KR20060008164A - Wafer cassette position locking apparatus - Google Patents

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KR20060008164A
KR20060008164A KR1020040057861A KR20040057861A KR20060008164A KR 20060008164 A KR20060008164 A KR 20060008164A KR 1020040057861 A KR1020040057861 A KR 1020040057861A KR 20040057861 A KR20040057861 A KR 20040057861A KR 20060008164 A KR20060008164 A KR 20060008164A
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고경석
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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 웨이퍼 카세트 위치 고정장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 웨이퍼 카세트가 안착되는 반도체 제조 설비의 스테이션 상에 돌출된 걸림부재; 상기 스테이션에 마련되어 상기 걸림부재의 구동을 안내하는 안내수단; 상기 걸림부재의 일측에 마련되며 상기 걸림부재를 상기 웨이퍼 카세트 측으로 구동시켜 상기 걸림부재가 상기 웨이퍼 카세트의 하단에 걸리도록 하는 구동수단을 구비한 것으로, 이러한 본 발명에 따른 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 종래에 웨이퍼 카세트가 공정 설비의 스테이션 상에 고정되지 않음으로 해서 발생하는 문제점을 해소한 것으로, 웨이퍼 카세트가 공정 설비에 안착되었을 경우 웨이퍼 카세트를 스테이션 상에 견고하게 위치 유시지실 수 있도록 하여 웨이퍼의 파손 및 손상을 최소화화 반도체 제조공정 효율을 보다 향상시키도록 하는 효과가 있다.The present invention relates to a wafer cassette position fixing device for semiconductor manufacturing, wherein the wafer cassette position fixing device according to the present invention comprises: a engaging member protruding on a station of a semiconductor manufacturing facility on which a wafer cassette is seated; Guide means provided at the station to guide driving of the locking member; It is provided on one side of the locking member and provided with a driving means for driving the locking member toward the wafer cassette side so that the locking member is caught on the lower end of the wafer cassette, the wafer cassette position according to the present invention according to the present invention The fixing device solves the problem caused by the conventional wafer cassette not being fixed on the station of the process equipment, and when the wafer cassette is seated in the process equipment, the wafer cassette can be firmly positioned on the station. Minimize the damage and damage of the wafer has the effect of further improving the efficiency of the semiconductor manufacturing process.

Description

웨이퍼 카세트 위치 고정장치{Wafer cassette position locking apparatus}Wafer cassette position locking apparatus

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치 설치된 상태를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a wafer cassette position fixing device installed state according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치를 도시한 분해 사시도이다.Figure 2 is an exploded perspective view showing a wafer cassette position fixing device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the wafer cassette position fixing device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치의 또 다른 실시예를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing yet another embodiment of a wafer cassette position fixing device according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

50...카세트50 ... cassette

100...안내레일100 ... Information rail

110...걸림부재110.Hanging member

200...제 1전자석200 ... First Electromagnet

210...제 2전자석210.2nd electromagnet

300..푸싱부재300. Pushing member

400...정역회전모터400 ... reverse motor

본 발명은 웨이퍼 카세트 위치 고정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비에서 웨이퍼가 안착된 카세트를 안착위치에 견고한 안착상태를 고정시키기 위한 웨이퍼 카세트 위치 고정장치에 관한 것이다. The present invention relates to a wafer cassette position fixing device, and more particularly, to a wafer cassette position fixing device for fixing a solid seating state in a cassette in which a wafer is seated in a semiconductor manufacturing facility.

일반적으로 반도체 장치는 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등의 단위 공정이 순차적으로 또는 반복적으로 웨이퍼 상에서 이루어짐으로써 제조된다. 이러한 공정 수행을 위하여 웨이퍼는 반도체 제조설비들 사이에서 반복적으로 이송된다. 이때 웨이퍼는 개별 단위로 이송되지 않고, 로트 단위인 25매의 웨이퍼가 함께 이송되며, 이러한 이송을 위하여 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 사용된다.Generally, a semiconductor device is manufactured by performing a unit process of film formation, pattern formation, metal wiring formation, etc. sequentially or repeatedly on a wafer. Wafers are repeatedly transferred between semiconductor manufacturing facilities to perform this process. At this time, the wafers are not transferred in individual units, but 25 wafers in a lot unit are transferred together, and a wafer cassette on which wafers are loaded is used for such transfer.

