KR20060001332A - 액정표시장치용 마스크 - Google Patents

액정표시장치용 마스크 Download PDF

Info

Publication number
KR20060001332A
KR20060001332A KR1020040050433A KR20040050433A KR20060001332A KR 20060001332 A KR20060001332 A KR 20060001332A KR 1020040050433 A KR1020040050433 A KR 1020040050433A KR 20040050433 A KR20040050433 A KR 20040050433A KR 20060001332 A KR20060001332 A KR 20060001332A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
substrate
mask
crystal display
patterned spacer
Prior art date
Application number
KR1020040050433A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101030536B1 (ko
Inventor
백상윤
남성림
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020040050433A priority Critical patent/KR101030536B1/ko
Publication of KR20060001332A publication Critical patent/KR20060001332A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101030536B1 publication Critical patent/KR101030536B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/13625—Patterning using multi-mask exposure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 패턴드 스페이서와 잔막 사이의 공간을 메워 액정의 압력에 의한 상기 패턴드 스페이서의 파손을 방지할 수 있도록 상기 패턴드 스페이서의 패턴을 형성할 수 있는 액정표시장치용 마스크에 관한 것으로, 광을 차단하는 차단부; 상기 광을 투과하는 제 1 투과부; 및 상기 광을 투과하며, 상기 제 1 투과부의 둘레를 따라 형성되는 적어도 하나의 제 2 투과부를 포함하여 구성되는 것이다.
액정표시장치, 마스크, 회절, 패턴드 스페이서

