KR20060012718A - 유기el 박막 및 반도체 박막 제작의 증착공정용 면 필라멘트 구조와 그 고정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착 공정에서 도가니(1)에 담겨있는 유기물질이 증발되도록 도가니(1)에 열을 가하는 필라멘트에 관한 것으로서, 기존의 금속열선(2)을 사용하는 필라멘트를 대체할 수 있는 면 필라멘트(10)를 사용하여 도가니(1)에 전달되는 복사열의 양을 최대화함으로써 열전달의 효율을 향상시켜 효과적인 물질의 증발을 유도하는 장치로서, 면 필라멘트(10)와; 필라멘트를 고정하고 지지하는 필라멘트 고정장치(20, 30, 40)와; 그 고정장치들 사이의 지지대(50); 그리고 면 필라멘트(10)와 전원공급장치 사이를 연결하는 샌드위치형 전원 연결장치(60);로 구성되어 있고, 면 필라멘트(10)의 길이를 조절하여 저온용 증발원과 고온용 증발원 및 초고온용 증발원에 사용하는 것을 특징으로 하는 유기EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착공정용 면 필라멘트의 구조와 그 고정장치에 관한 것이다.

면 필라멘트, 도가니, 필라멘트 고정장치.

Description

유기EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착공정용 면 필라멘트 구조와 그 고정장치 {Plane filament for thermal evaporation thin film process in OLED and semiconductor}

도 1은 종래의 증착 공정용 증발원의 금속열선 필라멘트와 그 고정장치를 나타내는 개략도,

도 2는 본 발명의 증착 공정용 증발원의 면 필라멘트와 그 고정장치를 나타내는 개략도,

도 3은 본 발명의 면 필라멘트 구조 중 대표적인 형태를 나타내는 개략도,

도 4는 본 발명의 필라멘트 고정장치들 중 동일한 형태를 가지는 상부와 하부 필라멘트 고정장치를 나타내는 평면도,

도 5는 본 발명의 필라멘트 고정장치들 중 중간부 필라멘트 고정장치를 나타내는 평면도,

도 6은 도 4의 A-A' 선과 도 5의 B-B' 선, C-C' 선에 대한 각각의 단면을 나타내는 단면도,

도 7은 본 발명의 필라멘트 고정장치 지지대와 샌드위치형 전원 연결장치를 나타내는 개략도,

도 8은 본 발명의 면 필라멘트의 다양한 형태를 나타내는 개략도,

도 9는 본 발명의 증착 공정용 증발원의 이중 구조 면 필라멘트와 그 고정장치를 나타내는 개략도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 도가니2 : 금속 열선

3 : 필라멘트 고정장치3a : 구멍

3b : 인접구멍

10 : 면 필라멘트11 : 긴 직사각형의 판

12 : 사각뿔13 : 필라멘트 턱

14 : 전원 연결용 구멍15 : 전원 연결부

20 : 상부 필라멘트 고정장치

20A, 20A' : 도 4의 A-A' 단면 표시

21 : 필라멘트 안내 홈22 : 걸쇠용 구멍

23 : 지지대 걸쇠용 구멍24 : 지지대 홈

30 : 중간부 필라멘트 고정장치

30B, 30B' : 도 5의 B-B' 단면 표시

30C, 30C' : 도 5의 C-C' 단면 표시31 : 필라멘트 안내 구멍

40 : 하부 필라멘트 고정장치50 : 지지대

51 : 지지대 사각뿔52 : 지지대 턱

60 : 샌드위치형 전원 연결장치

61 : 샌드위치형 전원 연결장치(소)

62 : 샌드위치형 전원 연결장치(대)63 : 나사 구멍

64 : 전원인입선 구멍65 : 나사

66 : 전원 인입선

70 : 상부는 좁고 하부가 넓은 면 필라멘트

71 : 하부로 갈수록 폭이 넓어지는 면 필라멘트

본 발명은 유기EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착 공정에서 도가니(1)에 열을 가하여 도가니(1)에 담겨있는 물질이 증발되도록 하는 필라멘트와 그 고정장치에 관한 것으로서 면 형태의 필라멘트를 사용하여 열전달의 효율을 향상시켜 효과적인 물질의 증발을 유도하는 장치이다. 특히, 증착 공정을 위해 도가니(1) 내의 물질을 기판에 증착시킴에 있어서, 증발되는 물질을 기판에 효율적으로 증착시키고 저온에서부터 초고온까지의 유기EL 박막과 반도체 박막까지를 증착시키는데 사용하기 위한 것이다.

