KR20060062700A - Method of producing a substrate unit for plasma display panel - Google Patents

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KR20060062700A
KR20060062700A KR1020040101637A KR20040101637A KR20060062700A KR 20060062700 A KR20060062700 A KR 20060062700A KR 1020040101637 A KR1020040101637 A KR 1020040101637A KR 20040101637 A KR20040101637 A KR 20040101637A KR 20060062700 A KR20060062700 A KR 20060062700A
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홍종기
강태경
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법은, 화상이 구현되는 표시영역과, 화상이 구현되지 않는 비표시영역이 형성될 기판을 고정하는 고정단계와, 상호 이격되어 나란한 X전극과 Y전극을 한 쌍으로 하는 유지전극쌍들을 상기 기판에 형성하는 배치단계와, 상기 기판 상에 유전체를 도포하여 상기 유지전극쌍들을 덮도록 유전체층을 형성하는 형성단계와, 상기 유전체층 중 상기 비표시영역이 될 부분에 형성된 비표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 비표시부 유전체층부를 식각한 후에, 상기 유전체층 중 상기 표시영역이 될 부분에 형성된 표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 표시영역 유전체층부를 식각하는 식각단계와, 상기 유전체층을 소성하는 소성단계를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 표시영역 유전체층부에 동일한 그루브들이 형성되게 되어, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전특성이 향상된다. A method of manufacturing a substrate unit for a plasma display panel according to the present invention includes a fixing step of fixing a display area on which an image is implemented and a substrate on which a non-display area on which an image is not to be formed, and an X electrode and Y spaced apart from each other. A disposing step of forming sustain electrode pairs having a pair of electrodes on the substrate, forming a dielectric layer to cover the sustain electrode pairs by applying a dielectric on the substrate, and wherein the non-display area of the dielectric layer is After the non-display portion dielectric layer portion is etched so that grooves are formed in the non-display region dielectric layer portion formed in the portion to be formed, the display region dielectric layer portion is etched so that grooves are formed in the display region dielectric layer portion formed in the portion of the dielectric layer to be the display region. And an etching step and a firing step of firing the dielectric layer. As a result, the same grooves are formed in the display region dielectric layer, thereby improving discharge characteristics of the plasma display panel.

Description

디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법{Method of producing a substrate unit for plasma display panel}Method for producing substrate unit for display panel {Method of producing a substrate unit for plasma display panel}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 분리 사시도이다. 1 is a partially separated perspective view illustrating a typical plasma display panel.

도 2는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판의 배면도이다. 2 is a rear view of a front substrate of a conventional plasma display panel.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판의 배면도이다. 3 is a rear view of the front substrate of the plasma display panel according to the present invention.

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 3.

도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선 단면도이다. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10...전방 패널 11...전면 기판 10 ... front panel 11 ... front board

12...유지전극쌍 13...상측 유전체층 12 Holding electrode pairs 13 Upper dielectric layer

14...보호층 20...후방 패널14 ... protective layer 20 ... rear panel

21...후면 기판 22...어드레스 전극 21.Rear substrate 22.Address electrode

23...하측 유전체층 24...방전셀23 Lower dielectric layer 24 Discharge cell

25...격벽 26...형광체층 25 bulkhead 26 phosphor layer

100...플라즈마 디스플레이 패널 121...X전극 100 ... plasma display panel 121 ... X electrode

122...Y전극 121a, 122a...투명전극122 ... Y electrode 121a, 122a ... transparent electrode

121b,122b...버스전극 241...표시 방전셀 121b, 122b ... Bus electrode 241 ... Discharge cell                 

