KR100278785B1 - Manufacturing method of bulkhead of plasma display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing partition walls of a plasma display panel.

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법은 홈을 형성한 후 등방성 에칭하여 폭보다 높이가 큰 격벽을 형성하게 된다.In the method of manufacturing a partition wall of the plasma display panel of the present invention, after forming a groove, an isotropic etching is performed to form a partition wall having a height greater than a width.

본 발명에 따른 PDP의 격벽 제조방법은 홈을 형성한 후 등방성 에칭함으로써 고정세의 큰 아스펙트비를 가지는 격벽을 형성할 수 있게 된다.In the method for manufacturing a partition wall of the PDP according to the present invention, it is possible to form a partition wall having a high aspect ratio with high definition by isotropic etching after forming a groove.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법(Methods OF Fabricating Barrier Ribs in Plasma Display Panel)Method of Fabricating Barrier Ribs in Plasma Display Panel

본 발명은 평판 표시장치에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display, and more particularly, to a method for manufacturing partition walls of a plasma display panel.

플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함)은 He+Xe 또는 Ne+Xe 가스의 방전시 발생하는 147nm의 자외선이 형광체를 여기시켜 발생하는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 디스플레이로서 박막화와 대형화가 용이할 뿐만 아니라 최근의 기술 개발에 힘입어 화질이 크게 향상되고 코스트가 경쟁력을 갖게 됨에 따라 차세대 디스플레이로서 주목을 받고 있다. 이 PDP는 화소들이 매트릭스 형태로 배치되고 각 화소셀들은 적녹청의 색신호를 발생하기 위한 적녹청 3개의 서브 방전셀로 조합된다. PDP는 그 구동방식에 따라 크게 대향방전을 하게 되는 직류(DC)형과 면방전을 하게 되는 교류(AC)형으로 대별된다. 교류방식의 플라즈마 표시장치는 직류방식에 비하여 저소비전력과 라이프 타임이 큰 장점이 있기 때문에 주목을 받고 있는 구동방식이다. 교류 방식의 면방전형 PDP는 도 1에서 알 수 있는 바, 크게 상판과 하판으로 이루어지며 상판은 상부 유리기판(2)에 형성되는 유지전극쌍(6)과, 유지전극쌍(6)에 나란하게 형성되는 버스전극(10)과, 이 버스전극(10)과 상부 유리기판(2) 위 표면에 성막되는 유전체층(14)과, 유전체층(14) 위에 형성되는 MgO 보호막(16)을 구비한다. 유지전극쌍(6)은 투명전극(ITO)으로서 대향방전을 행함으로써 방전을 유지하는 전극들이다. 유지전극쌍(6)에 나란하게 접촉되는 버스전극(10)은 유지전극쌍(6)의 전기적 저항을 감소시킴으로써 방전 전압을 낮추는 역할을 한다. 버스전극(10)은 Cr/Cu/Cr 물질로 이루어져 유지전극(6) 위에 나란하게 증착 또는 식각(etching)됨으로써 형성된다. 유전체층(14)은 방전으로부터 유지전극쌍(6)을 보호하는 역할을 하게 되며 방전시에는 벽전하들이 축적된다. 이 유전체층(14)은 스크린 프린팅(Screen printing) 방법으로 도포되어진다. 보호층(16)은 방전으로부터 유전체층(14)을 보호하는 역할을 하도록 MgO로 이루어지며 유전체층(14) 위에 약 2000Å 정도 성막되어진다. 하판은 하부 유리기판(4) 위에 유지전극쌍(6)과 직교하도록 형성된 어드레스 전극(8)과, 하부 유리기판(4)과 어드레스 전극(8) 위에 도포되는 제2 유전체층(5)과, 어드레스 전극(8)을 사이에 두고 하부 유리기판(4) 표면에서 수직으로 신장되는 격벽(12)과, 격벽(12)과 하부 유리기판(4)에 도포되어지는 형광체(18)를 구비한다. 상/하부 유리기판(2,4)은 소다 석회 규산염(Soda Lime Silicate) 재질로 제작된다. 어드레스전극(8)은 데이터가 공급되어 하나의 유지전극(6)과 대향방전을 하게 되어 주사되는 방전셀을 선택하는 역할을 하게 된다. 이 어드레스전극(8)은 하부 유리기판(4)에 스크린 프린팅 방법에 의해 인쇄되어진다. 형광체(18)는 방전에 의해 발생되는 자외선에 의해 여기·발광되어 각 서브셀에서 적녹청(RGB)의 가시광선을 발생하게 된다. 격벽(12)은 상하판 유리기판(2,4) 사이에 방전거리를 유지함과 아울러, 인접한 화소셀 또는 서브셀 간의 전기적, 광학적 상호혼신(Crosstalk)을 방지하는 역할을 한다. 이 격벽(12)의 높이/폭의 비(Aspect ratio : 이하 "아스펙트비"라 함)를 크게 하면 방전공간을 확대할 수 있다. 이에 따라, PDP에서 휘도와 방전효율을 향상시킬 수 있도록 아스펙트비가 큰 격벽(즉, 높이가 폭보다 큰 격벽) 제조가 중요한 현안으로 대두되고 있다. 격벽 형성은 PDP의 제조공정에서 표시품질과 효율을 위한 가장 중요한 단계이며 패널이 대형화, 고정세화 됨에 따라 격벽 형성 기술에 대한 다양한 연구가 이루어지고 있다. 일반적으로 사용되고 있는 격벽 형성 방법은 샌드 블라스팅(Sand blasting)법, 스크린 프린팅(Screen printing)법, 포토 에칭(Photo etching)법 등이 사용되고 있다.Plasma Display Panel (hereinafter referred to as "PDP") is a display that displays characters or graphics by using light generated by excitation of phosphors by 147 nm ultraviolet rays generated during discharge of He + Xe or Ne + Xe gas. In addition, the film has been attracting attention as a next-generation display because it is not only easy to thin and large in size but also greatly improves image quality and competitiveness in cost due to recent technology development. In this PDP, pixels are arranged in a