도4는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1, 2 : 표시장치용 기판의 제조장치 100, 101 : 안착부재
110 : 베이스부 111 : 중앙부
112, 113 : 지지벽 120 : 제1고정부
121 : 제1몸체부 122 : 제1고정핀
124 : 제1고정홈 130 : 제2고정부
131 : 제2몸체부 132 : 제2고정핀
134 : 제2고정홈 140, 150 : 이동수단
180 : 자석부재 190 : 새도우 마스크
200 : 회동부재 210 : 회동축
220 : 회동몸체부 300 : 소스안착부
400 : 소스 500 : 표시장치용 기판
본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조과정에 있어서 표시장치용 기판의 처짐을 방지하는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
표시장치에는 액정표시장치(LCD), 플라즈마표시장치(PDP) 등이 있으며 최근에는 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여 OLED(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다. OLED는 표시장치용 기판의 각 화소 영역별로 세가지 색상을 발하는 유기물질로 이루어진 발광층의 자발광에 의해 구동되는 디스플레이장치로서, 구동방식에 따라 수동형(passive matrix)과 능동형(active matrix)으로 나누어지며, 유기층인 정공주입층(HIL) 및 발광층(EML) 등의 분자량에 따라 저분자OLED와 고분자 OLED로 나누어진다. 이중 저분자OLED의 유기층은 제조중인 표시장치용 기판에 증착이 요구되는 물질인 소스를 열을 가함으로써 증발을 통해 기화 시킨 후 온도가 낮은 표시장치용 기판에 닿으면서 상변화에 의한 고상의 유기층을 형성시키는 열 증발(thermal evaporation)법에 의해 형성시킨다. 열 증발법에 의해 유기층을 용이하게 형성시키기 위해서는 표시장치용 기판 의 증착이 요구되는 부분이 소스의 상부에서 아래를 향하도록 반전 회동을 하여야 한다. 그러나 최근 표시장치용 기판이 대형화 됨에 따라 기판의 둘레를 고정하더라도 중앙부분은 아래로 휘어짐에 따라 표시장치용 기판의 전면에 걸쳐서 유기층이 균일하게 증착 되지 않아 표시장치용 기판의 제조불량이 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 표시장치용 기판의 제조과정에서 표시장치용 기판의 처짐을 감소시킬 수 있는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 표시장치용 기판을 수용하는 중앙부와, 상기 중앙부에 형성되어 있는 자석부재와, 상기 중앙부에 수용된 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 상기 자석부재와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재와, 상기 중앙부의 둘레에 형성되어 있으며 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부를 포함하는 안착부재와; 상기 안착부재와 연결되어 있으며, 상기 중앙부가 하부를 향하도록 상기 안착부재를 반전회동시키는 회동부재를 포함하는 표시장치용 기판의 제조장치에 의해 달성된다.
상기 고정부는 상기 중앙부를 향해 돌출 형성되어 있는 것이 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 안착부재는 상기 고정부를 고정위치와 고정해제 위치사이를 이동시키는 이동수단을 더 포함하는 것이 표시장치용 기판 및 새도우 마스크의 안착 및 탈착의 편의를 위해 바람직하다.
상기 고정부는 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정된 상태가 되도록 상기 표시장치용 기판의 둘레를 수용하는 고정홈인 것이 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 중앙부는 가장자리로부터 가운데 부분으로 갈수록 깊이가 완만하게 깊어지는 것을 특징으로 하며, 상기 중앙부는 가운데 부분이 가장자리보다 0.05mm 내지 2mm 더 깊은 것이 바람직하다.
상기 안착부재는 상기 기판지지부재를 고정 지지하는 추가의 고정부를 더 포함하는 것이 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 자석부재는 표시장치용 기판의 처짐 감소와 기판지지부재의 탈착 및 부착의 편의상 자력이 2만 가우스 내지 7만 가우스인 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 표시장치용 기판을 수용하는 중앙부와, 상기 중앙부에 형성되어 있는 자석부재와, 상기 중앙부의 둘레에 형성되어 있으며 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부를 포함하는 안착부재를 마련하는 단계와; 상기 표시장치용 기판의 가운데 부분이 하부로 휘도록 상기 표시장치용 기판의 단부에 긴장력을 인가하여 상기 표시장치용 기판을 안착부재에 안착 고정시키는 단계와; 상기 표시장치용 기판의 상부에 상기 자석부재와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재를 안착 고정시키는 단계와; 상기 표시장치용 기판에 긴장력이 인가된 상태에서 상기 표시장치용 기판을 반전회동시키는 단계와; 상기 표시장치용 기판에 증착이 요구되는 물질 을 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법에 의해서도 달성된다.
