KR20060132705A

KR20060132705A - 규칙적인 패턴을 화상 형성하는 방법

Info

Publication number: KR20060132705A
Application number: KR1020067017110A
Authority: KR
Inventors: 조나단 브이. 카스파; 해리 리차드 츠윅커
Original assignee: 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니
Priority date: 2004-01-28
Filing date: 2005-01-28
Publication date: 2006-12-21
Also published as: US7598008B2; TW200537259A; DE602005023135D1; KR101084417B1; EP1728106A1; JP5038722B2; KR20050077756A; WO2005073764A1; EP1728106B1; US20050175909A1; JP2007523367A

Abstract

규칙적인 패턴을 화상 형성하는 방법이 제공된다. 멀티-채널 화상 형성 헤드는 패턴의 가시적으로 화상 형성된 형상 내에 어떠한 스와쓰 경계도 나타나지 않도록 미리 결정된 규칙적인 패턴의 반복에 따라 구성된다. 화상 형성된 아티클은 화상 형성된 형상 내의 스와쓰 경계의 제거 때문에 감소된 가시 밴딩을 갖는다.

패턴, 광 밸브, 헤드, 채널, 도너, 리시버 등

Description

규칙적인 패턴을 화상 형성하는 방법{METHOD FOR IMAGING REGULAR PATTERNS}

본 발명은 화상 형성 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 화상 형성 시스템에서 규칙적인 패턴을 화상 형성하는 방법에 관한 것이다.

디스플레이 및 반도체 전자 장치에 대체로 사용되는 제조 기술은 몇몇 화상 형성 단계를 포함한다. 레지스트 또는 다른 감지 재료로 코팅되는 컬러 필터 기판이 포토-툴(photo-tool) 마스크를 통해 복사에 노출되어 변화를 일으킨다. 성질상 이러한 제조 과정은 많은 수의 별도의 단계들을 수반하고, 각각의 단계는 제한된 실패를 대체로 가지며, 따라서 전체 공정 생상량을 감소시키고 완료된 제품의 비용을 증가시킨다. 구체적인 예는 액정 디스플레이라고 알려진 평탄한 패널 디스플레이를 위한 컬러 피터의 제조이다. 컬러 필터 제조는 재료의 고비용과 낮은 공정 생상향 때문에 매우 고비용의 공정이다. 종래의 사진 석판 처리는 스핀 코팅, 슬릿 및 스핀 또는 스핀 없는 코팅과 같은 코팅 기술을 이용하여 컬러 레지스트 재료를 기판에 도포하는 것을 수반한다. 이후 재료는 현상 공정이 이어지는 포토-툴 마스크를 통해 노출된다.

직접적인 화상 형성이 디스플레이 및 특히 컬러 필터의 제조에 사용되도록 제안되었다. 예를 들어, 드보어(DeBoer)의 미국 특허 제 4,965,242호는 컬러 필터 요소를 제조하는 다이 트랜스퍼 공정을 개시한다. 다이-수용 요소라고 알려진 컬러 필터 기판은 이후 이미지방향으로 가열되어 도너로부터 리시버로 다이 및 안료를 선택적으로 전사하는 (컬러 복사 필름이라고 알려진) 다이 도너(donor) 요소와 중첩된다. 이미지방향 가열의 바람직한 방법은 복수의 레이저 빔을 바람직하게는 포함하는 레이저 헤드에 의한다. 다이오드 레이저는 조절, 저비용 및 작은 크기의 편이에 특히 바람직하다. 용어 "다이 트랜스퍼 공정"은, 그 이름이 암시하는 바와 같이, 다이의 이미지 방향 전달에 제한되는 것은 아니다. 다이 트랜스퍼 공정은 안료 및 유사한 유형의 안료 조성으로 코팅된 다이 도너의 화상방향 전사를 포함할 수 있다.

직접적인 화상 형성 시스템은 수백 개의 개별적으로 조절된 빔이 평행한 레이저 헤드를 대체로 사용하여 화상을 완료하는데 걸리는 시간을 줄인다. 빔의 각각은 조절되어 화상 형성 공정 동안 대응하는 레이저 픽셀을 생성한다. 예를 들어, 블랑셋-핀처(Blanchet-Pincher) 외의 미국 특허 제 6,146,792호는 컬러 필터와 같이, 리시버 요소 상의 영속성 있는 화상의 제조를 기술한다. 예시에서 제안되는 레이저 헤드는 32개의 830 nm 레이저 다이오드로 구성되고, 각각은 대략 90 mW의 단일-모드 출력이다. 훨씬 더 많은 채널 또는 레이저 픽셀을 갖는 화상 형성 헤드가 대체로 제공되며, 캐나다 브리티시 콜럼비아 버나비시 소재의 크레오(Creo) 사에 의해 제조되는 열적 화상 형성 헤드인 SQAUREspot®가 예이다. 이러한 화상 형성 헤드는 240 개까지의 독립적인 화상 형성 채널이 제공되며, 각각의 채널은 100 nW 이상의 파워를 갖는다. 이미지는 복수의 레이저 빔에 의해 생성되는 일련의 밴 드 또는 스와쓰(swath)에서 기록되는데, 근접하여 접속되어 연속적인 화상을 형성한다. (용어 "채널" 및 "레이저 픽셀"은 본 명세서에서 서로 교체 가능하게 사용된다.)

멀티 채널 화상 형성 시스템의 일 문제는 모든 채널이 동일한 화상 형성 특징을 갖는 것을 보장하는 것이 매우 어렵다는 것이다. 파워, 빔 크기, 빔 형태 및 초점에 대한 채널에서 채널까지의 변화가 "밴딩(banding)"이라고 알려진 공통된 화상 형성 인공물의 제조에 기여한다. 밴딩은 연속적으로 화상 형성된 스와쓰 사이의 영역에서 종종 특히 현저하다. 각각의 스와쓰는 개시 경계선과 끝 경계선을 갖는 대응하는 화상에 의해 정의된다. 따라서, 최종 스캔된 스와쓰의 최종 경계선과 그 다음의 스캔된 스와쓰의 개시 경계선이 스와쓰의 대향의 말단 단부에서 채널에 의해 보통 기록되고 다른 화상 형성 특징을 갖기 더 쉽다. 채널에서 채널까지의 스팟 크기의 점진적인 증가는 스와쓰 내에 보이지 않을 수 있지만, 스와쓰가 다른 스와쓰와 접속될 때 스와쓰 경계에서 불연속성이 나타날 수 있다. 이러한 드러난 스와쓰 경계의 불연속성은 다이 트랜스퍼 방법에 의해 제조된 컬러 필터를 볼 때 불쾌한 시각적 인위에 이르게 된다.

밴딩은 멀티-채널 화상 형성의 공통된 문제이며 화상 형성 헤드의 주의 깊은 정렬 및 측정에 의해 감소될 수 있다. 그러나, 열적 및 기계적 드리프트에 의해 일정 시간 후 밴딩이 다시 나타날 수 있다. 따라서, 특히 스와쓰 경계에서 밴딩의 가시성을 줄이는 화상 형성 방법에 대한 요구가 남아 있다.

본 발명에 따르면, 화상 형성된 특징의 가시의 부분 내에 경계가 발생하지 않는 것을 보장하도록 화상 형성 스와쓰 내의 채널의 수를 구성함으로써 스와쓰 경계에서 발생하는 가시의 밴딩을 줄이는, 형상의 규칙적인 패턴을 화상 형성하기 위한 방법이 제공된다.