matrix, and each pixel cell is combined into three sub-discharge cells of red green blue to generate a color signal of red green blue. PDPs are roughly classified into direct current (DC) type with large discharges and alternating current (AC) type with surface discharges. The plasma display device of the AC type is a driving method that has attracted attention because of the advantages of low power consumption and lifetime compared to the DC method. The surface discharge type PDP of the AC method can be seen in FIG. 1, which is composed of an upper plate and a lower plate, and the upper plate is parallel to the sustain electrode pair 6 and the sustain electrode pair 6 formed on the upper glass substrate 2. A bus electrode 10 to be formed, a dielectric layer 14 formed on the surface of the bus electrode 10 and the upper glass substrate 2, and an MgO protective film 16 formed on the dielectric layer 14 are provided. The sustain electrode pairs 6 are electrodes which sustain a discharge by performing a counter discharge as the transparent electrode ITO. The bus electrode 10 in parallel contact with the sustain electrode pair 6 serves to lower the discharge voltage by reducing the electrical resistance of the sustain electrode pair 6. The bus electrode 10 is made of Cr / Cu / Cr material and is formed by being deposited or etched side by side on the sustain electrode 6. The dielectric layer 14 serves to protect the sustain electrode pair 6 from discharge, and wall charges are accumulated during discharge. This dielectric layer 14 is applied by a screen printing method. The protective layer 16 is made of MgO to serve to protect the dielectric layer 14 from discharge, and is deposited on the dielectric layer 14 by about 2000 Å. The lower plate includes an address electrode 8 formed on the lower glass substrate 4 so as to be orthogonal to the sustain electrode pair 6, a second dielectric layer 5 applied on the lower glass substrate 4 and the address electrode 8, and an address. A partition 12 extending vertically from the surface of the lower glass substrate 4 with the electrode 8 interposed therebetween, and a phosphor 18 applied to the partition 12 and the lower glass substrate 4 are provided. The upper and lower glass substrates 2 and 4 are made of soda lime silicate. The address electrode 8 serves to select a discharge cell to be scanned by supplying data to face one discharge electrode 6. This address electrode 8 is printed on the lower glass substrate 4 by a screen printing method. The phosphor 18 is excited and emitted by ultraviolet rays generated by discharge to generate visible light of red green blue (RGB) in each subcell. The partition wall 12 maintains a discharge distance between the upper and lower glass substrates 2 and 4 and prevents electrical and optical crosstalk between adjacent pixel cells or subcells. The discharge space can be enlarged by increasing the height / width ratio (hereinafter referred to as an "spectral ratio") of the partition 12. Accordingly, in order to improve luminance and discharge efficiency in PDPs, the production of bulkheads having a large aspect ratio (that is, bulkheads having a height greater than the width) has emerged as an important issue. Partition formation is the most important step for display quality and efficiency in the manufacturing process of PDP. As panels are enlarged and fixed in size, various studies on barrier formation technology have been made. As the barrier rib forming method which is generally used, a sand blasting method, a screen printing method, a photo etching method, and the like are used.