웨이퍼 카세트는 공정이 진행되기 전 반도체 제조설비의 스테이션에 안착되어 대기 상태에 있고, 공정이 수행될 때에는 이송로봇에 의하여 웨이퍼가 공정챔버로 이송되어 소정의 반도체 제조공정이 수행되고, 공정이 완료된 웨이퍼는 다시 이송로봇에 의하여 카세트로 회수된다.The wafer cassette is placed in the station of the semiconductor manufacturing facility before the process is in progress and is in a standby state. When the process is performed, the wafer is transferred to the process chamber by a transfer robot to perform a predetermined semiconductor manufacturing process, and the process is completed. Is returned to the cassette by the transfer robot.

한편, 종래의 경우 웨이퍼 카세트는 공정 설비의 스테이션 상에 고정된 상태가 아니라 단지 중량 및 가이드에 의하여 안착된 상태이다. 따라서 공정이 진행 중이거나 또는 설비에 대한 계측이 이루어질 때 공정 설비의 스테이션이 외부의 충격이나 작업 중의 외력에 의하여 진동으로 흔들릴 수 있다.On the other hand, in the conventional case, the wafer cassette is not fixed on the station of the processing equipment but only by weight and guide. Therefore, when the process is in progress or the measurement of the equipment is made, the station of the process equipment may be shaken by vibration due to external impact or external force during operation.

이렇게 공정 설비가 조금이라도 움직이면 웨이퍼가 안착된 카세트 또한 흔들 리게 되어 카세트가 정확한 안착위치로부터 이탈할 수 있고, 이로 인해 카세트에 안착된 웨이퍼가 파손되거나, 이후 이송로봇의 이송암 진입시 카세트의 위치 이탈로 웨이퍼에 대한 긁힘이 발생할 우려가 있다.If the process equipment is moved even a little, the cassette on which the wafer is placed may also be shaken, and the cassette may be separated from the correct seating position. As a result, the wafer seated on the cassette may be damaged or the cassette may be moved out of position when entering the transfer arm of the transfer robot. There is a risk of scratching the wafer.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트가 공정 설비의 스테이션에 안착되었을 경우 웨이퍼 카세트를 스테이션 상에 견고하게 위치 고정시킬 수 있도록 한 웨이퍼 카세트 위치 고정장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a wafer cassette position fixing device which enables the wafer cassette to be firmly positioned on the station when the wafer cassette is seated at the station of the processing equipment. It is for.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 웨이퍼 카세트가 안착되는 반도체 제조 설비의 스테이션 상에 돌출된 걸림부재; 상기 스테이션에 마련되어 상기 걸림부재의 구동을 안내하는 안내수단; 상기 걸림부재의 일측에 마련되며 상기 걸림부재를 상기 웨이퍼 카세트 측으로 구동시켜 상기 걸림부재가 상기 웨이퍼 카세트의 하단에 걸리도록 하는 구동수단을 구비한다.Wafer cassette position fixing device according to the present invention for achieving the above object is a locking member protruding on the station of the semiconductor manufacturing equipment on which the wafer cassette is seated; Guide means provided at the station to guide driving of the locking member; It is provided on one side of the locking member and provided with a driving means for driving the locking member to the wafer cassette side so that the locking member is caught on the lower end of the wafer cassette.

그리고 바람직하게 상기 걸림부재는 상기 스테이션 상에 상기 웨이퍼 카세트 측으로 연장 형성된 안내홀을 상하로 관통한 지지대와, 상기 지지대의 상단에 노출된 단부에 상기 웨이퍼 카세트 측으로 절곡 형성된 걸림판으로 된다.Preferably, the locking member includes a support that vertically penetrates a guide hole extending toward the wafer cassette on the station, and a locking plate that is bent toward the wafer cassette at an end exposed to an upper end of the support.

또한 바람직하게 상기 안내수단은 상기 지지판의 양측면과 바닥을 지지하며 상기 안내홀과 같은 방향으로 연장된 안내레일과, 상기 지지판의 양측면에 형성된 안내돌기가 끼워지도록 상기 안내레일의 양측 내면에 형성된 안내홈을 포함한다. Also preferably, the guide means supports the both sides and the bottom of the support plate and the guide rails extending in the same direction as the guide hole, and guide grooves formed on both inner surfaces of both sides of the guide rail so that guide protrusions formed on both sides of the support plate are fitted. It includes.                     

