KR20060045109A - 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한극저온 냉동기 - Google Patents

극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한극저온 냉동기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기으로서, 더욱 상세하게는 재생식 사이클 기기(Regenerative Cycle Machine)에 사용되는 재생기에 관한 것으로, 가는 금속선을 작동유체의 유동방향과 나란하게 튜브의 내부에 번들로 집속시켜 각 금속선의 내부를 통과하는 작동유체의 마찰계수를 최소화하여 압력 강하손실을 보상하고, 또한 기존의 망체 구조 재생기 보다 상대적으로 작아진 공극률로 인해 작동유체와의 전열면적 증가에 따른 축열 및 방열 성능을 향상시킬 수 있는 구조의 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기에 관한 것이다.
튜브, 재생기, 극저온 냉동기, 공극률, 스테인레이스 스틸

Description

극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기{Regenerator Of Cryocooler And Its Applicable Refrigerator And Manufacturing Method Thereof}
도 1은 종래의 재생식 사이클 기기인 극저온 냉동기에 적용된 재생기의 분해사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기 개략도,
도 3은 도 2에 따른 극저온 냉각기의 재생기 내부 구성도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기 내부 구성도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기와 종래의 망구조를 갖는 재생기의 마찰계수를 비교한 그래프,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기와 종래의 망구조를 갖는 재생기의 엔트로피 생성률을 비교한 그래프,
도 7은 본 발명의 극저온 냉각기의 재생기 제조방법을 나타내는 순서도,
도 8은 도 7의 S400단계를 나타내는 순서도,
도 9는 도 7의 S100단계에서 S700단계까지의 과정을 도시한 개략도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 재생기 110: 튜브
120: 금속선 130: 보조튜브
200: 스풀 300: 로울러
400: 고정테이프
본 발명은 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기에 관한 것으로, 특히 재생기의 압력강하 손실을 감소시키고 전열 면적을 증가시킬 수 있는 구조의 극저온 냉각기의 재생기 및 재생기가 적용되는 냉동기 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 재생식 사이클 기기는 프레온 계열의 냉매를 사용하지 않는 친환경적인 기기이고, 최근에 고온 초전도체 응용분야의 발전과 더불어 활발하게 연구되고 있는 분야이다. 특히 재생식 사이클 기기는 압축영역, 재생기 및 팽창영역으로 구성되며, 작동 유체가 재생기 내부를 왕복 유동함으로써, 재생기와 작동유체 간에 반복적인(Cyclic) 열교환이 발생하게 된다.
이 때 압축영역에서 압축된 작동유체는 재생기를 통과하여 팽창영역으로 이동하면서 재생기에 열을 일시적으로 저장하게 되고, 팽창영역에서 팽창 일에 의해 온도가 낮아진 작동유체가 압축영역으로 흐를 때에는 재생기에 일시적으로 저장된 열이 작동유체로 전달된다. 이러한 일련의 과정들은 하나의 사이클을 이루게 되며, 반복적으로 운전이 된다.
재생기는 열효율을 극대화하기 위하여 전열면적을 크게 하는데 일반적으로 유로가 매우 작은 다공성 매질(Porous Medium)을 사용한다. 재생기의 형상은 금속 망(Screen), 구슬(Sphere) 및 평행 판(Plate)등이 사용되고 있고, 상온 및 액체 질소 온도 범위에서는 대부분 금속 망을 사용하여 제작한다.
이하에서는 종래의 극저온 냉각기의 재생기에 관하여 첨부되어진 도면에 의하여 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 재생식 사이클 기기인 극저온 냉동기에 적용된 재생기의 분해사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 재생기(9)는 나일론이나 황동 또는 스테인레스 재질의 가는 금속선(5)을 원형의 망체(3)로 다수 구성하고, 상기 각 망체(3)를 원통상의 튜브(1)에 적층시켜 이루어져 있다.
그러나 이러한 구성의 재생기는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫번째로, 망체를 적층시켜 구성하여 재생기 축방향으로의 마찰계수(Friction Factor)가 커지므로 압력강하 손실이 상대적으로 크다. 이러한 압력강하 손실이 증가하면 재생식 사이클 기기의 팽창영역에서 팽창 일이 감소하므로 기기 전체의 성능이 저하되는 악영향을 끼친다. 여기서 마찰계수는 압력강하와 유속의 제곱의 비율로 나타나는 무차원수로 정의된다.