이러한 격벽 형성방법 중에서, 샌드 블라스팅법은 유리기판(4) 위에 어드레스 전극(8)와 유전체층(5)을 형성시키고 그 위에 격벽용 유리 페이스트(Paste)를 스크린 프린팅하거나 격벽용 그린 테이프(Green tape)를 붙인 후 열처리한 다음, 그 위에 스트라입(stripe)형의 마스크 패턴을 부착한 뒤 마스크 패턴에 미세한 모래(sand) 입자를 고속으로 분사하여 격벽을 형성하는 방법이다. 여기서, 마스크 패턴의 뚫린 부분이 미세한 모래입자에 의해 방전셀 공간이 되고 마스크 패턴이 존재하는 부분이 격벽(12)이 된다. 샌드 블라스팅법은 고정세의 격벽(12)을 제조하기 위해서 샌딩(sanding) 깊이를 깊게 하게 되면 전체적인 격벽(12)의 두께가 두꺼워지게 된다. 샌드 블라스팅법의 특성상 도 2a에서 알 수 있는 바와 같이 격벽(12) 상단의 두께는 중간의 두께에 비해 약 6% 정도 두껍게 되며 하단의 두께는 중앙의 두께에 비해 80∼90% 정도 두껍게 된다. 따라서, 샌드 블라스팅법에 의해 격벽(12)을 형성하게 되면 큰 아스펙트비를 얻기가 곤란하며 방전셀 공간이 감소되는 단점이 있다. 아울러 샌드 블라스팅법은 설비투자에 소요되는 경비가 크고 공정이 복잡하고 하부 유리기판(4)에 물리적인 충격이 크기 때문에 소성시 균열을 일으킬 수 있는 문제점도 있다.Among these barrier rib forming methods, the sand blasting method forms an address electrode 8 and a dielectric layer 5 on a glass substrate 4 and screen-prints a partition paste on the glass substrate 4 or a green tape for barrier ribs. After attaching and heat treatment, a stripe-type mask pattern is attached thereon, and then fine sand particles are sprayed at high speed on the mask pattern to form a partition wall. Here, the perforated part of the mask pattern becomes a discharge cell space by fine sand particles, and the part where the mask pattern exists becomes the partition 12. In the sand blasting method, when the sanding depth is deepened to manufacture the partition wall 12 of high definition, the thickness of the entire partition wall 12 becomes thick. As can be seen in Figure 2a due to the nature of the sand blasting method, the thickness of the top of the partition 12 is about 6% thicker than the thickness of the middle and the thickness of the bottom is about 80-90% thicker than the thickness of the center. Therefore, when the partition 12 is formed by the sand blasting method, it is difficult to obtain a large aspect ratio and the discharge cell space is reduced. In addition, the sand blasting method has a problem that can cause cracks during firing because the cost of investment in equipment, the process is complicated, and the physical impact on the lower glass substrate 4 is large.

