KR101373984B1 - Photosensitive resin composition for photo spacer - Google Patents

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Abstract

바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 그 광중합성 화합물 (B) 가 식 (I) 로 표시되는 화합물을 함유하고, 식 (I) 로 표시되는 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이, 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계량에 대하여, 질량 분률로, 5 ∼ 60 질량% 인 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물. A photosensitive resin composition containing a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the photopolymerizable compound (B) contains a compound represented by formula (I) , Content of the photopolymerizable compound (B) represented by Formula (I) is 5-60 mass% in mass fraction with respect to the total amount of binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), and a photoinitiator (C). Photosensitive resin composition for phosphorus photo spacers.

Figure 112006053216120-pat00001
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[식 (I) 중, R1 ∼ R6 은, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 하기 식 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기를 표시하고, R1 ∼ R6 의 적어도 4 개의 기는 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기이고, R1 ∼ R6 의 적어도 1 개의 기는 (I-2) 또는 (I-3) 이다.][In formula (I), R <1> -R <6> respectively independently represents a hydrogen atom or any group of following formula (I-1)-(I-3), and is at least 4 of R <1> -R <6> . Groups are any of groups (I-1) to (I-3), and at least one group of R 1 to R 6 is (I-2) or (I-3).]

Figure 112006053216120-pat00002
Figure 112006053216120-pat00002

감광성 수지, 포스 스페이서 Photosensitive Resin, Force spacer

Description

포토 스페이서용 감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR PHOTO SPACER}Photosensitive resin composition for photo spacers {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR PHOTO SPACER}

본 발명은, 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition for photo spacers.

액정 표시 장치나 터치 패널 등, 표시 장치를 구성하는 컬러 필터와 어레이 기판 사이에는, 양 기판의 간격을 유지하기 위하여 스페이서가 형성되어 있다. 이 스페이서로는, 종전의 구형 입자를 산포하는 방법 대신에, 감광성 수지 조성물을 사용하여 스페이서를 형성하는 포토 스페이서법이 제안되고 있다.Spacers are formed between the color filters constituting the display device such as a liquid crystal display device and a touch panel and the array substrate so as to maintain a gap between the two substrates. As a spacer, the photo-spacer method which forms a spacer using the photosensitive resin composition is proposed instead of the method of spreading | distributing a conventional spherical particle.

이 포토 스페이서법에 사용되는 감광성 수지 조성물로는, 바인더 수지로서 메타크릴산/알릴메타크릴레이트 공중합체를, 광중합성 화합물로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트를 함유하여 이루어지는 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물이 제안되고 있다 (일본 공개특허공보 2003-302639호 참조). As the photosensitive resin composition used for this photo spacer method, the photosensitive resin composition for photo spacers which contains methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer as binder resin, and dipentaerythritol hexaacrylate as a photopolymerizable compound is It is proposed (refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-302639).

그러나, 일본 공개특허공보 2003-302639호에 개시된 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물을 사용하여 포토 스페이서를 형성하면, 소성(塑性) 변형량이 충분하지 않다는 문제가 있었다. However, when a photo spacer is formed using the photosensitive resin composition for photo spacers disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-302639, there exists a problem that the amount of plastic deformations is not enough.

본 발명자들은, 상기한 바와 같은 문제가 적은 포토 스페이서를 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 발견하기 위하여 검토한 결과, 어떤 종류의 광중합성 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물이, 소성 변형량이 큰 포토 스페이서를 부여하는 것을 발견하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors examined in order to discover the photosensitive resin composition which can form the photo spacer with few problems as mentioned above, and the photosensitive resin composition containing some kind of photopolymerizable compound produces the photo spacer with a large plastic deformation amount. It was found to give.

발명의 개시DISCLOSURE OF INVENTION

본 발명의 목적은, 소성 변형량이 큰 포토 스페이서를 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것에 있다. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a photo spacer having a large plastic deformation amount.

즉, 본 발명은, 이하의 [1] ∼ [6] 을 제공하는 것이다.That is, this invention provides the following [1]-[6].

[1]. 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 그 광중합성 화합물 (B) 가 식 (I) 로 표시되는 화합물을 함유하고, 식 (I) 로 표시되는 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계량에 대하여, 질량 분률로, 5 ∼ 60 질량% 인 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물. [One]. A photosensitive resin composition containing a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the photopolymerizable compound (B) contains a compound represented by formula (I) The content of the photopolymerizable compound (B) represented by the formula (I) is 5 to 60 mass%, based on the mass fraction, with respect to the total amount of the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B) and the photopolymerization initiator (C). Photosensitive resin composition for photo spacers.

Figure 112006053216120-pat00003
Figure 112006053216120-pat00003

[식 (I) 중, R1 ∼ R6 은, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 하기 식 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기를 표시하고, R1 ∼ R6 의 적어도 4 개의 기는 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기이고, R1 ∼ R6 의 적어도 1 개의 기는 (I-2) 또는 (I-3) 이다.][In formula (I), R <1> -R <6> respectively independently represents a hydrogen atom or any group of following formula (I-1)-(I-3), and is at least 4 of R <1> -R <6> . Groups are any of groups (I-1) to (I-3), and at least one group of R 1 to R 6 is (I-2) or (I-3).]

Figure 112006053216120-pat00004
Figure 112006053216120-pat00004

[2]. 식 (I) 로 표시되는 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계량에 대하여, 질량 분률로, 20 ∼ 40 질량% 인 [1] 기재의 조성물. [2]. Content of the photopolymerizable compound (B) represented by Formula (I) is 20-40 mass% in mass fraction with respect to the total amount of binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), and a photoinitiator (C). 1] The composition of the base material.

[3]. 바인더 수지 (A) 가 화합물 (A2) ∼ (A5) 중 어느 것인가 적어도 2 종을 공중합시켜 얻어지는 수지인 [1] 또는 [2] 기재의 조성물.[3]. The composition as described in [1] or [2] whose binder resin (A) is resin obtained by copolymerizing at least 2 types of any of compound (A2)-(A5).

(A2) ; (A4) 와 공중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물(A2); Compound having an unsaturated bond copolymerizable with (A4)

(A3) ; 불포화 결합을 갖는 카르복실산(A3); Carboxylic Acids Having Unsaturated Bonds

(A4) ; 1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in 1 molecule

(A5) ; 산 무수물(A5); Acid anhydride

단, (A2) ∼ (A5) 는, 각각, 서로 동일하지는 않다.However, (A2)-(A5) are not mutually the same, respectively.

[4]. 광중합 개시제 (C) 가 트리아진 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 옥심 화합물 및 아실포스핀옥사이드 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 함유하는 [1] ∼ [3] 중 어느 하나에 기재된 조성물.[4]. Any of [1] to [3], in which the photopolymerization initiator (C) contains at least one compound selected from the group consisting of a triazine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, an oxime compound, and an acylphosphine oxide compound The composition described in one.

[5]. [1] ∼ [4] 중 어느 하나에 기재된 조성물을 사용하여 형성된 포토 스페이서.[5]. The photo spacer formed using the composition in any one of [1]-[4].

[6]. [5] 기재의 포토 스페이서를 함유하는 액정 표시 장치.[6]. [5] A liquid crystal display device containing the photo spacer of the base material.

발명을 실시하기Carrying out the invention 위한 형태 Form for

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C), 필요에 따라, 그 밖의 첨가제 (E) 가, 용제 (D) 에 용해 또는 분산되어 있고, 광중합성 화합물 (B) 이 식 (I) 로 표시되는 화합물이고, 식 (I) 로 표시되는 화합물의 함유량이, 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계량에 대하여, 질량 분률로, 5 ∼ 60 질량% 인 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물이다. In the photosensitive resin composition of this invention, binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photoinitiator (C), and other additives (E) are melt | dissolved or disperse | distributed to the solvent (D) as needed, The photopolymerizable compound (B) is a compound represented by the formula (I), and the content of the compound represented by the formula (I) is based on the total amount of the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B) and the photopolymerization initiator (C). It is a photosensitive resin composition for photo spacers which is 5-60 mass% with respect to mass fraction.

바인더 수지 (A) 는, 알칼리 용해성을 갖는 수지, 또는 알칼리 가용성을 갖고, 또한 광이나 열의 작용에 의한 반응성을 갖는 수지인 것이 바람직하다.It is preferable that binder resin (A) is resin which has alkali solubility, or resin which has alkali solubility and has reactivity by the action of light or heat.

그러한 바인더 수지 (A) 로는, 이하의 화합물 (A2) ∼ (A5) 중 어느 것인가 적어도 2 종 ((A2), (A3), (A4), (A5) 각각을 1 종으로 간주하고, 예를 들어, (A2) 에 속하는 2 개의 상이한 화합물은 1 종으로 한다) 을 공중합시켜 얻어지는 수지 등을 들 수 있다. As such a binder resin (A), at least 2 types ((A2), (A3), (A4), and (A5) each of any of the following compounds (A2)-(A5) are considered 1 type, for example, For example, resin obtained by copolymerizing two different compounds which belong to (A2) shall be 1 type), etc. are mentioned.

(A2) ; (A4) 와 공중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물(A2); Compound having an unsaturated bond copolymerizable with (A4)

(A3) ; 불포화 결합을 갖는 카르복실산(A3); Carboxylic Acids Having Unsaturated Bonds

(A4) ; 1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in 1 molecule

(A5) ; 산 무수물(A5); Acid anhydride

단, (A2) ∼ (A5) 는, 각각, 서로 동일하지는 않다. However, (A2)-(A5) are not mutually the same, respectively.

(A4) 와 공중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물 (A2) 로는, 구체적으로는, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트 및 아미노에틸(메트)아크릴레이트 등의 무치환 또는 치환의 불포화 카르복실산알킬에스테르 ;As a compound (A2) which has an unsaturated bond copolymerizable with (A4), specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl (meth) acryl Unsubstituted or substituted unsaturated carboxylic acid alkyl esters, such as a rate and aminoethyl (meth) acrylate;

시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 메틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 펜틸(메트)아크릴레이트, 시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 시클로헥세닐(메트)아크릴레이트, 시클로헵테닐(메트)아크릴레이트, 시클로옥테닐(메트)아크릴레이트, 멘타디에닐(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 피나닐(메트)아크릴레이트, 아다만틸(메트)아크릴레이트, 노르보르네닐(메트)아크릴레이트, 피네닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트 등의 지환식기를 함유하는 불포화 카르복실산에스테르 화합물 ;Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, cyclophene Tenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylic Rate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pineneyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl ( Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing alicyclic groups such as meth) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate;

올리고에틸렌글리콜모노알킬(메트)아크릴레이트 등의 글리콜류의 모노 포화 카르복실산에스테르 화합물 ;Mono-saturated carboxylic acid ester compounds of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylates;

벤질(메트)아크릴레이트, 페녹시(메트)아크릴레이트 등의 방향고리를 함유하는 불포화 카르복실산에스테르 화합물 ;Unsaturated carboxylic ester compounds containing aromatic rings such as benzyl (meth) acrylate and phenoxy (meth) acrylate;

스티렌, α-메틸스티렌, α-페닐스티렌, 비닐톨루엔 등의 방향족 비닐 화합물 ;Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, α-phenylstyrene and vinyltoluene;

아세트산비닐, 프로피온산비닐 등의 카르복실산비닐에스테르 ;Carboxylic acid vinyl esters, such as vinyl acetate and a vinyl propionate;

(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴 등의 시안화비닐 화합물 ;Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile;

N-시클로헥실말레이미드나 N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드 등의 N-치환 말레이미드 화합물 등을 들 수 있다. 이들은, 각각 단독이어도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.N-substituted maleimide compounds, such as N-cyclohexyl maleimide, N-phenyl maleimide, and N-benzyl maleimide, etc. are mentioned. These may be individual, respectively and may be used in combination of 2 or more type.

여기서, 본 명세서에 있어서의 (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트 및 메타크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 의미한다. 또한, (메트)아크릴산이란, 아크릴산 및 메타크릴산으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 의미한다. Here, (meth) acrylate in this specification means at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of an acrylate and a methacrylate. In addition, (meth) acrylic acid means at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of acrylic acid and methacrylic acid.

