KR200159488Y1 - Cassette fixing apparatus of semiconductor manufacture processing - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 정위치에 카세트가 안착되어 정확한 웨이퍼의 이재(離載)가 가능하도록 하므로써 웨이퍼의 파손 및 파티클 발생 등을 방지할 수 있도록 한 것이다.The present invention is intended to prevent wafer breakage and particle generation by allowing the cassette to be seated at the correct position of the cassette shelf for the semiconductor manufacturing process so that accurate transfer of wafers is possible.
이를 위해, 본 고안은 웨이퍼(8) 수납용 카세트(1)가 입고 및 출고되는 카세트 선반(2)의 요입부(3) 입구 양측에 카세트 감지센서(4)를 서로 대향하도록 장착하고, 상기 각 카세트 감지센서(4)의 외측으로는 안내홈(5)을 따라 직선운동하는 복수개의 코마(6)를 설치하여서 된 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 카세트 고정장치이다.To this end, the present invention is equipped with the cassette sensor (4) on both sides of the inlet portion 3 of the inlet of the cassette shelf (2) in which the cassette (1) for storing the wafer (8) is received and released, so as to face each other, The cassette fixing device of the cassette shelf for the semiconductor manufacturing process by installing the several coma 6 which linearly moves along the guide groove 5 on the outer side of the cassette detection sensor 4 is provided.
Description
제1도는 종래의 카세트 선반을 나타낸 정면도.1 is a front view showing a conventional cassette shelf.
제2도는 제1도의 카세트 선반이 설치된 선반실을 나타낸 측면도.2 is a side view showing a shelf room in which the cassette shelf of FIG. 1 is installed;
제3도는 제2도의 로봇 아암을 나타낸 상세 사시도.3 is a detailed perspective view of the robot arm of FIG.
제4도는 제2도의 카세트 선반을 나타낸 사시도.4 is a perspective view of the cassette shelf of FIG.
제5도는 제4도의 A부를 확대하여 나타낸 사시도.FIG. 5 is an enlarged perspective view of part A of FIG. 4.
제6도는 제5도의 평면도.6 is a plan view of FIG.
제7도는 본 고안이 설치된 상태를 나타낸 평면도.7 is a plan view showing a state in which the present invention is installed.
제8도는 본 고안의 코마 작동상태를 나타낸 평면도로서, 제8a도는 카세트가 정위치를 이탈한 코마 작동 전의 상태도, 제8b도는 코마가 작동하여 카세트가 정위치에 안착된 후의 상태도.8 is a plan view showing a coma operating state of the present invention, FIG. 8a is a state before the coma operation of the cassette has moved out of position, and FIG. 8b is a state after the comma is operated to settle the cassette in place.
제9도는 제8b도의 B-B 선을 나타낸 종단면도.FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing the B-B line of FIG. 8b. FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 카세트 2 : 카세트 선반1: cassette 2: cassette shelf
3 : 요입부 4 : 카세트 감지센서3: recessed part 4: cassette detection sensor
5 : 안내홈 6 : 코마5: Information Home 6: Coma
7 : 솔레노이드7: solenoid
본 고안은 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 카세트 고정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정용 카세트가 카세트 선반의 정위치에 정확히 안착되어 카세트 및 웨이퍼의 이재(離載)가 정확히 이루어질 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a cassette fixing device of a cassette shelf for a semiconductor manufacturing process, and more particularly, a cassette for a semiconductor manufacturing process is accurately seated at a correct position of a cassette shelf so that transfer of a cassette and a wafer can be made accurately. It is.
일반적으로, 카세트 선반(2)은 3열 4단으로 된 고정형과 좌·우측 열이 모두 4단으로 된 이동형으로 나뉜다.In general, the cassette shelf 2 is divided into a fixed type consisting of three rows and four stages and a moving type having four left and right rows.