Description

액정표시장치용 마스크{A mask for a liquid crystal display device}
도 1은 종래의 액정표시장치의 개략적인 구성을 나타낸 단면도
도 2는 종래의 패턴드 스페이서를 포함하는 액정표시장치에 대한 단면도
도 3a는 종래의 패턴드 스페이서의 제조방법을 나타낸 공정단면도
도 4는 종래의 액정표시장치용 마스크에의 광의 회절현상에 의한 광의 에너지 분포를 설명하기 위한 도면
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크의 사시도
도 6은 도 5의 제 1 투과부와 제 2 투과부를 통과한 광의 에너지분포를 나타낸 도면
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크를 사용한 패턴드 스페이서의 제조방법을 나타낸 공정단면도
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크의 사시도
＊도면의 주요부에 대한 부호 설명
155 : 마스크 160 : 차단부
170a : 제 1 투과부 170b : 제 2 투과부
본 발명은 액정표시장치의 제조장비에 관한 것으로, 패턴드 스페이서와 잔막 사이의 공간을 메워 액정의 압력에 의한 상기 패턴드 스페이서의 파손을 방지할 수 있도록 상기 패턴드 스페이서의 패턴을 형성할 수 있는 액정표시장치용 마스크에 대한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.
따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대 면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정패널과 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 공간을 갖고 합착된 제 1 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기 제 1 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.
그리고, 제 2 기판(컬러필터기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.
이와 같은 상기 제 1 및 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 시일재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 형성된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 일반적인 액정표시장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 액정표시장치의 개략적인 구성을 나타낸 단면도이다.
종래의 일반적인 액정표시장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 공간을 갖고 서로 대향하며 위치하는 제 1 및 제 2 기판(10a, 10b)과, 상기 제 1 기판(10a)과 상기 제 2 기판(10b) 사이에 형성된 액정층(70)으로 크게 구성되어 있으며, 상기 제 1 기판(10a)은 박막트랜지스터 영역(T) 및 화소영역(P)으로 구분되어 있다.
여기서, 상기 제 1 기판(10a)은, 일방향으로 배열되는 게이트 라인(도시되지 않음) 및 상기 게이트 라인에서 돌출되어 상기 화소영역(P)에 형성되는 게이트 전극(GE)과, 상기 게이트 전극(GE)을 포함한 제 1 기판(10a)의 전면에 형성되는 게이트 절연막(GI)과, 상기 게이트 전극(GE)의 상측의 상기 게이트 절연막(GI)상에 형성되는 반도체층(20)과, 상기 게이트 라인에 수직한 방향으로 배열되는 데이터 라인(도시되지 않음) 및 상기 반도체층(20)의 채널 영역을 제외한 양쪽 가장자리에 형성되는 소스/드레인 전극(SE, DE)과, 상기 드레인 전극(DE)의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(C)을 갖고 상기 제 1 기판(10a)의 전면에 형성되는 보호층(40)과, 상기 드레인 콘택홀(C)을 통해 상기 드레인 전극(DE)에 연결되어 상기 화소영역(P)에 형성되는 화소전극(50)을 포함하여 구성되어 있다.
그리고, 상기 제 2 기판(10b)은, 상기 화소영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층(BM)과, 각 화소영역(P)에 형성되어 컬러를 표현하기 위한 컬러필터층(60)과, 상기 컬러필터층(60) 및 블랙매트릭스층(BM)을 포함한 제 2 기판(10b)의 전면에 형성되는 공통전극(65)으로 구성되어 있다.
또한, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 제 1 기판(10a)과 상기 제 2 기판(10b)의 마주보는 면에는 상기 액정층(70)의 액정분자를 일방향으로 배향시키기 위 한 제 1 배향막 및 제 2 배향막이 형성되어 있다.
이와 같은 제 1 기판(10a)과 상기 제 2 기판(10b)은 볼 스페이서(80)에 의해 셀갭이 유지되며, 시일재(도시되지 않음)에 의해 합착된다.
그리고, 상기 시일재에 의해 합착된 제 1 기판(10a)과 제 2 기판(10b) 사이에는 액정층이(70)이 형성된다.
여기서, 상기 볼 스페이서(80)를 이루는 재질은 외부압력에 대해서 탄성을 가지는 유리 섬유 또는 유기물질에서 선택되는데, 이러한 볼 스페이서(80)는 제 1 또는 제 2 기판(10a, 10b) 상에 랜덤(random)하게 산포됨에 따라 다음과 같은 문제점을 가진다.
첫째, 상기 볼 스페이서(80)의 이동에 따라 상기 각 배향막 불량이 발생될 수 있다.