불포화 결합을 갖는 카르복실산 (A3) 으로는, 구체적으로는, 아크릴산 및 메타크릴산을 들 수 있다. 아크릴산 및 메타크릴산은, 각각 단독이어도 되고, 양자를 조합하여 사용해도 된다. 또한, 이들 아크릴산이나 메타크릴산에 더하여, 그 밖의 불포화기를 갖는 카르복실산을 사용해도 된다. 그 밖의 불포화기를 갖는 카르복실산으로는, 구체적으로, 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 푸마르산 등을 들 수 있다. 또한, α-(히드록시메틸)아크릴산과 같은, 동일 분자 중에 히드록시기 및 카르복실기를 함유하고, 불포화기를 갖는 카르복실산을 병용할 수도 있다. Specifically as carboxylic acid (A3) which has an unsaturated bond, acrylic acid and methacrylic acid are mentioned. Acrylic acid and methacrylic acid may be individual, respectively, and may be used in combination of both. Moreover, in addition to these acrylic acid and methacrylic acid, you may use the carboxylic acid which has another unsaturated group. Specific examples of the carboxylic acid having another unsaturated group include crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and the like. Moreover, you may use together the carboxylic acid which contains a hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule, such as (alpha)-(hydroxymethyl) acrylic acid, and has an unsaturated group.

1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물 (A4) 로는, (메트)아크릴산글리시딜, (메트)아크릴산-β-메틸글리시딜, (메트)아크릴산-β-에틸글리시딜, (메트)아크릴산-β-프로필글리시딜, α-에틸아크릴산-β-메틸글리시딜, (메트)아크릴산-3-메틸-3,4-에폭시부틸, (메트)아크릴산-3-에틸-3,4-에폭시부틸, (메트)아크릴산-4-메틸-4,5-에폭시펜틸, (메트)아크릴산-5-메틸-5,6-에폭시헥실, 글리시딜비닐에테르 등을 들 수 있고, 바람직하게는 (메트)아크릴산글리시딜을 들 수 있다. As a compound (A4) which has an unsaturated bond and an epoxy group in 1 molecule, (meth) acrylic-acid glycidyl, (meth) acrylic-acid- (beta) -methylglycidyl, (meth) acrylic-acid- (beta) -ethylglycidyl, (meth) Acrylate-β-propylglycidyl, α-ethylacrylic acid-β-methylglycidyl, (meth) acrylic acid-3-methyl-3,4-epoxybutyl, (meth) acrylic acid-3-ethyl-3,4- Epoxy butyl, (meth) acrylic acid 4-methyl-4,5-epoxypentyl, (meth) acrylic acid-5-methyl-5,6-epoxyhexyl, glycidyl vinyl ether, and the like. Glycidyl methacrylate can be mentioned.

산 무수물 (A5) 는, 분자 중에 산 무수물기를 1 개 갖는 화합물이고, 구체적으로는, 말레산 무수물, 숙신산 무수물, 이타콘산 무수물, 프탈산 무수물, 테트라히드로프탈산 무수물, 헥사히드로프탈산 무수물, 메틸엔도메틸렌테트라히드로프탈산 무수물, 메틸테트라히드로프탈산 무수물, 트리멜리트산 무수물 등을 들 수 있고, 바람직하게는 테트라히드로프탈산 무수물을 들 수 있다. Acid anhydride (A5) is a compound having one acid anhydride group in a molecule, specifically, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl endomethylene tetra Hydrophthalic anhydride, methyl tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, etc. are mentioned, Preferably, tetrahydrophthalic anhydride is mentioned.

본 발명에 있어서의 바인더 수지 (A) 로는, 상기의 각 화합물을 임의로 공중합시켜 얻을 수 있지만, 바람직하게는, (A2) 와 (A3) 의 공중합체, (A2) 와 (A3) 의 공중합체에 있어서의 (A3) 에 유래하는 카르복실기의 부위에서 추가로 (A4) 를 반응시킨 공중합체, (A2) 및 (A4) 를 공중합시켜 공중합체 1 을 얻고, 얻어진 공중합체 1 과 (A3) 을 공중합체 1 의 (A4) 에 유래하는 에폭시기의 부위에서 반응시켜 공중합체 2 를 얻고, 또한 얻어진 공중합체 2 와 (A5) 를 공중합체 1 의 (A4) 와 (A3) 의 반응에 의해 생성된 적어도 일부의 수산기의 부위에 반응시켜 얻어지는 (A2) ∼ (A5) 공중합체 등을 들 수 있다. As binder resin (A) in this invention, although each said compound can be obtained by copolymerizing arbitrarily, Preferably it is a copolymer of (A2) and (A3), and the copolymer of (A2) and (A3) In the site | part of the carboxyl group derived from (A3), the copolymer which (A4) was made to react, and (A2) and (A4) were further copolymerized, the copolymer 1 is obtained, and the obtained copolymer 1 and (A3) are copolymerized Reaction is carried out at the site | part of the epoxy group derived from (A4) of 1, and copolymer 2 is obtained, and also obtained copolymer 2 and (A5) of at least one part produced | generated by reaction of (A4) and (A3) of copolymer 1 (A2)-(A5) copolymer etc. which are obtained by making it react with the site | part of a hydroxyl group, etc. are mentioned.

(A2) 와 (A3) 의 공중합체는, 공업적으로, 통상적으로 행해지는 조건 하에서 제조할 수 있다. 예를 들어, 교반기, 온도계, 환류 냉각관, 적하 깔때기 및 질소 도입관을 구비한 플라스크에, (A2) 와 (A3) 의 합계량에 대하여 질량 기준으로, 0.5 ∼ 20 배 양의 용제를 도입하고, 플라스크 내 분위기가 공기로부터 질소로 치환된다. 그 후, 용제를 40 ∼ 140℃ 로 승온시킨 후, 소정 양의 (A2) 와 (A3), (A2) 와 (A3) 의 합계량에 대하여 질량 기준으로 0 ∼ 20 배 양의 용제에, 아조비스이소부티로니트릴이나 벤조일퍼옥사이드 등의 중합 개시제를, (A2) 와 (A3) 의 합계 몰 수에 대하여, 0.1 ∼ 10 몰% 첨가한 용액 (실온 또는 가열 하에서 교반 용해) 을 적하 깔때기로부터 0.1 ∼ 8 시간에 걸쳐 상기의 플라스크에 적하하고, 추가로 40 ∼ 140℃ 의 온도 범위에서 1 ∼ 10 시간 교반한다. 또, 상기의 공정에 있어서, 중합 개시제의 일부 또는 전체량이 플라스크측에 투입되어도 되고, (A2) 와 (A3) 의 일부 또는 전체량이 플라스크측에 투입되어도 된다. 또한, 분자량이나 분자량 분포를 제어하기 위하여,α-메틸스티렌다이머나 메르캅토 화합물이 연쇄 이동제로서 사용되어도 된다. α-메틸스티렌다이머나 메르캅토 화합물의 사용량은, (A2) 와 (A3) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로, 통상적으로는 0.005 ∼ 5% 이다. 또, 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등등을 고려하여, 투입 방법이나 반응 온도는 적절히 조정되어도 된다.The copolymer of (A2) and (A3) can be manufactured under the conditions normally performed industrially. For example, 0.5-20 times the amount of solvent is introduce | transduced into the flask provided with the stirrer, the thermometer, the reflux cooling tube, the dropping funnel, and the nitrogen introduction tube by mass basis with respect to the total amount of (A2) and (A3), The atmosphere in the flask is replaced by nitrogen from air. Then, after heating a solvent at 40-140 degreeC, azobis is added to the solvent of 0-20 times amount by mass basis with respect to the total amount of (A2) and (A3), (A2), and (A3) of predetermined amount. 0.1-10 mol% of the polymerization initiators, such as isobutyronitrile and benzoyl peroxide, added with respect to the total mole number of (A2) and (A3) (0.1-mol stirring under room temperature or heating) from the dropping funnel. It is dripped at said flask over 8 hours, and also it stirs for 1 to 10 hours in 40-140 degreeC temperature range. In addition, in said process, one part or whole quantity of a polymerization initiator may be thrown in the flask side, and one part or whole quantity of (A2) and (A3) may be thrown in the flask side. Moreover, in order to control molecular weight and molecular weight distribution, (alpha) -methylstyrene dimer and a mercapto compound may be used as a chain transfer agent. The usage-amount of (alpha) -methylstyrene dimer and a mercapto compound is 0.005 to 5% normally on a mass basis with respect to the total amount of (A2) and (A3). In addition, in consideration of the amount of heat generated by the production equipment, polymerization, and the like, the charging method and the reaction temperature may be appropriately adjusted.

각각의 화합물로부터 유도되는 구성 성분의 비율은, 상기의 공중합체를 구성하는 구성 성분의 합계 몰 수에 대하여 몰 분률로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. It is preferable that the ratio of the structural component guide | induced from each compound exists in the following ranges in mole fraction with respect to the total mole number of the structural component which comprises said copolymer.

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 95 몰%Structural unit derived from (A2); 5 to 95 mol%

(A3) 으로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 95 몰%Structural unit derived from (A3); 5 to 95 mol%

또한, 상기의 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 현상성이 양호하기 때문 에 보다 바람직하다. Moreover, since developability is favorable in the ratio of the said structural component being the following ranges, it is more preferable.

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 10 ∼ 90 몰%Structural unit derived from (A2); 10 to 90 mol%

(A3) 으로부터 유도되는 구성 단위 ; 10 ∼ 90 몰%Structural unit derived from (A3); 10 to 90 mol%

또한, 상기의 (A2) 와 (A3) 의 공중합체와 (A4) 를, 상기 공중합체의 (A3) 에 유래하는 카르복실기의 부위에서 반응시켜 얻어진 공중합체에 있어서, (A4) 의 부가량은, 상기 공중합체의 (A3) 에 유래하는 카르복실기에 대하여, 통상적으로 5 ∼ 60 몰%, 바람직하게는 10 ∼ 50 몰% 이다.In addition, in the copolymer obtained by making said copolymer of said (A2) and (A3) and (A4) react at the site | part of the carboxyl group derived from (A3) of the said copolymer, the addition amount of (A4) is It is 5-60 mol% normally with respect to the carboxyl group derived from (A3) of the said copolymer, Preferably it is 10-50 mol%.

(A4) 의 조성비가 상기 범위 내에 있으면, 현상성이 우수하고, 충분한 광경화성이나 열경화성이 얻어지고, 신뢰성이 우수하기 때문에 바람직하다. If the composition ratio of (A4) is in the said range, since it is excellent in developability, sufficient photocurability and thermosetting are obtained, and it is excellent in reliability, it is preferable.

또한, 상기의 (A2) 및 (A4) 를 공중합시켜 공중합체 1 을 얻고, 얻어진 공중합체 1 과 (A3) 을 공중합체 1 의 (A4) 에 유래하는 에폭시기의 부위에서 반응시켜 공중합체 2 를 얻고, 또한 얻어진 공중합체 2 와 (A5) 를 공중합체 1 의 (A4) 와 (A3) 의 반응에 의해 생성된 수산기의 부위에 반응시켜 얻어지는 (A2) ∼ (A5) 공중합체는, 바람직하게 사용된다. Moreover, copolymerization of said (A2) and (A4) is carried out and copolymer 1 is obtained, The obtained copolymer 1 and (A3) are made to react at the site | part of the epoxy group derived from (A4) of copolymer 1, and copolymer 2 is obtained. Moreover, the (A2)-(A5) copolymer obtained by making the obtained copolymer 2 and (A5) react with the site | part of the hydroxyl group produced by reaction of (A4) and (A3) of copolymer 1 is used preferably. .

상기의 (A2) ∼ (A5) 공중합체는, 다음과 같이 하여 제조할 수 있다. Said (A2)-(A5) copolymer can be manufactured as follows.

