KR20060077298A - 스토커 시스템 - Google Patents

스토커 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20060077298A
KR20060077298A KR1020040116111A KR20040116111A KR20060077298A KR 20060077298 A KR20060077298 A KR 20060077298A KR 1020040116111 A KR1020040116111 A KR 1020040116111A KR 20040116111 A KR20040116111 A KR 20040116111A KR 20060077298 A KR20060077298 A KR 20060077298A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer
disposed
base
stacker
stacker robot
Prior art date
Application number
KR1020040116111A
Other languages
English (en)
Inventor
이상석
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020040116111A priority Critical patent/KR20060077298A/ko
Publication of KR20060077298A publication Critical patent/KR20060077298A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 스토커 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트의 입출고 지체를 최소화할 수 있는 스토커 시스템에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 다수의 카세트(30)가 저장되고, 입출력 포트(112)를 가지는 적어도 2개 이상의 쉘프(101,102,103); 상기 쉘프들 사이의 반송 구간들(121,122)에 각각 배치되고, 상기 입력 포트에 있는 카세트(30)를 소정의 쉘프에 입고시키고, 소정의 쉘프에 있는 카세트를 출력 포트에 출고시키는 적어도 2개 이상의 스태커 로봇(201,202); 그리고, 상기 반송 구간들의 소정 부분에 배치되고, 소정의 반송 구간에서 다른 반송 구간으로 이동됨에 따라 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이동시키는 이송 유닛(301,302)을 포함하여 구성되는 스토커 시스템을 제공한다.
스토커 시스템, 반송 구간, 이송 유닛, 통로부

Description

스토커 시스템{Stocker System}
도 1은 일반적인 카세트 공정 시스템을 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 카세트 공정 시스템을 구성하는 스토커 시스템을 나타낸 구성도.
도 3은 도 1의 카세트 공정 시스템을 구성하는 스토커 시스템을 나타낸 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제1실시예를 나타낸 구성도.
도 5는 도 4의 스토커 시스템의 변형예를 나타낸 구성도.
도 6은 도 4의 스토커 시스템의 다른 변형예를 나타낸 구성도.
도 7은 도 4 내지 도 6의 스토커 시스템을 구성하는 이송 유닛의 일예를 나타낸 구성도.
도 8은 도 4 내지 도 6의 스토커 시스템을 구성하는 이송 유닛의 다른 예를 나타낸 구성도.
도 9는 도 4의 스토커 시스템의 작용을 나타낸 구성도.
도 10은 도 4의 스토커 시스템의 작용을 나타낸 구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
101,102,103 : 쉘프 111 : 카세트 안착부
112 : 입출력 포트 115 : 유지보수룸
121,122 : 반송 구간 125,126 : 반송 가이드
201,202 : 스태커 로봇 210 : 본체
220 : 로봇암 230 : 반송 트레일러
231 : 바퀴 301,302 : 이송 유닛
310 : 베이스 311 : 랙
320 : 이송 트레일러 321 : 연결 가이드
322 : 피니언 323 : 구동장치
330 : 전원공급부 351 : 볼스크류
361 : 슬라이딩부 363 : 구동장치
본 발명은 스토커 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트의 입출고 지체를 최소화 시킬 수 있는 스토커 시스템을 제공한다.
일반적으로, 액정표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력 및 풀 칼라 구현 등의 특징을 가지며, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등으로부터 항공용 모니터, 개인 휴대용 단말기 등에 다양하게 적용되고 있다. 이러한 액정표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VRD(Vaccuum Fluorescent Display) 등이 있다.
상기 액정표시장치의 액정표시패널은, 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 구비된 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극이 구비된 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 게재된 액정층으로 이루어진다.
상기와 같이 구성되는 액정표시장치의 제조공정은, 어레이 공정, 셀 제조공정, 그리고 모듈 공정으로 크게 나뉘어진다.
상기 액정표시패널의 제조에는 유기 기판과 같은 기판이 이용된다. 이러한 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납부에 다수개 적층된 상태로 각 공정 장치에 투입되어 단위 공정을 거치게 된다.
도 1을 참조하여, 카세트 공정 시스템에 관해 설명하기로 한다.
상기 카세트 공정 시스템은, 크게 카세트(30 : 도 2 참조)들을 입고, 저장 및 출고하는 스토커 시스템(1)과, 소정의 단위 공정을 수행하는 공정 장치들(2)과, 스토커 시스템의 카세트(30)를 소정의 공정 장치에 반송하거나 또는 소정의 단위 공정이 완료된 카세트를 소정의 공정 장치로부터 스토커 시스템으로 반송하는 자동반송장치(Auto Guided Vehicle : AGV)(3)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 자동반송장치의 이동 경로를 안내하는 반송 라인(AGV Line)(4)이 설치된다.
