KR20060132674A - 광섬유 프리폼의 제조 방법 - Google Patents

광섬유 프리폼의 제조 방법 Download PDF

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KR20060132674A
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아담 제이 엘리슨
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Abstract

본 발명은 알칼리 금속 광산화물 도프된 유리 광섬유 프리폼 및 섬유의 제조방법에 관한 것이다. 본 방법에 따르면, 제1 유리 로드는 바람직하게는 OVD법에 의해, 바말직하게는 0.2 내지 3%의 굴절 지수 델타를 갖도록 형성된다. 유리 슬리브 튜브는 바람직하게는 MCVD 또는 PVCD 법에 의해 형성된다. 제1 유리 로드를 상기 슬리브 튜브 안으로 삽입하고 상기 로드-튜브 어셈블리를 가열하고 상기 슬리브 튜브와 제1 유리 로드 사이에 알칼리 금속 증기를 흘려준다. 제1 유리 로드를 삽입하고 알칼리 금속 증기를 흘려주기에 앞서 상기 슬리브 튜브의 내부 표면에 부가적인 유리가 선택적으로 형성될 수 있다. 상기 부가적인 유리는 업-도프, 다운-도프, 또는 둘 다 될 수 있다. 그 다음 상기 슬리브를 제1 유리 로드 위로 붕괴시켜서 알칼리 금속 산화물로 도핑된 제2 유리 로드를 형성한다. 상기 제2 유리 로드를 인발하여 제3 유리 로드를 형성한다. 그 다음 상기 제3 유리 로드 상에 부가적인 유리 로드를 형성하여 광섬유가 인발될 수 있는 것으로부터 광섬유 프리폼을 형성할 수 있다. 이외에도, 알칼리 금속 증기를 흘려준 후 및 붕괴 단계 전에 제1 유리 로드를 상기 슬리브 튜브로부터 제거하고, 그 후에 상기 제1 유리 로드에 부가적인 유리를 형성하여 광섬유 프리폼을 형성할 수 있다.
광섬유 프리폼, 유리 튜브, 유리 로드, 알칼리 금속 증기

Description

광섬유 프리폼의 제조 방법 {Method of making an optical fiber preform}
본 발명은 광섬유 프리폼 및 섬유의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 본 발명은 알칼리 금속 산화물로 도프된 광섬유 프리폼 및 섬유를 효과적으로 생성하는 방법에 관한 것이다.
감쇠(attenuation)는 광섬유의 주된 한계점이다. 예를 들어, 광섬유 손실은 광섬유 증폭기 사이의 제한 거리를 정하는데 중요한 역할을 한다. 이것은 예를 들어, 해저 적용과 같은 장거리 및 초-장거리(ultra-long distance) 네트워크에서 특히 중요한데, 그러한 증폭기는 시스템 신뢰도에 주요한 요인일 뿐 아니라 막대한 시스템 비용(cost)을 나타낸다. 따라서, 감쇠를 가능한 최저 수준으로 감소시키는 데 엄청난 상업적인 관심이 있다.
알칼리 금속 산화물로 도프된 실리카 유리는 광섬유에서 감쇠를 감소시킬 수 있는 것으로 보였다. 그럼에도불구하고, 알칼리 금속 전구체 화합물이 프리폼을 형성하기 위해 알칼리 금속 산화물 도프된 수트(soot)의 직접적인 증착에 실용적이지 않은 것과 같이, 광섬유를 제조하는 선행 기술 방법은 알칼리 금속 산화물 도프된 광섬유를 인발하여 광섬유 프리폼을 생성하는 것에 실용적이지 않다.
광섬유 프리폼, 즉 광섬유가 인발된 제품은 전형적으로 외부형 증착(OVD; Outside Vapor Deposition), 기상 축증착(VAD; Vapor Axial Deposition), 수정된 화학 증착(MCVD; Modified Chemical Vapor Deposition) 및 플라즈마 화학 증착(PCVD; Plasma Chemical Vapor Deposition) 등의 방법에 의해 수행된다. 하나의 방법에 따르면, 광섬유 프리폼은 OVD법에 의해 형성된다. 상기 OVD법에서, 실리카-함유 수트(20)는 도 2의 화살 A 및 A'에 의해 표시된 바와 같이 회전하고 가로지르는 주축(22) 위에 증착되어 다공성 코어 수트 프리폼(24)을 형성한다. 상기 수트(20)를 형성하기 위해, 유리 전구체(26)가 바람직하게는 가스 상태로 버너(30)의 불꽃(28)에 제공된다. 상기 불꽃(28)은 메탄 등의 연료(32)를 연소시키는 동시에 산소 등의 연소 지지 가스(34)를 제공함으로써 형성된다. 코어 수트 프리폼(24)은 예를 들어 그것의 굴절 지수를 상승시키기 위해 산화 게르마니아(germania) 등의 도핑제로 업-도프될 수 있다. 이것은 예를 들어 GeCl4 등의 기체상 도핑제 화합물을 수반한 기체상의 형태로 SiCl4 등의 유리 전구체(26)를 버너(30)에 제공함으로써 수행될 수 있다. 그 다음 도프된 실리가-함유 수트 프리폼(24)을 건조시키고 선행 기술 도 3에 나타낸 바와 같이 통합 로(32)에서 통합시킨다. 예를 들어, 약 950℃ 내지 1250℃의 온도에서 유리로의 유리화(vitrification)에 앞서 통합 로에서 헬륨 및 염소 기체 대기는 프리폼을 건조시키고 수분을 제거하는데 사용된다. 통합단계 동안 일반적으로 순수한 헬륨이 제공되고 온도는 예를 들어 약 1390 내지 1535℃로 더 높다.