우선, 공중합체 1 을 얻기 위하여, (A2) 및 (A4) 를 공중합시킨다. 이 공중합시에는, 통상적인 조건 하에서 행해진다. 예를 들어, 교반기, 온도계, 환류 냉각관, 적하 깔때기 및 질소 도입관을 구비한 플라스크에, (A2) 및 (A4) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로, 0.5 ∼ 20 배 양의 용제를 도입하고, 플라스크 내 분위기를 공기로부터 질소로 치환한다. 그 후, 용제를 40 ∼ 140℃ 로 승온 시킨 후, (A2) 및 (A4) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로 0 ∼ 20 배 양의 용제에, 아조비스이소부티로니트릴이나 벤조일퍼옥사이드 등의 중합 개시제를, (A2) 및 (A4) 의 합계 몰 수에 대하여, 0.1 ∼ 10 몰% 첨가한 용액 (실온 또는 가열 하에서 교반 용해) 을 적하 깔때기로부터 0.1 ∼ 8 시간에 걸쳐 상기의 플라스크에 적하하고, 추가로 40 ∼ 140℃ 에서 1 ∼ 10 시간 교반한다. First, in order to obtain copolymer 1, (A2) and (A4) are copolymerized. In this copolymerization, it is performed under normal conditions. For example, 0.5-20 times the amount of solvent is introduce | transduced into the flask equipped with the stirrer, the thermometer, the reflux cooling tube, the dropping funnel, and the nitrogen introduction tube by mass basis with respect to the total amount of (A2) and (A4). The atmosphere in the flask is replaced with nitrogen by air. Then, after heating a solvent at 40-140 degreeC, it is the solvent of 0-20 times amount by mass basis with respect to the total amount of (A2) and (A4), such as azobisisobutyronitrile and benzoyl peroxide. To the total molar number of (A2) and (A4), a solution (0.1% molten solution) to which the polymerization initiator was added was added dropwise to the flask over 0.1 to 8 hours from a dropping funnel. Furthermore, it stirs at 40-140 degreeC for 1 to 10 hours.

또, 상기의 공정에 있어서, 중합 개시제의 일부 또는 전체량을 플라스크측에 투입해도 되고, (A2) 및 (A4) 의 일부 또는 전체량을 플라스크측에 투입해도 된다. 또한, 분자량이나 분자량 분포를 제어하기 위하여, α-메틸스티렌다이머나 메르캅토 화합물을 연쇄 이동제로서 사용해도 된다. α-메틸스티렌다이머나 메르캅토 화합물의 사용량은, (A2) ∼ (A3) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로, 통상적으로 0.005 ∼ 5% 이다. 또, 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등등을 고려하여, 투입 방법이나 반응 온도는 적절히 조정되어도 된다.In addition, in said process, one part or whole quantity of a polymerization initiator may be thrown in the flask side, and one part or whole quantity of (A2) and (A4) may be put in a flask side. Moreover, in order to control molecular weight and molecular weight distribution, you may use (alpha) -methylstyrene dimer and a mercapto compound as a chain transfer agent. The usage-amount of (alpha) -methylstyrene dimer and a mercapto compound is 0.005 to 5% normally on a mass basis with respect to the total amount of (A2)-(A3). In addition, in consideration of the amount of heat generated by the production equipment, polymerization, and the like, the charging method and the reaction temperature may be appropriately adjusted.

각각의 화합물로부터 유도되는 구성 성분의 비율로는, 상기의 공중합체 1 을 구성하는 구성 성분의 합계 몰 수에 대하여 몰 분률로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. As a ratio of the structural component guide | induced from each compound, it is preferable to exist in the following ranges in mole fraction with respect to the total mole number of the structural component which comprises said copolymer 1.

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2 ∼ 97 몰%Structural unit derived from (A2); 2 to 97 mol%

(A4) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 3 ∼ 98 몰%Structural units derived from (A4); 3 to 98 mol%

또한, 상기의 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 가요성 및 내열성의 밸런스가 양호하고, 바람직한 간(幹) 폴리머가 얻어지기 때문에 보다 바람직하다.Moreover, since the balance of flexibility and heat resistance is favorable and a preferable liver polymer is obtained, if the ratio of said structural component is the following ranges, it is more preferable.

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 15 ∼ 85 몰%Structural unit derived from (A2); 15 to 85 mol%

(A4) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 15 ∼ 85 몰%Structural units derived from (A4); 15 to 85 mol%

다음으로, 상기의 공중합체 1 에 (A3) 을 부가하여 바인더 수지 (A) 에 광경화성이나 열경화성을 부여한다. Next, (A3) is added to said copolymer 1, and photocurability and thermosetting are given to binder resin (A).

공중합체 1 과 (A3) 의 반응은, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2001-89533호에 기재된 조건으로 행할 수 있다. 구체적으로는, 플라스크 내 분위기를 질소로부터 공기로 치환하고, 상기 공중합체 1 의 (A4) 로부터 유도되는 구성 단위에 대하여, 몰 분률로, 5 ∼ 100 몰% 의 (A3), 카르복실기와 에폭시기의 반응 촉매로서, 예를 들어, 트리스디메틸아미노메틸페놀을 (A2) ∼ (A4) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로, 0.01 ∼ 5%, 및 중합 금지제로서, 예를 들어, 하이드로퀴논을 (A2)Reaction of copolymer 1 and (A3) can be performed, for example on the conditions of Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-89533. Specifically, the atmosphere in the flask is replaced with nitrogen from air, and the reaction of 5 to 100 mol% of (A3), carboxyl group and epoxy group in molar fraction with respect to the structural unit derived from (A4) of Copolymer 1 above. As a catalyst, for example, trisdimethylaminomethylphenol is 0.01-5% by mass with respect to the total amount of (A2)-(A4), and a hydroquinone is used as a polymerization inhibitor, for example (A2)

∼ (A4) 의 합계량에 대하여, 질량 기준으로, 0.001 ∼ 5% 를 플라스크 내에 넣고, 60 ∼ 130℃ 에서, 1 ∼ 10 시간 반응시킴으로써, 상기의 공중합체 1 과 (A3) 을 반응시켜 공중합체 2 를 얻을 수 있다. 또, 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등등을 고려하여, 투입 방법이나 반응 온도는 적절히 조정되어도 된다.Regarding the total amount of (A4), 0.001 to 5% is placed in the flask on a mass basis and reacted with Copolymer 1 and (A3) by reacting at 60 to 130 ° C for 1 to 10 hours to obtain Copolymer 2 Can be obtained. In addition, in consideration of the amount of heat generated by the production equipment, polymerization, and the like, the charging method and the reaction temperature may be appropriately adjusted.

(A3) 의 부가량은, (A2) 및 (A4) 를 공중합시켜 얻어진 수지 중의 에폭시기 ((A4) 성분에 유래) 에 대하여, 통상적으로 5 ∼ 100 몰%, 바람직하게는 10 ∼ 95 몰% 이다. The addition amount of (A3) is 5-100 mol% normally with respect to the epoxy group (derived from (A4) component) in resin obtained by copolymerizing (A2) and (A4), Preferably it is 10-95 mol%. .

(A4) 의 조성비가 상기 범위 내에 있으면, 충분한 광경화성이나 열경화성이 얻어지고, 신뢰성이 우수하기 때문에 바람직하다. If the composition ratio of (A4) is in the said range, since sufficient photocurability and thermosetting are obtained and it is excellent in reliability, it is preferable.

마지막으로, 상기 공중합체 2 와 (A5) 를 반응시켜 바인더 수지 (A) 에 알칼리 용해성을 부여한다. Finally, the copolymer 2 and (A5) are reacted to impart alkali solubility to the binder resin (A).

공중합체 2 와 (A5) 의 반응은, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2001-89533호에 기재된 조건으로 행할 수 있다. 구체적으로는, 상기 공중합체 2 의 (A3) 으로부터 유도되는 구성 단위에 대하여, 몰 분률로, 5 ∼ 100 몰% 의 (A5) 와, 반응 촉매로서, 예를 들어, 트리에틸아민을 (A2) ∼ (A4) 의 합계량에 대하여 질량 기준으로, 0.01 ∼ 5% 를 플라스크 내에 넣고, 60 ∼ 130℃ 의 온도 범위에서 1 ∼ 10 시간 반응시킴으로써, 상기의 공중합체 2 와 (A5) 를 반응시킬 수 있다. 또, 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등등을 고려하여, 투입 방법이나 반응 온도는 적절히 조정되어도 된다. Reaction of copolymer 2 and (A5) can be performed, for example on the conditions of Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-89533. Specifically, with respect to the structural unit derived from (A3) of the copolymer 2, 5 to 100 mol% of (A5) and a reaction catalyst, for example, triethylamine (A2) The said copolymer 2 and (A5) can be made to react by putting 0.01-5% in a flask and reacting for 1 to 10 hours in the temperature range of 60-130 degreeC with respect to the total amount of (A4) on a mass basis. . In addition, in consideration of the amount of heat generated by the production equipment, polymerization, and the like, the charging method and the reaction temperature may be appropriately adjusted.

(A5) 의 부가량은, 공중합체 2 의 알코올성 수산기의 몰 수 (A3 성분에 유래) 에 대하여, 통상적으로 5 ∼ 100 몰%, 바람직하게는 10 ∼ 95 몰% 이다. The addition amount of (A5) is 5-100 mol% normally with respect to the mole number (derived from A3 component) of the alcoholic hydroxyl group of copolymer 2, Preferably it is 10-95 mol%.

보다 구체적으로는, 바인더 수지 (A) 가, 구성 단위 (U1), (U2) 및 (U3) 으로 이루어지는 공중합체 (U1-2-3) 그리고 구성 단위 (U1), (U2) 및 (U4) 로 이루어지는 공중합체 (U1-2-4) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 공중합체인 것이 바람직하다. More specifically, binder resin (A) is a copolymer (U1-2-3) consisting of structural units (U1), (U2) and (U3) and structural units (U1), (U2) and (U4) It is preferable that it is at least 1 sort (s) of copolymer chosen from the group which consists of a copolymer (U1-2-4) which consists of.

Figure 112006053216120-pat00005
Figure 112006053216120-pat00005

여기서, 구성 단위 (U1) 은, 구성 단위 (U1-1) 및 구성 단위 (U1-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 구성 단위를 표시한다. Here, the structural unit U1 displays at least 1 type of structural unit selected from the group which consists of structural unit U1-1 and structural unit U1-2.

R1 은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 메틸기, 또는 히드록시메틸기 중 어느 하나를 표시한다.Each R 1 independently represents a hydrogen atom, a methyl group, or a hydroxymethyl group.

R2 는, R5 기로 치환되어 있어도 되는 페닐기, -COOH, 또는 -C(=O)O-R5 기를 표시한다. R <2> represents the phenyl group, -COOH, or -C (= O) OR <5> group which may be substituted by the R <5> group.

R3 은, 산소 원자, 황 원자, -NH-, 또는 -N(R5)- 기를 표시한다. R 3 represents an oxygen atom, a sulfur atom, a -NH-, or a -N (R 5 )-group.

R4 는, 하기의 2 가의 기를 표시한다. R 4 represents the following divalent group.

Figure 112006053216120-pat00006
Figure 112006053216120-pat00006

여기서, R5 는, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기, 시클로헥실기, 페닐기, 벤질기, 나프틸기, 아다만틸기, 이소보르닐기, 디시클로펜타닐기, 디시클로펜테닐기, 디시클로펜타닐옥시에틸기, 디시클로펜테닐옥시에틸기, 또는 수산기 중 어느 하나를 표시한다. Here, R <5> is methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, phenyl group, benzyl group, naphthyl group, adamantyl group, isobornyl group, dicyclopentanyl group, dicyclopentane Any of a silyl group, a dicyclopentanyloxyethyl group, a dicyclopentenyloxyethyl group, or a hydroxyl group is shown.

바인더 수지 (A) 의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 3,000 ∼ 100,000 이고, 보다 바람직하게는 5,000 ∼ 30,000 이다. 바인더 수지 (A) 의 중량 평균 분자량이, 상기의 범위에 있으면, 도포성이 양호하고, 또한 현상시에 막 감소가 발생하기 어렵고, 나아가 현상시에 미노광 부분의 누락성이 양 호한 경향이 있기 때문에 바람직하다.The weight average molecular weight of polystyrene conversion of binder resin (A) becomes like this. Preferably it is 3,000-100,000, More preferably, it is 5,000-30,000. If the weight average molecular weight of binder resin (A) exists in the said range, applicability | paintability is favorable, and film | membrane decrease hardly arises at the time of image development, and also there exists a tendency for the omission of the unexposed part at the time of image development to be favorable. It is preferable because of that.

바인더 수지 (A) 의 분자량 분포 [중량 평균 분자량 (Mw)/수평균 분자량 (Mn)] 은, 바람직하게는 1.5 ∼ 6.0 이고, 보다 바람직하게는 1.8 ∼ 4.0 이다. 분자량 분포가, 상기의 범위에 있으면, 현상성이 우수하기 때문에 바람직하다.The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of binder resin (A) becomes like this. Preferably it is 1.5-6.0, More preferably, it is 1.8-4.0. When molecular weight distribution exists in the said range, since developability is excellent, it is preferable.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 사용되는 바인더 수지 (A)Binder resin (A) used for the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention

의 함유량은, 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여, 질량 분률로, 바람직하게는 5 ∼ 90 질량%, 보다 바람직하게는 10 ∼ 70 질량% 이다. 바인더 수지 (A) 의 함유량이, 상기의 범위에 있으면, 현상액에 대한 용해성이 충분하고, 미노광 부분의 기판 상에 현상 잔사가 발생하기 어렵고, 또한 현상시에 노광부의 화소 부분의 막 감소가 발생하기 어렵고, 미노광 부분의 누락성이 양호한 경향이 있기 때문에 바람직하다. The content of is in a mass fraction with respect to the solid content of the photosensitive resin composition for photo spacers, Preferably it is 5-90 mass%, More preferably, it is 10-70 mass%. When the content of the binder resin (A) is in the above range, the solubility in the developer is sufficient, the development residue is less likely to occur on the substrate of the unexposed portion, and the film reduction of the pixel portion of the exposed portion occurs during development. It is difficult to do this, and it is preferable because the missing property of the unexposed part tends to be good.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 사용되는 광중합성 화합물 (B) 는, 식 (I) 로 표시되는 화합물을 함유하거나, 식 (I) 로 표시되는 화합물이다.The photopolymerizable compound (B) used for the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention contains the compound represented by Formula (I), or is a compound represented by Formula (I).

Figure 112006053216120-pat00007
Figure 112006053216120-pat00007

식 (I) 중, R1 ∼ R6 은, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 하기 식 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기를 표시하고, R1 ∼ R6 의 적어도 4 개의 기는 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기이고, R1 ∼ R6 의 적어도 1 개의 기는 (I-2) 또는 (I-3) 이다.In formula (I), R <1> -R <6> respectively independently represents a hydrogen atom or any group of following formula (I-1)-(I-3), and at least 4 of R <1> -R <6> The group is any one of (I-1) to (I-3), and at least one group of R 1 to R 6 is (I-2) or (I-3).

Figure 112006053216120-pat00008
Figure 112006053216120-pat00008

식 (I) 로 표시되는 화합물로는, 디펜타에리트리톨을 카프로락톤 변성한 다관능 아크릴레이트 화합물을 들 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 닛폰 화약 (주) 제조 KAYARAD DPCA-60 (상품명), KAYARAD DPCA-120 (상품명) 등의 시판되는 것을 들 수 있다. As a compound represented by Formula (I), the polyfunctional acrylate compound which modified | denatured dipentaerythritol with caprolactone is mentioned. Specifically, commercially available products such as Nippon Gunpowder Co., Ltd. KAYARAD DPCA-60 (trade name), KAYARAD DPCA-120 (brand name), and the like can be given.

본 발명의 조성물에는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위라면, 본 발명의 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 이외의 중합성 화합물이 함유되어 있어도 되고, 그 화합물로는, 단관능 모노머 외에, 2 관능 모노머, 3 관능 이상의 다관능 모노머 (단, 식 (I) 로 표시되는 화합물을 제외한다) 를 병용할 수 있다. As long as the composition of this invention is a range which does not impair the effect of this invention, polymeric compounds other than binder resin (A) of this invention and a photopolymerizable compound (B) may contain, and as a compound, it is monofunctional In addition to a monomer, a bifunctional monomer and a trifunctional or more than trifunctional monomer (except the compound represented by Formula (I)) can be used together.

단관능 모노머의 구체예로는, 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다. As a specific example of a monofunctional monomer, nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3- phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinyl py A ralidone etc. are mentioned.

2 관능 모노머의 구체예로는, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리 콜디(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. As a specific example of a bifunctional monomer, 1, 6- hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and triethyleneglycol di (meth) acrylate And bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

3 관능 이상의 다관능 모노머의 구체예로는, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 산 무수물의 반응물, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산 무수물의 반응물 등을 들 수 있다.As a specific example of a trifunctional or more than trifunctional monomer, a trimethylol propane tri (meth) acrylate, a pentaerythritol tri (meth) acrylate, a pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) Acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate and a reaction product of an acid anhydride, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and a reaction product of an acid anhydride, and the like.

이들 중에서, 3 관능 이상의 다관능 모노머가 바람직하게 사용된다. Of these, trifunctional or higher polyfunctional monomers are preferably used.

광중합성 화합물 (B) 의 함유량은, 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물 중의 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계 100 질량부에 대하여, 5 ∼ 60 질량부인 것이 필요하고, 바람직하게는 10 ∼ 50 질량부, 보다 바람직하게는 20 ∼ 40 질량부이다. 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이, 상기의 범위에 있으면, 포토 스페이서의 소성 변형량이 크고, 표면 평활성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다.Content of a photopolymerizable compound (B) needs to be 5-60 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of binder resin (A), photopolymerizable compound (B), and photoinitiator (C) in the photosensitive resin composition for photo spacers. Preferably it is 10-50 mass parts, More preferably, it is 20-40 mass parts. When content of a photopolymerizable compound (B) exists in the said range, since the plastic deformation amount of a photo spacer is large and surface smoothness tends to become favorable, it is preferable.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합 개시제 (C) 로는, 예를 들어, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 옥심계 화합물, 트리아진계 화합물을 들 수 있다. 또한, 상기의 광중합 개시제 (C) 와, 광중합 개시 보조제 (C-1) 를 병용함으로써, 감광성 수지 조성물은 더욱 고감도가 되고, 이것을 사용하여 패턴을 형성할 때의 생산성이 향상되기 때문에 바람직하다. 그러나, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 흡수 파장이 광중합 개시제 (C) 의 흡수 파장 보다도 장파장측에 있는 경우, 형성한 막의 투과율이 낮아지기 때문에, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 정도로 사용하는 것이 바람직하다.As a photoinitiator (C) contained in the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention, an acetophenone type compound, a biimidazole type compound, an oxime type compound, a triazine type compound is mentioned, for example. Furthermore, by using together said photoinitiator (C) and a photoinitiator start adjuvant (C-1), since the photosensitive resin composition becomes more highly sensitive and productivity at the time of forming a pattern using this is preferable, it is preferable. However, when the absorption wavelength of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is on the longer wavelength side than the absorption wavelength of the photopolymerization initiator (C), the transmittance of the formed film is lowered. Do.

상기의 아세토페논계 화합물로는, 예를 들어, 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 아세토페논계로는, 구체적으로는, 2-(2-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-에틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-프로필벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-부틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,3-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,4-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등을 들 수 있다. As said acetophenone type compound, diethoxy acetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- phenyl propane- 1-one, benzyl dimethyl ketal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane- Specifically as 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, and acetophenone system, 2- (2-methylbenzyl) -2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4- Methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone , 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholi Nophenyl) -butanone, 2- (2,3-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-mo Polynophenyl) -butanone, 2- (2,4-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-chlorobenzyl) -2-dimethyl Amino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3- Chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone , 2- (3-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2 -Methyl-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromo-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-hydroxy-2- And oligomers of methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one.

상기의 비이미다졸계 화합물로는, 예를 들어, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 (예를 들어, 일본 공개특허공보 평6-75372호, 일본 공개특허공보 평6-75373호 등 참조), 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(디알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸 (예를 들어, 일본 특허공고공보 소48-38403호, 일본 공개특허공보 소62-174204호 등 참조.), 4,4',5,5'-위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물 (예를 들어, 일본 공개특허공보 평7-10913호 등 참조) 등을 들 수 있고, 바람직하게는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸을 들 수 있다. As said biimidazole type compound, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'- tetraphenyl biimidazole, 2,2'-bis ( 2,3-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see, eg, JP-A-6-75372, JP-A-6-75373, etc.) , 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5, 5'-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'- Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-38403, Japanese Patent Laid-Open No. 62-174204 And imidazole compounds in which the phenyl group at the 4,4 ', 5,5'-position is substituted by a carboalkoxy group (see, for example, JP-A-7-10913, etc.); And preferably 2,2'-bis (2- Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole Can be mentioned.

상기의 옥심계 화합물로는, 예를 들어, O-에톡시카르보닐-α-옥시이미노-1-페닐프로판-1-온, 식 (a) 로 표시되는 화합물, 식 (b) 로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다. As said oxime type compound, For example, O-ethoxycarbonyl- (alpha)-oxyimino-1-phenylpropan-1-one, the compound represented by Formula (a), and the compound represented by Formula (b) Etc. can be mentioned.

Figure 112006053216120-pat00009
Figure 112006053216120-pat00009

상기의 트리아진계 화합물로는, 예를 들어, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.As said triazine type compound, it is 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1, 3, 5- triazine, 2, 4-bis (trichloro), for example. Methyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methyl Furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3, 5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (Trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like.

또한, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 정도라면, 이 분야에서 통상적으로 사용되고 있는 광중합 개시제 등을 추가로 병용할 수 있고, 예를 들어, 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티옥산톤계 화합물, 안트라센계 화합물 등의 광중합 개시제를 들 수 있다. Moreover, as long as it does not impair the effect of this invention, the photoinitiator etc. which are normally used in this field can be used together further, For example, a benzoin type compound, a benzophenone type compound, a thioxanthone type compound, an anthracene Photoinitiators, such as a system compound, are mentioned.

보다 구체적으로는 이하와 같은 화합물을 들 수 있고, 이들은 각각 단독이어도 되고, 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다. More specifically, the following compounds are mentioned, These may be individual, respectively and may be used in combination of 2 or more type.

상기의 벤조인계 화합물로는, 예를 들어, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등을 들 수 있다. As said benzoin type compound, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, etc. are mentioned, for example.

상기의 벤조페논계 화합물로는, 예를 들어, 벤조페논, o-벤조일벤조산메틸, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등을 들 수 있다. As said benzophenone type compound, benzophenone, methyl o-benzoyl benzoate, 4-phenylbenzo phenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'- Tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

상기의 티옥산톤계 화합물로는, 예를 들어, 2-이소프로필티옥산톤, 4-이소프로필티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디클로로티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤 등을 들 수 있다. As said thioxanthone type compound, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- dichloro thioxanthone, 1-, for example Chloro-4-propoxy oxanthone etc. are mentioned.

상기의 안트라센계 화합물로는, 예를 들어, 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다. As said anthracene type compound, 9,10- dimethoxy anthracene, 2-ethyl-9,10- dimethoxy anthracene, 9,10- diethoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10- diethoxy Anthracene and the like.

그 밖에도, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난트렌퀴논, 캄파퀴논, 페닐글리옥실산메틸, 티타노센 화합물 등의 광중합 개시제를 병용할 수 있다. In addition, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, phenylglyoxyl Photoinitiators, such as methyl acid and a titanocene compound, can be used together.

또한, 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로서, 일본 공표특허공보 2002-544205호에 기재되어 있는 것을 병용할 수 있다.Moreover, what was described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-544205 can be used together as a photoinitiator which has group which can cause chain transfer.

상기의 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로는, 예를 들어, 하기 식 (2) ∼ (7) 로 표시되는 화합물을 들 수 있다. As a photoinitiator which has group which can cause said chain transfer, the compound represented by following formula (2)-(7) is mentioned, for example.