또한 바람직하게 상기 걸림부재는 전자기장의 영향을 받는 금속재질로 마련되고, 상기 구동수단은 상기 걸림부재의 걸림방향으로 설치된 제 1전자석과, 상기 걸림부재의 복원 방향으로 설치된 제 2전자석으로 마련된다.In addition, the locking member is preferably made of a metal material affected by the electromagnetic field, the driving means is provided with a first electromagnet provided in the locking direction of the locking member, and a second electromagnet installed in the restoring direction of the locking member.

또한 바람직하게 상기 구동수단은 상기 걸림부재를 구동 방향으로 구동시키는 푸싱부재와, 상기 걸림부재의 복원방향으로 복원시키는 스프링을 포함하고, 상기 푸싱부재는 유압피스톤, 공압피스톤, 솔레노이드 밸브 중의 어느 하나로 구비된다.Also preferably, the driving means includes a pushing member for driving the locking member in the driving direction and a spring for restoring the restoring direction of the locking member, and the pushing member is provided with any one of a hydraulic piston, a pneumatic piston, and a solenoid valve. do.

또한 바람직하게 상기 구동수단은 상기 구동수단을 관통하여 설치된 볼스크류와 상기 볼스크류를 정역 회전시키는 정역회전모터를 포함한다.Also preferably, the driving means includes a ball screw installed through the driving means and a forward and reverse rotation motor for forward and reverse rotation of the ball screw.

이하에서는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the wafer cassette position fixing device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 도 1에 도시된 바와 같이 반도체 제조공정이 수행되는 반도체 제조용 공정 설비의 스테이션(10) 상에 설치된다. 여기서의 반도체 제조용 공정 설비는 웨이퍼 카세트(50)가 안착되어 작업 대기가 수행되는 모든 종류의 반도체 제조 설비가 적용 대상이다. The wafer cassette position fixing device according to the present invention is installed on a station 10 of a semiconductor manufacturing process facility in which a semiconductor manufacturing process is performed, as shown in FIG. In the semiconductor manufacturing process equipment, all kinds of semiconductor manufacturing equipment, in which a wafer cassette 50 is seated and waiting for work, are applied.

그리고 스테이션(10) 상에는 웨이퍼 카세트(50)가 안착된다. 이 웨이퍼 카세트(50)는 상하로 로트 단위매의 웨이퍼(60)가 적재되어 있으며, 스테이션(10) 상에서 공정 수행을 위하여 웨이퍼(60)의 공정 대기 상태 또는 웨이퍼(60) 이송 대기 상태에 있는 것이다. 그리고 이러한 대기 상태인 웨이퍼 카세트(50)에 대한 위치 고정이 후술하는 위치 고정장치에 의하여 이루어진다. The wafer cassette 50 is seated on the station 10. The wafer cassette 50 is loaded with a wafer unit 60 in a lot unit up and down, and is in a process standby state or a wafer 60 transfer standby state for performing a process on the station 10. . And the position fixing with respect to the wafer cassette 50 in such a standby state is performed by the position fixing apparatus mentioned later.                     

위치 고정장치는 웨이퍼 카세트(50)가 안착되는 반도체 제조 설비의 스테이션(10) 상으로 일부 돌출한 걸림부재(110)와, 이 스테이션(10)의 하부에 설치된 케이스(20)를 구비하고, 이 케이스(20) 내부에 설치되며 걸림부재(110)의 구동을 안내하는 안내수단 그리고 걸림부재(110)의 일측에 마련되며 걸림부재(110)를 웨이퍼 카세트(50) 측으로 구동시켜 걸림부재(110)가 웨이퍼 카세트(50)의 하단에 걸리도록 하는 구동수단으로 구비된다.The position fixing device includes a catching member 110 which partially protrudes onto the station 10 of the semiconductor manufacturing facility on which the wafer cassette 50 is seated, and a case 20 provided below the station 10. It is installed inside the case 20 and is provided on the guide means for guiding the driving of the locking member 110 and on one side of the locking member 110, and the locking member 110 is driven by driving the locking member 110 toward the wafer cassette 50. Is provided as a driving means to hook the lower end of the wafer cassette 50.