상기와 같은 카세트 공정 시스템에서, 각 단위 공정이 끝나거나, 단위 공정을 거쳐야 하는 다수의 카세트들을 입고, 저장 및 출고하는 시스템을 이른바 스토커 시스템(Stocker system)이다.
도 2 및 도 3을 참조하여, 스토커 시스템에 관해 설명하기로 한다.
상기 스토커 시스템은 카세트(30)를 저장할 수 있는 카세트 안착부(11)를 가지는 적어도 2개 이상의 쉘프(10)와, 상기 쉘프의 카세트(30)를 인입출하는 스태커 로봇(20)을 포함하여 구성된다.
상기 각 쉘프(10)에는 카세트(30)를 상기 스토커 시스템에 입고하거나 출고할 수 있는 자동 입출력 포트(12)가 구비된다. 도 3에서는 시스템의 운용상 동일한 포트(12)를 입력 포트 및 출력 포트로 사용할 수 있기 때문에 입출력 포트라고 칭하기로 한다. 또한, 상기 쉘프들에는 각 반송 구간에 1개씩의 유지보수룸(17)이 설치된다. 상기 유지보수룸에서는 고장난 스태커 로봇을 수리한다.
상기 쉘프(10)들 사이에는 스태커 로봇(20)이 배치된다. 상기 스태커 로봇(20)은 카세트(30)를 쉘프(10)와 입출력 포트(12)에 입출고 시키는 로봇암(21)을 포함하여 구성된다. 상기 스태커 로봇(20)에는 카세트(30)와 쉘프의 카세트 안착부(11)에 관한 정보를 인지할 수 있는 장치들(미도시)이 설치된다. 따라서, 상기 스태커 로봇(20)은 카세트(30)가 저장될 쉘프(10)의 수납 공간을 찾아 이동한 후 상기 카세트를 저장한다. 그리고 출고 되어야 할 카세트를 찾아 상기 출력 포트로 출고시킨다. 상기 출력 포트로 반송된 카세트는 상기 자동반송장치에 의해 소정의 공정장치까지 반송된다.
한편, 스토커 시스템의 오류, 고장 및 정체 등에 의해 상기 카세트(30)를 자동으로 입고하거나 출고할 수 없을 때, 작업자가 카세트를 수동으로 입고하거나 출고할 수 있는 수동 입출고 포트(14)가 구비된다.
상술한 스토커 시스템는 하나의 제어부(미도시) 또는 다수의 연결된 제어부 에 의해 유기적으로 제어된다. 그런데, 최근에는 최소의 비용으로 최대의 생산성을 얻기 위한 노력의 일환으로 생산 라인의 공간 활용도를 극대화시려는 시도가 이루어지고 있다. 따라서, 좁은 공간에 보다 많은 장비들이 배치되어 제조 공정을 수행할 수 있도록 생산 라인이 설계되고 있다.
그러나, 상술한 스토커 시스템은 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 상기 쉘프들은 병렬로 배치되고, 이 쉘프들 사이에는 스태커 로봇이 각각 설치되므로, 공간 활용도를 극대화할 수는 있다. 그런데, 상기 스태커 로봇은 쉘프에 의해 양측이 가로막혀 있으므로, 상기 스태커 로봇이 고장나면 이를 수리하는 동안에 해당 쉘프에서는 카세트의 입출고를 할 수 없게 되는 문제점이 있었다. 또한, 소정의 스태커 로봇이 업무 부하가 많이 걸리는 경우에도, 다른 스태커 로봇이 도와줄 수 없는 문제점이 있었다.
둘째, 상기 스태커 시스템과 각 공정장치들은 자동반송장치에 의해 연계되어 공정을 수행한다. 따라서, 소정의 스태커 로봇에 업무 부하가 많이 걸리거나 또는 소정 스태커가 고장나는 경우, 상기 공정장치들의 후속 공정이 지체되거나 또는 정지되는 문제점이 있었다. 더우기, 쉘프의 공간 집적도가 극대화될 수록 상기 각 공정장치들의 용량 및 공정 속도가 높아질 수 밖에 없으므로, 상기 스태커 로봇이 업무 부하가 많이 걸리거나 고장나면 단위 시간당 생산 효율이 종래에 비해 현저히 감소되는 문제점이 있었다.