Figure 112006053216120-pat00010
Figure 112006053216120-pat00010

상기의 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제는, 공중합체 1 의 구성 성분 (A2) 로서 사용할 수 있다. 그리고, (A2) 를 사용하여 얻어지는 바인더 수지 (A) 는, 본 발명의 바인더 수지에 병용할 수 있다.The photoinitiator which has group which can cause said chain transfer can be used as a structural component (A2) of copolymer 1. And binder resin (A) obtained using (A2) can be used together with the binder resin of this invention.

또한, 광중합 개시제에 광중합 개시 보조제 (C-1) 을 조합하여 사용할 수도 있다. 광중합 개시 보조제로는, 아민 화합물 및 하기의 카르복실산 화합물이 바람직하고, 아민 화합물은 방향족 아민 화합물이 보다 바람직하다. 그러나, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 흡수 파장이 광중합 개시제 (C) 의 흡수 파장보다도 장파장측에 있는 경우, 형성한 막의 투과율이 낮아지기 때문에, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 정도로 사용하는 것이 바람직하다. Moreover, you can use combining a photoinitiator adjuvant (C-1) with a photoinitiator. As a photoinitiator, it is preferable that an amine compound and the following carboxylic acid compound are preferable, and, as for an amine compound, an aromatic amine compound is more preferable. However, when the absorption wavelength of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is on the longer wavelength side than the absorption wavelength of the photopolymerization initiator (C), the transmittance of the formed film is lowered. Do.

광중합 개시 보조제의 구체예로는, 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등의 지방족 아민 화합물, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산2-에틸헥실, 벤조산2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논 (통칭 ; 미힐러케톤(michler's ketone)), 4,4'-비스(디에틸아미노)-벤조페논과 같은 방향족 아민 화합물 등을 들 수 있다. Specific examples of the photopolymerization initiation assistant include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine and triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, and 4-dimethylaminobenzoic acid isoamyl. 2-dimethylaminobenzoic acid 2-ethylhexyl, benzoic acid 2-dimethylaminoethyl, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (collectively; michler's ketone), 4, Aromatic amine compounds, such as 4'-bis (diethylamino)-benzophenone, etc. are mentioned.

상기의 카르복실산 화합물로는, 예를 들어, 페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신, 나프톡시아세트산 등의 방향족 헤테로아세트산류 등을 들 수 있다. As said carboxylic acid compound, phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chloro, for example And aromatic heteroacetic acids such as phenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

광중합 개시제 (C) 의 함유량은, 바인더 수지 (A) 및 광중합성 화합물 (B) 의 합계 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1 ∼ 40 질량부, 보다 바람직하게는 1 ∼ 30 질량부이다. Content of a photoinitiator (C) becomes like this. Preferably it is 0.1-40 mass parts, More preferably, it is 1-30 mass parts with respect to 100 mass parts of total of binder resin (A) and a photopolymerizable compound (B).

또한, 광중합 개시 보조제 (C-1) 을 사용하는 경우, 그 함유량은, 상기의 기준으로, 바람직하게는 0.1 ∼ 50 질량부, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 40 질량부이다. In addition, when using a photoinitiator adjuvant (C-1), the content is 0.1-50 mass parts on the said reference | standard, More preferably, it is 0.1-40 mass parts.

광중합 개시제 (C) 의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 포토 스페이서용 감 광성 수지 조성물이 고감도가 되고, 상기의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성한 포토 스페이서의 표면에 있어서의 평활성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다. 상기에 더하여, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 양이 상기의 범위에 있으면, 얻어지는 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물의 감도가 더욱 높아지고, 상기의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성하는 패턴 기판의 생산성이 향상되는 경향이 있기 때문에 바람직하다. When content of a photoinitiator (C) exists in said range, the photosensitive resin composition for photo spacers will become high sensitivity, and smoothness in the surface of the photo spacer formed using said photosensitive resin composition for photo spacer formation is favorable. It is preferable because it tends to be lost. In addition to the above, when the amount of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is in the above range, the sensitivity of the photosensitive resin composition for photo spacer formation obtained is further increased, and the patterned substrate is formed using the photosensitive resin composition for photo spacers. It is preferable because the productivity tends to be improved.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 함유되는 용제 (D) 로는, 감광성 수지 조성물의 분야에서 사용되고 있는 각종 유기 용제를 들 수 있다. As a solvent (D) contained in the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention, various organic solvents used in the field of the photosensitive resin composition are mentioned.

그 구체예로는, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르 및 에틸렌글리콜모노부틸에테르 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르류 ;Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, and ethylene glycol monobutyl ether;

디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르 및 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류 ;Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, and diethylene glycol dibutyl ether;

메틸셀로솔브아세테이트 및 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;

프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트 및 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxy butyl acetate and methoxy pentyl acetate;

벤젠, 톨루엔, 자일렌 및 메시틸렌과 같은 방향족 탄화수소류 ;Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;

메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤 및 시클로헥사논 등의 케톤류 ;Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone;

에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥사놀, 시클로헥사놀, 에틸렌글리콜 및 글리세린 등의 알코올류 ;Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol and glycerin;

3-에톡시프로피온산에틸 및 3-메톡시프로피온산메틸 등의 에스테르류 ;Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate;

γ-부티로락톤 등의 고리상 에스테르류 등을 들 수 있다. Cyclic ester, such as (gamma) -butyrolactone, etc. are mentioned.

상기의 용제 중, 도포성, 건조성면에서, 바람직하게는 상기 용제 중에서 비점이 100 ∼ 200℃ 의 유기 용제가 사용되고, 보다 바람직하게는, 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류, 3-에톡시프로피온산에틸 및 3-메톡시프로피온산메틸과 같은 에스테르류가 사용되고, 더욱 바람직하게는, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸이 사용된다.Of the solvents described above, in view of coatability and dryness, preferably an organic solvent having a boiling point of 100 to 200 ° C is used in the solvent, and more preferably alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones and 3-ethoxypropionic acid. Esters such as ethyl and methyl 3-methoxypropionate are used, more preferably propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, 3-ethoxypropionate ethyl, 3-methoxypropionic acid Methyl is used.

이들 용제 (D) 는, 각각 단독이어도 되고, 2 종류 이상 혼합하여 사용해도 된다. These solvents (D) may be individual, respectively, and may mix and use two or more types.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에 있어서의 용제 (D) 의 함유량은, 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물에 대하여 질량 분률로, 바람직하게는 60 ∼ 95 질량%, 보다 바람직하게는 70 ∼ 90 질량% 이다. 용제 (D) 의 함유량이, 상기의 범위에 있으면, 스핀 코터, 슬릿 & 스핀 코터, 슬릿 코터 (다이 코터, 커텐 플로우 코터라고도 불리는 경우가 있다), 잉크젯 등의 도포 장치로 도포하였을 때에 도포성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다. Content of the solvent (D) in the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention is mass fraction with respect to the photosensitive resin composition for photo spacer formation, Preferably it is 60-95 mass%, More preferably, it is 70-90 mass % to be. When content of the solvent (D) exists in the said range, when apply | coating with coating apparatuses, such as a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (it may also be called a die coater and a curtain flow coater), and inkjet, applicability | paintability It is preferable because it tends to be good.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라, 충전제, 기타 고분자 화합물, 계면 활성제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집제, 연쇄 이동제 등의 그 밖의 화합물 ((E) 성분) 을 병용할 수도 있다.To the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention, other compounds ((E) component), such as a filler, another high molecular compound, surfactant, an adhesion promoter, antioxidant, a ultraviolet absorber, a flocculant, a chain transfer agent, are used together as needed. You may.

충전제로는, 예를 들어, 유리, 실리카, 알루미나 등이 예시된다.As a filler, glass, silica, alumina, etc. are illustrated, for example.

다른 고분자 화합물로는, 에폭시 수지 (시판품으로는, 미쓰이 화학 (주) 테크모아 VG3101L (상품명), 스미토모 화학 (주) 제조 스미에폭시 시리즈 (상품명), 저팬 에폭시레진 (주) 제조 에피코트 시리즈 (상품명) 등을 입수할 수 있다), 말레이미드 수지 등의 경화성 수지나 폴리비닐 알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등이 예시된다. As another polymer compound, it is epoxy resin (as a commercial item, Mitsui Chemicals Techmoa VG3101L (brand name), Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumiepoxy series (brand name), Japan Epoxy Resin Co., Ltd. epicoat series (brand name) Hardening resins, such as maleimide resin, polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethyleneglycol monoalkylether, polyfluoroalkylacrylate, polyester, polyurethane, etc. are mentioned. .

계면 활성제로는, 시판되는 계면 활성제를 사용할 수 있는데, 예를 들어, 실리콘계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성 등의 계면 활성제 등을 들 수 있고, 각각 단독이어도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 상기의 계면 활성제의 예로는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄지방산에스테르류, 지방산 변성 폴리에스테르류, 3 급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등 외에, 상품명으로 KP (신에츠 화학 공업 (주) 제조), 폴리플로우 (교에이 화학 (주) 제조), 에프톱 (토켐프로덕츠사 제조), 메가팩 (다이닛폰 잉크 화학 공업 (주) 제조), 플로라드 (스미토모스리엠 (주) 제조), 아사히가드, 서프론 (이상, 아사히가라스 (주) 제조), 소르스파스 (제네카 (주) 제조), EFKA (EFKA CHEMICALS 사 제조), PB821 (아지노모토 (주) 제조) 등을 들 수 있다.As surfactant, commercially available surfactant can be used, For example, surfactant, such as a silicone type, a fluorine type, ester type, cationic type, anionic type, nonionic type, amphoteric, etc., etc. are mentioned, Each may be individual. You may use in combination of 2 or more type. Examples of the above-mentioned surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid modified polyesters, tertiary amine modified polyurethanes and polyethylene In addition to imines, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoe Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.), Megapack (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) ), Florade (manufactured by Sumitomos Reem Co., Ltd.), Asahigard, Supron (above, manufactured by Asahigaras Co., Ltd.), Soapspar (manufactured by Geneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS Co., Ltd.) And PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.).

밀착 촉진제로서 구체적으로는, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다.Specific examples of adhesion promoters include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N. -(2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercapto Propyl trimethoxysilane, etc. are mentioned.

산화 방지제로서 구체적으로는, 2,2'-티오비스(4-메틸-6-tert-부틸페놀), 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 등을 들 수 있다. Specific examples of the antioxidant include 2,2'-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.

자외선 흡수제로서 구체적으로는, 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다.Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone and the like.

또한 응집제로서 구체적으로는, 폴리아크릴산나트륨 등을 들 수 있다.Moreover, sodium polyacrylate etc. are mentioned specifically as a flocculant.

연쇄 이동제로는, 도데실메르캅탄, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 등을 들 수 있다.Examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, and the like.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물은, 상기 (A) ∼ (D) 의 각 성분, 필요에 따라 (E) 성분을 임의의 순서로 혼합하는 등의 방법에 의해, 용이하게 조정할 수 있다. The photosensitive resin composition for photo spacers of this invention can be easily adjusted by methods, such as mixing each component of said (A)-(D), (E) component in arbitrary order as needed.

포토 스페이서용 감광성 수지 조성물은, 예를 들어, 이하와 같이 하여 기재(基材) 상에 도포하고, 광경화 및 현상을 행하여, 패턴을 형성할 수 있다. 우 선, 이 조성물을 기판 (통상적으로는 유리나 필름) 또는 먼저 형성된 다른 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어지는 층 상에 도포하여 감광성 수지 조성물층을 형성한다. 도포는, 스핀 코터, 슬릿 코터, 커튼 플로우 코터, 바 코터 등, 공지된 장치를 사용하여 행해진다.The photosensitive resin composition for photo spacers can be apply | coated on a base material as follows, for example, can photocure and develop, and can form a pattern. First, this composition is apply | coated on the board | substrate (usually glass or film) or the layer which consists of solid content of the other photosensitive resin composition formed previously, and forms the photosensitive resin composition layer. Application | coating is performed using well-known apparatuses, such as a spin coater, a slit coater, a curtain flow coater, and a bar coater.