구체적으로 도 1과 도 2를 참조하여 설명하면, 걸림부재(110)는 상하로 연장된 지지대(111)와 이 지지대(111)의 상단에 웨이퍼 카세트(50) 측으로 수직 절곡된 걸림턱(112)과 지지대(111)의 하단에 수직 절곡 형성된 받침대(114)로 이루어지며, 지지대(111)의 양측으로 돌출 형성된 안내돌기(113)를 또한 구비한다. 그리고 스테이션(10) 상에는 웨이퍼 카세트(50) 측으로 연장 형성되며, 지지대(111)가 관통하여 스테이션(10) 상부로 걸림턱(112)이 노출되도록 하는 안내홀(11)이 형성되어 있다. Specifically, referring to FIGS. 1 and 2, the locking member 110 includes a support 111 extending vertically and a locking jaw 112 vertically bent toward the wafer cassette 50 at an upper end of the support 111. And a pedestal 114 formed vertically bent at the lower end of the support 111, and also provided with guide protrusions 113 protruding to both sides of the support 111. In addition, a guide hole 11 is formed on the station 10 to extend toward the wafer cassette 50 and to allow the support 111 to penetrate and expose the latching jaw 112 to the top of the station 10.

안내수단은 스테이션(10) 하부 케이스(20) 내부에 지지대(111)와 받침대(114)가 삽입되며, 지지대(111)의 양측면과 받침대(114)를 지지하며 안내홀(11)과 같은 방향으로 연장된 함체 형상의 안내레일(100)을 구비한다. 또한 이 안내레일(100)의 내부 양측면에는 안내돌기(113)가 끼워지는 안내홈(101)이 형성되어 있다. The guide means is inserted into the support 111 and the pedestal 114 in the lower case 20 of the station 10, and supports both sides and the pedestal 114 of the support 111 in the same direction as the guide hole 11 A guide rail 100 having an extended enclosure shape is provided. In addition, the guide grooves 101 into which the guide protrusions 113 are fitted are formed on both inner side surfaces of the guide rail 100.

한편, 구동수단은 안내레일(100)의 양측 외면에 지지대(111)가 이동하는 방향으로 각각 설치되며 걸림부재(110)의 진행 방향 중 웨이퍼 카세트(50)에 대한 걸림방향인 도면상의 우측에 설치된 제 1전자석(200)과, 걸림부재(110)의 걸림 해제 방향인 도면상의 좌측에 설치된 제 2전자석(210)으로 구비된다. On the other hand, the driving means are respectively installed in the direction in which the support 111 moves on both outer surfaces of the guide rail 100 and is installed on the right side of the drawing which is a locking direction with respect to the wafer cassette 50 in the moving direction of the locking member 110. The first electromagnet 200 and the second electromagnet 210 are provided on the left side of the drawing in the direction of release of the locking member 110.

이때 걸림부재(110)는 전자기장의 영향을 받는 금속재질로 구성되거나, 또는 별도로 영구자석(미도시)을 내설하여 보다 효과적인 동작이 이루어지도록 할 수 있다. 그리고 각각의 전자석(200)(210)을 동작시키기 위하여 전력을 제공하는 전원(40)과 전자석(200)(210)의 동작을 제어하기 위한 제어부(30)가 마련된다.In this case, the locking member 110 may be made of a metal material affected by the electromagnetic field, or may have a permanent magnet (not shown) separately to allow more effective operation. And a control unit 30 for controlling the operation of the power supply 40 and the electromagnet 200, 210 for providing power to operate each of the electromagnet 200, 210 is provided.

이 구동수단은 다른 실시예로도 구현 가능한데, 도 3에 도시된 바와 같이 안내레일(100)의 복원방향의 외면에 장착되어 걸림부재(110)의 지지대(111)에 로드(301)의 끝단이 결합된 푸싱부재(300)와, 이 푸싱부재(300)가 설치된 반대방향 중 안내레일(100)의 내측면과 지지대(111)와의 사이에 설치된 스프링(310)으로 구성할 수 있고, 푸싱부재(300)는 공압피스톤, 유압피스톤 그리고 솔레노이드 등으로 실시 가능하며, 이들의 동작은 제어부(30)에서 이루어진다.This drive means can be implemented in other embodiments, as shown in Figure 3 is mounted on the outer surface in the recovery direction of the guide rail 100 is the end of the rod 301 to the support 111 of the locking member 110 Combined pushing member 300 and the spring 310 is provided between the inner surface of the guide rail 100 and the support 111 in the opposite direction in which the pushing member 300 is installed, the pushing member ( 300 may be implemented by pneumatic pistons, hydraulic pistons and solenoids, the operation of which is performed in the controller 30.