본 발명에 따르면, 특징의 규칙적인 패턴을 화상 형성하기 위한 다수의 채널의 화상 형성 헤드를 구성하는 방법이 제공될 수 있다. 패턴 내의 형상들 사이의 반복 거리가 결정될 수 있다. 화상 형성을 위한 다수의 채널은 하나 이상의 완전한 패턴 형상이 화상 형성 헤드의 단일의 스캔 내에 화상 형성되도록 결정된다. 화상 형성 헤드는 소정의 채널 수에 따라 구성될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 방법은 컬러 필터를 제조하도록 사용될 수 있다.

일 실시예에서, 화상 형성 헤드를 구성하는 것은 다수 채널 중 적어도 하나를 비작동시키는 것을 포함한다. 일 실시예에서, 다수 채널 중 적어도 하나가 화상 형성되고,상기 다수의 채널 중 하나는 단일의 스캔 내에 화상 형성된 최초 채널과 최종 채널 사이에 위치된다. 일 실시예에서, 화상 형성 헤드는 다수의 완전한 패턴 형상과 하나의 부분적인 패턴 형상을 화상 형성 헤드의 단일의 스캔 내에서 화상 형성하기 위한 충분한 채널을 갖는다. 이러한 예에서, 화상 형성 헤드를 구성하는 것은 오직 정수의 완료된 패턴 측징부가 상기 화상 형성 헤드의 단일의 스캔에서 화상 형성되도록 하나의 부분적인 패턴 형상을 화상 형성하는 채널을 적어도 비작동시키는 것을 포함한다.

다른 실시예에서, 규칙적인 패턴이 화상 형성 헤드의 복수의 스캔에서 화상 형성되며, 각각의 연속적인 스캔은 전의 스캔에 인접한다. 일 실시예에서, 다수의 채널은 규칙적인 고정된 거리로 이격 배치되고, 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 고정된 거리보다 더 전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널로부터 변위된다. 다른 실시예에서, 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 전의 스캔에서 화상 형성되지 않은 적어도 최종 채널과 중첩된다. 다른 실시예에서, 전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널은 연속적인 스캔에서 화상 형성되지 않은 적어도 제1 채널과 중첩된다.

다른 실시예에서, 화상 형성 헤드를 구성하는 것은 메모리 요소에서 저장되는 적어도 하나의 파라미터를 바꾸는 것을 포함한다. 파라미터는 예를 들어, 소정 수의 채널에 대응한다. 다른 실시예에서, 화상 형성을 구성하는 것은 형상의 패턴을 나타내는 이미지 데이터를 재포맷하는 것을 포함한다. 다른 실시예에서, 화상 형성 데이터는 적어도 두 개의 다른 규칙적인 패턴을 화상 형성하도록 사용되고, 그 구성은 각각의 다른 규칙적인 패턴을 위해 수행된다.

다른 실시예에서, 규칙적인 패턴은 예를 들어, 복수의 다른 색상의 연장된 스트라이프(stripe)를 포함할 수 있다. 각각의 컬러를 위한 연장된 스트라이프는 개별적으로 화상 형성될 수 있다.

다른 실시예에서, 규칙적인 패턴은 예를 들어, 복수의 다른 색상의 형상을 포함할 수 있는 컬러 피터 형상의 패턴을 포함한다. 각각의 컬러를 위한 형상은 개별적으로 화상 형성될 수 있다. 이러한 예와 연결하여, 컬러 필터 기판이 제공될 수 있다. 블랙 매트릭스가 기판 위에 형성될 수 있다. 채색된 다이 도너 요소가 각각의 패턴 컬러를 위해 제공될 수 있다. 기판 위에 형성된 블랙 매트릭스는 각각의 색상의 다이 도너 요소와 중첩될 수 있고, 도너 컬러에 대응하는 패턴 컬러 형상이 화상 형성될 수 있으며, 화상 형성된 채색된 다이 도너 요소는 제거될 수 있다. 각각의 컬러를 위한 형상은 예를 들어, 화상 형성 헤드의 복수의 스캔에서 화상 형성될 수 있고, 각각의 연속적인 스캔은 전의 스캔에 인접한다. 일 실시예에서, 블랙 매트릭스가 각각의 복수의 스캔 내에 화상 형성된 최초 채널과 화상 형성된 최종 채널에 의해 위로 적어도 화상 형성될 수 있다. 다른 실시예에서, 복수의 채널은 규칙적인 고정된 거리에 의해 이격되어 배치될 수 있고, 연속적인 스캔에서 화상 형성된 최초 채널은 고정된 거리보다 더 전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널로부터 변위될 수 있다. 다른 실시예에서, 연속적인 스캔에서 화상 형성된 최초 채널은 전의 스캔에서 화상 형성되지 않은 적어도 최종 채널과 중첩될 수 있다. 다른 실시예에서, 전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널은 연속적인 스캔에서 화상 형성되지 않은 적어도 최종 채널과 중첩될 수 있다. 다른 실시예에서, 연속적인 스캔에서 화상 형성된 최초 채널은 전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널과 적어도 중첩될 수 있다.

다른 실시예에서, 복수의 채널의 적어도 하나는 (예를 들어, 블랙 매트릭스 위로) 화상 형성할 수 없고, 상기 복수의 채널의 적어도 하나는 각각의 복수의 스캔 내에서 화상 형성된 최초 채널과 화상 형성된 최종 채널 사이에 위치된다. 다른 실시예에서, 복수의 채널의 적어도 하나는 두개의 인접하여 위치되는 컬러 형상을 동시에 화상 형상할 수 없으며, 두 개의 인접하여 위치된 컬러 형상은 블랙 매트릭스에 의해 분리된다.

다른 실시예에서, 규칙적인 패턴은 하나 이상의 폴리머 반도체 요소를 나타내는 형상을 포함한다. 다른 실시예에서, 규칙적인 패턴은 랩-온-어-칩(lab-on-a-chip) 장치의 요소를 나타내는 형상을 포함한다.

다른 실시예에서, 컬러 필터는 본 명세서에서 기재된 실시예의 방법을 포함하는 다이 트랜스퍼 공정에 의해 제조될 수 있다. 다른 실시예에서, 형상의 규칙적인 패턴을 화상 형상하기 위한 다수의 채널의 화상 형성 헤드가 본 명세서에서 기재된 실시예의 방법에 따라 구성될 수 있다. 복수의 채널의 화상 형성 헤드는 예를 들어, 복수의 제어 가능한 요소를 갖는 광 밸브를 포함할 수 있고, 각각의 요소는 빛의 조절된 빔을 생성하도록 빛의 입사 빔에 영향을 줄 수 있다. 화상 형성 헤드는 제어 가능한 요소를 조명하기 위한 광원을 포함할 수 있다.화상 형성 헤드는 조절된 빔을 화상 형성 매체 위로 유도하기 위한 렌즈를 포함할 수 있다. 광원은 예를 들어, 모든 요소를 동시에 조명하도록 구성될 수 있다. 광 밸브는 에를 들어, 복수의 변형 가능한 미러 요소를 포함할 수 있다.

본 발명의 이해를 위해, 첨부된 도면과 연계하여 이하의 상세한 기재를 예시에 의해 참조한다.