둘째, 상기 볼 스페이서(80)와 인접한 액정층(70)의 액정분자간의 흡착력 등에 의해, 볼 스페이서 주변에서 빛샘(light leakage)현상이 발생된다.
셋째, 대면적 액정표시장치에 적용시, 안정적인 셀갭을 유지하기 어렵다.
넷째, 상기 볼 스페이서(80)는 탄성력을 가지며 위치 고정이 안되기 때문에, 화면 터치시 화면의 화질이 물결모양으로 어두워지는 리플(ripple) 현상이 심하게 나타날 수 있다.
결론적으로, 상기 볼 스페이서(80)를 이용해 셀갭을 유지하는 액정표시장치에서는 고화질 특성을 확보하기 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 포토 및 식각공정을 이용하여 일정위치에 스페이서 패턴을 형성하는 방식의 패턴드(patterned) 스페이서가 제안되었다.
도 2는 종래의 패턴드 스페이서를 포함하는 액정표시장치에 대한 단면도이다.
종래의 패턴드 스페이서를 포함하는 액정표시장치의 구성은 상기 도 2에 도시된 종래의 일반적인 액정표시장치와 동일하며, 단지 스페이서에서만 차이를 보이므로, 상기 스페이서를 제외한 나머지 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
즉, 상기 패턴드 스페이서(90)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 기판(10a)과 제 2 기판(10b)간의 셀갭을 유지시키기 위한 것으로, 블랙매트릭스층(BM)의 상부에 형성되어 있다.
상기 패턴드 스페이서(90)를 사용하게 되면, 셀갭을 용이하게 유지할 수 있고, 상기 화소영역(P)을 제외한 부분에만 고정되게 형성할 수 있으므로 빛샘 발생을 줄일 수 있으며, 작은 셀갭이 요구되는 모델에 적용시에도 셀갭을 정밀하게 제어할 수 있고, 상기 패턴드 스페이서(90)의 위치 고정에 의해 제품의 견고성을 높일 수 있으며 이러한 특성에 의해 화면 터치시의 리플 현상을 방지할 수 있는 장점을 가진다.
이와 같은 패턴드 스페이서(90)는 제 1 기판(10a) 또는 제 2 기판(10b)상에 형성될 수 있으며, 상술한 바와 같이, 상기 각 배향막의 하부에서 포토 및 식각공정을 통해 패터닝되게 된다.
이와 같은 패턴드 스페이서를 형성하는 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3a는 종래의 패턴드 스페이서의 제조방법을 나타낸 공정단면도이고, 도 4는 종래의 액정표시장치용 마스크에의 광의 회절현상에 의한 광의 에너지 분포를 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 전면에 배향막(32)이 형성된 기판(31)을 준비하고, 상기 배향막(32)을 포함한 상기 기판(31)의 전면에 포토레지스트(33)를 형성한다.
이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 포토레지스트(33)를 포함한 기판(31)의 상부에 마스크(55)를 정렬하고, 상기 마스크(55)를 통해 상기 포토레지스트(33)에 광(자외선)을 조사하여 상기 포토레지스트(33)를 선택적으로 노광한다.
이후, 상기 노광된 포토레지스트(33)를 현상하면, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 마스크(55)의 투과부(55a)에 위치하여 노광된 포토레지스트(33) 부분은 그대로 남고, 상기 마스크(55)의 차단부(55b)에 위치하여 노광되지 않은 포토레지스트(33) 부분은 제거된다. 여기서, 상기 노광되어 그대로 남은 포토레지스트(33) 부분이 패턴드 스페이서(95)이다. 이때, 상기 광의 회절현상에 의해, 상기 패턴드 스페이서(95)의 주변에는 포토레지스트 패턴(18)(이하, '잔막'으로 표기)이 남아있게 된다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 마스크(55)의 투과부(55a)를 통과한 광의 에너지분포는 상기 투과부(55a)의 중심부에서 가장 강하며, 상기 중심부에서 멀어질수록 약해지는데, 상기 광의 회절현상에 의해 상기 투과부(55a)로부터 소정간격 떨어진 차단부(55b) 부분에 상기 광의 에너지가 증가하여, 상기 부분에 위치한 포토레지스트(33)가 노광되어 상기 잔막(18)이 형성된다. 구체적으로, 상기 잔막(18)은 상기 패턴드 스페이서(95)와 소정간격 이격되어, 상기 패턴드 스페이서(95)의 둘레에 형성된다.
상기와 같이 패턴드 스페이서(95)가 형성된 기판(31)은 액정주입 공정을 거치게 된다. 일반적으로, 상기 액정(18)은, 상기 시일재에 의해 합착된 제 1 및 제 2 기판 사이를 진공상태로 유지하여 액정액에 입구가 잠기도록 하여 삼투압 현상에 의해 액정(18)을 주입하는 액정주입 방식 및 제 1 기판 또는 제 2 기판에 액정을 적당량 적하한 후 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 액정적하 방식 등으로 형성될 수 있다.
한편, 종래에는 상기 패턴드 스페이서(95)와 상기 잔막(18)에 의해 형성된 공간에 상기 액정이 주입되게 되면, 상기 액정에 의해서 상기 공간에 압력이 증가하며, 상기 압력에 의해 상기 패턴드 스페이서(95)가 파손되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 패턴드 스페이서와 잔막 사이의 공간을 메울 수 있도록 패터닝 하여 액정주입에 의한 패턴드 스페이서의 파손을 방지할 수 있는 액정표시장치용 마스크를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 마스크는, 광을 차단하는 차단부; 상기 광을 투과하는 제 1 투과부; 및 상기 제 1 투과부 의 둘레에 형성되는 제 2 투과부를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 마스크를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크의 사시도이다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크(155)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 광을 차단하는 차단부(160)와, 상기 광을 투과하는 제 1 투과부(170a)와, 상기 제 1 투과부(170a)의 둘레에 형성되는 제 2 투과부(170b)를 포함한다.
