KR20070027295A - 반도체 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 놓여지는 블레이드가 기울어진 경우 로봇 암에 위치한 감지기가 블레이드의 기울어짐 여부을 감지하여 제어기에 통보하여 제어하는 기술에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명의 반도체 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 놓여지는 블레이드를 포함하는 로봇 암 및 상기 로봇 암에 설치되며, 상기 블레이드가 기울어 졌는지 여부를 감지하는 블레이드 감지기를 구비한다. 본 발명에 따르면, 반도체 웨이퍼 이송 장치의 장시간 사용시 블레이드가 기울어진 경우에 감지기를 통하여 조기에 작업자가 발견할 수 있다. 그 결과, 블레이드가 미세하게 기울어진 경우 또는 조기에 발견하지 못하고 늦게 발견한 경우 발생할 수 있는 대형 사고등을 방지하여 수율을 향상 시킬 수 있다.

반도체 이송장치, 로봇 암, 감지기

Description

반도체 웨이퍼 이송장치{A Wafer Transfer Apparatus}

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 장치의 동작상태를 개략적으로 보여주는 도면이다.

도 2는 웨이퍼 탑재시 기울어진 블레이드의 정면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 블레이드 감지기를 구비하는 웨이퍼 이송 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.

도 4는 본 발명에 따른 블레이드 감지기를 구비하는 블레이드의 평면도이다

도 5는 본 발명에 따른 블레이드의 동작 상태를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 설명*

14: 블레이드 16: 감지기

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.

반도체 양산공정에서 단위공정을 진행하기 위해서는 각각의 공정 특성에 맞 는 복수의 설비들을 구비하게 되는데, 이들 각기 다른 설비에는 웨이퍼의 이송을 위한 웨이퍼 이송장치들을 구비한다.

반도체 설비의 인터페이스에서 이송장치는 로드락 챔버에서 웨이퍼 수납 부재 (예컨대, FOUP, 카세트)로 또는 웨이퍼 수납 부재에서 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송시키는 역할을 한다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 핸들러는 이송 로봇 전체의 어셈블리(ASSEMBLY)의 업/다운을 시켜주는 리드(LEAD)부위 및 웨이퍼를 들고 언로딩을 하는 블레이드와 이를 동작하게 구성하는 로테이션(ROTATION)/익스텐드(EXTEND),리트랙트(RETRACT)/상승, 하강(UP, DOWN)의 동작을 위한 기어 및 모터로 구성되어 있으며, 또한, 이를 각 스텝 움직임에 맞게 동작시키는 모터 구동부를 구비하고 있다. 이러한 핸들러의 블레이드에 의한 웨이퍼를 집어 넣을때(로딩 동작)는 블레이드를 캐리어로 삽입하여 웨이퍼를 슬롯에 끼우고 하강하므로서 웨이퍼가 슬롯에 놓여져 탑재하는 것이고, 웨이퍼를 캐리어로부터 꺼낼때(언로딩동작)는 블레이드를 캐리어로 삽입하여 슬롯에 탑재된 웨이퍼를 약간 들어올려 블레이드에 웨이퍼가 탑재되도록 하는 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 장치의 동작상태를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 이송장치(1)는 이송 로봇(10), 로봇 암(12), 및 블레이드(14)로 구성되어 있다. 상기 이송 로봇(10)은 캐리어(미도시)로 부터 웨이퍼(W)를 집어 넣거나 꺼낼 수 있도록 제어한다. 상기 로봇 암(12)이 상기 이송 로봇(10)의 제어에 의해 웨이퍼(W)를 상기 캐리어로 집어 넣거 나 꺼낼때, 상기 웨이퍼(W)는 상기 로봇 암(12)의 일측에 연결되어 있는 블레이드(14)에 놓여진다. 이때, 상기 이송 로봇(10)은 상기 웨이퍼(W)를 캐리어로 집어 넣을때 상기 로봇 암(12)을 캐리어 내로 삽입하여 상기 웨이퍼(W)를 슬롯에 끼우고 하강 하므로서 상기 웨이퍼(W)가 슬롯에 놓여져 탑재하고, 상기 이송 로봇(10)이 상기 웨이퍼(W)를 캐리어에서 꺼낼때 상기 로봇 암(12)을 캐리어로 삽입하여 슬롯에 탑재된 상기 웨이퍼(W)를 약간 들어올려 상기 로봇 암(12)에 상기 웨이퍼(W)가 탑재되도록 한다. 다음에, 상기 이송 로봇(10)은 상기 로봇 암(12)을 회전시켜 각 챔버(미도시)로 이동시킨다. 이 경우에, 상기 이송 로봇(10)은 세팅된 값에 의하여 캐리어의 해당 슬롯의 위치로 상기 로봇 암(12)을 이동하여 상기 웨이퍼(W)로 로딩하거나 언로딩하도록 하고 있다.