셋째, 상기 각 스태커 로봇은 양측 쉘프에 의해 제한된 공간만을 이동하므로, 상기 양측 쉘프 중 어느 하나에는 스태커 로봇을 유지보수할 수 있는 유지보수 룸을 설치해야 한다. 따라서, 유지보수룸의 수가 증가할 수 밖에 없어 공간 집적도를 저해하는 문제점이 있었다.
상기한 제반 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 목적은, 소정의 스태커 로봇이 고장나는 경우에도 해당 쉘프에서 카세트를 입출고시킬 수 있고, 소정의 스태커 로봇의 업무 부하가 많이 걸린 경우 다른 스태커 로봇이 도와줄 수 있는 스토커 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 소정의 스태커 로봇이 고장나는 경우에도 각 공정장치들의 생산효율을 일정하게 유지할 수 있는 스토커 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 스태커 로봇을 유지보수하기 위한 유지보수룸의 수를 감소시켜, 공간 집적도를 증가시킬 수 있는 스토커 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일형태에 의하면, 다수의 카세트가 저장되고, 입출력 포트를 가지는 적어도 2개 이상의 쉘프; 상기 쉘프들 사이의 반송 구간들에 각각 배치되고, 상기 입력 포트에 있는 카세트를 소정의 쉘프에 입고시키고, 소정의 쉘프에 있는 카세트를 출력 포트에 출고시키는 적어도 2개 이상의 스태커 로봇; 그리고, 상기 반송 구간들의 소정 부분에 배치되고, 소정의 반송 구간에서 다른 반송 구간으로 이동됨에 따라 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이동시키는 이송 유닛을 포함하여 구성되는 스토커 시스템을 제공한다.
상기 쉘프들 사이에는 적어도 1개 이상씩의 스태커 로봇이 설치되고, 상기 스태커 로봇 사이에 배치되는 쉘프에는 상기 이송 유닛과 스태커 로봇이 통과할 수 있도록 통로부가 각각 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 쉘프들에는 스태커 로봇을 수리할 수 있도록 적어도 1개 이상의 유지보수룸이 설치되는 것이 바람직하다.
상기 이송 유닛은, 상기 통로부에 대응되도록 배치되고, 적어도 2개 이상의 반송 구간들을 가로지르도록 배치되는 베이스와, 상기 각 반송 구간에 각각 배치되고, 상기 베이스의 상측에 배치되고, 상기 베이스를 따라 이동 가능하게 설치되어 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이동시키는 이송 트레일러와, 상기 이송 트레일러가 베이스를 따라 이동되도록 구동력를 제공하는 구동장치를 포함하여 구성된다.
상기 각 반송 구간에는 스태커 로봇이 쉘프를 따라 이동되도록 안내하는 반송 가이드가 더 설치되는 것이 바람직하다.
상기 이송 트레일러에는 상기 이송 트레일러가 소정의 반송 구간에 배치될 경우 상기 반송 가이드와 동일한 연장선을 이루도록 연결 가이드가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 스태커 로봇과 구동장치에 전원을 공급할 수 있도록 전원공급부가 더 설치되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 전원공급부는 스태커 로봇과 소정 간극 이격되어 비접촉식으로 전원을 공급하는 것이 바람직하다.
상기 베이스의 상면에는 반송 구간들을 가로지르는 방향으로 랙이 설치되고, 상기 이송 트레일러에는 상기 베이스의 랙에 맞물려 회전되도록 피니언이 설치되고, 상기 이송 트레일러의 피니언에는 구동장치가 연결된다. 이때, 상기 구동장치는 이송 트레일러에 고정된다. 또한, 상기 베이스의 랙은 상기 반송 구간들과 수직하게 배치되는 것이 바람직하다.
또, 상기 베이스에는 반송 구간들을 가로지르는 방향으로 볼스크류가 설치되고, 상기 베이스 또는 이송 트레일러에는 상기 볼스크류를 회전시키도록 구동장치가 설치되고, 상기 이송 트레일러는 상기 볼스크류와 맞물려 슬라이딩되도록 설치될 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, 스태커 로봇이 고장나더라도 해당 쉘프에서 카세트를 입출고시킬 수 있고, 각 공정장치들의 생산효율을 일정하게 유지며, 유지보수룸의 수를 감소시켜 공간 집적도를 더욱 증가시킬 수 있다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제1실시예를 설명하면 다음과 같다.