여기서, 상기 제 1 투과부(170a)는 원형이며, 상기 제 2 투과부(170b)는 링 형상을 가진다.
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 노광용 마스크(155)를 사용하여 패턴드 스페이서를 형성할 때, 상기 패턴드 스페이서와 잔막간의 공간이 어떻게 메워지는지를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 도 5의 제 1 투과부와 제 2 투과부를 통과한 광의 에너지분포를 나타낸 도면이고, 도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크를 사용한 패턴드 스페이서의 제조방법을 나타낸 공정단면도이다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 전면에 배향막(132)이 형성된 기판(131)을 준비하고, 상기 배향막(132)을 포함한 기판(131)의 전면에 포토레지스트(133)를 형성한다. 여기서, 상기 기판(131)은 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 기판 또는 컬러필터 어레이가 형성된 제 2 기판이 사용될 수 있다.
이이서, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 포토레지스트(133)가 형성된 기판(131)의 상부에 마스크(155)를 정렬하고, 상기 마스크(155)를 통해 광(자외선)을 조사하여 상기 포토레지스트(133)를 선택적으로 노광한다.
다음으로, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 노광된 포토레지스트(133)를 현상하면, 상기 마스크(155)의 제 1 투과부(170a)에 위치하여 노광된 포토레지스트(133) 부분은 패턴드 스페이서(195)로 형성된다. 그리고, 상기 제 2 투과부(170b)를 통과한 광 및 상기 제 1 투과부(170a)로부터 회절된 광에 의해 상기 패턴드 스페이서(195)로부터 소정간격 이격되어 제 1 잔막(118)이 형성된다. 그리고, 상기 제 2 투과부(170b)로부터 회절된 광에 의해서 상기 패턴드 스페이서(195)와 상기 제 1 잔막(118) 사이에는 제 2 잔막(750)이 형성된다. 즉, 상기 제 2 잔막(750)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 마스크(155)의 제 2 투과부(170b)로부터 회절된 광이 상기 패턴드 스페이서(195)와 상기 제 1 잔막(118) 사이에 위치한 포토레지스트(133) 부분을 노광함으로써 형성된 것이다. 이렇게 하여, 상기 패턴드 스페이서(195)와 제 1 잔막(118) 사이의 공간을 메울 수 있다. 한편, 미설명한 부호 200a는 상기 제 1 투과부를 통과한 광의 에너지분포 곡선이며, 부호 200b는 상기 제 2 투과부를 통과한 광의 에너지분포 곡선이다.
이와 같이 형성된 패턴드 스페이서(195)가 형성된 기판(131)은 상기 기판(131)과 대향하는 또 다른 기판 사이에는 액정이 주입된다.
상기 액정(18)은, 시일재에 의해 합착된 제 1 기판과 제 2 기판 사이를 진공상태로 유지하여 액정액에 입구가 잠기도록 하여 삼투압 현상에 의해 액정을 주입 하는 액정주입 방식 및 제 1 기판 또는 제 2 기판에 액정을 적당량 적하한 후 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 액정적하 방식 등으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 기판(131)에 형성된 패턴드 스페이서(195)와 상기 제 1 잔막(750) 사이에는 제 2 잔막(750)이 형성되어 있으므로, 상기 패턴드 스페이서(195)와 상기 제 1 잔막(118) 사이에는 상기 액정이 침투할 수 없다. 따라서, 상기 액정에 의한 상기 패턴드 스페이서(195)와 상기 제 1 잔막(118) 사이의 압력증가를 방지할 수 있으며, 상기 압력에 의해서 상기 패턴드 스페이서(195)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 마스크(155)의 제 1 투과부(170a)와 제 2 투과부(170b)는 다양한 모양을 가질 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 마스크의 사시도이다.
즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 마스크(255)의 제 1 투과부(270a)는 사각형을 가지며, 상기 제 2 투과부(270b)는 사각틀 형태를 가질 수 있다. 한편, 미설명한 부호 260은 차단부를 나타낸다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 액정표시장치용 마스크에는 다음과 같은 효 과가 있다.
본 발명의 액정표시장치용 마스크는 패턴드 스페이서와 잔막 사이의 공간을 메울 수 있도록 상기 패턴드 스페이서의 패턴을 형성할 수 있다. 따라서, 종래의 액정의 압력에 의한 상기 패턴드 스페이서의 파손을 방지할 수 있다.