상기 중앙부는 일정한 곡률 반경을 가지며, 상기 표시장치용 기판은 상기 중앙부의 곡률반경과 동일한 곡률 반경을 가지도록 상기 안착부재에 안착 고정되는 것이 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 기판지지부재는 곡률 반경이 상기 표시장치용 기판의 곡률 반경과 동일하거나 작도록 상기 표시장치용 기판의 상부에 안착 고정되는 것이 또한 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 증착은 상기 표시장치용 기판이평평한 상태에서 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 증착은 상기 기판지지부재가 휨 유지된 상태 또는 평평한 상태에서 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 증착은 상기 기판지지부재와 상기 자석부재 사이에 작용하는 인력에 의해 상기 기판지지부재가 상기 표시장치용 기판을 지지하고 있는 상태에서 이루어지는 것이 표시장치용 기판의 처짐 감소를 위해 바람직하다.
상기 증착은 열 증발(thermal evaporation)법에 의해서 이루어지는 것을 특징으로 하며, 멀티 소스를 사용하여 이루어지는 것이 균일한 증착을 위해 바람직하다.
상기 기판지지부재는 새도우 마스크인 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다. 설명에 앞서 본 발명의 실시예에서 설명되는 표시장치용 기판은 OLED용 기판임을 미리 밝혀 둔다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 도1 및 도2를 참조하여 설명한다. 도 1및 도2는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 평면도 및 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)는 안착부재(100)와 회동부재(200)를 포함한다.
안착부재(100)는 베이스부(110)에 형성되어 있는 중앙부(111), 지지벽(112)에 형성되어 있는 고정부(120, 130), 고정부(120, 130)를 이동시키는 이동수단(140, 150), 중앙부(111)에 고정 형성되어 있는 자석부재(180) 및 자석부재(180)에 인력이 작용하는 물질로 이루어져 있으며 분리가 가능한 기판지지부재인 새도우 마스크(190)를 포함한다.
중앙부(111)는 표시장치용 기판(500)을 수용하며, 평평하게 형성될 수도 있으나 본 실시예에서는 표시장치용 기판(500)의 휨 응력 발생을 용이하게 하기 위해 베이스부(110) 상에서 가장자리로부터 가운데 부분으로 갈수록 깊이가 완만하게 깊어지도록 형성되어 있다. 중앙부(111) 상에 표시장치용 기판(500)을 수용하면 표시장치용 기판(500)이 중앙부(111)의 형상에 맞추어 아래로 휘어지게 된다. 중앙부 (111)는 가운데 부분이 가장자리보다 0.05mm 내지 2mm 더 깊으며 이에 따라 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분도 가장자리에 비해 0.05mm 내지 2mm정도 휘게 된다. 즉, 중앙부(111)가 일정한 곡률 반경을 가지며, 표시장치용 기판(500)도 중앙부(111)의 곡률 반경과 동일한 곡률 반경을 가지게 된다.
중앙부(111)의 가장자리에는 상부로 연장된 지지벽(112)이 형성되어 있으며, 표시장치용 기판(500)이 중앙부(111)에 수용된 후 안착 부재(100)와의 밀착 고정을 유지하기 위하여 지지벽(112)의 네벽 중 마주하는 폭이 좁은 단벽을 관통하여 한쌍의 제1고정부(120)가 형성되어 있다.
제1고정부(120)는 복수개의 제1고정핀(122)과 제1몸체부(121)를 포함한다.
제1고정핀(122)은 후술할 이동수단(140)에 의해 고정위치로 이동하여 표시장치용 기판(500)의 상면의 가장자리와 접하게 되면서 긴장력을 인가하여 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 중앙부(111)의 형상에 맞추어 아래로 휘어진 상태로 밀착 고정된 채 유지되도록 한다.