상기 스토커 시스템은, 다수의 카세트(30)가 저장되고, 입출력 포트(112)를 가지는 적어도 2개 이상의 쉘프(101,102,103)와, 상기 각 쉘프들 사이의 반송 구간(121,122)에 각각 배치되고, 상기 입력 포트에 있는 카세트를 소정의 쉘프에 입고시키고, 소정의 쉘프에 있는 카세트를 출력 포트에 출고시키는 적어도 2개 이상의 스태커 로봇(201,202)과, 상기 반송 구간들의 소정 부분에 배치되고, 소정의 반송 구간에서 다른 반송 구간으로 이동됨에 따라 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이송시키는 이송 유닛(301,302)을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 입출력 포트(112)는 입력 전용 포트와 출력 전용 포트를 획일적으로 정할 수 있다. 그러나, 스토커 시스템의 운용에 따라 동일한 포트를 입력 포트와 출력 포트로 이용할 수도 있기 때문에, 실질적으로는 입력 포트와 출력 포트를 구별할 필요가 없을 경우도 있다. 따라서, 이하에서는 자동 입출력 포트에 동일한 부호를 부여한다.
상기 쉘프(101,102,103)의 입출력 포트에는 상기 카세트(30)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(미도시)가 구비된다. 또한, 상기 카세트의 소정 부분에, 예컨데, 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(미도시)가 배치된다. 상기 ID 표시부로는 바 코드(bar code)를 제시한다.
상기 쉘프들(101,102,103) 사이의 각 반송 구간(121,122)에는 적어도 1개 이상씩의 스태커 로봇(201,202)이 설치된다. 가령, 각 반송 구간(121,122)에는 도 4와 같이 1씩의 스태커 로봇(201,202)이 각각 설치된다. 또한, 반송 구간들(121,122) 중 일부의 반송 구간(122)에는 도 5와 같이 2개의 스태커 로봇(202,203)이 설치될 수도 있다. 이때, 상기 쉘프(101,102,103)의 길이가 길어짐에 따라 상기 스태커 로봇의 반송 구간(121,122)이 길어지고 업무 부하가 많이 걸리므로, 상기 각 반송 구간(121,122)의 길이에 따라 스태커 로봇의 설치 개수가 적절하게 설계되어야 할 것이다. 또한, 각 공정 장치의 처리 속도 및 처리 용량을 감안하여 스태커 로봇의 설치 개수가 적절하게 설계되어야 할 것이다. 여기서, 반송 구간(121,122)은 마주보는 2개의 쉘프(101,102,103)에 의해 구획된 구간, 다시 말해 도 4 내지 도 6에서 좌우 방향으로 스태커 로봇(201,202)이 이동되는 구간을 의미한다. 따라서, 도 5와 같이 하나의 반송 구간(122)에 2개의 스태커 로봇(202,203)이 설치되는 경우, 실질적으로 반송 구간(122)이 2개로 분할된다.
상기 각 반송 구간(121,122)에는 스태커 로봇(201,202)이 쉘프(101,102,103)를 따라 이동될 수 있도록 반송 가이드(125,126)가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 스태커 로봇들(201,202) 사이에 배치되는 쉘프(102)(도 4 내지 도 6에서 중간에 배치된 쉘프)에는 상기 이송 유닛(301,302)과 스태커 로봇(201,202)이 통과할 수 있도록 통로부(400)가 각각 형성된다. 이때. 상기 스태커 로봇들(201,202) 사이에 배치되는 쉘프(102)는 통로부(400)에 의해 분할된다. 물론, 스태커 로봇 사이에 배치되는 쉘프(102)의 일단부, 예컨대 유지보수룸(115) 측 일단부에 통로부(400)를 배치할 수 있음도 이해 가능하다.
또한, 상기 쉘프들(101,102,103)에는 스태커 로봇(201,202)을 수리할 수 있도록 적어도 1개 이상의 유지보수룸(115)이 설치된다. 가령, 상기 쉘프들(101,102,103)에는 도 4 및 도 5와 같이 각 반송 구간(121,122)마다 1개씩의 유지보수룸(115)을 설치한다. 또는, 상기 스태커 로봇(201,202)은 이송 유닛(301,302)에 의해 다른 반송 구간(121,122)으로 이동될 수 있기 때문에, 상기 쉘프들에 도 6과 같이 단지 1개의 유지보수룸(115)을 설치할 수 있다. 공간 활용도 측면에서는 단지 1개의 유지보수룸(115)을 설치하는 것이 바람직하다. 물론, 상기 반송 구간 (121,122)이 다수개 설치되는 경우, 일부의 반송구간에만 유지보수룸(115)을 설치할 수 있음도 이해 가능하다.