다음, 도 5에 나타난 통합단계를 따르면, 통합된 코어 공백(34)은 케인 인발 로(36)에 놓이고 다수의 코어 케인 조각들(40)이 유래된 것으로부터 일정 길이의 코어 케인(38) 안으로 뻗어진다. 동시에, 중심선 균열(apeture)은 예를 들어, 진공의 적용에 의해 닫힌다. 인발 장력(tension) 및 프리폼 다운피드(downfeed) 비율(화살표 B로 표시)은 적절한 조절 방법(42)에 의해 조절되어 바람직하게는 실질적으로 일정한, 미리정해진 직경 d0의 코어 케인 길이(38)를 제공한다. 상기 직경 d0는 기기(42)를 조절하기 위해 적당한 비-접촉 센서(44)로부터 측정된 직경 신호의 피드백(feedback)에 의해 조절된다. 그에 응하여(in response), 조절기(42)는 장력을 낮춰 상기 직경 d0을 증가시키고 상기 장력을 증가시켜 상기 직경 d0을 낮춤으로써 장력 기기(46)에서 적용된 장력을 조정할 수 있다. 불꽃 커터(48) 등에 의해, 미리정해진 길이로, 케인을 잘라 미리정해진 길이의 코어 케인 조각(40, 도 6)을 형성한다. 이 코어 케인(40)은 도 1에서 도해된 최종 프리폼의 제1 조각(10)을 나타낸다.
최종 단계에서, 상기 코어 케인 조각은 실리카-함유 수트로 오버클래딩된다. 이 단계는 주축이 미리 제조된 코어 케인(40)이라는 것을 제외하고는 도 2와 동일하게 보인다. 증착된 수트는 SiCl4 등의 유리 전구체(26)를 불꽃(28)에 제공하고 SiO2를 형성하기 위해 상기 전구체를 산화시킴으로써 형성된 실리카 수트가 바람직하다. 다음, 상기 수트-증착된 코어 케인(50)은 Berkey 미국 특허 제4,629,486호에 기술된 바와 같이 로(52)에 놓이고 도 7에 나타낸 바와 같이 통합된다. 바람직하게 는 오버클래딩(overcladding)은 반드시 SiO2를 포함한다. 상기 수트 프리폼을 전술한 바와 같이 건조시키고 통합하여 최종 통합된 광섬유 프리폼(54)을 형성한다. 그 다음, 상기 얻어진 최종 강화된 프리폼(54)을 도 8에 나타낸 바와 같이 인발 로(56)에 놓고, 통상적인 방법 및 기기에 의해 헬륨 기체 분위기에서 광섬유(58)로 가열 및 인발한다. 그 후에 상기 섬유(58)를 냉각 용기(60)에서 냉각시키고 비-접촉 센서(62)에 의해 최종 직경을 측정한다. 또한 통상적인 코팅 기기(64)에 의해 하나 또는 그이상의 코팅제를 적용시키고 정련시킨다. 인발단계 동안, 섬유(58)는 장력 부품(66)을 통과시킴으로써 상기 프리폼(54)으로부터 장력이 상기 섬유(58)를 인발하기 위해 적용된다. 상기 장력은 조절 기기(68)에 의해 조절되어 미리정해진 지점으로 섬유 직경을 유지한다. 최종적으로, 코팅된 섬유(70)를 피드헤드(72)에 의해 섬유 와인딩(winding) 스풀(74)에 감는다.
발명의 요약
본 발명의 광범위한 일면은 제1 유리 로드를 제1 유리 튜브에 삽입하는 단계; 제1 유리 로드 및 제1 유리 튜브를 가열하는 단계; 및 제1 유리 로드와 제1 유리 튜브 사이에 산소 및 알칼리 금속 증기를 포함하는 운반 기체를 흘려주는 단계를 포함하는 광섬유 제조방법을 포함하며, 여기서 상기 알칼리 금속은 K, Na, Li, Cs, Rb, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택된 알칼리 금속을 포함하는 것을 특징으로 한다. 바람직하게는, 상기 제1 유리 로드의 수분 함유량은 약 100 ppb 미만; 더욱 바람직하게는 약 20 ppb 미만이다. 상기 제1 유리 로드는 바람 직하게는 약 0.05중량% 미만의 염소; 더욱 바람직하게는 약 0.02중량% 미만; 가장 바람직하게는 약 0.01중량% 미만을 포함한다.
본 발명의 제1 구체예에 따른 제조방법은 바람직하게는 게르마니아 도핑제를 갖는 제1 유리 로드, 또는 코어 케인 조각을 형성하는 단계, 약 0.2% 내지 3%의 젤타를 제공하는 단계, 상기 조각을 바람직하게는 MCVD 또는 PCVD 등의 내부 방법에 의해 형성된 제1 유리 튜브(슬리브)에 삽입하는 단계; 상기 로드-튜브 어셈블리(assembly)를 알칼리 금속 산화물로 도핑하는 단계, 및 상기 슬리브를 상기 로드 위로 붕괴시켜서 제2 유리 로드를 형성하는 단계들을 포함한다. 상기 제2 유리 로드는 바람직하게는 적어도 약 0.01중량%, 더욱 바람직하게는 적어도 약 0.1중량%, 및 가장 바람직하게는 약 0.1중량% 내지 약 5중량%의 알칼리 금속 산화물 최대(peak) 농도를 포함한다. 그 후에 제2 유리 로드를 인발하여 제3 유리 로드를 형성한다. 광섬유 프리폼을 형성하기 위해 상기 제3 유리 로드에서 부가적인 유리가 형성될 수 있다. 상기 광섬유 프리폼은 통상적인 인발 방법에 의해 광섬유로 인발될 수 있다.
본 발명에 따르면, 회전 증착 표면의 외부에 실리카-함유 수트를 증착시킴으로써 코어 수트 영역을 형성하고, 그 후에 상기 코어 수트 영역을 통합 로에서 건조시키고 통합시켜 통합된 코어 블랭크(blank)를 형성하고, 상기 통합된 코어 블랭크로부터 외부 직경 d0을 갖는 코어 케인 조각을 인발하는 OVD 방법에 의해 제1 유리 로드가 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 또다른 일면에 따르면, 제1 유리 로드는 알칼리 금속 산화물 도핑 단계가 완성되면 제1 유리 튜브로부터 제거될 수 있고, 그 후에 상기 제1 유리 로드 상에 부가적인 유리가 형성될 수 있다. 제1 유리 로드는 바람직하게는 적어도 약 0.01중량%, 더욱 바람직하게는 적어도 약 0.1중량%, 및 가장 바람직하게는 약 0.1중량% 내지 약 5중량%의 알칼리 금속 산화물 최대 농도를 포함한다. 바람직하게는, 상기 부가적인 유리는 수트를 증착시킴으로써 형성된다. 그 다음 상기 유리 수트를 건조시키고 통합시켜 광섬유 프리폼을 형성하였다. 상기 광섬유 프리폼은 알칼리 금속 산화물로 도핑된 광섬유로 인발될 수 있다. 대안으로, 상기 부가적인 유리는 제1 유리 로드를 제2 유리 튜브에 삽입하고, 상기 유리 튜브를 형성하기 위한 제1 유리 로드 및 광섬유 프리폼 위에 붕괴시킴으로써 형성될 수 있다. 그 다음 상기 광섬유 프리폼은 알칼리 금속 산화물로 도핑된 광섬유로 인발될 수 있다.
