KR20070008854A - 액정 표시 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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KR20070008854A
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Abstract

본 발명은 액정 표시 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 기판에서 화소 패턴이나 컬러 패턴을 형성할 때에, 그와 동시에 화상 표시 영역 외의 더미 영역에도 동일하게 지지 패턴을 형성하여 고온압착에 의한 상부 기판과 하부 기판의 결합시에 가스 제거 채널을 확보할 수 있다. 즉, 블랙 매트릭스, 컬러 필터 및 평탄화막 등을 적층하여 패널의 구조에 따라서 자유롭게 지지 패턴을 설계할 수 있으므로 용이하게 가스 제거 채널을 확보할 수 있고, 추가 비용 없이 불량 개선 및 생산성 향상을 꾀할 수 있다.
액정 표시 소자, 스페이서, 지지 패턴, 더미 영역, 가스 제거

Description

액정 표시 소자 및 이의 제조 방법{Liquid crystal display device and method of manufacturing the same}
도 1은 일반적인 액정 표시 소자를 제조하기 위한 기판의 평면도.
도 2는 액정 표시 소자 제조시의 문제점을 설명하기 위한 단면 개념도.
도 3은 종래의 문제점을 설명하기 위한 사진.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자를 제조하기 위한 기판의 평면도.
도 4b는 도 4a에 도시된 기판의 단면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 하부 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 상부 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 상부 지지 패턴의 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 100 : 하부 기판 20, 200 : 상부 기판
30 : 실란트 50, 500 : 스페이서
300 : 열경화성 수지 400a, 400b : 지지 패턴
A : 화상 표시 영역 B : 더미 영역
본 발명은 액정 표시 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상, 하부 기판의 합착 및 절단공정에서 상부 기판과 하부 기판 사이의 공간을 일정하게 유지할 수 있는 액정 표시 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD, Liquid Crystal Display)는 두 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표시하는 장치이다.
이와 같은 액정 표시 장치의 액정 표시 소자는, 하부 기판은 투명한 유리 재질로 형성되고, 그 하부 기판 위에는 일방향으로 복수의 게이트선과, 이 게이트선에 절연되어 교차하는 복수의 데이터선이 형성되며, 이들 게이트선과 데이터선에 둘러싸인 영역에 하나의 화소가 정의된다. 여기서, 각 게이트선과 데이터선이 교차하는 부분에는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하 'TFT'라고도 함)가 형성된다.
상부 기판은 투명한 유리 재질로 형성되고, 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러 필터층과, 화상을 표현하기 위한 공통 전극이 형성된다. 이러한 상부 기판과 하부 기판은 실란트(Sealant)에 의해 고정된다.
상기 액정 표시 소자는 하나의 기판에서 하나의 액정 표시 소자를 형성하는 것이 아니라, 일반적으로 액정 표시 소자보다 매우 넓은 사이즈의 기판에서 복수개의 액정 표시 소자를 동시에 형성하게 된다.
도 1은 일반적인 액정 표시 소자를 제조하기 위한 기판의 평면도이며, 도 2는 액정 표시 소자 제조시의 문제점을 설명하기 위한 단면 개념도이고, 도 3은 종래의 문제점을 설명하기 위한 사진이다.
도 1을 참조하면, 액정 표시 소자를 제조하기 위한 기판은, 상부 기판(20)과 하부 기판(10)이 대응 배치되고, 화상 표시 영역(①)과 화상 표시 영역(①) 사이에는 절단 영역(②)이 형성된다. 이와 같은 화상 표시 영역(①)은 실란트(30)에 의해 구획된다.
도 1에 도시된 기판을 이용하여 액정 표시 소자를 제조하기 위한 과정을 설명하면, 우선, 상부 기판(20)과 하부 기판(10) 중 한 면에 실란트(30)로서 열경화성 수지를 도포하고, 상부 기판 및 하부 기판(10, 20) 사이를 정렬하여 위치를 맞춘다.