한편, 종래의 고정형 카세트 선반(2)은 제1도 내지 제6도에 나타낸 바와 같이 좌측선반(10), 우측선반(11), 중앙선반(12)등 3열의 선반이 모두 4단으로 구성되어 있으며, 실제 웨이퍼(8) 적재에 사용되는 선반은 중앙열을 이루는 중앙선반(12)이다.Meanwhile, in the conventional fixed cassette shelf 2, as shown in FIGS. 1 to 6, three rows of shelves, such as the left shelf 10, the right shelf 11, and the central shelf 12, are all composed of four stages. In fact, the shelf used for loading the wafer 8 is the center shelf 12 forming the center row.
이와 같은 고정형 카세트 선반(2)의 경우, 웨이퍼(8)의 이재시에는 우선 카세트 로딩용인 로봇 아암(9)이 좌측선반(10)에 입고된 카세트 선반(2) 또는 우측선반(11)에 입고된 카세트 선반(2)을 로딩한 후 중앙선반(12)으로 반송하여 입고시키게 된다.In the case of the fixed cassette shelf 2, when the wafer 8 is transferred, the robot arm 9 for cassette loading is first placed on the cassette shelf 2 or the right shelf 11, which is worn on the left shelf 10. After the cassette shelf 2 is loaded, it is returned to the center shelf 12 for storage.
이때, 카세트 선반(2)에 장착된 카세트 감지센서(4)는 카세트(1) 하부면의 H바(13)가 누르는 압력에 의해 카세트(1)의 안착을 감지하게 된다.At this time, the cassette detection sensor 4 mounted on the cassette shelf 2 detects the seating of the cassette 1 by the pressure of the H bar 13 on the lower surface of the cassette 1.
이와 같이, 카세트(1)의 안착이 완료된 후에는 웨이퍼(8)를 카세트(1)로부터 로딩 또는 언로딩시키는 장비인 웨이퍼 이재기(14)가 구동하여 카세트(1)에 적재된 웨이퍼(8)를 보트(15)로 옮기거나, 보트(15)에 적재된 웨이퍼(8)를 카세트(1)로 옮기게 된다.As described above, after the mounting of the cassette 1 is completed, the wafer transfer machine 14, which is a device for loading or unloading the wafer 8 from the cassette 1, is driven to drive the wafer 8 loaded on the cassette 1. The wafer 8 or the wafer 8 loaded on the boat 15 is transferred to the cassette 1.
한편, 상기 고정형 카세트 선반(2)외의 다른 카세트 선반으로는 이동형 카세트 선반(도시는 생략함)이 사용되는데, 이동형 카세트 선반의 경우에는 좌측선반(10)과 우측선반(11)이 모두 4단으로 구성되어 있으며, 좌측선반(10)의 4단 및 우측선반(11)의 4단이 웨이퍼(8)의 적재시 사용된다.On the other hand, as the cassette cassette other than the fixed cassette shelf 2, a movable cassette shelf (not shown) is used. In the case of the movable cassette shelf, the left shelf 10 and the right shelf 11 are all divided into four stages. 4 stages of the left shelf 10 and 4 stages of the right shelf 11 are used for loading the wafer 8.
이와 같은 이동형 카세트 선반은 먼저 카세트 선반의 이재시, 로봇 아암(9)이 좌측선반의 4단 또는 우측선반의 4단으로 카세트 반송하여 입고 또는 출고시키게 된다.In such a mobile cassette shelf, when the cassette shelf is first transferred, the robot arm 9 carries the cassette to the fourth stage of the left shelf or the fourth stage of the right shelf so that the cassette can be shipped or shipped.
또한, 카세트에 로딩된 웨이퍼의 이재시에는 웨이퍼 이재기(14)가 웨이퍼를 적재할 수 있도로록 카세트 선반 전체가 좌측 또는 우측으로 이동하게 된다.In addition, when the wafer is loaded into the cassette, the entire cassette shelf is moved left or right so that the wafer transfer machine 14 can load the wafer.
