KR20070022152A - 노광 장치 - Google Patents

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KR20070022152A
KR20070022152A KR1020077000904A KR20077000904A KR20070022152A KR 20070022152 A KR20070022152 A KR 20070022152A KR 1020077000904 A KR1020077000904 A KR 1020077000904A KR 20077000904 A KR20077000904 A KR 20077000904A KR 20070022152 A KR20070022152 A KR 20070022152A
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honeycomb
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다다히로 오미
기와무 다케히사
시로우 모리야마
šœ이치 사사키
마사타카 히로세
마모루 이시이
도모유키 스가야
마사코 가타오카
모토히로 우메즈
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고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠
가부시키가이샤 니혼 세라떽꾸
다이헤이요 세멘토 가부시키가이샤
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Abstract

비틀림 진동에 대하여 저항력 및 공진 주파수가 높은 스테이지 부재를 제공한다. 사각기둥 형상의 공극부를 구비하고, 당해 공극부를 구성하는 벽을 비틀림 변형의 방향에 대하여 수직이 되도록 배치한 허니컴 구조체를 갖는 스테이지 부재 및 당해 스테이지 부재를 포함한 노광 장치가 얻어진다. 스테이지 부재의 허니컴 구조체는 세라믹스에 의해 구성하는 것이 바람직하다.
노광 장치, 스테이지 부재, 허니컨 구조체, 비틀림 진동, 공진 주파수

Description

노광 장치{EXPOSURE EQUIPMENT}
기술분야
본 발명은 노광 장치에 관한 것이며, 특히, 액정 패널 제조용에 적합한 노광 장치 및 당해 노광 장치에 사용되는 스테이지 부재에 관한 것이다.
배경기술
액정 패널을 제조하기 위해서는 액정 표시 소자를 제어하기 위한 TFT 회로 패턴을 기판 상에 형성할 필요가 있다. 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위해, 회로 패턴을 갖는 마스크를 이용하여, 마스크 상의 패턴을 기판에 전사 노광하는 것이 행해진다. 그것을 위한 장치는 액정 패널용 노광 장치라 불리며, 통상, 마스크, 기판의 적어도 일방이 스테이지 부재에 의해 이동 가능하도록 유지되어 있다.
한편, 반도체 디바이스의 제조에 있어서 사용되는 반도체 디바이스용 노광 장치도 노광 원리, 기본 구조는 동일하다. 반도체 디바이스용 노광 장치에서는, 주위의 온도 변화에 의한 스테이지의 열 팽창이 노광되는 패턴에 악영향을 미친다. 이 때문에, 스테이지 부재의 재료에는 비교적 열 팽창 계수가 작은 것으로 되어 있는 세라믹스를 이용하는 경우가 많다. 또한, 반도체 디바이스용 노광 장치의 스테이지 부재에 관해서는, 예를 들어, 일본 공개특허공보 평11-223690호 (특허 문헌 1) 에 나타나고, 반도체 디바이스용 노광 장치의 스테이지 부재의 구성 재료로서 세라믹스를 이용하는 것은, 예를 들어, 일본 특허 제3260340호 (특허 문헌 2) 에 설명되어 있다.
반도체 디바이스용 노광 장치에 비해, 액정 패널용 노광 장치에서는, 마스크도 기판도 1 자리수 큰 사이즈가 된다. 그리고, 대형이고 튼튼한 스테이지를 실현하기 위해서는, 스테이지재인 세라믹스가 다량으로 사용된다.
그런데, 세라믹스를 다량으로 이용한 결과, 스테이지 중량이 수 톤에도 달하는 경우가 있어, 노광 장치 전체적으로는 20톤 전후에도 달한다. 또한, 중량이 큰 스테이지 부재가 이동하여 반전할 때에 생기는 큰 반력에 대하여 진동이 발생하지 않도록, 노광 장치의 설치 장소를 완강한 구조로 해야만 하였다.