242...비표시 셀 30...그루브242 ... non-display cell 30 ... groove

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시영역에 배치된 유전체층이 과식각되는 것을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a substrate unit for a plasma display panel, and more particularly, to a method for manufacturing a substrate unit for a plasma display panel capable of preventing overetching of a dielectric layer disposed in a display area.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel)은 가스방전 현상을 이용하여 화상을 표시하는 평판 디스플레이장치로서, 박형화가 가능하고 넓은 시야각을 갖는 고품질의 대화면을 구현할 수 있어서 최근 박형의 대형 평판 디스플레이지장치로 각광을 받고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 패널에서는, 전극들간에 인가되는 직류 혹은 교류 전압에 의하여 방전가스가 충전된 방전셀 내에서 방전을 발생시키고, 상기 방전가스로부터 방출되는 자외선이 형광체를 여기시켜 가시광선을 발광시킴으로써 화상을 구현한다. In general, a plasma display panel is a flat panel display device that displays an image by using a gas discharge phenomenon, and is a thin flat panel display device that is thin in size and has a large viewing angle with a wide viewing angle. I am in the limelight. In such a plasma display panel, a discharge is generated in a discharge cell filled with a discharge gas by a direct current or an alternating voltage applied between electrodes, and ultraviolet rays emitted from the discharge gas excite a phosphor to emit visible light, thereby generating an image. Implement

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 분리 사시도이다. 도 1을 참조하면, 플라즈마 디스플레이 패널은 전방 패널(10)과 후방 패널(20)이 접합되어 제조된다. 1 is a partially separated perspective view illustrating a typical plasma display panel. Referring to FIG. 1, the plasma display panel is manufactured by bonding the front panel 10 and the rear panel 20 to each other.

상기 전방 패널(10)은 전면 기판(11), 상기 전면 기판(11)의 저면에 형성된 X전극(121) 및 Y전극(122)을 포함하는 유지전극쌍(12) 및 상기 유지전극쌍(12)을 덮고 있는 상측 유전체층(13)을 구비한다. 상기 상측 유전체층(13)은 통상 MgO로 형성되는 보호층(14)에 의하여 덮인다. 상기 후방 패널(20)은, 후면 기판(21), 상기 후면 기판(21)의 상면에 상기 유지전극쌍(12)들과 교차하도록 형성된 어드레스 전극(22)들, 상기 어드레스 전극(22)들을 덮고 있는 하측 유전체층(23), 상기 하측 유전체층(23) 상에 형성되어 상기 유지전극쌍(12)과 함께 방전셀들(24)을 한정하는 격벽(25) 및 상기 격벽(25)의 측벽과 상기 하측 유전체층(23)의 상면에 형성된 형광체층(26)을 구비한다. The front panel 10 includes the front substrate 11, the sustain electrode pair 12 including the X electrode 121 and the Y electrode 122 formed on the bottom surface of the front substrate 11, and the sustain electrode pair 12. ) Is provided with an upper dielectric layer 13. The upper dielectric layer 13 is covered by a protective layer 14 usually formed of MgO. The rear panel 20 covers the rear substrate 21, the address electrodes 22 formed on the upper surface of the rear substrate 21 to intersect the pair of sustain electrodes 12, and the address electrodes 22. A lower dielectric layer 23, a barrier rib 25 formed on the lower dielectric layer 23 and defining the discharge cells 24 together with the sustain electrode pair 12, and sidewalls of the barrier rib 25 and the lower side. The phosphor layer 26 formed on the upper surface of the dielectric layer 23 is provided.

상기 방전셀들(24)은 내부에서의 플라즈마 방전을 통해 화상이 구현되는 표시 방전셀(241)과, 그 내부에서 화상이 표시되지 않는 비표시 셀(242)로 대별된다. 상기 비표시 셀(242)은 상기 전면 기판(11)의 최외곽에 배치되어 있다. 상기 상측 유전체층(13)에는 플라즈마 디스플레이 패널의 휘도를 향상시키기 위해서 일정한 간격으로 그루브(30)들이 형성되어 있는데, 상기 비표시 셀(242)은 방전에 의해 화상이 구현되지 않는 공간이므로, 상기 그루브(242)들은 일반적으로 상기 각 표시 방전셀(241)에만 형성되어 있다. The discharge cells 24 are roughly divided into a display discharge cell 241 in which an image is realized through plasma discharge therein and a non-display cell 242 in which an image is not displayed therein. The non-display cell 242 is disposed at the outermost side of the front substrate 11. Grooves 30 are formed in the upper dielectric layer 13 at regular intervals in order to improve the brightness of the plasma display panel. The non-display cell 242 is a space where an image is not realized by discharge, and thus the grooves ( 242 are generally formed only in each of the display discharge cells 241.

