KR20060049177A - 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기 - Google Patents

Abstract

인라인 이송되는 패널의 접촉식 두께 측정기로써, 제 1 리테이너에 장착되어 상기 패널의 일측면에 접촉되는 제 1 접촉팁을 가지는 제 1 측정부와, 제 2 리테이너에 장착되어 상기 패널의 타측면에 접촉되는 제 2 접촉팁을 가지는 제 2 측정부를 포함하고, 상기 제 1 접촉팁과 제 2 접촉팁은 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지며, 상기 패널의 두께 변화에 따라 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향으로 이동 가능한 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기가 제공된다. 본 발명은 특유의 구조를 통하여 평판 패널에 손상을 주지 않으면서 평판 패널의 적합한 측정 부분 전면에 대한 두께를 마이크로 단위까지 정밀하게 측정할 수 있고, 특히 평판 패널이 고속으로 이동하는 경우에도 그 두께를 정확하게 측정할 수 있다.

Description

패널의 인라인 접촉식 두께 측정기{IN-LINE TOUCH TYPE PANEL THICKNESS MEASUREMENT DEVICE}

도 1a및 도 1b는 종래 기술에 따른 두께 측정 장치에 따른 패널의 두께를 측정하는 방법을 설명하기 위한 개락도.

도 2는 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 평면도.

도 3은 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 정면도.

도 4는 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

21 : 제 1 리테이너 22 : 제 2 리테이너

40a, 40b : 제 1 및 제 2 접촉팁 51, 52 : 제 1 및 제 2 에어 실린더

61, 62 : 제 1 및 제 2 리니어 스케일러 71 : 로터리 엔코더

81 : 볼-리드 스크류 어셈블리 82 : 서보 모터

90 : 진동 흡수 장치 100 : 영점 조정 장치

본 발명은 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세라믹, 실리콘, 종이, 금속, 유리 또는 플라스틱으로 만들어질 수 있는 평면 패널의 두께를 실시간으로 측정하면서, 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기에 관한 것이다.

평판 패널의 생산 및 검증단계에서는 원하는 규격의 제품을 얻고, 제품의 품질을 검증하기 위해 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 두께 측정 장치 등을 사용하여 생산되는 평판 패널의 두께를 측정한다. 또한 최근 각광 받고 있는 액정 디스플레이(LCD) 장치, 플라즈마 디스플레이(PDP) 장치, 전계 방출 디스플레이(FED) 장치 또는 전계 발광 디스플레이(ELD) 장치 등에 사용되는 평판 패널 등은 최근 그 무게의 경량화와 함께 그 크기가 급속히 대형화되는 추세에 있는데, 경량화 및 대형화 될 뿐만 아니라 패널에 다수의 소자가 형성되어 패널이 기판으로써 기능하기 때문에 패널의 평탄도나 두께의 균일성 등은 패널의 품질에 중요한 역할을 하고, 또한 패널이 사용되는 각 장치의 성능에 많은 영향을 미치게 된다. 그러므로 평판 패널의 두께를 정밀하게 측정하여 제품을 생산하고 검증하는 것이 핵심적이면서도 필수적인 작업이 되었으며, 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 측정기의 필요성은 더욱 증가되게 되었다.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 의한 패널의 두께를 측정하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 개략도이다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 하우징 내에 장착한 광학 소자 및 렌즈를 구비하는 형상 측정 장치(1)에서 해당 렌즈의 초점이 패널(2)의 제 1 면(F1)에 맞추어지도록 두께 측정 대상물을 위치시킨다. 그 후, 형상 측정 장치(1)의 렌즈의 초점이 패널(2)의 제 2 면(F2)에 맞추어지도록 도 1b에 도시되어 있는 화살표 방향을 따라 패널(2)을 이동시킨다. 패널(2)의 제 1 면(F1)과 제 2 면(F2)에 렌즈의 초점이 정확히 맞추어지면 패널(2)이 이동한 거리(t)를 산출할 수 있는데 이러한 과정을 통하여, 패널이(2)의 이동거리가 곧 패널(2)의 두께가 되고, 이를 통해 패널(2)의 두께를 측정할 수 있다.