또한, 액정 패널을 제조하는 클린 룸에 있어서, 액정 패널용 노광 장치가 설치되는 장소를 완강한 구조로 하면, 클린 룸의 건설비가 증대할 뿐만 아니라, 액정 패널용 노광 장치의 설치 장소가 고정되어, 생산성에 플렉서빌리티가 없고, 게다가 클린 룸의 설계 시점에서 액정 패널용 노광 장치의 도입 대수를 결정해 둘 필요도 생기는 등의 문제도 있었다.
이상에서 설명한 바와 같이, 종래의 액정 패널용 노광 장치의 스테이지 부재에 있어서는, 반도체 디바이스용 노광 장치의 스테이지로서 이용되어 온 세라믹스를 무구(無垢) 구조체, 즉 치밀체(緻密體)인 채 이용하고, 다량으로 이용함으로써, 장치 전체적으로 매우 무거워져, 여러가지 폐해를 일으켰다.
이것에 대하여, 스테이지 부재를 경량화하기 위해 스테이지의 박판화 등을 실시하면, 스테이지의 공진 주파수가 저하되기 때문에, 스테이지의 제어에 대한 응 답 주파수가 저하되어, 고속·고정밀도의 제어에 대응할 수 없게 된다.
또한, 본 발명자들은, 일본 특허출원 제2003-402458호 명세서 (특허 문헌 3) 에 있어서, 세라믹에 의해 구성된 허니컴 구조의 스테이지 부재를 제안하였다. 당해 스테이지 부재는 높은 공진 주파수를 가짐과 함께, 경량화를 실현할 수 있다.
특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 평11-223690호
특허 문헌 2: 일본 특허 제3260340호
특허 문헌 3: 일본 특허출원 제2003-402458호
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
특허 문헌 3 과 같이, 사각기둥 형상의 공극부를 갖는 허니컴 구조 세라믹스의 스테이지 부재는, 비틀림 진동에 대하여 낮은 공진 주파수를 나타내는 것이 판명되었다. 또한, 공극부를 구성하는 벽의 형상에 따라 비틀림 변형에 대한 저항력에 차이가 생기는 것도 판명되었다.
그래서, 본 발명의 과제는, 비틀림 변형에 대하여 높은 저항력을 나타내는 노광 장치용 및 당해 노광 장치에 사용되는 스테이지 부재를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 과제는, 비틀림 진동에 대해서도 높은 공진 주파수를 유지 할 수 있는 스테이지 부재를 제공하는 것이다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명의 일 양태에 의하면, 마스크 상의 패턴을 기판 상에 전사 노광하기 위해, 상기 마스크, 상기 기판의 적어도 일방을 세라믹스에 의한 스테이지 부재에 의해 이동시키면서 노광하는 노광 장치로서, 저열 팽창 세라믹스로 이루어지는 판 부재와, 저열 팽창 세라믹스로 이루어지고, 그 개구면에서 상기 판 부재와 접합되는 허니컴 구조체와, 상기 판 부재와 상기 허니컴 구조체를 접합하고, 상기 판 부재 및 상기 허니컴 구조체를 구성하는 저열 팽창 세라믹스보다 용융 온도가 낮은 저열 팽창 세라믹스로 이루어지는 접합부를 포함하고, 상기 허니컴 구조체의 공극부는 사각기둥 형상에 의해 구성되고, 공극부의 벽이 그 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치가 얻어진다.
이 경우, 상기 스테이지 부재는, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 상하에 세라믹스판을 접합한 구조를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 스테이지 부재의 총 질량이, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부를 세라믹스에 의해 폐색한 치밀체와 비교하여 1/4∼1/2 인 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 상기 판 부재 및 상기 허니컴 구조체를 구성하는 저열 팽창 세라믹스와 상기 접합부를 형성하는 저열 팽창 세라믹스는 각각, 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨, 코디어라이트에서 선택되는 1 종 이상의 제 1 재료와, 탄화규소, 질화규소, 사이알론, 알루미나, 지르코니아, 뮬라이트, 지르콘, 질화알루미늄, 규산칼슘, 탄화붕소에서 선택되는 1 종 이상의 제 2 재료를 복합하여 이루어지는 복합 재료로 이루어지고, 상기 복합 재료의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수가, -0.1×10-6∼0.1×10-6/℃ 의 범위이며, 밀도가 2.45∼ 2.55g/㎤ 이며, 영률이 130∼160㎬ 인 것을 특징으로 하는 노광 장치가 얻어진다.
