KR20050094731A - Magnetic coupling rotary motion feedthrough device - Google Patents
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Abstract
특수환경에서 사용할 수 있는 자기 결합식 회전도입기를 개시한다. 개시된 본 발명은 밀폐 가능하게 설치된 케이스의 외측에 설치되며, 회전하는 자석편을 구비한 요크에 접속된 회전축; 전기 밀폐 가능하게 설치된 케이스의 내측에서 전기 회전하는 자석편이 발생하는 자장에 의해 회전하는 자력선 작용부를 축지하는 출력회전축; 전기 회전출력축에 취부된 회전신호 출력수단; 및 전기 회전신호 출력수단으로부터의 신호를 검출하는 전기 케이스의 외측에 설치된 신호검출수단;을 포함한다.Disclosed is a magnetically coupled rotary introducer that can be used in special environments. The disclosed invention is installed on the outside of the case is installed to be sealed, the rotating shaft connected to the yoke having a rotating magnet piece; An output rotation shaft for bearing a magnetic force line acting portion that is rotated by a magnetic field generated by an electrically rotating magnet piece inside the case provided to be electrically sealed; Rotation signal output means mounted to the electric rotation output shaft; And signal detection means provided outside the electrical case for detecting a signal from the electric rotation signal output means.
Description
본 발명은 진공 등의 특수환경에서 제조 등을 행하는 장치의 구동부에 관한 것이며, 보다 상세하게는 반도체 디바이스 제조장치나 전자부품 제조장치 등의 구동부의 자기 결합식 회전기구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive unit of a device for manufacturing in a special environment such as a vacuum, and more particularly to a magnetic coupling rotary mechanism of a drive unit such as a semiconductor device manufacturing device or an electronic component manufacturing device.
진공 등의 특수환경에서 제조 등을 행하는 장치의 구동부에 이용되는 회전 도입기에 있어서, 회전력(토르크) 전달방식에는 예를 들면, 자기 결합식, 벨로우즈 밀봉식, 오-링 밀봉식, 자성유체 밀봉식 등이 있다. 이들 회전도입기는 장치 구조, 제조물 등을 고려하여 어떤 타입을 사용할 것인가가 결정된다. 그러나, 벨로우즈 밀봉식, 오-링 밀봉식 자성유체 밀봉식에는 하기의 문제점이 있다.In the rotary introducer used in the drive unit of a device for manufacturing in a special environment such as a vacuum, the rotational force (torque) transmission method is, for example, magnetic coupling, bellows sealing, O-ring sealing, magnetic fluid sealing Etc. The type of rotary introducer is determined in consideration of the device structure, the product, and the like. However, bellows sealed, o-ring sealed magnetic fluid sealed has the following problems.
(1) 벨로우즈 밀봉식에서는 벨로우즈의 수명에 의해 발생 토르크가 제한될 가능성이 있다.(1) In the bellows sealing type, the generated torque may be limited by the life of the bellows.
(2) 오-링 밀봉식에서는 윤활 구리스를 개재하기 때문에 분위기가 오염될 가능성이 있다.(2) In the O-ring sealing type, since the lubricating grease is interposed, the atmosphere may be contaminated.
(3) 자성유체 밀봉식에서도 밀봉용 오일을 개재하기 때문에 분위기가 오염될 가능성이 있다.(3) Since the sealing oil is interposed even in the magnetic fluid sealing type, the atmosphere may be contaminated.
