KR20060012500A - Substrate size confirmation apparatus for cassette - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저센서 및 반사판을 통해 카세트(cassette)의 기판사이즈 세팅상태를 간편하게 확인할 수 있도록 한 카세트용 기판사이즈 확인장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate size checking apparatus for a cassette for easily checking the substrate size setting state of a cassette through a laser sensor and a reflecting plate.

본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치는, 기판(10)을 이송하는 로봇암(20)과; 로봇암(20)을 통해 이송되는 기판(10)이 적재되며, 기판(10)의 사이즈 변화에 따라 선택적으로 이동 가능한 모델체인지키트(model change kit)(32)를 갖는 카세트(30)와; 모델체인지키트(32)에 장착되는 반사판(40a)과; 로봇암(20)에 장착되며, 반사판(40a)을 향해 레이저를 조사하여 그 반사 유무를 감지함으로써 카세트(30)의 기판사이즈 세팅상태를 확인하는 레이저센서(50)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 호스트(Host) 정보의 부확성으로 인해 발생되는 기판의 파손 및 라인의 중지 등을 미연에 방지함으로써 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.Cassette substrate size checking apparatus according to the present invention, the robot arm 20 for transporting the substrate 10; A cassette 30 loaded with a substrate 10 transferred through the robot arm 20 and having a model change kit 32 that can be selectively moved according to the size change of the substrate 10; A reflection plate 40a mounted to the model change kit 32; It is mounted to the robot arm 20, and comprises a laser sensor 50 for checking the substrate size setting state of the cassette 30 by detecting the reflection of the laser irradiation toward the reflecting plate 40a. Accordingly, workability and productivity can be improved by preventing the breakage of the substrate and the interruption of the line caused by the inaccuracy of the host information.

기판, 로봇암, 카세트, 모델체인지키트, 반사판, 레이저센서Board, Robot Arm, Cassette, Model Change Kit, Reflector, Laser Sensor

Description

카세트용 기판사이즈 확인장치 {SUBSTRATE SIZE CONFIRMATION APPARATUS FOR CASSETTE} Cassette Size Checking Device for Cassette {SUBSTRATE SIZE CONFIRMATION APPARATUS FOR CASSETTE}             

도 1은 본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치의 구성을 도시한 개략도이고,1 is a schematic view showing the configuration of a substrate size checking apparatus for a cassette according to the present invention;

도 2의 (a),(b)는 본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치의 반사판 설치상태를 도시한 정면도이고,2 (a) and 2 (b) are front views showing a reflector plate installation state of a cassette substrate size checking device according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치의 제어과정을 도시한 블럭도이다.3 is a block diagram showing a control process of the substrate size checking apparatus for a cassette according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >            <Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 기판 20 : 로봇암            10: substrate 20: robot arm

30 : 카세트 32 : 모델체인지키트            30: cassette 32: model change kit

40a,40b : 반사판 50 : 레이저센서            40a, 40b: reflector 50: laser sensor

60 : 바코드            60: barcode

본 발명은 카세트용 기판사이즈 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저센서 및 반사판을 통해 카세트(cassette)의 기판사이즈 세팅상태를 간편하게 확인할 수 있도록 한 카세트용 기판사이즈 확인장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate size detecting device for a cassette, and more particularly, to a substrate size checking device for a cassette so as to easily check the substrate size setting state of a cassette through a laser sensor and a reflecting plate.

일반적으로, 액정표시장치(LCD)는 인가전압에 따른 액정의 투과도 변화를 이용하여 각종 유닛에서 발생되는 여러가지 전기적인 정보를 시각적인 정보로 변화시켜 전달하는 전자소자를 말한다.In general, a liquid crystal display (LCD) refers to an electronic device that changes and transmits various electrical information generated by various units into visual information by using a change in transmittance of liquid crystal according to an applied voltage.