본 발명의 추가적인 실시예, 성질 및 다양한 장점은 동일한 도면 부호는 전체에 결쳐 동일한 부품을 참조하는 첨부된 도면과 함께 고려하여, 이하의 상세한 기재를 고려할 때 보다 명백해진다.

도1a는 종래의 기술의 컬러 필터 구성의 부분의 평면도이다.

도1b는 다른 종래의 기술의 컬러 필터 구성의 부분의 평면도이다.

도2는 종래 기술의 화상 형성 헤드의 광학 시스템의 사시도이다.

도3은 화상 형성 기판에 관해 도시된 광 밸브의 개략도이며, 종래 기술의 화상 형성 방법을 도시한다.

도4a는 기판에 관해 도시된 광 밸브의 개략도이며, 본 발명에 따른 화상 형성 방법을 도시한다.

도4b는 기판에 관해 도시된 광 밸브의 개략도이며, 본 발명의 화상 형성 방법의 대안의 실시에를 도시한다.

도4c는 기판에 관해 도시된 광 밸브의 개략도이며, 본 발명의 화상 형성 방법의 다른 대안의 실시예를 도시한다.

이하의 기재는 많은 구체적인 상세한 사항을 포함한다. 이러한 상세한 사항을 포함한 것은 예시를 목적으로 한 것이며 발명을 한정하는 것이 아니다. 더욱이, 당업계에서 잘 알려진 특정한 특징은 본 발명의 대상을 복잡하게 하는 것을 피하기 위해 상세히 기재되지 않는다. 추가하여, 일 실시예의 특징은 본 발명의 다른 실시예의 특징과 결합될 수 있다.

컬러 요소의 몇몇 구성은 LCD 디스플레이 패널을 위한 컬러 필터에 사용된다. 각각의 컬러 요소는 짧은 측은 70㎛ 내지 100㎛ 범위이고 긴 측은 200㎛의 범위인 연장된 장방형이다. 도1a에서 도시되는 바와 같이, 스트라이프 구성은 적색, 녹색 및 청색의 교대의 컬럼을 가지며 대응하는 컬러 요소를 형성하도록 블랙 매트릭스에 의해 윤곽이 그려지는 가장 일반적인 것이다. 도1b에서 도시되는 모자이크 구성은 양 방향으로 교대하는 컬러 요소를 가지며 개선된 컬러 혼합을 제공한다. 도시되지 않은 델타 구성은 서로에게 3각 관계인 적색, 청색, 녹색 필터 요소를 가지며 가장 좋은 컬러 혼합을 제공한다. 모자이크 및 델타 구성 컬러 필터는 제조하기 어렵고, 모자이크 구성은 더 복잡한 구동 회로를 추가적으로 요한다.

도1a는 스트라이프 구성 컬러 필터(10)의 부분를 도시한다. 컬러 필터(10)는 기판을 횡단하여 교대하는 컬럼에서 형성되는 복수의 적색, 녹색 및 청색 컬러 요소(12, 14 및 16)를 포함한다. 컬러 요소(12 내지 16)는 블랙 매트릭스 층(20)에 의해 윤곽이 정해지는데, 이것은 요소를 나누고 요소 사이의 백라이트 누설을 방지한다. 컬럼은 연장된 스트라이프에서 대체로 화상 형성되고 이후 블랙 매트릭스(20)에 의해 개별적인 컬러 요소(12 내지 16) 내로 세분된다. (도시되지 않은) 관련된 LCD 패널 상의 TFT 트랜지스터는 영역(22)에서 블랙 매트릭스의 부분에 의해 마스크된다. 도1b는 모자이크 구성 내의 컬러 필터(24)를 도시하며, 도1a에서 도시되는 스트라이프 구성 필터(10)로부터의 차이는 컬러 요소(12 내지 16)의 배치인데, 열을 횡단하게 및 컬럼을 따라 색이 바뀐다.

도1a의 컬러 필터(10)의 제조 동안, 대체로 컬러 요소(12 내지 16)의 각각은 각각의 개별적인 컬러 요소의 윤곽을 정하는 블랙 매트릭스(20)의 개별적인 부분들을 부분적으로 또는 완전히 오버랩한다. 블랙 매트릭스를 상당히 오버랩하는 것은 그 개별적인 컬러 요소의 윤곽을 정한 블랙 매트릭스(20)의 부분의 경계 내에 각각 의 컬러 요소로 컬러를 정확하게 도포하려고 한다면 직면하게 되는 레지스트레이션 이슈를 감소시킨다. 또한, 다이 트랜스퍼 공정이 사용되어 다양한 컬러 요소를 생산하는 경우에, 핀 구멍과 같은 에지 불연속성 및 다양한 인위물이 각각의 연속적인 (컬러 복사 필름이라고 알려진) 다이 도너가 그 개별적인 컬러 요소의 화상 형성 후 제거될 때 발생할 수 있다. 이러한 인위물은 에지에서 전사된 다이 재료가 다이 도너가 필 오프(peel off)될 때 다이 수용 요소에 부착된 상태로 남기에 충분한 접착 필 강도를 가질 수 없기 때문에 대체로 발생한다. 따라서, 블랙 매트릭스(20)를 추가적으로 오버랩하는 것은 컬러 요소들 자체 내의 명료한 영역 및 빈 공간이 최소화되기 때문에 이러한 에지 불연속성의 감춤을 허용하고 개별적인 컬러 요소 사이의 소정의 대비가 달성되는 것을 보장하도록 돕는다.

불랙 매트릭스(20)의 부분의 완전한 오버랩의 예시가 도1a에서 도시된다. 이러한 예에서, 컬러 요소(12)는 각각의 적색 스트라이프 내에 각각의 적색 컬러 요소(12)의 윤곽을 정하는 블랙 매트릭스(20)의 수평 부분(25)을 완전히 오버랩할 수 있는 적색 스트라이프에 의해 생성된다. 말할 필요 없이, 각각의 컬러 요소(12)는 인접하는 스트라이프의 컬러 요소 위에 이중 인화하지 않도록 블랙 매트릭스(20)의 수평 부분(27)을 오직 부분적으로 오버랩할 수 있다. 블랙 매트릭스의 부분적 오버랩에 대한 이러한 요구는 도1b에서 예시되는 모자이크 구성에서 더 도시된다. 이러한 예에서, 소정의 어떠한 요소도 개별적인 컬러 요소와 다른 컬러로 구성되는 인접하는 컬러 요소에 의해 4 개의 측면 상에 둘러싸이게 된다. 이러한 실시예에서, 컬러 요소(12)는 인접하는 컬러 요소 상에 역으로 이중 인화하지 않도록 블랙 매트릭스(20)의 수평 부분(25) 및 수직 부분(27)을 오직 부분적으로 오버랩할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서, 컬러 필터는 다이 트랜스퍼 공정에 의해 제조된다. 이러한 공정은 컬러 필터 리시버 기판과 밀착하여 배치되는 다이 도너 요소를 직접 화상 형성하기 위해 복수의 레이저 빔을 포함하는 레이저 헤드를 사용하는 것을 수반한다. 컬러 필터 리시버 기판은 그 위에 형성되는 블랙 매트릭스를 대체로 갖는다. 블랙 매트릭스 자체는 다이 트랜스퍼 공정에 의해 생산될 수 있지만, 블랙 매트릭스 자체 내에 에지 인위물 및 불연속성을 피하고 필요한 정확성을 제공할 수 있는 사진 석판 기술에 의해 대체로 형성된다. 다이 또는 안료는 멀티-채널의 광 밸브 기반의 레이저 헤드를 사용하여 기판으로 화상 방향으로 대체로 전사된다. 필터의 적색, 녹색 및 청색 부분은 별도의 단계에서 화상 형성되는데, 매번 다이 도너 요소를 전사될 다음의 컬러 다이로 대체한다. 말할 필요 없이, 필터의 적색, 청색 및 녹색 부분들의 각각은 부분들의 각각이 블랙 매트릭스에 등록되도록 리시버 기판으로 전사되어야 한다. 컬러 도너 모두가 별도로 화상 형성된 후에, 컬러 필터 요소는 약 섭씨 200도 내지 300도의 온도 하의 경화 로에서 어닐링되거나 경화된다. 다음으로, 오버코트 층과 공통의 전극이 화상 형성된 컬러 필터 기판 위에 차후 형성된다. 오버코트 층은 컬러 필터 패턴을 보호하고 별도로 화상 형성된 컬러 필터 패턴의 표면을 평탄하게 한다. 공통의 전극은 인듐-주석-산화물(indium-tin-oxide) 및 인듐-아연-산화물(indium-zinc-oxide)과 같이, 투명한 도체 재료로 제조된다.