이와 같은 전방 패널(10)을 제조하기 위해서, 먼저 전면 기판(11) 상에 X전극(121)과 Y전극(122)의 유지전극쌍(12)을 소정의 패턴으로 형성한다. X전극(121)과 Y전극(122)에 각각 구비된 투명전극(121a, 122a)은 ITO 등의 소재를 포토 에칭법 등으로 형성한다. X전극(121)과 Y전극(122)에 각각 구비된 버스전극(121b, 121b)은 크롬/구리/크롬 또는 크롬/알루미늄/크롬의 다층 구조나, 다른 구조를 포토 에칭법 또는 감광성 페이스트법을 이용하여 형성한다. In order to manufacture the front panel 10, the sustain electrode pairs 12 of the X electrode 121 and the Y electrode 122 are first formed on the front substrate 11 in a predetermined pattern. The transparent electrodes 121a and 122a provided in the X electrode 121 and the Y electrode 122, respectively, are formed of a material such as ITO by photo etching. The bus electrodes 121b and 121b respectively provided in the X electrode 121 and the Y electrode 122 have a multilayer structure of chromium / copper / chromium or chromium / aluminum / chromium, or other structures using a photoetching method or a photosensitive paste method. To form.

전면 기판(11) 상에 유지전극쌍(12)을 형성한 후에는, 전면 기판(11) 상에 상측 유전체층(13)을 스크린 인쇄하여 형성한다. 스크린 마스크(screen mask)를 상기 유지전극쌍(13)들이 형성된 전면 기판(11)의 상측에 배치하고, 스퀴저(squeezer)가 그림에서의 붓의 역할을 하고, 상측 유전체층(13)을 형성하는 소재의 페이스트(paste)가 물감의 역할을 함으로써 인쇄를 하게 된다. 상기 스크린 마스크는 일정한 두께를 가지는 SUS 재질의 망사로 짜여져 있는데, 이 사이를 페이스트가 통과함으로써 두께가 균일한 상측 유전체층(13)의 도포가 가능해진다. After the sustain electrode pairs 12 are formed on the front substrate 11, the upper dielectric layer 13 is formed on the front substrate 11 by screen printing. A screen mask is disposed above the front substrate 11 on which the sustain electrode pairs 13 are formed, and a squeezer serves as a brush in the figure and forms the upper dielectric layer 13. The paste of the material serves as a paint to print. The screen mask is woven with a mesh of SUS material having a constant thickness, and the paste passes through the upper dielectric layer 13 with a uniform thickness.

이와 같이 상측 유전체층(13)이 형성된 후에는, 식각단계를 거쳐 원하는 패턴의 그루브(30)들을 형성하게 된다. 즉, 포토레지스트에 소정의 기능재를 분산시킨 다음에 필요에 따라 바인더, 분산제, 계면활성제, 감광보조제 등을 첨가하여 감광성 페이스트를 만든 후, 상측 유전체층(13)을 덮도록 도포하고 건조 한 후, 소정의 패턴을 가지는 노광용 포토마스크(photo mask)를 통하여 노광 및 현상하여 원하는 패턴의 그루브(30)들을 상측 유전체층(13)에 형성하게 되는데, 이러한 일련의 과정은 롤러 등과 같은 운송장치에 의해 전면 기판(1)이 일방향, 예컨대 도 2에 화살표로 도시된 방향으로 이동되면서 실행된다. 마지막으로 상측 유전체층(11)을 소성하는 단계를 거쳐 전방 패널(10)이 제조된다. After the upper dielectric layer 13 is formed as described above, grooves 30 having a desired pattern are formed through an etching step. That is, after dispersing a predetermined functional material in the photoresist, a binder, a dispersant, a surfactant, a photosensitizer and the like are added to make a photosensitive paste, and then coated and dried to cover the upper dielectric layer 13. Exposure and development are performed through an exposure photomask having a predetermined pattern to form grooves 30 of the desired pattern in the upper dielectric layer 13. This series of processes is performed by a transport device such as a roller and the like. (1) is executed while moving in one direction, for example, the direction shown by the arrow in FIG. Finally, the front panel 10 is manufactured by firing the upper dielectric layer 11.