그러나, 이러한 종전의 평판 패널의 두께를 측정하는 장치에 있어서, 패널의 두께를 측정하기 위하여 렌즈의 초점을 패널 면에 정확하게 맞추기는 것은 매우 난해하며 패널을 이동시키면서 렌즈의 초점을 2번 정렬시키고 이를 분석해야 하기 때문에 정확도를 높여 패널의 두께를 미세한 단위까지 측정하도록 렌즈의 초점을 맞출 경우에는 패널의 두께 측정에 너무 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있고, 특히 최근의 요구되는 패널의 고속 이송시에 더욱 심각한 문제를 야기시킨다. 또한, 렌즈의 초점을 패널 면의 어느 한 점에 맞추어 그 두께를 측정하므로 패널의 전체적인 두께를 측정하지 못하게 되는 단점도 생긴다.

따라서, 본 발명의 목적은 본 발명의 특유의 구조를 통하여 평판 패널에 손상을 주지 않으면서 평판 패널의 적합한 측정 부분 전면에 대한 두께를 마이크로 단위까지 정밀하게 측정할 수 있고, 특히 평판 패널이 고속으로 이동하는 경우에도 그 두께를 정확하게 측정할 수 있는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에서, 인라인 이송되는 패널의 접촉식 두께 측정기로써, 제 1 리테이너에 장착되어 상기 패널의 일측면에 접촉되는 제 1 접촉팁을 가지는 제 1 측정부와, 제 2 리테이너에 장착되어 상기 패널의 타측면에 접촉되는 제 2 접촉팁을 가지는 제 2 측정부를 포함하고, 상기 제 1 접촉팁과 제 2 접촉팁은 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지며, 상기 패널의 두께 변화에 따라 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향으로 이동 가능한 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기가 제공된다.

이하, 첨부된 도2 내지 도5를 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 평면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 구조를 나타내는 측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 접촉팁의 형상을 확대 도시한 확대 사시도이다.

본 발명에 따른 두께 측정기(10)를 지지하는 지지대(20)의 상측에 제 1 리테이너(21)와 제 2 리테이너(22)가 형성되며, 제 1 리테이너(21) 및 제 2 리테이너(22)에는 다수의 가이드 롤러를 포함하는 롤러 부재(도시하지 않음)가 형성되는데, 그러나 이러한 롤러 부재는 측정하는 패널의 크기 및 다른 특성에 따라 적절한 수의 가이드 롤러가 장착되어질 수 있고, 도 2에 도시되어 있는 화살표 방향으로 진입하는 측정 대상인 패널이 이동함에 따라 회전하며 동시에 측정 대상인 패널을 잡아주는 역할을 담당하는데, 패널에 흠집 등의 손상이 생기는 것을 방지하기 위해 실링 부재(도시하지 않음)로 둘러싸여진다. 롤러 외에 휠(wheel) 부재 등이 사용될 수도 있다.

제 1 리테이너(21)와 제 2 리테이너(22)사이의 중간 부분에는 패널의 두께를 측정하기 위한 접촉팁(40)이 설치되어지는데, 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에서는 제 1 접촉팁(40a)과 제 2 접촉팁(40b)이 각각 제 1 리테이너(21)와 제 2 리테이너(22)에 장착되어 있다. 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b)은 접촉팁을 리테이너에 장착시키기 위한 제 1 및 제 2 접촉팁 장착 부재(41, 42)에 의해 제 1 및 제 2 리테이너(21, 22)에 부착되어 지는데 각각의 접촉팁(40a, 40b)은 리테이너(21, 22)에 완전하게 고정되는 것은 아니며, 두께를 측정하기 위해 특정 대상인 패널의 두께에 따라 패널의 이동 방향과 수직인 방향으로 선형 베어링(LM 가이드)(도시되지 않음)을 따라 이동할 수 있도록 설치되어진다.