이러한 액정표시장치를 제조하는 공정에서는 어느 하나의 공정처리가 이루어진 기판을 카세트에 적재하고, 이 카세트를 다음 공정장비에 로딩한 후 기판이송장치를 이용하여 각 기판을 공정작업위치로 이송하여 소정의 작업을 수행하게 된다. 이와 같이 공정장비에서 카세트 내의 기판을 기판이송장치로 이송하는 작업을 정확하고 신속하게 수행하기 위해서는 카세트 내에 기판이 존재하는가의 여부가 기판이송장치를 제어하는 컨트롤러로 전달되어야 한다. 따라서, 카세트 내의 기판 존재 유무를 감지할 수 있는 센서가 장착되며, 이러한 센서는 국내특허출원 2002-0033730에 개시되어 있다.  In the process of manufacturing such a liquid crystal display device, a substrate subjected to any one of the process treatments is loaded into a cassette, the cassette is loaded into the next process equipment, and then each substrate is transferred to a process working position using a substrate transfer device. Will do the work. As described above, in order to accurately and quickly carry out the operation of transferring the substrate in the cassette to the substrate transfer apparatus, whether or not the substrate exists in the cassette should be transmitted to the controller controlling the substrate transfer apparatus. Therefore, a sensor that can detect the presence of the substrate in the cassette is mounted, such a sensor is disclosed in the domestic patent application 2002-0033730.

한편, 카세트 내의 기판 존재 유무를 감지하는 장치에 대한 기술은 다양한 형태의 것이 공지되어 있다.On the other hand, the technology for detecting the presence of the substrate in the cassette is known in various forms.

그러나 상기와 같은 구조의 카세트에는 기판의 존재 유무를 감지할 수 있는 센서 밖에 없어, 15인치부터 46인치 이상의 다양한 사이즈를 갖는 기판을 생산하는 LCD 라인에서 작업자의 실수 또는 기타 에러에 의해 호스트(Host)의 카세트 기판사이즈에 대한 정보와 실제 카세트의 기판사이즈 세팅상태가 서로 다를 경우에는 기판과 카세트 간의 충돌이 발생되는 문제점이 있다.However, the cassette having the above structure has only a sensor that can detect the presence or absence of a substrate, and may be caused by a mistake or other error by an operator in an LCD line that produces a substrate having various sizes from 15 inches to 46 inches. If the information on the cassette substrate size and the actual substrate size setting state of the cassette are different from each other, there is a problem that a collision occurs between the substrate and the cassette.

그로 인해, 기판 및 카세트의 손상은 물론이고 작업공정이 일시 중지되어, 작업성 및 생산성을 저하시킬 뿐 아니라 경제적 비용을 증가시키는 결과를 초래한다.This not only damages the substrate and the cassette, but also suspends the work process, resulting in not only lowering workability and productivity, but also increasing economic cost.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 카세트의 기판사이즈 세팅상태에 대한 정보를 확인할 수 있는 카세트용 기판사이즈 확인장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a cassette substrate size checking apparatus capable of confirming information on a substrate size setting state of a cassette.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판을 이송하는 로봇암과; 상기 로봇암을 통해 이송되는 상기 기판이 적재되며, 상기 기판의 사이즈 변화에 따라 선택적으로 이동 가능한 모델체인지키트(model change kit)를 갖는 카세트와; 상기 모델체인지키트에 장착되는 반사판과; 상기 로봇암에 장착되며, 상기 반사판을 향해 레이저를 조사하여 그 반사 유무를 감지함으로써 상기 카세트의 기판사이즈 세팅상태를 확인하는 레이저센서를 포함하여 구성되는 데 그 특징이 있다.The present invention to achieve the above object, the robot arm for transporting the substrate; A cassette loaded with the substrate transferred through the robot arm, the cassette having a model change kit that can be selectively moved according to the size change of the substrate; A reflection plate mounted to the model change kit; It is characterized in that it comprises a laser sensor mounted on the robot arm to check the substrate size setting state of the cassette by irradiating a laser toward the reflector to detect the presence or absence of the reflection.

상기 레이저센서는 상기 반사판에서 반사된 레이저만을 인식하여 작동되는 것이 바람직하다.The laser sensor is preferably operated by recognizing only the laser reflected from the reflector.