이 경우, 상기 스테이지 부재는, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부가 기밀 밀봉되어 있는 구조를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
상기한 판 부재 및 상기 허니컴 구조체의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수와, 상기 접합부의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수의 차이는 ±0.1×1 0-6/℃ 의 범위내인 것이 바람직하다. 또한, 상기 스테이지 부재는, 바람직하게는, 상기 기밀 밀봉에 의한 외부와의 기체 압력차에 수반하는 응력차에 물리적으로 견디는 구성을 갖고 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 마스크 상의 패턴을 기판 상에 전사 노광하기 위해, 상기 마스크, 상기 기판의 적어도 일방을 세라믹스에 의한 스테이지 부재에 의해 이동시키면서 노광하는 액정 패널용 노광 장치로서, 상기 스테이지 부재를 구성하는 세라믹스가, 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨, 코디어라이트에서 선택되는 1 종 이상의 제 1 재료와, 탄화규소, 질화규소, 사이알론, 알루미나, 지르코니아, 뮬라이트, 지르콘, 질화알루미늄, 규산칼슘, 탄화붕소에서 선택되는 1 종 이상의 제 2 재료를 복합하여 이루어지는 복합 재료로 이루어지고, 또한, 상기 복합 재료의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수가, -1×10-6∼1×10-6/℃ 의 범위이며, 밀도가 2.45∼2.55g/㎤ 이며, 영률이 130∼160㎬ 인 것을 특징으로 하는 액정 패널용 노광 장치가 얻어진다.
이 경우, 상기 스테이지 부재가, 상기 복합 재료로 이루어지는 허니컴 구조 세라믹스체의 상하에 상기 복합 재료로 이루어지는 세라믹스판을 접합한 구조를 구비하고 있는 것이 바람직하고, 또한, 상기 스테이지 부재의 총 질량은, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부를 상기 복합 재료에 의해 폐색한 치밀체와 비교하여 1/4∼1/2 인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 다른 양태에 의하면, 비틀림 변형의 방향에 대하여 수직인 벽을 갖는 공극부를 구비한 허니컴 구조의 스테이지 부재가 얻어진다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 허니컴 구조 세라믹스체를 포함한 스테이지 부재의 공극부를 사각기둥 형상으로 함과 함께, 당해 사각기둥 형상의 공극부의 벽을 비틀림의 방향에 대하여 수직으로 배치함으로써, 비틀림 진동에 대하여 높은 저항력을 나타냄과 함께, 공진 주파수가 높은 스테이지 부재 및 당해 스테이지 부재를 포함한 노광 장치가 얻어진다.
도면의 간단한 설명
도 1 은 본 발명의 실시형태와 관련되는 노광 장치에 사용되는 스테이지 부재의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 2 는 도 1 에 나타난 스테이지 부재를 일부를 절제하여 나타내는 사시도이다.
도 3 은 본 발명의 실시예와 관련되는 스테이지 부재의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 4 는 본 발명의 실시예와 관련되는 허니컴 구조와 비교하기 위하여 사용 되는 비교예 1 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 5 는 비교예 2 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 6 은 비교예 3 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 7 은 비교예 4 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 8 은 비교예 5 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 9 는 비교예 6 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
도 10 은 비교예 7 의 허니컴 구조체를 나타내는 도이다.
*부호의 설명*
11: 상판 부재
12: 하판 부재
13: 허니컴 구조체
14: 레일
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하에, 본 발명의 실시형태를 도면을 이용하여 설명한다.
