KR20060039821A - Apparatus for transportation in vacuum equipment - Google Patents

Apparatus for transportation in vacuum equipment Download PDF

Info

Publication number
KR20060039821A
KR20060039821A KR1020040089054A KR20040089054A KR20060039821A KR 20060039821 A KR20060039821 A KR 20060039821A KR 1020040089054 A KR1020040089054 A KR 1020040089054A KR 20040089054 A KR20040089054 A KR 20040089054A KR 20060039821 A KR20060039821 A KR 20060039821A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer
guide
plate
transfer plate
magnetic field
Prior art date
Application number
KR1020040089054A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
고경오
이진삼
노명근
Original Assignee
테크리카오엘이디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 테크리카오엘이디 주식회사 filed Critical 테크리카오엘이디 주식회사
Priority to KR1020040089054A priority Critical patent/KR20060039821A/en
Publication of KR20060039821A publication Critical patent/KR20060039821A/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406—Magnetic bearings
    • F16C32/0408—Passive magnetic bearings
    • F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
    • F16C32/0434—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for parts moving linearly

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

본 발명은 이송 플레이트 자체의 하중, 이송제어부의 동작 시 발생하는 자체 부하 및 이송 플레이트에 실린 물체의 하중에 의해 발생되는 총부하로 인해 가이드부에서 발생되는 마찰력을 자기장에 의한 척력을 이용하여 감소시킴으로써 가이드부에서의 마찰에 의해 발생하는 미세 입자 혹은 이물질 발생을 최소화하기 위한 진공 장비용 이송장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트상부에 구비되어 물체를 이송시키는 이송 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이의 양측에 구비되어 이송 플레이트의 이송을 가이드 하는 적어도 하나 이상의 가이드부와, 상기 적어도 하나 이상의 가이드부 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트를 상기 적어도 하나 이상의 가이드부를 통해 이송되도록 제어하는 이송 제어부와, 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이에 구비되어 이송 플레이트가 이송될 때 상기 적어도 하나 이상의 가이드부에 가해지는 부하를 자기장의 척력을 이용하여 감소시키는 마그넷부로 구성된다.The present invention is to reduce the friction force generated in the guide portion by using the repulsive force by the magnetic field due to the load of the transfer plate itself, the total load generated by the self load generated during the operation of the transfer control unit and the load of the object loaded on the transfer plate The present invention relates to a conveying apparatus for vacuum equipment for minimizing the generation of fine particles or foreign substances caused by friction in the guide portion, comprising: a base plate, a conveying plate provided on the base plate to convey an object, and the base plate and At least one guide portion provided at both sides between the transfer plates to guide the transfer of the transfer plate, and a transfer control portion provided between the at least one guide portion to control the transfer plate to be transferred through the at least one guide portion; , Prize When the transfer plate is provided between the base plate and transfer plate transfer consists of the load on the at least one guide portion magnet portion for reducing by using a repulsive force of the magnetic field.

이러한 본 발명은 가이드부에서 발생되는 마찰력을 마그넷부에서 발생되는 자기장의 척력에 의해 감소시킴으로써 가이드부에서의 마찰에 의해 발생되는 미세 입자 혹은 이물질을 최소화하여 진공 작업환경의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention reduces the frictional force generated in the guide portion by the repulsive force of the magnetic field generated in the magnet portion to minimize the fine particles or foreign substances generated by the friction in the guide portion to prevent contamination of the vacuum working environment There is.

Description

진공 장비용 이송장치{apparatus for transportation in vacuum equipment}Apparatus for transportation in vacuum equipment

도 1은 종래 기술에 따른 진공 장비용 이송장치의 일 실시예를 도시한 사시도;1 is a perspective view showing an embodiment of a conveying apparatus for a vacuum equipment according to the prior art;

도 2는 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치의 일 실시예를 도시한 사시도;Figure 2 is a perspective view showing one embodiment of a conveying apparatus for a vacuum equipment according to the present invention;

도 3은 도 2의 “a-a" 단면을 도시한 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a section “a-a” of FIG. 2.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