제1몸체부(121)는 한쌍으로 마련되어 있으며 복수개의 제1고정핀(122)이 각각 연결되어 있다. 제1몸체부(121)는 이동수단(140)에 의한 전진 및 후진 운동을 제1고정핀(122)에 전달하여 제1고정핀(122)이 고정위치와 고정해제 위치 사이를 이동할 수 있게 한다. 이동수단(140)은 공지의 수단인 모터 등으로 마련되며 별도의 제1고정부(120)의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(미도시)를 포함할 수도 있다.
중앙부(111)에는 중앙부(111)의 형상에 대응하는 자석부재(180)가 베이스부(110)와 밀착 형성되어 있다. 따라서 실제적으로 표시장치용 기판(500)은 자석부재 (180)와 밀착되게 된다. 자석부재(180)의 자력은 이에 한정되는 것은 아니라 기판지지부재인 새도우(shadow) 마스크(190)와의 사이에 작용하는 인력을 고려하여 2만 가우스 내지 7만 가우스이며, 영구자석 또는 전자석으로 마련될 수 있다. 전자석으로 이루어지는 경우에는 자석부재(180)는 자력을 발생시키기 위해 전류를 공급하는 별도의 전류공급부(미도시)를 포함한다.
자석부재(180)와 밀착되는 표시장치용 기판(500)을 사이에 두고 자석부재(180)의 자력에 의해 인력이 작용하는 물질인 크롬 합금강이나 니켈 합금강 등으로 이루어진 기판지지부재인 새도우 마스크(190)가 형성되어 있다. 새도우 마스크(190)에는 증착홈(미도시)이 형성되어 열 증발(thermal evaporation)법에 의해 소스로부터 기화된 증착이 요구되는 물질이 증착홈(미도시)을 통과하여 표시장치용 기판(500)의 증착이 요구되는 부분에 증착되도록 한다. 또한 새도우 마스크는 열 증발(thermal evaporation)법에 의한 증착을 위해 안착부재(100)를 반전회동시키는 경우에 자석부재(180)와의 사이에 작용하는 인력에 의해 중력에 의해 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 아래로 처지는 것을 방지하기 위해 표시장치용 기판(500)을 지지하게 된다. 따라서 제1고정부(120)와 함께 표시장치용 기판(400)을 고정 지지하여 표시장치용 기판(500)의 처짐을 감소시키게 된다.
새도우 마스크(190)도 표시장치용 기판(500)의 상부에서 가운데 부분이 아래로 휘어져 있으며, 그 가장자리는 제1고정부(120)에 안착된 후 제2고정부(130)에 의해 고정 지지되게 된다. 제2고정부(130)도 제1고정부(120)와 마찬가지로 새도우 마스크(190)을 고정위치에서 고정 지지하는 복수개의 제2고정핀(132)과, 복수개의 제2고정핀(132)을 연결하여 고정하는 한 쌍의 제2몸체부(131)를 포함한다. 제2고정부(130)도 제1고정부(120)의 이동수단(140)과 마찬가지의 이동수단(150)에 연결되어 있어 이동수단(150)의 작동에 의해 새도우 마스크(190)를 고정하는 고정위치와 고정해체 위치 사이를 이동하게 된다. 한편, 새도우 마스크(190)는 자석부재(180)의 자력에 의해 제2고정부(130)를 사용하지 않고 표시장치용 기판(500)의 상부에 고정 지지되게 구성하는 것도 가능하다.
기판지지부재인 새도우 마스크(190)는 곡률반경이 중앙부(111)에 안착된 표시장치용 기판(500)의 곡률반경보다 약간 작으나, 실질적으로 동일하다.
본 발명의 제1실시예에서 기판지지부재는 새도우 마스크(190)를 사용하여 증착과 지지기능을 동시에 수행하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 자석에 끌리는 물질로 된 지지수단 등을 사용하여 지지 기능만을 수행하도록 구성하여도 무방하며, 이 경우 증착 기능을 수행하기 위한 별도의 새도우 마스크가 제공될 수 도 있다.
안착부재(100)의 일측에는 회동부재(200)가 마련되어 있다.