본 발명에 따른 접촉팁(40)을 확대 도시한 도 5를 참조하여 접촉팁에 대해 자세히 설명한다. 도시된 바와 같이 접촉팁(40a)은 평행한 두 변(L1, L2)을 가지고, 한 변(L3)과 평행한 다른 변(L5)에 대해서 소정 각도(θ)로 기울어진 다른 한 변(L4)을 가져 위쪽에서 보았을 때 사다리꼴의 형상을 되도록 형성되며, 또한 경사지게 형성된 두 개의 면(F1, F2)을 지니도록 구성되어진다.

본 발명에서는 전술한 바와 같이 특이한 사다리꼴 구성을 가지는 접촉팁(40)을 사용하는데, 이송되는 측정 대상인 평면 패널이 접촉팁(40)의 경사진 측을 통해 진입하게 함으로써, 접촉팁(40)이 두께 변화에 신속하게 대응할 수 있도록 하고, 또한 두께 변화에 안정적으로 이동할 수 있도록 한다. 즉, 본 발명의 접촉팁(40)의 특이한 구성을 통해 접촉팁(40)으로부터 얻어지는 두께 데이터를 안정적으로 획득할 수 있다. 또한, 스틱 슬립의 발생을 제거하여 데이터의 변동량을 최소화 시키는 것이 가능하고, 스틱 슬립의 제거를 통하여 특정 대상인 패널과의 마찰 등으로 인하여 마모되어지는 접촉팁(40) 자체의 수명도 연장 시킬 수 있다.

패널과 직접적으로 접촉하는 접촉팁(40)은 측정 대상인 패널에 손상을 줄 수 있기 때문에 패널에 비해 낮은 경도를 가지는 고형의 물질로 이루어지는 것이 바람직한데, 예를 들어 LCD 등에 사용되는 유리 기판의 경우에는 실리콘 등의 물질로 형성되어 질 수 있다.

각각의 접촉팁(40a, 40b)을 두께 측정 대상인 패널이 이동되는 중앙 부분을 행해 일정한 압력을 가하는 제 1 및 제 2 에어 실린더(51, 52)가 제 1 접촉팁(40a)의 좌측과 제 2 접촉팁(40b)의 우측에는 각각 설치되어지는데, 패널의 두께 측정 시에 각각의 접촉팁(40a, 40b)은 제 1 및 제 2 에어 실린더(51, 52)에 의해 패널이 이동되는 중앙 쪽으로 가압되어 패널의 두께 변화 및 진동에도 불구하고 각각의 접촉팁(40a, 40b)이 측정 대상인 패널과 계속적인 접촉을 유지하게 된다. 본 발명은 압력 가압 장치로 에어 실린더를 사용했지만 이에 한정되지 아니하며, 스프링 등의 탄성 부재 같은 공지의 장치가 적용되는 것도 가능하다.

전술한 바와 같이, 접촉팁(40)은 패널의 두께 변화에 따라 연동하여 패널의 이동 방향과 수직한 방향으로 선형 베어링을 따라 이동하도록 설치되는데, 접촉팁(40)의 하부에 접촉팁(40)과 연결되어 있는 제 1 및 제 2 리니어 스케일러(61, 62)가 각각 제 1 접촉팁(40a)과 제 2 접촉팁(40b)의 이동 거리를 측정한다. 제 1 및 제 2 리니어 스케일러(61, 62)로 측정된 거리 데이터는 곧 측정된 패널의 두께 데이터가 되어 제어부(도시되지 않음) 송부되어진다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 제 1 리테이너(21)의 하부에 로터리 엔코더(rotary encoder)(71)가 연결되어져 있는 것을 확인할 수 있는데, 로터리 엔코더(71)는 패널의 이동에 따라 연동하여 회전하는 제 1 리테이너(21)에 장착되어 있는 롤러부재9도시하지 않음)의 회전을 감지하여 이를 제어부(도시되지 않음)에 전달함으로써, 실제로 측정 대상인 패널의 이동 거리를 계산할 수 있도록 한다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 리테이너(21)와 제 2 리테이너(22)의 하부에 볼-리드 스크류 어셈블리(81)와 서보모터(82)가 설치되어 있는데, 서보 모터(82)가 작동하는 경우에는 서보모터(82)와 결합되어 있는 볼-리드 스크류 어셈블리(81)가 동작하고, 이로 인해 제 1 리테이너(21)가 측정 대상인 패널의 이동 방향과 수직인 방향으로 이동되어 진다. 즉, 제 2 리테이너(22)는 지지대에 의해 지탱된 상태로 고정 유지되지만, 제 1 리테이너(21)는 지지대(20)에 의해 지탱되어진 상태에서 패널의 이동 방향과 수직인 방향으로 측정 대상인 패널에 근접하도록 또는 멀어지도록 이동하는 것이 가능하도록 구성된다.