즉, 고정형의 중앙선반열 위치에 이동형의 우측선반 또는 좌측선반이 위치하게 되므로써 웨이퍼 이재기(14)에 의한 웨이퍼(8)의 이재 작업이 이루어지게 된다.That is, since the movable right side shelf or the left side shelf is located at the fixed center shelf row position, the transfer operation of the wafer 8 by the wafer transfer machine 14 is performed.
그러나, 이와 같은 종래의 카세트 선반은 카세트 선반(2)에 카세트(1)를 입고시킬 때, 카세트(1)가 일종의 고정돌기인 코마(COMA)(6)사이의 정위치에 안착되지 못하고 제6도에 가상선으로 나타낸 바와 같이 기울어져 안착된 경우에도 카세트 감지센서(4)에 의해 카세트(1)가 입고된 것으로 감지하게 된다.However, such a conventional cassette shelf has a sixth position when the cassette 1 is inserted into the cassette shelf 2, and the cassette 1 is not seated in position between the coma 6, which is a kind of fixing projection. Even when it is inclined and seated as shown by a virtual line in the figure, the cassette 1 is detected by the cassette sensor 4 as being worn.
따라서, 웨이퍼(8)의 이재를 위해 웨이퍼 이재기(14)가 카세트 선반(2)에 입고된 카세트(1)를 로딩시켜 출고시킬 경우, 카세트(1)와 보트(15)의 충돌에 의한 웨이퍼(8) 파손 및 보트(15)에 로딩되는 웨이퍼(8)의 정위치 이탈, 파티클 발생등을 유발하여 웨이퍼(8)의 수율을 저하시키게 될 우려가 있었다.Therefore, when the wafer transfer machine 14 loads and unloads the cassette 1 loaded on the cassette shelf 2 for transfer of the wafer 8, the wafer due to the collision of the cassette 1 and the boat 15 ( 8) There was a possibility that the yield of the wafer 8 may be lowered by causing breakage, deviation of the wafer 8 loaded on the boat 15, and particle generation.
또한, 카세트 선반(2)의 안착 위치에 카세트(1)가 정확히 안착되지 못하고 어긋나게 안착됨에 따라 카세트(1)의 출고시에도 출고되는 카세트(1)가 로봇 아암(9)에 정확히 로딩되지 못하여 바닥으로 떨어지므로써 웨이퍼(8)의 파손을 유발하게 되는 등 많은 문제점이 있었다.In addition, as the cassette 1 is not correctly seated and shifted to the seating position of the cassette shelf 2, the cassette 1, which is shipped even when the cassette 1 is shipped, may not be correctly loaded on the robot arm 9, and thus the bottom is not. There are a number of problems such as dropping to cause breakage of the wafer (8).
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 정위치에 카세트가 안착되어 정확한 웨이퍼의 이재(離載)가 가능하도록 하므로써 웨이퍼 이재시의 카세트 파손 및 파티클 발생 등을 방지할 수 있도록 한 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 카세트 고정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, the cassette is seated in the correct position of the cassette shelf for the semiconductor manufacturing process to enable accurate transfer of wafers to prevent cassette breakage and particle generation during wafer transfer. It is an object of the present invention to provide a cassette fixing device for a cassette shelf for a semiconductor manufacturing process.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 웨이퍼 수납용 카세트가 입고 및 출고되는 카세트 선반의 요입부 입구 양측에 카세트 감지센서를 서로 대향하도록 장착하고, 상기 각 카세트 감지센서의 외측으로는 안내홈을 따라 직선운동하는 복수개의 코마를 설치하여서된 반도체 제조 공정용 카세트 선반의 카세트 고정장치이다.In order to achieve the above object, the present invention is equipped with a cassette detection sensor on both sides of the inlet portion of the cassette shelf in which the wafer storage cassette is received and shipped, and the guide groove on the outside of each cassette detection sensor The cassette holding device of the cassette shelf for the semiconductor manufacturing process by providing a plurality of coma in a linear motion.
이하, 본 고안의 일 실시예를 첨부도면 제7도 내지 제9도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 9.