회동부재(200)는 외부 동력원(미도시)에 연결되어 동력원(미도시)의 작동에 의해 회동하는 회동축(210)과, 회동축(210)을 감싸고 있으며 회동축(210)의 회동력을 안착부재(100)에 전달하여 안착부재(100)를 반전 회동시키는 회동몸체부(220)를 포함하고 있다.
회동부재(200)의 작동에 의해 표시장치용 기판(500)이 안착되어 고정 지지되고 있는 안착부재(100)가 180도 반전 회동하게 된다. 이에 따라 표시장치용 기판 (500)도 증착이 요구되는 상면이 아래를 향하도록 반전된다. 반전되기 전에 이미 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 아래로 휘어져 중앙부(111)에 밀착된 상태에서 제1고정부(120)에 의해고정 지지되고 있으며, 자석부재(180)와의 사이에 인력에 작용하는 새도우 마스크(190)에 의해서도 지지되고 있어 휨 응력이 작용하고 있게 된다. 이로 인해 반전이 되어 중력이 작용하더라도 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 실제적으로 평평한 상태로 유지되게 된다. 또한 새도우 마스크(190)도 제2고정부(130)에 의한 휨 응력과 자석부재(180)에 의한 인력에 의해 표시장치용 기판(500)과 마찬가지로 평평한 상태이거나 가운데 부분이 미세하게 위로 휘어진 상태를 유지하게 된다. 따라서 열증발법에 의해 유기물질을 표시장치용 기판(500)에 증착시키기 위해 표시장치용 기판(500)을 반전시킨 경우에도 표시장치용 기판(500)이 아래로 휘어지는 문제점을 감소시킬 수 있으며 표시장치용 기판과 새도우 마스크의 배열도 일치하게 되어 균일한 증착이 가능하게 된다.
회동부재(200)는 안착부재(100)를 반전회동 시킬 수 있다면 안착부재(100)의 일측이 아닌, 안착부재(100)의 단변 또는 장변의 양측에 연결되어 반전회동 가능해도 무방하다.
이하에서는 본 발명의 제 1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법을 도 3a 내지 도3d를 참조하여 설명한다. 도 3a내지 도3d는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 이용한 표시장치용 기판의 제조과정을 순차적으로 나타낸 단면도이다.
우선 유기층의 증착이 요구되는표시장치용 기판(500)을 수용하는 중앙부 (111)와, 중앙부(111)에 형성되어 있는 자석부재(180)와, 중앙부(111)의 둘레에 형성되어 있으며 표시장치용 기판(500)이 중앙부(111)에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부(120)를 포함하는 안착부재(100)를 마련한다.
그런 다음 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 하부로 휘도록 표시장치용 기판(500)의 단부에 긴장력을 인가하여 표시장치용 기판(500)을 안착부재(100)에 안착 고정시킨다.
이 과정을 자세히 살펴보면, 우선 도3a에서 보는 바와 같이, 제1고정부(120) 및 제2고정부(130)가 고정해제 위치에 있는 상태에서 안착부재(100)의 중앙부(111) 상에 마련된 자석부재(180)의 상부에 표시장치용 기판(500)을 안착시킨다. 표시장치용 기판(500)은 중앙부(111)에 수용되면서 가운데 부분이 아래로 휘어지며, 마찬가지로 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분이 중앙부(111)의 형상에 대응되게 아래로 휘어져 있는 자석부재(180)와 밀착되게 된다. 표시장치용 기판(500)의 가운데 부분은 가장자리보다 0.05mm 내지 2mm 아래로 휘어져 있으며, 가장자리는 중앙부(111)의 둘레의 지지벽(112)과 접하게 된다. 이때 중앙부(111)의 둘레의 지지벽(112)으로 둘러 쌓인 가상의 내부평면의 크기가 표시장치용 기판(500)의 크기보다 조금 작게 마련하면 크기 차이에 의해 중앙부(111)에 안착되는 표시장치용 기판(500)에 휨 응력을 용이하게 발생시킬 수 있어 증착을 위한 반전회동을 하는 경우 표시장치용 기판(500)의 처짐 감소에 더욱 효과적이게 된다.
이 후 도3b에서 보는 바와 같이, 이동수단(140)을 이용하여 제1고정부(120)를 중앙부(111)를 향해 이동시켜 고정위치에 오게 한다. 이에 따라 표시장치용 기 판(500)은 휨 상태를 유지한 채로 안착부재(100)에 견고하게 안착 고정 지지되게 된다.