상기 레이저센서를 통해 조사된 레이저가 상기 반사판에 의해 반사되어 상기 레이저센서가 작동하면 상기 로봇암의 기판 적재작업이 진행되고, 상기 레이저센서를 통해 조사된 레이저가 상기 반사판에 의해 반사되지 않아 상기 레이저센서가 작동하지 않으면 상기 로봇암의 기판 적재작업이 진행되지 않는 것이 바람직하다.When the laser beam irradiated through the laser sensor is reflected by the reflector and the laser sensor is operated, the substrate loading operation of the robot arm proceeds, and the laser beam irradiated through the laser sensor is not reflected by the reflector plate so that the laser If the sensor does not operate, it is preferable that the substrate loading operation of the robot arm does not proceed.

상기 반사판은 상기 모델체인지키트의 단부에 장착되는 것이 바람직하다.The reflector is preferably mounted at the end of the model change kit.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치는 기판(10)을 이송하는 로봇암(20)과; 로봇암(20)을 통해 이송되는 기판(10)이 적재되며, 기판(10)의 사이즈 변화에 따라 선택적으로 이동 가능한 모델체인지키트(model change kit)(32)를 갖는 카세트(30)와; 모델체인지키트(32)에 장착되는 반사판(40a)과; 로봇암(20)에 장착되며, 반사판(40a)을 향해 레이저를 조사하여 그 반사 유무를 감지함으로써 카세트(30)의 기판사이즈 세팅상태를 확인하는 레이저센서(50)를 포함하여 구성된다.As shown in Figure 1 and 2, the cassette substrate size checking apparatus according to the present invention includes a robot arm 20 for transferring the substrate 10; A cassette 30 loaded with a substrate 10 transferred through the robot arm 20 and having a model change kit 32 that can be selectively moved according to the size change of the substrate 10; A reflection plate 40a mounted to the model change kit 32; It is mounted to the robot arm 20, and comprises a laser sensor 50 for checking the substrate size setting state of the cassette 30 by detecting the reflection of the laser irradiation toward the reflecting plate 40a.

로봇암(20)은 기판(10)의 이송이 용이하도록 카세트(30)와 인접하게 위치하며, 로봇암(20)의 구조는 기판(10)을 안정적으로 이송시킬 수 있는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다. The robot arm 20 is positioned adjacent to the cassette 30 to facilitate the transfer of the substrate 10, and the structure of the robot arm 20 is variously changed within a range capable of stably transferring the substrate 10. It is possible.

카세트(30)는 모델체인지키트(32)의 좌우이동에 의해 다양한 사이즈의 기판 (10)을 간편하게 수용할 수 있는 구조를 가지며, 상위운영체제(Host)는 바코드(60)를 이용하여 카세트(30) 내의 기판(10) 적재상황 및 생산하고 있는 기판(10)의 사이즈에 대한 정보를 처리할 수 있도록 되어 있다. 예컨대, 상위운영체제는 현재 생산하고 있는 기판(10)의 사이즈가 15인치 인지 19인치인지, 총 몇 매를 적재하고 있는 지를 체크할 수 있다.Cassette 30 has a structure that can easily accommodate the substrate 10 of various sizes by the left and right movement of the model change kit 32, the host operating system (Host) using the barcode (60) cassette 30 Information on the loading status of the substrate 10 and the size of the substrate 10 being produced can be processed. For example, the upper operating system may check whether the size of the substrate 10 currently produced is 15 inches or 19 inches, and how many sheets are loaded.

모델체인지키트(32)의 이동은 주로 수동으로 이루어지지만, 필요에 따라 자동으로 이동되게 할 수도 있다. 모델체인지키트(32)는 카세트(30) 상에 수직으로 설치되며, 기판(10)을 분리 적층할 수 있도록 복수의 슬롯(33)이 일렬로 형성되어 있다.The model change kit 32 is mainly moved manually, but may be automatically moved as needed. The model change kit 32 is vertically installed on the cassette 30, and a plurality of slots 33 are formed in a row so as to separate and stack the substrate 10.