스크린 프린팅법은 유리기판(4) 위에 어드레스 전극(8)과 유전체층(5)을 형성하고 그 위에 스트라입형의 마스크 패턴을 부착한 다음, 격벽용 유리 페이스트를 반복적으로 스크린 프린팅하여 격벽(12)을 쌓는 방법으로서 마스크 패턴이 존재하는 부분이 방전셀 공간이 되며 마스크 패턴이 존재하지 않는 부분이 격벽(12)이 된다. 스크린 프린팅법에 있어서 1회 인쇄시 형성되는 격벽(12)의 높이는 대략 20∼30μm 정도이며 이를 건조 후 얼라인(Align)한 후 다지 스크린 프린팅 공정을 반복하여 원하는 높이의 격벽(12)을 형성한 후 열처리를 하게 된다. 스크린 프린팅법을 이용하여 200μm 이상 높은 격벽(12)을 제작하기 위해서는 인쇄횟수가 그 만큼 증가될 뿐만 아니라 도 2b에서 알 수 있는 바와 같이 하단의 폭이 넓어지게 되어 큰 아스펙트비를 얻기 어려우며 그 만큼 방전셀 공간이 줄어드는 단점이 있다. 아울러, 스크린 프린팅법은 매번 스크린과 하부 유리기판(4)의 위치 조정을 반복해야 하고 인쇄와 건조를 반복해야 하는 공정이 필요하기 때문에 과도한 시간이 낭비되어 비효율적인 방법이 됨은 물론, 매 위치 조정시 정위치가 어긋나는 경우가 자주 있으므로 격벽 형상이 왜곡될 수 있어 고해상도의 PDP에는 적합치 않은 문제점이 있다.In the screen printing method, an address electrode 8 and a dielectric layer 5 are formed on a glass substrate 4, a stripe-shaped mask pattern is attached thereon, and the barrier glass 12 is repeatedly printed by screen printing the partition wall 12. As a stacking method, the portion where the mask pattern is present becomes the discharge cell space, and the portion where the mask pattern does not exist becomes the partition 12. In the screen printing method, the height of the partition wall 12 formed at the time of printing once is about 20 to 30 μm. After drying and aligning the same, the dodging screen printing process is repeated to form the partition wall 12 having a desired height. After the heat treatment. In order to fabricate the bulkhead 12 having a height of 200 μm or more by using the screen printing method, not only the number of printing is increased but also the width of the bottom becomes wider as shown in FIG. 2B, so that it is difficult to obtain a large aspect ratio. There is a disadvantage that the discharge cell space is reduced. In addition, the screen printing method is necessary to repeat the position adjustment of the screen and the lower glass substrate 4 each time, and the process of repeating the printing and drying is required because of excessive time wasted, as well as inefficient positioning Since the position is often displaced, the partition shape may be distorted, which is not suitable for a high resolution PDP.