본 발명의 또다른 일면에 따르면, 알칼리 금속 산화물로 도핑된 다수의-조각 광섬유를 제조하는 방법이 제공되는데, 이 방법은 실리카-함유 수트를 회전 증착 표면의 외부에 증착시킴으로써 제1 유리 로드를 형성하여 수트 프리폼을 형성하는 단계; 상기 수트 프리폼을 통합 로에서 통합시킴으로써 통합된 블랭크를 형성하는 단계; 상기 통합된 블랭크로부터 인발하여 외부 직경 d0을 갖는 적어도 하나의 유리 로드(코어 케인 조각)를 형성하는 단계; 제1 유리 튜브(슬리브)의 내부에 부가적인 유리 층을 형성하는 단계, 여기서 상기 슬리브 튜브는 바람직하게는 실리카에 비해 하나 또는 그이상의 다운-도프된 방사성(radial) 부분 및 하나 또는 그이상의 업- 도프된 방사성 부분을 포함함; 상기 제1 유리 로드를 제1유리 튜브로 삽입하는 단계; 상기 코어 케인과 슬리브 튜브 사이에 알칼리 금속 증기를 흘려주는 단계; 및 상기 제1 유리 로드 주변의 슬리브 튜브를 붕괴시켜서 제2 유리 로드를 형성하는 단계를 포함한다. 상기 제2 유리 로드는 바람직하게는 적어도 약 0.01중량%; 더욱 바람직하게는 약 0.1중량%; 및 가장 바람직하게는 약 0.1중량% 내지 5중량%의 알칼리 금속 산화물 최대 농도를 포함한다. 그 다음 상기 제2 유리 로드를 인발하여 다수의 코어 조각들을 포함하는 제3 유리 로드를 형성하고, 상기 제3 유리 로드의 외부에 클래딩 유리를 형성하여 광섬유 프리폼을 형성하고, 상기 광섬유 프리폼으로부터 광섬유를 인발한다. 상기 하나 또는 그이상의 다운-도프된 부분들은 예를 들어, 해자(moat) 및 홈통(gutter)을 포함할 수 있음을 인지할 수 있다. 또한, 상기 하나 또는 그이상의 업-도프된 부분들은 다수의 구분된(spaced) 고리를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특성 및 세부사항들은 첨부된 명세서, 청구항 및 도면에 의해 명백해질 것이다.
도 1은 선행 기술에 따른 단일 조각(segment) 프로파일의 개략적인 묘사를 나타낸다.
도 2는 수트 프리폼을 제조하기 위한 선행 기술 OVD 법을 나타낸다.
도 3 및 4는 선행 기술에 따른 수트 프리폼과 통합된 코어 공백(blank)의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 5는 선행 기술에 따른 코어 케인 인발 로의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 6은 선행 기술에 따른 코어 케인 조각의 횡단면을 나타낸다.
도 7은 선행 기술에 따른 통합 로에 있는 프리폼의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 8은 선행 기술에 따른 광섬유 인발 기기의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 9는 본 발명에 따라 코어 케인을 슬리브 안으로 조립하는 공정의 개략도를 나타낸다.
도 10은 본 발명의 구체예에 따라 코어 케인 조각 및 슬리브 어셈블리를 알칼리 금속 증기에 노출시키는 공정의 횡단면을 나타낸다.
도 11은 본 발명에 따라 알칼리 금속 증기를 공급하는 공정을 위한 기기의 횡단면을 나타낸다.
도 12는 본 발명의 구체예에 따라 클래딩 튜브를 여러-조각의 코어 케인 프리폼 위로 붕괴시키는 단계의 개략적인 부분 횡단면을 나타낸다.
도 13은 본 발명에 따른 코어 케인을 생성하기 위한 코어 케인 인발 어셈블리의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 14는 본 발명의 구체예에 따라 코어 케인을 실리카 클래딩을 위한 어셈블리의 부분적인 횡단면을 나타낸다.
도 15는 본 발명의 구체예에 따라 실리카 클래딩 튜브 안으로 소정 길이의 코어 케인을 조립하는 개략도를 나타낸다.
도 16은 본 발명의 구체예에 따라 통합될 수트 프리폼의 횡단면을 나타낸다.
도 17은 본 발명의 구체예에 따라 통합된 프리폼의 횡단면을 나타낸다.
도 18은 본 발명의 구체예에 따라 클래딩 튜브를 여러-조각의 코어 케인 프리폼 위로 붕괴시키는 단계의 개략적인 부분 횡단면을 나타낸다.
도 19는 본 발명의 구체예에 따라 강화된 프리폼 구체예의 개략도를 나타낸다.
도 20은 도 19의 강화된 프리폼의 상대 굴절 지수 프로파일의 개략적인 묘사를 나타낸다.
도 21은 슬리브 튜브 형성하기 위해 유리 튜브에 부가적인 유리 층을 형성하는 MCVD법을 나타낸다.
도 22는 튜브의 내부면에 증착된 다층의 업-도프 및/또는 다운-도프된 유리를 갖는 슬리브 튜브를 나타낸다.
도 23은 슬리브 튜브 형성하기 위해 유리 튜브에 부가적인 유리 층을 형성하는 PCVD법을 나타낸다.
도 24는 다수의 코어 조각들을 갖는 광섬유의 상대 굴절 지수 프로파일을 나타낸다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 구체예에 관해 상세히 언급하고자 한다. 가능한 경우에 언제나, 동일한 또는 유사한 참고 문헌들이 동일한 또는 유사한 부분에 관해 언급하는데 사용될 것이다.