그런데, 표시 방전셀(241)들에만 그루브(30)들이 배치되어 있고, 전면 기판(1)이 일방향으로 움직임에 따라 현상액이 상측 유전체층(13)의 가장자리부터 중심부쪽으로 뿌려져서 그루브(30)들이 형성되게 되는데, 현상액 분출장치의 최초 가동시의 불안정한 작동 등으로 인해 현상액이 제일 먼저 뿌려지는 부분은 그 이후에 뿌려지는 부분보다 더 많이 식각되게 된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 표시 방 전셀(241)의 첫번째 열에 형성된 각 그루브(30)의 폭(a)은 두번째 열 이후의 열들에 형성된 각 그루브(30)의 폭(b)보다 더 크게 된다. 이와 같이 과식각된 그루브(30)들은 방전공간의 차이를 발생시켜서 각 표시 방전셀(241)의 휘도 차이를 발생시키게 되어, 고품질의 화상을 구현하지 못하게 하는 문제점이 있다. However, grooves 30 are disposed only in the display discharge cells 241, and as the front substrate 1 moves in one direction, the developer is sprayed from the edge of the upper dielectric layer 13 toward the center to form the grooves 30. In the first operation of the developer ejection apparatus, the unstable operation, etc., causes the first portion of the developer to be etched more than the portion sprayed thereafter. That is, as shown in FIG. 2, the width a of each groove 30 formed in the first column of the display discharge cell 241 is larger than the width b of each groove 30 formed in the columns after the second column. do. The grooves 30 etched in this way generate a difference in discharge space, thereby causing a difference in luminance of each display discharge cell 241, thereby preventing a high quality image from being realized.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 표시영역에 배치된 유전체층이 과식각되는 것을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a substrate unit for a plasma display panel which can prevent the dielectric layer disposed in the display area from being overetched.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법은, 화상이 구현되는 표시영역과, 화상이 구현되지 않는 비표시영역이 형성될 기판을 고정하는 고정단계와, 상호 이격되어 나란한 X전극과 Y전극을 한 쌍으로 하는 유지전극쌍들을 상기 기판에 형성하는 배치단계와, 상기 기판 상에 유전체를 도포하여 상기 유지전극쌍들을 덮도록 유전체층을 형성하는 형성단계와, 상기 유전체층 중 상기 비표시영역이 될 부분에 형성된 비표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 비표시부 유전체층부를 식각한 후에, 상기 유전체층 중 상기 표시영역이 될 부분에 형성된 표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 표시영역 유전체층부를 식각하는 식각단계와, 상기 유전체층을 소성하는 소성단계를 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a method of manufacturing a substrate unit for a plasma display panel according to the present invention includes a fixing step of fixing a display area on which an image is implemented and a substrate on which a non-display area on which an image is not implemented is formed. A disposing step of forming sustain electrode pairs having a pair of spaced and parallel X and Y electrodes on the substrate, and forming a dielectric layer to cover the sustain electrode pairs by applying a dielectric on the substrate; After etching the non-display portion dielectric layer portion formed in the non-display region dielectric layer portion formed in the portion of the dielectric layer to be the non-display region, grooves are formed in the display region dielectric layer portion formed in the portion of the dielectric layer to be the display region An etching step of etching the display area dielectric layer portion and a firing step of firing the dielectric layer. And that is characterized.