에어 실린더(91)와 에어 실린더(91)를 고정하는 고정 부재(92)를 포함하는 진동 흡수 장치(90)가 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 이동 가능하도록 설치되는 제 1 리테이너(21) 상에 연결 결합되어져서, 제 1 리테이너가 패널의 이동 방향과 수직인 방향으로 이동되어지는 경우 등에 발생할 수 있는 충격 및 진동을 에어 실린더 구조를 통해 흡수하는데, 이로 인하여 제 1 리테이너(21)의 안정성을 보장하는 동시에, 패널 두께에 대한 측정 결과의 정확성을 높일 수 있다. 고정 부재(92)는 볼트-너트로 구성될 수도 있고, 공지의 다른 고정 장치일 수도 있다.

도 3 및 도 4에서, 제 1 리테이너 상부에 영점 조정 장치(100)가 장착되는데, 영점 조정 장치(100)는 에어 실린더(101)와 영점 조정용 패널(102)을 포함하며, 영점 조정용 패널(102)은 상하 이동 장치(도시되지 않음)를 통해 상하로 이동되어 질수 있도록 구성된다. 영점 조정 장치(100)를 상측에서 둘러싸는 커버(103)가 설치되어 먼지 등의 이물질이 흡착되는 것을 방지하며, 패널의 깨지거나 파손되는 경우 등에 발생하는 조각 등의 물질이 두께 측정기를 손상시키지 않도록 측정기를 보호하는 역할도 감당한다.

지금까지 본 발명에 따른 두께 측정기의 구성에 대해 설명했으며, 이하에서는 도 2 내지 도 4를 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기의 작동에 대하여 설명한다.

도 2에 도시된 화살표 방향으로 측정 대상인 패널이 이동되면, 패널이 들어오는 입구 쪽에 설치되어 있는 전방 센서(도시되지 않음)가 이를 감지하고, 제어부가 서보 모터(82)가 작동하여 볼-리드 스크류 어셈블리(81)를 연동시킴으로 제 1 리테이너(21)가 측정 대상인 패널의 이동 방향과 수직인 방향 중 패널로부터 멀어 지는 방향으로 이동한다. 이로써, 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b) 사이에 간격이 형성되어 패널이 충돌없이 측정 위치까지 진입할 수 있도록 한다.

패널이 기 설정된 거리만큼 이송되었음을 전방 센서가 인식하면, 다시 서보 모터(82)가 작동하여 볼-리드 스크류 어셈블리(81)를 연동시키고 제 1 리테이너(21)가 측정 대상인 패널의 이동 방향과 수직인 방향 중 패널과 가까워지는 방향으로 이동한다. 이로써, 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b) 사이가 좁혀서 제 1 및 제 2 접촉팁이 측정 대상인 패널에 접촉하여 두께 측정이 개시된다.