상기 반송 구간들(121,122)에는 도 4 내지 도 6에 나타난 바와 같이 상기 통로부(400)에 대응되도록 이송 유닛(301,302)이 각각 설치된다. 즉, 반송 구간(121,122)마다 이송 유닛(301,302)이 설치된다.
도 7을 참조하여, 상술한 이송 유닛과 스태커 로봇에 관해 설명하기로 한다.
상기 스태커 로봇(201,202)은, 카세트(30)가 탑재되는 본체(210)와, 상기 본체(210)에 설치되어 탑재된 카세트를 상하좌우로 움직이는 로봇암(220)과, 상기 본체(210)를 쉘프(101,102,103)의 길이방향으로 이동시키는 반송 트레일러(230)를 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 반송 트레일러(230)의 하부에는 상기 스태커 로봇(201,202)을 통로부(400)를 통과하는 방향으로 이송시키도록 이송 유닛(301,302)이 설치된다. 즉, 상기 반송 트레일러(230)는 스태커 로봇(201,202)을 반송 가이드(125,126)를 따라 이동시키고(도 4내지 도 6에서 좌우방향), 상기 이송 유닛(301,302)은 스태커 로봇(201,202)을 통로부(400)를 따라 이동시키는 장치이다(도 4 내지 도 6에서 상하방향). 따라서, 상기 반송 트레일러(230)와 이송 유닛(301,302)은 대략 직교하는 방향으로 운동한다.
상기 반송 트레일러(230)에는 회전됨에 따라 상기 스태커 로봇(201,202)을 이동시킬 수 있도록 별도의 바퀴(231)가 설치된다. 이러한 바퀴(231)는 다양한 형태가 적용될 수 있다.
상기 이송 유닛(301,302)은, 상기 통로부(400)에 대응되도록 배치되고, 반송 구간(121,122)을 가로지르도록 배치되는 베이스(310)와, 상기 각 반송 구간에 각각 배치되고, 상기 베이스의 상측에 배치되고, 상기 베이스를 따라 이동 가능하게 설치되어 상기 스태커 로봇을 다른 반송 가이드로 이동시키는 이송 트레일러(320)와, 상기 이송 트레일러(320)가 베이스(310)를 따라 이동되도록 구동력를 제공하는 구동장치(323)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 베이스(310)와 이송 트레일러(320)는 대략 평판형으로 형성된다. 물론, 상기 베이스(310)와 이송 트레일러(320)는 틀 형태로 형성되거나 기타 다양한 형태로 변경 가능하다.
상기 이송 트레일러(320)에는 상기 이송 트레일러(320)가 소정의 반송 구간(121,122)에 위치될 경우 상기 반송 가이드(125,126)와 동일한 연장선을 이루도록 연결 가이드(321)가 설치되는 것이 바람직하다. 보다 상세하게는, 상기 이송 트레일러(320)가 소정의 반송 구간(121,122)에 위치되는 경우, 상기 스태커 로봇(201,202)이 상기 반송 가이드(125,126)로부터 연결 가이드(321)로 진입할 수 있는 상태가 되어, 상기 스태커 로봇(201,202)이 이송 트레일러(320)에 탑재될 수 있도록 한다. 또한, 상기 이송 트레일러(320)가 통로부(400)를 따라 이송되는 경우, 상기 연결 가이드(321)는 소정의 반송 가이드(125,126)로부터 분리되어 상기 소정의 반송 가이드와 어긋나게 된다. 따라서, 상기 이송 트레일러(320)가 소정의 반송 구간에 위치할 경우, 상기 연결 가이드(321)와 반송 가이드(125,126)는 실질적으로 동일한 선로를 이룬다. 그러나, 상기 이송 트레일러(320)가 통로부(400)를 따라 이 동할 경우, 그렇지 않다.
상술한 연결 가이드(321)와 반송 가이드(125,126)로는 선로(rail)를 제시한다. 상기 선로는 단선이나 복선으로 구성될 수 있다. 또, 상기 연결 가이드와 반송 가이드는 소정의 선로홈으로 이루어질 수도 있다. 이러한 연결 가이드와 반송 가이드는 상기 스태커 로봇(201,202)를 쉘프(101,102,103)방향 경로를 갖도록 안내할 수 있는 한 다양한 형태가 적용될 수 있다.