Claims (5)

  1. 광을 차단하는 차단부;
    상기 광을 투과하는 제 1 투과부; 및
    상기 광을 투과하며, 상기 제 1 투과부의 둘레를 따라 형성되는 적어도 하나의 제 2 투과부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 투과부는 원형인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 마스크.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 투과부는 링 형상인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 투과부는 사각형인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 투과부는 사각틀 형태인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 마스크.
KR1020040050433A 2004-06-30 2004-06-30 액정표시장치용 마스크 및 이를 이용한 패턴스 스페이서 제조방법 KR101030536B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040050433A KR101030536B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 액정표시장치용 마스크 및 이를 이용한 패턴스 스페이서 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040050433A KR101030536B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 액정표시장치용 마스크 및 이를 이용한 패턴스 스페이서 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060001332A true KR20060001332A (ko) 2006-01-06
KR101030536B1 KR101030536B1 (ko) 2011-04-21

Family

ID=37104498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040050433A KR101030536B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 액정표시장치용 마스크 및 이를 이용한 패턴스 스페이서 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101030536B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150077104A (ko) * 2013-12-27 2015-07-07 엘지디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
CN105045032A (zh) * 2015-08-27 2015-11-11 京东方科技集团股份有限公司 一种掩模板、隔垫物及显示装置
KR20160092109A (ko) * 2015-01-26 2016-08-04 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102819180A (zh) * 2012-07-30 2012-12-12 京东方科技集团股份有限公司 灰阶掩膜版及利用其形成的柱状隔垫物

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR980011718A (ko) * 1996-07-31 1998-04-30 문정환 위상천이 마스크

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150077104A (ko) * 2013-12-27 2015-07-07 엘지디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
KR20160092109A (ko) * 2015-01-26 2016-08-04 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법
CN105045032A (zh) * 2015-08-27 2015-11-11 京东方科技集团股份有限公司 一种掩模板、隔垫物及显示装置
CN105045032B (zh) * 2015-08-27 2020-01-31 京东方科技集团股份有限公司 一种掩模板、隔垫物及显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101030536B1 (ko) 2011-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4030123B2 (ja) 液晶表示装置、この製造方法及び表示装置
JP4566951B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR101031166B1 (ko) 액정 디스플레이 패널
JP2007164134A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR100949493B1 (ko) 액정표시패널의 제조방법
US8120733B2 (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP2008158169A (ja) 液晶表示パネル及びその製造方法
KR20030026088A (ko) 기판 흡착용 진공 척 구조
KR101030536B1 (ko) 액정표시장치용 마스크 및 이를 이용한 패턴스 스페이서 제조방법
US20040027528A1 (en) Liquid crystal display device and method thereof
KR20070002187A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR100603669B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
JP5292594B2 (ja) 液晶表示パネル
KR101570087B1 (ko) 액정표시장치
KR20040011671A (ko) 액정표시소자
KR20050070476A (ko) 액정표시장치 및 이의 제조방법
KR100983579B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
KR101307964B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR20060095356A (ko) 액정표시소자 및 그 제조방법
KR20050090643A (ko) 액정표시장치 및 이의 제조방법
KR100875187B1 (ko) 액정표시소자
JP2007047280A (ja) 液晶表示装置
JP2008287093A (ja) 液晶表示装置
KR20030087479A (ko) 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR100889540B1 (ko) 액정표시소자

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170320

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190318

Year of fee payment: 9