도 1 을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태와 관련되는 스테이지 부재의 일례를 나타낸다. 도시된 스테이지 부재는 기판을 유지하는 기판 스테이지 (200) 로서 사용된다. 여기서, 기판 스테이지 (200) 는, 스테이지 가이드를 구성하는 베이스 (50) 와, 또 하나의 스테이지 가이드를 구성하는 스테이지 (60) 와, 스테이지대 (70) 를 구비한다. 베이스 (50) 상에는 스테이지 (60) 의 X 방향의 왕복 이동을 가이드하는 2 개의 가이드 부재 (51) 가 설치되고, 스테이지 (60) 상에는 스테이지대 (70) 의 Y 방향의 왕복 이동을 가이드하는 2 개의 가이드 부재 (61) 가 설치되어 있다. 스테이지 (60), 스테이지대 (70) 는, 예를 들어, 리니어 모터로 구동된다. 베이스 (50), 스테이지 (60), 스테이지대 (70) 는 모두 본 발명과 관련되는 세라믹 스테이지 부재이며, 여기서는, 경량화를 위해, 베이스 (50), 스테이지 (60), 스테이지대 (70) 의 각각에, 1 개 이상의 개구 (50-1, 70-1)(스테이지 (60) 의 개구는 도시 생략) 가 형성되어 있다.
도 2 를 참조하여, 본 발명과 관련되는 스테이지 부재의 구체적인 구성을 설명한다. 도면으로부터도 명백하듯이, 스테이지 부재는, 저열 팽창 세라믹스에 의해 형성된 상판 및 하판 부재 (11 및 12) 와, 저열 팽창 세라믹스로 이루어지고, 그 개구면에서 상기 판 부재와 접합되는 허니컴 구조체 (13) 를 갖고 있다. 또한, 도시된 스테이지 부재의 하부에는, 레일 (14) 이 설치되어 있다. 여기서, 상하판 부재 (11, 12) 와 허니컴 구조체 (13) 는, 상기 상하판 부재 및 상기 허니컴 구조체를 구성하는 저열 팽창 세라믹스보다 용융 온도가 낮은 저열 팽창 세라믹스에 의해 형성된 접합부에 의해 접합되어 있다.
이 경우, 상기 스테이지 부재는, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 상하에 세라믹스판을 접합한 구조를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 스테이지 부재의 총 질량이, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부를 세라믹스에 의해 폐색한 치밀체와 비교하여 1/4∼1/2 인 것이 바람직하다.
상하판 부재 (11, 12), 및 상기 허니컴 구조체 (13) 는 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨, 코디어라이트에서 선택되는 1 종 이상의 제 1 재료로 이 루어지는 저열 팽창 세라믹스로 이루어지고, 한편, 접합부를 형성하는 저열 팽창 세라믹스는 탄화규소, 질화규소, 사이알론, 알루미나, 지르코니아, 뮬라이트, 지르콘, 질화알루미늄, 규산칼슘, 탄화붕소에서 선택되는 1 종 이상의 제 2 재료를 복합하여 이루어지는 복합 재료에 의해 형성되어 있다. 이 경우, 복합 재료의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수가, -0.1×10-6∼0.1×10-6/℃ 의 범위이며, 밀도가 2.45∼2.55g/㎤ 이며, 영률이 130∼160㎬ 였다. 또한, 상하판 부재 (11, 12), 및 허니컴 구조체 (13) 의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수와, 상기 접합부의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수의 차이는 ±0.1×10-6/℃ 의 범위내였다.
이 경우, 상기 스테이지 부재는, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부가 기밀 밀봉되어 있는 구조를 구비하고, 또한, 기밀 밀봉에 의한 외부와의 기체 압력차에 수반하는 응력차에 물리적으로 견디는 구성을 갖고 있다.
도 2 및 도 3 에 나타나 있는 바와 같이, 본 발명과 관련되는 허니컴 구조체 (13) 의 공극부가 사각기둥 형상에 의해 구성되고, 공극부의 벽이 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있다. 즉, 허니컴 구조체 (13) 을 둘러싸는 외벽에 대하여 수직이 되는 벽에 의해, 당해 허니컴 구조체 (13) 내부가 구획되어 있음을 알 수 있다.