도포, 형성된 감광성 수지 조성물층은, 프리 베이크함으로써 용제 등의 휘발 성분을 제거함으로써, 평활한 도막으로서 얻어진다. 이 때의 도막의 두께는, 통상적으로 1 ∼ 6㎛ 정도이다. 이와 같이 하여 얻어진 도막에, 목적으로 하는 패턴을 형성하기 위한 마스크를 통하여 자외선을 조사한다. 이 때, 노광부 전체에 균일하게 평행 광선이 조사되고, 또한 마스크와 기판의 정확한 위치 맞춤이 행해지도록, 마스크 얼라이너나 스텝퍼 등의 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 이후, 경화가 종료된 도막을 알칼리 수용액에 접촉시켜 비노광부를 용해시키고, 현상함으로써, 목적으로 하는 패턴 형상이 얻어진다. 현상 방법은, 액쌓기법, 딥핑법, 스프레이법 등 중 어느 방법을 채용해도 된다. 또한 현상시에 기판을 적당한 각도로 기울여도 된다. 현상 후, 수세를 행하고, 추가로 필요에 따라 150 ∼ 230℃ 의 온도 범위에서 10 ∼ 60 분 유지하여 포스트 베이크를 실시할 수도 있다. The coated and formed photosensitive resin composition layer is obtained as a smooth coating film by removing volatile components, such as a solvent, by prebaking. The thickness of the coating film at this time is about 1-6 micrometers normally. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a mask for forming a target pattern. At this time, it is preferable to use apparatuses, such as a mask aligner and a stepper, so that the parallel light beam may be irradiated uniformly to the whole exposure part, and the exact alignment of a mask and a board | substrate may be performed. Furthermore, the target pattern shape is obtained by then contacting alkali aqueous solution with the coating film which hardened | cured, dissolving and developing a non-exposed part. As the developing method, any method such as a liquid stacking method, a dipping method, a spray method, or the like may be adopted. In addition, during development, the substrate may be tilted at an appropriate angle. After image development, water washing may be performed, and also post-baking may be performed by maintaining for 10 to 60 minutes in the temperature range of 150-230 degreeC as needed.

패터닝 노광 후의 현상에 사용하는 현상액은, 통상적으로, 알칼리성 화합물과 계면 활성제를 함유하는 수용액이다.The developing solution used for image development after patterning exposure is the aqueous solution containing an alkaline compound and surfactant normally.

알칼리성 화합물은, 무기 및 유기의 알칼리성 화합물 중 어느 것이라도 된다. 무기 알칼리성 화합물의 구체예로는, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 인산수소 2나트륨, 인산2수소나트륨, 인산수소2암모늄, 인산2수소암모늄, 인산2수소칼륨, 규산나트륨, 규산칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 붕산나트륨, 붕산칼륨, 암모니아 등을 들 수 있다. The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate And sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like.

또한, 유기 알칼리성 화합물의 구체예로는, 테트라메틸암모늄히드록시드, 2-히드록시에틸트리메틸암모늄히드록시드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등을 들 수 있다. 이들 무기 및 유기 알칼리성 화합물은, 각각 단독이어도 되고, 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다. 알칼리 현상액 중의 알칼리성 화합물의 농도는, 바람직하게는 0.01 ∼ 10 질량% 이고, 보다 바람직하게는 0.03 ∼ 5 질량% 이다. Moreover, as an example of an organic alkaline compound, tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyl trimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine , Monoisopropylamine, diisopropylamine, ethanolamine and the like. These inorganic and organic alkaline compounds may be individual, respectively, and may be used in combination of 2 or more type. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

또한 알칼리 현상액 중의 계면 활성제는, 비이온계 계면 활성제, 음이온계 계면 활성제 또는 양이온계 계면 활성제 중 어느 것이라도 된다.The surfactant in the alkaline developer may be any of a nonionic surfactant, anionic surfactant, or cationic surfactant.

비이온계 계면 활성제의 구체예로는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르, 그 밖의 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌블록코폴리머, 소르비탄지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄 지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비톨 지방산에스테르, 글리세린 지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 등을 들 수 있다. Specific examples of the nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, and sorbitan fatty acid esters. , Polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine and the like.

음이온계 계면 활성제의 구체예로는, 라우릴 알코올 황산에스테르나트륨이나 올레일 알코올 황산에스테르나트륨과 같은 고급 알코올 황산에스테르염류, 라우릴 황산나트륨이나 라우릴 황산암모늄과 같은 알킬 황산염류, 도데실벤젠술폰산나트륨이나 도데실나프탈렌술폰산나트륨과 같은 알킬아릴술폰산염류 등을 들 수 있다. Specific examples of the anionic surfactants include higher alcohol sulfate ester salts such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfate salts such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, and sodium dodecylbenzenesulfonate And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.

양이온계 계면 활성제의 구체예로는, 스테아릴아민염산염이나 라우릴트리메틸암모늄클로라이드와 같은 아민염 또는 제 4 급 암모늄염 등을 들 수 있다. Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, and quaternary ammonium salts.

이들 계면 활성제는, 각각 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다. These surfactant may be used independently, respectively and may be used in combination of 2 or more type.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제의 농도는, 통상적으로 0.01 ∼ 10 질량%, 바람직하게는 0.05 ∼ 8 질량%, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 5 질량% 이다.The density | concentration of surfactant in alkaline developing solution is 0.01-10 mass% normally, Preferably it is 0.05-8 mass%, More preferably, it is 0.1-5 mass%.

이상과 같은 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물의 도포, 건조, 얻어지는 건조 도막으로의 패터닝 노광, 그리고 현상이라는 각 조작을 거쳐, 기판 상 또는 컬러 필터 기판 상 또는 액정 구동용 기판 상에 포토 스페이서를 형성할 수 있다. A photo spacer can be formed on a board | substrate, a color filter board | substrate, or a liquid crystal drive board | substrate through each operation of application | coating of the photosensitive resin composition for photo spacers, drying, patterning exposure to the obtained dry coating film, and image development, and image development. have.

또한, 이 포토 스페이서는, 액정 표시 장치에 유용하다. 또한, 액정 표시 장치 중, 시야각을 개선한 Multi-domain Vertical Alignment (이하, MVA) 액정 표시 장치는, 배향막의 하지 (下地) 에, 국소적으로 구조물을 설치하여 돌기가 형성되고, 이러한 구조물이라고 해도 본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성되는 포토 스페이서는 유용하다. 또한, 본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물을 사용하면, 건조 도막으로의 패터닝 노광시에 홀 형성용 포토 마스크를 사용하면, 홀을 형성할 수 있고, 이것은 층간 절연막으로서 유용하다. 또한, 본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물을 사용하면, 건조 도막으로의 노광시에, 포토 마스크를 사용하지 않고 노광 및 가열 경화 또는 가열 경화만으로 수지 막을 형성할 수 있고, 이 수지막은 오버 코트로서 유용하다.Moreover, this photo spacer is useful for a liquid crystal display device. In addition, among the liquid crystal display devices, a multi-domain vertical alignment (hereinafter referred to as MVA) liquid crystal display device having improved viewing angles is provided with a structure locally provided on the base of the alignment film, and protrusions are formed. The photo spacer formed using the photosensitive resin composition of this invention is useful. Moreover, when the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention is used, when a photomask for hole formation is used at the time of patterning exposure to a dry coating film, a hole can be formed and this is useful as an interlayer insulation film. Moreover, when the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention is used, a resin film can be formed only by exposure and heat-hardening or heat-curing, without using a photo mask at the time of exposure to a dry coating film, and this resin film is an overcoat. useful.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 포토 스페이서는, 면내의 막 두께 차가 작고, 예를 들어 1 ∼ 6㎛ 의 막 두께로, 면내 막 두께 차를 0.15㎛ 이하, 나아가서는 0.05㎛ 이하로 할 수 있다. 따라서, 이렇게 하여 얻어지는 포토 스페이서는, 평활성이 우수한 것이고, 또한 이것을 컬러 액정 표시 장치에 장착함으로써, 우수한 품질의 액정 표시 장치를 높은 수율로 제조할 수 있다.The photo spacer produced using the photosensitive resin composition for photo spacers of the present invention has a small in-plane film thickness difference, for example, a film thickness of 1 to 6 μm, and an in-plane film thickness difference of 0.15 μm or less, furthermore, 0.05 μm. It can be set as follows. Therefore, the photo spacer obtained in this way is excellent in smoothness, and can be manufactured in high yield by attaching this to a color liquid crystal display device of excellent quality.

액정 표시 장치를 제조하는 방법으로는, 하기의 방법이 예시된다. The following method is illustrated as a method of manufacturing a liquid crystal display device.

배향막의 형성 공정, 러빙 공정을 거친 TFT 어레이 기판에, 본 발명의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물을 도포하고, 건조시키고, 얻어지는 기판 상의 건조 도막으로의 패터닝 노광, 그리고 현상이라는 조작을 거쳐, 포토 스페이서 부착 기판을 제조한다. 그리고, ITO 막 부착 컬러 필터와 포토 스페이서 부착 기판을, ITO 막 형성면과 포토 스페이서 형성면이 마주보도록 접합하고, 컬러 필터와 TFT 어레이 기판 사이의 포토 스페이서에 의해 형성된 공간에 액정을 주입하고, 주위를 밀봉함으로써, 액정 표시 장치를 제조할 수 있다. Photosensitive resin composition for photo spacer formation of this invention is apply | coated to the TFT array board | substrate which passed through the formation process of an orientation film, and a rubbing process, and is dried, and it carries out the operation of patterning exposure to the dry coating film on the board | substrate obtained, and image development, and operation. Prepare the attached substrate. Then, the color filter with ITO film and the substrate with photo spacer are bonded together so that the ITO film forming surface and the photo spacer forming surface face each other, liquid crystal is injected into the space formed by the photo spacer between the color filter and the TFT array substrate, By sealing, a liquid crystal display device can be manufactured.

본 발명의 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물은 저장 안정성이 양호하고, 감도가 높기 때문에, 그 감광성 수지 조성물을 사용함으로써, 소성 변형량이 큰 포토 스페이서를 형성하는 것이 가능해진다.Since the photosensitive resin composition for photo spacers of this invention has favorable storage stability and high sensitivity, it becomes possible to form the photo spacer with a large plastic deformation amount by using this photosensitive resin composition.

실시예Example

이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 보다 상세하게 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예에 의하여 한정되는 것은 아님은 말할 필요도 없다. Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, it cannot be overemphasized that this invention is not limited by these Examples.

실시예 1, 2 및 비교예 1Examples 1 and 2 and Comparative Example 1

실시예 1 에 사용한 바인더 수지 Aa 의 구조 및 몰 비 등을, 식 (X) 및 표 1 에 나타낸다. 표 1 중, a ∼ d 는, 몰 비를 나타낸다. The structure, molar ratio, and the like of the binder resin Aa used in Example 1 are shown in Formula (X) and Table 1 below. In Table 1, a-d shows molar ratio.

Figure 112006053216120-pat00011
Figure 112006053216120-pat00011

구성 단위의 설명Description of the constituent unit

a : 공중합체 1 에 있어서의 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위.a: Structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

b : 공중합체 1 에 있어서의 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위. b: Structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

c : 공중합체 1 에 있어서의 (A4) 로부터 유도되는 구성 단위에, (A3) 을 반응시켜 유도되는 구성 단위.c: Structural unit derived by making (A3) react with the structural unit guide | induced from (A4) in the copolymer 1.

d : 공중합체 2 에 있어서의 (A3) 에 유래하는 부위에 (A5) 를 반응시켜 유도되는 구성 단위.d: Structural unit derived by making (A5) react with the site | part derived from (A3) in the copolymer 2.

수지 AaResin Aa aa 0.250.25 bb 0.250.25 cc 0.150.15 dd 0.350.35 RI R I HH Mw M w 18,00018,000 Mw/Mn M w / M n 2.22.2

상기의 바인더 폴리머의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 (Mw) 및 수평균 분자량 (Mn) 의 측정에 대해서는, GPC 법을 사용하여, 이하의 조건으로 행하였다.About the measurement of the polystyrene conversion weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of the said binder polymer, it carried out on condition of the following using GPC method.