이때, 상기 베이스(310)는 각 반송 가이드(125,126)를 가로지르는 방향으로 배치된다. 이때, 상기 베이스(310)는 도 4 내지 도 6과 같이 반송 가이드(125,126)와 대략 수직하게 설치되는 것이 바람직하다. 이는 스태커 로봇(201,202)이 통로부(400)를 통과할 때에 그 동선을 단축시키킴으로써, 이송 및 반송 능력을 향상시키기 위함이다. 물론, 상기 베이스는 각 반송 가이드를 연결하면 충분하므로, 상기 각 반송 가이드와 반드시 수직해야 될 필요는 없다.
또한, 상기 스태커 로봇(201,202)과 구동장치(323)에 전원을 공급하도록 전원공급부(330)가 더 설치되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 전원공급부(330)는 통로부(400)의 양측에 설치될 수 있다. 상기 전원공급부(330)는 스태커 로봇(201,202)을 상기 이송 유닛(301,302)에 의해 다른 반송 가이드로 이동시킬 때에 상기 스태커 로봇(201,202)과 이송 유닛(301,302)의 구동장치(323)에 전원을 공급한다. 이때, 상기 전원공급부(330)는 비접촉식으로 전원을 공급하도록 설치된다. 가령, 고강도 방전으로 전원을 공급하는 HID(High Intensity Discharge) 전원선을 설치한다. 물론, 스태커 로봇(201,202)과 이송 유닛(301,302)이 다른 반송 가이드 로 이동될 때에 상기 스태커 로봇(201,202)과 구동장치(323)에 전원을 공급할 수 있다면, 별도의 전원공급부를 설치할 필요가 없다.
한편, 상기 베이스(310)의 상면에는 반송 가이드(125,126)를 가로지르는 방향으로 랙(311)이 설치되고, 상기 이송 트레일러(320)에는 상기 베이스의 랙(311)에 맞물려 회전되도록 피니언(322)이 설치되며, 상기 이송 트레일러(320)의 피니언(322)에는 구동장치(323)가 연결된다. 이때, 상기 구동장치(323)는 피니언에 구동모터의 샤프트가 축결합되는 직결구동방식을 적용하거나, 벨트와 풀리에 의해 구동모터와 피니언이 연결되는 간접구동방식이 적용될 수 있다.
상기 베이스의 랙(311)은 상기 반송 가이드(125,126)들과 수직하게 배치되는 것이 바람직하다. 이는 이송 트레일러(320)와 스태커 로봇(201,202)의 동선을 단축시킴으로써, 이송 및 반송 효율을 향상시키기 위함이다. 또한, 상기 랙(311)은 1개가 설치되거나 2개 이상이 설치될 수도 있다.
또한, 구동장치(323)는 이송 트레일러(320)에 고정된다. 따라서, 상기 구동장치는 이송 트레일러(320)와 함께 움직인다.
상기 이송 유닛의 다른 예를 들면 다음과 같다.
도 8을 참조하면, 상기 베이스(310)에는 반송 가이드들(125,126)을 가로지르는 방향으로 볼스크류(351)가 설치되고, 상기 베이스(310) 또는 이송 트레일러(320)에는 상기 볼스크류(351)를 회전시키도록 구동장치(363)가 설치되며, 상기 이송 트레일러(320)는 상기 볼스크류(351)와 맞물려 슬라이딩되도록 설치된다. 여기서, 상기 볼스크류(351)는 상술한 랙(311)과 피니언(322)에 대응되는 작용을 하고, 상기 구동장치(363)는 볼스크류(351)를 회전시키는 점에서 도 7의 이송 유닛(301,302)과 차이가 있다.
이때, 상기 볼스크류(351)는 각 반송 가이드(125,126)와 수직하게 배치된다. 따라서, 상기 이송 트레일러(320)와 스태커 로봇(201,202)의 동선을 단축시킬 수 있다. 또한, 상기 볼스크류(351)는 1개가 설치되거나 2개 이상이 설치될 수도 있다.
또한, 상기 구동장치(363)는 볼스크류(351)를 회전시키도록 설치되므로, 상기 이송 트레일러(320)와 함께 이동되지 않는다. 즉, 구동장치(363)는 베이스(310) 또는 볼스크류(351)의 끝단부가 위치하는 곳에 고정된다.
또한, 상기 이송 트레일러(320)의 소정 부분에는 상기 볼스크류(351)의 맞물려 슬라이딩되도록 별도의 슬라이딩부(361)가 설치되는 것이 바람직하다. 이러한 슬라이딩부(361)는 볼스크류(351)와 맞물리는 한 다양한 위치에 배치될 수 있다. 가령, 상기 슬라이딩부(361)는 트레일러의 일측 또는 중심부 등에 배치될 수 있다.