종래 기술의 광 밸브 기반의 레이저 빔이 도2에서 도시된다. 복수의 변형 가능한 미러 요소(101)를 포함하는 선형 광 밸브 배열(100)가 실리콘 기판(102) 위에 제조된다. 레이저(104)는 원통형 렌즈(108 및 110)를 포함하는 일그러져 보이는 상의 빔 확장기를 사용하는 조명 라인(106)을 생성한다. 예를 들어, 갤바트(Gelbart)의 미국 특허 제 5,517,359호는 조명 라인(106)을 형성하기 위한 방법을 기재한다. 렌즈(112)는 요소(101)들이 활성화되지 않은 상태에 있을 때에만 구멍 정지부(116) 내의 구멍(114)을 통해 레이저 조명의 초점을 맞춘다. 조명 라인(106)은 복수의 요소(101)를 횡단하여 측 방향으로 퍼져서 요소(101)의 각각은 조명 라인(106)의 부분에 의해 조명된다.

특별한 요소(101)가 활성화되지 않을 때, 구멍(114)은 빛을 그 요소로부터 투과한다. 활성화된 요소로부터의 빛은 구멍 정지부(116)에 의해 막힌다. 렌즈(118)는 광 밸브(118)를 화상 형성하여 화상 형성 스와쓰(120)를 형성한다. 화상 형성 스와쓰(120)는 화상을 형성하도록 기판의 영역 위로 스캔되는 해당하는 레이저 픽셀을 형성하도록 조절되는 복수의 개별적인 레이저 빔을 포함한다.

강성의 기판을 화상 형성할 때, 디스플레이 패널을 제조함에 있어서 공통되는 것처럼, 사용되는 스캐너는 보통 평탄한 배향에서 기판을 고정하는 평상형 스캐너이다. 기판 또는 화상 형성 빔, 또는 양자의 조합은 서로에 대해 변위되어 스캔에 영향을 미친다. 갤바트(Gelbart)의 미국 특허 출원 제 2004/0004122 A1호는 디스플레이 패널 화상 형성에 적합한 고속의 평상형 스캐너의 예를 개시한다. 대안으로, 가요성 기판은 드럼 스캐너의 외부 또는 내부 표면에 고정되어 스캔을 싱행 한다. 기판이 충분히 얇고 드럼의 직경이 충분히 크다면 유리와 같이, 강성이라고 종래에 생각되는 기판도 드럼 스캐너 상에 스캔될 수 있다.

직접적인 화상 형성의 종래 기술의 방법은 도3에서 개략적으로 도시된다. 컬러-필터 기판(18)의 부분는 다이 트랜스퍼 공정에서 복수의 적색 스트라이프(30 내지 36)로 패턴화되었다. 적색 스트라이프의 각각의 폭은 컬러 요소의 가시 폭만큼 넓을 필요는 없지만, 각각의 개별적인 스트라이프 내에 각각의 적색 요소를 윤곽을 정하는 (도시되지 않은) 블랙 매트릭스 수직 세그먼트를 부분적으로 오버랩하도록 충분한 폭일 수 있다. 제1 위치의 (화상 형성 멀티-채널의 헤드 내의) 광 밸브(38)는 복수의 개별적으로 어드레스를 지정할 수 있는 채널(40)을 갖는다. 도3은 광 밸브 채널(40)과 파선인 전사된 패턴 사이의 일치를 도시한다. 광 밸브(38)가 동일한 스케일로 도3에서 도시되지만, 개략적인 예시는 광 밸브(40)와 패턴(30 내지 36) 사이의 일치가 기록되고 반드시 물리적 관계는 아니라는 것을 도시한다. 도2에서 도시되는 바와 같이, 실제로 광 밸브는 렌즈(118)에 의해 기판 위로 화상 형상될 수 있는데, 이는 기판의 평면에서 화상 형성 스와쓰의 크기 및 형태를 재포맷할 수 있다. 각각의 조절된 레이저 빔은 바람직한 크기의 화상 형성된 스와쓰를 구성하는 레이저 픽셀을 제조한다. 각각의 레이저 픽셀은 스캔 방향에 수직인 방향으로 5㎛(즉, 4800 dpi 해상도) 내지 20㎛(즉, 1200 dpi 해상도)의 범위 길이를 가질 수 있다. 각각의 빔의 조절 시간은 스캔 방향에 평행한 방향으로 각각의 레이저 픽셀의 폭을 결정한다. 이러한 거리는 대체로 3㎛ 내지 20㎛의 범위이다.

광 밸브(38)에 의해 생성되는 빔은 기록될 패턴에 따라 이미지 방향으로 조 절되는 동안 주된 스캔 방향(42)으로 기판 위에 스캔된다. 채널(48)의 그룹은 활성화되어 스트라이프 형상을 형성하는 것이 바람직한 경우에 하나 이상의 화상 형성 빔을 생성하지만, 패턴에 대응하지 않는 채널은 제외된다. 기판은 보통 너무 커서 단일의 스캔에서 화상 형상되지 않기 때문에, 기판의 다수의 스캔이 화상 형성을 완료하는데 필요하기 쉽다. 이러한 경우에, 각각의 스캔은 차후의 스캔이 전의 스캔과 나란하게 정렬되도록 방향(44)으로 광 밸브(38)의 병진이 뒤따른다. 주된 스캔 방향(42) 내의 각각의 스캔 동안 스캔 방향으로의 이동이 없는 도시되는 실시예에서, 스캔 후 발생하는 이동이 완료된다. 대안으로, 드럼 타입의 스캐너를 위해, 양 스캔 바향으로 동시에 스캔하고, 따라서 나선으로 화상을 기록한다. 전의 스캔을 차후의 스캔에 정렬하기 위한 몇몇 선택이 있다. 각각의 스와쓰는 레이저 헤드 내의 최초 활성 채널에 대응하는 개시 경계선과 레이저 헤드 내의 최종 활성 채널에 대응하는 종결 경계선을 포함하는 이미지 영역으로 구성된다. 스와쓰 에지 효과를 제거하도록 하나 이상의 채널 폭에 의해 전의 스캔의 종결 경계선을 차후의 스캔의 개시 경계선과 오버랩하는 것은 화상 형성에서 공지이다. 대안으로, 차후의 스캔의 최초 화상 형성된 채널은 전의 스캔의 최종 화상 형성된 채널로부터 광 밸브 상의 인접하는 채널 사이의 간격에 대응하는 거리만큼 이격될 수 있다.