이러한 내부벽을 구비한 허니컴 구조체 (13) 는 도 3 의 좌우 방향에 가해지는 비틀림 진동, 비틀림 변형에 대하여 강한 저항력을 나타냄과 함께, 높은 공진 주파수를 갖고 있는 것이 판명되었다. 여기서, 도 2 및 도 3 에 나타난 스테이지 부재는 450×350×20㎜ 의 형상을 구비하고, 상하 부재 (11 및 12) 를 구성하는 세라믹스 패널의 두께가 5㎜ 이며, 허니컴 구조체 (13) 의 두께는 10㎜ 이다. 허니컴 구조체 (13) 의 체적 비율은 12.5%, 공극을 형성하고 있는 벽의 두께는 0.9㎜ 이다. 도면으로부터도 명백하듯이, 허니컴 구조체 (13) 에 형성된 공극 형상은 사각형 형상이며, 당해 허니컴 구조체 (13) 는 2.50 의 비중, 150㎫ 의 영률을 갖는 재료에 의해 형성되어 있다.
도 4∼도 10 에는, 여러 가지 형상을 구비한 허니컴 구조체가 각각 비교예 1∼7 로서 나타나 있고, 도시된 허니컴 구조체의 내부벽은 모두 허니컴 구조체의 외벽에 대하여 수직이 아닌 내벽을 갖고 있는 것을 알 수 있다. 여기서, 도 4 에 나타난 비교예 1 의 공극 형상은 사각형, 도 5 및 6 에 나타난 비교예 2, 3 의 공극 형상은 삼각형 형상, 도 7 및 8 에 나타난 비교예 4 및 5 의 공극 형상은 육각형 형상, 도 9 및 10 에 나타난 비교예 6 및 7 의 공극 형상은 복합 다각형 형상을 갖고 있다. 또한, 비교를 위하여, 공극을 갖지 않는 무구 구조체를 비교예 8 로서 준비하였다.
또한, 도 3 에 나타난 본 발명의 실시예와 관련되는 허니컴 구조체 (13) 는 무구 구조의 구조체와 비교하여, 1/2 의 중량을 구비하고 있었다.
도 3 에 나타난 실시예, 비교예 1∼8 에 대하여, 스테이지의 길이 방향, 즉, 도면의 좌우 방향에 대하여 수직인 방향의 축의 비틀림 진동을 부여하여, 공진 주파수를 측정하였다. 그 측정 결과를 표 1 에 나타낸다.
측정 결과를 이하의 표 1 에 나타낸다.
[표 1]
Figure 112007003472568-PCT00001
표 1 로부터도 명백하듯이, 본 발명의 실시예인 허니컴 구조체의 공극부가 사각기둥 형상에 의해 구성되고, 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 평행한 방향으로 배치한 구성을 구비한 허니컴 구조체 (13) 에 있어서의 공진 주파수가 가장 높다. 이것은, 공극을 형성하고 있는 벽이, 비틀림 변형에 대하여 수직 방향으로 배치되어 있는 것, 또한 사각형의 1 셀의 면적이 다른 셀 형상과 비교하여 가장 작은 것에 의한 것이라 추찰된다.
비교예인 기타 공극 형상 및 사각형을 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 45˚ 기울여 배치한 경우 (비교예 1, 2, 4, 6) 에는, 비틀림 변형에 대하여 공극을 형성하고 있는 벽이 30∼45˚ 로 배치되어 있어, 변형에 대하여 저항력이 적다. 또한, 비틀림 변형에 대하여 공극을 형성하고 있는 벽이 수직 방향으로 배치된 경우 (비교예 3, 5) 에 있어서는, 공극 형상의 면적이 실시예에 대하여 크고, 저항력의 발현 효과가 적다.
산업상이용가능성
이상, 본 발명을 액정 패널용 노광 장치에 적용한 실시형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 반도체 디바이스용 노광 장치에도 적용 가능함은 당연하다. 또한, 마스크와 기판을 동시에 이동시키는 노광 장치에 한정하지 않고, 이들의 일방만을 이동시키는 노광 장치의 스테이지에도 적용 가능하다.

