KR20060092092A - Photosensitive reisin composition - Google Patents

Photosensitive reisin composition Download PDF

Info

Publication number
KR20060092092A
KR20060092092A KR1020060014119A KR20060014119A KR20060092092A KR 20060092092 A KR20060092092 A KR 20060092092A KR 1020060014119 A KR1020060014119 A KR 1020060014119A KR 20060014119 A KR20060014119 A KR 20060014119A KR 20060092092 A KR20060092092 A KR 20060092092A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
compound
meth
acrylate
resin composition
photosensitive resin
Prior art date
Application number
KR1020060014119A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
가즈오 다케베
Original Assignee
스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 filed Critical 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Publication of KR20060092092A publication Critical patent/KR20060092092A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

(A) 바인더 수지, (B) 광중합성 (photo-polymerizable) 화합물, (C) 광중합 개시제, (D) 용매 및 하기 화학식 (I) 의 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물:A photosensitive resin composition containing (A) a binder resin, (B) a photo-polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a solvent and a compound of formula (I):

Figure 112006010734612-PAT00001
Figure 112006010734612-PAT00001

(화학식 (I) 중, X, Y 및 Z 는 각각 독립적으로 단일 결합, 하기 화학식 (I-1) 의 기 또는 하기 화학식 (I-2) 의 기를 나타내고,(In formula (I), X, Y, and Z respectively independently represent a single bond, group of following formula (I-1), or group of following formula (I-2),

Figure 112006010734612-PAT00002
Figure 112006010734612-PAT00002

R1 내지 R3 은 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 6 의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 6 의 알콕실기를 나타내고, 동일한 벤젠 고리 상의 R1, R2 및 R3 은 동일 또는 상이할 수 있고, 또한R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 1 , R 2 and R 3 on the same benzene ring may be the same or different. And also

R4 내지 R6 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4 의 알킬기를 나타냄).R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms).

감광성 수지 조성물 Photosensitive resin composition

Description

감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE REISIN COMPOSITION}Photosensitive resin composition {PHOTOSENSITIVE REISIN COMPOSITION}

본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition.

액정 디스플레이, 터치 패널 등과 같은 디스플레이를 구성하는 배열 기판 및 컬러 필터 사이에는 상기 두 기판 사이의 유격 (clearance) 을 확보하기 위한 스페이서가 제공된다. 이러한 스페이서의 형성 방법에 관하여, 종래 구형 입자의 분무를 대신하여, 감광성 수지 조성물을 이용한 스페이서 형성 방법인 광스페이서 (photo-spacer) 방법이 제안된다.Spacers are provided between the array substrate and the color filters constituting the display, such as a liquid crystal display, a touch panel, and the like, to secure a clearance between the two substrates. Regarding the formation method of such a spacer, the photo-spacer method which is a spacer formation method using the photosensitive resin composition is proposed instead of spraying the conventional spherical particle.

광스페이서의 형성에 이용되는 감광성 수지 조성물로는, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 무수 카르복실산 (al), 에폭시기 함유 불포화 화합물 (a2), 및 상기 언급한 (al) 및 (a2) 이외의 올레핀계 불포화 화합물 (a3) 로부터 유래된 구성 단위를 갖는 공중합체를 함유하는 조성물이 공지되어 있다. 스페이서는 포스트 베이킹 (post bake) 중 조성물에 함유된 공중합체의 카르복실기 및 에폭시기의 가교에 의해 수득될 수 있다는 것이 개시되었다 (특허 문헌 1: 일본 공개 특허 공보(JP-A) 제 11-133600 호, 제 2 면의 좌측 칼럼 2 행 내지 제 2 면의 좌측 칼럼 9 행).As a photosensitive resin composition used for formation of an optical spacer, unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated anhydride carboxylic acid (al), an epoxy-group containing unsaturated compound (a2), and other than (al) and (a2) mentioned above Compositions containing a copolymer having a structural unit derived from an olefinically unsaturated compound (a3) are known. It has been disclosed that the spacer can be obtained by crosslinking of the carboxyl group and the epoxy group of the copolymer contained in the composition in post bake (Patent Document 1: Japanese Laid-Open Patent Publication (JP-A) No. 11-133600, Left column 2 rows of the second side to left column 9 rows of the second side).

내열성 및 내도금액성 (plating liquid resistance) 이 우수한 조성물로는, 둘 이상의 에폭시기를 갖는 화합물을 함유하는 방사선-민감성 조성물 (특허 문헌 2: JP-A 제 6-192389 호, 제 2 면의 좌측 칼럼 2 행 내지 제 2 면의 좌측 칼럼 9 행), 및 250 이하의 에폭시 당량을 갖는 에폭시 화합물을 함유하는 방사선-민감성 수지 조성물 (특허 문헌 3: JP-A 제 10-319592 호, 제 2 면의 좌측 칼럼 2 행 내지 제 2 면의 좌측 칼럼 10 행) 이 공지되어 있다.As a composition having excellent heat resistance and plating liquid resistance, a radiation-sensitive composition containing a compound having two or more epoxy groups (Patent Document 2: JP-A No. 6-192389, left column 2 on the second side) Left-column 9 rows from rows 2 to 2, and a radiation-sensitive resin composition containing an epoxy compound having an epoxy equivalent of 250 or less (Patent Document 3: JP-A No. 10-319592, the left column of the second surface) Rows 2 to 2 on the left side of the second side) are known.

그러나, JP-A 제 11-133600 호에 기술된, 스페이서 형성을 위한 조성물은 저장 안정성이 불충분하고, JP-A 제 6-192389 호 및 제 10-319592 호에 기술된 방사선-민감성 수지 조성물은 내열성이 불충분하다.However, the compositions for spacer formation, described in JP-A 11-133600, have insufficient storage stability, and the radiation-sensitive resin compositions described in JP-A 6-192389 and 10-319592 are heat resistant. This is insufficient.

본 발명은, 내열성이 우수한 광스페이서를 형성할 수 있고, 저장 안정성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공한다.This invention can form the optical spacer excellent in heat resistance, and provides the photosensitive resin composition excellent in storage stability.

본 발명자들은 상기한 문제들을 거의 나타내지 않는 감광성 수지 조성물을 연구하였고, 결과적으로 특정한 종류의 에폭시 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물이 저장 안정성에서 우수하고, 우수한 내열성을 갖는 광스페이서를 형성시킬 수 있음을 발견하였다.The inventors have studied photosensitive resin compositions which exhibit little of the above problems, and as a result, have found that photosensitive resin compositions containing a certain kind of epoxy compound can form optical spacers having excellent storage stability and excellent heat resistance. It was.

즉, 본 발명은 하기 화학식 [1] 내지 [5] 의 화합물을 제공한다.That is, the present invention provides a compound of the following formula [1] to [5].

[1] (A) 바인더 수지, (B) 광중합성 (photo-polymerizable) 화합물, (C) 광중합 개시제, (D) 용매 및 하기 화학식 (I) 의 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물:[1] A photosensitive resin composition containing (A) a binder resin, (B) a photo-polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a solvent and a compound of formula (I):

Figure 112006010734612-PAT00003
Figure 112006010734612-PAT00003

(상기 화학식 (I) 중, X, Y 및 Z 는 각각 독립적으로 단일 결합, 하기 화학식 (I-1) 의 기 또는 하기 화학식 (I-2) 의 기를 나타내고,(In said Formula (I), X, Y, and Z respectively independently represent a single bond, group of following formula (I-1), or group of following formula (I-2),

Figure 112006010734612-PAT00004
Figure 112006010734612-PAT00004

R1 내지 R3 은 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 6 의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 6 의 알콕실기를 나타내고, 동일한 벤젠 고리 상의 R1, R2 및 R3 은 동일 또는 상이할 수 있고, 또한R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 1 , R 2 and R 3 on the same benzene ring may be the same or different. And also

R4 내지 R6 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4 의 알킬기를 나타냄).R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms).

[2] 상기 [1] 에 있어서, 상기 화학식 (I) 의 화합물의 함량이, 상기 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 화학식 (I) 의 화합물의 총 량을 기준으로 0.1 내지 20 중량% 인 감광성 수지 조성물.[2] The total amount of the compound of formula (I), wherein the amount of the compound of formula (I) is the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C) and the compound of formula (I). 0.1 to 20% by weight based on the photosensitive resin composition.

[3] 상기 [1] 또는 [2] 에 있어서, 광중합 개시제 (C) 가 트리아진 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 옥심 화합물 및 아실포스핀 옥사이드 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물인 감광성 수지 조성물.[3] The above-mentioned [1] or [2], wherein the photopolymerization initiator (C) is at least one compound selected from the group consisting of a triazine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, an oxime compound and an acylphosphine oxide compound. Photosensitive resin composition.

[4] 상기 [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 따른 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 광스페이서.[4] An optical spacer formed by using the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3].

[5] 상기 [4] 에 따른 광스페이서가 구비된 디스플레이.[5] A display provided with the optical spacer according to the above [4].

본 발명은 하기에서 상세히 설명될 것이다.The invention will be explained in detail below.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (c) 및 화학식 (I) 의 화합물을 함유한다. 이 감광성 수지 조성물에서, 필요한 경우, 기타 첨가제 (F) 가 용매 (E) 중에 용해되거나 분산될 수 있다.The photosensitive resin composition of this invention contains binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photoinitiator (c), and the compound of general formula (I). In this photosensitive resin composition, other additives (F) may be dissolved or dispersed in the solvent (E), if necessary.

바인더 수지 (A) 는 알칼리 용해성 (alkali-solubility) 을 갖고, 바람직하게는 불포화 카르복실산 및 불포화 무수 카르복실산으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물과, 상기 불포화 카르복실산 및 불포화 무수 카르복실산으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물과 공중합가능한 단량체와의 공중합체이다.The binder resin (A) has alkali solubility, preferably at least one compound selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids and unsaturated anhydride carboxylic acids, and the above unsaturated carboxylic acids and unsaturated anhydride carboxylic acids. Copolymers with monomers copolymerizable with at least one compound selected from the group consisting of:

불포화 카르복실산 및 불포화 무수 카르복실산으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물의 예로는 (메트)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 무수 말레산, 푸마르산 등이 포함되며, 이들은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.Examples of one or more compounds selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic anhydrides include (meth) acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, and the like, either alone or in combination. It can be used in combination of the above.

불포화 카르복실산 및 불포화 무수 카르복실산으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물과 공중합가능한 단량체의 예로는 불포화 카르복실산의 치환되지 않거나 치환된 알킬 에스테르, 예컨대 메틸 (메트)아크릴레이트, 에틸 (메트)아크릴레이트, 부틸 (메트)아크릴레이트, 벤질 (메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 아미노에틸 (메트)아크릴레이트 등; 불포화 카르복실산의 지환족기를 함유하는 에스테르, 예컨대 시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 시클로헥실 (메트)아크릴레이트, 메틸시클로헥실 (메트)아크릴레이트, 시클로헵틸 (메트)아크릴레이트, 시클로옥틸 (메트)아크릴레이트, 멘틸 (메트)아크릴레이트, 시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 시클로헥세닐 (메트)아크릴레이트, 시클로헵테닐 (메트)아크릴레이트, 시클로옥테닐 (메트)아크릴레이트, 멘타디에닐 (메트)아크릴레이트, 이소보로닐 (메트)아크릴레이트, 피나닐 (메트)아크릴레이트, 트리시클로도데실 (메트)아크릴레이트, 트리시클로도데실옥시에틸 (메트)아크릴레이트, 아다만틀리 (메트)아크릴레이트, 노르보르네닐 (메트)아크릴레이트, 피네닐 (메트)아크릴레이트, 디시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 디시클로펜틸옥시에틸 (메트)아크릴레이트 등; 글리시딜 (메트)아크릴레이트 등과 같은 불포화 글리시딜 카르복실레이트; 옥세탄 (메트)아크릴레이트 등과 같은 불포화 옥세탄 카르복실레이트; 올리고 에틸렌 글리콜 모노알킬 (메트)아크릴레이트 등과 같은 단일 포화된 카르복실레이트; 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔 등과 같은 방향족 비닐 화합물; 비닐 아세테이트, 비닐 프로피오네이트 등과 같은 비닐 카르복실레이트; (메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴 등과 같은 비닐 시아나이드 화합물; N-페닐말레이미드, N-벤 질말레이미드, N-시클로헥실말레이미드와 같은 N-치환된 말레이미드 화합물 등이 포함된다.Examples of monomers copolymerizable with one or more compounds selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids and unsaturated anhydrous carboxylic acids include unsubstituted or substituted alkyl esters of unsaturated carboxylic acids such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) Acrylate, butyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, aminoethyl (meth) acrylate, and the like; Esters containing alicyclic groups of unsaturated carboxylic acids such as cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth ) Acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl ( Meth) acrylate, isoboroyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, tricyclododecyl (meth) acrylate, tricyclododecyloxyethyl (meth) acrylate, adamantley (meth ) Acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pineneyl (meth) acrylate, dicyclopentyl (meth) acrylate, dicyclopentyloxyethyl (meth) acrylate Agent, and the like; Unsaturated glycidyl carboxylates such as glycidyl (meth) acrylate and the like; Unsaturated oxetane carboxylates such as oxetane (meth) acrylate and the like; Single saturated carboxylates such as oligo ethylene glycol monoalkyl (meth) acrylates and the like; Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene and the like; Vinyl carboxylates such as vinyl acetate, vinyl propionate and the like; Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and the like; N-substituted maleimide compounds such as N-phenylmaleimide, N-benzyl maleimide, N-cyclohexylmaleimide and the like.