두번째로, 망체는 가는 선들을 규칙적으로 직조하였기 때문에 고가의 재료이다. 또한 망체을 적층하기 위해서는 망체을 원형으로 정밀하게 절단해야 하고, 절단된 망체들을 적게는 수 백장에서 많게는 천장 이상을 적층해야 원하는 재생기의 길이를 얻을 수 있다.
이 때 망체를 원형으로 절단하는 작업은 고가의 와이어 방전가공(Wire Electric Discharge Machining)을 이용해야 하는 단점이 있다. 또한 망체를 적층하는 과정은 시간이 많이 소요되는 작업이고, 기계 자동화 보다는 사람의 수작업이 꼭 필요한 작업이기 때문에 많은 인건비가 추가된다.
종래에 널리 사용되는 망체 또는 구슬과 비교하여 종래의 평행 판 재생기는 공극률을 감소시키고, 마찰계수를 작게 하는 것이 이론적으로 가능하다. 하지만, 실제 제작 시에는 평행 판 배열의 간격들을 고르게 유지하는 것이 상당히 어렵다. 따라서, 평행 판 배열을 통과하는 작동유체의 흐름이 불균일 해지는 결과를 가져오게 된다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명은 공극률을 작게하여 단위체적당 전열면적을 크게 할 수 있도록 작동유체 통과시 작동유체의 유동방향과 나란하게 다수의 금속선을 번들로 집속시켜 유체의 마찰계수를 감소시킨 구조의 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 아래의 특징을 갖는다.
본 발명은, 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기에 있어서, 번들로 집속된 금속선이 내부에 축설된 튜브로 구성된다.
또한 본 발명은, 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기에 있어서,
번들로 집속된 금속선이 내부에 축설된 튜브; 및 상기 튜브를 축선방향으로 다수 적층시켜 고정시킬 수 있도록 상기 각 튜브와 튜브의 적층면에 부착되는 보조튜브;를 포함하여 구성된다.
아울러 발명은, 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기 제조방법 있어서,
스풀에 감긴 금속선을 로울러에 권취하는 단계; 상기 로울러로 권취된 금속선을 테이프를 통해 가 고정하는 단계; 금속선을 로울러의 길이방향으로 절단하는 단계; 절단된 금속선을 원형으로 번들 집속하는 단계; 번들 집속된 금속선을 튜브의 내부에 삽입하는 단계; 튜브의 직경을 감소시켜 금속선을 튜브에 고정하는 단계; 가 고정된 테이프가 제거되도록 튜브의 양단을 절단하는 단계; 튜브를 와이어 방전가공을 통해 등간격으로 절단하는 단계; 각 튜브를 축방향으로 적층시킨후 접합하는 단계; 각 튜브의 적층면에 보조튜브를 접합하는 단계; 및 상기 튜브를 세척하여 완성하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
이하에서는 본 발명에 따른 극저온 냉동기의 재생기에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기 개략도이고, 도 3은 도 2에 따른 극저온 냉각기의 재생기 내부 구성도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예는 재생식 사이클 기기(Regenerative Cycle Machine)에 사용되는 재생기에 관한 것으로, 특히 재생기의 압력강하 손실을 감소시키고 전열면적을 증가시킬 수 있는 구조의 극저온 냉각기의 재생기(100)에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 재생기(100)의 구성은 크게 2부분으로 구성되는데, 이는 튜브(110)와, 상기 튜브(110)에 내부에 축설되는 다수의 금속선(120)으로 구성된다.
여기서 상기 금속선(120)은 다수개가 번들로 집속되어, 상기 튜브(110)의 길이방향으로 축설되어 구성된다. 이 때 상기 각 금속선(120)은 튜브(110)에 축설 시 각 금속선(120)의 사이에 작동유체가 통과될 수 있도록 그 단면 형상은 원형이다.
즉, 이러한 형상은 각 금속선(120) 사이를 통과하는 작동유체의 마찰계수를 최소화할 수 있는 구조로, 본 발명은 그와 같은 효과를 유도한다.
아울러, 본 발명의 실시예에 의한 재생기(100)는 원형 단면을 갖는 다수개의 금속선(120)이 튜브(110)의 길이방향을 따라 축설되어 기존의 망체 구조 재생기 보다 공극률이 약 30% 정도 작아지는 효과가 있으며, 이에 따라 작동유체와의 전열면 적이 증가되어 단위체적당 축열 및 방열 효과를 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 각 금속선(120)은 나일론, 스텐인레스, 황동, 청동 및 페프론(Peflon) 중 선택되는 어느 하나인 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기 내부 구성도이다. 도 4와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 재생기(100)는 번들로 집속된 금속선(120)이 내부에 축설된 다수의 튜브(110) 및 상기 각 튜브(110)를 축선방향으로 다수 적층시켜 고정시킬 수 있도록 상기 각 튜브(110)와 튜브(110)의 적층면에 부착되는 보조튜브(130)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 튜브(110)는 실시예로 8개로 분할되어 구성되며, 각각의 튜브(110)를 고정하기 위해 상기 각 튜브(110)의 적층면에는 7개의 보조튜브(130)가 부착되어 구성된다.