본 발명의 제1 구체예에 따르면, 알칼리 금속 산화물로 도프된 광섬유 프리폼을 제조하는 방법이 제공된다. 도 2 내지 5에서 잘 나타낸 바와 같이, 광섬유 프리폼을 형성하는 방법은 외부 직경 d0를 갖는 적어도 하나의 코어 케인 조각(40)을 형성하는 제1 단계를 포함한다. 상기 코어 케인은 여기 기술된 선행 기술 OVD 법에 따라 형성되는 것이 바람직하다. 특히, 코어 수트 영역(23)은 비례적으로 회전 및 변형시키는 증착 표면(25)의 외부면 위에 도프된 실리카-함유 수트(20)를 증착시킴으로써 형성된다. 처음에는(at first), 상기 표면은 가늘어진(tapered) 주축이고 그후에는 이미 증착된 수트의 표면이다. 상기 수트(20)는 유리 전구체를 산화시키기 위해서 버너(30)의 불꽃(28)에 기체상의 형태로 유리 전구체(26)를 제공함으로써 형성된다. 메탄(CH4) 등의 연료(32), 및 산소 등의 연소 지지 기체(34)는 버너(30)에 제공되고 점화되어 불꽃(28)을 형성한다. V 표시된 질량 흐름 조절기(mass flow controllers)는 상기 버너(30)에 대한 모두 바람직하게는 기체상 형태의 적합한 도핑제 화합물(33), 유리 전구체(26), 연료(32) 및 연소 지지 기체(34)의 적당량을 측정한다. 유리 형성 화합물(26, 33)은 불꽃(28)에서 산화되어 일반적으로 원통모양의(cylindrically-shaped) 수트 영역(23)을 형성한다. 특히, 상기 도핑제 화합물(33)은 게르마늄 화합물 등의 지표 상승 도핑제(index rasing dopant)를 포함한다.
다음, 상기 수트 영역(23)을 포함하는 수트 프리폼(24)은 도 3 및 4에 나타낸 바와 같이 통합 로(32)에서 통합됨으로써 통합된 코어 블랭크(34)를 형성한다. 상기 수트 프리폼(24)은 홀딩 메카니즘에 의한 로(32)의 순수 석영 머플(muffle) 튜브(27) 안에 매달고, 약 0.5 내지 4.0 시간동안 약 950℃ 내지 1250℃의 온도에서 약 98% 내지 99% 헬륨 및 1% 내지 2% 염소 기체의 건조 기체에 노출시킨다. 그 후 상기 로 온도를 올리고 상기 프리폼(24)을 바람직하게는 약 1390℃ 내지 1535℃의 온도에서 순수 헬륨의 분위기에서 강화시켜 강화된 코어 블랭크(34)를 형성한다. 바람직하게는, 점차적인 소결이 적용되고 그로 인해 상기 수트 프리폼(24)은 약 2-20㎜/min의 속도로 로(32)의 뜨거운 영역을 통해 아래쪽으로 몰린다.
도 5 및 6에서 나타낸 바와 같이, 상기 통합된 코어 블랭크(34)는 다음에 코어 케인 인발 로(36)에 놓이고, 외부 직경 d0를 갖는 적어도 하나의 로드-모양의 코어 케인 조각(40, 도 6)이 그로부터 인발된다. 상기 프리폼 블랭크(34)를 덩어리가 떨어질 때까지 약 1700℃ 내지 2000℃ 온도까지 가열한다. 적당량의 폐기(trash) 유리가 벗겨지면, 조절기(42)는 그 다음 두 개의 트랙터 바퀴(tractor wheels)로 나타낸 장력 메카니즘(46)에 대한 적합한 조절 신호에 의해 상기 케인에 적용된 장력을 조절한다. 이런 방식으로, 약 1㎜ 내지 약 10㎜의 외부 직경을 갖는 일정 길이의 코어 케인(38)을 유도하는 것이 가능하다.
코어 케인(38)의 직경은 비-접촉 센서(44)에 의해 측정되고 그 신호를 조절 시스템(42)으로 제공한다. 조절기(42)는 상기 센서(44)로부터 감지된 직경 신호를 메모리에 저장된 미리정해진 직경과 비교한 후, 어떠한 지에 따라 적합한 장력 조정을 명령하여 정해진 직경 d0을 유지한다. 또한 조절기(42)는 블랭크(34)의 다운 피드 속도를 조절한다. 상기 속도는 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 화살표 B는 블랭크(34)의 다운 피드를 가리킨다. 미리정해진 길이의 코어 케인(38)이 상기 조절기에 의해 결정된 장력 어셈블리(46)를 통해 통과하면, 불꽃 커터 등의 커터(48)가 활성화된다. 상기 커터는 상기 케인(38)을 미리정의된 길이의 코어 케인 조각(40, 도 6)으로 제공한다. 생성된 코어 케인(40)은 상기 프리폼 및 섬유의 가장깊은 코어에 대응되고 바람직하게는 게르마니아 도핑제를 포함한다는 점을 인식해야 한다. 바람직한 구체예에서, 상기 코어 케인 조각(40)은 △c=0 및 △l=(nl-nc)/nc인 실리카 클래딩에 비해 약 0.2% 내지 3%의 △l을 가지며, 여기서 nl는 제1 조각(10)의 최대 굴절 지수이고, nc는 클래딩(12)의 굴절 지수이다. 제1 조각(10)은 포물선(parabolic) 프로파일(11a), 또는 단계-유사 프로파일(11b)을 가질 수 있다. 바람직하게는, 코어 케인 조각(40)은 약 100중량ppb 미만의 수분을 포함하며, 더욱 바람직하게는 약 20중량ppb 미만을 가진다. 수분은 하이드록실 라디칼(hydroxyl radical) OH를 의미한다. OH는 약 1383에서 흡수 피크를 나타내고 상기 흡수 피크는 광섬유의 하나 또는 그이상의 조절 파장 영역으로 확장될 수 있다. 이 흡수 피크는 코어 케인 조각(40)으로부터 형성될 수 있는 광섬유의 광 손실, 또는 감쇠에 치명적인 영향을 미칠 수 있다. 바람직하게는, 코어 케인 조각940)은 약 0.05중량% Cl을 포함하고; 더욱 바람직하게는 약 0.02중량% 미만; 가장 바람직하게는 약 0.01중량% 미만을 포함한다.
