KR20060038538A - 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리관에 외부보다 낮은 압력의 가스를 주입하고 레이저를 사용하여 밀봉과 절단을 동시에 수행할 수 있도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치에 있어서, 기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입수단; 및 기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
레이저, 밀봉/절단 공정 및 장치, 가스 주입, 유리관

Description

기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법{PROCESS AND DEVICE FOR GAS FILLING AND LASER SEALING/CUTTING OF GLASS TUBES}
도 1은 본 발명인 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치에 적용된 기체 주입수단의 구성을 설명하기 위한 블록도,
도 2는 본 발명인 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치에 적용된 밀봉/절단 수단의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 ***
10 : 연결부 20 : 기체 주입 밸브
30 : 진공밸브 40 : 기체 주입 분배모관
50 : 진공 분배모관
본 발명은 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
보다 상세하게는, 유리관에 외부보다 낮은 압력의 가스를 주입하고 레이저를 사용하여 밀봉과 절단을 동시에 수행할 수 있도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
가스를 주입하고 밀봉한 유리관은 형광등이나 냉음극형광등(Cold Cathode Fluorescent Lamp, CCFL)등의 제조에 많이 쓰인다. 이제까지는 토치를 주로 사용하고 있으나 정밀한 절단에 의한 우수한 절단면을 얻을 수 있고 자동화에 의한 대량생산에 유리한 레이저를 사용하는 공정으로 대체되고 있다. 특히 디스플레이 산업에서 유리관 가공은 중요한 비중을 차지한다. FPD (Flat Panel Display)나 노트북에 쓰이는 BLU (Black Light Unit)의 발광원인 냉음극형광등(CCFL, Cold Cathode Fluorescent Lamp)는 borosilicate 성분의 미세 유리관으로 만드는데, 이 램프는 유리관내에 가스와 전극봉을 넣은 후에 토치를 사용하여 밀봉하는 방법으로 제조된다. 이와 유사하게 미세한 유리관에 방사성 가스를 넣고 밀봉하여 자체발광 램프도 만들 수 있는데 이는 LCD (Liquid Crystal Display)의 BLU나 시계, 그 밖의 디스플레이 소자에 응용할 수 있다. 이러한 자체발광 램프는 전원의 공급이 필요 없고 수명이 길다는 장점이 있어 앞으로 응용분야가 많아질 것으로 예상된다.
1980년대 초 레이저를 이용한 유리 밀봉기술이 소개되면서 다양한 응용분야에 적용이 되어왔다. 그러나 밀봉기술의 대부분은 유리판과 유리판이 접착되는 사이의 밀봉에 대한 기술개발이었다. 또한 유리관 밀봉공정도 유리관의 회전 없이 레이저를 조사, 밀봉하거나 가스가 채워져 있지 않은 유리관의 한쪽 끝을 수직방향이 아닌 방향으로 비스듬하게 입사하여 밀봉하는 기술이었다. 절단공정에서는 기존 공정과는 달리 레이저 공정은 비접촉식이므로 많은 이점을 가지고 있다. 특히 절단면의 품질이 다른 기술들과 비교해 볼 때 미세 크랙이 생기지 않고 가공 시 공정면적이 작기 때문에 월등히 우수하다. 최근에는 디스플레이 산업이 급격히 확대되면서 LCD, PDP (Plasma Display Panel) 등의 유리의 패널 절단에 활용되고 있다.
깨끗한 절단면을 얻기 위해서는 유리관을 회전시키면서 절단해야 하는데 기체를 주입하고 있는 상태에서 회전을 시키면 회전부와 고정부의 접촉부위에서 기체 누출의 위험이 커진다.
한편, 고가의 특수 접합부를 쓰면 누출을 방지할 수는 있으나 경제성을 고려해 볼 때 실용성이 없다.
따라서, 고가의 부품을 사용하지 않으면서도 누출의 위험도 없는 공정들을 개발 연구하기에 이르렀다.