이때, 롤러부재(도시하지 않음)의 실링 부재(도시하지 않음)가 측정 대상인 패널과 직접적으로 접촉하게 되는데, 이는 고무 등의 재질로 되어 있어 측정 대상인 패널에 흠집 등의 손상이 가지 않도록 하는 동시에, 패널을 잡아주어 안정적으로 두께 측정이 이루어질 수 있도록 작용하며, 패널의 이송시 발생하는 진동 및 충격을 감쇠시켜 주기 때문에, 비교적 큰 진동 및 충격이 발생하기 쉬운 패널의 고속 시에 두께 측정의 정밀도를 유지하는데 큰 역할을 감당한다.

제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b)이 패널에 직접적으로 접촉하여 패널의 두께를 측정하는데, 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b)은 제 1 및 제 2 에어 실린더(51, 52)에 의해 패널 방향으로 가압되어 패널의 두께 변화에도 불구하고 패널에 계속적으로 접촉하여 안정적인 측정을 유지한다. 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b)은 전술한 바와 같이 경사지도록 구성되어 두께 변화에 신속하게 대응할 수 있기 때문에, 미소한 변화량을 계측하는 것이 가능하며, 스틱 슬립의 발생을 제거하여 측정되는 데이터의 변동 량을 최소화하고 또한 패널에 의해 마모되는 팁의 수명도 연장시킬 수 있다. 제 1 및 제 2 접촉팁(40)은 선형 베어링(LM 가이드)(도시되지 않음)에 의해 이동되는데, 제 1 및 제 2 접촉팁(40) 하부에 설치되어 있는 제 1 및 제 2 리니어 스케일러(61, 62)가 연결되어 있어, 제 1 및 제 2 리니어 스케일러(61, 62)가 각각의 접촉팁(40a, 40b)의 이동 거리를 측정하여 제어부에 데이터를 송부하여 패널의 두께를 측정해낸다.

패널의 두께 측정 시에, 제 1 리테이너(21)의 하부에 존재하는 로터리 엔코더(71)가 이동되는 패널과 접촉하여 패널의 이동에 따라 회전하는 롤러부재(도시하지 않음)의 회전을 감지하고 이를 제어부(도시되지 않음)에 보내어 패널의 이동 거리를 측정해낸다.

패널이 나가는 출구 쪽에 설치되어 있는 후방 센스(도시되지 않음)가 패널이 기 설정되어 있는 거리만큼 이동되었음을 감지하면, 다시 서보 모터(82)가 작동하여 볼-리드 스크류 어셈블리(81)가 연동 동작함으로써, 제 1 리테이너(21)가 패널의 이동 방향과 수직인 방향 중 패널과 멀어지는 쪽으로 이동하게 된다.

전술한 제 1 리테이너(21)가 패널의 이동 방향과 수직한 방향으로 패널에 가까워지도록 또는 멀어지도록 이동하는 경우나, 패널의 두께 변화가 있는 경우에 이동 가능하게 설치되어 지는 제 1 리테이너(21)에는 진동 및 충격이 발생할 가능성이 있는데, 제 1 리테이너(21)와 결합되어 있는 진동 흡수 장치(90)가 에어 실린더(91) 등을 이용하여 이를 흡수하고, 이를 통하여 제 1 리테이너(21)가 손상되는 것을 막는 동시에 안정적인 측정이 계속될 수 있도록 돕는다.

패널이 인라인으로 이송되어 측정이 계속될 경우에는 접촉팁(40)이 마모될 수 있는데, 이 경우에 정확한 측정이 이루어질 수 없기 때문에 영점 조정(calibration)이 필요하다. 소정 횟수의 측정이 끝난 후에, 제 1 리테이너(21)의 상부에 위치한 영점 조정 장치(100)에 의해 영점 조정이 자동적으로 이루어지는데, 에어 실린더(101)가 작동하여 기준 두께로 제작된 영점 조정용 패널(102)을 도 3에 도시된 화살표 방향으로 수평 이동시키고, 그 후에 상하 작동 장치(도시되지 않음)에 의해 화살표 방향으로 수직 이동시켜 본래 측정 패널이 측정되는 곳에 영점 조정용 패널(102)을 위치시킨다. 영점 조정용 패널(102)은 측정하려는 대상 패널과 같은 종류의 것이 바람직하다.