이중, 메틸 (메트)아크릴레이트 및 벤질 (메트)아크릴레이트가 바람직하게 사용된다.Of these, methyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate are preferably used.

상기 단량체는 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.The monomers may be used alone or in combination of two or more.

하기 (Al), (A2) 및 (A4) 가 공중합되어 공중합체 1 이 수득되고, 생성된 공중합체 1 및 (A3) 이 공중합체 1 의 (A4) 로부터 유래된 부분에서 반응하여 공중합체 2 가 수득되고, 또한, 생성된 공중합체 2 및 (A5) 가 공중합체 1 의 (A3) 및 (A4) 의 반응에 의해 제조된 부분과 반응하여 공중합체가 수득된다. 이 공중합체가 바람직하게는 사용되는 공중합체로서 언급된다.The following (Al), (A2) and (A4) are copolymerized, and copolymer 1 is obtained, The produced copolymer 1 and (A3) react in the part derived from (A4) of copolymer 1, and copolymer 2 is In addition, the resulting copolymers 2 and (A5) react with the moieties produced by the reaction of (A3) and (A4) of copolymer 1 to obtain a copolymer. This copolymer is preferably mentioned as the copolymer used.

(Al); 한 분자 내에 트리시클로데칸 골격 및 디시클로펜타디엔 골격으로부터 선택된 하나 이상의 골격 및 불포화 결합을 갖는 화합물.(Al); A compound having at least one skeleton and unsaturated bond selected from tricyclodecane skeleton and dicyclopentadiene skeleton in one molecule.

(A2); (Al) 및 (A4) 와 공중합가능한 불포화 화합물,(A2); Unsaturated compounds copolymerizable with (Al) and (A4),

(A3); 불포화 결합을 갖는 카르복실산,(A3); Carboxylic acid having an unsaturated bond,

(A4); 한 분자 내에 불포화 결합 및 에폭시기를 갖는 화합물,(A4); A compound having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule,

(A5); 산 무수물, (A5); Acid anhydride,

(여기서, (Al) 내지 (A5) 가 상호 간에 동일하지는 않음).(Wherein (Al) to (A5) are not identical to each other).

한 분자 내에 트리시클로데칸 골격 및 디시클로펜타디엔 골격으로부터 선택된 하나 이상의 골격 및 불포화 결합을 갖는 화합물 (A1) 의 구체적 예로는 디시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 디시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥 시에틸 (메트)아크릴레이트 및 디시클로펜틸옥시에틸 (메트)아크릴레이트가 포함된다. 이러한 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.Specific examples of the compound (A1) having one or more skeletons and unsaturated bonds selected from tricyclodecane skeleton and dicyclopentadiene skeleton in one molecule include dicyclopentyl (meth) acrylate, dicyclopentyl (meth) acrylate, dish Clofentanyloxyethyl (meth) acrylate and dicyclopentyloxyethyl (meth) acrylate. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

여기서, 본원 중 (메트)아크릴레이트는 아크릴레이트 및/또는 메타크릴레이트를 의미한다.Here, (meth) acrylate in this application means an acrylate and / or a methacrylate.

(Al) 및 (A4) 와 공중합가능한 불포화 화합물 (A2) 의 구체적 예로는 불포화 카르복실산의 치환되지 않거나 치환된 알킬 에스테르, 예컨대 메틸 (메트)아크릴레이트, 에틸 (메트)아크릴레이트, 부틸 (메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 아미노에틸 (메트)아크릴레이트 등; 불포화 카르복실산의 지환족기를 함유하는 에스테르, 예컨대 시클로펜틸 (메트)아크릴레이트, 시클로헥실 (메트)아크릴레이트, 메틸시클로헥실 (메트)아크릴레이트, 시클로헵틸 (메트)아크릴레이트, 시클로옥틸 (메트)아크릴레이트, 멘틸 (메트)아크릴레이트, 시클로펜테틸 (메트)아크릴레이트, 시클로헥세닐 (메트)아크릴레이트, 시클로헵테닐 (메트)아크릴레이트, 시클로옥테닐 (메트)아크릴레이트, 멘타디에닐 (메트)아크릴레이트, 이소보로닐 (메트)아크릴레이트, 피나닐 (메트)아크릴레이트, 아다만틸 (메트)아크릴레이트, 노르보르네닐 (메트)아크릴레이트, 피네닐 (메트)아크릴레이트 등; 올리고 에틸렌 글리콜 모노알킬 (메트)아크릴레이트 등과 같은, 글리콜의 단일 포화된 카르복실레이트; 벤질 (메트)아크릴레이트, 페녹시 (메트)아크릴레이트 등과 같이 불포화 카르복실산의 방향족 고리를 함유하는 에스테르 화합물; 스티렌, α-메틸스티렌, α-페닐스티렌, 비닐톨루엔 등과 같은 방향족 비닐 화합물; 비닐 아세테이트, 비닐 프로피오네이트 등과 같은 비닐 카르복실레이트; (메트)아크릴로니트릴, α- 클로로아크릴로니트릴 등과 같은 비닐 카바이드 화합물; N-시클로헥실말레이미드, N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드와 같은 N-치환된 말레이미드 화합물 등이 포함된다. 이들은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.Specific examples of the unsaturated compound (A2) copolymerizable with (Al) and (A4) include unsubstituted or substituted alkyl esters of unsaturated carboxylic acids such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth ) Acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, aminoethyl (meth) acrylate, and the like; Esters containing alicyclic groups of unsaturated carboxylic acids such as cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth ) Acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclopentetyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mendidienyl (Meth) acrylate, isoboroyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pineneyl (meth) acrylate, etc. ; Single saturated carboxylates of glycols, such as oligo ethylene glycol monoalkyl (meth) acrylates and the like; Ester compounds containing aromatic rings of unsaturated carboxylic acids such as benzyl (meth) acrylate, phenoxy (meth) acrylate, and the like; Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, α-phenylstyrene, vinyltoluene and the like; Vinyl carboxylates such as vinyl acetate, vinyl propionate and the like; Vinyl carbide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and the like; N-substituted maleimide compounds such as N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide, N-benzylmaleimide and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

불포화 결합을 갖는 카르복실산 (A3) 의 구체적 예로는 아크릴산 및 메타크릴산이 포함된다. 아크릴산 및 메타크릴산은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다. 이러한 아크릴산 및 메타크릴산에 덧붙여, 불포화기를 갖는 기타 카르복실산이 함께 사용될 수 있다. 불포화기를 갖는 기타 카르복실산의 구체적 예로는 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 푸마르산 등과 같은 하나의 불포화기를 갖는 기타 카르복실산으로부터 선택된, 하나 이상의 불포화기를 갖는 카르복실산이 포함된다. 또한, α-(히드록시메틸)아크릴산과 같이, 동일한 분자 내에 히드록실기 및 카르복실기를 함유하고, 불포화기를 갖는 카르복실산도 함께 사용될 수 있다.Specific examples of the carboxylic acid (A3) having an unsaturated bond include acrylic acid and methacrylic acid. Acrylic acid and methacrylic acid can be used alone or in combination of two or more. In addition to these acrylic and methacrylic acids, other carboxylic acids having unsaturated groups can be used together. Specific examples of other carboxylic acids having an unsaturated group include carboxylic acids having one or more unsaturated groups selected from other carboxylic acids having one unsaturated group such as crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid and the like. In addition, carboxylic acids containing a hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule and having an unsaturated group can be used together, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.

한 분자 내에 에폭시기 및 불포화 결합을 갖는 화합물 (A4) 의 구체적 예로는 글리시딜 (메트)아크릴레이트, β-메틸글리시딜 (메트)아크릴레이트, β-에틸글리시딜 (메트)아크릴레이트, β-프로필글리시딜 (메트)아크릴레이트, β-메틸글리시딜 α-에틸아크릴레이트, 3-메틸-3,4-에폭시부틸 (메트)아크릴레이트, 3-에틸-3, 4-에폭시부틸 (메트)아크릴레이트, 4-메틸-4,5-에폭시펜틸 (메트)아크릴레이트, 5-메틸-5,6-에폭시헥실 (메트)아크릴레이트, 글리시딜 비닐 에테르 등이 포함되고, 바람직하게는 글리시딜 (메트)아크릴레이트가 언급된다.Specific examples of the compound (A4) having an epoxy group and an unsaturated bond in one molecule include glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, β-ethylglycidyl (meth) acrylate, β-propylglycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl α-ethylacrylate, 3-methyl-3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 3-ethyl-3, 4-epoxybutyl (Meth) acrylate, 4-methyl-4,5-epoxypentyl (meth) acrylate, 5-methyl-5,6-epoxyhexyl (meth) acrylate, glycidyl vinyl ether, and the like are preferably included. Glycidyl (meth) acrylates are mentioned.

산 무수물 (A5) 는 분자 내에 하나의 산 무수물기를 갖는 화합물이고, 이의 구체적 예로는 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸 엔도메틸렌 테트라히드로프탈산, 무수 메틸테트라히드로프탈산, 무수 트리멜리트산 등이 포함되고, 바람직하게는 무수 테트라히드로프탈산이 언급된다.Acid anhydride (A5) is a compound having one acid anhydride group in the molecule, specific examples of which are maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl endomethylene tetra Hydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, and the like, preferably tetrahydrophthalic anhydride.

본 발명에서 사용된 바인더 수지 (A) 는 알칼리 용해성을 갖는 수지이고, 바람직하게는 (Al), (A2) 및 (A4) 가 공중합되어 공중합체 1 이 수득되는 것과, 결과물인 공중합체 1 및 (A3) 이 반응하여 공중합체 2 가 수득되는 것과, 또한, 생성된 결과물인 공중합체 2 및 (A5) 가 반응하는 것에 의해 수득되는 공중합체이다.The binder resin (A) used in the present invention is a resin having alkali solubility, preferably (Al), (A2) and (A4) are copolymerized to obtain copolymer 1, and the resulting copolymer 1 and ( A3) is a copolymer obtained by reacting and copolymer 2 is obtained, and also the resultant copolymer 2 and (A5) are reacted.

우선, (Al), (A2) 및 (A4) 가 공중합체되어 공중합체 1 이 수득된다. 이 공중합은 통상의 조건 하에서 수행된다.First, (Al), (A2) and (A4) are copolymerized to obtain copolymer 1. This copolymerization is carried out under ordinary conditions.

중합 방법에 있어서, 공중합 반응에 사용되는 단량체 및 라디칼 중합 개시제는 용매 중에 용해될 수 있고, 이의 온도는 중합 반응의 실행을 위해 교반되는 동안 승온될 수 있거나, 또는 첨가된 라디칼 중합 개시제를 포함하는 단량체의 온도가 상승되어, 교반 하에 용매 중에 적하될 수 있다. 대안적으로는, 라디칼 중합 개시제가 용매 중에 첨가될 수 있고, 생성된 용액은 가열될 수 있고, 단량체가 가열된 용액에 적하될 수 있다. 반응 조건은 계획된 분자량에 따라 자유롭게 변경될 수 있다.In the polymerization process, the monomers and radical polymerization initiators used in the copolymerization reaction can be dissolved in a solvent, the temperature of which can be elevated while stirring for the execution of the polymerization reaction, or a monomer comprising the added radical polymerization initiator The temperature of is raised and can be dripped in a solvent under stirring. Alternatively, a radical polymerization initiator may be added in the solvent, the resulting solution may be heated, and the monomer may be added dropwise to the heated solution. The reaction conditions can be freely changed depending on the planned molecular weight.