적색 스트라이프(30, 32)와 스트라이프(34)의 부분(34')는 빔이 제1 주된 스캔에서 스캔되는 동안 기록된다. 제1 주된 스캔의 완료 시에 광 밸브(38)는 서브-스캔 방향(44)으로 파선으로 도시되는 새로운 위치(38')로 변위된다. 서브-스캔 변위는 광 밸브(38) 상에 제공되는 채널의 수 (이러한 경우 35 채널)에 대응한다. 38'에서의 변위된 광 밸브는 최종 채널(45)의 전의 위치에 인접하는 최초 채널(46)을 위치(38)에서의 광 밸브 위로 위치시키며, 따라서 스트라이프(34)의 부분(34')를 화상 형성한다. 상기에서 검토한 바와 같이, 스트라이프의 부분(34' 및 34") 사이의 경계에서 선(47)로 도시되는 가시 불연속성의 출현을 피하는 것은 어렵다. 이러한 가시 불연속성은, (도시되지 않은) 블랙 매트릭스에 의해 스트라이프(34)의 윤곽에 의해 생성되는 컬러 요소 내에 존재할 때, 불쾌한 가시 인위물이 될 수 있다.

본 발명에 따르면, 불연속성(47)은 연속적인 스캔에서 스와쓰 경계가 블랙 매트릭스에 의해 윤곽이 정해지는 각각의 컬러 요소 내에 결국 보이는 스트라이프의 화상 형성된 영역 내에 해당되지 않도록 화상 형성을 배열함으로써 회피된다. 구체적으로, 두 개의 인접하는 스캔 사이의 경계는 화상 형성되지 않은 영역(특별한 색조의 스트라이프가 화상 형성되지 않은 영역) 내에 해당될 수 있다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 실질적인 간극은 최초 스캔의 최종 활성화된 채널과 두 번째 스캔의 최초 활성화된 채널 사이에서 나타난다. 이러한 간극은 화상 형성되지 않은 영역을 초월한다. 대안으로, 스와쓰 경계는 특정한 컬러 요소의 윤곽을 정하는 블랙 매트릭스(20)의 부분 내에 해당될 수 있다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 최초 스캔의 최종 활성화된 채널(종결 경계선)과 두 번째 스캔의 최초 활성화된 채널(개시 경계선) 양자는 그 특정한 컬러 요소를 (방향(42)을 따라) 윤곽을 정한 블랙 매트릭스의 부분 내에 위치한다. 본 발명의 실시예에서, 그 결과로서의 간극 또는 오버랩이 블랙 매트릭스의 윤곽을 정하는 부분의 범위 내에 남아 있는 한, 간극 또는 오버랩은 인접하는 스캔의 적어도 개별적인 최종 및 최초 활성화 채널 사이에서 존재할 수 있다.

본 발명의 실시예는 패턴이 사전에 알려져 있고 규칙적이고 변하지 않는 형상을 갖기 때문에 가능하다. 이러한 개념은 도4a와 관련하여 기술된다. 스트라이프(30, 32)는 주된 스캔 방향(42)으로 제1 스캔에서 화상 형성된다. 제1 스캔에서 스트라이프(34)의 부분을 화상 형성하는 것이 가능할 때, 이것은 구체적으로 회피된다. 제2 주된 스캔에서, 광 밸브 부분(38)은 최초 채널(46)이 스트라이프(34)의 시작 시에 바로 화상 형성하도록 위치되기 위해 새로운 위치(38")로 색인화된다. (새로운 위치(38")에서의 광 밸브는 도면에서 상세한 사항을 가리는것을 피하기 위해 방향(42)으로 변위되는 것으로 도시된다.) 그룹(50)에서의 채널은 스트라이프(34)의 일부가 최초 주된 스캔 동안 화상 형성될 수 있다 하더라도 그 결과의 컬러 요소 내에 보이게 되는 스트라이프 내의 영역 내에 나타나는 스와쓰 경계를 방지하도록 이것을 구체적으로 피하기 위해 비작동된다. 따라서, 위치(38)에서 광 밸브에 의해 생성되는 화상 형성된 스캔의 종결 경계선은 최종 활성화 채널에 대응한다. 두 번째 주된 스캔 또는 스와쓰에서 변위된 위치(38")에서의 광 밸브는 최초 채널(46)로 스트라이프(34)의 개시를 화상 형상한다 (화상 형상된 스캔의 개시 경계선). 광 밸브(38)는 비작동하는 채널(50) 때문에 매번 서브-스캔 방향(44)으로 완전한 스와쓰 이하 만큼 변위되는 사실 때문에 속도에 작은 패널티가 있다. 도4a에서 도시되는 단순화된 경우에서 속도 패널티는 광 밸브 상의 35 전체 채널 중에서 52에서 브래킷되는 3 개의 채널, 즉 8.5%에 의해 나타난다. 실제로 광 밸브는 수백 개의 채널을 가질 수 있고 속도 패널티는 더 작을 수 있다. 채널(50)은 이러한 구체적인 구성에서 모두 비활성화이기 때문에, 위치(38)에서의 광 밸브는 스트라이프(30)의 개시를 화상 형상하도록 채널(46)을 위치시킬 필요가 없다. 화상 형성은 상당한 생상성 없이 다수의 선택 채널 중 하나에서 시작할 수 있다. 또한, 연속적인 스캔 중 어느 하나의 화상 형성이 다른 채널에서 화상 형성이 최초 스캔 상에서 개시된 채널로부터 시작할 수 있다. 이러한 상황은 특별한 상황에 특정하고 , 광 밸브가 최적 수의 채널로 구체적으로 제조된다면 이러한 유연성은 가능하지 않을 수 있다.

도4b는 본 발명에 따른 모자이크 구성 컬러 필터를 위한 화상 형성 방법을 도시한다. 도4a에서 도시되는 바와 같이 화상 형성 스트라이프 대신에 복수의 컬러 요소(60)가 별도로 기판(18) 위로 화상 형성되는 것을 제외하고 본 발명은 이러한 경우에 동일하게 적용될 수 있다. 채널(66)은 이번에 비작동하고 컬러 요소(62 및 64)를 화상 형성할 때, 광 밸브는 전체 요소가 단일의 스캔에서 화상 형성되고 불연속성이 나타나지 않도록 다시 위치(38")로 인덱스화된다. 스트라이프는 본 발명의 이러한 실시예에서 화상 형성되지 않기 때문에, 방해받지 않는 화상 형성되지않는 영역은 존재하지 않는다. 따라서, 스와쓰 경계 및 각각의 스캔의 개시 및 종결 경계선은 컬러 요소의 각각을 윤곽을 정하는 (도시되지 않은) 블랙 매트릭스의 수직 부분 상에 나타나야 한다. 따라서, 스와쓰 경계는 인접하는 컬러 요소(63)로부터 컬러 요소(62 및 64)를 윤곽을 정하는 블랙 매트릭스의 수직 부분 위 에 나타난다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 최초 스캔의 최종 활성화된 채널(종결 경계선)과 두 번째 스캔의 최초 활성화 채널(개시 경계선) 양자는 그 구체적인 컬러 요소를 (방향(42)을 따라) 윤곽을 정한 블랙 매트릭스의 수직 부분 위에 위치한다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 결과로서의 간극 또는 오버랩이 블랙 매트릭스의 윤곽을 정하는 부분의 범위 내에 남아 있는 한, 간극 및 오버랩은 인접하는 스캔의 적어도 개별적인 최종 및 최초 활성화 채널 사이에 존재할 수 있다. 즉, 간극 또는 오버랩은 블랙 매트릭스의 윤곽을 정하는 부분보다 폭이 더 작을 수 있다.