그리고 구동수단의 또 다른 실시예로는 도 4에 도시된 바와 같이 안내레일(100)의 복원방향의 외면에 장착된 정역회전모터(400)와 이 정역회전모터(400)로부터 연장되어 정역회전모터(400)가 설치된 반대편 안내레일(100)의 내측면까지 연장되며, 중간부분이 지지대(110)에 설치된 너트(430)를 관통한 스크류(410)로 구성된다. 이때 안내레일(100) 중 스크류(410)가 관통하는 부분과 스크류(410)의 끝단이 결합되는 부분에는 베어링(420)이 설치된다. 그리고 정역회전모터(400)의 제어는 제어부(30)에서 이루어지고, 전력은 전원(40)에서 공급된다..And another embodiment of the drive means is a forward and reverse rotation motor 400 and the forward and reverse rotation motor 400 mounted on the outer surface of the recovery direction of the guide rail 100, as shown in Figure 4 400 is extended to the inner surface of the opposite guide rail 100 is installed, the middle portion is composed of a screw 410 through the nut 430 installed on the support (110). In this case, the bearing 420 is installed at a portion of the guide rail 100 through which the screw 410 penetrates and an end of the screw 410 are coupled to each other. And control of the forward and reverse rotation motor 400 is made in the control unit 30, the power is supplied from the power source (40).

이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치에 대한 작용상태에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, an operation state of the wafer cassette position fixing device according to the present invention configured as described above will be described.                     

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 웨이퍼 카세트(50)가 공정이 수행되는 반도체 제조설비의 스테이션(10)에 안착될 때 작동한다. 즉 웨이퍼 카세트(50)가 스테이션(10)에 안착되면 도시되지 않은 감지센서 등에 의한 자동 동작이나 또는 수동 조작으로 이루어진다. The wafer cassette position fixing device according to the present invention operates when the wafer cassette 50 is seated in the station 10 of the semiconductor manufacturing facility where the process is performed. In other words, when the wafer cassette 50 is seated in the station 10, the wafer cassette 50 may be automatically operated or manually operated by a sensor not shown.

이렇게 웨이퍼 카세트(50)가 스테이션(10)에 안착되면 제어부(30)는 이를 판단하여 웨이퍼 카세트 위치 잠금장치를 동작시킨다. 여기서 걸림상태가 수행되기 전 동작상태는 지지대(111)가 도면에서의 좌측방향에 위치한 상태이다. 이러한 상태에서 구동수단이 동작하여 걸림턱(112)이 웨이퍼 카세트(50)를 위치 고정시키도록 한다. When the wafer cassette 50 is seated in the station 10 in this way, the controller 30 determines this and operates the wafer cassette position locking device. Here, the operating state before the locking state is performed is a state in which the support 111 is located in the left direction in the drawing. In this state, the driving means operates so that the locking jaw 112 fixes the wafer cassette 50 in position.

도 2에서와 같이 첫 번째 실시예의 구동수단을 사용했을 경우의 동작은 제어부(30)에 의하여 전력이 전원(40)으로부터 제 2전자석(210)으로 제공되면 제 2전자석(210)은 전자기력을 발휘한다. 그러면 제 2전자석(210)에 의하여 지지대(111)는 제 2전자석(210) 측으로 이동하는데, 이때의 이동은 지지대(111)의 안내돌기(113)가 안내레일(100)의 안내홈(101)을 따라 슬라이딩 동작함으로써 수행된다. 이러한 동작으로 걸림턱(112)이 웨이퍼 카세트(50)의 최하단에 형성된 슬롯(51) 부분에 끼워짐으로써 웨이퍼 카세트(50)의 위치 고정이 이루어진다.As shown in FIG. 2, when the driving means of the first embodiment is used, when the power is supplied from the power source 40 to the second electromagnet 210 by the controller 30, the second electromagnet 210 exerts an electromagnetic force. do. Then, the support 111 is moved to the second electromagnet 210 side by the second electromagnet 210, the movement of the guide protrusion 113 of the support 111 is the guide groove 101 of the guide rail 100 By sliding along. In this operation, the locking jaw 112 is fitted into the slot 51 formed at the lowermost end of the wafer cassette 50, thereby fixing the position of the wafer cassette 50.