제7도는 본 고안이 설치된 상태를 나타낸 평면도이고, 제8도는 본 고안의 코마 작동 상태를 나타낸 평면도이며, 제9도는 제8b도의 B-B 선을 나타낸 종단면도로서, 본 고안은 웨이퍼 수납용 카세트(1)가 입고 및 출고되는 카세트 선반(2)의 요입부(3) 입구 양측에 카세트 감지센서(4)가 서로 대향하도록 장착되고, 상기 각 카세트 감지센서(4)의 외측으로는 안내홈(5)을 따라 직선 운동하는 복수개의 코마(6)가 설치되어 구성된다.FIG. 7 is a plan view showing a state in which the present invention is installed, FIG. 8 is a plan view showing a coma operating state of the present invention, and FIG. 9 is a longitudinal cross-sectional view showing a line BB in FIG. 8b, and the present invention is a cassette for wafer storage (1). The cassette detection sensor 4 is mounted on both sides of the inlet portion 3 of the cassette shelf 2, into which the cassette shelf 2 is received and released, and the guide groove 5 is disposed outside the cassette detection sensor 4. A plurality of coma 6 is installed and configured to linearly move along.
이때, 상기 카세트 선반(2)의 하부면에는 안내홈(5)을 따라 직선 운동하는 코마(6)를 구동시키기 위한 솔레노이드(7)가 장착되어 구성된다.At this time, the lower surface of the cassette shelf 2 is equipped with a solenoid (7) for driving the coma (6) linear movement along the guide groove (5).
이와 같이 구성된 본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation and effects of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 고정형 카세트 선반(2)의 경우에는 웨이퍼(8)의 이재시, 먼저 카세트 로딩용인 로봇 아암(9)이 좌측선반(10)에 입고된 카세트(1) 또는 우측선반(11)에 입고된 카세트(1)를 로딩한 후 중앙선반(12)으로 반송하여 입고시키게 된다.First, in the case of the fixed cassette shelf 2, when the wafer 8 is transferred, the robot arm 9 for cassette loading is first placed in the cassette 1 or the right shelf 11 that is put in the left shelf 10. After the cassette 1 is loaded, it is returned to the center shelf 12 for storage.
이때, 카세트 선반(2)에 장착된 카세트 감지센서(4)는 카세트 선반(2) 하부면의 H바(13)가 누르는 압력에 의해 카세트(1)의 안착을 검출하게 된다.At this time, the cassette detection sensor 4 mounted on the cassette shelf 2 detects the seating of the cassette 1 by the pressure of the H bar 13 on the lower surface of the cassette shelf 2.
한편, 카세트 감지센서(4)에 의해 카세트(1)의 안착이 검출된 후에는 카세트 선반(2)의 안내홈(5)에 설치된 코마(6)가 구동수단인 솔레노이드(7)의 작용에 의해 서로 접근하는 방향으로 직선운동하게 된다.On the other hand, after the seating of the cassette 1 is detected by the cassette sensor 4, the coma 6 installed in the guide groove 5 of the cassette shelf 2 is acted on by the action of the solenoid 7 as a driving means. Linear motion in the direction approaching each other.
이에 따라, 카세트 선반(2)에 안착되는 카세트(1)가 제8a도에 나타낸 바와 같이 정위치에 안착되지 못하고 좌측으로 기울어진 상태로 안착된 경우에는 좌측 상단의 코마(6)가 카세트(1)의 좌측 상단을 오른쪽으로 밀게 되며, 이와 동시에 우측 하단의 코마(6)가 카세트(1)의 우측 하단을 왼쪽으로 밀게 되므로써 카세트(1)에 시계방향으로의 회전모멘트를 가하게 된다.Accordingly, when the cassette 1 seated on the cassette shelf 2 is not seated in the right position and is tilted to the left side as shown in FIG. 8A, the coma 6 on the upper left side of the cassette 1 At the same time, the upper left side of the c) is pushed to the right, and at the same time, the coma 6 on the lower right side pushes the lower right side of the cassette 1 to the left, thereby applying a clockwise rotation moment to the cassette 1.