이 후 또한 안착 과정에서는 도3c에서 보는 바와 같이 표시장치용 기판(500)의 상부에 자석부재(180)와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재인 증착홈(미도시)이 형성된 새도우 마스크(190)를 표시장치용 기판(500)의 상부에 안착시킨 후 이동수단(150)을 이용하여 제2고정부(120)를 중앙부(111)를 향해 이동시켜 고정위치에 오게 한다. 새도우 마스크(190)는 자석부재(180)와 인력이 작용하여 가운데 부분이 표시장치용 기판(500)과 접하게 되며, 가장자리는 고정위치에 있는 제1고정부(120)의 고정핀(122)의 상부에 위치하게 된다.
표시장치용 기판(500)의 안착이 끝나면 도 3d에서 보는 바와 같이 표시장치용 기판(500)이 휨 유지된 상태에서 표시장치용 기판(500)을 순차적으로 반전회동시키는 단계 및 표시장치용 기판(500)에 증착이 요구되는 물질을 증착시키는 단계를 거치게 된다.
먼저 표시장치용 기판(500)의 반전회동 과정을 살펴보면 안착부재(100)의 일측에 연결되어 있는 회동부재(200)의 회동축(210)이 외부 동력원(미도시)에 의해 회동하게 된다. 이에 따라 회동축(210)을 감싸고 있는 회동몸체부(220)에 회전력이 전달됨으로써 회동부재(200)가 소스안착부(200)의 상부로 안착부재(100)를 반전 회동시키게 된다. 이와 함께 표시장치용 기판(500)의 증착이 요구되는 상면도 반전되어 아래로 향하게 된다. 이 때 표시장치용 기판(500)의 중앙부는 휨 방향과 반대방향으로 중력이 작용하게 되지만 긴장력을 인가하는 제1고정부(120)에 의한 고정지 지력이 작용하며, 자석부재(180)와 새도우 마스크(190) 상호간의 인력에 의해 지지되어 실제적으로 평평한 상태를 유지할 수 있게 된다.
이 후 증착 과정을 거치게 되는데 이를 살펴보면 열증발법에 의해 소스 안착부(300)상에 위치하는 멀티 소스(400)로부터 증발되어 기화된 증착을 요하는 물질이 새도우 마스크(190)의 증착홈(미도시)을 통과하여 표시장치용 기판(500)의 증착을 요하는 특정부분에 증착되게 된다. 이때 표시장치용 기판(500)은실제적으로 평평하게 유지됨으로써 표시장치용 기판(500)이 아래로 처지는 문제점을 감소시킬 수 있다.
증착이 끝난 후 표시장치용 기판의 제조장치(1)로부터 표시장치용 기판(500)을 제거하는 단계는 상기의 단계를 역으로 수행하면 된다.
이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치에 대해 도4를 참조하여 설명한다. 도4는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(2)는 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)와 달리 안착부재(101)의 지지벽(113)에 형성된 고정부(120, 130)가 고정핀(122,132)과 몸체부(121,131)로 형성되는 것이 아니라 고정홈(124, 134)으로 형성되어 있다. 이에 따라 고정부(120, 130)의 이동이 필요가 없으므로 이동수단(140,150)을 별도로 마련하지 않아도 된다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(2)의 고정홈(124,134)에 의해서도 본 발명의 제1실시예에서와 같이 표시장치용 기판(500)과 새 도우 마스크(190)를 중앙부(111) 상에 휨 상태로 차례로 안착시켜 고정 지지할 수 있다. 고정홈(124, 134)은 지지벽(113)의 네벽 모두에 마련될 수도 있으며, 표시장치용 기판(500)의 마주하는 단변이 수용되는 마주하는 두벽에만 형성되어도 무방하다.
이때 지지벽(113)은 부드러운 재질로 마련됨으로써 압력에 의해 표시장치용 기판(500) 및 새도우 마스크(190)의 둘레를 각각의 고정홈(124, 134)에 수용하는 경우에 있어서 가장자리가 파손되지 않도록 하며, 증착이 끝난 후 표시장치용 기판(500) 및 새도우 마스크(190)를 용이하게 안착부재(101)로부터 분리할 수 있다.