그리고 고정 해제 시에는 제어부(30)가 제 2전자석(210)으로 제공되던 전력을 차단하고, 제 1전자석(200)으로 전력을 제공하면 제 2전자석(210)에서의 전자기력으로 지지대(111)가 제 2전자석(210) 측으로 이동하여 고정 상태의 해제가 이루어진다. When the fixing is released, the control unit 30 cuts off the power provided to the second electromagnet 210, and when the controller 30 provides power to the first electromagnet 200, the support 111 is closed by the electromagnetic force of the second electromagnet 210. The fixed state is released by moving to the second electromagnet 210 side.                     

한편, 지지대(111)에 별도로 영구자석(미도시)을 설치할 수 있다. 이때에는 제 1전자석(200)과 제 2전자석(210)을 제어부(30)가 동시에 제어하여 제 1전자석(200)과 제 2전자석(210)이 극성을 교번함으로써 동작하도록 할 수 있다. 이 경우는 어느 하나의 전자석(200)(210)으로 전력을 공급하여 동작을 수행하는 경우에 비하여 보다 신속한 동작이 이루어지게 할 수 있을 것이다.On the other hand, the support 111 can be installed separately a permanent magnet (not shown). In this case, the controller 30 simultaneously controls the first electromagnet 200 and the second electromagnet 210 to operate the first electromagnet 200 and the second electromagnet 210 by alternating polarities. In this case, the operation may be made faster than the case of performing the operation by supplying power to any one of the electromagnets 200 and 210.

다음으로 구동수단의 두 번째 실시예의 경우는 지지대(111)가 스프링(310)에 의하여 도면상의 좌측방향인 고정 해제위치에 있게 된다. 이러한 상태에서 고정 위치로의 이동은 푸싱부재(300)가 동작하여 푸싱부재(300)의 로드(301)가 지지대(111)를 밀어 이동시킴으로써 수행된다. 그리고 고정상태의 해제는 푸싱부재(300)에 제공되던 동력이 차단되면 스프링(310)에 의하여 자동 복원하여 해제 위치로 이동하게 된다.Next, in the case of the second embodiment of the driving means, the support 111 is in the fixed release position in the left direction on the drawing by the spring 310. In this state, the movement to the fixed position is performed by the pushing member 300 operating so that the rod 301 of the pushing member 300 pushes the support 111. And the release of the fixed state is automatically restored by the spring 310 when the power provided to the pushing member 300 is moved to the release position.

그리고 구동수단의 세 번째 실시예의 경우는 정역회전모터(400)가 회전함으로써 수행되는데, 정역회전모터(400)가 일방향으로 회전하면 지지대(111)는 고정위치로 이동하게 되고, 정역회전모터(400)가 반대방향으로 회전하면 지지대(111)는 해제위치로 이동하게 됨으로써 웨이퍼 카세트(50)에 대한 위치 고정과 해제가 이루어지도록 한다.And in the case of the third embodiment of the drive means is performed by rotating the forward and reverse rotation motor 400, when the forward and reverse rotation motor 400 rotates in one direction, the support 111 is moved to a fixed position, the forward and reverse rotation motor 400 When the) rotates in the opposite direction, the support 111 moves to the release position so that the position fixing and release of the wafer cassette 50 is performed.

이와 같이 웨이퍼 카세트(50)에 대한 고정과 해제가 자동적으로 수행됨으로써 고정 대기 중에 외력이 웨이퍼 카세트(50)에 작용하더라도 웨이퍼 카세트(50)의 위치가 안정되게 고정 유지된다.As described above, the fixing and releasing of the wafer cassette 50 are automatically performed, so that the position of the wafer cassette 50 is stably held and maintained even when an external force acts on the wafer cassette 50 in the fixed atmosphere.

전술한 바와 같은 본 발명의 실시예 외에 각각의 구성요소들을 일부 변형하 여 다르게 실시할 수 있을 것이다. 그러나 이들 실시예의 기본 구성요소가 본 발명에서 청구하고 있는 구성 중 필수적인 요소를 채택한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 하고, 또한 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 전술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.In addition to the above-described embodiment of the present invention, each component may be modified by some modifications. However, if the basic components of these embodiments adopt the essential elements of the configuration claimed in the present invention all should be considered to be included in the technical scope of the present invention, and the technical spirit of the present invention is limited to the above-described embodiment of the present invention It should not be determined, but should be determined not only by the claims below, but also by those equivalent to the claims.