상기 이유에 의해 고진공(파티클 등을 피한 청정진공)에서 이용되는 반도체 제조장치나 전자부품 제조장지 등에는 자기 결합식 회전도입기가 적합하기 때문에, 많이 이용되고 있다. 도 6에는 종래 자기 결합식 회전도입기(101)를 나타낸다. 회전출력축(103)은 영구자석의 자기작용에 의해 회전하는 자력선 작용부(105)를 구비하며, 베어링(107)에 의해 회전 가능하게 축지지되어 있다. 회전출력축(103) 및 자력선 작용부(105)는 사용시에 진공 분위기(111)를 유지시킬 필요가 있다. 이 때문에, 회전출력축(103) 및 자력선 작용부(105)를 수납한 케이스(109)를 용기간벽(113)에 취부하고, 양자간에 시일(117)을 설치하여 대기분위기(115)로부터 차단한다.For this reason, a magnetic coupling type rotary introducer is suitable for semiconductor manufacturing apparatuses and electronic component manufacturing apparatuses used in high vacuum (clean vacuum avoiding particles and the like), and thus, they are widely used. 6 shows a conventional magnetically coupled rotary introducer 101. The rotation output shaft 103 has a magnetic line action portion 105 that rotates by the magnetic action of the permanent magnet, and is rotatably supported by the bearing 107. The rotation output shaft 103 and the magnetic line action portion 105 need to maintain the vacuum atmosphere 111 at the time of use. For this reason, the case 109 which accommodated the rotation output shaft 103 and the magnetic force line action part 105 is attached to the container trunk wall 113, and the seal 117 is provided in both, and it isolate | blocks from the atmospheric atmosphere 115. FIG.
케이스(109)에 수납된 자력선 작용부(105)의 케이스(109)의 좁은 대기분위기(111)의 외측주위에는 회전전달용 자석편(119)이 취부된 전자연철제의 요크(121)가 배치되어 있다. 이런 구조에 의해 요크(121)는 구동원 접속축(123)과 일체로 된 베어링(125)에 축지되고, 도시되지 않은 모터 등에 접속되어 회전된다. 이런 관계에 의해 요크(121)의 회전에 동기하여 회전출력축(103)이 회전하고 회전출력축(103)을 통하여 토르크가 전달된다.A yoke 121 made of an electromagnetic soft iron, on which a magnet piece 119 for rotational transmission is mounted, is disposed on the outer periphery of the narrow air atmosphere 111 of the case 109 of the magnetic force line action part 105 stored in the case 109. It is. With this structure, the yoke 121 is held by a bearing 125 integrated with the drive source connecting shaft 123, and is connected to a motor or the like not shown to rotate. Due to this relationship, the rotational output shaft 103 is rotated in synchronization with the rotation of the yoke 121 and torque is transmitted through the rotational output shaft 103.
도 7a의 정단면도 및 도 7b의 측단면도를 이용하여 종래예의 자기 결합식 회전도입기(101)를 이용한 조업 예에 대해서 설명한다.The operation example using the self-coupled rotary introducer 101 of the prior art is demonstrated using the front sectional drawing of FIG. 7A and the side sectional drawing of FIG. 7B.
자기 결합식 회전도입기(101)는 커플링에 의해 모터에 연결되어 있고, 모터의 회전에 동기하여 회전하는 회전출력축은 피니언기어(133)에 연결되어 있다. 반송판(139)에는 피니언기어(133)에 나합하며 피니언기어(133)의 회전에 의해 좌우방향(143)으로 이동하는 랙(135)이 취부되어 있다. 즉, 회전출력축의 회전에 의해 워크(141)를 재치한 반송판(139)이 축수(137)를 개재하여 도면의 좌우방향(149)으로 이동한다.The magnetically coupled rotary introducer 101 is connected to the motor by a coupling, and a rotation output shaft that rotates in synchronization with the rotation of the motor is connected to the pinion gear 133. The conveyance plate 139 is provided with a rack 135 that is engaged with the pinion gear 133 and moves in the left and right directions 143 by the rotation of the pinion gear 133. That is, the conveyance plate 139 which mounted the workpiece | work 141 by the rotation of a rotation output shaft moves to the left-right direction 149 of a figure via the axis number 137. FIG.
그런데, 자기 결합식 회전도입기(101)는 기계적으로 토르크를 외부로부터 전달하기 위한 접합부는 구비하지 않고, 회전자력을 이용하여 토르크를 전달하는 기구를 이용하고 있다. 이 때문에, 어떤 원인으로 인해 자기 결합식 회전도입기(101)가 대기분위기(115) 측에 접속된 모터(131) 등의 구동원과의 동기가 일치하지 않은 상황이 발생할 가능성이 있다. 일반적으로 탈조라 불리어지고 있는 현상으로, 진공분위기(111) 측의 회전출력축(103)의 회전 지연이나 정지등이 일어나는 현상이다.By the way, the magnetically coupled rotary introducer 101 does not include a joint for mechanically transmitting torque from the outside, and uses a mechanism for transmitting torque using a rotor force. For this reason, a situation may arise in which the magnetic coupling rotary introducer 101 is not synchronized with the drive source of the motor 131 etc. connected to the atmospheric | atmosphere 115 side. It is a phenomenon generally called disassembly and it is a phenomenon which a rotation delay, a stop, etc. of the rotation output shaft 103 of the vacuum atmosphere 111 side occur.