본 발명에 따르면, 상기 식각단계는 상기 비표시부 유전체층부로부터 상기 표시부 유전체층부로 연속적으로 이루어지는 것이 바람직하다. According to the present invention, the etching may be performed continuously from the non-display dielectric layer portion to the display dielectric layer portion.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 그루브는 상기 X전극과 Y전극 사이에 상호간에 동일 간격으로 복수개 배치되어 있는 것이 바람직하다. In addition, according to the present invention, it is preferable that a plurality of the grooves are arranged at equal intervals between the X electrode and the Y electrode.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 표시부 유전체층부에 마련된 그루브는 상기 기판의 표면이 노출되도록 식각되는 것이 바람직하다. In addition, according to the present invention, the grooves provided in the display layer dielectric layer portion is preferably etched to expose the surface of the substrate.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판의 배면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이며, 도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선 단면도이다. 3 is a rear view of the front substrate of the plasma display panel according to the present invention, FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 3, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line V-V of FIG.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트는 고정단계와, 배치단계와, 형성단계와, 식각단계와, 소성단계를 거쳐서 제조된다. 본 실시예에 있어서 상기 플라즈마 디스플레이용 기판 유니트는 전방 패널(10)이며, 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 종래 기술에서 설명한 플라즈마 디스플레이 패널과 서로 동일한 구성 및 기능을 가지므로, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다. 아울러, 도 3 내지 도 5에 도시된 부재나 부위들 중 도 1 및 도 2에 도시된 것과 동일한 부재나 부위들에 대해서는 서로 동일한 참조부호를 부여하고 그 각각에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.3 to 5, the plasma display panel substrate unit according to the present embodiment is manufactured through a fixing step, an arrangement step, a forming step, an etching step, and a firing step. In the present exemplary embodiment, the plasma display substrate unit is the front panel 10, and the plasma display panel 100 has the same configuration and function as the plasma display panel described in the prior art, and thus the detailed description thereof will be omitted. do. In addition, among the members or parts shown in FIGS. 3 to 5, the same members or parts as those shown in FIGS. 1 and 2 are given the same reference numerals, and detailed descriptions thereof will be omitted.

상기 고정단계에서 기판이 고정된다. 상기 기판은 일반적으로 진공흡착에 의해 견고하게 고정될 수 있는 석정반 등과 같은 스테이지에 놓여지게 된다. 상기 기판은 본 실시예에 있어서 전면 기판(11)이며, 그 전면 기판(11)에는 화상이 구현 되는 표시영역과, 화상이 구현되지 않는 비표시영역이 형성되어 있다. 상기 표시영역은 화상이 구현되는 공간인 표시 방전셀(241)이 배치된 영역을 말하며, 상기 비표시영역은 화상이 구현되지 않는 비표시 셀(242)이 배치된 영역을 말한다. 상기 비표시 셀(242)은 상기 전면 기판(11)의 최외곽에 배치되어 있다. In the fixing step, the substrate is fixed. The substrate is generally placed on a stage, such as a stone tablet, which can be firmly fixed by vacuum adsorption. The substrate is the front substrate 11 in the present embodiment, and the front substrate 11 is formed with a display area where an image is implemented and a non-display area where an image is not implemented. The display area refers to an area in which the display discharge cells 241 are disposed, and the non-display area refers to an area in which the non-display cells 242 are not formed. The non-display cell 242 is disposed at the outermost side of the front substrate 11.

다음으로, 상기 배치단계에서 상호 이격되어 나란한 X전극(121)과 Y전극(122)을 한 쌍으로 하는 유지전극쌍(12)들이 상기 전면 기판(11)에 형성된다. 상기 유지전극쌍(12)은 종래 기술에서 설명한 바와 같이 널리 알려진 포토 에칭법 또는 감광성 페이스트법 등이 사용되어 형성된다. Next, sustain electrode pairs 12 having a pair of X electrodes 121 and Y electrodes 122 which are spaced apart from each other in the arrangement step are formed on the front substrate 11. The sustain electrode pair 12 is formed using a photo etching method, a photosensitive paste method, or the like which are widely known as described in the related art.