사용될 용매는 특별히 제한되지는 않지만 단 라디칼 중합에 불활성인 것이며, 통상 사용되는 유기 용매가 사용될 수 있다.The solvent to be used is not particularly limited, but is inert to radical polymerization, and an organic solvent commonly used may be used.

이의 구체적 예로는 에틸 아세테이트; 이소프로필 아세테이트; 셀로솔브 아 세테이트, 부틸셀로솔브 아세테이트 등과 같은 에틸렌 글리콜 모노알킬 에테르 아세테이트; 디에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 카르비톨 아세테이트, 부틸카르비톨 아세테이트 등과 같은 디에틸렌 글리콜 모노알킬 에테르 아세테이트; 프로필렌 글리콜 모노알킬 에테르 아세테이트; 디프로필렌 글리콜 모노알킬 에테르 아세테이트 등과 같은 아세테이트; 에틸렌 글리콜 디알킬 에테르; 메틸카르비톨, 에틸카르비톨, 부틸카르비톨 등과 같은 디에틸렌 글리콜 디알킬 에테르; 트리에틸렌 글리콜 디알킬 에테르; 프로필렌 글리콜 디알킬 에테르; 디프로필렌 글리콜디알킬 에테르; 1,4-디옥산, 테트라히드로푸란 등과 같은 에테르; 아세톤, 메틸 에틸 케톤, 메틸 이소부틸 케톤, 시클로헥사논 등과 같은 케톤; 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 옥탄, 데칸 등과 같은 탄화수소; 석유 에테르, 석유 나프타, 수소처리된 (hydrogenated: 경화) 석유 나프타, 용액 나프타 등과 같은 석유계 용매; 메틸 락테이트, 에틸 락테이트, 부틸 락테이트 등과 같은 락테이트; 디메틸포름아미드; N-메틸피롤리돈; 등이 포함된다.Specific examples thereof include ethyl acetate; Isopropyl acetate; Ethylene glycol monoalkyl ether acetates such as cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, and the like; Diethylene glycol monoalkyl ether acetates such as diethylene glycol monomethyl ether acetate, carbitol acetate, butylcarbitol acetate and the like; Propylene glycol monoalkyl ether acetates; Acetates such as dipropylene glycol monoalkyl ether acetate and the like; Ethylene glycol dialkyl ethers; Diethylene glycol dialkyl ethers such as methylcarbitol, ethylcarbitol, butylcarbitol and the like; Triethylene glycol dialkyl ether; Propylene glycol dialkyl ethers; Dipropylene glycol dialkyl ether; Ethers such as 1,4-dioxane, tetrahydrofuran and the like; Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and the like; Hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, octane, decane and the like; Petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, solution naphtha, and the like; Lactates such as methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate and the like; Dimethylformamide; N-methylpyrrolidone; Etc. are included.

이러한 용매는 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.Such solvents may be used alone or in combination of two or more.

용매의 사용량은 공중합체의 100 중량부를 기준으로 30 내지 1000 중량부, 바람직하게는 50 내지 800 중량부이다. 이 범위 내에서, 바람직하게는, 분자량이 쉽게 제어된다.The amount of the solvent used is 30 to 1000 parts by weight, preferably 50 to 800 parts by weight based on 100 parts by weight of the copolymer. Within this range, preferably, the molecular weight is easily controlled.

사용될 라디칼 중합 개시제는 특별히 제한되지는 않지만, 단 라디칼 중합을 개시할 수 있는 것이며, 통상 사용되는 유기 과산화물 촉매 및 아조 화합물이 사용될 수 있고, 케톤 퍼옥사이드, 퍼옥시 케탈, 히드로퍼옥사이드, 디알릴 퍼옥사이 드, 디아실 퍼옥사이드, 퍼옥시 에스테르 및 퍼옥시 디카르보네이트, 아조 화합물로 분류될 수 있는 공지된 화합물이 언급된다.The radical polymerization initiator to be used is not particularly limited but may be capable of initiating radical polymerization, and organic peroxide catalysts and azo compounds which are commonly used may be used, and ketone peroxides, peroxy ketals, hydroperoxides, diallyl pers Mention is made of known compounds which can be classified as oxides, diacyl peroxides, peroxy esters and peroxy dicarbonates, azo compounds.

이의 구체적 예로는 벤조일 퍼옥사이드, 디쿠밀 퍼옥사이드, 디이소프로필 퍼옥사이드, 디-t-부틸 퍼옥사이드, t-부틸 퍼옥시벤조에이트, t-헥실 퍼옥시벤조에이트, t-부틸 퍼옥시-2-에틸 헥사노에이트, t-헥실 퍼옥시-2-에틸 헥사노에이트, 1,1-비스(t-부틸 퍼옥시)-3,3,5-트리메틸시클로헥산, 2,5-디메틸-2,5-비스(t-부틸 퍼옥시)헥실-3,3-이소프로필 히드로퍼옥사이드, t-부틸 히드로퍼옥사이드, 디쿠밀 퍼옥사이드, 디쿠밀 히드로퍼옥사이드, 아세틸 퍼옥사이드, 비스(4-t-부틸시클로헥실) 퍼옥시 디카르보네이트, 디이소프로필 퍼옥시 디카르보네이트, 이소부틸 퍼옥사이드, 3,3,5-트리메틸헥사노일 퍼옥사이드, 라우릴 퍼옥사이드, 1,1-비스(t-부틸 퍼옥시) 3,3,5-트리메틸시클로헥산, 1,1-비스(t-헥실 퍼옥시) 3,3,5-트리메틸시클로헥산, 아조비스이소부티로니트릴, 아조비스카르보네아미드 등이 포함된다.Specific examples thereof include benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, diisopropyl peroxide, di-t-butyl peroxide, t-butyl peroxybenzoate, t-hexyl peroxybenzoate, t-butyl peroxy-2 Ethyl hexanoate, t-hexyl peroxy-2-ethyl hexanoate, 1,1-bis (t-butyl peroxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 2,5-dimethyl-2, 5-bis (t-butyl peroxy) hexyl-3,3-isopropyl hydroperoxide, t-butyl hydroperoxide, dicumyl peroxide, dicumyl hydroperoxide, acetyl peroxide, bis (4-t- Butylcyclohexyl) peroxy dicarbonate, diisopropyl peroxy dicarbonate, isobutyl peroxide, 3,3,5-trimethylhexanoyl peroxide, lauryl peroxide, 1,1-bis (t-butyl Peroxy) 3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (t-hexyl peroxy) 3,3,5-trimethylcyclohexane, azobisisobutyronitrile, azo Bis amides, and the like carboxylic Bonnet.

중합 온도에 따라 적합한 반감기를 갖는 라디칼 중합 개시제를 선택하는 것이 바람직하다. 라디칼 중합 개시제의 사용량은 공중합 반응에 사용되는 단량체의 총 량의 100 중량부를 기준으로 통상 0.5 내지 20 중량부, 바람직하게는 1 내지 10 중량부이다.It is preferable to select a radical polymerization initiator having a suitable half life according to the polymerization temperature. The amount of the radical polymerization initiator to be used is usually 0.5 to 20 parts by weight, preferably 1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the monomers used in the copolymerization reaction.

각각의 성분으로부터 유래된 구성 성분의 비율은 상기 공중합체 1 을 구성하는 구성 성분의 총 몰수를 기준으로 한 몰 분획으로 환산하여 바람직하게는 하기의 범위이다.The proportion of the constituents derived from each component is preferably in the following ranges in terms of mole fractions based on the total moles of constituents constituting the copolymer 1 above.

(Al) 로부터 유래된 구성 단위: 2 내지 40 몰% Structural units derived from (Al): 2 to 40 mol%

(A2) 로부터 유래된 구성 단위: 2 내지 95 몰% Structural units derived from (A2): 2 to 95 mol%

(A4) 로부터 유래된 구성 단위: 3 내지 65 몰% Structural units derived from (A4): 3 to 65 mol%

보다 바람직하게는 상기 구성 성분의 비율이 하기의 범위이다.More preferably, the ratio of the said component is the following range.

(Al) 로부터 유래된 구성 단위: 5 내지 35 몰% Structural units derived from (Al): 5 to 35 mol%

(A2) 로부터 유래된 구성 단위: 5 내지 80 몰% Structural units derived from (A2): 5 to 80 mol%

(A4) 로부터 유래된 구성 단위: 15 내지 60 몰% Structural units derived from (A4): 15 to 60 mol%

상기 구성 비율이 상기 범위 내에 있을 경우, 가요성 및 내열성 사이의 밸런스가 우수하고, 바람직한 골격 중합체가 수득된다.When the above constituent ratio is within the above range, the balance between flexibility and heat resistance is excellent, and a preferable backbone polymer is obtained.

다음으로, (A3) 가 상기 공중합체 1 에 첨가되어 바인더 수지 (A) 에 광/열 경화성 (curability) 을 부여한다.Next, (A3) is added to the copolymer 1 to impart light / heat curability to the binder resin (A).

공중합체 1 및 (A3) 의 반응은, 예를 들어, JP-A 제 2001-89533 호에 기술된 조건 하에서 수행될 수 있다. 상세하게는, 교반기, 적하 깔대기, 응축기, 온도계 및 가스도입관이 구비된 플라스크에 공중합체 1 의 용액 (상기 (Al), (A2) 및 (A4) 의 공중합에 의해 수득된 용액이 그대로 사용될 수 있음) 을 공급하고, 용액을 교반하면서 공기 대기 하에서 120 ℃ 로 가열한다. (A3), 트리스디메틸아미노메틸페놀 및 히드로퀴논을 상기 에이징된 (aged) 용액에 넣고, 반응을 120 ℃ 에서 6 시간 동안 지속시키고, 고체산 값이 0.8 에 도달했을 때 종료시켜, 광/열 경화성이 부여된 공중합체 1 을 수득한다.The reaction of copolymer 1 and (A3) can be carried out, for example, under the conditions described in JP-A 2001-89533. Specifically, a solution of copolymer 1 (a solution obtained by copolymerization of (Al), (A2) and (A4) may be used as it is in a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer and a gas introduction tube). And heated to 120 ° C. under air atmosphere while stirring the solution. (A3), trisdimethylaminomethylphenol and hydroquinone were added to the aged solution, the reaction was continued at 120 ° C. for 6 hours, and terminated when the solid acid value reached 0.8, resulting in light / thermal curability Obtained copolymer 1 is obtained.

(A3) 의 첨가량은 (Al), (A2) 및 (A4) 의 공중합에 의해 수득된 수지 내 에폭시기 (A4 성분으로부터 유래) 를 기준으로 통상 5 내지 100 몰%, 바람직하게는 10 내지 95 몰% 이다.The addition amount of (A3) is usually 5 to 100 mol%, preferably 10 to 95 mol% based on the epoxy group (derived from the A4 component) in the resin obtained by copolymerization of (Al), (A2) and (A4). to be.

(A4) 의 조성비가 상기 범위 내에 있을 경우, 충분한 광경화성 및 열경화성이 얻어져, 바람직하게는 우수한 신뢰도를 제공한다.When the composition ratio of (A4) is within the above range, sufficient photocurability and thermosetting are obtained, and preferably excellent reliability is provided.

다음으로, 상기 공중합체 2 및 (A5) 를 반응시켜 알칼리 용해성이 부여된 바인더 수지 (A) 를 제조한다.Next, the said copolymer 2 and (A5) are made to react, and the binder resin (A) to which alkali solubility was provided is manufactured.

공중합체 2 및 (A5) 의 반응은, 예를 들어, JP-A 제 2001-89533 호에 기술된 조건 하에서 수행될 수 있다. (A5) 및 트리에틸아민을 상기 공중합체 2 에 첨가하고, 120 ℃ 에서 3.5 시간 동안 반응시켜, 알칼리-현상가능한 (developable) 바인더 수지 (A) 를 수득한다.The reaction of copolymer 2 and (A5) can be carried out, for example, under the conditions described in JP-A 2001-89533. (A5) and triethylamine are added to the copolymer 2 and reacted at 120 DEG C for 3.5 hours to obtain an alkali-developable binder resin (A).

(A5) 의 첨가량은 공중합체 2 의 알코올성 히드록실기 (A3 성분으로부터 유래) 의 몰수를 기준으로 5 내지 100 몰%, 바람직하게는 10 내지 95 몰% 이다.The addition amount of (A5) is 5-100 mol%, Preferably it is 10-95 mol% based on the mole number of the alcoholic hydroxyl group (derived from A3 component) of copolymer 2.