다음으로, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 소정의 위치에 정렬된 두 기판(10, 20)을 고온으로 압착하여 열경화성 수지를 경화시킴으로써 두 기판(10, 20) 을 고정시킨다. 이후, 도면에 도시된 두 개의 화상 표시 영역(①)을 분리한다.
여기서, 상기 두 기판(10, 20)을 고온으로 압착하면, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 고온 압착에 의해 두 기판(10, 20) 사이의 간격이 줄어들게 된다. 따라서, 화상 표시 영역(①) 내의 가스가 절단 영역(②)을 통하여 외부로 제거(Outgassing)되어야 한다.
이때, 상기 실란트(30)에 의해 구획된 화상 표시 영역(①)에는 상부 기판(20)과 하부 기판(10)을 지지하기 위한 스페이서(50)와 화상 표시를 위한 블랙 매트릭스(21), 컬러 필터(22) 및 평탄화막(23) 등의 패턴들이 같이 형성되어 있지만, 절단 영역(②)에는 스페이서(50) 만이 형성되어 있다. 따라서, 고온 압착 공정이 수행될 때에 도 2의 (b)에 도시된 K영역과 같이 절단 영역(②)에서 두 기판(10, 20) 사이의 간격이 좁아지게 되어 실란트의 수축 과정에서 발생되는 가스를 제거하는 가스 제거 채널(Outgassing Channel)이 충분히 확보되지 못한다.
이와 같은 이유로 인해서, 도 3의 사진과 같이 실 버블(Seal Bubble) 등의 불량이 발생하게 되고, 화상 표시 영역(①), 즉 상부 기판(20)과 하부 기판(10) 사이의 제거되지 않은 가스에 의해 액정 표시 소자에 표시되는 화상이 왜곡되는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 기판의 화소 패턴이나 컬러 패턴을 형성할 때에, 그와 동시에 지지 패턴을 형성하여 가스 제거 채널을 확보할 수 있는 액정 표시 소자 및 그 제조 방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와, 상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 상부 기판의 더미 영역에 형성되는 지지 패턴을 포함하되, 상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 상기 지지 패턴 상에 형성되며, 상기 컬러 패턴과 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자가 제공된다.
상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 컬러 패턴 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판 과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와, 상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 하부 기판의 더미 영역에 형성되는 지지 패턴을 포함하되, 상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 지지 패턴 상에 형성되며, 상기 화소 패턴과 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자가 제공된다.
상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 화소 패턴 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정 의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와, 상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 상부 기판의 더미 영역에 형성되는 상부 지지 패턴과, 상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 하부 기판의 더미 영역에 형성되는 하부 지지 패턴을 포함하되, 상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 상기 스페이서를 지지하기 위한 상부 지지 패턴과 하부 지지 패턴 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자가 제공된다.
상기 컬러 패턴과 상기 상부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 컬러 패턴과 화소 패턴 사이에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서, a) 화상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와, b) 상기 상부 기판에 상기 컬러 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와, c) 상기 컬러 패턴과 지지 패턴 상에 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법이 제공된다.
상기 컬러 패턴 및 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서, a) 화상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와, b) 상기 하부 기판에 상기 화소 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와, c) 상기 화소 패턴과 지지 패턴 상에 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법이 제공된다.
상기 화소 패턴 및 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서, a) 화 상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와, b) 상기 상부 기판에 상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와, c) 상기 스페이서는 상기 상부 지지 패턴과 하부 지지 패턴 사이에 위치하도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법이 제공된다.
상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 평면도이다. 도 4b는 액정 표시 소자의 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자는 상부 기판(200)과 하부 기판(100)이 결합되어 형성된다. 이때, 각각의 상부 기판(200)과 하부 기판(100)은 화상을 표시하는 화상 표시 영역(A)과, 그 외의 영역인 더미 영역(B)으로 이루어진다. 그리고, 상기 상부 기판(200)과 하부 기판(100) 사이 형성되는 스페이서(500)는 상기 영역의 구분에 관계없이 소정의 간격을 두고 형성된다.