이 때 상기 각 튜브(110) 및 보조튜브(130)를 상호 고정하기 위해 상기 각 튜브(110)의 적층면에 부착되는 보조튜브(130)는 고압에 견디도록 납땜으로 고정한다.
이러한 구성은 재생기(100)의 축방향으로 열전도 손실을 감소시켜주기 위한 구조로, 튜브(110)와 튜브(110)의 사이에 접촉 열 저항을 발생시켜 축방향으로의 열전도 손실 감소를 유도한다.
상기와 같이 제조된 재생기를 포함하는 극저온 냉동기는 스털링 냉동기, 맥동관 냉동기, GM 냉동기, VM 냉동기, 열음향 냉동기 또는 스털링 엔진 냉동기로 이 루어진다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기와 종래의 망구조를 갖는 재생기의 마찰계수를 비교한 그래프이다.
여기서 본 발명의 공극률은 약 0.42% 정도이고, 금속선의 직경은 약 73㎛ 정도라 정의한다.
그리고, 종래의 망체 재생기의 공극률은 약 0.68% 정도라 정의한다. 이 때 치수번호#(Mesh number)은 1인치 폭에 배치된 선의 개수이다.
아울러 마찰계수는 유속의 제곱과 압력강하의 비율로 나타내는 무차원수이고, 레이놀즈수는 유속과 재생물질의 특성 길이(Characteristic length)를 포함하는 무차원수이다.
도 5에 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시에에 따른 재생기는 종래의 망체 재생기(9)와 비교하여 마찰계수가 1/4에서 1/5 정도 작게 측정된 것을 알 수 있다. 이 때 상기 마찰계수는 레이놀즈수가 높아짐에 따라 마찰계수는 작아지는 것을 알 수 있다.
여기서 상기 마찰계수가 작다는 것을 압력강하 손실이 작다는 것을 의미한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 극저온 냉각기의 재생기와 종래의 망구조를 갖는 재생기의 엔트로피 생성률을 비교한 그래프이다.
여기서 엔트로피 생성률(Entropy Generation Rate)은 재생기에서 발생하는 손실을 대표하는 열역학적 상태량이고, 단위는 (Watt/Kelvin)으로 표시한다.
그리고 종횡비(Aspect Ratio)는 재생기의 길이와 직경의 비를 나타낸다.
아울러 하기의 [표 1]에서는 다음과 같은 조건들을 정의한다.
고온측 유량의 진폭 1 g/s
고온측 온도 300Κ
저온측 온도 77Κ
작동 주파수 4.6㎐
평균 압력 18bar
고온측 유량과 압력의 진폭 3bar
고온측에서 유량가 압력의 상대 위상각 50˚
공극 체적 2.2cc
도 6에서 알 수 있는 바와 같이, [표 1]의 조건에서, 본 발명의 다른 실시예의 재생기에서 발생하는 손실이 종래의 망 재생기 보다 감소한다. 이것은 마찰 계수 감속에 따른 압력강하 손실의 감소와 공극률이 감소하여 단위 체적당 전열면적의 증가로 축열 및 방열 성능이 향상되었기 때문이다.
도 7은 본 발명의 극저온 냉각기의 재생기 제조방법을 나타내는 순서도이고, 도 8은 도 7의 S400단계를 나타내는 순서도이며, 도 9는 도 7의 S100단계에서 S700단계까지의 과정을 도시한 개략도이다.
도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 본 발명의 극저온 냉각기의 재생기 제조방법은, 먼저, 스풀(200)에 감긴 금속선(120)을 로울러(300)에 권취한다. 이 때 상기 로울러(300)의 표면에 금속선(120)이 고루게 권취되도록 스풀(200) 또는 로울러(300)를 일방향으로 이동시킨다.(S100)
그리고 상기 로울러(300)로 권취된 금속선(120)을 절단하기 위해 테이프 (400)와 같은 고정수단으로 가(假) 고정하고(S200), 고정된 금속선(120)을 로울러(300)의 길이방향으로 절단한다.(S300) 여기서 상기 튜브(110)의 길이를 감안하여 각 금속선(120)의 상부 및 하부를 절단한다. 이 때 절단된 금속선(120)이 절단되기 전의 상태를 유지하도록 테이프(400)가 포함되게 절단한다.