본 발명은 상기와 같은 개발 연구에 부응하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유리관에 외부보다 낮은 압력의 가스를 주입하고 레이저를 사용하여 밀봉과 절단을 동시에 수행할 수 있도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 외부의 불순 기체가 유리관 내에 유입되지도 않도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또다른 목적은 기체가 봉입된 유리관을 원하는 길이로 기체의 누출없이 밀봉/절단할 수 있도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또다른 목적은 깨끗하고 우수한 상태의 절단면을 얻을 수 있도록 하기 위한 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치에 있어서, 기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입수단; 및 기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기체 봉입수단은, 기체 주입을 위해 유리관을 삽입하는 유리관 연결부와, 기체 주입 분배모관에 설치되는 기체 주입 밸브와, 장치 내부를 진공 배기하기 위한 진공 분배 모관에 설치되는 진공밸브와, 기체 공급원에서 오는 기체를 각 유리관에 공급하기 위한 기체 주입 분배모관와, 유리관 연결 전/후 장치 내부의 불순 기체를 제거하기 위해 진공 펌프에 연결되는 진공 분배모관로 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기체 주입 분배모관은, 양끝단이 상기 기체 공급원에 연결되어 필요시 기체를 순환시킬 수 있는 구조를 가지고 있는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 밀봉/절단수단은, 유리관을 고정시키기 위한 고정척과, 유리관이 밀봉/절단됨에 따라 남은 유리관을 잡고 상기 고정척 쪽으로 지정한 길이만큼 이동시키기 위한 이동축과, 상기 고정척과 상기 이동척을 회전시켜 레이저 가공시 유리관을 회전시키기 위한 유리관(척) 회전 모터와, 상기 고정척과 이동척의 개폐를 제어하는 척 구동 모터와, 상기 고정척과 상기 이동척의 회전을 동기화하기 위한 spline 축과, 상기 이동척을 상기 고정척 방향 또는 그 반대방향으로 지정한 길이 만큼 이동 시키기 위한 이동척 구동 모터와, 상기 유리관(척) 회전 모터로 구동되는 spline 축의 회전을 상기 고정척과 상기 이동척에 전달하기 위한 타이밍 벨트와, 유리관의 위치를 고정시켜 회전 시 유리관을 안정화시키기 위한 유리관 가이드와, 상기 유리관 가이드의 레이저 빔 측 끝단부에 설치되어 있으며, 이동척이 지정된 거리를 이동할 수 있도록 하기 위한 위치 센서로 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 위치센서는 광센서인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법에 있어서, 기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입과정; 및 기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 과정으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기체 봉입과정은, 한끝이 밀봉되어 있는 유리관에 가스를 주입하고 있는 상태에서 회전없이 기체 주입부 축 유리관을 밀봉하면서 절단하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 밀봉/절단과정은, 상기 유리관 밀봉/절단부위의 양쪽에 동일한 회전이 일어나도록 유리관의 양측단부를 고정척 및 고정척으로 잡고 동기화시켜 회전되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명은 spline 축과 상기 spline 축에 연결된 2개의 타이밍 벨트로 상기 고정척과 이동척을 동시에 회전을 시켜 상기 고정척과 이동척의 회전이 동기화 되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명은 상기 고정척 및 이동척 중 하나의 척은 유리관이 밀봉/절단되어 남은 유리관의 길이가 변화함에 따라 이동되므로, 상기 척이 이동되는 동시에 회전되도록 하기 위한 상기 spline 축을 사용하는 것이 바람직하다.
이하의 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 목적, 작용효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징들은 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
본 발명인 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치는 기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입수단과, 기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 수단으로 구성된다.
그리고, 상기 기체 봉입수단은 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이, 기체 주입을 위해 유리관을 삽입하는 유리관 연결부(1)와, 기체 주입 분배모관(4)에 설치되는 기체 주입 밸브(2)와, 장치 내부를 진공 배기하기 위한 진공 분배 모관(5)에 설치되는 진공밸브(3)와, 기체 공급원에서 오는 기체를 각 유리관에 공급하기 위한 기체 주입 분배모관(4)와, 유리관 연결 전/후 장치 내부의 불순 기체를 제거하기 위해 진공 펌프에 연결되는 진공 분배모관(5)로 구성된다.