본 발명은 유기EL 디스플레이 기판의 유기 박막 제작과 반도체 박막 제작에 사용되는 진공 증착 방법에서 증발원을 가열시키는 역할을 담당하고 있다. 유기EL 디스플레이 기판의 제작은 유기 박막 제작 공정과 전극으로 사용되는 박막 제작 공정으로 크게 나눌 수 있으며 양전극과 음전극 박막 사이에 유기 화학 물질로 이루어진 유기 박막이 위치하고 두 전극에 전류와 전압을 인가하여 유기 박막에서 빛이 나오도록 되어 있다. 일반적으로 이들 유기 박막 제작 공정은 산소나 수분 등으로 발광 효율과 수명이 크게 영향 받기 때문에, 유기물의 오염을 방지하여 수명을 향상시키고 발광 효율을 최대화하기 위해 고진공 상태에서 공정이 이루어지며 고진공 챔버 내에서 증발원을 이용하여 기판에 이들 박막을 코팅하여 제작한다. 챔버 내의 증발원은 증발되는 물질이 담긴 도가니(1)와 도가니(1)를 가열하여 도가니(1)에 담긴 물질을 증발시키는 필라멘트와 이 필라멘트의 고정장치와 이들 도가니, 필라멘트, 고정장치를 감싸는 하우징으로 구성되며 기존의 필라멘트는 금속열선(2)을 이용하였다.

이러한 금속열선(2)의 단면은 원형이기 때문에 열방출은 등방형으로 방사되고 도가니(1)에 복사되는 열보다 다른 방향으로 복사되는 열이 많아서 열효율이 떨어지므로 원하는 온도를 얻고자 더 많은 전류를 흘려서 도가니(1)를 가열해야 하므로 금속열선(2)의 열적 손상으로 인해 필라멘트의 수명 감소와 단선의 위험을 가져오게 된다. 이러한 현상을 일부 보완하기 위해 절연 물질로 이루어진 필라멘트 고정장치에 설치된 금속열선(2) 주위에 금속반사판(미도시)을 둘러 금속열선(2)에서 방출되는 복사열을 반사시키도록 하기도 한다.

또한 기존의 금속열선(2)은 도 1에서와 같이 기존의 필라멘트 고정장치(3)들에 설치할 때 금속열선(2)을 필라멘트 고정장치(3)의 구멍(3a)들 사이로 바느질하듯 끼워 넣어야 하므로 인접 구멍(3b)으로 금속열선(2)을 끼울 때 금속열선(2)의 구부러짐을 막을 수 없고 금속열선(2)의 구부러짐으로 인해 도가니(1)에 열적 불균형을 초래할 수 있으며 이를 막기 위해 금속열선(2)을 팽팽하게 당겨서 필라멘트 고정장치(3)에 설치하게 되는데 이 때 금속열선(2)이 필라멘트 고정장치(3)의 구멍(3a)을 통과하면서 구멍(3a)과의 마찰에 의해 손상을 받거나 금속열선(2)을 인접 구멍(3b)에 끼울 때 금속열선(2)의 곡률 반경이 점점 줄어 마찰이 커지므로 인해 잡아당기는 힘을 더 주어야 하므로 필라멘트 고정장치(3)가 쉽게 부서지는 등의 물리적 손상을 피할 수 없다. 또한 팽팽하게 금속열선(2)을 당긴다고 하나 어느 정도의 금속열선(2)의 구부러짐을 피할 수 없다.

이와 같이 금속열선(2)의 등방형으로의 복사열과 금속열선(2)의 물리적 손상 및 구부러짐은 금속열선(2)에 전류를 흘려 도가니(1)를 가열할 때 금속열선(2)의 효율 약화와 금속열선(2)의 온도 분포 불균형, 이로 인한 금속열선(2)의 수명 감소와 단선의 문제점을 발생시킨다. 또한 금속열선(2)은 전류가 통과하는 단면적이 동일하므로 증발원의 특정부분이 금속열선(2)의 전체적인 온도 분포를 부분적으로 높거나 낮게 조절해야 하는 경우에 이를 만족할 수 있도록 제작할 수가 없다.