화상 표시 영역(A)의 하부 기판(100)에는 액정 표시 소자를 구성하기 위해 일방향으로 연장된 복수의 게이트선과, 상기 게이트선과 교차하는 복수의 데이터선과, 각 게이트선과 데이터선이 교차하는 부분에는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하 'TFT'라고도 함) 등을 포함하는 화소 패턴이 형성된다. 여기서, 이들 게이트선과 데이터선에 둘러싸인 영역을 화소 영역으로 정의한다.
본 발명의 실시예에서는 화상 표시 영역(A)의 양측 더미 영역(B)에 게이트선과 데이터선에 각각 연결되는 전극 패턴이 형성되어 있다.
또한, 상부 기판(200)과 하부 기판(100)사이에는 액정이 배향되어 있고, 상부 기판(200)과 하부 기판(100) 사이를 연결하기 위한 열경화성 수지막(300)이 화상 표시 영역(A)의 가장자리에 도포되어 있다. 더미 영역(B)의 하부 기판(100)에는 화상 표시 영역(A)의 게이트선 또는 데이터선과 연결되는 전극 패턴이 형성되어 있다. 또한, 상기 더미 영역(B)의 하부 기판(100)에는 상기 게이트선과 데이터선에 소정의 신호를 인가하는 별도의 구동 회로가 형성될 수도 있다.
상부 기판(200)에는 블랙 매트릭스(210)와, 색상을 표시하기 위한 컬러 필터(220)와, 평탄화막(230)과, 공통 전극을 포함하는 컬러 패턴이 형성되어 있다. 본 발명의 실시예에서는, 화상 표시 영역(A)에 상기 컬러 패턴을 형성함과 동시에 더미 영역(B)에 스페이서(500)를 지지하기 위한 지지 패턴을 형성한다. 보다 상세하게는 화상 표시 영역(A)에 상기 블랙 매트릭스(210), 컬러 필터(220) 및 평탄화막(230)이 각각 형성될 때에, 더미 영역(B)에도 마찬가지로 블랙 매트릭스 패턴(411), 컬러 필터 패턴(421) 및 평탄화막 패턴(431)을 동시에 형성한다. 이로서 간단하게 동일한 높이의 컬러 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 실시예에서는 어느 한쪽 기판에 열경화성 수지막(300)이 도포된 상부 기판(200)과 하부 기판(100)을 정렬한 다음, 두 기판(100, 200)을 고온으로 압착하여 열경화성 수지를 경화시킬 때, 화상 표시 영역(A)과 더미 영역(B)에 높이가 같은 지지 패턴 상에 스페이서(500) 형성되므로, 가스 제거 채널을 충분히 확보할 수 있다.
상기 스페이서(500)는 직선보다는 작은 원 형태의 기둥형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 한편, 화상 표시 영역(A) 및 더미 영역(B) 상에는 가스 제거가 효과적으로 이루어질 수 있을 정도의 소정 개수의 스페이서(500)가 형성되며, 이들 스페이서(500)들은 소정의 이격거리를 유지한 채 형성된다.
이하 상술한 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 제조 방법을 도 5 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서, 도 5a 내지 도 5d는 하부 기판(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이고, 도 6a 내지 도 6c는 상부 기판(200)의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이며, 도 7은 상부 기판(200)과 하부 기판(100)이 결합된 후의 단면도이다.
하부 기판(100)의 제조 방법을 도 5a를 참조하여 설명하면, 먼저 하부 기판(100) 위에 제1 도전성막을 형성한 후, 제1 감광막 마스크 패턴을 이용한 사진 식각 공정을 통해, 화상 표시 영역(A)에는 게이트선(112), 게이트 전극(110) 등을 포함한 전극 패턴을 형성하고, 더미 영역(B) 상에도 제1 도전성막 패턴(410)을 형성한다.