도 2는 웨이퍼 탑재시 기울어진 블레이드의 정면도이다.

도 1의 과정을 거친 웨이퍼 이송장치는 장시간 지속적으로 사용되는 이유로 블레이드가 미세하게 기울어진 경우 작업자가 조기에 발견하지 못하고 늦게 발견한 경우 대형 사고 등의 발생을 초래하는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기한 종래의 기술상의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 블레이드의 기울어짐 여부를 감지할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송 장치는 웨이 퍼가 놓여지는 블레이드를 포함하는 로봇 암 및 상기 로봇 암에 설치되며, 상기 블레이드가 기울어 졌는지 여부를 감지하는 블레이드 감지기를 구비한다.

본 발명에 따른 반도체 이송 장치는 상기 블레이드 감지기로부터 신호를 전송받아 상기 블레이드의 기울어짐을 제어하는 제어기를 더 포함한다.

본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송 장치는 상기 블레이드 감지기로 부터 상기 블레이드의 기울어짐을 통보 받은 경우, 알람을 발생하는 경보기를 더 포함한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 실시예들은 당업계의 평균적인 지식을 가진자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등을 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

여기서는 여러 종류의 반도체 이송 장치 중 웨이퍼를 놓여지는 블레이드를 예로 든다. 하지만, 본 발명의 범주는 반도체 기판을 이송하는 모든 장치를 포함할 수 있다. 또한, 본 발명에서 감지기에 구비되는 센서의 종류와 갯수, 그리고 센서의 배치 등의 단순한 변경은 본 발명의 영역에 포함된다.

도 3은 본 발명에 따른 블레이드 감지기를 구비하는 웨이퍼 이송 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송 장치(2)는 이송 로봇 (20), 로봇 암(22), 상기 로봇 암(22)의 일측에 연결된 블레이드(24), 감지기(26), 제어기(28), 및 경보기(30)로 구성되어 있다. 상기 이송 로봇(20)은 캐리어(미도시)로 부터 웨이퍼(W')를 집어 넣거나 꺼낼 수 있도록 제어한다. 상기 로봇 암(22)이 상기 이송 로봇(20)의 제어에 의해 웨이퍼(W)를 상기 캐리어로 집어 넣거나 꺼낼때, 상기 웨이퍼(W)는 상기 로봇 암(22)의 일측에 연결되어 있는 블레이드(24)에 놓여진다. 이때, 상기 이송 로봇(20)은 상기 웨이퍼(W)를 캐리어로 집어 넣을때 상기 로봇 암(22)을 캐리어 내로 삽입하여 상기 웨이퍼(W)를 슬롯에 끼우고 하강 하므로서 상기 웨이퍼(W)가 슬롯에 놓여져 탑재하고, 상기 이송 로봇(20)이 상기 웨이퍼(W)를 캐리어에서 꺼낼때 상기 로봇 암(22)을 캐리어로 삽입하여 슬롯에 탑재된 상기 웨이퍼(W)를 약간 들어올려 상기 로봇 암(22)에 상기 웨이퍼(W)가 탑재되도록 한다. 이러한 반도체 웨이퍼 이송 장치(2)는 장시간 지속적으로 사용되는 경우에는 상기 블레이드(24)가 미세하게 기울어지는 경우가 발생한다. 이때, 작업자가 미세한 기울어짐을 관리하기에는 어렵고, 조기에 발견하지 못하고 많은 시간이 경과한 후에 발견한 경우에는 대형 LOT 사고 등이 발생한다.