방법 발명에서 다음 단계에 따르면, 약 1㎜ 내지 10㎜, 바람직하게는 약 5㎜ 내지 10㎜, 및 더욱 바람직하게는 약 8㎜ 내지 10㎜의 직경 d0를 갖는 도 10의 코어 케인 조각(40)은 도 9에 나타낸 바와 같이 유리 슬리브 튜브(76) 안으로 삽입된다. 상기 슬리브(76)는 약 17㎜ 내지 26㎜의 내부 직경 di를 갖는다. 코어 케인 조각(40)은 슬리브(76) 내에 중심이 같게 놓인다. 어떠한 경우에는 코어 케인 조각(40)을 슬리브(76) 안으로 삽입하는 단계 전에 슬리브 튜브(76)의 직경, 즉 di를 감소시키는 것이 바람직하다. 바람직하게는, 슬리브(76)의 내부 표면과 코어 케인 조각(40)의 외부 표면 사이의 거리는 약 8㎜ 미만, 더욱 바람직하게는 약 5㎜ 미만, 및 가장 바람직하게는 약 3㎜ 미만이다. 예를 들어, 이것은 슬리브 튜브(76)를 통상적인 유리 작업 선반에서 가열함으로써 또는 슬리브 튜브(76)를 적당한 로 안으로 가열함으로써 수행될 수 있다. 유리 슬리브(76)는 실질적으로 순수한 실리카일 수 있고, 또는 유리 슬리브(76)는 하나 또는 그이상의 도핑제를 포함할 수 있다. 예를 들어, 유리 슬리브(76)는 F 또는 Ge를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 유리 슬리브(76)는 약 0.05중량% 미만의 Cl; 더욱 바람직하게는 약 0.02중량% 미만, 가장 바람직하게는 약 0.01중량% 미만을 포함한다. 바람직하게는, 유리 슬리브(76)는 약 100중량ppb 미만의 수분; 더욱 바람직하게는 약 20중량ppb 미만을 포함한다.
본 방법의 다음 단계에서, 도 10에서 잘 나타낸 바와 같이, 어셈블리(78)를 형성하는 둥지가 된(nested) 슬리브(76) 및 코어 케인(40)을 인발 로(56)에 삽입하고, 상기 코어 케인 조각(40)과 슬리브 튜브(76) 사이에 형성된, 화살표(82)로 표시된 공간(80)을 통해 운반 기체 및 알칼리 금속 증기(82)의 혼합물을 흘려주면서 어셈블리(78)를 가열한다. 알칼리 금속 증기는 산소를 포함하는 운반 기체에 의해 공간(80)을 통해 운반된다. 상기 운반 기체는 또한 아르곤 또는 헬륨 등의 비활성 기체를 포함할 수 있다. 상기 운반 기체는 바람직하게는 적어도 약 15% 산소; 더욱 바람직하게는 적어도 약 20% 산소를 포함한다. 하지만, 최대 100%의 산소 농도가 사용될 수 있다. 상기 운반 기체를 바람직하게는 분당 약 0.5 표준 리터(SLPM)보다 크게; 더욱 바람직하게는 약 0.5 내지 1.0 SLPM으로 흘려준다.
알칼리 금속 증기는 적합한 알칼리 금속 소스 화합물을 가열함으로써 형성될 수 있다. 상기 알카리 금속 소스 화합물은 K, Na, Li, Cs, Rb, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택된 알칼리 금속을 포함하는 것이 바람직하다. 바람직하게는, 상기 알칼리 금속 소스 화합물은 알칼리 금속의 요오드 또는 브롬이다. 예를 들어, 상기 알칼리 금속 소스 화합물은 KBr, 또는 KI일 수 있다. 도 12에 나타낸 구체예에서, 상기 알칼리 금속 소스 화합물을 가열하기 위한 용기(84)는 어셈블리(78)의 한쪽 말단에 연결된다. 용기(84)는 미리정해진 양의 알칼리 금속 소스 화합물(86)을 함유하고 열 소스(88)에 의해 가열한다. 예를 들어, 적어도 약 25g; 더욱 바람직하게는 적어도 약 35g, 가장 바람직하게는 적어도 약 50g의 알칼리 금속 소스 화합물이 용기(84)에서 사용될 수 있다. 예를 들어, 열 소스(88)는 연소 버너 또는 저항 히터일 수 있다. 산소 함유 운반 기체(85)는 용기(84) 안으로 흘러 상기 운반 기체는 알칼리 금속 증기와 혼합되고 공간980)을 통해서 운반한다. 상기 운반 기체 내에 함유된 산소가 가열된 알칼리 금속 증기와 접촉하면, 알칼리 금속 산화물이 형성된다. 상기 알칼리 금속 산화물은 슬리브(76)의 내부 표면 및 케인(40)의 외부 표면에 접촉하고 확산됨으로써 알칼리 금속 산화물 도프된 유리를 형성한다.
바람직하게는, 도 11에서 화살표 C가 가리킨 바와 같이 어셈블리(78)와 로(56) 사이에 상대적인 움직임(relative motion)이 제공된다. 예를 들어, 상대적인 움직임은 로(56)를 통해 어셈블리(78)를 통과시킴으로써 얻어질 수 있다. 대안으로, 어셈블리(78)는 로(56)가 어셈블리(78)의 세로 각에 평행하게 움직이는 동안에 고정될 수 있다. 어셈블리(78)와 로(56) 둘 다는 상대적인 움직임을 제공하기 위해 움직일 수 있다. 바람직한 구체예에서, 운반 기체 및 알칼리 금속 증기의 혼합물이 공간(80)을 통해 흐르는 동안 어셈블리(78)는 적어도 하나의 통과; 더욱 바람직하게는 적어도 약 2개의 통과, 더 더욱 바람직하게는 적어도 3개의 통과; 가장 바람직하게는 적어도 4개의 통과를 위해 로(56)를 통해 통과된다. 바람직하게는 로(56)의 온도는 적어도 약 2000℃, 더욱 바람직하게는 적어도 약 2040℃; 및 가장 바람직하게는 적어도 약 2100℃이다. 바람직하게는, 어셈블리(78)와 로(56) 사이의 상대적인 움직임은 적어도 약 1㎝/s, 더욱 바람직하게는 적어도 약 2㎝/s; 및 가장 바람직하게는 적어도 약 3㎝/s이다.