Claims (11)

  1. 마스크 상의 패턴을 기판 상에 전사 노광하기 위해, 상기 마스크, 상기 기판의 적어도 일방을 세라믹스에 의한 스테이지 부재에 의해 이동시키면서 노광하는 노광 장치로서,
    상기 스테이지 부재는, 세라믹스에 의해 형성된 판 부재와, 세라믹스에 의해 형성되고, 그 개구면에서 상기 판 부재와 접합되는 허니컴 구조체와, 상기 판 부재와 상기 허니컴 구조체를 접합하고, 상기 판 부재 및 상기 허니컴 구조체를 구성하는 상기 세라믹스보다 용융 온도가 낮은 세라믹스에 의해 형성된 접합부를 포함하고,
    상기 허니컴 구조체의 공극부는 사각기둥 형상에 의해 구성되고, 공극부의 벽이 그 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재가, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 상하에 세라믹스판을 접합한 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재의 총 질량이, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부를 세라믹스에 의해 폐색한 치밀체(緻密體)와 비교하여 1/4∼1/2 인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 판 부재 및 상기 허니컴 구조체를 구성하는 세라믹스와 상기 접합부를 형성하는 세라믹스는 각각, 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨, 코디어라이트에서 선택되는 1 종 이상의 제 1 재료와, 탄화규소, 질화규소, 사이알론, 알루미나, 지르코니아, 뮬라이트, 지르콘, 질화알루미늄, 규산칼슘, 탄화붕소에서 선택되는 1 종 이상의 제 2 재료를 복합하여 이루어지는 복합 재료로 이루어지고, 상기 복합 재료의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수가, -0.1×10-6∼0.1×10-6/℃ 의 범위이며, 밀도가 2.45∼2.55g/㎤ 이며, 영률이 130∼160㎬ 인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재는, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부가 기밀 밀봉되어 있는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 판 부재 및 상기 허니컴 구조체의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수와, 상기 접합부의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수의 차이는 ±0.1×10-6/℃ 의 범위내인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재가, 상기 기밀 밀봉에 의한 외부와의 기체 압력차에 수반하는 응력차에 물리적으로 견디는 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  8. 마스크 상의 패턴을 기판 상에 전사 노광하기 위해, 상기 마스크, 상기 기판의 적어도 일방을 세라믹스에 의한 스테이지 부재에 의해 이동시키면서 노광하는 액정 패널용 노광 장치로서,
    상기 스테이지 부재를 구성하는 세라믹스가, 리튬알루미노실리케이트, 인산지르코늄칼륨, 코디어라이트에서 선택되는 1 종 이상의 제 1 재료와, 탄화규소, 질화규소, 사이알론, 알루미나, 지르코니아, 뮬라이트, 지르콘, 질화알루미늄, 규산칼슘, 탄화붕소에서 선택되는 1 종 이상의 제 2 재료를 복합하여 이루어지는 복합 재료로 이루어지고, 또한, 상기 복합 재료의 23℃ 에 있어서의 평균적인 열 팽창 계수가, -1×10-6∼1×10-6/℃ 의 범위이며, 밀도가 2.45∼2.55g/㎤ 이며, 영률이 130∼160㎬ 인 것을 특징으로 하는 액정 패널용 노광 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재가, 상기 복합 재료로 이루어지는 허니컴 구조 세라믹스체의 상하에 상기 복합 재료로 이루어지는 세라믹스판을 접합한 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널용 노광 장치.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 스테이지 부재의 총 질량이, 상기 허니컴 구조 세라믹스체의 공극부를 상기 복합 재료에 의해 폐색한 치밀체와 비교하여 1/4∼1/2 인 것을 특징으로 하는 액정 패널용 노광 장치.
  11. 세라믹스에 의해 형성된 판 부재와, 세라믹스에 의해 형성되고, 그 개구면에서 상기 판 부재와 접합되는 허니컴 구조체를 구비한 스테이지 부재로서,
    상기 허니컴 구조체의 공극부가 사각기둥 형상에 의해 구성되고, 공극부의 벽이 그 스테이지 부재의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 부재.
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