10 : 베이스 플레이트 20 : 이송 플레이트10: base plate 20: transfer plate

30 : 가이드부 31 : 가이드레일30: guide part 31: guide rail

32 : 가이드블록 40 : 이송제어부32: guide block 40: feed control unit

100 : 가이드부 110 : 가이드레일100: guide part 110: guide rail

120 : 가이드블록 111 : 수평 베어링120: guide block 111: horizontal bearing

112 : 수직 베어링 200 : 이송제어부112: vertical bearing 200: feed control unit

210 : 고정자 220 : 이동자210: stator 220: mover

300 : 마그넷부 310 : 제1 마그넷300: magnet portion 310: the first magnet

320 : 제2 마그넷320: second magnet

본 발명은 진공 장비용 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송 플레이트 자체의 하중, 이송제어부의 동작 시 발생하는 자체 부하 및 이송 플레이트에 실린 물체의 하중에 의해 발생되는 총부하로 인해 가이드부에서 발생되는 마찰력을 척력의 자기장에 의해 감소시킴으로써 가이드부에서의 마찰에 의해 발생되는 미세 입자 혹은 이물질 발생을 최소화하기 위한 진공 장비용 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus for vacuum equipment, and more particularly, in the guide part due to the total load generated by the load of the transfer plate itself, the self load generated when the transfer control unit is operated, and the load of the object loaded on the transfer plate. The present invention relates to a conveying apparatus for vacuum equipment for minimizing the generation of fine particles or foreign substances generated by friction in the guide part by reducing the generated frictional force by the magnetic field of the repulsive force.

일반적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 진공 장비용 이송장치를 설명하면 다음과 같다.In general, as shown in Figure 1, when describing the transfer apparatus for vacuum equipment according to the prior art as follows.

종래의 진공 장비용 이송장치는 베이스 플레이트(10)와, 상기 베이스 플레이트(10)상부에 구비되어 물체를 이송시키는 이송 플레이트(20)와, 상기 베이스 플레이트(10)와 상기 이송 플레이트(20) 사이의 양측에 구비되어 이송 플레이트(20)의 이송을 가이드 하는 한 쌍의 가이드부(30)와, 상기 한 쌍의 가이드부(30) 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트(20)를 상기 한 쌍의 가이드부(30)를 통해 이송되도록 제어하는 이송 제어부(40)로 구성된다.Conventional vacuum equipment transfer apparatus is provided between the base plate 10, the transfer plate 20 provided on the base plate 10 to transfer the object, between the base plate 10 and the transfer plate 20 A pair of guide portions 30 provided at both sides of the guide plate 30 to guide the transfer of the transfer plate 20, and between the pair of guide portions 30 to guide the transfer plate 20 to the pair of guides. It is composed of a transfer control unit 40 for controlling the transfer through the unit (30).

상기 한 쌍의 가이드부(30)는 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 구비된 가이드레일(31)과 상기 가이드레일(31)과 맞물리도록 이송 플레이트(20)의 하부에 구비된 가이드블록(32)으로 구성된다.The pair of guide parts 30 are guide blocks 32 provided on the lower portion of the transfer plate 20 to be engaged with the guide rail 31 and the guide rail 31 provided on the base plate 10. It is composed of

상기 이송 제어부(40)로는 볼스크류와 모터 구동방식의 일예를 사용한다.An example of a ball screw and a motor driving method is used as the transfer control unit 40.

먼저, 이송 플레이트(20) 상에 소정 부하를 갖는 물체(미도시)를 실은 상태에서 진공 장비용 이송장치의 동작에 대하여 설명하면, 베이스 플레이트(10)와 이 송 플레이트(20) 사이에 개재된 이송제어부(40)는 상기 이송 플레이트(20)의 이송을 제어하게 된다.First, a description will be given of the operation of the conveying apparatus for vacuum equipment in a state in which an object (not shown) having a predetermined load is loaded on the conveying plate 20, and interposed between the base plate 10 and the conveying plate 20. The transfer control unit 40 controls the transfer of the transfer plate 20.

이와 동시에, 한 쌍의 가이드부(30)는 상기 이송제어부(40)의 제어에 따라 이송되는 이송 플레이트(20)를 안정적으로 이송되도록 가이드하게 된다. 즉, 상기 베이스 플레이트(10) 상부에 구비된 한 쌍의 가이드부(30)내 한 쌍의 가이드레일(31)은 상기 이송 플레이트(20) 하부에 구비된 한 쌍의 가이드블록(32)과 서로 맞물려진 상태에서 상기 이송 플레이트(20)를 안정적으로 이송하여 가이드하게 된다.At the same time, the pair of guides 30 guide the transport plate 20 to be stably transported under the control of the transport control unit 40. That is, the pair of guide rails 31 in the pair of guide parts 30 provided on the base plate 10 are mutually opposite to the pair of guide blocks 32 provided on the lower portion of the transfer plate 20. In the engaged state, the transfer plate 20 is stably transferred and guided.