포토 에칭법은 유리기판(4) 위에 어드레스 전극(8)과 유전체층(5)을 형성하고 그 위에 격벽용 유리 페이스트를 스크린 프린팅하거나 격벽용 그린 테이프를 붙인 후 열처리하여 스트라입형의 마스크 패턴을 부착한 다음, 에칭액에 침식시켜 마스크 패턴의 뚫린 부분을 식각해 냄으로써 격벽을 형성하는 방법이다. 여기서, 마스크 패턴이 존재하는 부분이 격벽(12)이 된다. 그러나 도 2b를 참조하면, 포토 에칭법은 마스크 패턴으로서 포토 레지스트(Photo-resist : PR)를 입히고 에칭을 하게되면 에칭은 등방향으로 진행되므로 포토 레지스트 패턴에서 뚫린 부분의 간격만큼의 깊이까지 에칭을 하게 되며 더 진행되면 격벽(12)의 두꼐(특히, 상단의 두께)가 얇아지게 된다. 포토 에칭법을 이용하여 높은 격벽(12)을 형성하기 위해서는 포토 레지스트에서 뚫린 부분의 간격(폭)을 그만큼 넓게 하여야 하지만 큰 아스펙트비/고정세의 격벽(12)을 형성하기가 어렵게 된다.In the photo etching method, the address electrode 8 and the dielectric layer 5 are formed on the glass substrate 4, and the screen paste of the partition glass paste or the green tape for partition walls are attached thereon, followed by heat treatment to attach a stripe-type mask pattern. Next, it is a method of forming a partition by etching into the etching liquid and etching the perforated part of a mask pattern. Here, the part in which the mask pattern exists becomes the partition 12. However, referring to FIG. 2B, when the photo-etching method is applied with photo-resist (PR) as a mask pattern and the etching is performed in the same direction, the etching is performed to the depth as much as the gap between the openings in the photoresist pattern. If it is further progressed, the thickness (particularly, the thickness of the top) of the partition 12 is thinned. In order to form the high partition wall 12 using the photo etching method, the gap (width) of the drilled portion of the photoresist should be widened by that much, but it is difficult to form the large aspect ratio / fixed partition wall 12.

따라서, 본 발명의 목적은 고정세의 큰 아스펙트비를 가지는 격벽을 형성하도록 한 PDP의 격벽 제조방법을 제공하는데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a partition wall of a PDP in which a partition wall having a high aspect ratio of high definition is formed.

본 발명의 다른 목적은 휘도를 향상시키도록 한 PDP의 격벽 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a partition wall of a PDP to improve brightness.

본 발명의 또 다른 목적은 발광효율을 향상시키도록 한 PDP의 격벽 제조방법을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a method for manufacturing a partition wall of a PDP to improve luminous efficiency.

도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing a conventional plasma display panel.

도 2a 내지 도 2c는 종래의 격벽 제조방법들에 의해 형성된 격벽을 나타내는 도면.2a to 2c is a view showing a partition formed by conventional partition wall manufacturing methods.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 나타내는 공정도.3A to 3E are flowcharts illustrating a method of manufacturing a partition wall of a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4d는 도 3에 도시된 홈과 에칭과정을 상세히 나타내는 공정도.Figures 4a to 4d is a process diagram showing in detail the groove and the etching process shown in FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

2 : 상부 유리기판 4 : 하부 유리기판2: upper glass substrate 4: lower glass substrate

5,14 : 유전체층 6 : 유지전극쌍5,14 dielectric layer 6: sustaining electrode pair

8 : 어드레스 전극 10 : 버스전극8 address electrode 10 bus electrode

12,22 : 격벽 16 : 보호막12,22: bulkhead 16: shield

18 : 형광체 20 : 홈18: phosphor 20: groove

24 : 격벽 형성용 유리 페이스트 26 : 포토 레지스트 패턴24: glass paste for partition formation 26: photoresist pattern

28 : 애칭액28: nickname

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 PDP의 격벽 제조방법은 홈을 형성한 후 등방성 에칭하여 폭보다 높이가 큰 격벽을 형성하게 된다.In order to achieve the above object, the barrier rib manufacturing method of the PDP of the present invention is to form a groove and then isotropically etched to form a barrier having a height larger than the width.

본 발명의 PDP의 격벽 제조방법은 유리기판 위에 격벽용 물질을 성막하는 단계와, 격벽용 물질에 적어도 하나 이상의 홈을 형성하는 단계와, 격벽용 물질에 마스크 패턴을 형성하는 단계와, 격벽용 물질을 에칭용액에 침식시켜 소정시간동안 등방성 에칭하여 격벽을 형성하는 단계를 포함한다.The method of manufacturing a barrier rib of the PDP of the present invention includes the steps of forming a barrier material on a glass substrate, forming at least one groove in the barrier material, forming a mask pattern on the barrier material, and forming a barrier material. Etching the solution to isotropic etching for a predetermined time to form a partition wall.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 PDP의 제조방법을 단계적으로 나타내는 공정도로서, 격벽을 형성하기 위한 하판의 제조방법을 나타낸다.3A to 3E are flowcharts illustrating a method of manufacturing a PDP according to an exemplary embodiment of the present invention, and show a method of manufacturing a lower plate for forming a partition wall.

도 3a에서, 하부 유리기판(4) 위에 어드레스 전극(8)을 인쇄하여 소성하게 된다. 도 3b에서, 격벽 형성용 유리 페이스트(24)를 어드레스 전극(8)과 하부 유리기판(4) 표면에 전면 인쇄(베타 인쇄)(또는 격벽용 그린 테이프를 접착)한 다음 건조하고 열처리하게 된다. 도 3c에서, 격벽 형성용 유리 페이스트(24) 표면에 스트라입 형태의 홈(20)을 형성시키게 된다. 여기서, 홈(20)을 형성시키는 방법으로는 스크린 프린팅법, 기계적으로 가공하는 방법 또는 레이저를 이용한 가공 등이 이용될 수 있다. 홈(20)의 크기와 형상에 따라 적합한 방법을 이용할 수 있지만 격벽 형성용 유리 페이스트(24)를 인쇄할 때 동시에 홈(20)을 형성시킬 수 있는 스크린 프린팅법이 추가적인 공정이 필요 없게 되므로 가장 경제적이고 간단한 방법이다. 도 3d에서, 격벽 형성용 유리 페이스트(24)에서 홈(20) 사이에 포토 레지스트 패턴을 스트립형으로 형성하고 에칭액에 소정시간 침식시켜 원하는 격벽(22)을 형성시키게 된다. 이 때, 에칭은 홈(20)의 표면으로부터 등방향으로 진행되므로 큰 아스펙트비를 가지는 격벽(22)이 형성된다. 도 3e에서, 격벽(12)에 의해 마련된 방전셀 공간에 형광체(18)를 도포하게 되면 하판이 완성된다. 이 하판을 도 1에 도시된 상판과 접합한 후 방전셀 공간에 방전 가능한 가스를 주입·봉입하게 되면 PDP가 완성된다.In FIG. 3A, the address electrode 8 is printed on the lower glass substrate 4 and fired. In FIG. 3B, the barrier rib-forming glass paste 24 is front printed (beta printed) (or adhered to the barrier green tape) on the address electrode 8 and the lower glass substrate 4, and then dried and heat treated. In FIG. 3C, a stripe-shaped groove 20 is formed on the surface of the barrier rib-forming glass paste 24. Here, as the method of forming the groove 20, a screen printing method, a mechanical processing method or a laser processing may be used. Although a suitable method can be used according to the size and shape of the grooves 20, the screen printing method for forming the grooves 20 at the same time when printing the partition forming glass paste 24 is the most economical since no additional process is required. And simple way. In FIG. 3D, a photoresist pattern is formed in a strip shape between the grooves 20 in the barrier rib forming glass paste 24, and the desired barrier rib 22 is formed by eroding the etching solution for a predetermined time. At this time, the etching proceeds in the same direction from the surface of the groove 20, so that the partition wall 22 having a large aspect ratio is formed. In FIG. 3E, when the phosphor 18 is applied to the discharge cell space provided by the partition 12, the lower plate is completed. The lower plate is bonded to the upper plate shown in FIG. 1, and then, when the dischargeable gas is injected and enclosed in the discharge cell space, the PDP is completed.

도 4a 내지 도 4d는 홈과 에칭과정을 상세히 나타내는 공정도이다.4A to 4D are flowcharts illustrating the grooves and the etching process in detail.