상기 바인더 수지 (A) 의 폴리스티렌 검량선에 근거한 중량평균 분자량은 바람직하게는 3000 내지 100000, 보다 바람직하게는 5000 내지 30000 이다.The weight average molecular weight based on the polystyrene calibration curve of the said binder resin (A) becomes like this. Preferably it is 3000-100000, More preferably, it is 5000-30000.

바인더 수지 (A) 의 중량평균 분자량이 상기 범위 내에 있을 경우, 이의 응용성이 우수하고, 현상 중에 필름 감소가 쉽게 일어나지 않고, 또한, 현상 중에 비화소부 (non-pixel portion) 의 침투 성질이 우수한 경향이 있다.When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is within the above range, its applicability is excellent, the film reduction does not easily occur during development, and also the penetration property of the non-pixel portion during development is excellent. There is this.

바인더 수지 (A) 의 분자량 분포 [중량평균 분자량 (Mw) /수평균 분자량 (Mn)] 은 바람직하게는 1.5 내지 6.0, 보다 바람직하게는 1.8 내지 4.0 이다. 분자량 분포가 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는 현상성이 우수하다.The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the binder resin (A) is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. When molecular weight distribution exists in the said range, Preferably developability is excellent.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 사용되는 바인더 수지 (A) 의 함량은 감광 성 수지 조성물의 고체 함량을 기준으로 중량 분획으로 환산하여 바람직하게는 5 내지 90 중량%, 보다 바람직하게는 10 내지 70 중량% 이다. 바인더 수지 (A) 의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는, 현상제 내에서의 분해성이 충분하고, 현상 잔류물이 기판상의 비화소부에서 쉽게 형성되지 않고, 현상 중에 노출된 화소부에서 필름 감소가 쉽게 일어나지 않으며, 비화소부에서의 침투 성질이 우수한 경향이 있다.The content of the binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 5 to 90% by weight, more preferably 10 to 70% by weight, based on the solids content of the photosensitive resin composition. to be. When the content of the binder resin (A) is within the above range, preferably, the decomposability in the developer is sufficient, the developing residue is not easily formed in the non-pixel portion on the substrate, and the film in the exposed pixel portion during development The reduction does not easily occur, and the penetration property in the non-pixel portion tends to be excellent.

바인더 수지 (A) 로서, 바인더 수지의 측쇄에 (메트)아크릴기가 도입되어 수득된 바인더 수지가 또한 이용될 수 있으며, 예컨대 카르복실기를 갖는 바인더 수지를 한 분자 내에 에폭시기 및 (메트)아크릴기를 함유하는 화합물과 반응시켜 수득한 수지 등이 있다.As the binder resin (A), a binder resin obtained by introducing a (meth) acryl group into the side chain of the binder resin can also be used, for example, a compound containing an epoxy group and a (meth) acryl group in one molecule of a binder resin having a carboxyl group. And a resin obtained by reaction with.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유된 광중합성 화합물 (B) 로서 단일관능성 단량체, 이관능성 단량체 및 다관능성 단량체가 언급된다. As the photopolymerizable compound (B) contained in the photosensitive resin composition of the present invention, a monofunctional monomer, a difunctional monomer and a polyfunctional monomer are mentioned.

단일관능성 단량체의 구체적 예로는 노닐페닐 카르비톨 아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필 아크릴레이트, 2-에틸헥실 카르비톨 아크릴레이트, 2-히드록시에틸 아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등이 포함된다.Specific examples of monofunctional monomers include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, and N-vinylpyrroli Money, etc.

이관능성 단량체의 구체적 예로는 1,6-헥산 디올 디(메트)아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜 디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 의 비스 (아크릴로일옥시에틸) 에테르, 3-메틸펜탄디올 디(메트)아크릴레이트 등이 포함된다.Specific examples of difunctional monomers include 1,6-hexane diol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, bisphenol Bis (acryloyloxyethyl) ether of A, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

다관능성 단량체의 구체적 예로는 트리메틸올프로판 트리(메트)아크릴레이 트, 펜타에리트리톨 트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메트)아크릴레이트와 산 무수물과의 반응 생성물, 디펜타에리트리톨 펜타(메트)아크릴레이트와 산 무수물의 반응 생성물 등이 포함된다.Specific examples of the polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, the reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate with an acid anhydride, the reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate with an acid anhydride, and the like.

그 중, 이관능 단량체, 다관능성 단량체 등과 같은 비-(bi-) 이상의 다관능성 단량체가 바람직하게 사용된다.Among them, non- (bi-) or more polyfunctional monomers such as bifunctional monomers, polyfunctional monomers, and the like are preferably used.

이러한 시판되는 제품의 예로는 ARONIX M-309, M-400, M-402, M-405, M-450, M-7100, M-8030, M-8060, M-1310, M-1600, M-1960, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050 (Toagosei Co. Ltd. 사제), KAYARAD TMPTA, DPHA, DPCα-20, DPCα-30, DPCα-60, DPCα-120 (Nippon Kayaku Co. Ltd. 사제), Viscoat 295, 300, 360, GPT, 3PA, 400 (Osaka Organic Chemical industry Ltd. 사제) 등이 포함된다.Examples of such commercial products are ARONIX M-309, M-400, M-402, M-405, M-450, M-7100, M-8030, M-8060, M-1310, M-1600, M- 1960, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050 (manufactured by Toagosei Co. Ltd.), KAYARAD TMPTA, DPHA, DPCα-20, DPCα-30, DPCα-60, DPCα-120 (Nippon Kayaku Co Ltd.), Viscoat 295, 300, 360, GPT, 3PA, 400 (manufactured by Osaka Organic Chemical industry Ltd.), and the like.

광중합성 화합물 (B) 의 함량은 감광성 수지 조성물 내 바인더 수지 (A) 및 광중합성 화합물 (B) 의 총량을 기준으로 중량 분획으로 환산하여 바람직하게는 1 내지 70 중량%, 보다 바람직하게는 5 내지 60 중량% 이다. 광중합성 화합물 (B) 의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는, 화소부의 강도, 평탄도 및 신뢰도가 우수한 경향이 있다.The content of the photopolymerizable compound (B) is preferably in the range of 1 to 70% by weight, more preferably 5 to 5, based on the total amount of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B) in the photosensitive resin composition. 60 wt%. When the content of the photopolymerizable compound (B) is within the above range, preferably, the intensity, flatness and reliability of the pixel portion tend to be excellent.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유된 광중합 개시제 (C) 의 예로는 아세토페논계, 비이미다졸계, 옥심계, 트리아진계 화합물 등이 포함된다.Examples of the photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include acetophenone series, biimidazole series, oxime series, triazine series compounds and the like.

상기 아세토페논계 화합물의 예로는 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸 -l-페닐프로판-l-원, 벤질 디메틸 케탈, 2-히드록시-l-[4-(2-히드록시에톡시)페닐l-2-메틸프로판-l-원, 1-히드록시시클로헥실 페닐 케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-l-원, 2-벤질-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)부탄-l-원, 2-(2-메틸벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)부타논, 2-(3-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메틸벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-에틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-프로필벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-부틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,3-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,4-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-클로로벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-클로로벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-브로모벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-l-(4-모르폴리노 페닐)-부타논, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(l-메틸비닐)페닐]프로판-l-원의 소 중합체 (oligomer) 등이 포함된다.Examples of the acetophenone-based compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -phenylpropane-1 -one, benzyl dimethyl ketal, 2-hydroxy-1-[4- (2-hydroxy Ethoxy) phenyll-2-methylpropane-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one, 2 -Benzyl-2-dimethylamino-l- (4-morpholinophenyl) butane-1 -one, 2- (2-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone , 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholi Nophenyl) -butanone, 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,3-dimethylbenzyl ) -2-dimethylamino-l- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,4-dimethylbenzyl) -2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2 -Bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-l- (4-morpholinophenyl)- Butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-bromobenzyl) -2-dimethylamino-l- (4 -Morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-l- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methoxybenzyl) -2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- ( 4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-l- (4- Morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromo- 4-M Sibenzyl) -2-dimethylamino-l- (4-morpholino phenyl) -butanone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (l-methylvinyl) phenyl] propane-one-one Oligomers and the like.

상기 비-이미다졸 화합물의 예로는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비-이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4'5,5'-테트라페닐 비-이미다졸 (예를 들어, JP-A 제 6-75372 호, 제 6-75373 호 등 참조), 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'5,5'-테트라페닐 비-이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4'5,5'-테트라(알콕시페닐) 비-이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(디알콕시페닐) 비-이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐) 비-이미다졸 (예를 들어, JP-B 제 48-38403 호, JP-A 제 62-174204 호 등 참조), 4,4'5,5'-위치의 페닐기가 카르보알콕시기로 치환된 이미다졸 화합물 (예를 들어, JP-A 제 7-10913 호 등 참조) 등이 포함되고, 바람직하게는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비이미다졸 및 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비이미다졸이 언급된다.Examples of such non-imidazole compounds include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl bi-imidazole, 2,2'-bis (2,3- Dichlorophenyl) -4,4'5,5'-tetraphenyl bi-imidazole (see, eg, JP-A 6-75372, 6-75373, etc.), 2,2'-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4'5,5'-tetraphenyl bi-imidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4'5,5'-tetra (alkoxyphenyl) non- Imidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) bi-imidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) bi-imidazole (see, eg, JP-B 48-38403, JP-A 62-174204, etc.), 4,4' Imidazole compounds in which the phenyl group at the 5,5'-position is substituted with a carboalkoxy group (see, for example, JP-A No. 7-10913, etc.) and the like, and preferably 2,2'-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl biimidazole and 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl Imidazole is mentioned.

상기 옥심 화합물의 예로는 O-에톡시카르보닐-α-옥시미노-1-페닐프로판-1-원, 하기 화학식 (a) 의 화합물, 하기 화학식 (b) 의 화합물 등이 포함된다.Examples of the oxime compound include O-ethoxycarbonyl-α-oxymino-1-phenylpropane-1-one, a compound of formula (a), a compound of formula (b), and the like.

Figure 112006010734612-PAT00005
Figure 112006010734612-PAT00005

상기 트리아진계 화합물의 예로는 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페 닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-l,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐]-l,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐l-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등이 포함된다.Examples of the triazine-based compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6 -(4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-l, 3,5-triazine, 2,4-bis (Trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2- Yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trimethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyll-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl)- 6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like.

당업계에서 통상 사용되는 광중합 개시제가, 본 발명의 효과를 저하시키지 않을 정도로, 추가로 함께 사용될 수 있으며, 상기 광중합 개시제의 예로는 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오잔톤계 화합물, 안트라센계 화합물 등이 포함된다.Photopolymerization initiators commonly used in the art may be used together to the extent that the effects of the present invention are not impaired. Examples of the photopolymerization initiators include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, and anthracene compounds. Etc. are included.

보다 상세하게는, 하기 기술된 화합물이 언급되고, 이러한 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.More specifically, the compounds described below are mentioned, and these compounds may be used alone or in combination of two or more.

상기 벤조인계 화합물의 예로는 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르 등이 포함된다.Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and the like.

상기 벤조페논계 화합물의 예로는 벤조페논, 메틸 o-벤조일벤조에이트, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐 설파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸 퍼옥시카르보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등이 포함된다.Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert- Butyl peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

상기 티오잔톤계 화합물의 예로는 2-이소프로필티오잔톤, 4-이소프로필티오잔톤, 2,4-디에틸티오잔톤, 2,4-디클로로티오잔톤, 1-클로로-4-프로폭시티오잔톤 등이 포함된다.Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2,4-diethyl thioxanthone, 2,4-dichloro thioxanthone, 1-chloro-4-propoxy thioxanthone, and the like. This includes.

상기 안트라센계 화합물의 예로는 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,lO-디에톡시안트라센 등이 포함된다.Examples of the anthracene-based compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9, lO-diethoxyanthracene, and the like. .

추가로, 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀 옥사이드, 1O-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,1O-페난트렌퀴논, 캄포퀴논, 메틸페닐글리옥시레이트, 티타노센 화합물 등과 같은 광중합 개시제가 포함된다.Additionally, 2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methylphenylglyoxy Photopolymerization initiators such as latex, titanocene compounds and the like.

사슬 이동을 유발시킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로서 일본 특허 출원 국내 발행 (공개) 제 2002-544205 호에 기술된 것들 역시 사용될 수 있다.Japanese patent application issued as a photopolymerization initiator having a group capable of causing chain transfer (Public) The ones described in 2002-544205 may also be used.

사슬 이동을 유발시킬 수 있는 기를 갖는 상기 광중합 개시제의 예로는 하기 화학식 (2) 내지 (7) 의 화합물이 포함된다.Examples of the photopolymerization initiator having a group capable of inducing chain transfer include compounds of the following formulas (2) to (7).

Figure 112006010734612-PAT00006
Figure 112006010734612-PAT00006

사슬 이동을 유발시킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제는 공중합체 1 의 구성 성분 (A2) 로서 이용될 수 있다. (A2) 를 이용하여 수득한 바인더 수지 (A) 는 본 발명의 바인더 수지에 함께 이용될 수 있다.Photopolymerization initiators having groups capable of inducing chain transfer can be used as constituent (A2) of copolymer 1. The binder resin (A) obtained using (A2) can be used together in the binder resin of the present invention.

광중합 개시 보조제 (C-1) 이 광중합 개시제와 조합되어 사용될 수 있다. 광중합 개시 보조제로서, 하기 아민 화합물 및 카르복실산 화합물이 바람직하고, 아민 화합물로서, 방향족 아민 화합물이 보다 바람직하다.Photopolymerization initiation aid (C-1) can be used in combination with photopolymerization initiator. As a photoinitiator, the following amine compound and carboxylic acid compound are preferable, and an aromatic amine compound is more preferable as an amine compound.

광중합 개시 보조제 (C-1) 의 구체적 예로는 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등과 같은 지방족 아민 화합물; 메틸 4-디메틸아미노 벤조에이트, 에틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 이소아밀 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-에틸헥실 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-디메틸아미노에틸 벤조에이트, N,N-디메틸 p-톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논 (일반명; Michier 의 케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등과 같은 방향족 아민 화합물; 페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신, 나프톡시아세트산과 같은 방향족 헤테로아세트산과 같은 카르복실산 화합물 등이 포함된다.Specific examples of the photopolymerization initiation aid (C-1) include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, and the like; Methyl 4-dimethylamino benzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethyl p Aromatic amine compounds such as toluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (common name; ketone of Michier), 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and the like; Phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, N-phenylglycine And carboxylic acid compounds such as aromatic heteroacetic acids such as phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, naphthoxyacetic acid, and the like.

광중합 개시제 (C) 의 함량은 바인더 수지 (A) 및 광중합성 화합물 (B) 의 총량을 기준으로 중량 분획으로 환산하여 바람직하게는 0.1 내지 40 중량%, 보다 바람직하게는 1 내지 30 중량% 이다.The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 0.1 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight in terms of weight fractions based on the total amount of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B).

광중합 개시 보조제 (C-1) 이 이용될 경우, 이의 함량은 상기 기준에 근거하여 바람직하게는 0.1 내지 50 중량%, 보다 바람직하게는 0.1 내지 40 중량% 이다.When photopolymerization initiation aid (C-1) is used, its content is preferably 0.1 to 50% by weight, more preferably 0.1 to 40% by weight based on the above criteria.

광중합 개시제 (C) 의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는 감광성 수지 조성물이 고감도 (high sensitivity) 를 갖고, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 화소부의 강도, 및 화소 표면의 평탄도가 우수해지는 경향이 있다. 덧붙여, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는 생성된 감광성 수지 조성물이 보다 높은 감도를 갖고, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 패턴 기판의 생산성이 증가하는 경향이 있다.When the content of the photopolymerization initiator (C) is within the above range, preferably the photosensitive resin composition has high sensitivity, and the intensity of the pixel portion formed by using the photosensitive resin composition and the flatness of the pixel surface are excellent. There is a tendency to lose. In addition, when the content of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is within the above range, the resulting photosensitive resin composition preferably has higher sensitivity, and the productivity of the patterned substrate formed using the photosensitive resin composition increases. There is a tendency.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 화학식 (I) 의 화합물을 함유한다. 화학식 (I) 의 화합물을 이용함으로써, 저장 안정성 및 내열성이 우수한 광스페이서를 형성하는 것이 가능해진다. 또한, 형성된 광스페이서는 양호한 내용매성 및 표면 평탄도를 갖고, 복원률 (recovery ratio) 역시 우수하다.The photosensitive resin composition of this invention contains the compound of general formula (I). By using the compound of general formula (I), it becomes possible to form the optical spacer excellent in storage stability and heat resistance. In addition, the formed optical spacer has good solvent resistance and surface flatness, and has a recovery ratio. Excellent too.

Figure 112006010734612-PAT00007
Figure 112006010734612-PAT00007

(상기 화학식 (I) 중, X, Y 및 Z 는 각각 독립적으로 단일 결합, 하기 화학식 (I-1) 의 기 또는 하기 화학식 (I-2) 의 기를 나타내고,(In said Formula (I), X, Y, and Z respectively independently represent a single bond, group of following formula (I-1), or group of following formula (I-2),

Figure 112006010734612-PAT00008
Figure 112006010734612-PAT00008

R1 내지 R3 은 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 6 의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 6 의 알콕실기를 나타내고, 동일한 벤젠 고리 상의 R1, R2 및 R3 은 동일 또는 상이할 수 있고,R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 1 , R 2 and R 3 on the same benzene ring may be the same or different. There is,

R4 내지 R6 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4 의 알킬기를 나타냄).R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms).

X, Y 및 Z 로서, 단일 결합 또는 상기 화학식 (I-2) 의 기가 바람직하게 언급된다.As X, Y and Z, a single bond or a group of the formula (I-2) is preferably mentioned.

R1 내지 R3 로서, 수소 원자 및 탄소수 1 내지 6 의 알킬기가 바람직하게 언급된다.As R 1 to R 3 , a hydrogen atom and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms are preferably mentioned.

R4 내지 R6 로서, 수소 원자, 메틸기, 에틸기, n-프로필기 및 이소프로필기가 바람직하게 언급된다.As R 4 to R 6 , hydrogen atoms, methyl groups, ethyl groups, n-propyl groups and isopropyl groups are preferably mentioned.

상기 화학식 (I) 의 화합물로서, 바람직하게는 X, Y 및 Z 중 둘 이상이 단일 결합을 나타내고, R1 내지 R3 이 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6 의 알킬기를 나타내고, R4 내지 R6 이 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4 의 알킬기를 나타내는 화합물이 언급되고, 보다 바람직하게는 X, Y 및 Z 중 둘이 단일 결합을 나타내고, 나머지 하나가 상기 화학식 (I-2) 의 기를 나타내고, R1 내지 R3 이 수소 원자를 나타내고, R4 내지 R6 이 수소 원자를 나타내는 화합물이 언급된다.As the compound of the formula (I), preferably at least two of X, Y and Z represent a single bond, R 1 to R 3 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 4 to R 6 are Reference is made to compounds which represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably two of X, Y and Z represent a single bond, the other represents a group of the formula (I-2) above and R 1 to R Reference is made to compounds in which 3 represents a hydrogen atom and R 4 to R 6 represent a hydrogen atom.

상기 화학식 (I) 의 화합물로서, 예를 들어, Techmore (상표 등록) VG31O1L (Mitsui Chemical Co., Ltd. 사제) 로서 이용가능한 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-([2,3-에폭시프로폭시]페닐)]에틸]페닐]프로판 등이 언급된다.2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2 usable as the compound of formula (I), for example, as Techmore (registered trademark) VG31O1L (manufactured by Mitsui Chemical Co., Ltd.). -[4- [1,1-bis [4-([2,3-epoxypropoxy] phenyl)] ethyl] phenyl] propane and the like.

상기 화학식 (I) 의 화합물의 함량은 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 광중합 개시제 (C) 및 화학식 (I) 의 화합물의 총량을 기준으로 중량 분획으로 환산하여 바람직하게는 0.1 내지 20 중량%, 보다 바람직하게는 0.2 내지 15 중량% 이다.The content of the compound of formula (I) is preferably 0.1 to 20 in terms of weight fraction based on the total amount of binder resin (A), photopolymerizable compound (B) photopolymerization initiator (C) and compound of formula (I). % By weight, more preferably 0.2 to 15% by weight.

화학식 (I) 의 화합물의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 바람직하게는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 화소부 및 코팅된 필름의 내화학성이 우수한 경향이 있고, 또한, 내열성이 증가한다.When the content of the compound of formula (I) is within the above range, preferably, the chemical resistance of the pixel portion and the coated film formed using the photosensitive resin composition tends to be excellent, and the heat resistance also increases.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 용매 (D) 를 함유한다. 이러한 용매 (D) 로서, 감광성 수지 조성물 분야에서 이용되는 다양한 유기 용매가 이용될 수 있다.The photosensitive resin composition of this invention contains a solvent (D). As such a solvent (D), various organic solvents used in the photosensitive resin composition field can be used.

이의 구체적 예로서 에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노프로필 에테르, 에틸렌 글리콜 모노부틸 에테르 등과 같은 에틸렌 글리콜 모노알킬 에테르; 디에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 디에틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 디프로필 에테르, 디에틸렌 글리콜 디부틸 에테르 등과 같은 디에틸렌 글리콜 디알킬 에테르; 메틸셀로솔브 아세테이트, 에틸셀로솔브 아세테이트 등과 같은 에틸렌 글리콜 알킬 에테르 아세테이트; 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 모노프로필 에테르 아세테이트, 메톡시부틸 아세테이트, 메톡시펜틸 아세테이트 등과 같은 알킬렌 글리콜 알킬 에테르 아세테이트; 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 메시틸렌, 케톤, 예컨대 메틸 에틸 케톤, 아세톤, 메틸 아밀 케톤, 메틸 이소부틸 케톤, 시클로헥사논 등과 같은 방향족 탄화수소; 에탄올, 프로 판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌 글리콜, 글리세린 등과 같은 알코올; 에틸 3-에톡시프로피오네이트, 메틸 3-메톡시프로피오네이트 등과 같은 에스테르; γ-부티로락톤 등과 같은 시클릭 에스테르가 포함된다.Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether and the like; Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, and the like; Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methylcellosolve acetate, ethylcellosolve acetate, and the like; Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate and the like; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, mesitylene, ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and the like; Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerin and the like; Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate and the like; cyclic esters such as γ-butyrolactone and the like.

상기 용매 중, 100 내지 200 ℃ 의 비등점을 갖는 유기 용매가 바람직하게 언급되고, 보다 바람직하게는 알킬렌글리콜 알킬 에테르 아세테이트, 케톤, 에스테르, 예컨대 에틸 3-에톡시프로피오네이트, 메틸 3-메톡시프로피오네이트 등이 언급되고, 응용성 및 건조성의 견지에서 상기 용매 중 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 시클로헥사논, 에틸 3-에톡시프로피오네이트 및 메틸 3-메톡시프로피오네이트가 또한 바람직하게 언급된다.Among the solvents, organic solvents having a boiling point of 100 to 200 ° C. are preferably mentioned, more preferably alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, esters such as ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxy Propionate and the like are mentioned and propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxy in the solvent in view of applicability and dryness. Propionates are also preferably mentioned.

이러한 용매 (D) 는 개별적으로 단독 또는 둘 이상이 조합되어 이용될 수 있다.These solvents (D) can be used individually or in combination of two or more individually.

본 발명의 감광성 수지 조성물 중 용매 (D) 의 함량은 감광성 수지 조성물을 기준으로 중량 분획으로 환산하여 바람직하게는 60 내지 90 중량%, 보다 바람직하게는 70 내지 85 중량% 이다. 용매 (D) 의 함량이 상기 범위 내에 있을 경우, 스핀 코터 (spin coater), 슬릿 (slit) & 스핀 코터, 슬릿 코터 (다이 코터 (die coater), 커텐 플로우 코터 (curtain flow coater) 로도 칭함), 잉크젯 등과 같은 응용 장치를 통해 적용될 경우, 응용성이 우수해지는 바람직한 경향이 있다.The content of the solvent (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 60 to 90% by weight, more preferably 70 to 85% by weight in terms of weight fraction based on the photosensitive resin composition. When the content of the solvent (D) is within the above range, spin coater, slit & spin coater, slit coater (also called die coater, curtain flow coater), When applied through an application device such as an inkjet, the applicability tends to be excellent.

본 발명의 감광성 수지 조성물 내에, 필요한 경우, 충전재, 기타 고분자 화합물, 계면활성제, 정밀 부착 (close adherence) 촉진제, 항산화제, 자외선 흡수 재, 응집제, 사슬 이동제 등과 같은 첨가제 (F) 가 또한 함께 이용될 수 있다.In the photosensitive resin composition of the present invention, additives (F) such as fillers, other high molecular compounds, surfactants, close adherence promoters, antioxidants, ultraviolet absorbents, flocculants, chain transfer agents and the like may also be used if necessary. Can be.

충전재의 예로서 유리, 실리카, 알루미나 등이 있다.Examples of the filler include glass, silica, alumina and the like.

기타 고분자 화합물의 예로는 말레이미드 수지 등과 같은 경화 수지 (curing resin), 폴리비닐 알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌 글리콜 모노알킬 에테르, 폴리플루오로알킬 아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등과 같은 열가소성 수지를 들 수 있다.Examples of other high molecular compounds include curing resins such as maleimide resins, polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ethers, polyfluoroalkyl acrylates, polyesters, polyurethanes, and the like. have.

계면활성제로는, 시판되는 계면활성제가 이용될 수 있으며, 이의 예로서,실리콘계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양쪽성 계면활성제 등이 포함되고, 이들은 단독 또는 둘 이상의 조합으로 이용될 수 있다. 계면활성제의 예로는 폴리옥시에틸렌 알킬 에테르, 폴리옥시에틸렌 알킬 페닐 에테르, 폴리에틸렌 글리콜 디에스테르, 소르비탄 지방산 에스테르, 지방산-개질 폴리에스테르, 3차 아민-개질 폴리우레탄, 폴리에틸렌이민, 또한 추가로, 상품명: KP (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 사제), Polyflow (Kyoei Kagaku K.K. 사제), Eftop (Tohkem Products Co. 사제), Megafack (Dainippon Inc & Chemicals Inc. 사제), Florad (Sumitomo 3M 사제), Asahi guard, Surfron (Asahi Glass Co., Ltd. 사제), SOLSPERSE (Zeneca 사제), EFKA (EFKA CHEMICALS 사제), PB 821 (Ajinomoto Co., Ltd. 사제) 등이 포함된다.As the surfactant, commercially available surfactants can be used, and examples thereof include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic-based, anionic, nonionic, amphoteric surfactants, and the like, which are single or two or more. It can be used in combination. Examples of surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, polyethyleneimines, and further, : KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoi Kagaku KK), Eftop (manufactured by Tohkem Products Co.), Megafack (manufactured by Dainippon Inc & Chemicals Inc.), Florad (manufactured by Sumitomo 3M), Asahi guard, Surfron (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), SOLSPERSE (manufactured by Zenca), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB 821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.), and the like.

정밀 부착 촉진제의 구체적 예로는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시) 실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에 톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실) 에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등이 포함된다.Specific examples of the precision adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N -(2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercapto Propyltrimethoxysilane and the like.

항산화제의 구체적 예로는 2,2'-티오비스(4-메틸-6-tert-부틸페놀), 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 등이 포함된다.Specific examples of the antioxidant include 2,2'-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and the like.

자외선 흡수제의 구체적 예로는 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등이 포함된다.Specific examples of ultraviolet absorbers include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone and the like.

응집제의 구체적 예로는 나트륨 폴리아크릴레이트 등이 포함된다.Specific examples of flocculants include sodium polyacrylate and the like.

사슬 이동제의 구체적 예로는 도데실메르캅탄, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 등이 포함된다.Specific examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene and the like.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 특허 문헌 1 에 기술된 수지 성분 (불포화 카르복실산 및/또는 불포화 무수 카르복실산 (al), 에폭시기 함유 불포화기 (a2), 및 상기 (al) 및 (a2) 를 제외한 올레핀류 불포화 화합물 (a3) 으로부터 유래된 구성 단위를 갖는 공중합체) 를 함유하지 않아서, 바람직하게는 저장 전 점도를 기준으로한 저장 후 점도의 변화율이 감소된다.The photosensitive resin composition of this invention uses the resin component (unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated anhydride carboxylic acid (al), epoxy group containing unsaturated group (a2), and said (al) and (a2) which were described in patent document 1). Copolymer) having a structural unit derived from the olefin unsaturated compound (a3) except for the above, and preferably, the rate of change of the viscosity after storage based on the viscosity before storage is reduced.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 투명 코팅 필름의 형성에 이용될 경우 안료 등과 같은 착색제를 함유하지 않는 것이 바람직하다.It is preferable that the photosensitive resin composition of this invention does not contain coloring agents, such as a pigment, when used for formation of a transparent coating film.

감광성 수지 조성물은, 예를 들어, 기재에 적용될 수 있고, 광 경화되고, 현상되어, 하기 기술된 바와 같이, 패턴을 형성한다. 먼저, 이 조성물이 유리 등 과 같은 기판, 또는 사전 형성된 감광성 수지 조성물의 고체 성분으로 이루어진 층과 같은 기재 상에 적용된다. 적용은 스핀 코터, 슬릿 코터, 커튼 플로우 코터, 바 코터 (bar coater) 등과 같은 알려진 장치를 이용하여 수행되어, 감광성 수지 조성물의 층을 형성한다.The photosensitive resin composition can be applied, for example, to a substrate, photocured and developed to form a pattern, as described below. First, this composition is applied on a substrate, such as glass, or on a substrate, such as a layer consisting of a solid component of a preformed photosensitive resin composition. Application is carried out using known devices such as spin coaters, slit coaters, curtain flow coaters, bar coaters and the like to form a layer of photosensitive resin composition.

상기 적용에 의해 형성된 감광성 수지 조성물의 층은 예비-베이킹되어 용매 등과 같은 휘발성 성분이 제거되고, 평탄한 코팅 필름을 제공한다. 이 코팅 필름의 두께는 통상 약 1 내지 6 ㎛ 이다. 이와 같이 수득된 코팅 필름에 의도한 패턴 형성을 위한 마스크를 통해 자외선이 조사되고 (패터닝 노광), 이 과정에서, 마이크로 정렬기 (micro aligner), 노광기 (stepper) 등과 같은 장치를 이용하여 노광될 전 면적이 평행 빔으로 균일하게 조사되도록 하고, 마스크의 위치 및 기재의 위치가 정확히 조정되도록 하는 것이 바람직하다.The layer of photosensitive resin composition formed by the application is pre-baked to remove volatile components such as solvents and the like, to provide a flat coating film. The thickness of this coating film is about 1-6 micrometers normally. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a mask for intended pattern formation (patterned exposure), and in this process, before exposure using a device such as a micro aligner, a stepper, or the like. It is desirable to allow the area to be irradiated uniformly with parallel beams and to precisely adjust the position of the mask and the position of the substrate.

또한, 이후, 노광 완료 후의 코팅 필름이 알칼리 수용액에 접촉되어 비노광부가 용해되고 현상이 이루어짐으로써 의도한 패턴 형태가 수득된다. 현상법은 퍼들법 (puddle method), 침지법 (dipping method), 분무법 (spray method) 등 중 임의의 방법일 수 있다. 또한, 기재는 현상 중 임의의 각도로 기울어져 있을 수 있다. 현상 후, 물을 이용한 세정이 수행되고, 또한 필요한 경우, 150 내지 230 ℃ 에서 10 내지 60 분 동안의 포스트 베이킹이 또한 수행될 수 있다. 포스트 베이킹에 의해, 경화 반응이 추가로 진행되고, 디스플레이를 만들 때의 신뢰도가 부여될 수 있다. Further, after that, the coating film after completion of exposure is brought into contact with the aqueous alkali solution so that the non-exposed portion is dissolved and development is performed, thereby obtaining the intended pattern form. The developing method may be any of a puddle method, a dipping method, a spray method, and the like. In addition, the substrate may be inclined at any angle during development. After development, washing with water is performed, and if necessary, post-baking for 10 to 60 minutes at 150 to 230 ° C. can also be performed. By post-baking, the curing reaction proceeds further, and reliability in making a display can be given.

패터닝 노광 이후 현상에 이용되는 현상제는 통상 알카리 화합물 및 계면활 성제를 함유하는 수용액이다.The developer used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkali compound and a surfactant.

알칼리 화합물은 무기 및 유기 알칼리 화합물 중 임의의 것일 수 있다. 무기 알칼리 화합물의 구체적 예로는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 인산수소이나트륨, 인산이수소나트륨, 인산수소이암모늄, 인산이수소암모늄, 인산이수소칼륨, 규산나트륨, 규산칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 붕산나트륨, 붕산칼륨, 암모니아 등이 포함된다.The alkali compound can be any of inorganic and organic alkali compounds. Specific examples of the inorganic alkali compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate , Potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like.

유기 알칼리 화합물의 구체적 예로는 테트라메틸 암모늄 히드록사이드, 2-히드록시에틸트리메틸암모늄 히드록사이드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등이 포함된다. 무기 및 유기 알칼리 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다. 알칼리 현상제 중 알칼리 화합물의 농도는 바람직하게는 0.01 내지 10 중량%, 보다 바람직하게는 0.03 내지 5 중량% 이다.Specific examples of the organic alkali compound include tetramethyl ammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropyl Amines, diisopropylamine, ethanolamine and the like. Inorganic and organic alkali compounds may be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkali compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.03 to 5% by weight.

알칼리 현상제 중 계면활성제는 비이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제 및 양이온성 계면활성제 중 임의의 것일 수 있다.The surfactant in the alkaline developer may be any of nonionic surfactants, anionic surfactants and cationic surfactants.

비이온성 계면활성제의 구체적 예로는 폴리옥시에틸렌 알킬 에테르, 폴리옥시에틸렌 아릴 에테르, 폴리옥시에틸렌 알킬 아릴 에테르 및 기타 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌 블록 공중합체, 소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 소르비톨 지방산 에스테르, 글리세린 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬 아민 등이 포함된다.Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers and other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene Sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitol fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene fatty acid esters, polyoxyethylenealkyl amines, and the like.

비이온성 계면활성제의 구체적 예로는 나트륨 라우릴 알코올 술페이트 및 나트륨 올레일 알코올 술페이트와 같은 고급 알코올 술페이트, 나트륨 라우릴 술페이트 및 암모늄 라우릴 술페이트와 같은 알킬 술페이트, 나트륨 도데실벤젠술포네이트 및 나트륨 도데실나프탈렌술포네이트와 같은 알킬 아릴 술포네이트 등이 포함된다.Specific examples of nonionic surfactants include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfo Alkyl aryl sulfonates such as acetates and sodium dodecylnaphthalenesulfonate, and the like.

양이온성 계면활성제의 구체적 예로는 스테아릴아민 히드로클로라이드 및 라우릴트리메틸 암모늄 클로라이드와 같은 아민염 및 4 차 암모늄염 등이 포함된다.Specific examples of cationic surfactants include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethyl ammonium chloride, quaternary ammonium salts, and the like.

이러한 계면활성제 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용될 수 있다.These surfactants may be used alone or in combination of two or more.

알칼리 현상제 중 계면활성제의 농도는 바람직하게는 0.01 내지 10 중량%, 보다 바람직하게는 0.05 내지 8 중량%, 더 나아가 바람직하게는 0.1 내지 5 중량% 이다.The concentration of the surfactant in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.05 to 8% by weight, still more preferably 0.1 to 5% by weight.

광스페이서 패턴은, 상기 기술된 바와 같이, 감광성 수지 조성물의 적용, 건조, 결과물인 건조된 코팅 필름의 패터닝 노광 및 현상을 통해 기판 또는 컬러 필터 기판 상에 형성될 수 있다.The optical spacer pattern may be formed on the substrate or the color filter substrate through the application, drying and patterning exposure and development of the resulting dried coating film, as described above.

본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조한 컬러 필터는 필름 두께가 평면 상에서 근소한 차이를 보이며, 예를 들어, 필름 두께가 1 내지 6 ㎛ 일 때, 평면 상에서 필름 두께의 차이가 0.15 ㎛ 이하, 더 나아가, 0.05 ㎛ 이하로 제어될 수 있다. 그러므로, 이와 같이 수득된 컬러 필터는 평탄도에서 우수하므로, 이를 컬러 액정 디스플레이에 사용함으로써, 우수한 품질의 액정 디스플레이를 고수 율로 제조할 수 있다.Color filters produced using the photosensitive resin composition of the present invention show a slight difference in film thickness on a plane, for example, when the film thickness is 1 to 6 μm, the difference in film thickness on the plane is 0.15 μm or less, more Furthermore, it can be controlled to 0.05 μm or less. Therefore, the color filter thus obtained is excellent in flatness, and by using it for a color liquid crystal display, a liquid crystal display of excellent quality can be produced in high yield.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 우수한 저장 안정성을 보이며, 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 광스페이서는 우수한 내열성을 갖는다. 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성한 광스페이서는 또한 내용매성 및 표면 평탄도에서 우수하고, 또한 우수한 복원률을 갖는다.The photosensitive resin composition of this invention shows the outstanding storage stability, and the optical spacer formed using the photosensitive resin composition has the outstanding heat resistance. The optical spacer formed using the said photosensitive resin composition is also excellent in solvent resistance and surface flatness, and has the outstanding recovery rate.

실시예Example

하기 실시예에서 본 발명이 보다 상세히 기술할 것이나, 본 발명이 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 실시예 중 수치는 다른 언급이 없는 한 중량에 대한 것이다.In the following Examples, the present invention will be described in more detail, but the present invention is not limited to these Examples. Numerical values in the examples are by weight unless otherwise indicated.

합성예 1Synthesis Example 1

실시예 1, 비교예 1 및 비교예 2 에서 사용되는 바인더 수지 Aa 의 구성단위는 하기 화학식 (X) 로 나타낸다.The structural unit of binder resin Aa used in Example 1, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 is represented by the following general formula (X).

Figure 112006010734612-PAT00009
Figure 112006010734612-PAT00009

구성 단위의 의미Meaning of constituent units

a: 공중합체 1 중 (A1) 으로부터 유래된 구성 단위에 대응.a: Corresponding to the structural unit derived from (A1) in the copolymer 1.

b: 공중합체 1 중 (A2) 로부터 유래된 구성 단위에 대응.b: It corresponds to the structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

c: 공중합체 1 중 (A4) 로부터 유래된 구성 단위와 (A3) 과의 반응에 의해 유래된 구성 단위에 대응.c: It corresponds to the structural unit derived by reaction of the structural unit derived from (A4), and (A3) in the copolymer 1.

d: 공중합체 2 중 (A3) 에 기인한 부분과 (A5) 와의 반응에 의해 유래된 구성 단위에 대응.d: Corresponds to the structural unit derived by the reaction between the moiety attributed to (A3) and (A5) in the copolymer 2.

수지 Aa 에서 구성 단위 a 내지 d 의 몰비, R2, 수득된 수지 Aa 의 폴리스티렌 검량선에 근거한 중량평균분자량 및 이의 분자량 분포가 표 1 에 도시되었다.The molar ratio of the structural units a to d in the resin Aa, R 2 , the weight average molecular weight based on the polystyrene calibration curve of the obtained resin Aa and the molecular weight distribution thereof are shown in Table 1.

Figure 112006010734612-PAT00010
Figure 112006010734612-PAT00010

상기 바인더 중합체의 수평균 분자량 (Mn) 및 폴리스티렌 검량선에 근거한 중량평균 분자량 (Mw) 을 GPC 방법을 이용하여 하기 조건 하에서 측정하였다.The number average molecular weight (Mn) of the binder polymer and the weight average molecular weight (Mw) based on the polystyrene calibration curve were measured under the following conditions using the GPC method.

장치; HLC-8120 GPC (Tosoh Corp. 사제)Device; HLC-8120 GPC (manufactured by Tosoh Corp.)

컬럼; TSK-GELG 4000 HXL (상품명) + TSK-GELG 2000 HXL (상품명) (연속 연결)column; TSK-GELG 4000 HXL (brand name) + TSK-GELG 2000 HXL (brand name) (continuous connection)

컬럼 온도; 40 ℃Column temperature; 40 ℃

용매; THF (테트라히드로푸란)menstruum; THF (tetrahydrofuran)

유속; 1.0 ml/mmFlow rate; 1.0 ml / mm

주입량; 50 ㎕Injection amount; 50 μl

검출기; RIDetectors; RI

측정 샘플 농도; 0.6 중량% (용매; THF)Measurement sample concentration; 0.6 wt% (solvent; THF)

검량을 위한 기준 물질; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-l, α-2500, α-500 (이상 상품명) (Tosoh Corp. 사제)Reference material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, α-2500, α-500 (above brand name) (product made by Tosoh Corp.)

상기 측정 방법에서 수득된 수평균 분자량에 대한 폴리스티렌 검량 기준에 근거한 중량평균분자량의 비율이 분자량 분포 (Mw/Mn) 였다.The ratio of the weight average molecular weight based on the polystyrene calibration criteria to the number average molecular weight obtained in the above measuring method was the molecular weight distribution (Mw / Mn).

합성예 2Synthesis Example 2

JP-A 제 11-133600 호의 합성예 1 과 동일한 방법으로, 냉각관 및 교반기가 구비된 플라스크에 7 중량부의 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 및 200 중량부의 디에틸렌 글리콜 메틸 에테르를 공급하였다. 이어서, 30 중량부의 스티렌, 20 중량부의 메타크릴산 및 50 중량부의 글리시딜 메타크릴레이트를 공급하고, 질소로 퍼징 (purging) 한 후, 교반을 서서히 개시하였다. 용액을 70 ℃ 로 승온시키고 , 이 온도를 5 시간 동안 유지시켜, 수지 Ab 를 함유하는 중합체 용액을수득하였다. 생성된 수지 Ab 의 폴리스티렌 검량 기준에 근거한 중량 평균 분자량은 24,000 이었다.In the same manner as in Synthesis Example 1 of JP-A 11-133600, 7 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of di Ethylene glycol methyl ether was fed. Subsequently, 30 parts by weight of styrene, 20 parts by weight of methacrylic acid and 50 parts by weight of glycidyl methacrylate were fed, purged with nitrogen, and then stirring was started slowly. The solution was raised to 70 ° C. and maintained at this temperature for 5 hours to obtain a polymer solution containing the resin Ab. The weight average molecular weight based on the polystyrene calibration criteria of the produced resin Ab was 24,000.

실시예 1Example 1

[감광성 수지 조성물 1 의 제조] [Production of Photosensitive Resin Composition 1]

50 부 (고체로 환산) 의 상기 수득된 수지 Aa, 50 부의 디펜타에리트리톨 헥사크릴레이트 (KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co., Ltd. 사제), 3 부의 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논 (Irgacure 369 (상품명); Ciba Specialty Chemicals 사제), 1 부의 4,4'-(N,N-디에틸아미노)-벤조페논 (EAB-F (상품명); Hodogaya Chemical Co., Ltd. 사제) 및 5 부의 Techmore VG-3101L (상품명) (Mitsui Chemical Co., Ltd. 사제) (2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-([2,3-에폭시프로폭시]페닐)]에틸]페닐]프로판) 을 173 부의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트 및 24 부의 3-에톡시에틸 프로피오네이트에 용해시켜, 감광성 수지 조성물 1 을 수득하였다.50 parts (in terms of solids) of the obtained resin Aa, 50 parts of dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 3 parts of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone (Irgacure 369 (trade name); manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 1 part 4,4 '-(N, N-diethylamino) -benzophenone (EAB-F (trade name) Manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and 5 parts of Techmore VG-3101L (trade name) (manufactured by Mitsui Chemical Co., Ltd.) (2- [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -2- [4- [1,1-bis [4-([2,3-epoxypropoxy] phenyl)] ethyl] phenyl] propane) was added to 173 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate and 24 parts of 3-ethoxyethyl propio It melt | dissolved in the nate and obtained the photosensitive resin composition 1.

[광스페이서 및 경화 수지 필름의 형성][Formation of optical spacer and cured resin film]

2 평방 인치 유리 기판 (#1737; Corning Corp. 사제) 를 중성 세제, 물 및 알콜로 연속적으로 세정한 후, 건조시켰다. 이 유리 기판 상에, 감광성 수지 조성물 1 을 스핀 코터를 이용하여 적용하고, 적용 후, 유리 기판을 열판 (hot plate) 에 흔들림 없이 두고, 100 ℃ 에서 3 분 동안 예비 베이킹하였다. 냉각 후, 상기 감광성 수지 조성물이 적용된 기판 및 석영 유리 광마스크 (photo-mask; 20 평방 ㎛ 로 형성된 투명부가 서로 인접한 스퀘어 간 간격이 100 ㎛ 가 되도록 배치됨) 을 50 ㎛ 의 간격으로 두고, 공기 대기 하에서 초고압 수은 램프 (USH-250D; Ushio Inc. 사제) 를 이용하여, 100 mJ/cm2 의 노광에서 조사하였다. 이후, 상기 감광성 수지 조성물이 적용된 기판을 23 ℃ 의 현상제 (0.12 중량% 의 비이온성 계면활성제 및 0.05 중량% 의 수산화칼륨을 함유하는 수용액) 에 80 초 동안 침지시켜 현상하고, 물로 세정한 후, 220 ℃ 에서 30 분 동안 포스트 베이킹하여 광스페이서를 수득하였다. 결과물인 광스페이서의 두께를 필름 두께 미터 (Dektak3; ULVAC Inc. 사제) 를 이용하여 측정하였고, 3.0 ㎛ 의 수치를 얻었다.Two square inch glass substrates (# 1737; manufactured by Corning Corp.) were washed successively with neutral detergent, water and alcohol, and then dried. On this glass substrate, the photosensitive resin composition 1 was applied using the spin coater, and after application, the glass substrate was left on a hot plate without shaking and prebaked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling, the substrate to which the photosensitive resin composition was applied and the quartz glass photomask (the transparent portions formed by 20 square micrometers were arranged so that the distance between the adjacent squares were 100 micrometers) were spaced at an interval of 50 micrometers under an air atmosphere. Irradiation was carried out at an exposure of 100 mJ / cm 2 using an ultrahigh pressure mercury lamp (USH-250D; manufactured by Ushio Inc.). Thereafter, the substrate to which the photosensitive resin composition was applied was developed by immersing in a developer at 23 ° C. (an aqueous solution containing 0.12% by weight of nonionic surfactant and 0.05% by weight of potassium hydroxide) for 80 seconds, and washed with water. Post-baking at 220 ° C. for 30 minutes gave an optical spacer. The thickness of the resultant optical spacer was measured using a film thickness meter (Dektak3; manufactured by ULVAC Inc.) to obtain a numerical value of 3.0 mu m.

이와 별도로, 노광에서 광마스크를 사용하지 않는 것을 제외하고는 상기된 바와 같은 동일한 방법으로 경화 수지 필름을 수득하였다.Separately, a cured resin film was obtained in the same manner as described above except that no photomask was used in the exposure.

[감광성 수지 조성물의 저장 안정성][Storage Stability of Photosensitive Resin Composition]

제조 직후 감광성 수지 조성물 1 의 점도를 점도계 (E 형 점도계; Toki Sangyo K.K. 사제) 를 이용하여 측정하였다. 동일한 감광성 수지 조성물 1 을 23 ℃ 에서 2 주 동안 저장하였고, 저장 후 점도를 동일한 방법으로 측정하였다. 저장 후 점도를 저장 전 점도로 나누어 점도 변화율을 계산하였다.Immediately after preparation, the viscosity of the photosensitive resin composition 1 was measured using a viscometer (E-type viscometer; manufactured by Toki Sangyo K.K.). The same photosensitive resin composition 1 was stored at 23 ° C. for 2 weeks, and after storage the viscosity was measured in the same manner. The viscosity change rate was calculated by dividing the viscosity after storage by the viscosity before storage.

점도 변화율 (%) = (저장 후 점도 / 저장 전 점도) × lOOViscosity change rate (%) = (viscosity after storage / viscosity before storage) × lOO

결과를 표 3 에 도시하였다. 점도 변화율이 100 % 에 근접할 경우, 예를 들어, 100 내지 103 % 의 범위 내에 있는 경우, 결과가 우수하다.The results are shown in Table 3. When the viscosity change rate is close to 100%, for example, in the range of 100 to 103%, the result is excellent.

[내열성][Heat resistance]

생성된 경화 수지 필름을 240 ℃ 의 오븐에 1 시간 동안 둔 후, 3.0 ㎛ 의 필름 두께당 침투비 (측정 파장: 400 nm) 를 측정하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다. 침투비가 높을수록 내열성이 우수하다.The resulting cured resin film was placed in an oven at 240 ° C. for 1 hour, and then a penetration ratio (measured wavelength: 400 nm) per film thickness of 3.0 μm was measured. The results are shown in Table 3. The higher the penetration ratio, the better the heat resistance.