이때, 상기 이송 플레이트(20)의 자체 부하, 상기 이송제어부(40)의 동작시 발생하는 자체 부하 및 상기 이송 플레이트(20)에 실린 물체(미도시)의 부하로 인하여 한 쌍의 가이드부(30)내 한 쌍의 가이드레일(31)과 한 쌍의 가이드블록(32) 사이에는 마찰이 존재하므로 미세 입자 혹은 이물질이 발생하게 된다.At this time, the pair of guides 30 due to its own load of the transfer plate 20, its own load generated during operation of the transfer control unit 40, and a load of an object (not shown) loaded on the transfer plate 20. Since a friction exists between the pair of guide rails 31 and the pair of guide blocks 32 in the c), fine particles or foreign substances are generated.

따라서, 종래의 진공 장비용 이송장치는 진공 장비용 이송장치의 동작시 가이드부의 가이드레일과 가이드블록은 이송 플레이트의 자체 부하, 이송제어부의 동작시 발생하는 자체 부하 및 이송 플레이트에 실린 물체의 부하에 따라 발생되는 각각의 마찰력이 중첩됨으로써 마찰에 의한 미세 입자 혹은 이물질 발생을 증가시켜 진공 작업환경을 오염시키는 문제점이 있었다.Therefore, in the conventional vacuum equipment transfer apparatus, the guide rail and the guide block of the guide unit during the operation of the vacuum apparatus transfer apparatus are applied to the self load of the transfer plate, the self load generated during the operation of the transfer control unit, and the load of the object loaded on the transfer plate. Since the frictional forces generated according to each other increase the generation of fine particles or foreign substances due to friction, there is a problem of contaminating the vacuum working environment.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 이송 플레이트 자체의 하중, 이송제어부의 동작 시 발생하는 자체 부하 및 이송 플레이트에 실린 물체의 하중에 의해 발생되는 총부하로 인해 가이드부에서 발생되는 마찰력을 마그넷부에서 발생되는 자기장에 의한 척력을 이용하여 감소시킴으로써 가이드부의 마찰에 의해 발생하는 미세 입자 혹은 이물질을 최소화하기 위한 진공 장비용 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a frictional force generated in the guide part due to the total load generated by the load of the transfer plate itself, the self load generated during the operation of the transfer control unit and the load of the object loaded on the transfer plate. It is an object of the present invention to provide a conveying apparatus for vacuum equipment for minimizing fine particles or foreign matters generated by friction of a guide part by reducing using repulsive force caused by a magnetic field generated in a magnet part.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상부에 구비되어 물체를 이송시키는 이송 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이의 양측에 구비되어 이송 플레이트의 이송을 가이드 하는 적어도 하나 이상의 가이드부와, 상기 적어도 하나 이상의 가이드부 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트를 상기 적어도 하나 이상의 가이드부를 통해 이송되도록 제어하는 이송 제어부와, 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이에 구비되어 이송 플레이트가 이송될 때 상기 적어도 하나 이상의 가이드부에 가해지는 부하를 자기장의 척력을 이용하여 감소시키는 마그넷부로 구성된다.In order to achieve the above object, the vacuum device transfer apparatus according to the present invention is provided on both sides between the base plate, the transfer plate provided on the base plate to transfer the object, and the base plate and the transfer plate At least one guide unit for guiding the transfer of the transfer plate, a transfer control unit provided between the at least one guide unit and controlling the transfer plate to be transferred through the at least one guide unit, and between the base plate and the transfer plate. It is provided in the magnet is configured to reduce the load applied to the at least one guide portion when the transfer plate is transferred using the repulsive force of the magnetic field.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치에 대한 일 실시 예로서는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 가장 바람직한 실시 예에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings there may be a plurality of embodiments of the transfer device for a vacuum device according to the present invention, the following describes the most preferred embodiment.

도 2는 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치의 일 실시예를 도시한 사시도 이고, 도 3은 도 2의 “a-a'" 단면을 도시한 단면도이다. 전술한 도 1의 구성요소와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 부여한다.Figure 2 is a perspective view showing one embodiment of a conveying apparatus for a vacuum equipment according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing a section "a-a" of Figure 2. Same as the components of Figure 1 described above The same reference numerals are used for the components.

도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치는 베이스 플레이트(10)와, 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 구비되어 물체를 이송시키는 이송 플레이트(20)와, 상기 베이스 플레이트(10)와 이송 플레이트(20) 사이의 양측에 구비되어 이송 플레이트(20)의 이송을 가이드 하는 적어도 하나 이상의 가이드부(100)와, 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100) 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트(20)가 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)를 통해 이송되도록 제어하는 이송 제어부(200)와, 상기 베이스 플레이트(10)와 이송 플레이트(20) 사이에 구비되어 이송 플레이트(20)가 이송될 때 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)에 가해지는 부하를 자기장의 척력을 이용하여 감소시키는 마그넷부(300)로 구성된다.As shown in Figure 2 and 3, the vacuum device transfer apparatus according to the present invention is a base plate 10, the transfer plate 20 is provided on the base plate 10 to transfer the object, At least one guide portion 100 provided on both sides between the base plate 10 and the transfer plate 20 to guide the transfer of the transfer plate 20 and between the at least one guide portion 100. And a transfer control unit 200 for controlling the transfer plate 20 to be transferred through the at least one guide unit 100, and between the base plate 10 and the transfer plate 20. ) Is composed of a magnet 300 to reduce the load applied to the at least one guide portion 100 by using the repulsive force of the magnetic field.

상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)는 상기 베이스 플레이트(10)의 양측 상부에 "ㄷ"형태로 부착된 가이드 레일(110)과, 상기 이송 플레이트(20)의 양측 하부에 "コ"형태로 맞물리게 부착되어 상기 가이드 레일(110)과 베어링 결합되는 가이드 블록(120)으로 구성된다.The at least one guide part 100 is engaged with guide rails 110 attached to the upper sides of the base plate 10 in a "c" shape, and a lower side of both sides of the transfer plate 20 in a "co" shape. It is attached and consists of a guide block 120 bearing the guide rail 110 and the bearing.

상기 가이드부(100)내 가이드블록(120)은 상기 가이드레일(110)과 서로 맞물려진 상태에서 상기 이송 플레이트(20)를 원하는 방향으로 이송되도록 가이드 하는 적어도 하나 이상의 수평/수직 베어링(111)(112)으로 구성된다. 여기서, 가이드블록(120)에 결합된 적어도 하나 이상의 수평/수직 베어링(111)(112)은 볼트(미부호)와 나사(미도시)에 의해 고정되게 된다.The guide block 120 in the guide part 100 is at least one horizontal / vertical bearing 111 for guiding the conveying plate 20 to be conveyed in a desired direction while being engaged with the guide rail 110. 112). Here, at least one or more horizontal / vertical bearings 111 and 112 coupled to the guide block 120 are fixed by bolts (not shown) and screws (not shown).

상기 이송 제어부(200)는 리니어모터방식으로, 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 부착되어 자기장을 발생하는 고정자(210)와, 상기 이송 플레이트(20)의 하 부에 부착되어 고정자(210)에 의해 발생한 자기장에 의해 전,후로 이동되는 이동자(220)와, 상기 고정자(210)의 코일에 흐르는 전류의 방향을 제어하여 상기 고정자(210)와 이동자(220)에서 각각 발생되는 자기장에 따른 인력/척력에 따라 상기 이동자(220)를 이동시켜 상기 이송 플레이트(20)의 이송을 제어하는 제어부(미도시)로 구성된다.The transfer control unit 200 is a linear motor method, the stator 210 is attached to the upper portion of the base plate 10 to generate a magnetic field, and is attached to the lower portion of the transfer plate 20 to the stator 210. The magnetic force generated by the magnetic field generated by the stator 210 and the mover 220 is controlled by controlling the direction of the current flowing through the mover 220 and the coil of the stator 210. It is composed of a control unit (not shown) for controlling the transfer of the transfer plate 20 by moving the mover 220 in accordance with the repulsive force.

여기서, 상기 고정자(210)는 상기 이송 플레이트(20)의 하부에 부착되고, 이동자(210)는 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 부착될 수도 있다.Here, the stator 210 may be attached to the lower portion of the transfer plate 20, and the mover 210 may be attached to the upper portion of the base plate 10.

상기 마그넷부(300)는 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 결합되어 일정한 극성의 자기장을 발생하는 제1 마그넷(310)과, 상기 제1 마그넷(310)과 대향하면서 공극을 갖도록 상기 이송 플레이트(20)의 하부에 결합되어 상기 제1 마그넷(310)에서 발생되는 자기장과 동일한 극성의 자기장을 발생시켜 상호작용에 의한 척력에 의해 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)에서 발생되는 마찰력을 감소시키는 제2 마그넷(320)을 포함하여 구성되는데, 상기 마그넷부(300)는 적어도 하나 이상으로 구성된다.The magnet part 300 is coupled to the upper portion of the base plate 10 to generate a magnetic field of a certain polarity and the first magnet 310, the transfer plate to have a gap while facing the first magnet 310 ( 20 is coupled to the lower portion of the first to generate a magnetic field of the same polarity as the magnetic field generated in the magnet 310 to reduce the frictional force generated in the at least one guide portion 100 by the repulsive force by interaction It includes two magnets 320, the magnet portion 300 is composed of at least one.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the conveying device for a vacuum equipment according to the present invention having the configuration as described above are as follows.

먼저, 베이스 플레이트(10)와 이송 플레이트(20) 사이에 개재된 이송제어부(200)는 소정 부하를 갖는 물체(미도시)가 실린 이송 플레이트(20)의 이송을 제어하게 된다. 즉, 이송 제어부(200)의 제어부(미도시)는 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 부착된 고정자(210)의 코일에 흐르는 전류의 방향을 제어하여 상기 고정자 (210)와 이동자(220)에서 각각 발생되는 자기장에 따른 인력/척력에 따라 상기 이동자(220)를 이동시켜 상기 이송 플레이트(20)의 이송을 제어하게 된다.First, the transfer control unit 200 interposed between the base plate 10 and the transfer plate 20 controls the transfer of the transfer plate 20 loaded with an object (not shown) having a predetermined load. That is, the control unit (not shown) of the transfer control unit 200 controls the direction of the current flowing through the coil of the stator 210 attached to the upper portion of the base plate 10 in the stator 210 and the mover 220 The mover 220 is moved according to the attraction / repulsion according to the generated magnetic field to control the transfer of the transfer plate 20.

이때, 적어도 하나 이상의 가이드부(100)는 상기 이송제어부(200)의 제어에 따라 이송되는 이송 플레이트(20)를 안정적으로 이송되도록 가이드하게 된다. 즉, 상기 베이스 플레이트(10) 상부에 구비된 적어도 하나 이상의 가이드부(100)내 가이드레일(110)은 상기 이송 플레이트(20) 하부에 구비된 가이드블록(120)의 적어도 하나 이상의 수평/수직 베어링(111)(112)과 서로 맞물려진 상태에서 상기 이송 플레이트(20)를 안정적으로 이송하여 가이드하게 된다.In this case, the at least one guide unit 100 guides the transfer plate 20 to be stably transferred under the control of the transfer control unit 200. That is, the guide rails 110 in the at least one guide portion 100 provided on the base plate 10 are at least one horizontal / vertical bearing of the guide block 120 provided at the lower portion of the transfer plate 20. The transfer plate 20 is stably transported and guided while being engaged with the 111 and 112.

이때, 상기 이송 플레이트(20) 자중, 상기 이송제어부(200)의 동작시 발생하는 부하 및 상기 이송 플레이트(20)에 실린 물체 자중에 따라 발생되는 부하의 총합에 따라 상기 베이스 플레이트(10)상에 형성된 가이드레일(110)과 상기 가이드레일(110)과 맞물려진 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)의 가이드블록(120)에 형성된 수평/수직 베어링(111)(112)과의 사이에서 마찰이 발생하게 된다.At this time, the transfer plate 20 on the base plate 10 in accordance with the sum of the load generated in accordance with the weight of the load generated during the operation of the transfer control unit 200 and the weight of the object loaded on the transfer plate 20. Friction occurs between the formed guide rail 110 and the horizontal / vertical bearings 111 and 112 formed in the guide block 120 of the at least one guide part 100 engaged with the guide rail 110. Done.

여기서, 상기 가이드부(100)의 일실시예로 상기 베이스 플레이트(10)의 양측 상부에 "ㄷ"형태로 부착된 가이드 레일(110)과, 상기 이송 플레이트(20)의 양측 하부에 "コ"형태로 맞물리게 수평/수직 베어링(111)(112)이 형성된 가이드 블록(120)을 사용하는 이유는 종래와 같이 상기 이송 플레이트(20) 자중, 상기 이송제어부(200)의 동작시 발생하는 부하 및 이송 플레이트(20)에 실린 물체 자중에 따라 발생되는 부하의 총합으로 인하여 마찰이 발생하여 미세 입자 및 이물질이 발생하지만 상기 이송 플레이트(20)에 실린 물체의 다음 단계 공정을 수행하기 위한 챔버( 미도시)로의 이송이 가능하기 때문이다.Here, in one embodiment of the guide portion 100, the guide rail 110 is attached to the upper portion of the both sides of the base plate 10 in the form of "C", and the lower side of both sides of the transfer plate 20 "コ" The reason for using the guide block 120 formed with the horizontal / vertical bearings 111 and 112 to be engaged in the form is that the load and the transfer that occur during the operation of the transfer control unit 200, the weight of the transfer plate 20 as in the prior art. The friction is generated due to the sum of the loads generated according to the weight of the object loaded on the plate 20 to generate fine particles and foreign matter, but a chamber (not shown) for performing the next step process of the object loaded on the transfer plate 20. This is because the transfer to the furnace is possible.

상기 마그넷부(300)는 상기 베이스 플레이트(10)와 상기 이송 플레이트(20) 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트(10)가 이송될 때 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)에서 발생하는 부하를 자기장의 척력에 의해 감소시켜 상기 적어도 하나 이상의 가이드부(100)에서의 미세 입자 및 이물질의 발생을 최소화시켜 진공 작업환경의 오염을 방지하게 된다. 즉, 상기 마그넷부(300)의 제1 및 제2 마그넷(310)(320) 각각은 동일한 극성의 자기장을 발생하고 이에 따른 척력에 의해 상기 이송 플레이트(20) 자중, 상기 이송제어부(200)의 동작시 발생하는 부하 및 이송 플레이트(20)에 실린 물체 자중에 따라 발생되는 부하의 총합을 상쇄시켜 상기 부하를 감소시킴으로써, 상기 베이스 플레이트(10) 상부에 형성된 가이드부(100)의 가이드블록(120)에 형성된 수평/수직 베어링(111)(112))과 상기 베이스 플레이트(10)상에 형성된 가이드레일(110) 사이에서 상기 부하의 총합에 따른 마찰에 의한 미세 입자 혹은 이물질 발생을 최소화시켜 진공 작업환경의 오염을 방지하게 된다.The magnet part 300 is provided between the base plate 10 and the transfer plate 20 so that the load generated by the at least one guide part 100 when the transfer plate 10 is transferred to the magnetic field. By reducing the repulsive force to minimize the generation of fine particles and foreign matter in the at least one guide unit 100 to prevent contamination of the vacuum working environment. That is, each of the first and second magnets 310 and 320 of the magnet part 300 generates a magnetic field having the same polarity, and according to the repulsive force, the weight of the transfer plate 20 itself, The guide block 120 of the guide part 100 formed on the base plate 10 by reducing the load by canceling the total load generated according to the load generated during operation and the weight of the object loaded on the transport plate 20 ) Vacuum operation by minimizing the generation of fine particles or foreign substances due to the friction of the total load between the horizontal / vertical bearings (111, 112)) formed on the base plate and the guide rail (110) formed on the base plate (10) It will prevent the pollution of the environment.

상기 가이드부(100)에서는 상기 이송 플레이트(20)를 가이드하기 위한 다른 어떤 방식의 가이드부(100)를 사용하여도 상기 가이드부(100)에서 상기 이송 플레이트(20) 자중, 상기 이송제어부(200)의 동작에 따른 부하 및 상기 이송 플레이트(20)에 실린 물체(미도시) 자중에 따라 발생되는 부하에 의해 발생되는 마찰에 의한 미세 입자 혹은 이물질 발생에 따른 진공 작업환경의 오염을 발생하기 때문에, 상기 마그넷부(300)의 제1 및 제2 마그넷(310)(320) 각각에서 발생되는 동일한 극성의 자기장에 따른 척력에 의해 이러한 부하의 총합을 상쇄시켜 상기 부하의 총합 에 따른 마찰에 의해 발생되는 미세 입자 혹은 이물질 발생에 따른 진공 작업환경의 오염을 방지하기 위한 것이다.In the guide part 100, even when using any other guide part 100 for guiding the transfer plate 20, the transfer part 20 in the guide part 100, the transfer control part 200. Since contamination of the vacuum working environment due to the generation of fine particles or foreign substances due to friction generated by the load generated by the load according to the operation and the load generated by the object (not shown) the weight of the transport plate 20, The total of these loads is canceled by the repulsive force according to the magnetic field of the same polarity generated in each of the first and second magnets 310 and 320 of the magnet portion 300 is generated by the friction according to the total of the loads This is to prevent contamination of the vacuum working environment due to the generation of fine particles or foreign substances.

상기 이송제어부(200)로는 리니어모터방식 이외에 볼스크류와 모터방식, 벨트풀리와 모터방식 또는 기어구동과 모터방식 등의 어떤 것을 사용하여도 상관없다. 왜냐하면 상기 어떤 한 방식을 상기 이송제어부(200)로써 사용하여도 상기 이송 플레이트(20) 자체 부하, 상기 이송제어부(200)의 동작에 따른 자체 부하 및 상기 이송 플레이트(20)에 실린 물체(미도시)의 부하에 따라 상기 가이드부(100)에서 마찰에 의해 발생된 미세 입자 혹은 이물질에 따른 진공 작업환경의 오염을 발생하기 때문에, 상기 마그넷부(300)의 제1 및 제2 마그넷(310)(320) 각각에서 발생되는 동일한 극성의 자기장에 따른 척력에 의해 이러한 부하의 총합을 상쇄시켜 감소시킴으로써 상기 부하의 총합에 따른 마찰에 의해 발생되는 미세 입자 혹은 이물질 발생에 따른 진공 작업환경의 오염을 방지하기 위한 것이다.In addition to the linear motor method, the transfer control unit 200 may use any of a ball screw and a motor method, a belt pulley and a motor method, or a gear drive and a motor method. This is because even when the above-described method is used as the transfer control unit 200, the load on the transfer plate 20 itself, the self load according to the operation of the transfer control unit 200, and an object on the transfer plate 20 (not shown) The first and second magnets 310 of the magnet part 300 are contaminated in the vacuum working environment due to the fine particles or foreign matters generated by the friction in the guide part 100 according to the load of the magnet. 320) To prevent the contamination of the vacuum working environment due to the generation of fine particles or foreign substances caused by friction due to the sum of the load by canceling the total of these loads by the repulsive force of the magnetic field of the same polarity generated in each It is for.

상기와 같은 구성과 작용을 갖는 본 발명에 따른 진공 장비용 이송장치는 이송 플레이트 자체의 하중, 이송제어부의 동작 시 발생하는 자체 부하 및 이송 플레이트에 실린 물체의 하중에 의해 발생되는 총부하로 인해 가이드부에서 발생되는 마찰력을 마그넷부에서 발생되는 자기장에 의한 척력을 이용하여 감소시킴으로써 가이드부의 마찰에 의해 발생하는 미세 입자 혹은 이물질 발생을 최소화하여 진공 작업환경의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.The conveying apparatus for the vacuum equipment according to the present invention having the above-described configuration and action has a guide due to the total load generated by the load of the transfer plate itself, the self load generated during the operation of the transfer control unit, and the load of the object loaded on the transfer plate. By reducing the frictional force generated in the part by using the repulsive force by the magnetic field generated in the magnet portion has the effect of minimizing the generation of fine particles or foreign substances generated by the friction of the guide portion to prevent contamination of the vacuum working environment.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니 하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위 및 그와 균등한 것들에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims and their equivalents.

Claims (5)

베이스 플레이트와;A base plate; 상기 베이스 플레이트의 상부에 구비되어 물체를 이송시키는 이송 플레이트와;A transfer plate provided at an upper portion of the base plate to transfer an object; 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이의 양측에 구비되어 이송 플레이트의 이송을 가이드 하는 적어도 하나 이상의 가이드부와;At least one guide part provided at both sides between the base plate and the transfer plate to guide the transfer of the transfer plate; 상기 적어도 하나 이상의 가이드부 사이에 구비되어 상기 이송 플레이트가 상기 적어도 하나 이상의 가이드부를 통해 이송되도록 제어하는 이송 제어부와;A transfer control unit provided between the at least one guide unit and controlling the transfer plate to be transferred through the at least one guide unit; 상기 베이스 플레이트와 이송 플레이트 사이에 구비되어 이송 플레이트가 이송될 때 상기 적어도 하나 이상의 가이드부에 가해지는 부하를 자기장의 척력을 이용하여 감소시키는 마그넷부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 장비용 이송장치.And a magnet unit provided between the base plate and the transfer plate to reduce the load applied to the at least one guide unit when the transfer plate is transferred by using a repulsive force of a magnetic field. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 적어도 하나 이상의 가이드부는 The at least one guide portion 상기 이송 플레이트의 하부에 부착된 가이드레일과, A guide rail attached to a lower portion of the transfer plate, 상기 가이드레일과 적어도 하나 이상의 수평/수직 베어링에 의해 서로 맞물려져 상기 이송 플레이트를 원하는 방향으로 이송되도록 가이드하는 가이드블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 장비용 이송장치.And a guide block engaged with each other by the guide rail and at least one horizontal / vertical bearing to guide the transfer plate in a desired direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송 제어부는 The transfer control unit 상기 베이스 플레이트의 상부에 부착되어 자기장을 발생하는 고정자와, 상기 이송 플레이트의 하부에 부착되어 고정자에 의해 발생한 자기장에 의해 전,후로 이동되는 이동자와, 상기 고정자의 코일에 흐르는 전류의 방향을 제어하여 상기 고정자와 이동자에서 각각 발생되는 자기장에 따른 인력/척력에 따라 상기 이동자를 이동시켜 상기 이송 플레이트의 이송을 제어하는 제어부로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 장비용 이송장치.A stator attached to an upper portion of the base plate to generate a magnetic field, a mover attached to a lower portion of the transfer plate to move forward and backward by a magnetic field generated by the stator, and a direction of current flowing through a coil of the stator; And a control unit configured to control the transfer of the transfer plate by moving the mover according to the attraction / repulsive force according to the magnetic field generated by the stator and the mover, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마그넷부는 적어도 하나 이상으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 장비용 이송장치.Transfer device for vacuum equipment, characterized in that consisting of at least one magnet portion. 제1항 또는 제4항에 있어서,The method according to claim 1 or 4, 상기 마그넷부는 상기 베이스 플레이트의 상부에 결합되어 일정한 극성의 자기장을 발생하는 제1 마그넷과; The magnet unit is coupled to the upper portion of the base plate and generates a magnetic field of a constant polarity; 상기 제1 마그넷과 대향하면서 공극을 갖도록 상기 이송 플레이트의 하부에 결합되어 상기 제1 마그넷에서 발생되는 자기장과 동일한 극성의 자기장을 발생시켜 상호작용에 의한 척력에 의해 상기 적어도 하나 이상의 가이드부에서 발생되는 마찰력을 감소시키는 제2 마그넷을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 진공 장비용 이송장치.The magnetic field having the same polarity as that of the magnetic field generated in the first magnet is coupled to the lower portion of the transfer plate so as to face the first magnet and is formed in the at least one guide part by repulsive force due to interaction. Transfer device for vacuum equipment, characterized in that it comprises a second magnet for reducing the frictional force.
KR1020040089054A 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus for transportation in vacuum equipment KR20060039821A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040089054A KR20060039821A (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus for transportation in vacuum equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040089054A KR20060039821A (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus for transportation in vacuum equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060039821A true KR20060039821A (en) 2006-05-09