그리고, 상기 기체 주입 분배모관(4)은 양끝단이 상기 기체 공급원에 연결되어 필요시 기체를 순환시킬 수 있는 구조를 가지고 있다.
그리고, 상기 밀봉/절단수단은 첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이 유리관을 고정시키기 위한 고정척(2)과, 유리관이 밀봉/절단됨에 따라 남은 유리관을 잡고 상기 고정척(2) 쪽으로 지정한 길이만큼 이동시키기 위한 이동축(4)과, 상기 고정척(2)과 상기 이동척(4)을 회전시켜 레이저 가공시 유리관을 회전시키기 위한 유리관(척) 회전 모터(1)와, 상기 고정척(2)과 이동척(4)의 개폐를 제어하는 척 구동 모터(5)와, 상기 고정척(2)과 상기 이동척(4)의 회전을 동기화하기 위한 spline 축(6)과, 상기 이동척(4)을 상기 고정척 방향 또는 그 반대방향으로 지정한 길이 만큼 이동 시키기 위한 이동척 구동 모터(7)와, 상기 유리관(척) 회전 모터(1)로 구동되는 spline 축(6)의 회전을 상기 고정척(2)과 상기 이동척(4)에 전달하기 위한 타이밍 벨트(8)와, 유리관의 위치를 고정시켜 회전 시 유리관을 안정화시키기 위한 유리관 가이드(9)와, 상기 유리관 가이드(9)의 레이저 빔 측 끝단부에 설치되어 있으며, 이동척(4)이 지정된 거리를 이동할 수 있도록 하기 위한 위치 센서로 구성된다.
그리고, 상기 위치센서는 형광체가 코팅된 유리관의 위치를 확인하기 위한 센서이므로 광센서이다.
상기와 같이 구성된 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 유리관을 회전시키지 않고 기체를 주입하면서 밀봉/절단한 후, 상기 유리관을 회전시키면서 다시 한번 양끝단을 밀봉/절단한다.
즉, 유리관을 유리관 연결부(10)에 삽입하고 기체 공급원으로부터 공급되는 기체를 상기 유리관에 주입시킨다. 이때 유리관 연결부(10)는 상기 유리관에 대해 밀봉/절단이 완료될 때까지 기밀을 유지하며, 진공 배기 시에는 10-6 Torr의 진공을 견딜 수 있다. 또한 유리관을 잡는 부분의 길이는 충분히 길어 잡고 있는 유리관들이 서로 간에 평행을 유지하고 작업 중 움직이지 않도록 그 구조가 형성되어 있다. 그리고, 상기 유리관 연결부(10)는 글러스 박스 내에 설치되어 있으며, 간단한 레버의 동작으로 척을 개폐할 수 있어 상기 유리관을 유리관 연결부(10)에 삽입하여 용이하게 고정시킬 수 있을 뿐만 아니라 배출시킬 수 있다.
그리고, 유리관에 기체를 주입하기 위해서는 유리관을 유리관 연결부(10)에 연결한 후 진공 분배모관(50)을 이용하여 유리관 내의 대기를 제거해야 한다. 또한 주입 및 밀봉/절단이 끝난 후 잔여 유리관을 제거하고 진공 분배모관(50)을 이용하여 유리관 연결부(10) 내 잔여 기체가 대기 중 누출되지 않도록 하기 위하여 상기 유리관 연결부(10)를 진공 배기한다. 이때 상기 진공 분배모관(50)의 일측에는 진공펌프가 연결되어 유리관 연결부(10)를 진공배기시키고, 타측에는 도면에 미도시된 필터와 밸프가 연결되어 진공을 깨는데 사용된다.
상기와 같이 유리관 연결부(50)를 진공배기시킨 후 기체 주입 분배모관(40)은 기체 공급원으로부터 공급되는 기체를 기체 주입 밸브(20)로 공급하고, 상기 기체 주입 밸브(20)는 각 유리관으로 기체를 분배한다.