다음으로, 화상 표시 영역(A)과 더미 영역(B)을 포함하는 전체 기판 상에 게이트 절연막(120), 활성층(130), 오믹 접촉층(140) 및 제2 도전성막(150)을 포함하는 전극 패턴을 순차적으로 형성한다. 상기 더미 영역(B)에는 상기 게이트 절연막(420), 활성층(430), 오믹 접촉층(440) 및 제2 도전성막(450)의 모두 또는 일부가 순차적으로 성장될 수 있다.
우선, 전체 기판 상에 상기 게이트 절연막(120)을 PECVD법, 스퍼터링법 등을 이용한 증착 방법을 통해 형성한다. 이때, 게이트 절연막(120)으로는 산화 실리콘 또는 질화 실리콘을 포함하는 무기 절연 물질을 사용하는 것이 바람직하다.
계속하여 상기 게이트 절연막(120) 상에는 상기 증착 방법을 통해 활성층(130), 오믹 접촉층(140) 및 제2 도전성막(150)을 순차적으로 형성한다. 활성층(130)으로는 비정질 실리콘층을 사용하고, 오믹 접촉층(140)으로는 실리사이드 또는 N형 불순물이 고농도로 도핑된 비정질 실리콘층을 사용하고, 제2 도전성막(150) 으로는 Mo, Al, Cr, Ti 중 적어도 하나의 금속 단일층 또는 다중층을 사용하는 것이 바람직하다.
도 5b를 참조하면, 제2 감광막 마스크 패턴을 이용한 사진 식각 공정에서, 화상 표시 영역(A)에는 게이트 전극(110) 상에 소스 전극(152), 드레인 전극(154) 및 데이터선(미도시)을 포함하는 화소 패턴이 형성되고, 더미 영역(B)에는 순차적으로 적층된 게이트 절연막 패턴(420), 활성층 패턴(430), 오믹 접촉층 패턴(440), 제2 도전성막 패턴(450)이 형성되어 하부 지지 패턴(400a)이 구현된다.
더미 영역(B)에 형성되는 제1 및 제2 감광막 마스크 패턴은 더미 영역(B)의 적어도 일부를 차폐하는 형상으로 형성하되, 작은 원 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.
도 5c를 참조하면, 전체구조 상에 보호막(170)을 형성한 다음, 제3 감광막 마스크 패턴(미도시)을 이용하여 보호막(170)의 일부를 제거하여 화상 표시 영역(A)에는 콘택홀을 형성하고, 더미 영역(B)의 제2 도전성막 패턴(450) 상에 보호막 패턴(460)을 형성한다.
상기에서 보호막(170)은 게이트 절연막(120)과 동일한 절연물질을 사용하는 것이 바람직하고, 보호막(170)은 복수의 층으로 형성할 수도 있다. 예를 들어, 상기 보호막(170)은 무기 보호막과 유기 보호막의 두 층으로 형성할 수 있다. 게이트 선(120)의 끝부분인 게이트 패드 일부와, 데이터 선(160)의 끝부분인 데이터 패드 일부와, 유지 전극 배선의 일부를 노출하는 콘택홀을 형성한다.
도 5d를 참조하면 화상 표시 영역(A) 상에 화소 전극(182)을 형성하고, 더미 영역(B)의 보호막 패턴(460) 상에 제3 도전성막 패턴(470)을 형성한다.
전체구조 상에 제3 도전성막을 형성한 다음, 제4 감광막 마스크 패턴을 이용하여 상기 제3 도전성막을 패터닝하여 화소전극과 패드들을 형성한다. 여기서, 제3 도전성 막(130)은 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide : ITO)이나 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide : IZO)을 포함하는 투명 도전막을 사용하는 것이 바람직하다. 이후, 상기 화상 표시 영역 상에 배양막을 형성한다.