도 12에서 잘 나타낸 바와 같이, 본 발명의 다음 단계에서 어셈블리(78)는 인발 로(56)에 삽입되고 슬리브(76)는 가열되고 코어 케인 조각(40) 주변에 붕괴시킨다. 이것은 섬유 전구체(90)를 형성한다. 로(56) 내의 온도는 약 1700℃ 내지 2100℃로 정하는 것이 바람직하다. 붕괴 단계는, 예를 들어 어셈블리(78)를 로(56)를 통해 이동시킴으로써 수행될 수 있다. 대안으로, 광섬유 전구체(90)를 형성하기 위한 붕괴 단계는 둥지가 된 조각 및 슬리브를 동시에 회전시키면서 그것들을 따라 적절한 열 소스를 통과시킴으로써 수행될 수 있다. 바람직하게는, 전구체(90)는 적어도 약 0.01중량%; 더욱 바람직하게는 적어도 약 0.1중량%; 및 가장 바람직하게는 약 0.1중량% 및 5중량%의 알칼리 금속 산화물 도핑제 최대 농도를 포함한다.
다음, 도 13에 잘 나타낸 바와 같이, 붕괴단계 이후에 광섬유 전구체(90)는 예를 들어, 인발 로(56)까지 뻗어서 일정 길이의 케인(92)을 형성한다. 케인(92)의 길이는 도 13에 나타낸 바와 같이 d0'의 직경 치수로 인발된다. 다수의 코어 케인들(94)은 상기 길이(92)로부터 잘린다. 이러한 조각들(94)은 그것의 외부 클래딩 상에 형성된 것에 적용된 실리카-함유 클래딩을 가진다.
바람직한 구체예에서, 실리카-함유 클래딩 수트(122)는 도 14에 나타낸 바와 같이 통상적인 OVD 공정에서 케인 조각(94)의 외부면에 적용된다. OVD 공정에서, SiCl4 또는 옥타메틸사이클로테트라실록산(octamethylcyclotetrasiloxane) 등의 유리 전구체(143)는 버너(126)에 기체상 형태로 제공된다. 버너 불꽃(130)은 전구체(143)를 산화시켜 실리카-함유 수트(122)를 형성한다. 수트(122)는 오버클래드 수트 프리폼(120)을 형성하기 위해 적당한 미리정해진 두께로 버너를 가로지름으로써(화살표 E로 표시됨) 회전 길이(94)의 외부에 증착된다.
도 17에 잘 나타낸 바와 같이, 수트-장착 프리폼(12)을 통합 로(129)에 삽입하고 약 950℃ 내지 1535℃ 사이의 온도를 갖는 뜨거운 영역에서 약 2-20㎜/min, 가장 바람직하게는 약 5㎜/min의 다운 드라이브 속도로 증감 소성된다. 상기 결과는 도 18에 잘 나타낸 바와 같이 통합된 프리폼(15)이다.
도 15 및 18-19에 나타낸 바와 같이, 대안적인 방법에서 일정 길이의 코어 케인(94)은 실리카-함유 클래딩 튜브(96)에 삽입된다(도 16). 그 다음, 클래딩 튜브(96)는 케인 조각(94) 위에 붕괴시켜서 프리폼(150)을 형성한다. 바람직하게는, 이것은 적절한 선반 기기(명확히 나타내지 않음)에서 수행된다. 클래딩 튜브(96) 및 케인 조각(94)을 선반에서 동시에 회전시키고 화살표 F로 표시된 바와 같이 상기 길이를 따라 가로지르는 불꽃 또는 다른 열 소스로부터 충분한 열을 가한다. 염소 기체(98)는 붕괴 단계 전에 상기 케인(94) 과 튜브(96) 사이의 공간(gap)에 제공될 수 있다. 그 결과 코어 케인(94) 및 실리카-함유 클래딩 튜브(96)를 포함하는 광섬유 프리폼(150)을 얻고 광섬유 프리폼을 인발하기 위해 인발 로에 운반될 준비가 된다. 광섬유는 도 8에 대하여 앞서 기술한 바와 같이 통상적인 방법으로 프리폼(150)으로부터 인발된다.
따라서, 본 발명의 구체예에 따른 방법은 코어 케인을 형성하는 단계, 슬리브 튜브를 형성하는 단계, 상기 슬리브에 상기 코어 케인을 삽입하는 단계, 상기 코어 케인과 상기 슬리브 사이에 산소 및 알칼리 금속 증기의 혼합물을 흘려주는 단계, 및 상기 코어 케인 주변에 상기 슬리브를 붕괴시켜 광섬유 전구체를 형성하는 단계에 의해 알칼리 금속 산화물로 도프된 광섬유 프리폼의 제조를 위해 제공한다. 다음, 상기 광섬유 전구체는 제2 코어 케인으로 뻗어진다. 그 다음, 클래딩 부분은 제2 코어 케인 주변에 형성되어 오버클래드 어셈블리를 형성하고, 상기 오버클래드 어셈블리는 통합되어 알칼리 금속 산화물 도프된 광섬유 프리폼을 형성한다. 예를 들어, 그 다음 도 8에 나타낸 바와 같이 통상적인 방법에 따라 상기 프리폼이 광섬유로 인발된다.