이 현상을 회피하기 위해서는, 도 7b에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 워크위치결정센서나 구동확인센서 등의 위치센서(147)를 설치하여, 예를 들면, 반송판(139) 또는 랙(135) 등의 작동 상태를 항시 확인할 필요가 있다. 그러나, 진공분위기(111)라는 특수환경이기 때문에, 설치된 센서가 고가이고, 설계도 복잡하여 부수비용이 증대하여 코스트 업의 요인이 되고 있다.In order to avoid this phenomenon, as shown in FIG. 7B, for example, a position sensor 147 such as a work positioning sensor or a driving confirmation sensor is provided, for example, the transfer plate 139 or the rack 135. It is always necessary to check the operating status of the unit. However, because of the special environment of the vacuum atmosphere 111, the installed sensor is expensive, the design is complicated, and the accompanying cost increases, which is a factor of cost up.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 회전출력축의 회전을 항시 검출할 수 있고, 고진공 분위기 또는 대기분위기를 피한 특수조건에 견디며, 또 분위기의 오염원으로 되지 않는 자기 결합식 회전도입기를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above, and the magnetic coupling type rotary induction machine which can detect the rotation of the rotational output shaft at all times, withstand the special conditions avoiding the high vacuum atmosphere or the atmospheric atmosphere, and does not become a pollution source of the atmosphere The purpose is to provide.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1실시예에 의한 자기 결합식 회전도입기는, 밀폐 가능하게 설치된 케이스의 외측에 설치되며, 회전하는 자석편을 구비한 요크에 접속된 회전축; 전기 밀폐 가능하게 설치된 케이스의 내측에서 전기 회전하는 자석편이 발생하는 자장에 의해 회전하는 자력선작용부를 축지지하는 출력회전축; 전기 회전출력축에 취부된 회전신호 출력수단; 및 전기 회전신호 출력수단으로부터의 신호를 검출하는 전기 케이스의 외측에 설치된 신호검출수단;을 포함한다.Magnetically coupled rotary introducer according to a first embodiment of the present invention for achieving the above object is provided on the outside of the case is installed to be sealed, the rotary shaft connected to the yoke having a rotating magnet piece; An output rotation shaft for supporting the magnetic force line action portion that is rotated by the magnetic field generated by the magnetic piece that is electrically rotated inside the case provided to be electrically sealed; Rotation signal output means mounted to the electric rotation output shaft; And signal detection means provided outside the electrical case for detecting a signal from the electric rotation signal output means.
본 발명의 제2실시예에 의하면, 전기 회전신호 출력수단은 자성부재가 회전출력축에 1개소 또는 복수개소 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.According to the second embodiment of the present invention, the electric rotation signal output means is characterized in that one or a plurality of magnetic members are provided on the rotation output shaft.
본 발명의 제3실시예에 의하면, 전기 신호검출수단은 전기 자성부재가 접근할 때 감응하는 자기센서인 것을 특징으로 한다.According to a third embodiment of the present invention, the electric signal detecting means is a magnetic sensor that responds when the electric magnetic member approaches.
본 발명의 제4실시예에 의하면, 전기 회전신호 출력수단은 광투성의 재질을 이용한 케이스의 경우에는 광반사판으로 되고, 전기 신호검출수단은 반사되는 광을 검출하는 광센서를 이용하는 것을 특징으로 한다.According to the fourth embodiment of the present invention, the electric rotation signal output means is a light reflection plate in the case of a light-transmissive material, and the electric signal detection means uses an optical sensor for detecting the reflected light. .