본 발명의 실시예에서는 더미 영역(B)의 하부 기판(100) 상에 제1 도전막 패턴(410), 게이트 절연막 패턴(420), 활성층 패턴(430), 오믹 접촉층 패턴(440), 제2 도전성막 패턴(450), 보호막 패턴(460), 제3 도전성막 패턴(470)을 포함하는 하부 지지 패턴(400a)이 형성되는 것으로 나타내었으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 하부 지지 패턴(400a)이 하부 기판(100) 상에 형성되지 않을 수도 있고, 또한, 상기 하부 지지 패턴(400a)은 상기 제1 도전막 패턴(410), 게이트 절연막 패턴(420), 활성층 패턴(430), 오믹 접촉층 패턴(440), 제2 도전성막 패턴(450), 보호막 패턴(460) 및 제3 도전성막 패턴(470) 중 적어도 어느 하나의 패턴으로 형성될 수 있다.
상부 기판(200)의 제조 방법을 도 6a 내지 도 6c를 참조하여 설명하면, 먼저 상부 기판(200)의 화상 표시 영역(A) 배면의 일부에 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스(210)를 형성한 후에 화상 표시 영역(A) 내에 컬러 필터(220)를 형성한다. 더미 영역(B)의 일부에는 블랙 매트릭스 패턴(411)과 컬러 필터 패턴(421)이 순차적으로 적층된다. 여기서, 상기 블랙 매트릭스(210)는 하부 기판(100)의 게이트선(112), 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 영역과 대응하여 형성되는 것이 바람직하다.
상기 블랙 매트릭스(210)는 투명 절연 기판의 배면 상에 불투명 금속 또는 불투명 수지를 포함하는 불투명 물질을 도포한 다음, 마스크를 이용한 패터닝 공정을 실시하여 형성한다. 이때, 더미 영역(B)의 일부에는 블랙 매트릭스 패턴(411)이 형성된다.
계속하여 상기 블랙 매트릭스(210)가 형성된 상부 기판(200) 상에 R, G, B 컬러 수지 중 어느 하나를 도포한 후, 컬러 수지를 패터닝하여 컬러 필터(220)를 형성한다. 이때, 더미 영역(B)의 블랙매트릭스 패턴(411) 상부에 컬러 필터 패턴(421)이 형성된다.
도 6b 및 도 6c를 참조하면, 화상 표시 영역(A)의 전체에 평탄화막(230)이 형성되고, 더미 영역(B)의 컬러 필터 패턴(421) 상에는 평탄화막 패턴(431)이 형성된다. 이후, 화상 표시 영역(A)에 공통 전극(240)을 형성하고, 더미 영역(B)의 평탄화막 패턴(431) 상에 공통 전극 패턴(441)을 형성한다.
공통 전극(240)으로 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide : ITO)이나 주석 산화물(Tin Oxide : TO) 또는 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide : IZO)을 포함하는 투명 도전막을 이용한다.
계속하여, 상기 공통 전극(240) 및 공통 전극 패턴(441)이 형성된 화상 표시 영역(A) 및 더미 영역(B) 일부에 스페이서(500)를 형성한다. 상기 스페이서(500)는 유기막인 아크릴 등을 도포한 다음 패터닝하여 형성한다.
즉, 본 발명의 실시예의 상부 기판(200)의 화상 표시 영역(A)에는 블랙 매트릭스(210)와, 색상을 표시하기 위한 컬러 필터(220)와, 평탄화막(230)과, 공통 전극 등과 같은 컬러 패턴을 순차적으로 형성한다.
그와 동시에, 더미영역(B)에 스페이서(500)를 지지하기 위하여 블랙 매트릭스 패턴(411), 컬러 필터 패턴(421) 및 평탄화막 패턴(431) 등으로 이루어진 상부 지지 패턴(400b)을 형성한다. 이로서 간단하게 동일한 높이의 컬러 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에서는 더미 영역(B)의 상부 기판(200) 상에 블랙 매트릭스 패턴(411), 컬러 필터 패턴(421), 평탄화막 패턴(431) 및 공통 전극 패턴(441)을 포함하는 상부 지지 패턴(400b) 상에 스페이서(500)가 형성되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상부 지지 패턴(400b)은 블랙 매트릭스 패턴(411), 컬러 필터 패턴(421), 평탄화막 패턴(431)과 공통 전극 패턴(441) 중 적어도 어느 하나 이상의 패턴으로 형성될 수도 있다.