이러한 구체예 이외에, 당업자들은 본 발명의 영역을 벗어나지 않는 한 있을 수 전술한 발명에 다수의 변경 및 변화를 줄 수 있다는 것을 알 수 있다. 예를 들어, 다른하나의 구체예에서, 코어 케인(40)은 슬리브(76)의 붕괴 단계 전에 슬리브(76)로부터 제거될 수 있다. 예를 들어, 도 2에 나타낸 방법으로 코어 케인(40) 상에 부가적인 유리가 형성될 수 있다. 바람직하게는, 상기 부가적인 유리는 상기 유리 코어 케인(40) 상에 수트를 증착시킴으로써 형성된다. 바람직하게는, 상기 유리 수트는 실질적으로 순수한 실리카이다. 얻어진 코어 케인-수트 바디는 통합되어 광섬유 프리폼을 형성하고 도 8에 묘사된 방법에 따라 광섬유로 인발될 수 있다.
도 21-24에서 잘 나타낸 바와 같이, 또 다른하나의 구체예에서 코어 케인(40)을 유리 슬리브(76) 안으로 삽입하기 전에 하나 또는 그이상의 부가적인 유리 층이 유리 튜브(63)의 내부에 형성되어 슬리브 튜브(76)를 형성할 수 있다. 상기 유리 슬리브 튜브(76)는 슬리브(76)의 안쪽부분, 및 외부의 방사성 업-도프된 부분(61)에서 형성된 실리카에 비해, 상기 슬리브(76)의 바깥 부분에서 형성된 실리카에 비해 다운-도프된 내부 방사성 부분(67)울 포함하는 것이 바람직하다. 도 21 구체예에서, 상기 유리 슬리브 튜브(76)는 SiCl4 등의 기체상 유리 전구체, 바람직하게는 도핑제 화합물을 상기 유리 튜브(63)의 내부 구멍(59) 안으로 도입함으로써 형성된다. 상기 유리 전구체(43) 및 도핑제 화합물(47)은 유리를 도핑시키는데 기체상 형태로 제공되며, 방사성 크기의 함수로서 상기 슬리브(76)에 대한 바람직한 굴절 지수 프로파일을 달성한다.
특히, 업-도프된 조각(61)은 게르마늄-함유 도핑제 화합물 등의 지수-증가 도핑제 화합물(47)을 기체상 형태로 상기 유리 전구체(43)에 따른 유리 튜브(63)의 구멍 안으로 제공함으로써 형성되는 것이 바람직하다. 하나의 바람직한 화합물은 GeCl4이다. 다른 것들은 Cl2, POCl5, TiCl4, AlCl3 또는 어떠한 다른 적절한 지수-증가 도핑제를 포함한다.
다운-도프된 조각(67)은 다음에 F2, CF4, C2F4, SF6, SiF4, C2F6 또는 어떠한 다른 적절한 불소-함유 화합물 등의 지수-감소 도핑제 화합물(47)을 기체상의 형태로 상기 튜브(63)의 내부 구멍 안으로 도입함으로써 형성된다. 유리 전구체(43, 예를 들어 SiCl4) 및 도핑제 화합물이 유리 튜브(63)에 도입됨에 따라, 상기 튜브는 약 20 내지 60 rpm의 회전 속도로 모터(49)에 의해 회전된다. 수트는 상기 튜브(63)의 길이를 따라 움직이는 버너(73b)의 불꽃(73a)을 각으로 가로지름으로서 상기 튜브에서 형성되고, 상기 수트는 가열되어 실질적으로 동시에 튜브(63)의 내부에 통합된 유리로 전환된다. 상기 버너(73b)는 CH4 등의 어떠한 적절한 연료(32) 및O2 등의 연소 지지 기체(34)를 조절한다. 다른 기체들은 C2H2, H2, 및/또는 N2 등을 포함할 수 있다. 바람직하게는, 슬리브 튜브(76)는 도 24에 나타낸 바와 같이 적어도 하나의 업-도프된 조각(146) 및 적어도 하나의 다운-도프된 조각(145)을 제공함으로써 도 24에 표시된 굴절 지수 프로파일을 가진다. 전술한 바와 같이, 도 24는 또한 상기 광섬유 프리폼이 형성되는 동안 인발 단계의 완성으로 부가될 수 있는 코어 케인(40) 및 클래딩(148)으로부터 형성된 중심 코어 조각(144)을 나타낸다. 바람직하게는, 상기 슬리브976)의 다운-도프된 조각은 불소 도핑제를 포함함으로써 달성된다. 특히, 다운-도프된 해자(moat) 조각은 약 -0.1% 내지 -1.2%의 △2를 포함한다. 슬리브 튜브(76)는 도 22에 나타내었다. 층들(67 및 61)이 튜브(63) 안쪽에 형성되면, 유리 튜브(63)는 슬리브(76)의 부분으로서 유지한다. 그 다음 코어 케인 조각(40)은 전술한 바와 같이 슬르비(76) 안으로 삽입될 수 있다.
대안으로, 상기 슬리브(76)는 도 23에 나타낸 바와 같이 플라즈마 화학 증착법(PCVD)에 의해 생성될 수 있다. 상기 PCVD 방법에서, 유리 전구체(43) 및 도핑제 화합물(47)은 도 21의 전술된 MCVD 공정에서와 같이 기체상 형태로 실리카 유리 튜브(63)의 구멍(59) 안으로 제공된다. 하지만, 이 경우에 상기 실리카 튜브(63)의 구멍은 낮은 압력(일반적으로 10-22 Torr)가 걸리고 에너지는 마이크로파 공명기(microwave resonator, 69)에 의해 제공된다(일반적으로 2-6 kW). 상기 마이크로파 공명기(69)는 상기 튜브(63)를 에워싸고, 상기 튜브(63)의 벽을 통해 마이크로파를 쏘고(direct) 상기 튜브(63) 안에 플라즈마(71)를 생성한다. 상기 마이크로파는 상기 튜브(63)의 내부 및 기체를 약 1200-1400℃로 가열하고, 따라서 화학 반응을 촉진시키고h, 상기 튜브(63)의 내부에 통합된 유리의 형성을 야기한다. 예를 들어, PCVD 기기는 미국 특허 제4,877,938호 및 미국 특허 4,714,589호에 기술되어 있다. 도 24에 나타낸 바와 같이, 도입된 도핑제는 적어도 하나의 업-도프 및 적어도 하나의 다운-도프된 조각을 제공할 정도의 양으로 제공된다. MCVD 공정과 유사하게, 어떠한 적절한 모터(49)는 상기 튜브(63)를 회전시키고, 어떠한 적절한 가로지르는 어셈블리(나타내지 않음)는 발생기(generator)를 상기 튜브(63)의 길이를 따라 앞뒤로(화살표 D로 표시함) 움직인다.