본 발명의 제5실시예에 의하면, 전기 케이스 외측이 대기로 되고, 그 내측은 진공 또는 고순도의 특수 분위기로 되는 것을 특징으로 한다.According to a fifth embodiment of the present invention, the outer side of the electrical case is the atmosphere, and the inner side is a vacuum or high purity special atmosphere.
본 발명의 제6실시예에 의하면, 전기 기재의 자기 결합식 회전도입기가 전기 신호검출수단의 신호를 모니터하여 회전 이상동작을 감시 및/또는 정상동작의 복귀를 행하는 제어시스템을 구비하는 것을 특징으로 한다.According to a sixth embodiment of the present invention, a magnetically coupled rotary inductor of an electric substrate includes a control system for monitoring a signal of an electrical signal detecting means to monitor abnormal rotation and / or to return to normal operation. do.
이하, 본 발명에 대하여 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail, referring drawings.
도 1를 이용하여 본 발명의 자기 결합식 회전도입기에 대하여 설명한다. 본 발명에서는 회전출력축(103)의 회전체(5)에 센서용의 마그네틱피스(3)가 구비되어 있다. 케이스(109)의 외측에는 회전체(5)의 회전과 함께 회전하는 마그네틱피스(3)의 접속에 의해 감응하는 자기센서(7)가 설치되어 있다. A magnetic coupling rotary introducer of the present invention will be described with reference to FIG. 1. In the present invention, the magnetic piece 3 for the sensor is provided on the rotating body 5 of the rotation output shaft 103. On the outside of the case 109 is provided a magnetic sensor 7 which is sensitive by the connection of the magnetic piece 3 which rotates with the rotation of the rotor 5.
도 2에는 마그네틱피스(3)와 일체로 되어 회전하는 회전체(5)의 단면형상을 나타낸다. 마그네틱피스(3)는 회전체(5)에 1개소 또는 복수개의 마그네틱이 취부되어 이루어진다. 취부방법에는 회전체(5)에 설치된 구멍에 마그네틱피스(3)를 삽합시키는 등의 방법이 있다. 다른 방법으로는 예를 들면, 나사 고정이 있다. 여기서, 마그네특피스(3)에는 철을 이용하는 것도 가능하다.In FIG. 2, the cross-sectional shape of the rotating body 5 which rotates integrally with the magnetic piece 3 is shown. The magnetic piece 3 is formed by attaching one or a plurality of magnetics to the rotating body 5. The mounting method includes a method of inserting the magnetic piece 3 into a hole provided in the rotating body 5. Another method is, for example, screwing. Here, iron can also be used for the magnet special piece 3.
마그네틱피스(3)와 케이스(109)와의 사이에는 접촉되지 않도록 하기 위한 클리어런스를 설치한다. 이 때문에, 회전체(5)의 직경과 클리어런스의 크기에 대응하여 회전체에 설치된 마그네틱피스의 크기를 알맞게 한다.A clearance for preventing contact between the magnetic piece 3 and the case 109 is provided. For this reason, the magnitude | size of the magnetic piece provided in the rotating body is matched according to the diameter of the rotating body 5, and the magnitude | size of clearance.
케이스(109)의 외측에 장치된 자기센서(7)는, 마그네틱피스(3)가 접근할 때에 감응하는 자기센서를 이용하여 회전출력축(103)의 회전상태를 검출할 수 있다. 마그네틱피스를 복수 설치한 경우에는 보다 정밀한 검출이 가능하게 된다.The magnetic sensor 7 provided on the outside of the case 109 can detect the rotation state of the rotation output shaft 103 by using a magnetic sensor that responds when the magnetic piece 3 approaches. When a plurality of magnetic pieces are provided, more accurate detection is possible.