이때, 상기 진공배기 밸브(30)와 기체주입 밸브20()은 multi valve manifold라는 결합체로 형성되므로, 별개의 밸브를 사용하고 배관으로 밸브 사이의 연결을 하는 것보다 내부 부피가 작아 잔여 기체가 줄어들게 되어 기체의 손실이 줄어들고 장치의 크기를 줄일 수 있어 공간이 제한된 글러브 박스에 설치할 때 특히 유리하다.
상기 multi valve manifold는 독립된 밸브가 결합된 것으로서 3-way 밸브와는 완전히 달라 밸브간의 누설이 없다.
상기와 같이 유리관에 기체를 주입시키면서 유리관을 1차로 밀봉/절단을 수행한다.
상기와 같이 1차로 밀봉/절단된 유리관은 후술하는 바와 같이 밀봉/절단 조건에 따라 최적의 회전수로 조절되어 유리관의 양측에 연결되는 척이 동기화되어 회전되도록 함으로써 유리관이 깨끗하게 밀봉/절단된다.
먼저 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이 유리관의 굵기에 따라 척을 교환하는 번거로움을 없애기 위하여 크기가 다른 척을 설치하여 2가지 직경의 유리관을 밀봉/절단할 수 있도록 밀봉/절단 수단이 구현된다.
유리관의 회전은 유리관(척) 회전 모터(1)에 의해 이루어지는데 상기 회전 모터(1)는 밀봉/절단 조건에 맞추어 회전속도를 변화시킬 수 있다. 상기 회전 모터(1)는 spline 축(6)을 직접 구동하고 spline 축(6)에는 고정척(2)과 이동척(4)이 타이밍 벨트(8)로 연결되어 회전력이 전달된다.
동일한 spline 축(6)에 고정척(2)과 이동척(4)이 연결되어 있고 타이밍 벨트(8)를 사용하여 미끄러짐이 없기 때문에 고정척(2)의 회전과 이동척(4)의 회전을 동기화 할 수 있어 밀봉/절단 과정에서 유리관이 비틀리는 현상이 발생하지 않는다.
첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이 타이밍 벨트(8)는 설치된 두 세트의 유리관을 회전시킬 수 있도록 삼각형 모양으로 spline축(6)과 고정척(2), 이동척(4)을 연결하고 있다.
상기 고정척(2)과 이동척(4)은 밀봉/절단부를 중심으로 양쪽의 유리관을 잡을 수 있게 되어 있다. 밀봉/절단이 이루어짐에 따라 남은 유리관의 길이가 짧아지고 유리관을 레이저 빔의 위치까지 이동시켜야 하므로 남은 유리관을 잡는 이동척(4)은 이동해야하고 밀봉/절단이 끝난 제품은 고정척(2)에 잡혀 있게 된다.
한편, 상기 고정척(2) 및 이동척(4)의 개폐를 손쉽게 하기 위해 척 구동 모터(5)를 설치하여 자동화한다. 이로써 글러브 박스 내에 장치를 설치할 수 있도록 하였다.
유리관의 밀봉/절단 초기에는 고정척(2)과 이동척(4) 사이의 거리가 멀어 회전 시 유리관의 안정성이 부족하고 절단 후 남은 유리관이 밑으로 처질 가능성이 있다. 이를 배제하기 위하여 레이저 빔 조사 부위 근처에 유리관 가이드(9)를 설치하여 유리관의 위치를 고정시킨다.
상기 유리관 가이드(9)는 고정척(2), 이동척(4)과 달리 유리관을 잡고 있지 않고 능동적으로 유리관을 회전시키지도 않는다. 다만 유리관이 흔들리지 않도록 놓여 있을 수 있도록 해준다.
상기 유리관 가이드(9)의 레이저 빔 쪽 끝에는 위치센서가 설치되어 있어 절단 후 남은 유리관의 위치를 확인하여 정확한 거리로 유리관을 이동할 수 있도록 한다.
한편, 상기 위치센서로 상기 유리관이 형광체가 코팅된 불투명한 유리관이기 때문에 광센서를 이용한다.
상기 유리관의 이동은 이동척(4)의 이동에 의해 이루어지는데 이동척(4)은 정밀한 모터인 이동척 구동모터(7)에 의해 구동된다. 이동척 구동모터(7)는 컴퓨터로 조절되어 0.3 mm 이하의 오차 범위 내에서 유리관의 이동이 가능하도록 한다.
따라서, 본 발명은 유리관내에 외부압력보다 낮은 압력으로 기체를 주입한 후 누설 없이 밀봉/절단을 동시에 할 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 레이저 밀봉/절단의 우수성을 살린 정밀하고 깨끗한 우수한 절단면을 가진, 기체가 봉입된 유리관을 임의의 길이로 정밀하게 제작할 수 있도록 하여 제조 과정에서의 가스의 누출도 최소화 할 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치에 있어서,
    기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입수단; 및
    기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 수단;
    을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기체 봉입수단은,
    기체 주입을 위해 유리관을 삽입하는 유리관 연결부와, 기체 주입 분배모관에 설치되는 기체 주입 밸브와, 장치 내부를 진공 배기하기 위한 진공 분배 모관에 설치되는 진공밸브와, 기체 공급원에서 오는 기체를 각 유리관에 공급하기 위한 기체 주입 분배모관와, 유리관 연결 전/후 장치 내부의 불순 기체를 제거하기 위해 진공 펌프에 연결되는 진공 분배모관로,
    구성되는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 기체 주입 분배모관은,
    양끝단이 상기 기체 공급원에 연결되어 필요시 기체를 순환시킬 수 있는 구조를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 밀봉/절단수단은,
    유리관을 고정시키기 위한 고정척과, 유리관이 밀봉/절단됨에 따라 남은 유리관을 잡고 상기 고정척 쪽으로 지정한 길이만큼 이동시키기 위한 이동축과, 상기 고정척과 상기 이동척을 회전시켜 레이저 가공시 유리관을 회전시키기 위한 유리관(척) 회전 모터와, 상기 고정척과 이동척의 개폐를 제어하는 척 구동 모터와, 상기 고정척과 상기 이동척의 회전을 동기화하기 위한 spline 축과, 상기 이동척을 상기 고정척 방향 또는 그 반대방향으로 지정한 길이 만큼 이동 시키기 위한 이동척 구동 모터와, 상기 유리관(척) 회전 모터로 구동되는 spline 축의 회전을 상기 고정척과 상기 이동척에 전달하기 위한 타이밍 벨트와, 유리관의 위치를 고정시켜 회전 시 유리관을 안정화시키기 위한 유리관 가이드와, 상기 유리관 가이드의 레이저 빔 측 끝단부에 설치되어 있으며, 이동척이 지정된 거리를 이동할 수 있도록 하기 위한 위치 센서,
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 위치센서는,
    광센서인 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 장치.
  6. 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법에 있어서,
    기체를 주입하면서 회전 없이 유리관 양쪽 끝을 밀봉/절단하는 기체 봉입과정; 및
    기체가 봉입된 유리관을 회전시키면서 지정한 길이로 밀봉/절단하기 위한 밀봉/절단 과정;
    으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 기체 봉입과정은,
    한끝이 밀봉되어 있는 유리관에 가스를 주입하고 있는 상태에서 회전없이 기체 주입부 축 유리관을 밀봉하면서 절단하는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 밀봉/절단과정은,
    상기 유리관 밀봉/절단부위의 양쪽에 동일한 회전이 일어나도록 유리관의 양측단부를 고정척 및 고정척으로 잡고 동기화시켜 회전되도록 하는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    spline 축과 상기 spline 축에 연결된 2개의 타이밍 벨트로 상기 고정척과 이동척을 동시에 회전을 시켜 상기 고정척과 이동척의 회전이 동기화 되도록 하는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 고정척 및 이동척 중 하나의 척은 유리관이 밀봉/절단되어 남은 유리관의 길이가 변화함에 따라 이동되므로, 상기 척이 이동되는 동시에 회전되도록 하기 위한 상기 spline 축을 사용하는 것을 특징으로 하는 기체가 주입된 유리관을 레이저를 이용하여 밀봉/절단하는 방법.
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