장치 ; HLC-8120GPC (토소 (주) 제조)Device ; HLC-8120GPC (manufactured by Tosso Corporation)

컬럼 ; TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXLcolumn ; TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL

(직렬 접속)(Serial connection)

컬럼 온도 ; 40℃Column temperature; 40 ℃

용매 ; THFSolvent; THF

유속 ; 1.0mL/minFlow rate; 1.0 mL / min

주입량 ; 50μLInjection volume; 50 μL

검출기 ; RIDetector; RI

측정 시료 농도 ; 0.6 질량% (용매 ; THF)Measurement sample concentration; 0.6 mass% (solvent; THF)

교정용 표준 물질 ; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (토소 (주) 제조)Calibration standard; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

상기에서 얻어진 중량 평균 분자량 및 수평균 분자량의 비를 분자량 분포 (Mw/Mn) 로 하였다. The ratio of the weight average molecular weight and number average molecular weight obtained above was made into molecular weight distribution (Mw / Mn).

실시예 및 비교예의 배합 조성을 표 2 에 나타낸다. 표 2 중의 수치는 질량부수를 표시한다. Table 2 shows the compounding compositions of Examples and Comparative Examples. The numerical value of Table 2 shows the mass part.

실시예
1
Example
One
실시예
2
Example
2
비교예
1
Comparative Example
One
바인더
수지 (A)
bookbinder
Resin (A)
수지 AaResin Aa 7070 7070 7070
광중합성
화합물
(B)
Photopolymerization
compound
(B)
ε-카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨의
폴리아크릴레이트
(KAYARAD DPCA-60 ; 닛폰 화약 (주) 제조)
식 (I) 에 있어서, R1 ∼ R6 이 (I-2).
of ε-caprolactone modified dipentaerythritol
Polyacrylate
(KAYARAD DPCA-60; manufactured by Nippon Gunpowder Co., Ltd.)
In Formula (I), R1-R6 is (I-2).
3030 3030 00
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트
(KAYARAD DPHA ; 닛폰 화약 (주) 제조)
식 (I) 에 있어서, R1 ∼ R6 이 (I-1).
Dipentaerythritol hexaacrylate
(KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
In Formula (I), R1-R6 is (I-1).
00 00 3030
광중합
개시제
(C)
Photopolymerization
Initiator
(C)
2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노
페닐)-부타논
(Irgacure 369 ; Ciba Specialty
Chemicals 사 제조)
2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino
Phenyl) -butanone
Irgacure 369; Ciba Specialty
Chemicals company)
66 66 66
광개시
보조제
(C-1)
Photoinitiation
Supplements
(C-1)
4,4'-디(N,N-디에틸아미노)-벤조페논
(EAB-F ; 호도가야 화학 공업 (주) 제조)
4,4'-di (N, N-diethylamino) -benzophenone
(EAB-F; Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd. product)
1One 1One 1One
용제
(D)
solvent
(D)
프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트Propylene glycol monomethyl ether acetate 3838 3838 3838
3-에톡시프로피온산에틸Ethyl 3-ethoxypropionate 2424 2424 2424 그 밖의
화합물
Other
compound
에폭시 수지
(테크모아 VG3101L ; 미쓰이 화학 (주) 제조)
Epoxy resin
(Techmo VG3101L; manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
55 00 55

2 인치 각의 유리 기판 (#1737 ; 코닝사 제조) 을, 중성 세제, 물 및 알코올로 순차 세정하고 나서 건조시켰다. 이 유리 기판 상에, 감광성 수지 조성물 (표 2) 을, 100mJ/cm2 의 노광량 (365nm) 으로 노광하고, 현상, 수세, 포스트 베이크 후의 막 두께가 4.7㎛ 가 되도록 스핀 코트하고, 다음으로 클린 오븐 중, 100℃ 에서 3 분간 프리 베이크하였다. 냉각 후, 이 감광성 수지 조성물을 도포한 기판과 석영 유리제 포토 마스크 (한 변이 10㎛ 인 정방형과 스페이스부의 간격이 100㎛ 의 패턴을 가진다) 의 간격을 150㎛ 로 하고, 초고압 수은 램프 (USH-250D ; 우시오 전기 (주) 제조) 를 사용하여 대기 분위기 하, 100mJ/cm2 의 노광량 (365nm) 으로 광조사하였다. 그 후, 비이온계 계면 활성제 0.12 질량% 와 수산화칼륨 0.05 질량% 를 함유하는 수계 현상액에 상기 도막을 23℃ 에서 교반 (마그네틱 스터러로 300rpm) 하고 있는 현상액 중에서 80 초간 침지하여 현상하고, 수세 후, 220℃ 에서 30 분간 포스트 베이크를 행하여, 경화 수지 패턴을 얻었다. A 2 inch square glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) was washed sequentially with a neutral detergent, water, and alcohol, and then dried. On this glass substrate, the photosensitive resin composition (Table 2) is exposed by the exposure amount (365 nm) of 100 mJ / cm <2> , spin-coated so that the film thickness after image development, water washing, and postbaking may be set to 4.7 micrometers, and it is the clean oven next. Prebaking was carried out at 100 ° C for 3 minutes. After cooling, the space | interval of the board | substrate to which this photosensitive resin composition was apply | coated, and the quartz glass photo mask (the square of one side of 10 micrometers and the space part have a pattern of 100 micrometers) were made into 150 micrometers, and the ultrahigh pressure mercury lamp (USH-250D) It was irradiated with the exposure amount (365 nm) of 100 mJ / cm <2> in air | atmosphere using Ushio Electric Co., Ltd. product. Subsequently, the coating film was immersed in a developing solution stirred at 23 ° C. (300 rpm with a magnetic stirrer) at 23 ° C. for 80 seconds in an aqueous developer containing 0.12 mass% of nonionic surfactant and 0.05 mass% of potassium hydroxide, followed by washing with water. And post-baking was performed at 220 degreeC for 30 minutes, and the cured resin pattern was obtained.

얻어진 경화 수지 패턴의 하기의 항목에 있어서 측정 등을 행한 결과를 표 3 에 나타낸다.Table 3 shows the results of measurement and the like in the following items of the obtained cured resin pattern.

cc 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 비교예 1Comparative Example 1 표면 평활성Surface smoothness 선폭 (㎛)Line width (탆) 27.327.3 27.627.6 27.027.0 형상shape 순 테이퍼Net taper 순 테이퍼Net taper 순 테이퍼Net taper 총 변위량 (㎛)Total displacement (㎛) 0.640.64 0.650.65 0.480.48 보존 안정성Storage stability 102102 102102 102102 선팽창 계수 (10-6/℃)Coefficient of linear expansion (10 -6 / ℃) 527527 520520 244244 열 분석Thermal analysis 98.598.5 97.597.5 99.099.0

(표 3 중의 설명)(Explanation in Table 3)

표면 평활성 ; 표면 평활성의 기준은, 육안에 의해 표면을 관찰하여, 광택이 있으면 ○, 백탁(白濁) (불투명) 되어 있으면 × 를 표시한다.Surface smoothness; The standard of surface smoothness observes a surface by visual observation, and if it is glossy, (circle) and white (opacity), it displays x.

선폭 ; 패턴의 보텀부에 있어서의 두 변의 치수를, SEM (형 번호 S-4100 ; (주) 히타치 제작소 제조) 을 사용하여 측정하고, 얻어진 두 변의 평균값을 구하였다. Line width; The dimension of two sides in the bottom part of a pattern was measured using SEM (model number S-4100; the Hitachi, Ltd. make), and the average value of the two sides obtained was calculated | required.

형상 ; 패턴의 기판 등에 대하여 수직인 단면에 대한 단면을, 상기와 동일한 SEM 을 사용하여 관찰하였다. 기판에 대하여 패턴의 능선이 90 도보다 작으면 순 테이퍼, 90 도보다 크면 역 테이퍼로 기재하였다. shape ; The cross section with respect to the cross section perpendicular | vertical to the board | substrate etc. of a pattern was observed using the same SEM as the above. When the ridgeline of the pattern was smaller than 90 degrees with respect to the substrate, the taper was described as a forward taper.

총 변위량 ; 다이나믹 초미소 경도계 (DUH-W201S ; (주) 시마즈 제작소 제조) 를 사용하여, 총 변위량 (㎛) 을 이하의 조건으로 측정하였다. 여기서, 일반적으로, 소성 변형량이 크면, 총 변위량도 크다고 할 수 있다. Total displacement; The total displacement amount (micrometer) was measured on condition of the following using the dynamic ultramicro hardness tester (DUH-W201S; the Shimadzu Corporation make). In general, when the plastic deformation amount is large, it can be said that the total displacement amount is also large.

시험 모드 ; 부하 - 제하(除荷) 시험Test mode; Load-Unload Test

시험력 ; 5gf (SI 단위 환산값 ; 0.049N)Test force; 5gf (SI unit equivalent; 0.049N)

부하 속도 ; 0.45gf/초 (SI 단위 환산값 ; 0.0044N/초)Load speed; 0.45 gf / sec (SI unit equivalent value; 0.0044 N / sec)

유지 시간 ; 5 초Holding time; 5 seconds

압자 ; 원추대 압자 (직경 50mmφ)Indenter; Conical indenter (diameter 50 mmφ)

보존 안정성 ; 23℃ 에서 3 개월 보관 전후의 점도 변화율을 다음 식에 의하여 구하였다.Storage stability; The viscosity change rate before and after 3 months storage at 23 degreeC was calculated | required by the following formula.

점도 변화율 (%) = [(보관 후 점도)/(보관 전 점도)] × 100% Viscosity change = [(viscosity after storage) / (viscosity before storage)] × 100

선팽창 계수 ; 4 인치 실리콘 웨이퍼에, 감광성 수지 조성물을 포스트 베이크 후에 0.3㎛ 가 되도록 막 형성하였다. 이 때, 포토 마스크를 사용하지 않는 것 및 현상 공정을 생략하는 것 이외에는, 2 인치 각의 유리 기판에 막 형성하였을 때와 동일한 조작을 행하였다.Linear expansion coefficient; On the 4-inch silicon wafer, the photosensitive resin composition was formed into a film so that it might become 0.3 micrometer after post-baking. At this time, except having not used a photomask and omitting the image development process, operation similar to the case where film | membrane was formed in the 2-inch square glass substrate was performed.

얻어진 도막을, 사입사(斜入射) X 선 분석 장치 (X'PertMRD ; 필립스 제조) 를 사용하여, 30℃ 로부터 200℃ 에 있어서의 막 두께 변화를 측정하였다. 또, X 선 출력 ; 45kV/40mA, X 선 ; CuKα1 선, 분위기 ; 질소로 실시하였다.The film thickness change in 30 degreeC from 200 degreeC was measured for the obtained coating film using the X-ray X-ray analyzer (X'PertMRD; Philips make). X-ray output; 45 kV / 40 mA, X-ray; CuKα1 line, atmosphere; It was carried out with nitrogen.

또 선팽창 계수의 단위는, 10-6/℃ 이다.Moreover, the unit of linear expansion coefficient is 10 <-6> / degreeC .

열 분석 ; 경화 수지 패턴을 형성하는 조작에 있어서, 포토 마스크를 사용하지 않고 전체면 노광하는 것 이외에는, 동일한 조작을 행하여, 막 두께 3㎛ 의 경화 도막을 얻었다. 경화 도막을 면도칼로 없애고, 240℃ × 1 시간에 있어서의 가열 감량 (샘플 온도가 240℃ 에 도달하였을 때의 중량을 100 으로 하고, 240℃ × 1 시간 보온 후의 질량을, 백분율로 표시한다) 을 측정하였다.Thermal analysis; In the operation of forming a cured resin pattern, the same operation was performed except that the entire surface was exposed without using a photomask, thereby obtaining a cured coating film having a thickness of 3 μm. The cured coating film was removed with a razor, and the heating loss at 240 ° C. × 1 hour (weight when the sample temperature reached 240 ° C. was set to 100, and the mass after keeping at 240 ° C. × 1 hour, is expressed as a percentage). Measured.

장치 ; 시차열 열중량 동시 측정 장치 (TG/DTA220 ; 세이코 인스트루먼트 (주) 제조)Device ; Differential thermal thermogravimetry simultaneous measuring device (TG / DTA220; manufactured by Seiko Instruments Co., Ltd.)