최종 목적으로 하는 격벽(22)을 얻기 위해서는 홈(22)의 표면으로부터 넓이 방향의 에칭량 X와 깊이 방향의 에칭량 Y는 동일하여야 한다. 도 4a를 참조하면, 넓이 방향의 에칭량 X=W-w, 깊이 방향의 에칭량 Y=H-h 여기서, 에칭은 등방향으로 진행되므로 넓이 방향의 에칭량 X와 깊이 방향의 에칭량 Y는 동일(X=Y)하게 되므로 W-w=H-h가 된다. 그러므로 홈(20)의 크기는 원하는 방전셀의 크기가 정해진 다음 폭 또는 깊이 중에서 어느 한 가지만 결정되면 쉽게 결정될 수 있다. 에칭속도가 깊이 방향과 넓이 방향 사이에 차이가 있을 때에도 각각의 속도를 고려하면 홈(22)의 크기를 결정할 수 있다. 홈(20)의 크기가 결정되면 스크린 프린팅법으로 격벽 형성용 유리 페이스트(24)를 형성할 때 동시에 형성하거나 또는 기계적인 가공, 레이저 가공 등에 의해 격벽 형성용 유리 페이스트(24)에 홈(20)을 형성한다. 그리고 홈(20)과 홈(20) 사이에 포토 레지스트 패턴을 인쇄한 다음, 도 4b에서 하판을 에칭액(28)에 소정시간 침식시켜 에칭을 시작하게 된다. 에칭은 홈(20)의 저면과 측면에서 등방향으로 진행된다. 도 4c 및 도 4d에서, 소정시간이 경과된 후 애칭액(28)으로부터 하판을 건져내면 포토 레지스트 패턴(26) 아래부분만 남게 되고 최종적으로, 포토 레지스트 페턴(26)을 제거함으로써 격벽(22)이 완성된다.In order to obtain the partition 22 for the final purpose, the etching amount X in the width direction and the etching amount Y in the depth direction must be the same from the surface of the groove 22. Referring to FIG. 4A, the etching amount X = Ww in the width direction and the etching amount Y = Hh in the depth direction Here, since the etching proceeds in the equal direction, the etching amount X in the width direction and the etching amount Y in the depth direction are the same (X = Y), so Ww = Hh. Therefore, the size of the groove 20 can be easily determined if only one of the width or depth of the desired discharge cell is determined. Even when the etching rate differs between the depth direction and the width direction, the size of the groove 22 can be determined by considering the respective speeds. When the size of the groove 20 is determined, the groove 20 is formed in the glass paste 24 for forming the partition by simultaneously forming the barrier rib forming glass paste 24 by screen printing or by mechanical or laser processing. To form. Then, after the photoresist pattern is printed between the groove 20 and the groove 20, etching is started by eroding the lower plate in the etching solution 28 for a predetermined time in FIG. 4B. The etching proceeds in the same direction at the bottom and side surfaces of the grooves 20. 4C and 4D, when the lower plate is removed from the etch solution 28 after a predetermined time has elapsed, only the lower portion of the photoresist pattern 26 remains, and finally, the barrier 22 is removed by removing the photoresist pattern 26. This is done.

한편, 스크린 프린팅법에 의해 격벽을 형성하는 경우에, 인쇄되는 패턴이 좁게되어 1회에 인쇄할 수 있는 높이가 낮으며 120μm 정도 높이의 격벽을 형성하기 위해서는 10회 정도의 프린팅을 반복해야만 한다. 이와 비하여, 본 발명에서와 같이 스크린 프린팅에 의해 홈을 형성하게 되면 마스크 패턴의 폭이 좁고 프린팅되는 면이 넓게 되므로 한 번에 프린팅할 수 있는 두께는 훨씬 두꺼워짐으로써 공정수를 줄일 수 있게 된다.On the other hand, in the case of forming the partition wall by the screen printing method, the printed pattern is narrow, the height that can be printed at a time is low, and in order to form the partition wall having a height of about 120 μm, printing about 10 times should be repeated. In contrast, when the groove is formed by screen printing as in the present invention, the width of the mask pattern is narrow and the surface to be printed is widened, so that the thickness that can be printed at one time becomes much thicker, thereby reducing the number of processes.