도 7을 참조하면, 상기와 같이 제조된 하부 기판(100)과 상부 기판(200) 사이에 열경화성 수지막(300)이 하부 기판(100) 및/또는 상부 기판(200)의 화상 표시 영역(A)의 가장자리에 형성된다. 이때, 열경화 수지막(300)은 더미 영역(B)의 일부를 포함하여 형성될 수도 있다. 이후, 상부 기판(200)과 하부 기판(100) 사이를 정렬하여 위치를 맞춘다. 계속하여, 위치가 정렬된 두 기판을 고온에서 압착하여 열경화성 수지를 경화시켜서 상부 기판(200)과 하부 기판(100) 사이를 고정시킨다. 이어서, 경화된 열경화성 수지막(300)에 의해 형성된 소정의 공간에 진공 주입 방 법을 이용하여 액정물질을 주입하여 액정층을 형성함으로써 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 제조한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에서는 더미 영역(B)에 스페이서(500)가 형성되는 부분에 상부 지지 패턴(400b)과 하부 지지 패턴(400a) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 지지 패턴이 형성되어, 화상 표시 영역(A)과 더미 영역(B)에 인가되는 압력을 동일하게 지지할 수 있기 때문에, 열경화성 수지막(300)의 열경화 공정시에 더미 영역(B)을 통하여 가스 제거가 충분히 이루어질 수 있다.
합착된 상부 기판(200)과 하부 기판(100을 절단하는 절단 공정을 실시하여 각각의 액정 표시 소자를 분리한다. 이와 같은 절단공정에 있어서도, 화상 표시 영역(A)과 더미 영역(B)에 인가되는 압력을 동일하게 지지할 수 있어서, 절단 공정 중 발생할 수 있는 상부 기판(200)과 하부 기판(100)이 휘어지는 현상을 방지할 수 있다.
이하 상기 상부 지지 패턴(400b)의 다양한 적층 방법에 대하여 도 8a 및 도 8b를 참조하여 상세히 설명한다.
도 8a에 도시된 바와 같이 상기 상부 지지 패턴(400b)은, 피라미드 형상으로 제조될 수 있다. 이와 같이 상기 상부 지지 패턴(400b)을 피라미드 형상으로 제조하면, 그 위에 형성되는 스페이서(500)가 안정적으로 상, 하부의 기판(200, 100)을 지지할 수 있다.
또한, 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 상부 지지 패턴(400b)은 평탄화막 패턴(431)이 나머지 패턴들을 감싸도록 제조될 수 있다. 상기 평탄화막 패턴(431)은 평평하고 안정적인 특성을 가지므로, 스페이서(500)를 안정적이고 튼튼하게 형성시킬 수 있다. 따라서, 상, 하부의 기판(200, 100)의 고온 압착시에 안정적으로 상기 상, 하부 기판(200, 100)을 지지할 수 있다.
이와 같은 상부 지지 패턴(400b)은, 형성되는 패턴들의 높이를 조절하거나 적층되는 패턴의 개수를 조절하여 높이를 다양하게 변화시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 투과형 액정 표시 소자에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 휴대폰이나 PDA 등에 사용하는 반투과형 액정 표시 소자에도 적용할 수 있다.
상기 반투과형 액정 표시 소자는 일반적으로 그 사이즈가 작으므로, 하나의 기판에 많은 수의 액정 표시 소자를 제조하게 된다. 이때, 상기 기판에 많은 더미 영역이 형성되기 때문에, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 소자의 제조 방법을 이용하면 용이하게 가스 제거 채널을 형성할 수 있다.
본 발명의 권리 범위는 앞에서 설명한 각 실시예에 한정되는 것이 아니라, 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자에 의한 모든 변경 및 개량도 본 발명의 권리 범위에 속한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 소자는 기판에서 화소 패턴이나 컬러 패턴을 형성할 때에, 그와 동시에 지지 패턴을 형성하여 고온압착에 의한 상부 기판과 하부 기판의 결합시에 가스 제거 채널을 확보할 수 있다.