카세트(30)의 외부영역에는 카세트(30) 내의 기판(10) 유무를 감지하기 위한 반사판(40b)이 마련되어 있다. 반사판(40b)은 카세트(30) 내의 기판사이즈 세팅상태를 확인하기 위해 모델체인지키트(32)에 장착되어 있는 반사판(40a)과 마찬가지로 레이저센서(50)에서 조사되는 레이저의 반사 유무를 통해 기판(10)의 유무를 감지한다. 카세트(30) 내의 기판 유무를 감지하는 감지수단은 반사판(40b)을 비롯하여 공지된 형태의 것을 선택적으로 사용할 수 있으며, 반사판(40b)은 공지된 기술의 일부이므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다. In the outer region of the cassette 30, a reflecting plate 40b for detecting the presence or absence of the substrate 10 in the cassette 30 is provided. Reflector plate 40b is a substrate (through the presence or absence of the laser irradiation from the laser sensor 50, similar to the reflector plate 40a mounted on the model change kit 32 to check the substrate size setting state in the cassette 30). 10) detect the presence or absence. The sensing means for detecting the presence or absence of a substrate in the cassette 30 may be selectively used in a known form, including the reflecting plate 40b, the detailed description thereof will be omitted since the reflecting plate 40b is part of the known technology.

레이저센서(50)는 반사판(40a)에서 반사된 레이저만을 인식하여 작동되며, 반사판(40a)은 특수 표면처리되어 있을 뿐 아니라 고열에 견딜 수 있도록 내열성이 우수한 재질로 이루어져 있다.The laser sensor 50 operates by recognizing only the laser reflected by the reflector 40a, and the reflector 40a is made of a material having excellent heat resistance to withstand high heat as well as a special surface treatment.

레이저센서(50)를 통해 조사된 레이저가 반사판(40a)에 의해 반사되면 제어 부(미도시)를 통해 로봇암(20)의 기판 적재작업을 진행시키고, 레이저센서(50)를 통해 조사된 레이저가 반사판(40a)에 의해 반사되지 않으면 제어부를 통해 로봇암(20)의 기판 적재작업을 진행시키지 않는다.When the laser irradiated through the laser sensor 50 is reflected by the reflecting plate 40a, the substrate loading operation of the robot arm 20 is performed through a control unit (not shown), and the laser irradiated through the laser sensor 50. If it is not reflected by the reflector 40a, the substrate loading operation of the robot arm 20 is not progressed through the control unit.

반사판(40a)은 모델체인지키트(32)의 단부에 장착되어 모델체인지키트(32)의 이동에 의해 위치 변경되며, 그 장착위치는 레이저센서(50)와의 상호작용에 간섭되지 않는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다. 반사판(40a)은 도 2a 및 2b에서와 같이 모델체인지키트(32)의 이동동작에 의해 연동되도록 모델체인지키트(32)와 연결되어 있다.The reflector plate 40a is mounted at the end of the model change kit 32 and is changed in position by the movement of the model change kit 32, and the mounting position thereof varies within a range that does not interfere with the interaction with the laser sensor 50. Can be changed. The reflecting plate 40a is connected to the model change kit 32 so as to be interlocked by the movement of the model change kit 32 as shown in FIGS. 2A and 2B.

상기에서 설명한 카세트용 기판사이즈 감지장치의 감지과정을 도 3을 참조하여 간단히 살펴보면 하기와 같다.The sensing process of the substrate size sensing apparatus for the cassette described above will be briefly described with reference to FIG. 3.

호스트(Host)에서의 맵핑(mapping)작업이 완료된 시점에서 레이저센서(50)를 통해 반사판(40a)으로 레이저를 조사할 수 있도록 로봇암(20)을 반사판(40a) 위치로 이동하여 반사판(40a)을 향해 레이저를 조사한다(S1). 그리고 레이저센서(50)를 통해 조사된 레이저가 반사판(40a)에 의해 반사되어 레이지센서(50)가 작동하는지 여부를 판단한다(S2),The robot arm 20 is moved to the position of the reflecting plate 40a so that the laser beam can be irradiated to the reflecting plate 40a through the laser sensor 50 at the time when the mapping operation in the host is completed. Irradiate a laser toward (S1). Then, the laser irradiated through the laser sensor 50 is reflected by the reflector 40a to determine whether the laser sensor 50 operates (S2),

