KR20060004419A - 프로브 카드 수리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 카드 수리 장치에 관한 것으로, 특히 기존 프로브 카드를 수리하는 장치에서 필름 마스크를 얹어놓을 Glass Mask가 홀이 있는 플레이트로 대체되는 프로브 카드 수리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 프로브 카드 수리 장치는 수리 장치 본체, 상기 수리 장치 본체의 일측에 위치하여 프로브 카드(probe card)가 장착되는 연결 부재 및 상기 연결 부재 상면에 장착되며, 상기 프로브 카드를 수리하기 위한 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 적재하는 플레이트를 포함하며, 플레이트는 적어도 하나의 홀을 가지는 것을 특징으로 한다.

프로브 카드, 플레이트, 홀, 알루미늄

Description

프로브 카드 수리 장치{Apparatus for repairing probe card}

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드 수리 장치.

도 2a 및 도 2b는 종래 기술에 따른 프로브 카드 수리 장치에서 Glass Mask를 나타낸 도면들.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드 수리 장치에서 플레이트를 나타낸 도면들.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드 수리 장치를 나타낸 도면.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 알루미늄 플레이트를 나타낸 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

30 : 플레이트(Plate) 41 : 수리 장치(Repair System) 본체

43 : 연결 부재 45 : 프로브 카드(Probe Card)

47 : 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)

본 발명은 프로브 카드를 수리하는 장치에 관한 것이다. 좀더 구체적으로는 기존 프로브 카드를 수리하는 장치에서 필름 마스크를 얹어놓을 Glass Mask가 홀이 있는 알루미늄 플레이트로 대체되는 프로브 카드 수리 장치에 관한 것이다.

프로브 카드라 함은 반도체 웨이퍼와 같은 소형 전자소자의 전기적인 특성을 검사하는 장치를 말한다. 일반적으로 반도체 직접회로 소자 등의 전기 회로 소자를 제작할 때에는 제작 공정중, 제작후, 그리고 리드프레임을 붙이기 전에 그 전체적 또는 부분적인 전기적 특성이 설계와 일치하게 제조되었는지를 시험하게 된다. 이러한 시험에 프로브 카드가 사용된다. 프로브 카드는 탐침 및 탐침을 지지하며 탐침에 연결되는 회로가 형성되는 회로 기판으로 구성되어 있다. 탐침은 측정 대상 소자에 집적 접촉하여 소자의 전기적인 특성을 시험하는 부분이다. 따라서 탐침의 정렬이 흐트러지거나 이물질이 낀 경우 또는 주기적으로 프로브 카드를 수리할 필요가 있다.

도 1을 참조하여 종래 기술에 따른 프로브 카드 수리 장치를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드 수리 장치를 나타낸 것이며, 프로브 카드 수리 장치는 수리 장치 본체(11), 척(Chuck, 13), 프로브 카드(14), 글래스 마스크(Glass Mask, 15) 및 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask, 16)를 포함한다. 이러한 구성을 가지는 프로브 카드 수리 장치에서 수리 장치 본체(11)에 일측에 위치하는 척(13)에 수리할 프로브 카드(13)를 놓고 글래스 마스크(15)위에 디바 이스 필름 마스크(16)를 장착한 후, 프로브 카드(13)의 탐침을 수리한다. 이때 상기 글래스 마스크(15)가 Open/Close되면서 프로브 카드의 탐침을 수리하는 작업이 진행된다. 여기서 글래스 마스크(15)는 도 2a 및 도 2b에서 보는 바와 같이 판 모양을 하며, 4mm의 두께로 제작된다.

종래 기술에 따른 프로브 수리 장치는 이러한 글래스 마스크(15)의 두께 때문에 프로브 카드(14)를 수리함에 있어 탐침의 평탄도 및 탐침의 정렬을 맞추는데 어려움이 따른다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 프로브 카드의 탐침을 수리하는데 있어 글래서 마스크를 홀이 있는 플레이트로 대체함으로써 디바이스 필름 마스크와 수리할 프로브 카드의 거리를 가깝게 함으로써, 프로브 카드의 수리를 용이하게 하고자 하는데 있다.

상술한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 측면에 따른 프로브 카드 수리 장치는 수리 장치 본체, 상기 수리 장치 본체의 일측에 위치하여 프로브 카드(probe card)가 장착되는 연결 부재 및 상기 연결 부재 상면에 장착되며, 상기 프로브 카드를 수리하기 위한 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 적재하는 플레이트를 포함하며, 상기 플레이트는 적어도 하나의 홀을 가지는 것을 특징으로 한다. 이 홀에 디바이스 필름 마스크를 적재하여 프로브 카드를 수리하므로 디바이스 필름 마스크와 프로브 카드의 거리가 가까워져 프로브 카드의 수리를 용이하게 할 수 있다.

본 발명의 제2 측면에 따른 프로브 카드 수리 장치는 수리 장치 본체, 상기 수리 장치 본체의 일측에 위치하여 프로브 카드(probe card)가 장착되는 연결 부재 및 상기 연결 부재 상면에 장착되며, 상기 프로브 카드를 수리하기 위한 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 적재하는 플레이트를 포함하며, 상기 플레이트는 적어도 하나의 홀을 가지며, 알루미늄 재질인 것을 특징으로 한다. 플레이트가 기존에 유리 재질로 되어 있었으나 알루미늄 재질로 대체함으로써 그 두께를 작게할 수 있으며, 이로 인해 프로브 카드의 수리를 용이하게 할 수 있다.

이어서, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

(제1 실시예)

도 3a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드 수리 장치에서 플레이트의 평면도, 도 3b는 사시도이다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 플레이트(30)는 종래 기술에 의한 프로브 수리 장치에서 글래스 마스크(Glass Mask)를 대체하는 것으로 적어도 하나의 홀(32)을 가지며, 상기 홀에 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 장착함으로써 수리할 프로브 카드와 디바이스 필름 마스크 사이의 거리를 가깝게 할 수 있다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드 수리 장치를 나타낸 도면이다.

도 4를 참조하면, 프로브 카드 수리 장치는 수리 장치 본체(41), 연결 부재(43), 프로브 카드(45), 플레이트(30) 및 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask, 47)를 포함한다. 본 발명에 따른 프로브 카드 수리 장치는 종래의 프로브 카드 수리 장치와 비교하여 글래스 마스크가 홀(hole)을 가지는 플레이트(30)로 대체된 것을 제외하고는 그 구성이 동일하다. 이 플레이트(30)는 도 3a 및 도 3b에서 설명한 바와 같이 적어도 하나의 홀을 가지며, 이 홀에 상기 디바이스 필름 마스크(47)가 적재된다.

본 실시예에 따른 프로브 카드 수리 장치를 설명하면, 수리 장치 본체(41)의 일측에 위치하는 연결 부재(13)에 수리할 프로브 카드(45)를 놓고 플레이트(30)의 홀에 디바이스 필름 마스크(47)를 장착한 후, 프로브 카드(45)를 수리한다. 여기서 상기 연결 부재(43)는 척(Chuck)이 될 수 있다. 상기 플레이트(30)는 적어도 하나의 홀을 가지며, 디바이스 필름 마스크(47)는 이 홀에 장착되기 때문에 실질적인 플레이트의 두께가 줄어든다. 이렇게 함으로써, 프로브 카드의 탐침을 수리하는 과정에 있어서 이물질을 제거 및 탐침의 정렬(Align)을 용이하게 할 수 있다.

(제2 실시예)

본 실시예는 플레이트가 알루미늄 재질인 프로브 카드 수리 장치에 관한 것 이다.

도 5를 참조하면, 플레이트(30)는 종래 기술에 의한 프로브 수리 장치에서 글래스 마스크(Glass Mask)를 대체하는 것으로 바람직하게는 그 재질(34)을 알루미늄으로 함으로써 유리 재질에 비하여 두께를 작게할 수 있다. 실제로 기존 유리 재질의 글래스 마스크는 그 두께가 4mm로 제작됨에 비하여, 알루미늄 재질의 플레이트는 3mm의 두께로 제작될 수 있다. 또한 상기 플레이트(30)는 적어도 하나의 홀(32)을 가지며, 상기 홀에 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 장착함으로써 수리할 프로브 카드와 디바이스 필름 마스크 사이의 거리를 0.5mm로 할 수 있다.

본 실시예에 따른 알루미늄 플레이트(30)가 장착된 프로브 카드 수리 장치에 대한 설명은 도 4의 설명과 동일하여 그 설명을 생략한다.

본 실시예에 따르면, 알루미늄 재질의 플레이트를 사용함으로써 플레이트의 두께를 줄일 수 있다. 또한 이 플레이트는 적어도 하나의 홀을 가지며, 이 홀에 디바이스 필름 마스크를 장착함으로써 플레이트의 두께를 현격히 줄일 수 있어, 프로브 카드의 수리를 보다 용이하고 빠르게 할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.

본 발명에 의하면 프로브 카드의 탐침을 수리하는데 있어 Glass Mask를 홀이 있는 알루미늄 플레이트로 대체함으로써 필름 마스크와 수리할 프로브 카드의 거리를 가깝게 할 수 있다.

본 발명에 의하면 프로브 카드의 탐침을 수리하는 과정에 있어서 이물질을 제거 및 탐침의 정렬을 용이하게 할 수 있다.

본 발명에 의하면 프로브 카드 탐침의 평탄도를 일정하게 하는데 용이하여, 기존에 프로브 카드를 수리하는데 비하여 수리 시간이 절약될 수 있다.

Claims (3)

1. 수리 장치 본체;

   상기 수리 장치 본체의 일측에 위치하여 프로브 카드(probe card)가 장착되는 연결 부재; 및

   상기 연결 부재 상면에 장착되며, 상기 프로브 카드를 수리하기 위한 디바이스 필름 마스크(Device Film Mask)를 적재하는 플레이트를 포함하는 프로브 카드 수리 장치에 있어서,

   상기 플레이트는 적어도 하나의 홀을 가지는 것

   을 특징으로 하는 프로브 카드 수리 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 연결 부재는 척(Chuck)인 것

   을 특징으로 하는 프로브 카드 수리 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 플레이트는 알루미늄 재질인 것

   을 특징으로 하는 프로브 카드 수리 장치.

Images