GeO2로 도프된 실리카 유리 코어 케인을 General Electric GE-098 유리 튜브에 놓고 어셈블리를 형성하였다. 상기 코어 케인은 9.8㎜의 외부 직경을 가졌다. 상기 유리 튜브는 25㎜의 외부 직경 및 21㎜의 내부 직경을 가졌다. 알칼리 금속 화합물 용기는 상기 어셈블리를 포함하는 유리 튜브의 제1 말단에서 형성하였다. 상기 용기에 대략 50g의 KBr을 실었다. 상기 어셈블리를 통상적인 인발 로에서 움직일 수 있게(movably) 그리고 수직적으로(vertically) 지탱시켰다. 상기 KBr 용기를 에워싸고 가열하는데 별개의 로를 사용하였다. 상기 KBr 용기 로를 약 600℃의 온도에서 KBr을 가열하는데 사용하였다. 인발 로를 약 2100℃의 온도까지 가열하였다. 상기 용기의 어셈블리를 대략 7㎝/min의 다운피드 속도로 다운스트림(downstream)에 통과시켜 상기 어셈블리를 불 연마하고(fire polish), 이로 인해 유리 표면에 부착될 수 있는 오염물질들을 제거하고 유리 표면을 매끄럽게 하였다. 달리 지적된 것이 없으면, 상기 공정 전반에 걸쳐 각각의 반환 통과(초기 출발 지점으로 돌아감)는 약 25㎝/min의 속도로 로를 통해 상기 어셈블리를 회수함으로써 수행했다.
일단 불 연마 단계가 끝나면, 상기 KBr을 약 1000℃의 온도로 가열했다. 상 기 인발 로를 약 2040℃의 온도까지 가열하였다. 상기 KBr 용기의 어셈블리 다운스트림은 약 2.5㎝/min의 다운피드 속도로 인발 로를 통과시켰다. 상기 KBr 용기 및 코어 케인과 유리 튜브 사이의 어셈블리의 틈(interstitial) 영역을 통해 흘려준 운반 기체는 약 1 SPLM이었다. 상기 운반 기체는 100% 산소였다. 두번째 통과는 약 2060℃의 인발 로 온도로 제조하였다. 상기 두번째 통과의 다운피드 속도는 대략 2.5㎝/min였다. 상기 운반 기체 흐름 속도는 1 SPLM이었다. 세번째 통과는 약 2080℃의 온도에서 인발 로로 제조하였다. 상기 운반 기체 흐름 속도는 1 SPLM이고 다운피드 속도는 약 2.5㎝/min였다. 세번째 통과가 끝나면, 상기 KBR 용기 로 온도를 600℃로 감소시켰다. 상기 인발 로 온도를 2100℃로 증가시키고 상기 KBr 용기의 어셈블리 다운스트림을 2.5㎝/min의 다운피드 속도로 인발 로를 통해 통과시켜 상기 어셈블리를 붕괴시켜서 상기 코어 케인과 유리 튜브 사이의 공간을 닫았다. 상기 운반 기체 흐름 속도는 1 SLPM으로 유지되었다. 첫번째 붕괴 통과 동안 다운피드 속도는 2.5㎝/min였다. 두번째 붕괴 통과는 2100℃에서 유지된 인발 로 온도로 제조하였다. 다운피드 속도를 2㎝/min로 감소시키고, 상기 운반 기체 흐름 속도는 1 SLPM에서 유지하였다. 봉함(seal) 통과는 2100℃의 인발 로 온도로 제조하고 상기 어셈블리를 적절히 밀봉하였다. 상기 어셈블리의 다운피드 속도를 약 1.5㎝/min로 감소시켰다. 상기 운반 기체 흐름 속도는 1 SLPM이었다. 얻어진 K2O 도프된 로드를 전자 마이크로프로브를 사용하여 K2O 및 GeO2의 농도에 대해 상기 로드의 직경을 통해 측정하였다. 상기 로드 직경을 통한 지점의 함수로서 상기 로드에 함유된 K2O(98) 및 GeO2(100) 농도의 도표(plot)는 도 20에 나타내었다. 도 20은 약 5중량% GeO2 최대 양으로 도프된 코어 영역을 나타낸다. 상기 로드는 또한 상기 코어 영역을 둘러싸는 고리로서 K2O를 함유한다. 상기 K2O는 약 0.33중량%의 최대 양이다.

Claims (15)

  1. 광섬유 프리폼 일부분을 포함하는 제1 유리 튜브에 제1 유리 로드(rod)를 삽입하는 단계;
    상기 제1 유리 로드 및 제1 유리 튜브를 가열하는 단계; 및
    상기 제1 유리 로드와 제1 유리 튜브 사이에 K, Na, Li, Cs, Rb, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택된 알칼리 금속을 포함하는 알칼리 금속 증기 및 산소를 포함하는 운반 기체를 흘려주는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 프리폼의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 유리 튜브를 제1 유리 로드 위에 붕괴시켜서 제2 유리 로드를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2 유리 로드는 0.01중량%보다 큰, 알칼리 금속 산화물 최대(peak) 농도를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제2 유리 로드는 0.1중량%보다 큰, 알칼리 금속 산화물 최대 농도를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 유리 튜브로부터 제1 유리 로드를 제거하는 단계 를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 제2 유리 로드를 인발시켜(drawing) 제3 유리 로드를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1 유리 로드 상에 부가적인 유리를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 부가적인 유리를 형성하는 단계는 유리 슈트(soot)를 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 유리 로드는 GeO2를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제1 유리 튜브는 F를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 삽입 단계에서 제1 유리 로드는 20중량ppb 미만의 OH를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 삽입 단계에서 제1 유리 로드는 0.05중량% 미만의 염소를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제6항에 있어서, 상기 제3 유리 로드 상에 부가적인 유리를 형성하여 광섬유 프리폼을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 광섬유 프리폼을 광섬유로 인발시키는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 삽입 단계 이전에 제1 유리 튜브의 내 표면에 부가적인 유리를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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