따라서, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송 장치는 상기 감지기(26)를 포함한다. 상기 감지기(26)는 상기 로봇 암(22)에 설치되며, 상기 블레이드(24)가 기울어 졌는지 여부를 감지한다. 또한, 상기 감지기(26)는 상기 제어기(28)과 연결되어 있어, 상기 블레이드(24)가 미세하게 기울어진 경우 이를 인식한다. 이 경우에, 상기 감지기(26)는 상기 블레이드(24)의 기울어짐 여부 및 기울어진 각도를 측정할 수 있다. 게다가, 상기 감지기(26)는 작업자에게 직접통지하거나 상기 제어기(28) 에게 통지할 수 있다. 상기 제어기(28)은 상기 감지기(26)로 부터 상기 블레이드(24)의 기울어짐을 통지 받으면 자체적으로 상기 블레이드(24)의 기울기를 제어한다. 이 경우에, 상기 블레이드(24)가 너무 많이 기울어져 큰 사고를 발생할 경우에는 상기 제어기(28)은 직접 제어하지 않고, 다시 작업자에게 통보할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송 장치는 사전에 블레이드의 기울기를 조절하므로서 작업 손실을 방지할 수 있을뿐만 아니라, 조기에 발견하므로서 대형 LOT 사고 예방도 가능하다.

상기 감지기(22)로 전자 레벨러가 사용될 수 있다. 전자 레벨러가 표시하는 신호 및 알람을 통해서 상기 블레이드(24)가 기울어짐을 모니터링 하므로서 작업자가 눈으로 쉽게 인식하여 작업관리가 용이하게 이루워질 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 블레이드 감지기 및 경보기를 구비하는 블레이드의 평면도이다.

도 4를 참조하면, 상기 블레이드 감지기(26)는 상기 로봇 암(22) 상에 위치하고 있고, 상기 경보기는 상기 블레이드 감지기(26)와 연결되어 있다. 하지만, 상기 블레이드 감지기(26) 및 경보기(30)의 위치는 이에 한정되지 않으며, 다양하게 위치할 수 있다.

도 5는 본 발명에 따른 블레이드의 동작 상태를 보여주는 도면이다.

도 5를 참조하면, 웨이퍼(W)기 놓여진 상기 블레이드(24)가 기울어진 경우, 상기 감지기(26) 및 상기 경보기를 통하여 상기 제어기(28)에 의해 상기 블레이드(24)의 기울어짐이 보정된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송장치는 로봇 암에 설치되며, 블레이드가 기울어 졌는지 여부를 감지하는 감지기와 이를 작업자에게 통보하는 경보기를 구비한다. 따라서, 반도체 웨이퍼 이송 장치의 장시간 사용시 블레이드의 티칭이 기울어진 경우에 감지기를 통하여 조기에 작업자가 발견할 수 있다. 그 결과, 블레이드의 티칭이 미세하게 기울어진 경우 또는 조기에 발견하지 못하고 늦게 발견한 경우 발생할 수 있는 대형 사고등을 방지하여 수율을 향상 시킬 수 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   웨이퍼가 놓여지는 블레이드를 포함하는 로봇 암,

   상기 로봇 암에 설치되며, 상기 블레이드가 기울어 졌는지 여부를 감지하는 블레이드 감지기를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 블레이드 감지기로부터 신호를 전송받아 상기 블레이드의 기울어짐을 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 블레이드 감지기로 부터 상기 블레이드의 기울어짐을 통지 받은 경우, 알람을 발생하는 경보기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송 장치.

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