그 후에 상기 형성단계에서는, 종래 기술에서 설명한 바와 같이 스크린 마스크와 스퀴저 등이 사용되어 유전체가 상기 전면 기판(11) 상에 도포된다. 이와 같이 유전체가 도포되면 상기 유지전극쌍(12)들이 덮여져서 상측 유전체층(13)이 형성된다. Thereafter, in the forming step, a screen mask, a squeezer or the like is used as described in the prior art to apply a dielectric onto the front substrate 11. In this way, when the dielectric is applied, the sustain electrode pairs 12 are covered to form the upper dielectric layer 13.

다음으로, 상기 식각단계에서 그루브(30)들이 형성된다. 상기 그루부(30)들은 종래 기술에 설명한 것과 유사하게 감광성 페이스트가 도포되어 건조된 후에 원하는 패턴이 형성된 노광용 포토마스크를 통하여 노광 및 현상되어 형성된다. 그런데, 본 실시예에 있어서는 상기 전면 기판(11)이 롤러 등의 운송장치에 의해 도 3에 화살표로 도시된 방향으로 이동함에 따라 비표시부 유전체층부가 식각된 후에 표시부 유전체층부가 연속적으로 식각되도록 구성된다. 상기 비표시부 유전체층부는 상기 상측 유전체층(13) 중 상기 비표시영역이 될 부분에 형성된 유전체층부를 말한다. 상기 표시부 유전체층부는 상기 상측 유전체층(13) 중 상기 표시영역이 될 부분에 형성된 유전체층부를 말한다. 이와 같은 식각단계를 거치게 되면, 상기 그루브(30)들이 도 3에 도시된 바와 같이 제1열의 비표시 셀(242)들 및 표시 방전셀(241)들에 형성되어, 상기 X전극(121)과 Y전극(122) 사이에 상호간에 동일 간격으로 배치되게 된다. 상기 표시부 유전체층부에 마련된 각 그루브(30)는, 방전공간을 최대한 확대하기 위해서 도 4에 도시된 바와 같이 상기 전면 기판(11)의 표면이 노출되도록 형성되어 있다. Next, grooves 30 are formed in the etching step. The grooves 30 are formed by being exposed and developed through an exposure photomask in which a desired pattern is formed after the photosensitive paste is applied and dried similarly to those described in the prior art. However, in the present embodiment, the front substrate 11 is configured to be continuously etched after the non-display dielectric layer portion is etched as the front substrate 11 moves in the direction indicated by the arrow in FIG. The non-display portion dielectric layer portion refers to a dielectric layer portion formed on a portion of the upper dielectric layer 13 to be the non-display region. The display portion dielectric layer portion refers to a dielectric layer portion formed at a portion of the upper dielectric layer 13 to be the display area. When the etching step is performed, the grooves 30 are formed in the non-display cells 242 and the display discharge cells 241 in the first column, as shown in FIG. 3, to form the X electrode 121. The Y electrodes 122 are arranged at equal intervals. Each groove 30 provided in the display layer dielectric layer is formed to expose the surface of the front substrate 11 as shown in FIG. 4 in order to maximize the discharge space.

이와 같이 상기 비표시부 유전체층부가 제일 먼저 식각되는 경우에는, 비록 상기 비표시부 유전체층에 배치된 그루브(30)가 과식각되어 형성되더라도, 상기 표시부 유전체층부에는 상기 그루부(30)들이 원하는 패턴으로 형성되게 되므로, 상기 각 표시 방전셀(241)의 방전 공간이 동일하게 형성되고, 화상이 구현되는 경우에 상기 표시 방전셀(241)들 각각의 휘도가 동일하게 된다. 따라서, 고품질의 화상이 구현될 수 있게 된다. 또한, 공정 마진이 커지는 효과도 있다.When the non-display dielectric layer portion is etched first, even though the groove 30 disposed on the non-display dielectric layer is overetched, the groove 30 is formed in the display dielectric layer portion in a desired pattern. Therefore, the discharge spaces of the display discharge cells 241 are the same, and when the image is implemented, the luminance of each of the display discharge cells 241 is the same. Thus, a high quality image can be realized. It also has the effect of increasing the process margin.