따라서 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(2)에 의해서도 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이상의 실시예는 다양하게 변형 가능하다. 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서는 안착부재(100, 101)가 자석부재(180)와 새도우 마스크(190)를 포함하도록 마련되었으나 이를 포함하지 않고 구성할 수 도 있다. 즉 새도우 마스크(190)는 별도의 장치에 의해 표시장치용 기판(500) 상에 위치시켜도 무방하다. 한편 자석부재(180)와 새도우 마스크(190) 사이의 인력에 의한 처짐 방지 효과는 제1고정부(120)의 고정력 증대 및 표시장치용 기판(500)에 대한 함몰부(111)의 사이즈를 적절히 조절함으로써 함몰부(111)에 수용된 표시장치용 기판(500)에 휨 응력을 증대시켜 달성할 수도 있다.
한편 상기의 실시예에서는 표시장치용 기판(500)은 OLED용 기판으로 한정하 여 설명하였으나 이에 한정되는 것은 열 증발법에 의해 유기물질을 증착시키는 것이 가능한 액정표시장치용 기판등에서 적용 가능함은 물론이다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 표시장치용 기판의 제조과정에서 표시장치용 기판의 처짐을 감소시킬 수 있는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법이 제공된다.

Claims (18)

  1. 표시장치용 기판을 수용하는 중앙부와, 상기 중앙부에 형성되어 있는 자석부재와, 상기 중앙부에 수용된 상기 표시장치용 기판을 사이에 두고 상기 자석부재와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재와, 상기 중앙부의 둘레에 형성되어 있으며 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부를 포함하는 안착부재와;
    상기 안착부재와 연결되어 있으며, 상기 중앙부가 하부를 향하도록 상기 안착부재를 반전회동시키는 회동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 중앙부를 향해 돌출 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안착부재는 상기 고정부를 고정위치와 고정해제 위치사이를 이동시키는 이동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정된 상태가 되도록 상기 표시장치용 기판의 둘레를 수용하는 고정홈인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 중앙부는 가장자리로부터 가운데 부분으로 갈수록 깊이가 완만하게 깊어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 중앙부는 가운데 부분이 가장자리보다0.05mm 내지 2mm 더 깊은 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 안착부재는 상기 기판지지부재를 고정 지지하는 추가의 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지부재는 새도우 마스크인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 자석부재는 자력이 2만 가우스 내지 7만 가우스인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  10. 표시장치용 기판을 수용하는 중앙부와, 상기 중앙부에 형성되어 있는 자석부재와, 상기 중앙부의 둘레에 형성되어 있으며 상기 표시장치용 기판이 상기 중앙부에 밀착 고정되도록 긴장력을 인가하는 고정부를 포함하는 안착부재를 마련하는 단계와;
    상기 표시장치용 기판의 가운데 부분이 하부로 휘도록 상기 표시장치용 기판의 단부에 긴장력을 인가하여 상기 표시장치용 기판을 안착부재에 안착 고정시키는 단계와;
    상기 표시장치용 기판의 상부에 상기 자석부재와 인력이 작용하는 물질로 이루어진 기판지지부재를 안착 고정시키는 단계와;
    상기 표시장치용 기판에 긴장력이 인가된 상태에서 상기 표시장치용 기판을 반전회동시키는 단계와;
    상기 표시장치용 기판에 증착이 요구되는 물질을 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 중앙부는 일정한 곡률 반경을 가지며,
    상기 표시장치용 기판은 상기 중앙부의 곡률반경과 동일한 곡률 반경을 가지도록 상기 안착부재에 안착 고정되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판지지부재는 곡률반경이 상기 표시장치용 기판의 곡률 반경과 동일하거나 작도록 상기 표시장치용 기판의 상부에 안착 고정되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 증착은 상기 표시장치용 기판이 평평한 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 증착은 상기 기판지지부재가 휨 유지된 상태 또는 평평한 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 증착은 상기 기판지지부재와 상기 자석부재 사이에 작용하는 인력에 의 해 상기 기판지지부재가 상기 표시장치용 기판을 지지하고 있는 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 증착은 열 증발(thermal evaporation)법에 의해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 증착은 멀티 소스를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 기판지지부재는 새도우 마스크인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
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