상기에서 이송 트레일러의 랙 피니언 구조나 볼스크류 구조는 정확한 이동 거리 조절이 가능하고 하중이 무거운 장치를 이동시키기에 충분히 견딜 수 있는 장점이 있다.
상술한 본 발명에 따른 스토커 시스템의 작용에 관해 설명하기로 한다.
상기 입력 포트(112)의 리더기(미도시)가 상기 ID 표시부를 읽음으로써 상기 스토커 시스템은 입고되는 카세트(30)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(30)를 출고할 때에는 상기 스토커 시스템에서 수신된 반송 정보와 일 치하는 ID 정보를 가진 카세트(30)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇(201,202)을 이용하여 수납 공간으로부터 출력 포트(112)로 카세트(30)를 운송하게 된다.
동시에, 제어부에서 스토커 시스템의 카세트(30) 입출고 현황을 파악하여, 어느 스태커 로봇(201,202)의 입출고 업무에 부하가 많이 걸려 있는지를 전체적으로 판단한다. 상기 제어부에서 소정의 스태커 로봇(201)의 입출고 업무에 부하가 많이 걸려 있다고 판단되면, 입출고 업무에 여유가 있는 스태커 로봇(202)은 다른 반송 가이드(125)로 이동한다.
이때, 상기 스태커 로봇(202)은 제어부의 명령에 의해 반송 가이드(126)를 따라 연결 가이드(321)로 이동한다. 이 상태에서 구동장치가 가동됨에 따라 상기 이송 트레일러(320)는 도 9에 나타난 바와 같이 통로부(400)를 통과하여 다른 반송 가이드(125)로 이동한다. 다른 반송 가이드(125)로 이동된 스태커 로봇(202)은 도 10에 나타난 바와 같이 다른 반송 가이드(125)를 따라 카세트(30)의 입출고 업무를 소정 시간동안 수행함으로써, 상기 업무 부하가 많이 걸린 스태커 로봇(201)의 업무 부하를 덜어줄 수 있다. 이어, 제어부에서는 이동된 스태커 로봇(202)을 원위치에 복귀시켜 자신의 반송 구간(122)에서 카세트(30)를 입출고시키도록 한다. 이때, 이송 유닛은 상술한 것과 역순으로 이동한다.
이렇게 소정의 스태커 로봇(202)이 자신의 반송 구간(122)과 다른 반송 구간(121)을 번갈아가면서 카세트(30)를 입출고할 수 있도록 한다. 따라서, 일정 구간의 카세트(30) 입출고 업무에 많은 부하가 걸려리더라도 다른 스태커 로봇(202)이 도와주도록 함으로써, 전체 공정이 보다 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.
또한, 상기 이송 유닛은 소정의 스태커 로봇이 고장나서 유지보수룸(115)에 입고시킬 때에도 고장난 스테커 로봇을 다른 반송 가이드로 이송 시킬 때에도 적용이 가능하다.
본 발명의 기술적 사상은 상술한 실시예에 국한된 것이 아니라 예시적으로 여겨져야 할 것이며, 첨부된 청구항 및 이와 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.