그 후, 본래 측정하고자 하는 패널의 측정 시와 마찬가지로, 제어부가 서보모터(82) 및 볼-리드 스크류 어셈블리(81)를 작동시켜 제 1 및 제 2 접촉팁(40a, 40b)이 영점 조정용 패널(102)과 접촉하게 되는데, 이때 제 1 및 제 2 리니어 스케일러(61, 62)로 측정되는 영점 조정용 패널(102)의 두께를 영점으로 다시 설정하게 된다. 이를 통하여, 별도의 영점 조정 장치나 팁의 교체 없이도 영점 조정 장치(100)의 간단한 동작을 통해 제어부가 새로운 영점을 입력받음으로써, 마모된 팁을 통해서도 계속적으로 정확한 측정을 유지할 수 있게 된다.

지금까지 상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변경 실시가 가능할 것이다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고, 특허청구범위에 의해 정하여져야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 특유의 구조를 통하여 평판 패널에 손상을 주지 않으면서 평판 패널의 적합한 측정 부분 전면에 대한 두께를 마이크로 단위까지 정밀하게 측정할 수 있고, 특히 평판 패널이 고속으로 이동하는 경우에도 그 두께를 정확하게 측정할 수 있는 특유의 효과가 있다.

Claims (13)

1. 인라인 이송되는 패널의 접촉식 두께 측정기로써,

   제 1 리테이너에 장착되어 상기 패널의 일측면에 접촉되는 제 1 접촉팁을 가지는 제 1 측정부와,

   제 2 리테이너에 장착되어 상기 패널의 타측면에 접촉되는 제 2 접촉팁을 가지는 제 2 측정부를 포함하고,

   상기 제 1 접촉팁과 제 2 접촉팁은 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향에 대하여 소정의 각도로 기울어지며, 상기 패널의 두께 변화에 따라 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향으로 이동 가능한

   패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉팁은 상측에서 보았을 때, 사다리꼴 형상으로 두 개의 기울어진 면을 가지도록 구성되는 것

   을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 접촉팁은 상기 패널에 비해 낮은 경도를 가지는 고형의 물질로 이루어지는 것

   을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 1 측정부 및 상기 제 2 측정부는 상기 제 1 접촉팁 및 상기 제 2 접촉팁에 대해 상기 패널을 향해 일정한 압력을 가하기 위한 압력 가압 장치를 포함하는

   패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 1 리테이너 및 상기 제 2 리테이너는 상기 패널의 위치를 잡아주는 패널 고정부를 각각 더 포함하는

   패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 패널 고정부는 이송되는 상기 패널과 함께 회전하는 다수의 롤러부로 구성되는 것

   을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
7. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,

   상기 제 1 리테이너 및 상기 제 2 리테이너 중 어느 하나는 고정되도록 설치되고,

   상기 제 1 리테이너 및 상기 제 2 리테이너 중 다른 하나는 상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 것

   을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 제 1 리테이너 및 상기 제 2 리테이너 중 어느 하나는 상기 패널의 이송 거리를 측정하기 위한 엔코더를 포함하는 것

   을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 패널의 이송 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 리테이 너에는 그 진동을 흡수하기 위한 진동 흡수 장치가 더 포함되는

   패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 제 1 측정부 및 상기 제 2 측정부는 상기 제 1 접촉팁 및 상기 제 2 접촉팁의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 스케일러를 포함하는 것

    을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
11. 제 1 항에 있어서,

    상기 측정기의 상부가 커버로 둘러싸여지는 것

    을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
12. 제 1 항에 있어서,

    상기 측정기는 영점 조정 장치를 더 포함하는

    패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 영점 조정 장치는 측정 대상인 패널과 같은 종류의 영점 조정용 패널을 포함하는 것

    을 특징으로 하는 패널의 인라인 접촉식 두께 측정기.

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