아울러 절단된 금속선(120)을 튜브(110)의 내부에 축설되도록 원형으로 번들 집속한다.(S400) 이 때 번들 집속된 금속선(120)은 상기 튜브(110)에 삽입되도록 상기 튜브(110)의 내경 보다 상태적으로 작은 직경을 갖게 번들화 하는 것이 중요하다. 이 때 원형으로 번들 집속된 금속선(120)의 양단을 테이프(400)를 통해 다시 한번 가 고정한다.(S410)
번들된 금속선(120)을 튜브(110)의 내부에 삽입한다.(S500)
삽입된 금속선(120)이 튜브(110)의 내부에 고정되도록 금속성 재질을 갖는 튜브(110)의 연성을 이용하여 직경을 감소시켜 금속선(120)이 튜브(110)에 고정되도록 한다.(S600)
그리고 튜브(110)의 양단에 배치된 테이프(400)가 제거되도록 튜브(110)의 양단을 절단하여 실시예에 언급된 본 발명의 재생기를 완성한다.(S700)
이 후 본 발명의 다른 실시예에 따른 재생기를 구현하기 위해서는 다음과 같은 단계가 더 포함된다.
완성된 튜브(110)를 와이어 방전가공을 통해 등간격으로 8개로 분할되도록 절단한다.(S800) 이 때 재생기(100)의 규모 또는 금속선의 직경에 따라 튜브(110)의 분할 개수가 달라 질 수 있다.
이 후 각 튜브(110)를 축방향으로 적층시킨후 적층면을 납땜을 통해 접합한다.(S900)
아울러 각 튜브(110)의 적층면을 보강하기 위해 7개의 보조튜브(130)를 납땜을 통해 접합한다.(S1000)
마지막으로 완성된 재생기를 세척하여 완성한다.(S1100)
본 발명에서 언급된 다른 실시예의 분할 튜브 및 보조튜브의 개수는 그 범주 내에서 한정하지 아니하고, 필요에 따라 예를 들면, 금속선의 직경, 금속선의 직경에 따른 공극률, 튜브의 두께, 튜브의 길이에 따라 그 개수가 달리 될 수 있다.
본 발명에 따른 제조방법으로 제조되는 재생기를 포함하는 극저온 냉동기는 스털링 냉동기, 맥동관 냉동기, GM 냉동기, VM 냉동기, 열음향 냉동기 또는 스털링 엔진 냉동기으로 이루어진다.
여기에서, 본 발명에 따른 극저온 냉각기의 재생기 및 재생기가 적용되는 냉동기 및 그 제조방법이 다양하게 변형되어 실시되는 또 다른 실시예들은 다음과 같다.
본 발명의 또 다른 실시예중 제 3실시예로, 본 발명에 따른 재생기(100)가 스털링 냉동기와 엔진, 지엠(GM) 냉동기 및 브이엠(VM) 냉동기에 적용되는 것을 설명한다.
스털링 냉동기와 스털링 엔진, 지엠(GM) 냉동기 및 브이엠(VM) 냉동기는 일반적으로 상온부와 저온부에 2개의 구동부를 가지고 있어 그 구조가 복잡한 단점이 발생하였다.
그러나 마찰 손실이 작고, 실링 성능이 높은 장치들이 개발되어 작동유체를 헬륨 이나 수소를 이용 수십 MPa의 압력까지 가능한 고성능, 고회전을 수행할 수 있는 장점이 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 장점을 살리고, 단점을 극복하기 위하여 본 발명에 따른 분할튜브 및 보조튜브가 구비된 재생기(100)를 적용시켜 단점으로 지적된 재생기(100)의 복잡함을 극복하였다.
또한, 복잡한 구조로 인한 재료 및 가공비용의 상승을 방지할 수 있는 장점이 발생한다.
본 발명에 따른 재생기(100)가 적용되는 맥동관 냉동기와 열음향 냉동기에 적용된 제 4실시예에 대하여 설명한다.
맥동관 냉동기와 열음향 냉동기는 공통적으로 효율은 낮으나 구조적으로 신뢰성이 높다는 장점이 있다.
본 발명에 따른 재생기(100)를 열교환기(미도시) 사이에 장착하게 되면 작동유체는 모두 본 발명에 따른 재생기(100)로 통과될 수 있어, 종래에 맥동관 냉동기와 열음향 냉동기에 공통적으로 적용되는 고온의 열교환기로 일부 작동유체를 보내는 과정을 생략할 수 있다.
따라서, 고온의 열교환기로 보내는 작동유체를 본 발명에 따른 재생기(100)로 보내므로 저온의 열교환기에서 냉동효율이 높아진다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 극저온 냉각기의 재생기 및 그 제조방법과 이를 이용한 극저온 냉동기는 가는 금속선을 작동유체의 유동방향과 나란하게 튜브의 내부에 번들로 집속시켜 각 금속선의 내부를 통과하는 작동유체의 마찰계수를 최소화하여 압력 강하손실을 보상하고, 또한 기존의 망체 구조 재생기 보다 상대적으로 작아진 공극률로 인해 작동유체와의 전열면적 증가에 따른 축열 및 방열 성능을 향상시킬 수 있는 특징이 있다.
또한 금속선과 선 사이의 각견을 고루게 유지하기가 용이하여 재생기의 신뢰성이 높은 특징이 있다.
아울러 제작이 간편하고 비용이 저렴하여 대량 생산이 용이한 장점이 있다.

Claims (9)

  1. 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기에 있어서,
    번들(bundle)로 집속된 금속선(120)이 내부에 축설된 튜브(110)로 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기.
  2. 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기에 있어서,
    번들(bundle)로 집속된 금속선(120)이 내부에 축설된 다수의 튜브(110); 및
    상기 각 튜브(110)를 축선방향으로 적층시켜 고정시킬 수 있도록 상기 각 튜브(110)와 튜브(110)의 적층면에 부착되는 보조튜브(130);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 각 금속선(120)은 상기 튜브(110)의 길이방향으로 번들 집속된 것을 특 징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 각 금속선(120)은 나일론, 스텐인레스, 황동, 청동 및 페프론 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 각 튜브(110) 및 보조튜브(130)는 납땜으로 접합되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기.
  6. 작동유체가 왕복 통과하는 구조로 이루어지되, 작동유체의 통과시 그 유체로부터 현열을 저장하였다가 다음 통과시 되돌려주는 극저온 냉각기의 재생기 제조방법 있어서,
    스풀(200)에 감긴 금속선(120)을 로울러(300)에 권취하는 단계;(S100)
    상기 로울러(300)로 권취된 금속선(120)을 테이프(400)를 통해 가 고정하는 단계;(S200)
    금속선(120)을 로울러(300)의 길이방향으로 절단하는 단계;(S300)
    절단된 금속선(120)을 원형으로 번들 집속하는 단계;(S400)
    번들 집속된 금속선(120)을 튜브(110)의 내부에 삽입하는 단계;(S500)
    튜브(110)의 직경을 감소시켜 금속선(120)을 튜브(110)에 고정하는 단계;(S600)
    가 고정된 테이프가 제거되도록 튜브(110)의 양단을 절단하는 단계;(S700)
    튜브(110)를 와이어 방전가공을 통해 등간격으로 절단하는 단계;(S800)
    각 튜브(110)를 축방향으로 적층시킨후 접합하는 단계;(S900)
    각 튜브(110)의 적층면에 보조튜브(130)를 접합하는 단계;(S1000) 및
    상기 튜브(110)를 세척하여 완성하는 단계;(S1100)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 S400단계는,
    원형으로 번들 집속된 금속선(120)의 양단을 테이프(400)를 통해 고정하는 단계;(S410)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉각기의 재생기 제조방법.
  8. 제1항 또는 제2항으로 제조되는 재생기(100)가 적용된 스털링 냉동기, 맥동관 냉동기, GM 냉동기, VM 냉동기, 열음향 냉동기 및 스털링 엔진 냉동기의 재생식 사이클 기기에 선택 적용되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동기.
  9. 제 6항의 방법으로 제조되는 재생기(100)가 적용된 스털링 냉동기, 맥동관 냉동기, GM 냉동기, VM 냉동기, 열음향 냉동기 및 스털링 엔진 냉동기의 재생식 사이클 기기에 선택 적용되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동기.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101291059B1 (ko) * 2011-11-18 2013-08-01 삼성중공업 주식회사 맥동관 냉동기
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KR20200079062A (ko) * 2018-12-24 2020-07-02 주식회사 일신바이오베이스 초저온 냉동고
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