Family

ID=37146986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040089054A KR20060039821A (en) 2004-11-03 2004-11-03 Apparatus for transportation in vacuum equipment

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060039821A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101525056B1 (en) * 2014-02-04 2015-06-03 (주)가온솔루션 transfer guide of no contact type
CN108506342A (en) * 2018-03-20 2018-09-07 北京石油化工学院 A kind of double drive overhead traveling crane of active levitation
KR102244820B1 (en) * 2020-08-10 2021-04-27 (주)세스텍 transfer robot adopting linear motor
KR20220109245A (en) * 2021-01-28 2022-08-04 (주)가온솔루션 Moving apparatus in tunnel

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101525056B1 (en) * 2014-02-04 2015-06-03 (주)가온솔루션 transfer guide of no contact type
CN108506342A (en) * 2018-03-20 2018-09-07 北京石油化工学院 A kind of double drive overhead traveling crane of active levitation
KR102244820B1 (en) * 2020-08-10 2021-04-27 (주)세스텍 transfer robot adopting linear motor
KR20220109245A (en) * 2021-01-28 2022-08-04 (주)가온솔루션 Moving apparatus in tunnel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100699271B1 (en) Transporting appratus
KR101049222B1 (en) Magnetic levitation conveying device using vertical linear motor
KR101049221B1 (en) Magnetic Levitation Carrier Using Linear Induction Motor
KR100707390B1 (en) Apparatus for carring glass
KR20080104695A (en) Apparatus for transferring substrates
US20100108474A1 (en) Conveyor system
TW201300303A (en) Apparatus for transferring substrates
KR20110036445A (en) Magnetic levitation conveyance device
US20070001520A1 (en) Linear motor
KR20060039821A (en) Apparatus for transportation in vacuum equipment
KR101318173B1 (en) Apparatus for transferring substrates
KR101110332B1 (en) Waterproof Linear Motor Stage.
JP2005053699A (en) Step of escalator or driving device for plate of moving sidewalk
KR20110073968A (en) Guide apparatus using magnetic levitation
KR100675559B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR101525056B1 (en) transfer guide of no contact type
KR100783680B1 (en) Lifting apparatus
JPS60261302A (en) Article conveyor in high vacuum
KR101424252B1 (en) Stage apparatus
KR102439631B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
US6290056B1 (en) Conveying apparatus for conveying magnetic workpieces
JP3799193B2 (en) Wafer transfer device
KR102578858B1 (en) Magnetic levitation wafer transfer apparatus using electro permanent magnet
KR20190080386A (en) Magnetic levitation transportation apparatus
KR100655144B1 (en) Apparatus for reducing load in transportation device of vacuum equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application