케이스(109)의 재질에는 비자성 스테인레스강, 알루미늄, 글래스, 수지, 예를 들면 아크릴수지 등이 이용된다. 케이스의 재질로 글래스, 수지 등의 투명소재를 선택한 경우에는 마그네틱피스의 대신에 반사판(9) 등을 설치하여 반사하는 광을 검출하는 센서를 설치하는 것에 의해 상기 목적을 달성할 수 있다. 센서로서는 포토센서를 이용할 수 있다. 중요한 점은 회전출력축(103)의 회전을 항시 검출할 수 있고, 고진공 분위기 또는 대기 분위기를 피한 특수조건에 견디며, 또 분위기의 오염원으로 되지 않는 상기 목적을 달성할 수 있다.As the material of the case 109, nonmagnetic stainless steel, aluminum, glass, resin, for example, acrylic resin is used. When a transparent material such as glass or resin is selected as the material of the case, the above object can be achieved by providing a sensor for detecting the reflected light by providing a reflecting plate 9 or the like instead of the magnetic piece. A photo sensor can be used as a sensor. The important point is that the rotation of the rotation output shaft 103 can be detected at all times, can withstand the special conditions avoiding the high vacuum atmosphere or the atmospheric atmosphere, and can achieve the above object not to become a pollution source of the atmosphere.
이하에, 실시예에 의해 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples.
도 3a의 정면 단면도 및 도 3b의 측면 단면도를 이용하여 본 발명의 자기 결합식 회전도입기(101)를 이용한 조업예에 대하여 설명한다. 자기 결합식 회전도입기(101)는 커플링에 의해 모터에 연결되어 있으며, 모터의 회전에 동기하여 회전하는 회전출력축은 피니언기어(133)에 연결되어 있다. 반송판(139)에는 피니언기어(133)에 나합하며 피니언기어(133)의 회전에 의해 좌우로 이동하는 랙(135)이 취부되어 있다. 즉, 회전출력축의 회전에 의해 워크(141)를 적재한 반송판(139)이 축수(137) 상에서 도면의 좌우로 이동한다.The operation example using the magnetically coupled rotary introducer 101 of this invention is demonstrated using the front sectional drawing of FIG. 3A and the side sectional drawing of FIG. 3B. The magnetic coupling rotary introducer 101 is connected to the motor by a coupling, and a rotation output shaft that rotates in synchronization with the rotation of the motor is connected to the pinion gear 133. The conveyance plate 139 is provided with a rack 135 which is screwed to the pinion gear 133 and moved left and right by rotation of the pinion gear 133. That is, by the rotation of the rotation output shaft, the conveying plate 139 on which the work 141 is loaded moves on the shaft 137 to the left and right of the drawing.
본 발명에서는, 도 7에 도시된 바와 같은, 예를 들면, 워크위치결정센서, 구동확인센서 등의 위치 센서(147)를 설치하여 반송판(139)의 작동상태를 항시 확인할 필요가 없다.In the present invention, as shown in Fig. 7, for example, it is not necessary to provide a position sensor 147 such as a work positioning sensor, a drive confirmation sensor, etc. to always check the operating state of the conveying plate 139.
본 발명의 자기 결합식 회전도입기(101)를 이용한 다른 실시예에 대하여 설명한다. 도 4에는 청정한 대기 또는 아르곤, 질소 등의 불활성 가스 분위기의 챔버에서 워크(141)를 가열 하는 등의 경우에 적용한 예를 나타낸다. 자기 결합식 회전도입기(101)는 커플링에 의해 모터에 연결되어 있고, 모터의 회전에 동기하여 회전하는 회전출력축은 대류 발생용 팬(151)에 연결되어 있다. 본 설비는 가열실(157)에서 워크(141)를 균일하게 가열하고 가열후 케이트 밸브(155)를 통하여 워크 가공용의 특수환경실(159)로 이동한다.Another embodiment using the magnetically coupled rotary introducer 101 of the present invention will be described. 4 shows an example applied to the case of heating the work 141 in a clean air or an inert gas atmosphere such as argon or nitrogen. The magnetically coupled rotary introducer 101 is connected to the motor by a coupling, and a rotation output shaft rotating in synchronization with the rotation of the motor is connected to the convection generating fan 151. This equipment uniformly heats the workpiece 141 in the heating chamber 157 and moves to the special environment chamber 159 for work processing through the gate valve 155 after heating.