상기에서 설명한 본 발명에 따른 스토커 시스템의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 상기 통로부를 통해 스태커 로봇이 다른 반송 구간으로 이송될 수 있다. 따라서, 소정의 스태커 로봇에 업무 부하가 많이 걸릴 경우, 여유가 있는 다른 스태커 로봇이 이송 유닛에 의해 업무 부하가 많은 반송 구간으로 이송되어 업무를 도와줄 수 있는 효과가 있다. 결국, 반송 구간들의 업무 부하를 평준화시킬 수 있으며, 후속 공정이 지체되거나 정지되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 소정의 스태커 로봇이 고장나서 유지보수룸에 입고된 경우에도, 다른 스태커 로봇이 2개의 반송 구간을 번갈아가면서 카세트를 입출시키므로, 후속 공정이 지체되는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
셋째, 상기 각 스태커 로봇은 다른 반송 구간으로 이동할 수 있기 때문에, 종래에 비해 유지보수룸의 수를 감소시킬 수 있고, 그 만큼 공간 집적도를 증대시 킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 다수의 카세트가 저장되고, 입출력 포트를 가지는 적어도 2개 이상의 쉘프;
    상기 쉘프들 사이의 반송 구간들에 각각 배치되고, 상기 입력 포트에 있는 카세트를 소정의 쉘프에 입고시키고, 소정의 쉘프에 있는 카세트를 출력 포트에 출고시키는 적어도 2개 이상의 스태커 로봇; 그리고,
    상기 반송 구간들의 소정 부분에 배치되고, 소정의 반송 구간에서 다른 반송 구간으로 이동됨에 따라 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이동시키는 이송 유닛을 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 쉘프들 사이에는 적어도 1개 이상씩의 스태커 로봇이 설치되고,
    상기 스태커 로봇 사이에 배치되는 쉘프에는 상기 이송 유닛과 스태커 로봇이 통과할 수 있도록 통로부가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 쉘프들에는 스태커 로봇을 수리할 수 있도록 적어도 1개 이상의 유지보수룸이 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  4. 제2항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 유닛은:
    상기 통로부에 대응되도록 배치되고, 적어도 2개 이상의 반송 구간들을 가로지르도록 배치되는 베이스;
    상기 각 반송 구간에 각각 배치되고, 상기 베이스의 상측에 배치되고, 상기 베이스를 따라 이동 가능하게 설치되어 상기 스태커 로봇을 다른 반송 구간으로 이동시키는 이송 트레일러; 그리고,
    상기 이송 트레일러가 베이스를 따라 이동되도록 구동력를 제공하는 구동장치를 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 각 반송 구간에는 스태커 로봇이 쉘프를 따라 이동되도록 안내하는 반송 가이드가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 이송 트레일러에는 상기 이송 트레일러가 소정의 반송 구간에 배치될 경우 상기 반송 가이드와 동일한 연장선을 이루도록 연결 가이드가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 스태커 로봇과 구동장치에 전원을 공급할 수 있도록 전원공급부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 전원공급부는 스태커 로봇과 소정 간극 이격되어 비접촉식으로 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 베이스는 반송 구간들을 가로지르는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 베이스의 상면에는 반송 구간들을 가로지르는 방향으로 랙이 설치되고,
    상기 이송 트레일러에는 상기 베이스의 랙에 맞물려 회전되도록 피니언이 설치되고,
    상기 이송 트레일러의 피니언에는 구동장치가 연결되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 구동장치는 이송 트레일러에 고정되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 베이스의 랙은 상기 반송 구간들과 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  13. 제4항에 있어서,
    상기 베이스에는 반송 구간들을 가로지르는 방향으로 볼스크류가 설치되고,
    상기 베이스 또는 이송 트레일러에는 상기 볼스크류를 회전시키도록 구동장치가 설치되고,
    상기 이송 트레일러는 상기 볼스크류와 맞물려 슬라이딩되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 이송 트레일러의 소정 부분에는 상기 볼스크류와 맞물려 슬라이딩되도록 슬라이딩부가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
KR1020040116111A 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템 KR20060077298A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040116111A KR20060077298A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040116111A KR20060077298A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060077298A true KR20060077298A (ko) 2006-07-05

Family

ID=37169404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040116111A KR20060077298A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060077298A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4690414B2 (ja) ワーク搬入出システム及び搬送装置
JP2006206218A (ja) ガラス基板等の搬送システム
US8152431B2 (en) Stocking system
KR101890160B1 (ko) 반송대차 메인트 리프터
CN111908123A (zh) 储料器输送机
KR100959680B1 (ko) 기판 이송 시스템
KR20060077298A (ko) 스토커 시스템
KR101264681B1 (ko) 카세트 저장용 스토커
KR101340786B1 (ko) 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치
JP4428661B2 (ja) カセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法
KR20070019423A (ko) 평판표시소자 제조장치
KR20060077301A (ko) 스토커 시스템
KR100989157B1 (ko) 카세트 반송 시스템 및 반송 방법
US7720563B2 (en) Stocker driving system and stocker driving method using the same
KR100959127B1 (ko) 스토커
KR20070112568A (ko) 스토커 시스템 및 그의 제어 방법
KR102037724B1 (ko) 평면디스플레이용 기판 이송시스템
KR100983573B1 (ko) 스토커 시스템 및 카세트 입고 시 이의 제어 방법
KR20090024580A (ko) 카세트 이송장치 및 카세트 이송방법
KR102623307B1 (ko) 오버헤드 컨베이어용 대차
KR20050105599A (ko) 스토커 시스템
KR20060077300A (ko) 스토커 시스템 및 그 제어방법
KR101048709B1 (ko) 스토커의 제어시스템
KR20050060371A (ko) 스토커
KR20060136000A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination