KR20060077301A - 스토커 시스템 - Google Patents

스토커 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20060077301A
KR20060077301A KR1020040116114A KR20040116114A KR20060077301A KR 20060077301 A KR20060077301 A KR 20060077301A KR 1020040116114 A KR1020040116114 A KR 1020040116114A KR 20040116114 A KR20040116114 A KR 20040116114A KR 20060077301 A KR20060077301 A KR 20060077301A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shelf
lift
stacker
maintenance room
maintenance
Prior art date
Application number
KR1020040116114A
Other languages
English (en)
Inventor
음노선
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020040116114A priority Critical patent/KR20060077301A/ko
Publication of KR20060077301A publication Critical patent/KR20060077301A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 스토커 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 쉘프 전체에 카세트 안착부를 배치하여 공간 집약도를 향상시키고, 후속 공정이 원활하게 진행되도록 하는 스토커 시스템에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 다수의 카세트를 수납하는 쉘프; 상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇; 상기 반송 구간의 지하에 배치되는 2개의 유지보수실; 그리고, 상기 각 유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치:를 포함하여 구성되는 스토커 시스템을 제공한다.
스토커 시스템, 유지보수실, 스태커 로봇

Description

스토커 시스템{Stocker System}
도 1은 종래 인라인 공정 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 2는 도 1의 스토커 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 3은 도 2의 스토커 시스템의 작용을 나타낸 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제1실시예를 나타낸 구성도.
도 5는 도 5의 스토커 시스템의 작용을 나타낸 구성도.
도 6은 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제2실시예를 나타낸 구성도.
도 7은 도 6의 스토커 시스템의 작용을 나타낸 구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 쉘프 111 : 카세트 안착부
112 : 교환 포트 121,122 : 스태커 로봇
131,132,231,232 : 유지보수실 140a,140b,240a,240b : 승강장치
141,241 : 리프트 142,242 : 승강 가이드
143,243 : 구동장치 144,244 : 체인
145,245 : 모터 151,152,252 : 반송구간 연결부
본 발명은 스토커 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 공간 집약도를 향상시키고, 후속 공정의 지체 또는 정지를 최소화시키는 스토커 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력 및 풀 칼라 구현 등의 특징을 가지며, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등으로부터 항공용 모니터, 개인 휴대용 단말기 등에 다양하게 적용되고 있다. 이러한 액정표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VRD(Vaccuum Fluorescent Display) 등이 있다.
상기 액정표시장치의 액정표시패널은, 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 구비된 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극이 구비된 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 게재된 액정층으로 이루어진다.
상기와 같이 구성되는 액정표시장치의 제조공정은, 어레이 공정, 셀 제조공정, 그리고 모듈 공정으로 크게 나뉘어진다.
상기 액정표시패널의 제조에는 유기 기판과 같은 기판이 이용된다. 이러한 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납부에 다수개 적층된 상태로 각 공정 장치에 투입되어 단위 공정을 거치게 된다.
도 1을 참조하여, 카세트 공정 시스템에 관해 설명하기로 한다.
상기 카세트 공정 시스템은, 크게 카세트(30 : 도 2 참조)들을 입고, 저장 및 출고하는 스토커 시스템(1)과, 소정의 단위 공정을 수행하는 공정 장치들(2)과, 스토커 시스템의 카세트(30)를 소정의 공정 장치에 반송하거나 또는 소정의 단위 공정이 완료된 카세트를 소정의 공정 장치로부터 스토커 시스템으로 반송하는 자동반송장치(Auto Guided Vehicle : AGV)(3)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 자동반송장치의 이동 경로를 안내하는 반송 라인(AGV Line)(4)이 설치된다.
상기와 같은 카세트 공정 시스템에서, 각 단위 공정이 끝나거나, 단위 공정을 거쳐야 하는 다수의 카세트들을 입고, 저장 및 출고하는 시스템을 이른바 스토커 시스템(Stocker system)이다.
도 2를 참조하여, 스토커 시스템에 관해 설명하기로 한다.
상기 스토커 시스템은 카세트(30)를 저장할 수 있는 카세트 안착부(11)를 가지는 쉘프(10)와, 상기 쉘프의 카세트(30)를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇(21,22)을 포함하여 구성된다.
이때, 상기 각 쉘프(10)에는 상기 스토커 시스템에 카세트를 입고하거나 출고할 수 있는 자동 입출력 포트(미도시)가 구비된다. 또한, 상기 쉘프의 중심부에는 2대의 스태커 로봇이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포트(15)가 배치되고, 상기 쉘프의 양측에는 고장난 스태커 로봇을 수리하기 위한 유지보수실(17,18)이 배치된다.
상기 스태커 로봇(21,22)은 카세트(30)를 쉘프(10)와 입출력 포트(미도시)에 입출고 시키는 로봇암을 포함하여 구성된다. 상기 스태커 로봇(21,22)에는 카세트(30)와 쉘프의 카세트 안착부(11)에 관한 정보를 인지할 수 있는 장치들(미도시)이 설치된다. 따라서, 상기 스태커 로봇(21,22)은 카세트(30)가 저장될 쉘프(10)의 수납 공간을 찾아 이동한 후 상기 카세트를 저장한다. 그리고 출고 되어야 할 카세트를 찾아 상기 출력 포트로 출고시킨다. 상기 출력 포트로 반송된 카세트는 상기 자동반송장치에 의해 소정의 공정장치까지 반송된다.
상술한 스토커 시스템는 하나의 제어부(미도시) 또는 다수의 연결된 제어부에 의해 유기적으로 제어된다. 그런데, 최근에는 최소의 비용으로 최대의 생산성을 얻기 위한 노력의 일환으로 생산 라인의 공간 활용도를 극대화시려는 시도가 이루어지고 있다. 따라서, 좁은 공간에 보다 많은 장비들이 배치되고 보다 많은 카세트가 수납될 수 있도록 생산 라인이 설계되고 있다.
도 3을 참조하여, 종래 스토커 시스템의 작용에 관해 설명하기로 한다.
상기 2대의 스태커 로봇(21,22)은 교환 포트(15)를 통해 카세트를 주고 받으면서 상기 쉘프(10)의 카세트(30)를 입출력 포트로 입출고 시킨다. 상기 스태커 로봇 중 어느 한 대(22)에 고장이 나면, 고장난 스태커 로봇(22)은 가까운 유지보수실(18)에 입고되어 수리된다. 이때, 나머지 1대의 스태커 로봇(21)은 쉘프의 반송 구간 전체를 이송하면서 카세트(11)를 입출고하게 된다.
그러나, 상술한 스토커 시스템은 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 상기 쉘프에 2대의 스태커 로봇이 설치되는 경우, 쉘프에 유지보수실을 2개 마련해야 하므로, 상기 유지보수실의 공간만큼 공간 집약도가 저해되는 문제점이 있었다.
둘째, 상기 입출력 포트가 쉘프의 일측에 배치되는 경우, 상기 입출력 포트 측 스태커 로봇이 고장나면 상기 쉘프에서는 더 이상 카세트를 입출고 시킬 수 없고, 따라서, 후속 공정이 정지될 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
상술한 제반 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 목적은 스토커 시스템의 공간 집약도를 향상시킬 수 있는 스토커 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 하나의 스태커 로봇이 고장나 유지보수실에 입고되더라도 나머지 하나의 스태커 로봇으로 인라인 공정 장비에 카세트를 입출고시킬 수 잇는 스토커 시스템을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태에 따르면, 다수의 카세트를 수납하는 쉘프; 상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇; 상기 반송 구간의 지하에 배치되는 2개의 유지보수실; 그리고, 상기 각 유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치를 포함하여 구성되는 스토커 시스템을 제공한다.
상기 각 유지보수실은 쉘프의 양측 끝단측에 대응되도록 배치되는 것이 바람직하다.
상기 승강장치는, 상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트; 상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드; 그리고, 상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치를 포함하여 구성된다.
상기 유지보수실의 상측에는 상기 리프트의 하강 후 상기 유지보수실의 개구 된 상단을 커버하여 상기 스태커 로봇이 유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 하는 반송 구간 연결부가 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 다른 형태에 따르면, 다수의 카세트를 수납하는 쉘프; 상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇; 상기 쉘프에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제1유지보수실; 상기 반송 구간의 지하에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제2유지보수실; 그리고, 상기 제2유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치를 포함하여 구성되는 스토커 시스템을 제공한다.
상기 제1,2유지보수실은 상하로 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 제1,2유지보수실은 쉘프의 일측 끝단측에 대응되도록 배치되는 것이 보다 바람직하다.
상기 승강장치는, 상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트; 상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드; 그리고, 상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치를 포함하여 구성된다.
상기 제2유지보수실의 상측에는 상기 리프트의 하강 후 상기 제2유지보수실의 개구된 상단을 커버하여 상기 스태커 로봇이 제2유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 하는 반송 구간 연결부가 설치되는 것이 보다 바람직하다.
따라서, 본 발명에 의하면, 스토커 시스템의 공간 집약도를 향상시키고, 인라인 공정 장비에 영향을 최소한의 영향을 주는 것이 가능하다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예 를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제1실시예를 설명하면 다음과 같다.
상기 스토커 시스템은, 다수의 카세트를 수납하는 쉘프(110)와, 상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇(121,122)과, 상기 반송 구간의 지하에 배치되는 2개의 유지보수실(131,132)과, 상기 각 유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치(140a,140b)를 포함하여 구성된다.
상기 쉘프(110)에는 카세트(C)를 수납할 수 있도록 다수개의 카세트 수납부(111)가 설치된다. 또한, 쉘프의 일측 끝단부 또는 소정 부분에 입출력 포트(미도시)가 배치되며, 쉘프의 중심부에는 2대의 스태커 로봇이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포트(112)가 배치된다. 상기 교환 포트는 쉘프의 중심부에 배치되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 각 유지보수실(131,132)은 쉘프(110)의 양측 끝단측에 대응되도록 배치된다. 이러한 유지보수실은 스태커 로봇의 수용 공간과 작업자가 작업할 수 있는 충분한 공간을 갖는다. 이때, 유지보수실은 반송 구간의 하부에 배치되므로, 유지보수실의 크기는 공간 집약도에 영향을 미치지 않는다. 또한, 종래에 유지보수실을 쉘프에 배치한 것만큼의 공간을 카세트를 수납할 수 있는 공간으로 사용할 수 있다.
상기 승강장치(140a,140b)는, 상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트(141)와, 상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드(142)와, 상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치(143)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 리프트의 상면에는 스태커 로봇이 반송 구간에서 카세트를 이송시킬 때에는 이송 선로 역할을 할 수 있도록 레일(미도시)이 설치된다. 또한, 구동장치는(143) 리프트와 연결되는 체인(144)과, 상기 체인에 의해 구동력을 전달하여 상기 리프트를 승강시키는 모터(145)를 포함하여 구성된다.
상술한 유지보수실(131,132)의 상측에는 상기 리프트(141)의 하강 후 상기 유지보수실의 개구된 상단을 커버하도록 반송 구간 연결부(151,152)가 설치된다. 이러한 반송 구간 연결부는 스태커 로봇이 유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 한다.
또한, 상기 쉘프의 소정 부분 또는 일측에는 입출력 포트(미도시)가 배치된다. 이러한 입출력 포트를 통해 카세트를 인라인 공정 장비에 출고시키거나 인라인 장비로부터 카세트를 입고시킨다.
도 5를 참조하여, 본 발명의 제1실시예의 작용에 관해 설명하기로 한다.
제어부(미도시)에서 2대의 스태커 로봇(121,122)에 입출고 명령을 내리면, 상기 2대의 스태커 로봇은 교환 포트(112)를 통해 카세트(C)를 주고 받으면서 카세트를 인라인 장비에 입고 또는 출고시킨다.
이러한 공정 중에 하나의 스태커 로봇(122)이 고장나면, 상기 스태커 로봇은 리프트(141)에 탑재된다. 승강장치의 모터(145)가 가동되면, 모터의 구동력은 체인(144)을 매개로 하여 리프트(141)에 전달된다. 이에 따라, 상기 리프트(141)는 스 태커 로봇(122)을 유지보수실(132) 내로 입고시킨다.
이때, 상기 반송 구간 연결부(152)는 별도의 구동장치에 의해 상기 유지보수실(132)의 개구된 상면을 덮는다. 상기 반송 구간 연결부의 상면에는 레일이 배치되므로, 상기 반송 구간 연결부는 임시적인 선로 역할을 수행한다.
또한, 나머지 하나의 스태커 로봇(121)은 유지보수실의 상측을 포함한 반송 구간을 전체적으로 이송되면서 상기 쉘프(110)의 카세트를 인라인 장비에 공급한다.
이러한게 입고된 스태커 로봇(122)을 작업자들이 수리한다. 수리된 스태커 로봇은 상술한 입고 순서와는 반대로 반송 구간에 복귀된다.
도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 스토커 시스템의 제2실시예를 설명하면 다음과 같다.
상기 스토커 시스템은, 다수의 카세트를 수납하는 쉘프(110)와, 상기 쉘프의 카세트(C)를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇(121,122)과, 상기 쉘프에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제1유지보수실(231)과, 상기 반송 구간의 지하에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제2유지보수실(232)과, 상기 제2유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치(240)를 포함하여 구성된다.
상기 쉘프(110)에는 카세트(C)를 수납할 수 있도록 다수개의 카세트 안착부(111)가 설치된다. 또한, 쉘프의 일측 끝단부 또는 소정 부분에는 입출력 포트(미도시)가 배치되며, 쉘프의 중심부에는 2대의 스태커 로봇이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포트(112)가 배치된다.
이때, 상기 제1,2유지보수실(231,232)은 상하로 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다.
상기 제2유지보수실(232)은 스태커 로봇의 수용 공간과 작업자가 작업할 수 있는 충분한 공간을 갖는다. 이때, 제2유지보수실(232)은 반송 구간의 하부에 배치되므로, 유지보수실의 크기는 공간 집약도에 영향을 미치지 않는다. 또한, 종래의 유지보수실을 쉘프에 배치한 것만큼의 공간을 카세트를 수납할 수 있는 공간으로 사용할 수 있다.
상기 승강장치(240)는, 상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트(241)와, 상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드(242)와, 상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치(243)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 리프트(241)의 상면에는 스태커 로봇이 반송 구간에서 카세트를 이송시킬 때에는 이송 선로 역할을 할 수 있도록 레일(미도시)이 설치된다. 또한, 구동장치(243)는 리프트와 연결되는 체인(244)과, 상기 체인에 의해 구동력을 전달하여 상기 리프트를 승강시키는 모터(245)를 포함하여 구성된다.
상술한 제2유지보수실(232)의 상측에는 상기 리프트(241)의 하강 후 상기 제2유지보수실(232)의 개구된 상단을 커버하도록 반송 구간 연결부(252)가 설치된다. 이러한 반송 구간 연결부는 스태커 로봇이 제2유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 한다. 이때, 상기 반송 구간, 리프트 및 반송 구간 연결부의 선로는 일직선의 선로를 이룬다.
또한, 상기 쉘프(110)에는 2대의 스태커 로봇(121,122)이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포트(112)가 설치된다. 이러한 교환 포트는 쉘프의 중심부에 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 쉘프의 소정 부분 또는 일측에는 입출력 포트(미도시)가 배치된다. 이러한 입출력 포트를 통해 카세트를 인라인 공정 장비에 출고시키거나 인라인 장비로부터 카세트를 입고시킨다.
도 7을 참조하여, 본 발명의 제2실시예의 작용에 관해 설명하기로 한다.
제어부에서 2대의 스태커 로봇(121,122)에 입출고 명령을 내리면, 상기 2대의 스태커 로봇은 교환 포트(112)를 통해 카세트를 주고 받으면서 카세트를 인라인 장비에 입고 또는 출고시킨다.
이러한 공정 중에 하나의 스태커 로봇(122)이 고장나면, 상기 스태커 로봇은 제1,2유지보수실(231,232) 중 어느 하나에 입고된다. 이때, 스태커 로봇의 고장이 경미한 경우, 상시 스태커 로봇은 쉘프에 마련된 제1유지보수실(231)로 입고되는 것이 바람직하다. 또한, 스태커 로봇이 중대한 경우, 상기 스태커 로봇은 지하에 마련된 제2유지보수실(232)로 입고되는 것이 바람직하다. 이처럼 작업 난이도의 경중에 따라 입고되는 유지보수실을 달리함으로써 상기 스태커 로봇을 수리하는 시간을 단축시킬 수 있다.
고장난 스태커 로봇이 지하에 마련된 제2유지보수실로 입고되는 경우에 관해 설명한다.
고장난 스태커 로봇(232)은 리프트(241)에 탑재된다. 승강장치의 모터(245) 가 가동되면, 모터의 구동력은 체인(244)을 매개로 하여 리프트(241)에 전달된다. 이에 따라, 상기 리프트(241)는 스태커 로봇(232)을 제2유지보수실(232) 내로 입고시킨다.
이때, 상기 반송 구간 연결부(252)는 별도의 구동장치에 의해 상기 제2유지보수실(234)의 개구된 상면을 덮는다. 상기 반송 구간 연결부의 상면에는 레일(미도시)이 배치되므로, 상기 반송 구간 연결부는 임시적인 선로 역할을 수행한다.
또한, 나머지 하나의 스태커 로봇(121)은 제2유지보수실(232)의 상측을 포함한 반송 구간을 전체적으로 이송되면서 상기 쉘프의 카세트를 인라인 장비에 공급한다.
이러한게 입고된 스태커 로봇을 작업자들이 수리한다. 수리된 스태커 로봇은 상술한 입고 순서와는 반대로 반송 구간에 복귀된다.
한편, 따라서, 도 7의 좌측에 위치한 스태커 로봇(121)이 고장났을 경우, 도 7의 우측에 위치한 스태커 로봇(122)이 상기 반송 구간 연결부(252)로 이동한 후에 상기 좌측에 위치한 스태커 로봇(121)이 제1,2유지보수실(231,232) 중 어느 하나에 입고된다. 그리고, 우측 스태커 로봇(232)이 전체의 반송 구간을 이송하면서 카세트를 입출고 시킨다.
본 발명의 기술적 사상은 상술한 실시예에 국한된 것이 아니라 예시적으로 여겨져야 할 것이며, 첨부된 청구항 및 이와 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.
상기에서 설명한 본 발명에 따른 스토커 시스템의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명의 제1실시예에 의하면, 상기 2개의 유지보수실이 모두 지하에 배치되므로, 상기 유지보수실의 크기에 관계없이 공간 집약도가 향상되는 효과가 있다.
둘째, 본 발명의 제1,2실시예에 의하면, 지하의 유지보수실의 상측을 커버할 수 있도록 반송 구간 연결부가 설치되므로, 한 대의 고장난 스태커 로봇이 수리중이더라도 반송 구간을 전체적으로 이송되면서 카세트를 입출고시킬 수 있는 효과가 있다. 더우기, 입출력 포트가 어느 측에 배치되더라도 카세트를 입출고 시킬 수 있는 효과가 있다.
셋째, 본 발명의 제2실시예에 의하면, 지하와 지상에 유지보수실이 마련되므로, 스태커 로봇의 고장 경중에 따라 지하 또는 지상의 유지보수실에 스태커 로봇을 선택적으로 입고시킬 수 있는 효과가 있다. 따라서, 스태커 로봇의 수리시간을 단축할 수 있다.

Claims (11)

  1. 다수의 카세트를 수납하는 쉘프;
    상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇;
    상기 반송 구간의 지하에 배치되는 2개의 유지보수실; 그리고,
    상기 각 유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치:를 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 유지보수실은 쉘프의 양측 끝단측에 대응되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 승강장치는:
    상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트;
    상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드; 그리고,
    상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치를 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지보수실의 상측에는 상기 리프트의 하강 후 상기 유지보수실의 개구된 상단을 커버하여 상기 스태커 로봇이 유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 하는 반송 구간 연결부가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 쉘프에는 2대의 스태커 로봇이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포트가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  6. 다수의 카세트를 수납하는 쉘프;
    상기 쉘프의 카세트를 입출고시키도록 상기 쉘프의 반송 구간에 이송 가능하게 설치되는 2대의 스태커 로봇;
    상기 쉘프에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제1유지보수실;
    상기 반송 구간의 지하에 스태커 로봇을 수리하도록 설치되는 제2유지보수실; 그리고,
    상기 제2유지보수실 내에 상기 스태커 로봇을 입출고시키도록 설치되는 승강장치:를 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1,2유지보수실은 상하로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 스토 커 시스템.
  8. 제6항에 있어서,
    제1,2유지보수실은 쉘프의 일측 끝단측에 대응되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 승강장치는:
    상기 스태커 로봇이 탑재되는 리프트;
    상기 리프트의 승강시 리프트를 가이드하는 승강 가이드; 그리고,
    상기 리프트와 연결되어 상기 리프트를 승강시키는 구동장치를 포함하여 구성되는 스토커 시스템.
  10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2유지보수실의 상측에는 상기 리프트의 하강 후 상기 제2유지보수실의 개구된 상단을 커버하여 상기 스태커 로봇이 제2유지보수실 구간에서 이송 가능하도록 하는 반송 구간 연결부가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 쉘프에는 2대의 스태커 로봇이 카세트를 주고 받을 수 있도록 교환 포 트가 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
KR1020040116114A 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템 KR20060077301A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040116114A KR20060077301A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040116114A KR20060077301A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060077301A true KR20060077301A (ko) 2006-07-05

Family

ID=37169407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040116114A KR20060077301A (ko) 2004-12-30 2004-12-30 스토커 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060077301A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101890160B1 (ko) 반송대차 메인트 리프터
KR20070117316A (ko) 카세트 이송장치
KR100959680B1 (ko) 기판 이송 시스템
KR100966434B1 (ko) 카세트 적재장비
KR20060077301A (ko) 스토커 시스템
KR100565747B1 (ko) 스토커 시스템 및 그의 운전방법
KR20070019423A (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101264681B1 (ko) 카세트 저장용 스토커
KR20070112568A (ko) 스토커 시스템 및 그의 제어 방법
KR20090024580A (ko) 카세트 이송장치 및 카세트 이송방법
KR101383977B1 (ko) 기판 로딩 장치
KR100989157B1 (ko) 카세트 반송 시스템 및 반송 방법
JP2013165177A (ja) ストッカー装置
KR20060136000A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR20070000030A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR100983573B1 (ko) 스토커 시스템 및 카세트 입고 시 이의 제어 방법
KR20060077298A (ko) 스토커 시스템
KR100959127B1 (ko) 스토커
KR101337029B1 (ko) 카세트 반송용 엘리베이터
KR20050105599A (ko) 스토커 시스템
KR101346890B1 (ko) 원장 이송 로봇
KR20220132821A (ko) 오버헤드 컨베이어용 대차
KR20070068580A (ko) 글라스 반송 시스템 및 이를 이용한 글라스 반송방법
KR101055195B1 (ko) 액정표시장치의 제조장치
KR20220103545A (ko) 증착 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination