KR20060020040A - 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 - Google Patents

레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공한다. 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치는 진공 챔버, 언와인딩(unwinding) 롤러, 인-라인(in-line)으로 이동하는 상기 도너 기판, 증착 장치 및 상기 도너 기판을 감아주는 와인딩(winding) 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법은 진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계, 상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 인-라인으로 이동하는 단계, 상기 진공 챔버 내에 형성된 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 단계 및 상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 이용 한다. 고진공을 유지하는 진공 챔버 내에서 전사층을 연속하여 일괄적으로 형성함으로써 레이저 전사용 도너 기판 상에 저분자 물질로 이루어진 전사층을 형성할 수 있고, 또한 상기 저분자 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 대량 생산할 수 있으며, 이를 이용하여 대면적 유기 전계 발광 소자를 제조 할 수 있는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하는 이점이 있다.
도너 기판, LITI, 전사층

Description

레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 {Device and method of fabricating donor substrate for Laser Induced Thermal Imaging , and method of fabricating OLED using the same}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정순서도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 200, 300, 400 : 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치
110 : 진공 챔버 120, 320, 420 : 언와인딩(unwinding) 롤러
130, 330, 430,530 : 도너 기판 140, 340, 440 : 와인딩(winding) 롤러
150, 250, 350, 450 : 증착 장치 160, 360, 460, 560 : 전사층
170 : 도너 기판 이송 롤러 180 : 증착 물질 방어판
본 발명은 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 LITI(Laser Induced Thermal Imaging)를 이용한 유기막층 패턴의 형성시, 레이저 전사용 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 장치와 방법 및 그를 이용하여 유기 전계 발광 소자를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 소자인 유기 전계 발광 소자는 애노드전극과 캐소드전극 그리고, 상기 애노드전극과 캐소드전극 사이에 개재된 유기막층들을 포함한다.
상기 유기막층들은 최소한 발광층을 포함하며, 상기 발광층외에도 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 더욱 포함할 수 있다. 이러한 유기 전계 발광 소자는 상기 유기막층 특히, 상기 발광층을 이루는 물질과 공정에 따라서 고분자 유기 전계 발광 소자와 저분자 유기 전계 발광 소자로 나뉘어진다.
이러한 유기 전계 발광 소자에 있어 풀칼라화를 구현하기 위해서는 상기 발광층을 패터닝해야 하는데, 상기 발광층을 패터닝하기 위한 방법으로 고분자 유기 전계 발광 소자의 경우 잉크-젯 프린팅(ink-jet printing) 또는 레이저에 의한 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging; 이하 LITI라 한다)이 있고, 이 중에서 상기 LITI는 상기 유기막층을 미세하게 패터닝할 수 있고, 대면적에 사용할 수 있으며 고해상도에 유리하다는 장점이 있을 뿐만 아니라, 상기 잉크-젯 프린팅이 습식 공정인데 반해 이는 건식 공정이라는 장점이 있다.
이러한 LITI에 의한 유기막층 패턴의 형성 방법은 적어도 광원, 유기 전계 발광 소자 기판 및 도너 기판을 필요로 한다. 상기 기판 상에 유기막층을 패터닝하는 것은 상기 광원에서 나온 빛이 상기 도너 기판의 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 상기 열에너지에 의해 전사층을 이루는 물질이 상기 기판 상으로 전사되면서 수행된다. 이는 한국 특허 출원 제 1998-51844호 및 미국 특허 제 5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,088호에 개시되어 있다.
저분자 유기 전계 발광 소자의 경우 섀도우 마스크(shadow mask)를 사용하는 방법이 있다. 그러나, 마스크에 의한 저분자 패터닝은 대면적 유기 전계 발광 소자의 제작이 어렵고, 상기 잉크-젯 프린팅은 습식 공정이기 때문에 사용되는 재료가 제한적이라는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 진공 챔버 내에서 전사층을 연속하여 형성함으로써 레이저 전사용 도너 기판에 저분자 물질로 이루어진 전사층을 형성할 수 있고, 대량 생산이 가능하며, 이를 이용하여 대면적 유기 전계 발광 소자를 제조 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치를 제공한다. 상기 장치는 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 도너 기판을 풀어주는 언와인딩(unwinding) 롤러, 상기 진공 챔버 내에서 인-라인(in-line)으로 이동하는 상기 도너 기판, 상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성시키는 증착 장치 및 상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 상기 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 와인딩(winding) 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은 진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계, 상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 인-라인으로 이동하는 단계, 상기 진공 챔버 내에 형성된 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 단계 및 상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은 화소전극이 형성된 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 전면에 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법으로 제조된 전사층이 형성된 도너 기판을 도입하는 단계, 상기 도너 기판의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 유기막층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치일 수 있다.