유사하게, 규칙적으로 배치된 형상의 패턴의 요건이 이러한 구성에서 존재하기 때문에, 델타 구성 컬러 필터는 본 발명의 방법을 사용하여 화상 형성될 수 있다.

도4c는 스트라이프 구성이 화상 형성되는 본 발명의 다른 실시예를 도시한다. 그러나, 본 발명의 이러한 실시예에서, 각각의 스캔은 방향(44)으로 화상 형성되고 차후의 스캔은 방향(42)으로 인덱스화된다. 스트라이프 구성(30, 32 및 34)은 위치(70)에 의해 나타나는 (도시되지 않은) 블랙 매트릭스의 교차를 예시하도록 중지되는 방식으로 그려진다. 상술한 바와 같이, 위치(70)에 의해 나타나는 블랙 매트릭스의 부분은 블랙 매트릭스의 개별적 부분에 인접하는 각각의 컬러 요소의 등록 및 대비 이슈를 최소화하도록 부분적으로 위로 화상 형성될 필요가 있다. 따라서, 광 밸브는 소정의 스와쓰 경계 내에 해당하는 블랙 매트릭스의 부분 위로 부분적으로 또는 완전히 화상 형성할 수 있다. 본 발명의 이러한 실시예에 서, 스트라이프 내에 컬러 요소(74)를 완전히 화상 형성하기에 불충분한 수이기 때문에 채널(68)은 비작동이다. 따라서, 광 밸브는 컬러 요소(74)가 단일의 스캔에서 완전히 화상 형성되고 불연속성이 나타나지 않도록 위치(38")로 인덱스화된다. 본 발명의 이러한 실시예는 블랙 매트릭스의 부분만이 스트라이프 형상(30, 32 및 34)을 방해하는 도4b에서 도시되는 실시예와 유사하다. 즉, 방해 받지 않는 화상 형성 간극은 다른 컬러의 요소를 화상 형성할 필요에 의해 주된 스캔 방향을 따라 생성되지 않는다. 따라서, 모든 스와쓰 경계는 블랙 매트릭스의 부분 상에 발생한다. 제1 스캔의 최종 활성화 채널(즉, 최초 스캔의 종결 경계선)은 블랙 매트릭스의 부분 위로 화상 형성된다. 차후의 인접하는 스캔의 최초 활성화 채널(즉, 개시 경계선)은 블랙 매트릭스의 부분 위로 화상 형성된다. 블랙 매트릭스의 부분 모두는 하나이고 스와쓰 경계가 블랙 매트릭스의 단일의 부분 위로 요구되는 경우에서와 동일할 수 있다. 대안으로, 블랙 매트릭스의 부분 양자는 또 다른 컬러가 화상 형성될 적어도 하나의 화상 형성되지 않은 영역에 의해 분리된 블랙 매트릭스의 두 개의 부분에 의해 예시되는 바와 같이 서로 구별될 수 있다.

상술한 바와 같이, 차후의 스캔은 전의 스캔과 중첩되거나 가깝게 인접할 수 있다. 규칙적인 패턴을 화상 형성할 때 제공 가능한 선택은 훨씬 더 많다. 도4a로 돌아가서, 광 밸브(38)의 최종 채널(52)이 도시되는 형상(34) 내에 해당할 때, 채널(50)은 비작동될 수 있고 차후의 스캔은 형상(34)의 개시에 정렬된다. 대안으로, 광 밸브의 최종 채널이 형상(32 및 34) 사이에 해당한다면, 차후의 스캔은 형상(34)의 개시와 정렬될 수 있으며, 연속적인 스캔 또는 스와쓰 사이의 실질적인 간극을 남긴다. 따라서, 규칙적인 형상의 특별한 반복에 따라, 차후의 스캔은 오버랩되거나 되지 않을 수 있다.

간극은 연속적인 스와쓰 사이에서 발생하지 않을 수 있다. 스와쓰 사이 간극은 하나의 소정의 스와쓰 내에 발생할 수 있다. 스와쓰 사이 간극(51)은 도4a에서 도시되는 스트라이프 구성에 의해 규정되는 화상 형성되지 않은 영역에 해당한다. 또한, 스와쓰 사이 간극은 다른 컬러 필터 컬러에 대응하는 컬러 요소 또는 차후의 스트라이프가 화상 형성되는 특정의 영역에 제한될 필요는 없다. 스와쓰 사이 간극은 소정의 스와쓰에 의해 화상 형성되는 컬러 요소를 윤곽을 정하는 블랙 매트릭스의 수평 및 수직 부분 양자 내에 발생할 수 있다. 블랙 매트릭스의 부분의 경계 내에 발생하는 스와쓰 사이 간극은 블랙 매트릭스의 개별적인 부분 위로의완전한 화상 형성 오버랩이 바람직하지 않을 때 통합될 수 있다. 도4c는 광 밸브 위치(38)의 채널(72)이 활성화되지 않는 본 발명의 실시예를 도시한다. 채널(72)의 위치는 블랙 매트릭스의 부분(70) 내의 화상 영역에 해당한다. 따라서, 채널(70)에 인접하는 채널은 부분(70) 내에 스와쓰 사이 간극이 되는 블랙 매트릭스의 부분(70)의 잔여 위로 화상 형성한다. 블랙 매트릭스의 각각의 부분은 개별적인 블랙 매트릭스 요소의 폭보다 더 작게 된다. 따라서, 스와쓰 사이 간극 또는 스와쓰부터 스와쓰로의 간극은 블랙 매트릭스의 부분 위로 발생하든지 간에, 광 밸브는 역으로 이웃하는 컬러 요소에 영향을 주지 않고 블랙 매트릭스의 부분 위로 부분적으로 오버랩하도록 충분한 해상도 또는 입도를 갖는 화상 형성 빔을 제공할 수 있는 채널을 가져야 한다.