종래에는 은이나 실란트를 이용하여 지지 패턴을 구현하였지만, 블랙 매트릭 스, 컬러 필터 및 평탄화막 등을 적층하여 패널의 구조에 따라서 자유롭게 지지 패턴을 설계할 수 있으므로 용이하게 가스 제거 채널을 확보할 수 있고, 추가 비용 없이 불량 개선 및 생산성 향상을 꾀할 수 있다.

Claims (36)

  1. 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서,
    데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과,
    상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과,
    상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와,
    상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 상부 기판의 더미 영역에 형성되는 지지 패턴을 포함하되,
    상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 상기 지지 패턴 상에 형성되며, 상기 컬러 패턴과 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 컬러 패턴 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 컬러 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  5. 제4항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  6. 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서,
    데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과,
    상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과,
    상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와,
    상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 하부 기판의 더미 영역에 형성되는 지지 패턴을 포함하되,
    상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 지지 패턴 상에 형성되며, 상기 화소 패턴과 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  7. 제6항에 있어서, 상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 화소 패턴 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  9. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 화소 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  10. 제9항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  11. 화상을 표시하는 화상 표시 영역과 그 외의 영역인 더미 영역으로 나뉘는 액정 표시 소자에 있어서,
    데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과,
    상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과,
    상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소 정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서와,
    상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 상부 기판의 더미 영역에 형성되는 상부 지지 패턴과,
    상기 스페이서를 지지하기 위하여 상기 하부 기판의 더미 영역에 형성되는 하부 지지 패턴을 포함하되,
    상기 더미 영역에 형성된 스페이서는 상기 스페이서를 지지하기 위한 상부 지지 패턴과 하부 지지 패턴 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  12. 제11항에 있어서, 상기 컬러 패턴과 상기 상부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  13. 제11항에 있어서, 상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 화상 표시 영역에 형성된 스페이서는 상기 컬러 패턴과 화소 패턴 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  15. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구 성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  16. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  17. 제16항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  18. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  19. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  20. 제19항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
  21. 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    a) 화상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와,
    b) 상기 상부 기판에 상기 컬러 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와,
    c) 상기 컬러 패턴과 지지 패턴 상에 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 컬러 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  25. 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    a) 화상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와,
    b) 상기 하부 기판에 상기 화소 패턴과 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와,
    c) 상기 화소 패턴과 지지 패턴 상에 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  26. 제25항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  27. 제25항에 있어서, 상기 화소 패턴과 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  29. 데이터선 및 게이트선을 포함하는 화소 패턴이 형성되는 하부 기판과, 상기 화상 표시 영역에 색상을 표시하기 위한 컬러 패턴이 형성되는 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이의 상기 화상 표시 영역 및 더미 영역에 소정의 간격을 두고 형성되는 복수의 스페이서를 포함하는 액정 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    a) 화상을 표시하는 화상 표시 영역 및 그 외의 영역인 더미 영역을 포함하여 이루어지는 액정 표시 소자 영역과 더미 영역을 갖는 상부 기판 및 하부 기판을 마련하는 단계와,
    b) 상기 상부 기판에 상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴을 동시에 형성하는 단계와,
    c) 상기 스페이서는 상기 상부 지지 패턴과 하부 지지 패턴 사이에 위치하도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  31. 제29항 또는 제30항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴은 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  32. 제29항 또는 제30항에 있어서, 상기 컬러 패턴과 상부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  33. 제32항에 있어서, 상기 컬러 패턴 및 상부 지지 패턴에 형성되는 블랙 매트릭스, 색상 필터와 평탄화막의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  34. 제29항 또는 제30항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴은 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  35. 제29항 또는 제30항에 있어서, 상기 화소 패턴과 하부 지지 패턴의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
  36. 제35항에 있어서, 상기 화소 패턴 및 하부 지지 패턴에 형성되는 제1 도전막 패턴, 게이트 절연막 패턴, 활성층 패턴, 오믹 접촉층 패턴과 제2 도전체 패턴의 각각은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법.
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