마지막으로, 상기 소성단계에서 상기 상측 유전체층(13)이 소성된다. 따라서, 상기 상측 유전체층(13)에 상기 그루브(30)들이 일정한 패턴으로 형성되어, 도 3에 도시된 바와 같은 전방 패널(10)이 제조된다. Finally, the upper dielectric layer 13 is fired in the firing step. Thus, the grooves 30 are formed in a predetermined pattern on the upper dielectric layer 13, thereby manufacturing the front panel 10 as shown in FIG.

상기한 구성의 본 발명에 따르면, 과식각된 그루브가 비표시영역 유전체층부에 형성되고, 표시영역 유전체층부에는 동일한 크기의 그루브들이 형성되게 되므로, 각 표시 방전셀의 방전공간이 동일하게 형성된다. 따라서, 플라즈마 디스플레이 패널을 구동하는 경우에, 각 표시 방전셀의 휘도가 동일하게 되어 고품질의 화 상을 얻을 수 있게 된다. 또한, 공정 마진이 커지는 효과도 있다. According to the present invention having the above-described configuration, since the over-etched groove is formed in the non-display area dielectric layer portion, and grooves having the same size are formed in the display area dielectric layer portion, the discharge space of each display discharge cell is formed identically. Therefore, when driving the plasma display panel, the luminance of each display discharge cell becomes the same, so that a high quality image can be obtained. It also has the effect of increasing the process margin.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.As mentioned above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the technical idea of the present invention. It is obvious.

Claims (4)

화상이 구현되는 표시영역과, 화상이 구현되지 않는 비표시영역이 형성될 기판을 고정하는 고정단계;A fixing step of fixing a display area where an image is implemented and a substrate on which a non-display area where an image is not implemented is to be formed; 상호 이격되어 나란한 X전극과 Y전극을 한 쌍으로 하는 유지전극쌍들을 상기 기판에 형성하는 배치단계; An arrangement step of forming sustain electrode pairs having a pair of X electrodes and a Y electrode arranged side by side and spaced apart from each other on the substrate; 상기 기판 상에 유전체를 도포하여 상기 유지전극쌍들을 덮도록 유전체층을 형성하는 형성단계; Forming a dielectric layer to cover the sustain electrode pairs by applying a dielectric on the substrate; 상기 유전체층 중 상기 비표시영역이 될 부분에 형성된 비표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 비표시부 유전체층부를 식각한 후에, 상기 유전체층 중 상기 표시영역이 될 부분에 형성된 표시영역 유전체층부에 그루브가 형성되도록 그 표시영역 유전체층부를 식각하는 식각단계; 및 After etching the non-display portion dielectric layer portion so that the groove is formed in the non-display region dielectric layer portion formed in the portion of the dielectric layer to be the non-display area, grooves are formed in the display region dielectric layer portion formed in the portion of the dielectric layer to be the display region An etching step of etching the display region dielectric layer portion as much as possible; And 상기 유전체층을 소성하는 소성단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법.Firing the dielectric layer; and a method of manufacturing a substrate unit for a plasma display panel. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 식각단계는 상기 비표시부 유전체층부로부터 상기 표시부 유전체층부로 연속적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법. And the etching step is performed continuously from the non-display portion dielectric layer portion to the display portion dielectric layer portion. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 그루브는 상기 X전극과 Y전극 사이에 상호간에 동일 간격으로 복수개 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법. And a plurality of the grooves are arranged at equal intervals between the X electrode and the Y electrode. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 표시부 유전체층부에 마련된 그루브는 상기 기판의 표면이 노출되도록 식각되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 유니트의 제조방법.The groove provided in the dielectric part of the display unit is etched to expose the surface of the substrate.
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