[NMP 내성][NMP tolerance]

NMP 내성; 생성된 경화 수지 필름의 두께를 측정하였다. 경화 수지 필름을 N-메틸피롤리돈 (30 ℃ x 30 분) 중에 침지시키고, 침지 후 필름 두께를 측정하고, 침지 전과 후의 필름 두께로부터 두께 변화율을 계산하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.NMP resistance; The thickness of the resulting cured resin film was measured. The cured resin film was immersed in N-methylpyrrolidone (30 ° C. × 30 min), the film thickness after immersion was measured, and the thickness change rate was calculated from the film thickness before and after immersion. The results are shown in Table 3.

필름 두께 변화율(%) = (침지 후 필름 두께 (㎛) / 침지 전 필름 두께 (㎛) x lOOFilm thickness change rate (%) = (film thickness after immersion (μm) / film thickness before immersion (μm) x lOO

필름 두께 변화율이 100 % 에 근접할 경우, 결과가 우수하다.When the film thickness change rate approaches 100%, the result is excellent.

[표면 평탄도][Surface flatness]

기판의 표면을 45°의 각도에서 시각적으로 관찰하여, 광택이 확인된 경우는 ○ 로서, 광택이 확인되지 않거나 백색 혼탁 (불투명) 이 확인되는 경우는 X 로서 평가하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.The surface of the board | substrate was visually observed at the angle of 45 degrees, and when glossiness was confirmed, it evaluated as (circle), and when glossiness was not confirmed or white turbidity (opacity) was confirmed as X. The results are shown in Table 3.

[20 ㎛ 패턴 해상도][20 μm pattern resolution]

20 ㎛ 패턴부의 영역을 주사형 전자 현미경 (S-4100, Hitachi, Ltd. 사제) 를 이용하여 관찰하였다.The area | region of a 20 micrometer pattern part was observed using the scanning electron microscope (S-4100, Hitachi, Ltd. make).

패턴이 용해된 경우는 ○ 로서, 패턴이 용해되지 않은 경우는 X 로서 평가하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.When the pattern was dissolved, it was evaluated as ○, and when the pattern was not dissolved, it was evaluated as X. The results are shown in Table 3.

[복원률][Restore rate]

총 변화량 (㎛) 및 탄성 변화량 (㎛) 를 하기 조건 하에서 동적 초미소 경도 시험기 (DUH-W2O1S; Shimadzu Corp. 사제) 를 이용하여 측정하였고, 결과 수치로부터 복원률을 계산하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.The total change amount (µm) and the elastic change amount (µm) were measured using a dynamic ultra-micro hardness tester (DUH-W2O1S; manufactured by Shimadzu Corp.) under the following conditions, and the recovery rate was calculated from the resulting numerical values. The results are shown in Table 3.

시험 모드: 부하-제하 (loading-unloading) 시험Test Mode: Loading-Unloading Test

시험 하중: 5 gf (SI 단위 환산치: 0.049 N/S)Test load: 5 gf (SI unit equivalent: 0.049 N / S)

부하 속도: 0.45 gf/s (SI 단위 환산치: 0.0044 N)Load speed: 0.45 gf / s (SI unit equivalent: 0.0044 N)

유지 시간: 5 초Retention time: 5 seconds

인덴터 (Indenter): 원뿔대 인덴터 (직경: 50 ㎛φ)Indenter: Conical indenter (diameter: 50 ㎛φ)

복원률 (%) = (탄성 변화량 (㎛) / 총 변화량 (㎛)) × lOORecovery rate (%) = (elastic change amount (μm) / total change amount (μm)) × lOO

비교예 1Comparative Example 1

특허 문헌 2 에 기술된 발명에 대응하는 감광성 수지 조성물 2 를 표 2 에 도시된 조성으로 수득하였고, 실시예 1 에서와 동일한 방법으로 평가하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.The photosensitive resin composition 2 corresponding to the invention described in Patent Document 2 was obtained with the composition shown in Table 2 and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 3.

비교예 2Comparative Example 2

특허 문헌 2 에 기술된 발명에 대응하는 감광성 수지 조성물 3 을 표 2 에 도시된 조성으로 수득하였고, 실시예 1 에서와 동일한 방법으로 평가하였다. 결과를 표 3 에 도시하였다.The photosensitive resin composition 3 corresponding to the invention described in Patent Document 2 was obtained with the composition shown in Table 2 and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 3.

비교예 3Comparative Example 3

특허 문헌 1 에 기술된 발명에 대응하는 감광성 수지 조성물 4 를 표 2 에 도시된 조성으로 수득하였다. 실시예 1 에서와 동일한 방법으로 저장 안정성을 측정했을 때, 점도가 증가하였다. 이로 인하여, 그 이후의 평가가 중단되었다.The photosensitive resin composition 4 corresponding to the invention described in Patent Document 1 was obtained with the composition shown in Table 2. When the storage stability was measured in the same manner as in Example 1, the viscosity increased. As a result, subsequent evaluations were discontinued.

실시예 및 비교예에서의 감광성 수지 조성물의 화합물 조성이 표 2 에 도시되었다.The compound composition of the photosensitive resin composition in an Example and a comparative example is shown in Table 2.

Figure 112006010734612-PAT00011
Figure 112006010734612-PAT00011

*1: o-크레솔 노볼락형 에폭시 수지 에폭시 당량:195 g/eq* 1: o-cresol novolac type epoxy resin epoxy equivalent: 195 g / eq

*2: 비스페놀-A 형 에폭시 수지 에폭시 당량:189 g/eq* 2: Bisphenol-A type epoxy resin epoxy equivalent: 189 g / eq

*3: 에폭시 당량: 210 g/eq* 3: epoxy equivalent: 210 g / eq

생성된 경화 수지 필름 및 경화 수지 패턴을 하기 항목에서 측정하였고, 결과를 표 3 에 도시하였다.The resulting cured resin film and cured resin pattern were measured in the following items, and the results are shown in Table 3.

Figure 112006010734612-PAT00012
Figure 112006010734612-PAT00012

본 발명에 따른 화학식 (I) 의 화합물을 함유하는 실시예 1 에서의 감광성 수지 조성물은 우수한 저장성을 갖고, 상기 조성물을 이용하여 형성한 광스페이서는 내열성, NMP 내성, 표면 평탄도 및 복원률이 우수하나, 화학식 (I) 의 화합물을 함유하지 않는, 비교예 1 및 2 에서의 감광성 수지 조성물은 내열성 및 NMP 내성이 불량한 것을 알 수 있다.The photosensitive resin composition in Example 1 containing the compound of formula (I) according to the present invention has excellent storage properties, and the optical spacer formed using the composition has excellent heat resistance, NMP resistance, surface flatness and recovery rate. It can be seen that the photosensitive resin compositions in Comparative Examples 1 and 2, which do not contain a compound of the formula (I), are poor in heat resistance and NMP resistance.

산업적 응용성Industrial applicability

본 발명의 감광성 수지 조성물은 디스플레이에서의 광스페이서의 형성에 이용될 수 있고, 덧붙여, 절연막 (접촉홀 형성), 오버코트 (평탄막), 액정 배향 제어용 돌출 물질 및 추가로 시일제 (seal agent) 의 형성에도 이용될 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention can be used for the formation of an optical spacer in a display, and in addition, an insulating film (contact hole formation), an overcoat (flat film), a protruding material for controlling the liquid crystal alignment, and further a sealing agent It can also be used for formation.

Claims (5)

(A) 바인더 수지, (B) 광중합성 (photo-polymerizable) 화합물, (C) 광중합 개시제, (D) 용매 및 하기 화학식 (I) 의 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물:A photosensitive resin composition containing (A) a binder resin, (B) a photo-polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a solvent and a compound of formula (I):
Figure 112006010734612-PAT00013
Figure 112006010734612-PAT00013
(상기 화학식 (I) 중, X, Y 및 Z 는 각각 독립적으로 단일 결합, 하기 화학식 (I-1) 의 기 또는 하기 화학식 (I-2) 의 기를 나타내고,(In said Formula (I), X, Y, and Z respectively independently represent a single bond, group of following formula (I-1), or group of following formula (I-2),
Figure 112006010734612-PAT00014
Figure 112006010734612-PAT00014
R1 내지 R3 은 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 6 의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 6 의 알콕실기를 나타내고, 동일한 벤젠 고리 상의 R1, R2 및 R3 은 동일 또는 상이할 수 있고,R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 1 , R 2 and R 3 on the same benzene ring may be the same or different. There is, R4 내지 R6 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4 의 알킬기를 나타냄).R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms).
제 1 항에 있어서, 상기 화학식 (I) 의 화합물의 함량이, 상기 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 화학식 (I) 의 화합물의 총 량을 기준으로 0.1 내지 20 중량% 인 감광성 수지 조성물.A compound according to claim 1, wherein the content of the compound of formula (I) is 0.1 based on the total amount of the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C) and the compound of formula (I). To 20% by weight of the photosensitive resin composition. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 광중합 개시제 (C) 가 트리아진 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 옥심 화합물 및 아실포스핀 옥사이드 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 whose photoinitiator (C) is one or more compound chosen from the group which consists of a triazine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, an oxime compound, and an acylphosphine oxide compound. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 광스페이서 (photo-spacer).A photo-spacer formed using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3. 제 4 항에 따른 광스페이서가 구비된 디스플레이.Display provided with the optical spacer according to claim 4.
KR1020060014119A 2005-02-17 2006-02-14 Photosensitive reisin composition KR20060092092A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005040279 2005-02-17
JPJP-P-2005-00040279 2005-02-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060092092A true KR20060092092A (en) 2006-08-22

Family

ID=36923308

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060014119A KR20060092092A (en) 2005-02-17 2006-02-14 Photosensitive reisin composition

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR20060092092A (en)
CN (1) CN1821873B (en)
TW (1) TWI378322B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973644B1 (en) * 2007-07-18 2010-08-02 동우 화인켐 주식회사 A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
KR20140056955A (en) * 2012-11-02 2014-05-12 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Photosensitive resin composition and spacer prepared therefrom

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101611836B1 (en) * 2015-01-13 2016-04-12 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin comopsition, photocurable pattern formed from the same and image display comprising the pattern
JP7047559B2 (en) * 2018-04-12 2022-04-05 Jnc株式会社 Thermosetting composition

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040235992A1 (en) * 2001-05-30 2004-11-25 Koji Okada Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist and photosensitive coverlay film produced therefrom

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973644B1 (en) * 2007-07-18 2010-08-02 동우 화인켐 주식회사 A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
KR20140056955A (en) * 2012-11-02 2014-05-12 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Photosensitive resin composition and spacer prepared therefrom

Also Published As

Publication number Publication date
TW200639584A (en) 2006-11-16
CN1821873A (en) 2006-08-23
CN1821873B (en) 2011-09-14
TWI378322B (en) 2012-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5012917B2 (en) Colored photosensitive resin composition
JP5013003B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4998906B2 (en) Colored photosensitive resin composition, color filter produced using the same, and liquid crystal display device
JP2006023716A (en) Photosensitive resin composition
TW201300949A (en) Photosensitive Resin Composition For Forming Spacer, Spacer Manufactured By The Same For Display Device, And Display Device With The Spacer
JP4736836B2 (en) Photosensitive resin composition for forming photo spacer
KR100994605B1 (en) A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
JP2005157311A (en) Colored photosensitive resin composition
JP4501665B2 (en) Photosensitive resin composition
KR20100029479A (en) A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
JP2014005466A (en) Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition containing the same, and color filter using the same
JP2010054912A (en) Color photosensitive resin composition
KR20160111805A (en) Photosensitive resin comopsition, photocurable pattern formed from the same and image display comprising the pattern
KR20060092092A (en) Photosensitive reisin composition
KR101373984B1 (en) Photosensitive resin composition for photo spacer
JP2007293241A (en) Photosensitive resin composition for photo spacer formation
KR101420868B1 (en) A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
KR100946085B1 (en) A colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device having the same
KR20170111912A (en) Colored photosensitive resin composition, color filter and image display device using the same
KR20150133514A (en) Method of forming photo-curable pattern
TWI684828B (en) Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same
KR20080100720A (en) A colored photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal display device having the same
KR20150112390A (en) A color photosensitive resin composition, color filter and display device comprising the same
KR20150022172A (en) A color photosensitive resin composition, color filter and display device comprising the same
KR20090072221A (en) A colored photosensitive resin composition, color filter using the same, and flat panel display device comprising the color filter

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application