멀티-채널 화상 형성 헤드의 구성은 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 본질적으로, 형상의 규칙적인 패턴은 분석되고, 형상 사이의 반복 거리가 결정된다. 형상이 블랙 매트릭스 위로 오버랩되어 등록 문제를 감소시키는 것이 바람직한 컬러 필터의 구체적인 경우에서, 반복 거리는 블랙 매트릭스 위에서 시작되고 끝나게 된다. 화상 형성 헤드의 채널은 소정의 반복 거리의 배수에 따라 완전한 형상을 화상 형성하도록 구성된다. 따라서, 이러한 반복 거리는 각각의 스캔의 개시 경계선 및 종결 경계선 사이의 거리 또는 치수와 동일하다. 경계선 사이의 이러한 치수는 레이저 픽셀의 거리에 필수적인 반복 거리를 만들기 위해 레이저 헤드 내에 활성화된 조절된 빔에 의해 생성된 레이저 픽셀의 수를 곱한 결과물에 해당한다. 레이저 픽셀 중 몇몇은 활성화되고 다른 레이저 픽셀은 비활성화되는 예에서, 경계선 사이의 치수는 각각의 레이저 픽셀의 길이에 활성화 레이저 픽셀의 수를 곱한 결과물에 의해 결정된다. 비활성화 레이저 픽셀은 레이저 헤드의 미리 정해진 부분 내에 모두 배치될 수 있다. 예를 들어, 비활성화 픽셀은 레이저 헤드의 일 단부를 향해 배치될 수 있다(예를 들어, 도4a의 채널950), 도4b의 채널(66) 및 도4c의 채널(68)).

반복된 스캔의 각각에 의해 한정되는 경계 선 사이의 치수는 N×B+(N-1)×C 및 N×(B+C) 사이일 수 있으며, N은 정수, C는 스캔 방향에 수직인 방향으로의 블랙 매트릭스의 폭이며, B는 스캔 방향에 수직인 방향으로의 블랙 매트릭스 내에 한정된 컬러 필터 패턴 영역의 길이이다. 대안으로, 반복된 스캔 중 각각의 것에 의해 한정되는 경계선 사이의 치수는 N×B+(N-1)×C 및 N×B+(N-0.5)×C 사이일 수 있으며, N은 정수이고, C는 스캔 방향에 수직인 방향으로 블랙 매트릭스의 폭이고, B는 스캔 방향에 수직인 방향으로 블랙 매트릭스 내에 한정되는 컬러 필터 패턴 영역의 길이이다.

화상 형성 또는 레이저 헤드가 변하지 않는 패턴을 화상 형성하도록 요구된다면, 헤드는 구체적인 수의 채널로 구성되도록 제조될 수 있다. 바람직하게, 패턴이 매 시간 변하기 쉽다면, 그 구성 수단은 하드웨어 또는 소프트웨어 스위치의 형태로 제공될 수 있다. 전자적인 하드웨어의 구성을 위해 이중 인라인 패키지(DIP) 스위치를 사용하는 것은 잘 알려져 있다. 많은 화상 형성 제품에 마이크로프로세서 하드웨어가 포함되어, 그 구성은 하드웨어로의 소프트웨어 인터페이스를 통해 동일하게 잘 수행될 수 있다. 소프트웨어 파라미터를 통한 제어는 화상 형성 헤드의 자동화된 온-더-플라이(on-the-fly) 구성을 허용하는데, 이것은 패턴 내에 상대적으로 잦은 변화가 있다면 바람직하다.

대안으로, 구성은 비작동될 채널이 그것들이 화상 형성하게 야기하는 화상 데이터를 받지 않도록 화상 형성될 패턴을 나타내는 화상 형성 데이터를 재포맷하는 것을 수반할 수 있다. 그러나, 화상 형성 빔은 모든 형상이 정확하게 기록되는 것을 보장하도록 각각의 스캔 후 횡단되는 양을 조절하는 것이 필요하다.

예시

11×13 인치의 세 개의 컬러 화상이 224 개의 이용가능한 채널을 갖는 1200 dpi 화상 형성 헤드를 위해 준비되었다. 각각의 화상 형성된 컬러 요소 스트라이프의 타겟 폭은 화상 형성 헤드 상의 4 개의 채널에 해당하는 84.6㎛이었다. 다른 컬러의 인접하는 스트라이프 사이의 간격은 일 채널, 즉 21.167㎛이었다. 사용된 화상 형성 헤드는 캐나다 브리티시 콜럼비아 버나비시 소재의 크레오(Creo) 사에 의해 제조되는 열적 화상 형성 헤드인 SQAUREspot®이었다. 헤드는 Society for Information Display 저널 제11권 제1호 199 내지 202 면에, 에란 엘리쥬어(Eran Elizure)와 댄 캘바트(Dan Gelbart)의 "평탄한 패널 디스플레이 제조를 위한 열적 전사" 문헌에 기재된 바와 같이 평상형 스캐너 위에 장착되었다.

화상 형성 헤드 인터페이스는 화상 형성 채널의 수의 구성을 허용하지만 오직 8 그룹 내이다. 4 개의 채널이 동작이고 1 개의 채널이 비작동인 선택된 패턴 반복은 채널의 수를 40(5 × 8 = 40 채널)의 배수로 구속한다. 이러한 특정한 화상 형성 헤드 상에 사용될 수 있는 채널의 가장 큰 수는 200이다. 따라서, 화상 형성 헤드는 200 개의 채널을 가능하게 구성되고 나머지 24 개의 채널은 비작동이다.

단일의 Tiff 포멧 이미지 파일이 단일의 컬러 분리를 위한 패턴으로 준비되었다(즉, 84.6㎛ 스트라이프 317.5㎛ 떨어짐). 파일은 순차적으로 청색, 적색, 녹색 도너의 각각을 위해 별도로 화상 형성되었다. 적색 도너를 위해, 이미지 개시 위치는 105.8㎛ 만큼 바뀌었다. 녹색 도너를 위해 이미지 개시 위치는 105.8㎛ 만큼 더 바뀌어서 교대하는 컬러 스트라이프의 완전한 패턴을 생성하였다(예를 들어, 도1a 참조). 어떠한 스와쓰 경계도 컬러-요소 영역 내에 나타나지 않았다. 각각의 연속적인 컬러 도너는 화상 형성 후 제거되었고 화상 형성될 다음의 컬러 도너로 교체되었다.

결과오서의 샘플은 밴딩을 위해 특징지어졌고 완전한 224 개의 채널이 화상 형성 헤드 상에 제공 가능하게 준비된 샘플보다 덜 보이는 밴딩을 보이는 것으로 발견되었다.

선행의 예에서 패턴 및 화상 형성 헤드의 선택은 제공 가능한 화상 형성 헤드 구성의 한계 하에 이루어졌다는 것은 당업자에게는 명백하다. 24 개의 비작동 채널은 대략 11% 만큼 생상성을 감소시키는 결과를 갖는다. 어떠한 소정의 패턴 크기 및 반복에 있어서도 화상 형성 헤드는 처리량의 손실을 피하도록 구체적으로 제조되고 구성될 수 있다. 예를 들어, 240 개의 채널의 노출 헤드로 예에서 상세화된 패턴의 화상 형성은 완전한 생산성으로 진행될 수 있다.

본 발명은 디스플레이 및 전자 장치 제조에 관해 기술되었지만, 본 명세서에서 기술된 방법은 규칙적인 패턴의 화상 형성에 직접 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 방법은 랩-온-어-칩(LOC) 제조를 위한 생의학적 화상 형성 분야에 적용될 수 있다. LOC 기술은 기계 및 건강관리 산업 내에 빠르게 성장하는 연구 주제이다. 원리는 샘플 준비, 유체 조작, 분석 및 감지 단계가 단일의 마이크로칩의 범위 내에서 수행될 수 있도록 자동화된 마이크로 스케일의 실험실을 생산하는 것이다. LOC 칩은 여러 개의 반복되는 패턴 형상을 가질 수 있다.