상기 도너 기판 상에 형성되는 전사층은 저분자 물질로 이루어질 수 있으며 특히, 발광 물질로 이루어질 수 있다.
상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내에 고정하고, 연속하여 이동하는 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성할 수 있다.
상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내에 고정하고, 상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하여 상기 진공 챔버를 통과할 수 있다.
상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고, 상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하여 상기 진공 챔버를 통과할 수 있다.
상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고, 연속하여 이동하는 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성할 수 있다.
상기 도너 기판은 플렉시블 도너 기판을 사용할 수 있다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치(100)는 진공 챔버(110), 언와인딩 롤러(120), 도너 기판(130), 증착 장치(150), 와인딩 롤러(140), 증착 물질 방어판(180) 및 펌프(도면에 도시되지 않음)를 포함한다.
진공 챔버(110)는 단일 챔버로 이루어져 있고, 고진공을 유지하기 위하여 펌프를 사용하는바, 진공 챔버 내의 공기를 배기함으로써 고진공을 유지할 수 있다. 후술할 증착 장치에 의한 전사층을 형성함에 있어서, 불순물의 증착을 방지하는 등 고진공이 유리한바, 10-4torr 이하의 진공도를 유지하여 전사층을 형성하는 것이 바람직하다.
상기 언와인딩 롤러(120)는 상기 진공 챔버(110) 내에 형성되어 있으며, 상기 도너 기판(130)을 풀어주는 역할을 한다.
상기 언와인딩 롤러(120)에 의해 풀어진 상기 도너 기판(130)은 도너 기판 이송 롤러(170)에 의해 상기 진공 챔버(110) 내에서 인-라인으로 이동한다. 본 실 시예에서는 상기 도너 기판(130)이 상기 진공 챔버(110) 내의 상부에서 이동하는 것을 예시하고 있다. 상기 도너 기판(130)은 중간에 멈춤이 없이 연속하여 이동할 수 있고 또한, 전사층(160)이 형성될 때는 정지하였다가 상기 전사층(160)이 형성된 후 이동할 수 있다. 상기 도너 기판(130)은 플렉시블(flexible)한 성질을 갖는 것을 사용할 수 있다.
상기 전사층(160)이 형성된 도너 기판(130)은 와인딩 롤러(140)에 의해 다시 감긴다.
증착 장치(150)는 상기 진공 챔버(110) 내에 형성되어 있다. 본 실시예에서는 상기 도너 기판(130) 하부에 상기 증착 장치(150)가 형성되어 있는 것을 알 수 있다. 상기 증착 장치(150)는 상기 도너 기판(130) 상에 전사층(160)을 형성시킨다. 이때, 상기 증착 장치(150)는 저항가열식인 것을 사용할 수 있으며, 상기 증착 장치(150)에는 증착 물질을 포함하고 있다. 상기 증착 물질은 저분자 물질로 사용할 수 있으며 특히, 발광 물질인 것을 사용할 수 있다.
상기 전사층(160)을 형성하는 중에 전사 물질이 상기 언와인딩 롤러(120) 및 와인딩 롤러(140)에 증착될 수 있는바, 이를 방지하기 위하여 증착 물질 방지판(180)을 상기 언와인딩 롤러(120) 및 와인딩 롤러(140) 하부에 설치할 수 있다.
상술한 구성 요소 이외에도 두께 제어부를 설치하여 증착되는 전사층의 두께를 제어할 수 있다.
상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치(100)에 의해 상기 도너 기판(130) 상에 전사층(160)을 형성한다.
상세히 설명하면, 상기 언와인딩 롤러(120)가 상기 도너 기판(130)을 연속하여 풀어준다. 풀어진 상기 도너 기판(130)은 상기 도너 기판 이송 롤러(170)에 의해 상기 진공 챔버(110) 내의 상부에서 연속하여 이동한다. 이때, 상기 진공 챔버(110) 내에서 상기 도너 기판(130) 하부에 고정되어 있는 증착 장치(150)를 이용하여 상기 도너 기판(130) 상에 전사층(160)을 연속하여 형성한다. 즉, 상기 고정된 증착 장치(150)에 포함되어 있는 증착 물질을 상기 증착 장치(150)가 250℃ 이상의 온도에서 가열하여 증기 상태로 만들어줌으로써 상기 도너 기판(130) 상에 상기 전사층(160)을 연속하여 증착시킨다. 상기 증착되는 속도는 1Å/S의 속도로 제어하여 증착할 수 있다. 상기 증착 물질은 저분자 물질 특히, 저분자 발광 물질을 사용할 수 있다. 따라서, 상기 도너 기판(130) 상에 전사층(160) 즉, 저분자 발광층을 형성할 수 있다.
상기 증착되는 증착 물질의 두께는 수정진동자의 주파수 변화를 이용하여 조절할 수 있다. 상기 두께 측정용 수정진동자는 두께 제어부와 연결되어 제어할 수 있다.
또한, 상기 도너 기판(130)은 연속적이 아닌 스텝(step)형으로 이동할 수 있다. 즉, 상기 도너 기판(130)이 상기 진공 챔버(110) 내의 상부를 이동하다가 정지할 수 있다. 상기 정지한 도너 기판(130) 하부에 고정되어 있는 증착 장치(150)를 이용하여 상기 도너 기판(130) 상에 전사층(160)을 형성할 수 있다.
상기 전사층(160)이 형성된 상기 도너 기판(130)은 상기 도너 기판 이송 롤러(170)에 의해 다시 이동하고, 상기 와인딩 롤러(140)에 의해서 감기게 된다.
이후, 상기 도너 기판(130)에 전사층이 형성되지 않은 부분이 상기 증착 장치(150) 상부에 위치하게 되면 상기 도너 기판(130)이 다시 정지하여 상기 도너 기판(130) 상에 전사층을 형성한다. 상기 과정을 반복함으로써 상기 도너 기판(130) 상에 상기 전사층(160)을 연속하여 증착할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에서는 고진공을 유지한 진공 챔버 내부를 이동하는 도너 기판 상에 고정된 증착 장치를 이용하여 상기 도너 기판 상에 전사층을 연속하여 증착할 수 있음을 보여주고 있다. 따라서, 도너 기판 상에 전사층 특히, 저분자 발광층을 형성할 수 있고 또한, 연속하여 증착이 가능할 뿐만 아니라 상기 전사층(160)이 형성된 상기 도너 기판(130)을 진공 챔버(110) 내에서 감아줌으로써 일괄하여 대량 생산할 수 있다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치(200)는 진공 챔버(110), 언와인딩 롤러(120), 도너 기판(130), 상기 진공 챔버(110) 내에서 왕복 이동하는 증착 장치(250), 와인딩 롤러(140) 및 증착 물질 방어판(180) 등을 포함한다.
이때, 상기 증착 장치(250)은 본 발명의 제 1 실시예와는 달리 상기 진공 챔버(110) 내에 고정되어 있지 않고, 상기 진공 챔버(110) 내에서 왕복 이동한다. 상기 진공 챔버(110) 내에서 왕복 이동하는 상기 증착 장치(250)를 이용하여 상기 진공 챔버(110) 내의 상부를 연속 또는 스텝형으로 이동하는 상기 도너 기판(130) 상 에 전사층(160)을 연속하여 형성한다.
상술한 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법과 동일하다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치(300)는 진공 챔버(110), 언와인딩 롤러(320), 상기 진공 챔버(110) 내의 하부를 이동하는 도너 기판(330), 상기 도너 기판(330) 상부에 위치한 증착 장치(350), 와인딩 롤러(340) 및 증착 물질 방어판(180) 등을 포함한다.
본 실시예에서는, 상기 도너 기판(330) 상부에 위치한 증착 장치(350)를 이용하여 상기 도너 기판(330) 상에 전사층(360)을 형성하고 있음을 알 수 있다.
상술한 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법과 동일하다.
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치(400)는 진공 챔버(110), 언와인딩 롤러(420), 상기 진공 챔버(110) 내의 우측 상부에서 하부로 이동하는 도너 기판(430), 상기 도너 기판(430)의 좌측에 위치한 증착 장치(450), 와인딩 롤러(440) 및 증착 물질 방어판(180) 등을 포함한다.
본 실시예에서는, 상기 도너 기판(430)의 좌측에 위치한 증착 장치(450)를 이용하여 상기 도너 기판(430) 상에 전사층(460)을 형성하고 있음을 알 수 있다.
또한, 상기 도너 기판의 우측에 위치한 증착 장치를 이용하여 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성할 수 있다.
상술한 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법과 동일하다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정순서도이다.
도 5a를 참조하면, 상술한 본 발명의 제 1 내지 제 4 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치 및 그의 제조 방법에 의해 도너 기판(530) 상에 전사층(560)을 형성한다.
도 5b를 참조하면, 상기 전사층(560)이 형성되어 있는 도너 기판(530)을 소정의 소자가 형성된 기판(570) 상에 라미네이팅한다. 이때, 상기 기판 상에는, 박막트랜지스터 및 그 상부에 위치한 평탄화막과 상기 평탄화막 상에 화소전극이 형성되어 있는 것이 일반적이다.
도 5c를 참조하면, 상기 전사층(560)이 형성되어있는 도너 기판(530)에 레이저를 조사하여 상기 화소전극(580) 상에 유기막층 패턴(590)을 형성한다.
상기 유기막층 패턴(590)을 형성하는 공정은 N2 분위기에서 이루어질 수 있다. 일반 대기중에는 산소 성분이 존재하므로 전사되는 상기 유기막층 패턴(590)이 산화될 우려가 있기 때문에 산소 성분을 없앤 질소 분위기에서 상기 전사 공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 전사 공정은 진공 분위기에서 이루어질 수 있는바, 상 기한 라미네이팅 공정시 도너 기판과 기판 사이의 기포 발생을 억제할 수 있는 효과가 있다.
상기 전사 공정에서 형성되는 유기막층 패턴은 발광층, 정공주입층, 정공전달층, 전자전달층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 단일층일 수 있으며 또한, 2종 이상의 다중층일 수도 있다.
상기 화소전극(580) 상에 유기막층 패턴(590)을 형성한 후에, 상기 유기막층 패턴 상에 캐소드전극을 형성하여 유기 전계 발광 소자를 완성한다.
상기한 바와 같이, 본 발명에서는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법에 의해 제조된 저분자 전사층이 형성된 도너 기판을 이용함으로써 대면적 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 고진공을 유지하는 진공 챔버 내에서 전사층을 연속하여 일괄적으로 형성함으로써 레이저 전사용 도너 기판 상에 저분자 물질로 이루어진 전사층을 형성할 수 있고, 또한 상기 저분자 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 대량 생산할 수 있으며, 이를 이용하여 대면적 유기 전계 발광 소자를 제조 할 수 있는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치와 그의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하는 이점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역 으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.

Claims (25)

  1. 진공 챔버;
    상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 도너 기판을 풀어주는 언와인딩(unwinding) 롤러;
    상기 진공 챔버 내에서 인-라인(in-line)으로 이동하는 상기 도너 기판;
    상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성시키는 증착 장치; 및
    상기 진공 챔버 내에 형성되어 있고, 상기 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 와인딩(winding) 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성되는 전사층은 저분자 물질로 이루어진 것을 특징 으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 저분자 물질은 발광 물질인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도너 기판은 플렉시블(flexible) 도너 기판인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 장치.
  6. 진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계;
    상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 인-라인으로 이동하는 단계;
    상기 진공 챔버 내에 형성된 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 단계; 및
    상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 전사층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성되는 전사층은 저분자 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 저분자 물질은 발광 물질인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내에 고정하고, 상기 진공 챔버 내에서 연속하여 이동하는 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이 저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내에 고정하고,
    상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고, 상기 진공 챔버 내에서 연속하여 이동하는 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  13. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고,
    상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  14. 제 6 항에 있어서,
    상기 도너 기판은 플렉시블 도너 기판인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  15. 제 6 항에 있어서,
    상기 진공 챔버 내에서의 증착은 10-4torr 이하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  16. 화소전극이 형성된 기판을 제공하는 단계;
    상기 기판 전면에 청구항 제 6 항의 방법으로 제조된 전사층이 형성된 도너 기판을 도입하는 단계;
    상기 도너 기판의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 유기막층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성되는 전사층은 저분자 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 저분자 물질은 발광 물질인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내에 고정하고, 상기 진공 챔버 내에서 연속하여 이동하는 상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  21. 제 16 항에 있어서,
    상기 증착 장치를 상기 진공 챔버 내 고정하고,
    상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  22. 제 16 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고,
    상기 도너 기판은 정지된 상태에서 전사층이 형성되고, 상기 전사층이 형성된 후 이동하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  23. 제 16 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 상기 진공 챔버 내에서 왕복 이동하고, 상기 진공 챔버 내에서 연속하여 이동하는상기 도너 기판 상에 전사층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  24. 제 16 항에 있어서,
    상기 도너 기판은 플렉시블 도너 기판인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자 의 제조 방법.
  25. 제 16 항에 있어서,
    상기 진공 챔버 내에서의 증착은 10-4torr 이하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
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