본 발명에 따른 격벽 제조방법에 의해 형성되는 격벽은 큰 아스펙트비를 갖게되므로 좁은 셀 피치(pitch)와 높은 격벽이 요구되고 있는 하이 비전(Hi-vision)용의 PDP에 적합하게 된다. 또한, 본 발명에 따른 격벽 제조방법에 의해 형성되는 격벽은 큰 아스펙트비를 갖게 되므로 방전셀에서 방전패스를 크게 하여 방전에 의한 발광시 효율이 높은 양광주 영역(Positive column)을 이용할 수 있게 된다.The barrier rib formed by the barrier rib manufacturing method according to the present invention has a large aspect ratio, so that the barrier rib is suitable for a high-vision PDP for which a narrow cell pitch and a high barrier rib are required. In addition, since the partition wall formed by the partition wall manufacturing method according to the present invention has a large aspect ratio, it is possible to use a positive column having high efficiency when emitting light due to discharge by increasing the discharge path in the discharge cell. .

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 격벽 제조방법은 홈을 형성한 후 등방성 에칭함으로써 고정세의 큰 아스펙트비를 가지는 격벽을 형성할 수 있게 된다. 본 발명에 따른 PDP의 격벽 제조방법은 큰 아스펙트비(폭보다 높이가 큰)를 갖는 격벽 형성이 가능하여 동일한 셀 피치에서 형광체가 도포되는 셀 내부의 면적이 증대되어 그만큼 많은 형광체가 도포될 수 있고 방전공간이 넓어지게 되어 발광시 휘도가 대폭 향상된다. 나아가, 본 발명에 따른 PDP의 격벽 제조방법은 큰 아스펙트비를 갖는 격벽 형성이 가능하게 되어 방전패스가 길어지게 되므로 방전시 글로우 방전뿐만 아니라 양광주 영역을 이용할 수 있게 되어 발광효율을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, the PDP partition wall manufacturing method according to the present invention can form a partition wall having a high aspect ratio of high definition by isotropic etching after forming the groove. PDP bulkhead manufacturing method according to the present invention is capable of forming a partition having a large aspect ratio (height greater than the width) to increase the area inside the cell to which the phosphor is applied at the same cell pitch can be applied as many phosphors In addition, the discharge space becomes wider, and thus the luminance is greatly improved during light emission. Furthermore, the barrier rib manufacturing method of the PDP according to the present invention enables the formation of barrier ribs having a large aspect ratio, which leads to a long discharge path, so that not only a glow discharge but also a positive beam region can be used during discharge, thereby improving luminous efficiency. Will be.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

홈을 형성한 후 등방성 에칭하여 폭보다 높이가 큰 격벽을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법.A barrier rib manufacturing method of a plasma display panel, wherein a barrier rib having a height greater than a width is formed by isotropic etching after the groove is formed. 유리기판 위에 격벽용 물질을 성막하는 단계와,Depositing a barrier material on a glass substrate; 상기 격벽용 물질에 적어도 하나 이상의 홈을 형성하는 단계와,Forming at least one groove in the barrier material; 상기 격벽용 물질에 마스크 패턴을 형성하는 단계와,Forming a mask pattern on the barrier material; 상기 격벽용 물질을 에칭용액에 침식시켜 소정시간동안 등방성 에칭하여 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법.And forming a barrier rib by isotropically etching the barrier material in an etching solution for a predetermined time. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 방전셀의 크기를 기준으로하여 홈의 크기를 설정하는 단계와,Setting the size of the groove based on the size of the discharge cell; 식각후 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계와,Removing the mask pattern after etching; 상기 격벽에 형광체를 도포하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법.The method of claim 1, further comprising applying a phosphor to the partition wall. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 홈은 스크린 프린팅, 기계적인 가공 및 레이저를 이용한 가공 중 어느 하나에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법.The groove is formed by any one of screen printing, mechanical processing and processing using a laser partition wall manufacturing method of the plasma display panel. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 홈은 상기 격벽용 물질이 스크린 프린팅되어질 때 함께 형성되어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법.And the groove is formed when the barrier material is screen printed.
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