추가하여, 멀티-채널 화상 형성 헤드의 특정한 실시예가 도와 관련하여 기술되었지만, 도2의 화상 형성 헤드는 단순히 예시적인 것이다. 본 발명의 방법에 따른 사용을 위한 멀티-채널 화상 형성 헤드의 많은 다른 적합한 유형이 있다.

선행의 개시의 관점에서 당업자에게 명백한 바와 같이, 많은 교체 및 수정이 본 발명의 기술 사상 또는 범위로부터 벗어나지 않으면서 본 발명의 실시에 가능하다.

Claims

형상의 규칙적인 패턴을 화상 형성하기 위한 다수의 채널 화상 형성 헤드 구성 방법이며,

패턴 내의 형상 사이의 반복 거리를 결정하는 단계와,

오직 하나 이상의 완전한 패턴 형상이 화상 형성 헤드의 단일의 스캔에서 화상 형성되도록 화상 형성을 위한 채널의 수를 결정하는 단계와,

상기 결정된 채널의 수에 따라 상기 화상 형성 헤드를 구성하는 단계를 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 화상 형성 헤드를 구성하는 단계는 다수의 채널 중 적어도 하나를 비작동시키는 단계를 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 다수의 채널 중 적어도 하나는 화상 형성되지 않고, 상기 다수의 채널 중 적어도 하나는 단일의 스캔에서 화상 형성된 최초 채널과 화상 형성된 최종 채널 사이에 위치되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제2항에 있어서, 상기 화상 형성 헤드는 화상 형성 헤드의 단일의 스캔에서 정수의 완전한 패턴 형상과 하나의 부분적인 패턴 형상을 화상 형성하기 위한 충분한 채널을 가지며, 상기 화상 형성 헤드를 구성하는 단계는 오직 정수의 완전한 패 턴 형상이 상기 화상 형성 헤드의 단일의 스캔에서 화상 형성되도록 상기 하나의 부분적인 패턴 형상을 화상 형성하는 채널을 적어도 비작동시키는 단계를 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 규칙적인 패턴은 상기 화상 형성 헤드의 복수의 스캔에서 화상 형성되고, 각각의 연속적인 스캔은 이전의 스캔에 인접하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제5항에 있어서, 상기 다수의 채널은 규칙적인 정해된 거리로 이격되고, 상기 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 이전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널로부터 상기 정해진 거리 이상으로 변위되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제5항에 있어서, 상기 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 적어도 이전의 스캔에서 화상 형성되지 않은 상기 최종 채널과 겹치는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제5항에 있어서, 상기 이전의 스캔에서 화상 형성되는 상기 최종 채널은 적어도 차후의 스캔에서 화상 형성되지 않은 상기 최초 채널과 겹치는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 화상 형성 헤드를 구성하는 단계는 메모리 요소에 저장되는 적어도 하나의 파라미터를 변경하는 단계를 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제9항에 있어서, 상기 파라미터는 상기 소정 개수의 채널에 대응하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 화상 형성 헤드를 구성하는 단계는 형상의 패턴을 나타내는 화상 데이터를 재포맷하는 단계를 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 화상 형성 헤드는 적어도 두 개의 다른 규칙적인 패턴을 화상 형성하도록 사용되고, 상기 구성은 각각의 다른 규칙적인 패턴을 위해 수행되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 규칙적인 패턴은 컬러 필터 형상의 패턴을 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제13항에 있어서, 상기 컬러 필터 형상은 복수의 다른 색상의 긴 스트라이프를 포함하고, 각각의 컬러를 위한 상기 긴 스트라이프는 개별적으로 화상 형성되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제13항에 있어서, 상기 컬러 필터 형상의 패턴은 복수의 다른 색상의 형상을 포함하고, 각각의 컬러를 위한 상기 형상은 개별적으로 화상 형성되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제15항에 있어서, 컬러 필터 기판을 제공하는 단계와,

상기 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와,

각각의 패턴 컬러를 위한 채색된 다이 도너 요소를 제공하는 단계와,

차례로, 기판 위에 형성된 블랙 매트릭스를 각각의 채색된 다이 도너 요소와 중첩시키고, 상기 도너 컬러에 대응하는 패턴 컬러 형상을 화상 형성하고, 상기 화상 형성된 채색된 다이 도너 요소를 제거하는 단계를 더 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제16항에 있어서, 각각의 컬러를 위한 상기 형상은 상기 화상 형성 헤드의 복수의 스캔에서 화상 형성되고, 각각의 연속적인 스캔은 이전의 스캔에 인접하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제17항에 있어서, 상기 블랙 매트릭스는 각각의 상기 복수의 스캔 내에 화상 형성된 최초 채널과 화상 형성된 최종 채널에 의해 적어도 화상 형성되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제17항에 있어서, 상기 다수의 채널은 규칙적인 정해진 거리로 이격되고, 상기 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 정해진 거리 이상으로 이전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널로부터 변위되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제17항에 있어서, 상기 연속적인 스캔에서 화상 형성되는 최초 채널은 적어도 이전의 스캔에서 화상 형성되지 않은 최종 채널과 겹치는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제17항에 있어서, 이전의 스캔에서 화상 형성된 상기 최종 채널은 적어도 차후의 스캔에서 화상 형성되지 않은 최종 채널과 겹치는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제18항에 있어서, 상기 연속적인 스캔에서 화상 형성된 최초 채널은 적어도 이전의 스캔에서 화상 형성된 최종 채널과 겹치는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제17항에 있어서, 상기 다수의 채널 중 적어도 하나는 화상 형성하지 않고, 상기 다수의 채널 중 적어도 하나는 각각의 상기 복수의 스캔 내에 화상 형성된 최초 채널과 화상 형성된 최종 채널의 사이에 위치되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제23항에 있어서, 상기 다수의 채널 중 적어도 하나는 상기 블랙 매트릭스 상에 화상 형성하지 않는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제16항에 있어서, 상기 다수의 채널 중 적어도 하나는 두 개의 인접하여 위치되는 컬러 형상을 동시에 화상 형성할 수 없고, 상기 인접하여 위치되는 컬러 형상은 상기 블랙 매트릭스에 의해 분리되는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 패턴은 하나 이상의 폴리머 반도체 요소를 나타내는 형상을 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
제1항에 있어서, 상기 패턴은 랩-온-어-칩 장치의 요소를 나타내는 형상을 포함하는 화상 형성 헤드 구성 방법.
다이 트랜스퍼 공정에 의해 제조되는 컬러 필터이며, 상기 다이 트랜스퍼 공정은 청구항 제1항의 방법을 포함하는 컬러 필터.
제1항의 방법에 따라 구성된 형상의 규칙적인 패턴을 화상 형성하기 위한 다수의 채널의 화상 형성 헤드.
제29항에 있어서, 복수의 제어 가능한 요소를 갖고, 각각의 요소는 빛의 조절된 빔을 생성하도록 빛의 입사 빔에 영향을 줄 수 있는 광 밸브와,

상기 제어 가능한 요소를 조명하기 위한 광원과,

상기 조절되는 빔을 화상 형성 매체로 안내하는 렌즈를 포함하는 다수의 채널의 화상 형성 헤드.
제30항에 있어서, 상기 광원은 모든 요소를 동시에 조명하도록 구성되는 다수의 채널의 화상 형성 헤드.
제30항에 있어서, 상기 광 밸브는 복수의 변형 가능한 미러 요소를 포함하는 다수의 채널의 화상 형성 헤드.