측정 분위기 ; 질소Measurement atmosphere; nitrogen

질소 가스 유량 ; 300mL/분Nitrogen gas flow rate; 300 mL / min

식 (1) 로 표시되는 광중합성 화합물을 함유한 실시예 1 및 2 의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물에서는, 총 변위량이 크고, 또한, 표면 평활성, 패턴 형상이 우수한 포토 스페이서가 얻어지는 것을 알 수 있지만, 식 (1) 로 표시되는 광중합성 화합물을 함유하지 않는 비교예 1 의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물에서는, 총 변위량이 작다.In the photosensitive resin composition for photo spacer formation of Examples 1 and 2 containing the photopolymerizable compound represented by Formula (1), it turns out that the photo-spacer with a large total displacement amount and excellent surface smoothness and a pattern shape is obtained. , The total amount of displacement is small in the photosensitive resin composition for photo spacer formation of Comparative Example 1 which does not contain the photopolymerizable compound represented by Formula (1).

실시예 3, 비교예 2, 비교예 3Example 3, Comparative Example 2, Comparative Example 3

실시예 3, 비교예 2 및 비교예 3 에 있어서, 바인더 수지 (A) 로서 사용한 수지의 구조 Ab, 조성 등을, 식 (Y) 및 표 4 에 나타낸다. 표 4 중, a ∼ d 는, 몰 비를 나타낸다. In Example 3, Comparative Example 2, and Comparative Example 3, the structural Ab, the composition, and the like of the resin used as the binder resin (A) are shown in Formula (Y) and Table 4. In Table 4, a-d shows molar ratio.

표 5 에 나타내는 조성으로, 실시예 1 과 동일하게 하여, 평가를 행하였다. 그 결과를 표 6 에 나타낸다.In the composition shown in Table 5, it carried out similarly to Example 1, and evaluated. The results are shown in Table 6.

Figure 112006053216120-pat00012
Figure 112006053216120-pat00012

구성 단위의 설명Description of the constituent unit

a : 공중합체 1 에 있어서의 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위.a: Structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

b : 공중합체 1 에 있어서의 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위.b: Structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

c : 공중합체 1 에 있어서의 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위.c: Structural unit derived from (A2) in the copolymer 1.

d : 공중합체 1 에 있어서의 (A3) 으로부터 유도되는 구성 단위.d: Structural unit derived from (A3) in the copolymer 1.

e : 공중합체 1 에 있어서의 (A3) 으로부터 유도되는 구성 단위에, (A4) 를 반응시켜 유도되는 구성 단위. e: The structural unit guide | induced by making (A4) react with the structural unit guide | induced from (A3) in the copolymer 1.

수지 AbResin Ab aa 0.070.07 bb 0.470.47 cc 0.190.19 dd 0.160.16 ee 0.110.11 Mw M w 8,5008,500 Mw/Mn M w / M n 1.81.8

수지 Ab 의 폴리스티렌 환산 중량 분자량 및 수평균 분자량의 측정은, 실시예 1 과 동일하게 하여 행하였다.The measurement of the polystyrene reduced weight molecular weight and the number average molecular weight of the resin Ab was carried out in the same manner as in Example 1.

<포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of the photosensitive resin composition for photo spacer formation>

실시예 및 비교예의 배합 조성을 표 5 에 나타낸다. 표 5 중의 수치는 질량부수를 표시한다. Table 5 shows the compounding compositions of Examples and Comparative Examples. The numerical value of Table 5 shows the mass part.

실시예
3
Example
3
비교예
2
Comparative Example
2
비교예
3
Comparative Example
3
바인더 수지
(A)
Binder resin
(A)
수지 AbResin Ab 6060 3333 3333
광중합성
화합물
(B)
Photopolymerization
compound
(B)
ε-카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨의
폴리아크릴레이트
(KAYARAD DPCA-60 ; 닛폰화약(주) 제조)
식 (I) 에 있어서, R1 ∼ R6 이 (I-2).
of ε-caprolactone modified dipentaerythritol
Polyacrylate
(KAYARAD DPCA-60; manufactured by Nippon Gunpowder Co., Ltd.)
In Formula (I), R1-R6 is (I-2).
4040 6767 00
ε-카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨의
폴리아크릴레이트
(KAYARAD DPCA-120 ; 닛폰화약(주) 제조)
식 (I) 에 있어서, R1 ∼ R6 이 (I-3).
of ε-caprolactone modified dipentaerythritol
Polyacrylate
(KAYARAD DPCA-120; manufactured by Nippon Gunpowder Co., Ltd.)
In Formula (I), R1-R6 is (I-3).
00 00 6767
광중합
개시제
(C)
Photopolymerization
Initiator
(C)
2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노
페닐)-부타논
(Irgacure 369 ; Ciba Specialty
Chemicals 사 제조)
2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino
Phenyl) -butanone
Irgacure 369; Ciba Specialty
Chemicals company)
66 66 66
광개시
보조제(C-1)
Photoinitiation
Supplements (C-1)
4,4'-디(N,N-디에틸아미노)-벤조페논
(EAB-F ; 호도가야 화학 공업 (주) 제조)
4,4'-di (N, N-diethylamino) -benzophenone
(EAB-F; Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd. product)
1One 1One 1One
용제
(D)
solvent
(D)
프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트Propylene glycol monomethyl ether acetate 3838 3838 3838
3-에톡시프로피온산에틸Ethyl 3-ethoxypropionate 2424 2424 2424 그 밖의
화합물
Other
compound
에폭시 수지
(테크모아 VG3101L ; 미쓰이화학(주)제조)
Epoxy resin
(Techmo VG3101L; Mitsui Chemicals, Inc.)
1010 1010 1010

평가 결과를 표 6 에 나타낸다.Table 6 shows the results of the evaluation.

실시예 3Example 3 표면 평활성Surface smoothness 선폭 (㎛)Line width (탆) 20.320.3 형상shape 순 테이퍼Net taper 총 변위량 (㎛)Total displacement (㎛) 0.980.98 보존 안정성Storage stability 101101 선팽창 계수 (10-6/℃)Coefficient of linear expansion (10 -6 / ℃) 529529 열 분석Thermal analysis 97.997.9

접착성 시험Adhesion test

경화 수지 패턴을 형성한 유리 기판 (#1737 ; 코닝사 제조) 을 1cm × 5cm 로 커트하고, 동일 사이즈의 유리 기판 (#1737 ; 코닝사 제조) 을, 경화 수지 패턴을 통하여, 십자 형상으로 중첩한 후 (접합한 면적은 1cm2), 300Pa 의 압력 하, 150℃ 에서 1 시간의 조건으로 압착하였다.After cutting the glass substrate (# 1737; the Corning company) which formed the cured resin pattern into 1 cm x 5 cm, and overlapping the glass substrate of the same size (# 1737; the Corning company) in cross shape through the cured resin pattern ( The bonded area was crimped under conditions of 1 cm 2 ) and 300 Pa at 150 ° C. for 1 hour.

시험편을 꺼내고, 실온으로 냉각 후, 접합한 기판을 떼어낸 결과, 실시예 1 ∼ 3 의 조성물을 사용하여 형성된 경화 수지 패턴에서는 기판이 접착되어 있던 것에 비하여, 비교예 1 의 조성물을 사용하여 형성된 경화 수지 패턴에서는 기판이 접착되어 있지 않았다. 또 비교예 2 ∼ 3 의 조성물에서는, 경화 수지 패턴을 형성할 수 없었기 (비노광부에 잔막 있음) 때문에, 시험할 수 없었다.When the test piece was taken out and cooled to room temperature, and the bonded board | substrate was removed, in the cured resin pattern formed using the composition of Examples 1-3, the hardening formed using the composition of the comparative example 1 compared with the board | substrate to which it adhered. The substrate was not bonded in the resin pattern. Moreover, in the composition of Comparative Examples 2-3, since cured resin pattern could not be formed (there is a residual film in a non-exposed part), it could not test.

본 발명의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물로 형성된 포토 스페이서는, 소성 변형량이 크고, 또한, 표면 평활성이 우수하고, 3 ∼ 50㎛ 의 미세한 패턴까지 해상 가능하기 때문에 누락성이 양호하고, 포토 스페이서와 같은 패턴을 남기기에 적합하다. The photo spacer formed from the photosensitive resin composition for forming a photo spacer of the present invention has a large plastic deformation amount, is excellent in surface smoothness, and capable of resolving to a fine pattern of 3 to 50 μm, and thus has good omission property, Ideal for leaving the same pattern.

본 발명의 포토 스페이서 형성용 감광성 수지 조성물은, 액정 표시 장치에 있어서의 포토 스페이서의 형성에 사용할 수 있는 것 외에, 절연막 (컨택트홀 형성), 오버 코트 (평탄화막), 액정 배향 제어용의 돌기 형성재의 형성에도 사용할 수 있다. 또한, 그들의 접착에 사용되는 접착제로서 사용할 수 있다.The photosensitive resin composition for forming a photo spacer of the present invention can be used for formation of a photo spacer in a liquid crystal display device, and also includes an insulating film (contact hole formation), an overcoat (flattening film), and a projection forming material for liquid crystal alignment control. It can also be used for formation. Moreover, it can use as an adhesive agent used for their adhesion.

Claims (6)

바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 그 광중합성 화합물 (B) 가 식 (I) 로 표시되는 화합물을 함유하고, 식 (I) 로 표시되는 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C) 의 합계량에 대하여, 질량 분율로, 20 ∼ 40 질량% 이고, 바인더 수지 (A) 의 분자량 분포 [중량 평균 분자량 (Mw)/수평균 분자량 (Mn)] 가 1.5 ~ 6.0 인 포토 스페이서용 감광성 수지 조성물. A photosensitive resin composition containing a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the photopolymerizable compound (B) contains a compound represented by formula (I) The content of the photopolymerizable compound (B) represented by the formula (I) is 20 to 40 mass%, based on the mass fraction, of the total amount of the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B), and the photopolymerization initiator (C). And photosensitive resin composition for photo spacers whose molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of binder resin (A) is 1.5-6.0.
Figure 112013101451167-pat00013
Figure 112013101451167-pat00013
[식 (I) 중, R1 ∼ R6 은, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 하기 식 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기를 표시하고, R1 ∼ R6 의 적어도 4 개의 기는 (I-1) ∼ (I-3) 중 어느 하나의 기이고, R1 ∼ R6 의 적어도 1 개의 기는 (I-2) 또는 (I-3) 이다.][In formula (I), R <1> -R <6> respectively independently represents a hydrogen atom or any group of following formula (I-1)-(I-3), and is at least 4 of R <1> -R <6> . Groups are any of groups (I-1) to (I-3), and at least one group of R 1 to R 6 is (I-2) or (I-3).]
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삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 바인더 수지 (A) 가 화합물 (A2) ∼ (A5) 중 어느 것인가 적어도 2 종을 공중합시켜 얻어지는 수지인 조성물.A composition in which the binder resin (A) is a resin obtained by copolymerizing at least two kinds of any of the compounds (A2) to (A5). (A2) ; (A4) 와 공중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물(A2); Compound having an unsaturated bond copolymerizable with (A4) (A3) ; 불포화 결합을 갖는 카르복실산(A3); Carboxylic Acids Having Unsaturated Bonds (A4) ; 1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in 1 molecule (A5) ; 산 무수물(A5); Acid anhydride 단, (A2) ∼ (A5) 는, 각각, 서로 동일하지는 않다.However, (A2)-(A5) are not mutually the same, respectively. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 광중합 개시제 (C) 가 트리아진 화합물, 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 옥심 화합물 및 아실포스핀옥사이드 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 함유하는 조성물.The composition in which a photoinitiator (C) contains at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which consists of a triazine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, an oxime compound, and an acylphosphine oxide compound. 제 1 항 또는 제 3 항에 기재된 조성물을 사용하여 형성된 포토 스페이서.A photo spacer formed using the composition according to claim 1. 제 5 항에 기재된 포토 스페이서를 함유하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device containing the photo spacer of Claim 5.
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