따라서, 카세트(1)는 코마(6)의 전진시에 받게 되는 회전 모멘트에 의해 시계방향으로 회전하여 제8b도에 나타낸 바와 같이 정위치에 안착되게 된다.Accordingly, the cassette 1 is rotated in the clockwise direction by the rotational moment received when the coma 6 is advanced, and thus the cassette 1 is settled in position as shown in FIG. 8B.
한편, 카세트(1)가 오른쪽으로 기울어진 경우에는 같은 원리로 코마(6)의 작용에 의해 카세트(1)가 반시계방향으로 회전하여 정위치에 안착된다.On the other hand, when the cassette 1 is inclined to the right, the cassette 1 is rotated counterclockwise by the action of the coma 6 in the same principle and is seated in the correct position.
또한, 상기와 같이 각 코마(6)의 작용에 의해 카세트(1)의 안착이 완료된 후에는 웨이퍼(8)를 카세트 선반(2)에 안착된 카세트(1)로부터 로딩 또는 언로딩시키는 장비인 웨이퍼 이재기(14)가 구동하여 카세트(1)에 적재된 웨이퍼(8)를 보트(15)로 옮기거나, 보트(15)에 적재된 웨이퍼(8)를 카세트(1)로 옮기게 된다.In addition, the wafer, which is a device for loading or unloading the wafer 8 from the cassette 1 seated on the cassette shelf 2 after the mounting of the cassette 1 is completed by the action of each coma 6 as described above. The transfer machine 14 is driven to transfer the wafer 8 loaded on the cassette 1 to the boat 15, or the wafer 8 loaded on the boat 15 to the cassette 1.
한편, 본고안은 이동형 카세트 선반에도 똑같이 적용 가능하며, 상기 카세트 선반(2)의 하부면에는 안내홈(5)을 따라 직선 운동하는 코마(6)를 구동시키기 위해 공압실린더를 장착할 수도 있음은 쉽게 알 수 있는 것이다.Meanwhile, the present invention is equally applicable to a movable cassette shelf, and the lower surface of the cassette shelf 2 may be equipped with a pneumatic cylinder to drive a coma 6 linearly moving along the guide groove 5. It is easy to see.
이와 같이, 본 고안은 카세트(1) 위치 고정용 코마(6)와 카세트 감지센서(4)의 설치위치 변경 및 코마(6)의 운동성 부여로 인해 카세트(1)의 안착이 다소 불완전하더라도 코마(6)의 직선운동에 의해 카세트(1)의 위치를 정확히 바로 잡을 수 있게 된다.As such, the present invention can be achieved even if the mounting of the cassette 1 is somewhat incomplete due to the change of the installation position of the cassette 1 and the cassette detecting sensor 4 and the movement of the coma 6. By the linear movement of 6) it is possible to accurately correct the position of the cassette (1).
이에따라, 웨이퍼(8) 또는 카세트(1)의 이재시 발생하기 쉬운 웨이퍼(8)의 파손, 파티클의 발생 및 웨이퍼(8)의 보트(15) 로딩 위치 이탈등을 방지할 수 있으므로 인해 웨이퍼(8)의 수율을 향상시킬 수 있게 된다.Accordingly, the wafer 8 can be prevented from being damaged during the transfer of the wafer 8 or the cassette 1, the generation of particles, the deviation of the loading position of the boat 15 of the wafer 8, and the like. It is possible to improve the yield.
이상에서와 같이, 본 고안은 반도체 제조 공정용 카세트 선반(2)의 정위치에 카세트(1)가 안착되어 정확한 웨이퍼(8)의 이재(離載)가 가능하도록 하므로써 웨이퍼(8)의 파손 및 파티클 발생등을 방지할 수 있도록 한 매우 유용한 고안이다.As described above, the present invention allows the cassette 1 to be seated at the correct position of the cassette shelf 2 for the semiconductor manufacturing process so that the transfer of the wafer 8 can be performed accurately. This is a very useful design to prevent particle generation.
Claims (1)
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