레이저센서(50)가 작동하면 호스트의 기판사이즈 정보와 실제 카세트(30) 내의 기판사이즈 세팅상태가 일치하는 것으로 판단하여 로봇암(20)의 기판(10) 적재작업이 진행된다(S3). When the laser sensor 50 operates, it is determined that the substrate size information of the host and the actual substrate size setting state in the cassette 30 match, and the loading operation of the substrate 10 of the robot arm 20 proceeds (S3).

반면에, 레이저센서(50)를 통해 조사된 레이저가 반사판(40a)에 의해 반사되 지 않아 레이저센서(50)가 작동하지 않으면 호스트의 기판사이즈 정보와 실제 카세트(30) 내의 기판사이즈 세팅상태가 일치하지 않는 것으로 판단하여 로봇암(20)의 기판(10) 적재작업이 진행되지 않는다(S3).On the other hand, if the laser irradiated through the laser sensor 50 is not reflected by the reflector 40a, and thus the laser sensor 50 does not operate, the substrate size information of the host and the substrate size setting state in the actual cassette 30 may be lost. Since it is determined that there is no match, the loading operation of the substrate 10 of the robot arm 20 does not proceed (S3).

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 카세트 내의 기판사이즈 세팅상태에 대한 정확한 정보를 얻을 수 있어, 호스트 정보의 부정확성으로 인한 기판의 파손 및 라인의 중지 등을 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, accurate information on the state of the substrate size setting in the cassette can be obtained, thereby preventing breakage of the substrate and interruption of lines due to inaccurate host information.

그로 인해, 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론이고 경제적인 비용을 절감할 수 있다는 장점이 있다.As a result, it is possible to improve workability and productivity as well as to reduce economic costs.

Claims (4)

기판을 이송하는 로봇암과;A robot arm for transporting the substrate; 상기 로봇암을 통해 이송되는 상기 기판이 적재되며, 상기 기판의 사이즈 변화에 따라 선택적으로 이동 가능한 모델체인지키트(model change kit)를 갖는 카세트와;A cassette loaded with the substrate transferred through the robot arm, the cassette having a model change kit that can be selectively moved according to the size change of the substrate; 상기 모델체인지키트에 장착되는 반사판과;A reflection plate mounted to the model change kit; 상기 로봇암에 장착되며, 상기 반사판을 향해 레이저를 조사하여 그 반사 유무를 감지함으로써 상기 카세트의 기판사이즈 세팅상태를 확인하는 레이저센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 기판사이즈 확인장치.And a laser sensor mounted on the robot arm and configured to check a substrate size setting state of the cassette by irradiating a laser toward the reflector to detect the reflection. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레이저센서는 상기 반사판에서 반사된 레이저만을 인식하여 작동되는 것을 특징으로 하는 카세트용 기판사이즈 확인장치.And the laser sensor operates by recognizing only the laser reflected by the reflector. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 레이저센서를 통해 조사된 레이저가 상기 반사판에 의해 반사되어 상기 레이저센서가 작동하면 상기 로봇암의 기판 적재작업이 진행되고, 상기 레이저센서를 통해 조사된 레이저가 상기 반사판에 의해 반사되지 않아 상기 레이저센서가 작동하지 않으면 상기 로봇암의 기판 적재작업이 진행되지 않는 것을 특징으로 하는 카세트용 기판사이즈 확인장치.When the laser beam irradiated through the laser sensor is reflected by the reflector and the laser sensor is operated, the substrate loading operation of the robot arm proceeds, and the laser beam irradiated through the laser sensor is not reflected by the reflector plate so that the laser The substrate size checking apparatus for a cassette, characterized in that the substrate loading operation of the robot arm does not proceed if the sensor does not operate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반사판은 상기 모델체인지키트의 단부에 장착되는 것을 특징으로 하는 카세트용 기판사이즈 확인장치.And the reflecting plate is mounted at an end of the model change kit.
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