대류발생용 팬(151)이 정지하면 워크의 온도분포얼룩이 발생하여 제품에는 흠결이 생김으로써 팬(151)를 항시 회전시켜서 온도를 항상 균일하게 유지시킬 필요가 있다. 따라서, 회전도입기축이 항시 회전하고 있는 것을 반드시 확인할 필요가 있다. 현재의 장치에서는, 모터측(131)에 엔코더 등의 회전검출기를 취부하여 확인하고 있으나, 이것은 간접적으로 회전을 확인하는 것에 불과한 것으로, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 설치하는 것에 의해 전기 효과를 가져올 수 있다. 물론, 자기 결합식 회전도입기는 워크를 반송하는 반송판(139)의 구동용으로 바람직하게 이용된다.When the convection generating fan 151 stops, a temperature distribution stain of the work is generated, and a defect occurs in the product, so that the fan 151 is always rotated so that the temperature must be kept uniform at all times. Therefore, it is necessary to confirm that the rotation introduction machine shaft is always rotating. In the current apparatus, a rotation detector such as an encoder is mounted on the motor side 131 to confirm the rotation. However, this is only indirectly confirming the rotation, and the electrical effect is improved by installing the magnetic coupling rotary inductor of the present invention. Can bring Of course, the magnetically coupled rotary introducer is preferably used for driving the conveying plate 139 for conveying the work.
도 5에 나타낸 플로우 챠트에 의해 도 4에 도시된 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용한 실시예에 대하여 설명한다. 우선 워크 설치(163)에서는 워크(141)를 밀폐 용기(149)내의 반송판(139)상에 설치한다. 이어서, 가열,회전검출개시(165)에서는, 밀폐용기 내에 설치된 모터(153)에 의한 가열 개시와 함께 대류발생용 팬(151)의 회전을 개시하며, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기(101)의 센서에 의한 모니터를 개시한다.The embodiment using the self-coupling rotary induction machine of the present invention shown in FIG. 4 by the flowchart shown in FIG. 5 will be described. First, in the workpiece | work installation 163, the workpiece | work 141 is installed on the conveyance plate 139 in the airtight container 149. Subsequently, at the heating and rotation detection start 165, the convection generating fan 151 starts to rotate with the start of heating by the motor 153 installed in the sealed container, and the magnetically coupled rotary introducer 101 of the present invention is started. Start monitoring by sensor.
설정온도,회전검출이상없음(167)에서는, 센서 모니터로 가열온도, 또는 대류발생용 팬(151)의 회전수 등을 검출하여 이상의 경우에는 경보 등을 발생함과 함께 적절한 대처수단을 취한다. 이상이 없는 경우, 균일하게 가열된 워크(141)를 케이트 밸브(155)를 통하여 워크 가공용의 특수환경실(159)로 이동시킨다. 이어서, 특수환경실(159)내에서 워크 가공 처리 개시를 행한다.When there is no set temperature and rotation detection abnormality 167, the sensor monitor detects the heating temperature, the rotation speed of the convection generating fan 151, or the like, generates an alarm or the like and takes appropriate countermeasures. If there is no abnormality, the uniformly heated workpiece 141 is moved to the special environment chamber 159 for workpiece processing through the gate valve 155. Subsequently, the workpiece processing starts in the special environment chamber 159.
즉, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용하는 것에 의해 자기 센서의 신호를 모니터하여 정상 운전하고 있는지의 판단이 가능하게 된다. 또 제어용 등의 컴퓨터 등을 이용하여 자기 센서신호로부터 모터를 제어하고 이상동작을 정상동작으로 되돌리는 것이 가능하게 된다.That is, by using the magnetically coupled rotary introducer of the present invention, it is possible to monitor the signal of the magnetic sensor and determine whether it is operating normally. In addition, it is possible to control the motor from the magnetic sensor signal and return the abnormal operation to the normal operation by using a computer or the like for control.
고온, 고진공 등의 조건이 필요한 실내에 위치센서를 설치하게 되면, 설계상 곤란한 경우가 많다. 예를 들면, 고온의 가열물을 피구동물로 한 경우, 이를 센싱하는 것은 센서의 종류, 배선의 종류나 재료, 관리 등 매우 복잡하나, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용함으로써, 설계가 심플하게 된다. 이 때문에, 코스트는 종래에 비하여 수십분의 일 이하로 된다. 특히, 장치측 설계공수의 삭감효과는 매우 높으며, 장치 전체의 신뢰성도 비약적으로 높게 된다.When the position sensor is installed in a room that requires conditions such as high temperature and high vacuum, it is often difficult to design. For example, in the case of using a high temperature heated object as a dodge animal, sensing the sensor is very complicated such as the type of sensor, the type of wiring, the material, and the management, but the design is simple by using the self-coupled rotary introducer of the present invention. Done. For this reason, cost will be several tenths or less compared with the former. In particular, the reduction effect of the design-side labor of the apparatus is very high, and the reliability of the apparatus as a whole is dramatically increased.
본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용하는 것에 의해 이하의 효과가 기대된다.The following effects are expected by using the magnetically coupled rotary introducer of the present invention.
첫째, 자기센서의 신호를 모니터한느 것에 의해 정상 운전하고 있는지의 판단이 가능하게 된다.First, it is possible to judge whether it is operating normally by monitoring the signal of the magnetic sensor.
둘째, 제어용의 컴퓨터 등을 이용하여 자기센서 신호에서 모터를 제어하여 이상동작을 정상동작으로 되돌리는 것이 가능하게 된다.Second, it is possible to return the abnormal operation to the normal operation by controlling the motor from the magnetic sensor signal using a control computer or the like.
셋째, 피구동물측에 위치센서 등을 설치하는 경우, 고진공 조건 등 장치 설계상 곤란한 경우가 많다. 예를 들면, 고온의 가열물을 피구동물로 한 경우, 이를 센싱하는 것은 센서의 종류, 배선의 종류나 재료, 배선의 관리 등 매우 복잡하나, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용하는 것에 의해 간단하게 된다.Third, in the case of installing a position sensor or the like on the side of the animal, it is often difficult in designing a device such as a high vacuum condition. For example, in the case of using a high-temperature heating object as a dodge animal, sensing the sensor is very complicated, such as the type of sensor, the type of wiring, the material, and the management of the wiring. Done.
넷째, 본 발명의 자기 결합식 회전도입기를 이용하는 것에 의해 종래방법에서 같은 성능의 기능을 실현하는 경우에 비하여 코스트는 수십분의 일 이하로 된다. 특히, 장치측 설계공수의 삭감효과는 매우 높으며, 장치 전체의 신뢰성도 비약적으로 높게 된다.Fourth, the cost is less than a few tenths of the conventional method by using the self-coupling rotary introducer of the present invention. In particular, the reduction effect of the design-side labor of the apparatus is very high, and the reliability of the apparatus as a whole is dramatically increased.
도 1은 본 발명에 의한 자기 결합식 회전도입기의 예이다.1 is an example of a magnetically coupled rotary introducer according to the present invention.
도 2는 본 발명에 의한 마그네틱 피스를 취부한 회전체의 단면형상이다.2 is a cross-sectional shape of a rotating body mounted with a magnetic piece according to the present invention.
도 3은 본 발명에 의한 자기 결합식 회전도입기를 이용한 예이다.Figure 3 is an example using a magnetic coupling rotary introducer according to the present invention.
도 4는 본 발명에 의한 자기 결합식 회전도입기를 이용한 예이다.Figure 4 is an example using a magnetic coupling rotary introducer according to the present invention.
도 5는 본 발명에 의한 자기 결합식 회전도입기를 이용한 예이다.5 is an example using a magnetic coupling rotary introducer according to the present invention.
도 6은 종래 자기 결합식 회전도입기이다.6 is a conventional magnetically coupled rotary introducer.
도 7은 종래 자기 결합식 회전도입기를 이용한 예이다.Figure 7 is an example using a conventional magnetic coupling rotary introducer.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
3;마그네틱 피스 5;회전체3; magnetic piece 5; rotating body
7;자기센서 9;반사판7; magnetic sensor 9; reflector
101;회전도입기 103;회전출력축101; rotary induction machine 103; rotary output shaft
109;케이스 133;피니언기어109; Case 133; Pinion Gear
135;랙 139;반송판135; rack 139; return plate
141;워크 151;팬141; walk 151; fan
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