본 발명은 상기의 문제점들을 해소하기 위한 것으로, 금속열선(2)의 복사열이 등방형으로 방사함에 따르는 증발원으로의 낮은 열전달 효율과 금속열선(2)의 설치에 따른 손상을 방지하고 금속열선(2)의 손상 및 구부러짐으로 인한 증발원의 온도 분포 불균형을 해소하여 필라멘트의 내구성을 높이고 증발원으로 열이 직접적으로 전달되는 양을 최대화함으로서 열전달 효율을 향상시킬 수 있는 유기 EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착 공정용 면 필라멘트와 그 고정장치를 제공하고자 한다.

이러한 본 발명은 면 필라멘트(10) 및 사각뿔(12)의 사용과 필라멘트 고정장치의 걸쇠용 구멍(22)에 사각뿔(12)을 끼워서 접어 고정시키고, 면 필라멘트(10)를 필라멘트 안내 홈(21)을 따라 삽입하여 원통이 되도록 하고, 필라멘트 고정장치의 사이사이에 지지대(50)를 설치하고, 샌드위치형 전원 연결장치(60)를 통해 전원을 공급함으로서 달성된다.

본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명의 면 필라멘트(10)와 그 고정장치(20, 30, 40)를 나타내는 개략도이며, 도 3은 면 필라멘트(10)를 펼쳐놓은 평면도이고, 도 4는 동일한 형태를 가지는 상부 필라멘트 고정장치(20)와 하부 필라멘트 고정장치(40)를 나타내는 평면도이고, 도 5는 중간부 필라멘트 고정장치(30)를 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 4의 A-A'선 단면과 도 5의 B-B'선 단면 및 C-C'선 단면을 나타내는 단면도이고, 도 7은 필라멘트 고정장치들의 지지대(50)와 샌드위치형 전원 연결장치(60)를 나타내는 개략도로서, 본 발명은, 복사열의 열전달 효율이 향상된 면 필라멘트(10)와 그 상부 및 하부에 위치하는 다수개의 사각뿔(12)과 각각의 사각뿔(12)을 걸 수 있는 걸쇠용 구멍(22)을 가진 상부와 하부 필라멘트 고정장치(20, 40)와 상부와 중간부, 하부 필라멘트 고정장치(20, 30, 40)의 원형의 필라멘트 안내 홈(21)과 필라멘트 안내 구멍(31)을 따라 면 필라멘트(10)를 삽입하여 면 필라멘트(10)를 원통으로 만들고 그 고정장치들 사이에 지지대 사각뿔(51)을 지닌 지지대(50)로 고정하여 면 필라멘트(10)가 휘어지거나 필라멘트 고정장치가 벗겨지지 않도록 면 필라멘트(10)를 고정시키는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.

전원을 공급하여 가열할 경우, 금속열선(2)은 그 단면이 원형이여서 복사열이 등방형으로 방사하는 것과는 달리, 면 필라멘트(10)는 복사열이 면에서 방사하게 되므로 면이 도가니(1)를 직접적으로 바라보도록 설치하고 그 면의 면적을 넓게 하면 도가니(1)에 직접적으로 전달되는 복사열의 양을 크게 할 수 있기 때문에 열전달 효율이 금속열선(2)에 비해 월등히 높게 된다. 이를 위해 도 3과 같이 펼쳐놓았을 때 외형이 직사각형이며 긴 직사각형의 판(11)들이 일정간격으로 배열되어 상부와 하부에서 번갈아가며 연속적으로 연결된 면 필라멘트(10)를 사용하고, 면 필라멘트(10) 상부와 하부에 사각뿔(12)을 가지게 하여 원 형태의 상부와 하부 필라멘트 고정장치(20, 40)에 걸 수 있도록 한다. 긴 직사각형의 판(11)의 길이나 폭 또는 두께는 증발원에 가하는 온도의 정도에 따라 정해지며 증발원의 상부의 온도를 더 높게 하고자 할 경우는 도 8과 같이 상부는 좁고 하부는 넓은 면 필라멘트(70)나 하부로 갈수록 폭이 넓어지는 면 필라멘트(71)를 사용할 수 있다. 도 3의 면 필라멘트(10)의 양쪽 하부는 길이를 길게 하여 전원 연결을 하기 위한 구멍(14)들을 가지고 있다.

우선, 면 필라멘트(10)를 원통으로 말아 다수개의 사각뿔(12) 및 전원 연결부(15)가 있는 면 필라멘트(10)의 하부를 도 4의 하부 필라멘트 고정장치(40)의 원형의 필라멘트 안내 홈(21) 상에 있는 다수개의 걸쇠용 구멍(22)에 끼우되, 면 필라멘트(10)의 하부에 있는 두 개의 다리와 같은 전원 연결부(15)를 하부 필라멘트 고정장치(40)의 인접한 걸쇠용 구멍(22) 두 개에 맞게 끼우면서 면 필라멘트(10)의 각 사각뿔(12)이 하부 필라멘트 고정장치(40)의 각 걸쇠용 구멍(22)에 일치하도록 맞추어 끼우고, 하부 필라멘트 고정장치(40)의 필라멘트 안내 홈(21)을 따라 면 필라멘트(10)를 세워 필라멘트 턱(13)이 팔라멘트 안내 홈(21)의 바닥에 도달해 더 이상 들어가지 않을 때까지 삽입시키면 면 필라멘트(10)는 원통으로 세워지게 되고, 이 때 하부 필라멘트 고정장치(40)의 걸쇠용 구멍(22) 아래로 나오는 사각뿔(12)을 'ㄱ'자 모양으로 접어 면 필라멘트(10)와 하부 필라멘트 고정장치(40)를 결합시킨다.

도 8의 지지대 사각뿔(51)을 하부 필라멘트 고정장치(40)의 지지대 걸쇠용 구멍(23)에 끼우고, 지지대 턱(52)이 하부 필라멘트 고정장치(40)의 지지대 홈(24) 바닥에 도달해 더 이상 들어가지 않을 때까지 삽입하고, 하부 필라멘트 고정장치(40)의 지지대 걸쇠용 구멍(23) 아래로 나오는 지지대 사각뿔(51)을 'ㄱ'자 모양으로 접어 지지대(50)와 하부 필라멘트 고정장치(40)를 결합시킨다. 이 때 지지대 홈(24)은 지지대(50)가 좌우로 움직이지 않도록 고정시키는 역할을 한다.

상기와 같이 결합한 후, 원통형으로 말린 면 필라멘트(10)의 상부에서부터 도 6의 중간부 필라멘트 고정장치(30)를 끼우되, 상부 및 하부 필라멘트 고정장치(20, 40)와 연결될 지지대(50) 위치를 고려하면서 중간부 필라멘트 고정장치(30)의 4개의 필라멘트 안내 구멍(31)에 면 필라멘트(10)를 관통하여 끼운다. 이 때, 면 필라멘트(10)의 긴 직사각형의 판(11)들이 한 필라멘트 안내 구멍(31)에 몰리지 않고 균등하게 위치하도록 삽입한다. 이렇게 삽입한 중간부 필라멘트 고정장치(30)를 내려서 중간부 필라멘트 고정장치(30)의 아래에 있는 3개의 지지대 걸쇠용 구멍(23)에 하부 필라멘트 고정장치(40)와 연결된 3개의 지지대 사각뿔(51)을 끼우고, 지지대 홈(24)이 지지대 턱(52)에 걸려 중간부 필라멘트 고정장치(30)가 더 이상 내려오지 않도록 한 후, 중간부 필라멘트 고정장치(30)의 지지대 걸쇠용 구멍(23) 밖으로 돌출된 지지대 사각뿔(51)을 'ㄱ'자 모양으로 접어 중간부 필라멘트 고정장치(30)를 결합시킨다. 중간부 필라멘트 고정장치(30)는 상부와 하부 필라멘트 고정장치(20, 40)와 함께 면 필라멘트(10)를 원통형으로 유지되도록 하며 면 필라멘트(10)가 기계적으로 또는 열적으로 손상되거나 변형되는 것을 막는다.

위와 같이 결합한 후, 도 8의 3개의 지지대(50)를 중간부 필라멘트 고정장치(30)의 위에 있는 3개의 지지대 구멍(23)에 끼워서 고정시키되, 하부 필라멘트 고정장치(40)에 지지대(50)를 고정시켰던 것과 동일한 방법으로 결합시킨다.

도 4의 상부 필라멘트 고정장치(20)를 면 필라멘트(10)의 바로 위에 결합시키되, 상부 필라멘트 고정장치(20)의 걸쇠용 구멍(22)과 지지대 걸쇠용 구멍(23)에 면 필라멘트(10)의 상부에 돌출한 사각뿔(12)과 중간부 필라멘트 고정장치(30)와 연결된 지지대의 지지대 사각뿔(51)이 각각 일치하도록 삽입하고, 상부 필라멘트 고정장치(20)의 팔라멘트 안내 홈(21)과 지지대 홈(24)에 면 필라멘트(10)의 필라멘트 턱(13)과 지지대의 지지대 턱(52)이 걸려 더 이상 상부 필라멘트 고정장치(20)가 내려가지 않게끔 하고, 상부 필라멘트 고정장치(20) 위로 나온 필라멘트 사각뿔(12)과 지지대 사각뿔(51)들을 'ㄱ'자 모양으로 접어 상부 필라멘트 고정장치(20)를 결합시킨다.

이와 같이, 상부와 하부 필라멘트 고정장치(20, 40)에 필라멘트 사각뿔(12)을 이용하여 고정, 결합시키고 중간부 필라멘트 고정장치(30)를 지지대(50)를 이용하여 고정, 결합시킴으로서 면 필라멘트(10)가 원통으로 세워지고 각각의 긴 직사각형의 판(11)의 면이 직접적으로 증발원을 바라보게 하여 면 필라멘트(10)로부터 발생된 복사열이 효율적으로 전달되도록 하고 지지대(50)를 이용한 각 필라멘트 고정장치(20, 30, 40)들간의 결합은 최초 설치나 도가니(1)에 물질을 재충전함에 따라 발생할지 모르는 면 필라멘트(10)로의 물리적 충격에 의한 손상을 방지하고 면 필라멘트(10)에 외부의 힘이 가해지지 않도록 하고 온도 상승에 따른 면 필라멘트(10)의 형태 변화를 막음으로서 면 필라멘트(10)의 내구성 향상을 달성하게 된다.

필라멘트 고정장치(20, 30, 40)와 결합된 면 필라멘트(10)에 전원을 공급하기 위하여 도 8의 두 부분으로 나누어진 샌드위치형 전원 연결장치(대)(62)와 샌드위치형 전원 연결장치(소)(61) 사이에 면 필라멘트(10)의 전원 연결부(15)를 밀착하고, 전원 연결부(15)의 두 개의 전원 연결용 구멍(14)과 두 샌드위치형 전원 연결장치(61, 62)의 각각의 두 나사 구멍(63)들이 일치하게 하여 나사(65)로 결합시켜 전류가 밀착된 면으로 원활하게 흘러갈 수 있도록 하고, 샌드위치형 전원 연결부(대)(62)의 하부의 전원선 인입을 위한 전원 인입선 구멍(64)에는 전원 공급장치로부터의 전원 인입선(66)을 삽입하여 나사(65)로 결합한다. 이와 같이 두 셋트의 샌드위치형 전원 연결장치(60)로 2개의 다리처럼 내려오는 면 필라멘트(10)의 두 전원 연결부(15)와 연결한다.

상기와 같이 결합된 면 필라멘트(10)와 필라멘트 고정장치(20, 30, 40)에 도가니(1)를 설치하고 외부에 하우징을 설치하여 증착 공정용 증발원을 만들 수 있으며 면 필라멘트(10) 바깥으로 나가는 복사열을 줄이기 위해 필라멘트 고정장치 외부에 금속반사판(미도시)을 추가할 수 있고 필라멘트 고정장치 상부로 나온 필라멘트 사각뿔(12)과 하우징과의 접촉으로 인한 누전을 차단하기 위해 절연판을 상부에 추가할 수 있다.

저온, 고온, 초고온 용도에 따라 면 필라멘트(10)의 형태나 길이, 폭, 두께, 긴 직사각형의 판(11)의 개수를 조절 가능하며 도 9와 같이 면 필라멘트(10)를 이중으로 설치하되, 외부에서 보기에 안쪽에 설치된 면 필라멘트(10)의 긴 직사각형의 판(11) 사이에 바깥쪽에 설치된 면 필라멘트(10)의 긴 직사각형의 판(11)이 위치하도록 면 필라멘트(10)를 설치함으로써 보다 높은 온도를 도가니(1)에 가할 수 있다.

면 필라멘트(10)는 고온과 고진공에 사용할 있는 탄탈이나 텡스턴 등과 같은 금속 전도체로 구성될 수 있으며 필라멘트 고정장치(20, 30, 40)는 고온과 고진공에 사용할 수 있는 세라믹, PBN, 쿼츠 등의 절연 물질로 구성될 수 있으며 지지대(50)는 고온과 고진공에 사용할 수 있는 물질로 구성될 수 있다.

이상과 같은 본 발명은 유기EL 박막 및 반도체 박막 제작의 증착 공정용 면 필라멘트와 그 고정장치에 있어서, 특히 필라멘트에 손상이 가거나 열적 변형을 방지하여 도가니에 균일한 열이 가해지도록 하고 도가니로의 열 전달 효율을 향상시키고 면 필라멘트(10)의 형태를 조정하여 도가니의 특정부분에 고열을 가하는 효과와 필라멘트의 내구성을 높이기 위한 효과가 있는 발명인 것이다.

Claims (7)

1. 긴 직사각형 모양의 판들이 일정 간격을 가지고 연속적으로 연결된 면 필라멘트와; 원형의 필라멘트 고정장치와; 고정장치들의 지지대와; 샌드위치형 전원 연결장치로; 구성되는 것을 특징으로 하는 면 필라멘트와 그 고정장치.
2. 제 1항에 있어서, 면 필라멘트는,

   일정길이와 일정폭, 일정두께를 가지는 다수개의 긴 직사각형의 판들이 일정간격으로 배열되고 상부와 하부에서 번갈아가며 연결되는 형태를 가지며, 상부와 하부에 사각뿔들을 가지고, 양쪽 끝의 하부에는 구멍들을 가지고 길이가 더 길게 늘어져 있는 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 면 필라멘트.
3. 제 2항에 있어서, 면 필라멘트의 긴 직사각형 판은,

   상부는 폭이 좁고 하부는 폭이 넓고, 또는 하부로 갈수록 폭이 넓어지는 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 면 필라멘트.
4. 제 1항에 있어서, 필라멘트 고정장치는,

   원형의 일정 깊이를 가지는 필라멘트 안내 홈을 가지고 필라멘트 안내 홈 상에 다수개의 걸쇠용 구멍들을 가지며, 지지대용 걸쇠용 구멍들과 홈들을 가지는 상부와 하부 필라멘트 고정장치와 부채꼴의 호 모양의 관통된 필라멘트 안내 구멍들을 가지고 지지대용 걸쇠용 구멍들과 홈들을 가지는 중간부 필라멘트 고정장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 필라멘트 고정장치.
5. 제 1항과 제 4항에 있어서, 필라멘트 고정장치의 지지대는

   긴 직사각형 모양으로 상부와 하부에 사각뿔을 가지는 것을 특징으로 하는 면 필라멘트와 그 고정장치.
6. 제 1항에 있어서, 샌드위치형 전원 연결장치는,

   직사각형 모양의 접촉면을 가지는 샌드위치형 전원 연결부(소)와 샌드위치형 전원 연결부(대)로 되어 있고 서로 결합하여 직육면체 또는 원통형의 형태를 가지며 나사 구멍들을 가지며 하부에 전원 연결용 구멍을 가지는 것을 특징으로 하는 면 필라멘트와 그 고정장치.
7. 제 1항에 있어서, 면 필라멘트는,

   두 개의 면 필라멘트들의 길이, 폭, 두께를 서로 다르게 하여 원통형으로 구성하는, 이중형태의 면 필라멘트와 그 고정장치.

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