이상과 같은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 위치 고정장치는 종래에 웨이퍼 카세트가 공정 설비의 스테이션 상에 고정되지 않음으로 해서 발생하는 문제점을 해소한 것으로, 웨이퍼 카세트가 공정 설비에 안착되었을 경우 웨이퍼 카세트를 스테이션 상에 견고하게 위치 유시지실 수 있도록 하여 웨이퍼의 파손 및 손상을 최소화하여 반도체 제조공정 효율을 보다 향상시키도록 하는 효과가 있다.The wafer cassette position fixing device according to the present invention according to the present invention solves the problems caused by the conventional wafer cassette is not fixed on the station of the process equipment, when the wafer cassette is seated in the process equipment The wafer cassette can be firmly positioned on the station, thereby minimizing wafer breakage and damage, thereby improving the efficiency of the semiconductor manufacturing process.

Claims (7)

웨이퍼 카세트가 안착되는 반도체 제조 설비의 스테이션 상에 돌출된 걸림부재;A catching member protruding on a station of a semiconductor manufacturing facility on which a wafer cassette is seated; 상기 스테이션에 마련되어 상기 걸림부재의 구동을 안내하는 안내수단;Guide means provided at the station to guide driving of the locking member; 상기 걸림부재의 일측에 마련되며 상기 걸림부재를 상기 웨이퍼 카세트 측으로 구동시켜 상기 걸림부재가 상기 웨이퍼 카세트의 하단에 걸리도록 하는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치.And a driving means provided at one side of the locking member and driving the locking member toward the wafer cassette to hold the locking member at a lower end of the wafer cassette. 제 1항에 있어서, 상기 걸림부재는 상기 스테이션 상에 상기 웨이퍼 카세트 측으로 연장 형성된 안내홀을 상하로 관통한 지지대와, 상기 지지대의 상단에 노출된 단부에 상기 웨이퍼 카세트 측으로 절곡 형성된 걸림판으로 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치. The method of claim 1, wherein the locking member comprises a support that penetrates up and down a guide hole extending toward the wafer cassette on the station, and a locking plate that is bent toward the wafer cassette at an end exposed to an upper end of the support. Wafer cassette position holder. 제 1항에 있어서, 상기 안내수단은 상기 지지판의 양측면과 바닥을 지지하며 상기 안내홀과 같은 방향으로 연장된 안내레일과, 상기 지지판의 양측면에 형성된 안내돌기가 끼워지도록 상기 안내레일의 양측 내면에 형성된 안내홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치. According to claim 1, The guide means support the both sides and the bottom of the support plate and the guide rail extending in the same direction as the guide hole, the guide protrusions formed on both sides of the support plate to be fitted to both inner surfaces of the guide rail Wafer cassette position fixing device comprising a guide groove formed. 제 1항에 있어서, 상기 걸림부재는 전자기장의 영향을 받는 금속재질로 마련 되고, 상기 구동수단은 상기 걸림부재의 걸림방향으로 설치된 제 1전자석과, 상기 걸림부재의 복원 방향으로 설치된 제 2전자석으로 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치. According to claim 1, The locking member is provided with a metal material affected by the electromagnetic field, The driving means is a first electromagnet provided in the locking direction of the locking member and the second electromagnet installed in the restoring direction of the locking member Wafer cassette position fixing device characterized in that. 제 1항에 있어서, 상기 구동수단은 상기 걸림부재를 구동 방향으로 구동시키는 푸싱부재와, 상기 걸림부재의 복원방향으로 복원시키는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치.The wafer cassette position fixing device according to claim 1, wherein the driving means includes a pushing member for driving the locking member in a driving direction and a spring for restoring the locking member in a restoring direction. 제 5항에 있어서, 상기 푸싱부재는 유압피스톤, 공압피스톤, 솔레노이드 밸브 중의 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치.6. The wafer cassette position fixing device according to claim 5, wherein the pushing member is any one of a hydraulic piston, a pneumatic piston, and a solenoid valve. 제 1항에 있어서, 상기 구동수단은 상기 구동수단을 관통하여 설치된 볼스크류와 상기 볼스크류를 정역회전시키는 정역회전모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 위치 고정장치.The wafer cassette position fixing device according to claim 1, wherein the driving means includes a ball screw installed through the driving means and a forward and reverse rotation motor for forward and reverse rotation of the ball screw.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100788366B1 (en) * 2006-12-29 2008-01-02 동부일렉트로닉스 주식회사 Cassette plate and method for confirming cassette state using the same

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