JP6195379B2 - Position detection device - Google Patents

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本発明は、磁石と磁石の動作を検出するセンサ部とを有した非接触式の位置検出装置に関する。   The present invention relates to a non-contact type position detection device having a magnet and a sensor unit that detects the operation of the magnet.

非接触式の位置検出装置は、可動体とセンサ部との物理的な接触を必要とする接触式の位置検出装置と比較して、接触部分の摩耗がなく耐久性に優れているとともに、可動部分を気密にできるという利点を有している。このため、自動車における空気圧を測定するポジションセンサや家電における液体の圧力を測定する圧力センサ等に用いられている。   The non-contact type position detection device is superior in durability with no wear on the contact part and more movable than the contact type position detection device that requires physical contact between the movable body and the sensor unit. It has the advantage that the part can be airtight. For this reason, it is used for the position sensor which measures the air pressure in a motor vehicle, the pressure sensor which measures the pressure of the liquid in household appliances, etc.

このような従来例として、特許文献1では、磁石840と磁石840の動作を検出する磁気センサ882とを有した非接触式のリニアポジションセンサ(位置検出装置)800が提案されている。図17は、従来例1(特許文献1)におけるリニアポジションセンサ800の縦方向断面図である。   As such a conventional example, Patent Document 1 proposes a non-contact linear position sensor (position detection device) 800 having a magnet 840 and a magnetic sensor 882 that detects the operation of the magnet 840. FIG. 17 is a longitudinal sectional view of a linear position sensor 800 in Conventional Example 1 (Patent Document 1).

図17に示すリニアポジションセンサ800は、可撓性ゴムブーツ825(ダイヤフラム)で仕切られたキャビティ826及びキャビティ827を形成するハウジング822及び下部アクチュエータハウジング823と、キャビティ826内に配置され磁石キャリア810に収容されて上下方向(図17に示すZ方向)に動く磁石840と、磁石840の上下方向での位置を示す電気信号を生成する磁気センサ882と、キャビティ826からハウジング822外に延出したチューブ831と、ブランケット860に保持されキャビティ827を貫き下部アクチュエータハウジング823外に延出したシャフト870と、を有して構成されている。   A linear position sensor 800 shown in FIG. 17 includes a housing 822 and a lower actuator housing 823 that form a cavity 826 and a cavity 827 partitioned by a flexible rubber boot 825 (diaphragm), and is disposed in the cavity 826 and accommodated in a magnet carrier 810. A magnet 840 that moves in the vertical direction (Z direction shown in FIG. 17), a magnetic sensor 882 that generates an electrical signal indicating the position of the magnet 840 in the vertical direction, and a tube 831 that extends out of the housing 822 from the cavity 826. And a shaft 870 that is held by the blanket 860 and penetrates the cavity 827 and extends out of the lower actuator housing 823.

また、リニアポジションセンサ800は、エンジンの吸気マニフォールド又は真空タンクなどの真空源にチューブ831が接続されて、真空源による気圧の変化を受け、キャビティ826内の気圧が変化し、可撓性ゴムブーツ825(ダイヤフラム)が上下に移動する構成となっている。そして、バネ850で可撓性ゴムブーツ825(ダイヤフラム)に向けて付勢された磁石キャリア810が可撓性ゴムブーツ825(ダイヤフラム)とともに上下に移動し、磁石キャリア810に収容された磁石840の位置を磁気センサ882で検出することができる。   Further, the linear position sensor 800 has a tube 831 connected to a vacuum source such as an intake manifold of an engine or a vacuum tank, receives a change in air pressure due to the vacuum source, changes the air pressure in the cavity 826, and the flexible rubber boot 825. The (diaphragm) moves up and down. Then, the magnet carrier 810 urged toward the flexible rubber boot 825 (diaphragm) by the spring 850 moves up and down together with the flexible rubber boot 825 (diaphragm), and the position of the magnet 840 accommodated in the magnet carrier 810 is changed. It can be detected by the magnetic sensor 882.

しかしながら、シャフト870の他端側に接続される装置(従来例1では、エンジンに取り付けられるターボチャージャーのバイパス又はウェストゲートバルブ)によっては、上下移動に伴いシャフト870が傾き、それに伴って磁石キャリア810(磁石840)が傾くことがあった(従来例1の特許文献1に記載の図に示されている)。このため、磁石840による磁界の変化が生じ、磁石840が傾かない場合と比較して、磁気センサ882による検出精度が低下してしまう課題があった。   However, depending on the device connected to the other end of the shaft 870 (in the conventional example 1, the bypass of the turbocharger attached to the engine or the wastegate valve), the shaft 870 is tilted as it moves up and down, and the magnet carrier 810 is accompanied accordingly. The (magnet 840) sometimes tilted (shown in the drawing described in Patent Document 1 of Conventional Example 1). For this reason, the magnetic field change by the magnet 840 occurs, and there is a problem that the detection accuracy by the magnetic sensor 882 is reduced as compared with the case where the magnet 840 does not tilt.

この課題に対して、特許文献2では、移動軸905と検出軸921とを有したダイヤフラム装置900が提案されている。図18は、従来例2(特許文献2)におけるダイヤフラム装置900の縦方向断面構成図である。   In response to this problem, Patent Document 2 proposes a diaphragm device 900 having a moving shaft 905 and a detection shaft 921. FIG. 18 is a longitudinal cross-sectional configuration diagram of a diaphragm device 900 in Conventional Example 2 (Patent Document 2).

図18に示すダイヤフラム装置900は、軸方向に移動可能な検出軸921を有し、検出軸921の移動変位を検出するリフトセンサ920と、外部の圧力変動に応じ変形するダイヤフラム903、ダイヤフラム903の変形に応じダイヤフラム903の移動する方向に移動可能な移動軸905と、を有して構成されている。そして、移動軸905の一方側の先端905aは球面状であるとともに、検出軸921の一端を押圧する構成となっている。これにより、移動軸905が接続される装置の影響を受けて移動軸905が傾斜しても、移動軸905の先端905aが球面状であるため、移動軸905で検出軸921の一端を押圧する際に、移動軸905の傾斜の影響が検出軸921に伝わることが少ない構成となっている。このため、移動軸905が傾斜しても、リフトセンサ920による検出軸921の移動距離検出の測定誤差が生じないという効果が得られる。なお、リフトセンサ920には、従来例1と同じような磁石と磁気センサが使用されている。   A diaphragm device 900 shown in FIG. 18 has a detection shaft 921 that can move in the axial direction, and includes a lift sensor 920 that detects the displacement of the detection shaft 921, a diaphragm 903 that deforms in response to external pressure fluctuations, and a diaphragm 903. And a moving shaft 905 that can move in the direction in which the diaphragm 903 moves in accordance with the deformation. The distal end 905a on one side of the moving shaft 905 is spherical and is configured to press one end of the detection shaft 921. As a result, even if the moving shaft 905 is inclined due to the influence of the device to which the moving shaft 905 is connected, the tip 905a of the moving shaft 905 is spherical, and thus the moving shaft 905 presses one end of the detection shaft 921. At this time, the configuration is such that the influence of the inclination of the moving shaft 905 is hardly transmitted to the detection shaft 921. For this reason, even if the moving shaft 905 is inclined, there is an effect that a measurement error in detecting the moving distance of the detection shaft 921 by the lift sensor 920 does not occur. The lift sensor 920 uses a magnet and a magnetic sensor similar to those in the first conventional example.

特表2011−505574号公報Special table 2011-505574 gazette 特開2012−102782号公報JP 2012-102782 A

しかしながら、従来例2では、従来例1の課題を見事に解決しているが、ダイヤフラム装置900に外部から振動等が伝わった場合、移動軸905と検出軸921とがずれてしまい、移動軸905の移動が上手く検出軸921に伝わらない懸念があった。このため、ダイヤフラム装置900の検出精度が低下する恐れがあった。   However, in the conventional example 2, the problem of the conventional example 1 is solved brilliantly. However, when vibration or the like is transmitted from the outside to the diaphragm device 900, the moving shaft 905 and the detection shaft 921 are displaced, and the moving shaft 905 is moved. There has been a concern that the movement of the sensor will not be transmitted to the detection shaft 921 well. For this reason, there is a possibility that the detection accuracy of the diaphragm device 900 is lowered.

本発明は、上述した懸念を解決するもので、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described concerns, and an object thereof is to provide a position detection device in which a decrease in detection accuracy is suppressed.

この課題を解決するために、本発明の位置検出装置は、可動磁石と、該可動磁石の動作を検出するセンサ部と、前記可動磁石を移動させる駆動部と、を有する位置検出装置において、前記可動磁石と一体的に駆動可能な移動体を有し、前記可動磁石と前記移動体との間に、磁力により前記可動磁石と前記移動体とを連結する連結部が設けられていることを特徴としている。   In order to solve this problem, a position detection device of the present invention includes a movable magnet, a sensor unit that detects an operation of the movable magnet, and a drive unit that moves the movable magnet. A movable body that can be driven integrally with a movable magnet is provided, and a connecting portion that couples the movable magnet and the movable body by a magnetic force is provided between the movable magnet and the movable body. It is said.

これによれば、本発明の位置検出装置は、移動体が僅かに傾き、移動体と係合している連結部が傾いても、可動磁石が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石は直線移動することになるので、移動体の影響を受けることによるセンサ部の検出精度の低下を抑えることができる。しかも、磁力により連結部と可動磁石とが連結しているので、振動等の外部影響があった場合でも、連結部と可動磁石とがずれることがなく、駆動部の移動を確実に可動磁石に伝えることができる。これらのことにより、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置を提供することができる。   According to this, the position detection device of the present invention is configured so that the movable magnet is not tilted even when the moving body is slightly tilted and the connecting portion that is engaged with the moving body is tilted. It is connected. For this reason, since a movable magnet will move linearly, the fall of the detection accuracy of a sensor part by receiving the influence of a moving body can be suppressed. In addition, since the coupling portion and the movable magnet are coupled by magnetic force, the coupling portion and the movable magnet are not displaced even when there is an external influence such as vibration, so that the movement of the driving unit can be reliably performed on the movable magnet. I can tell you. By these things, the position detection apparatus with which the fall of detection accuracy was suppressed can be provided.

また、本発明の位置検出装置は、前記連結部が、前記可動磁石に対向するように配設された磁性体と、前記移動体が固着され前記磁性体を保持するホルダ部と、を有することを特徴としている。   In the position detection device of the present invention, the connecting portion includes a magnetic body disposed so as to face the movable magnet, and a holder portion to which the moving body is fixed and holds the magnetic body. It is characterized by.

これによれば、検出対象である可動磁石を利用して、可動磁石と移動体との連結を磁力により可能にしている。このため、部品点数を増加させることなく連結部を構成することができる。このことにより、位置検出装置を容易にしかも安く作製することができる。   According to this, the movable magnet and the moving body are connected by the magnetic force using the movable magnet that is the detection target. For this reason, a connection part can be comprised, without increasing a number of parts. As a result, the position detection device can be easily and inexpensively manufactured.

また、本発明の位置検出装置は、前記可動磁石と前記磁性体とが互いに対向する少なくとも一方の表面が、樹脂で覆われていることを特徴としている。   In the position detection device of the present invention, at least one surface of the movable magnet and the magnetic body facing each other is covered with a resin.

これによれば、可動磁石が移動する際に、可動磁石と磁性体とが摺接して可動磁石が削れるのを防止することができる。このことにより、可動磁石が削れることによる可動磁石からの磁界の変化がないので、検出精度の低下をより抑えることができる。   According to this, when the movable magnet moves, it can be prevented that the movable magnet and the magnetic body are slidably contacted to scrape the movable magnet. Thereby, since there is no change in the magnetic field from the movable magnet due to scraping of the movable magnet, it is possible to further suppress a decrease in detection accuracy.

また、本発明の位置検出装置は、前記可動磁石と前記磁性体とが互いに対向する対向面の少なくとも一方は、曲面となっていることを特徴としている。   In the position detection device of the present invention, at least one of the facing surfaces where the movable magnet and the magnetic body face each other is a curved surface.

これによれば、移動体が傾きながら移動する場合でも、その傾きを曲面が吸収して、可動磁石と磁性体との当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石に対して傾きの影響を与ることなく、可動磁石を移動させることができる。このことにより、可動磁石による磁界が所望の値となるので、センサ部が可動磁石の動作を精度良く検出することができる。   According to this, even when the moving body moves while tilting, the curved surface absorbs the tilt and the contact between the movable magnet and the magnetic body can be made smooth. For this reason, a movable magnet can be moved, without giving the influence of inclination with respect to a movable magnet. As a result, the magnetic field generated by the movable magnet becomes a desired value, so that the sensor unit can accurately detect the operation of the movable magnet.

また、本発明の位置検出装置は、前記連結部が、第1連結磁石を一方側に保持する磁石ホルダ部と、第2連結磁石を一方側に保持する移動体ホルダ部と、を有し、前記磁石ホルダ部の他方側には、前記可動磁石が対向配置され、前記移動体ホルダ部の他方側には、前記移動体が固着され、前記第1連結磁石と前記第2連結磁石とが対向配置されており、前記第1連結磁石と前記第2連結磁石の対抗面は複数組の磁極で着磁されていることを特徴としている。   Further, in the position detection device of the present invention, the connecting portion includes a magnet holder portion that holds the first connecting magnet on one side, and a moving body holder portion that holds the second connecting magnet on one side, The movable magnet is disposed opposite to the other side of the magnet holder portion, the movable body is fixed to the other side of the movable body holder portion, and the first coupling magnet and the second coupling magnet are opposed to each other. The opposing surfaces of the first connecting magnet and the second connecting magnet are magnetized with a plurality of sets of magnetic poles.

これによれば、可動磁石と移動体部とを磁力により連結する連結部を第1連結磁石と第2連結磁石とで構成することで、振動等の外部影響があった場合でも、平面方向のズレを確実に抑えることができる。このことにより、駆動部の動作を確実に可動磁石に伝えることができ、検出精度の低下をより抑えることができる。   According to this, even if there is an external influence such as vibration, the connecting portion that connects the movable magnet and the moving body portion by the magnetic force is configured by the first connecting magnet and the second connecting magnet. Deviation can be reliably suppressed. As a result, the operation of the drive unit can be reliably transmitted to the movable magnet, and a decrease in detection accuracy can be further suppressed.

また、本発明の位置検出装置は、前記第1連結磁石と前記第2連結磁石とが互いに対向する少なくとも一方の表面が、樹脂で覆われていることを特徴としている。   In the position detection device of the present invention, at least one surface of the first coupling magnet and the second coupling magnet facing each other is covered with a resin.

これによれば、可動磁石が移動する際に、第1連結磁石と第2連結磁石とが摺接して、第1連結磁石と第2連結磁石が削れるのを防止することができる。このことにより、位置検出装置の耐久性を向上させることができる。   According to this, when a movable magnet moves, it can prevent that a 1st connection magnet and a 2nd connection magnet come into sliding contact, and a 1st connection magnet and a 2nd connection magnet are scraped. As a result, the durability of the position detection device can be improved.

また、本発明の位置検出装置は、前記第1連結磁石と第2連結磁石とが互いに対向する対向面の少なくとも一方が、曲面となっていることを特徴としている。   In the position detection device of the present invention, at least one of the facing surfaces where the first coupling magnet and the second coupling magnet face each other is a curved surface.

これによれば、移動体が傾きながら移動する場合でも、その傾きを曲面が吸収して、対向する第1連結磁石と第2連結磁石との当接する部分の当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石に対して傾きの影響を与ることなく、可動磁石を移動させることができる。このことにより、可動磁石による磁界が所望の値となるので、センサ部が可動磁石の動作を精度良く検出することができる。   According to this, even when the moving body moves while tilting, the curved surface absorbs the tilt, and the contact between the first and second connecting magnets facing each other is made smooth. Can do. For this reason, a movable magnet can be moved, without giving the influence of inclination with respect to a movable magnet. As a result, the magnetic field generated by the movable magnet becomes a desired value, so that the sensor unit can accurately detect the operation of the movable magnet.

本発明の位置検出装置は、移動体が僅かに傾き、移動体と係合している連結部が傾いても、可動磁石が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石は直線移動することになるので、移動体の影響を受けることによるセンサ部の検出精度の低下を抑えることができる。   In the position detection device of the present invention, even if the moving body is slightly tilted and the connecting portion that is engaged with the moving body is tilted, the movable magnet is not tilted and is connected by magnetic force while maintaining the same posture. For this reason, since a movable magnet will move linearly, the fall of the detection accuracy of a sensor part by receiving the influence of a moving body can be suppressed.

本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する分解斜視図である。It is a disassembled perspective view explaining the position detection apparatus of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the position detection apparatus of a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する側面図である。It is a side view explaining the position detection apparatus of a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する上面図である。It is a top view explaining the position detection apparatus of the first embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する図であって、図4に示すV−V線における断面図である。It is a figure explaining the position detection apparatus of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is sectional drawing in the VV line | wire shown in FIG. 本発明の第1実施形態の位置検出装置を説明する図であって、図5に示す可動磁石と移動体と連結部とを示した構成断面図である。It is a figure explaining the position detection apparatus of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is the structure sectional drawing which showed the movable magnet shown in FIG. 5, the moving body, and the connection part. 本発明の第1実施形態に係わる位置検出装置の動作を説明する図であって、図5の状態から可動磁石が上方に移動した状態を示す断面図である。It is a figure explaining operation | movement of the position detection apparatus concerning 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is sectional drawing which shows the state which the movable magnet moved upwards from the state of FIG. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する分解斜視図である。It is a disassembled perspective view explaining the position detection apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the position detection apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する側面図である。It is a side view explaining the position detection apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する上面図である。It is a top view explaining the position detection apparatus of the second embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する図であって、図11に示すXII−XII線における断面図である。It is a figure explaining the position detection apparatus of 2nd Embodiment of this invention, Comprising: It is sectional drawing in the XII-XII line | wire shown in FIG. 本発明の第2実施形態の位置検出装置を説明する図であって、図12に示す可動磁石と移動体と連結部とを示した構成断面図である。It is a figure explaining the position detection apparatus of 2nd Embodiment of this invention, Comprising: It is the structure sectional drawing which showed the movable magnet shown in FIG. 12, a moving body, and a connection part. 本発明の第2実施形態に係わる位置検出装置の動作を説明する図であって、図12の状態から可動磁石が上方に移動した状態を示す断面図である。It is a figure explaining operation | movement of the position detection apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention, Comprising: It is sectional drawing which shows the state which the movable magnet moved upwards from the state of FIG. 本発明の第1実施形態に係わる位置検出装置の変形例を説明する図であって、図15(a)は、変形例1を示す構成断面図であり、図15(b)は、変形例2を示す構成断面図である。FIGS. 15A and 15B are diagrams illustrating a modification of the position detection device according to the first embodiment of the present invention, in which FIG. 15A is a configuration cross-sectional view illustrating Modification 1, and FIG. FIG. 本発明の第2実施形態に係わる位置検出装置の変形例を説明する図であって、図16(a)は、変形例5を示す構成断面図であり、図16(b)は、変形例6を示す構成断面図である。It is a figure explaining the modification of the position detection apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention, Comprising: Fig.16 (a) is a structure sectional drawing which shows the modification 5, FIG.16 (b) is a modification. FIG. 従来例1におけるリニアポジションセンサの縦方向断面図である。It is a longitudinal direction sectional view of a linear position sensor in Conventional Example 1. 従来例2におけるダイヤフラム装置の縦方向断面構成図である。It is a vertical direction cross-section block diagram of the diaphragm apparatus in the prior art example 2.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態の位置検出装置101を説明する分解斜視図である。図2は、本発明の第1実施形態の位置検出装置101を説明する斜視図である。図3は、本発明の第1実施形態の位置検出装置101を説明する側面図である。図4は、本発明の第1実施形態の位置検出装置101を説明する上面図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a position detection apparatus 101 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view illustrating the position detection apparatus 101 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a side view illustrating the position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a top view for explaining the position detection apparatus 101 according to the first embodiment of the present invention.

本発明の第1実施形態の位置検出装置101は、図2ないし図4に示すような外観を呈し、上ケースK11と下ケースK19とを組み合わせて形成され、図1に示すように、上ケースK11及び下ケースK19内の空間を移動する可動磁石12と、可動磁石12の動作を検出するセンサ部13と、可動磁石12と一体的に駆動可能な移動体15と、可動磁石12と移動体15とを連結する連結部14と、可動磁石12を移動させる駆動部16と、を備えて構成されている。他に、第1実施形態の位置検出装置101は、外部機器と電気的に接続するためのコネクタCNが内蔵されたコネクタケースH18と、図示しない減圧源等の空気式制御装置にチューブ等で接続されるフィッティングF19と、を有している。   The position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention has an appearance as shown in FIGS. 2 to 4 and is formed by combining an upper case K11 and a lower case K19. As shown in FIG. K11 and movable magnet 12 that moves in the space inside lower case K19, sensor unit 13 that detects the operation of movable magnet 12, movable body 15 that can be driven integrally with movable magnet 12, movable magnet 12 and movable body 15, and a drive unit 16 that moves the movable magnet 12. In addition, the position detection device 101 of the first embodiment is connected to a connector case H18 containing a connector CN for electrical connection with an external device, and a pneumatic control device such as a decompression source (not shown) by a tube or the like. Fitting F19.

図5は、本発明の第1実施形態の位置検出装置101を説明する図であって、図4に示すV−V線における断面図である。図6は、図5に示す可動磁石12と移動体15と連結部14とを示した図である。図7は、本発明の第1実施形態に係わる位置検出装置101の動作を説明する図であって、図5の下限状態から可動磁石12が上方に移動して上限状態に位置した際の断面図である。   FIG. 5 is a diagram for explaining the position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line V-V shown in FIG. 4. FIG. 6 is a diagram showing the movable magnet 12, the moving body 15, and the connecting portion 14 shown in FIG. FIG. 7 is a view for explaining the operation of the position detection apparatus 101 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross section when the movable magnet 12 moves upward from the lower limit state of FIG. 5 and is positioned in the upper limit state. FIG.

先ず、位置検出装置101の上ケースK11及び下ケースK19は、金属材を加工して作製されており、上ケースK11と下ケースK19とが組み合わされた際には、図5及び図7に示すように、可動磁石12及び駆動部16を収容し可動磁石12が移動可能な収容部K1sを形成している。   First, the upper case K11 and the lower case K19 of the position detection device 101 are manufactured by processing a metal material, and when the upper case K11 and the lower case K19 are combined, they are shown in FIGS. Thus, the accommodating part K1s which accommodates the movable magnet 12 and the drive part 16, and can move the movable magnet 12 is formed.

また、上ケースK11には、図1ないし図3に示すように、中間部の側壁から垂直方向に延設されたフィッティングF19が設けられている。このフィッティングF19は、中空に形成されており、この中空により収容部K1sと外部とが空間で繋がっている。また、上ケースK11の上方側には、コネクタケースH18の一方側が挿入されて係合される係合受部K1gが設けられており、コネクタケースH18が配設されている。   Further, as shown in FIGS. 1 to 3, the upper case K11 is provided with a fitting F19 extending vertically from the side wall of the intermediate portion. The fitting F19 is formed in a hollow shape, and the housing portion K1s is connected to the outside through the hollow space. Further, on the upper side of the upper case K11, an engagement receiving portion K1g to which one side of the connector case H18 is inserted and engaged is provided, and the connector case H18 is provided.

また、下ケースK19には、図1に示すように、底面K19bの中央部に開口した開口部K19hを有しており、この開口部K19hには、図5に示すように、後述する移動体15の移動軸J5が挿通されている。また、開口部K19hにより、下ケースK19側の収容部K1s内を大気圧に保持している。   Further, as shown in FIG. 1, the lower case K19 has an opening K19h opened at the center of the bottom surface K19b. The opening K19h has a movable body, which will be described later, as shown in FIG. Fifteen moving axes J5 are inserted. Further, the opening K19h keeps the inside of the accommodating portion K1s on the lower case K19 side at atmospheric pressure.

次に、位置検出装置101の可動磁石12は、円柱形状の永久磁石を用いており、図1、図5及び図6に示すように、合成樹脂で作製された可動磁石ホルダH12に保持されている。この可動磁石ホルダH12は、可動磁石12の円柱外形を覆うように形成されており、可動磁石ホルダH12には、平面視して四方に突出して形成された4つのリブ部H12rと(図1参照)、可動磁石12の連結部14と対向する側に設けられたスペーサ部S4と、が設けられている。   Next, the movable magnet 12 of the position detection device 101 uses a cylindrical permanent magnet, and is held by a movable magnet holder H12 made of synthetic resin, as shown in FIGS. Yes. The movable magnet holder H12 is formed so as to cover the cylindrical outer shape of the movable magnet 12, and the movable magnet holder H12 includes four rib portions H12r formed to project in four directions in plan view (see FIG. 1). ), A spacer portion S4 provided on the side facing the connecting portion 14 of the movable magnet 12 is provided.

また、可動磁石ホルダH12のリブ部H12rは、図5及び図7に示すように、上ケースK11の内壁面K11pと当接するように構成されている。これにより、図5の下限状態と図7の上限状態との間を可動磁石12が上下移動(図5に示すZ方向移動)する際には、この内壁面K11pが案内面となり、可動磁石12の上下移動をガイドするようになる。このことにより、可動磁石12が上下方向(図5に示すZ方向)で直線移動することとなる。また、可動磁石ホルダH12のリブ部H12rと上ケースK11の内壁面K11pとが繰り返して摺接されるので、可動磁石12と内壁面K11pとが摺接される場合と比較して、可動磁石12の表面の削れを防止することができる。   Further, as shown in FIGS. 5 and 7, the rib portion H12r of the movable magnet holder H12 is configured to come into contact with the inner wall surface K11p of the upper case K11. Thus, when the movable magnet 12 moves up and down (moves in the Z direction shown in FIG. 5) between the lower limit state of FIG. 5 and the upper limit state of FIG. 7, this inner wall surface K11p becomes a guide surface, and the movable magnet 12 Guides up and down movement. As a result, the movable magnet 12 moves linearly in the vertical direction (Z direction shown in FIG. 5). Further, since the rib portion H12r of the movable magnet holder H12 and the inner wall surface K11p of the upper case K11 are repeatedly slidably contacted, the movable magnet 12 is compared with the case where the movable magnet 12 and the inner wall surface K11p are slidably contacted. The surface can be prevented from being scraped.

また、可動磁石ホルダH12のスペーサ部S4は、図5ないし図7に示すように、可動磁石12の連結部13側の表面を合成樹脂で覆うようにして配設されている。更に、このスペーサ部S4は、連結部14と対向する対向面が曲面となっている。なお、第1実施形態では、スペーサ部S4を別体で形成したが、可動磁石ホルダH12の本体と一体に形成されていても良い。また、可動磁石ホルダH12の合成樹脂材料として、フッ素樹脂やポリオキシメチレン(POM、polyoxymethylene)を用いるのが好適である。   Further, as shown in FIGS. 5 to 7, the spacer portion S4 of the movable magnet holder H12 is disposed so as to cover the surface of the movable magnet 12 on the connecting portion 13 side with a synthetic resin. Further, the spacer portion S4 has a curved surface facing the connecting portion 14. In addition, in 1st Embodiment, although spacer part S4 was formed separately, you may form integrally with the main body of the movable magnet holder H12. Moreover, it is suitable to use a fluororesin or polyoxymethylene (POM, polyoxymethylene) as a synthetic resin material of the movable magnet holder H12.

次に、位置検出装置101のセンサ部13は、ホール素子と半導体素子とが熱硬化性の合成樹脂でパッケージングされて形成されおり、図5及び図7に示すように、上ケースK11の側壁を挟んで可動磁石12と対向する外壁面K11qに配設されている。このセンサ部13は、回路基板に搭載され回路基板とともにコネクタケースH18の一方側に装着されているので、コネクタケースH18が上ケースK11の係合受部K1gに係合されるだけで、外壁面K11qと対向した位置に配設される。そして、センサ部13は、可動磁石12の上下方向の動作に伴う磁界の変化を検出して可動磁石12の位置を検出している。   Next, the sensor unit 13 of the position detection device 101 is formed by packaging a hall element and a semiconductor element with a thermosetting synthetic resin, and as shown in FIGS. 5 and 7, the side wall of the upper case K11 is formed. Is disposed on the outer wall surface K11q facing the movable magnet 12. Since the sensor unit 13 is mounted on the circuit board and mounted on the one side of the connector case H18 together with the circuit board, the connector case H18 is merely engaged with the engagement receiving part K1g of the upper case K11. It is disposed at a position facing K11q. And the sensor part 13 detects the change of the magnetic field accompanying the operation | movement of the up-down direction of the movable magnet 12, and has detected the position of the movable magnet 12. FIG.

次に、位置検出装置101の連結部14は、図5ないし図7に示すように、可動磁石12に対向するように配設された磁性体M4と、磁性体M4を保持するホルダ部H4と、を有して構成されている。このため、可動磁石12と連結部14の磁性体M4とが磁力により連結されるようになる。これにより、検出対象である可動磁石12を利用して、磁力により可動磁石12と連結部14との連結を可能にしている。このため、部品点数を増加させることなく連結部14を構成することができる。このことにより、位置検出装置101を容易にしかも安く作製することができる。なお、本発明の第1実施形態では、磁性体M4として永久磁石を用い、ホルダ部H4として合成樹脂を用いている。   Next, as shown in FIGS. 5 to 7, the connecting portion 14 of the position detection device 101 includes a magnetic body M4 disposed so as to face the movable magnet 12, and a holder portion H4 that holds the magnetic body M4. , And is configured. For this reason, the movable magnet 12 and the magnetic body M4 of the connecting portion 14 are connected by magnetic force. Thereby, the movable magnet 12 which is a detection target is used, and the movable magnet 12 and the connecting portion 14 can be connected by a magnetic force. For this reason, the connection part 14 can be comprised, without increasing a number of parts. As a result, the position detection device 101 can be easily and inexpensively manufactured. In the first embodiment of the present invention, a permanent magnet is used as the magnetic body M4, and a synthetic resin is used as the holder portion H4.

次に、位置検出装置101の移動体15は、可動磁石12と一体的に駆動可能となっており、図5及び図7に示すように、連結部14のホルダ部H4が固着されたピストン部P5と、ピストン部P5に係合された移動軸J5と、移動軸J5と係合しピストン部P5の下方(図5に示すZ2方向)に配設された補強板A5と、を有して構成されている。このため、可動磁石12と移動体15とが、可動磁石12と移動体15との間に配設された連結部14により、磁力で連結されるようになる。   Next, the moving body 15 of the position detecting device 101 can be driven integrally with the movable magnet 12, and as shown in FIGS. 5 and 7, the piston portion to which the holder portion H4 of the connecting portion 14 is fixed. P5, a moving shaft J5 engaged with the piston portion P5, and a reinforcing plate A5 engaged with the moving shaft J5 and disposed below the piston portion P5 (Z2 direction shown in FIG. 5). It is configured. For this reason, the movable magnet 12 and the movable body 15 are coupled by magnetic force by the coupling portion 14 disposed between the movable magnet 12 and the movable body 15.

移動体15のピストン部P5は、金属材を用い、図1、図5及び図7に示すように、円筒状に形成され、一方に底面部15bを有し、底面部15bの中央には、移動軸J5が挿通される穴部15hを有している。   The piston portion P5 of the moving body 15 is made of a metal material and is formed in a cylindrical shape as shown in FIGS. 1, 5 and 7, and has a bottom surface portion 15b on one side. In the center of the bottom surface portion 15b, It has a hole 15h through which the moving shaft J5 is inserted.

移動体15の補強板A5は、金属材を用い、図1に示すように、円盤状に形成され、中央には、移動軸J5が挿通される貫通孔15kを有している。   The reinforcing plate A5 of the moving body 15 is made of a metal material and is formed in a disk shape as shown in FIG. 1, and has a through hole 15k through which the moving shaft J5 is inserted at the center.

移動体15の移動軸J5は、金属材を用い、図1に示すように、略円柱状に形成され、一方側(図1に示すZ1側)に外形が小さい円柱状の突起部15tを有している。そして、移動軸J5は、図5及び図7に示すように、突起部15tが穴部15h及び貫通孔15kに挿通され、図示していない軸受けやリング等を用いて、ピストン部P5及び補強板A5に固着されている。また、他方側は図1では端面が平面の円柱形状であるが、接続される操作対象部品との結合の都合により種々の形状に変更が可能である。   The moving axis J5 of the moving body 15 is made of a metal material, is formed in a substantially cylindrical shape as shown in FIG. 1, and has a cylindrical protruding portion 15t having a small outer shape on one side (the Z1 side shown in FIG. 1). doing. As shown in FIGS. 5 and 7, the moving shaft J5 has a protrusion 15t inserted through the hole 15h and the through hole 15k, and a piston portion P5 and a reinforcing plate using a bearing or a ring (not shown). It is fixed to A5. In addition, the other side has a cylindrical shape with a flat end surface in FIG. 1, but can be changed into various shapes for convenience of connection with the operation target component to be connected.

また、この移動軸J5は、前述したように、下ケースK19の開口部K19hから下ケースK19外に突出して組立てられ、図示しないバルブ等の操作対象部品に連結されるように構成されている。このため、操作対象部品が移動軸J5に連結された際には、前述したように、操作対象部品の影響を受けて、移動体15の上下移動に伴い、移動軸J5が傾き移動体15全体が傾く場合が生じる。しかしながら、位置検出装置101は、可動磁石12と移動体15との間に、磁力により可動磁石12と移動体15とを連結している連結部14を設けているので、移動体15が僅かに傾き、移動体15と係合している連結部14が傾いても、可動磁石12が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石12は直線移動することになるので、移動体15の影響を受けることによるセンサ部13の検出精度の低下を抑えることができる。しかも、磁力により連結部14と可動磁石12とが連結しているので、振動等の外部影響があった場合でも、連結部14と可動磁石12とがずれることがなく、駆動部16の移動を確実に可動磁石12に伝えることができる。   Further, as described above, the moving shaft J5 is assembled so as to protrude from the opening K19h of the lower case K19 to the outside of the lower case K19, and is connected to an operation target component such as a valve (not shown). For this reason, when the operation target component is connected to the movement axis J5, as described above, the movement axis J5 is tilted as a whole with the vertical movement of the movable body 15 due to the influence of the operation target component. May tilt. However, since the position detection device 101 is provided with the connecting portion 14 that connects the movable magnet 12 and the moving body 15 by magnetic force between the movable magnet 12 and the moving body 15, the moving body 15 is slightly Even if the connecting portion 14 that is tilted and engaged with the moving body 15 is tilted, the movable magnet 12 is not tilted and is connected by a magnetic force while maintaining the same posture. For this reason, since the movable magnet 12 moves linearly, a decrease in detection accuracy of the sensor unit 13 due to the influence of the moving body 15 can be suppressed. Moreover, since the coupling portion 14 and the movable magnet 12 are coupled by magnetic force, the coupling portion 14 and the movable magnet 12 are not displaced even when there is an external influence such as vibration, and the movement of the driving portion 16 can be performed. It can be reliably transmitted to the movable magnet 12.

また、本発明の第1実施形態では、前述したように、連結部14の磁性体M4と対向する可動磁石12の一方の表面には、その表面を樹脂で覆うように構成されたスペーサ部S4が備えられている。これにより、可動磁石12が上下移動する際に、可動磁石12と磁性体M4とが摺接して可動磁石12及び磁性体M4が削れるのを防止することができる。   In the first embodiment of the present invention, as described above, one surface of the movable magnet 12 facing the magnetic body M4 of the connecting portion 14 is provided on the spacer portion S4 configured to cover the surface with resin. Is provided. Thereby, when the movable magnet 12 moves up and down, it can prevent that the movable magnet 12 and the magnetic body M4 slide, and the movable magnet 12 and the magnetic body M4 are shaved.

また、本発明の第1実施形態では、前述したように、可動磁石12と磁性体M4とが互いに対向する対向面の一方が曲面となっているので、移動体15が傾きながら移動する場合でも、その傾きをスペーサ部S4の曲面が吸収して、可動磁石12(スペーサ部S4)と磁性体M4との当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石12に対して傾きの影響を与えることなく、可動磁石12を直線移動させることができる。このことにより、可動磁石12による磁界が所望の値となるので、センサ部13が可動磁石12の動作を精度良く検出することができる。   In the first embodiment of the present invention, as described above, one of the opposing surfaces of the movable magnet 12 and the magnetic body M4 facing each other is a curved surface, so even when the moving body 15 moves while tilting. The curved surface of the spacer portion S4 absorbs the inclination, and the contact between the movable magnet 12 (spacer portion S4) and the magnetic body M4 can be made smooth. For this reason, the movable magnet 12 can be linearly moved without affecting the movable magnet 12 by an inclination. Thereby, since the magnetic field by the movable magnet 12 becomes a desired value, the sensor unit 13 can detect the operation of the movable magnet 12 with high accuracy.

最後に、位置検出装置101の駆動部16は、図5及び図7に示すように、収容部K1s内を2つの空間に分けるダイヤフラムD6と、ダイヤフラムD6の底部16bを付勢する付勢部材F6と、を有して構成されている。なお、2つの空間とは、ダイヤフラムD6の上ケースK11側の減圧室とダイヤフラムD6の下ケースK19側の大気室とを指している。   Finally, as shown in FIGS. 5 and 7, the drive unit 16 of the position detection device 101 includes a diaphragm D6 that divides the inside of the housing unit K1s into two spaces, and a biasing member F6 that biases the bottom 16b of the diaphragm D6. And is configured. The two spaces refer to a decompression chamber on the upper case K11 side of the diaphragm D6 and an atmosphere chamber on the lower case K19 side of the diaphragm D6.

駆動部16のダイヤフラムD6は、弾性を有するゴム材を用い、図1に示すように、円筒状に形成され、上ケースK11と下ケースK19とに挟持されるフランジ部16fと、変形自在な変形部16eと、中央に移動軸J5が挿通される貫通穴16h(図5を参照)を有する底部16bと、から構成されている。そして、ダイヤフラムD6は、図5及び図7に示すように、ダイヤフラムD6の底部16bがピストン部P5の底面部15bと補強板A5とに挟持されるように配設され、移動軸J5が貫通穴16hに挿通され、移動体15に固定されている。これにより、ダイヤフラムD6が変形してもダイヤフラムD6の底部16bは平面を保つことができる。   The diaphragm D6 of the drive unit 16 is made of a rubber material having elasticity, and is formed in a cylindrical shape as shown in FIG. 1, and a flange portion 16f sandwiched between the upper case K11 and the lower case K19, and a deformable deformation. It is comprised from the part 16e and the bottom part 16b which has the through-hole 16h (refer FIG. 5) by which the movement axis J5 is inserted in the center. As shown in FIGS. 5 and 7, the diaphragm D6 is disposed so that the bottom portion 16b of the diaphragm D6 is sandwiched between the bottom surface portion 15b of the piston portion P5 and the reinforcing plate A5, and the moving shaft J5 is formed in the through hole. It is inserted through 16 h and fixed to the moving body 15. Thereby, even if the diaphragm D6 deform | transforms, the bottom part 16b of the diaphragm D6 can maintain a plane.

駆動部16の付勢部材F6は、両端を平面に研磨したコイルバネで、図5及び図7に示すように、一方端が上ケースK11の天井面に当接し、他方端がピストン部P5の底面部15bに当接している。そして、付勢部材F6は、ピストン部P5を下方に付勢している。   The urging member F6 of the drive unit 16 is a coil spring whose both ends are flattened, and as shown in FIGS. 5 and 7, one end abuts against the ceiling surface of the upper case K11 and the other end is the bottom surface of the piston part P5. It is in contact with the portion 15b. The urging member F6 urges the piston portion P5 downward.

以上のようにして構成された駆動部16は、ダイヤフラムD6の変形により、可動磁石12を上下方向に移動させている。つまり、図5の下限状態から、チューブ等で空気式制御装置に接続されたフィッティングF19から減圧室が減圧されると、ダイヤフラムD6が変形し、付勢部材F6の付勢力に抗してダイヤフラムD6の底部16bが上方(図5に示すZ1方向)に移動するようになる。そして、減圧室の減圧による力が付勢部材F6の付勢力より大きく勝った場合には、図7の上限状態にまでダイヤフラムD6の底部16bの移動が行われる。一方、減圧室の減圧が解除されると、付勢部材F6の付勢力により、図5の下限状態にまで、ダイヤフラムD6の底部16bの移動が行われる。このようにして、駆動部16が上下方向に移動することにより、可動磁石12及び移動体15が上下方向に移動している。本発明の第1実施形態の位置検出装置101は、この際の可動磁石12の上下方向における位置を検出している。   The drive unit 16 configured as described above moves the movable magnet 12 in the vertical direction by deformation of the diaphragm D6. That is, when the decompression chamber is depressurized from the fitting F19 connected to the pneumatic control device by a tube or the like from the lower limit state of FIG. 5, the diaphragm D6 is deformed and resists the urging force of the urging member F6. The bottom part 16b of the first part moves upward (Z1 direction shown in FIG. 5). When the force due to the pressure reduction in the decompression chamber is greater than the biasing force of the biasing member F6, the bottom 16b of the diaphragm D6 is moved to the upper limit state of FIG. On the other hand, when the decompression of the decompression chamber is released, the bottom 16b of the diaphragm D6 is moved to the lower limit state of FIG. 5 by the biasing force of the biasing member F6. In this manner, the movable magnet 12 and the moving body 15 are moved in the vertical direction by the drive unit 16 moving in the vertical direction. The position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention detects the position of the movable magnet 12 in the vertical direction at this time.

以上のように構成された本発明の第1実施形態の位置検出装置101における、効果について、以下に纏めて説明する。   The effects of the position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described below.

本発明の第1実施形態の位置検出装置101は、可動磁石12と移動体15との間に、磁力により可動磁石12と移動体15とを連結している連結部14を設けたので、移動体15が僅かに傾き、移動体15と係合している連結部14が傾いても、可動磁石12が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石12は直線移動することになるので、移動体15の影響を受けることによるセンサ部13の検出精度の低下を抑えることができる。しかも、磁力により連結部14と可動磁石12とが連結しているので、振動等の外部影響があった場合でも、連結部14と可動磁石12とがずれることがなく、駆動部16の移動を確実に可動磁石12に伝えることができる。これらのことにより、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置101を提供することができる。   Since the position detection device 101 according to the first embodiment of the present invention includes the connecting portion 14 that connects the movable magnet 12 and the moving body 15 by the magnetic force between the movable magnet 12 and the moving body 15, Even if the body 15 is slightly tilted and the connecting portion 14 that is engaged with the moving body 15 is tilted, the movable magnet 12 is not tilted and is connected by a magnetic force while maintaining the same posture. For this reason, since the movable magnet 12 moves linearly, a decrease in detection accuracy of the sensor unit 13 due to the influence of the moving body 15 can be suppressed. Moreover, since the coupling portion 14 and the movable magnet 12 are coupled by magnetic force, the coupling portion 14 and the movable magnet 12 are not displaced even when there is an external influence such as vibration, and the movement of the driving portion 16 can be performed. It can be reliably transmitted to the movable magnet 12. As a result, it is possible to provide the position detection apparatus 101 in which a decrease in detection accuracy is suppressed.

また、連結部14が可動磁石12に対向するように配設された磁性体M4を有しているので、検出対象である可動磁石12を利用して、可動磁石12と移動体15との連結を磁力により可能にしている。このため、部品点数を増加させることなく連結部14を構成することができる。このことにより、位置検出装置101を容易にしかも安く作製することができる。   In addition, since the connecting portion 14 has the magnetic body M4 disposed so as to face the movable magnet 12, the movable magnet 12 and the movable body 15 are connected using the movable magnet 12 that is a detection target. Is made possible by magnetic force. For this reason, the connection part 14 can be comprised, without increasing a number of parts. As a result, the position detection device 101 can be easily and inexpensively manufactured.

また、可動磁石12と磁性体M4の互いに対向する表面が樹脂で覆われているので、可動磁石12が移動する際に、可動磁石12と磁性体M4とが摺接して可動磁石12及び磁性体M4が削れるのを防止することができる。このことにより、可動磁石12が削れることによる可動磁石12からの磁界の変化がないので、検出精度の低下をより抑えることができる。   Moreover, since the mutually opposing surfaces of the movable magnet 12 and the magnetic body M4 are covered with resin, when the movable magnet 12 moves, the movable magnet 12 and the magnetic body M4 come into sliding contact with each other, and the movable magnet 12 and the magnetic body It is possible to prevent the M4 from being scraped. Thereby, since there is no change in the magnetic field from the movable magnet 12 due to the scraping of the movable magnet 12, it is possible to further suppress a decrease in detection accuracy.

また、可動磁石12と磁性体M4とが互いに対向する対向面の一方が曲面となっているので、移動体15が傾きながら移動する場合でも、その傾きをこの曲面が吸収して、可動磁石12と磁性体M4との当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石12に対して傾きの影響を与ることなく、可動磁石12を直線移動させることができる。このことにより、可動磁石12による磁界が所望の値となるので、センサ部13が可動磁石12の動作を精度良く検出することができる。   Further, since one of the opposing surfaces of the movable magnet 12 and the magnetic body M4 facing each other is a curved surface, even when the moving body 15 moves while tilting, the curved surface absorbs the tilt and the movable magnet 12 is moved. And the magnetic body M4 can be made smooth. For this reason, the movable magnet 12 can be linearly moved without affecting the movable magnet 12 by an inclination. Thereby, since the magnetic field by the movable magnet 12 becomes a desired value, the sensor unit 13 can detect the operation of the movable magnet 12 with high accuracy.

[第2実施形態]
図8は、本発明の第2実施形態の位置検出装置102を説明する分解斜視図である。図9は、本発明の第2実施形態の位置検出装置102を説明する斜視図である。図10は、本発明の第2実施形態の位置検出装置102を説明する側面図である。図11は、本発明の第2実施形態の位置検出装置102を説明する上面図である。また、第2実施形態の位置検出装置102は、第1実施形態に対し、連結部24の構成が異なる。なお、第1実施形態と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is an exploded perspective view illustrating the position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a perspective view for explaining a position detection apparatus 102 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a side view illustrating the position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 11 is a top view for explaining a position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention. Moreover, the position detection apparatus 102 of 2nd Embodiment differs in the structure of the connection part 24 with respect to 1st Embodiment. In addition, about the same structure as 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted.

本発明の第2実施形態の位置検出装置102は、図9ないし図11に示すような外観を呈し、上ケースK11と下ケースK19とを組み合わせて形成され、図8に示すように、上ケースK11及び下ケースK19内の空間を移動する可動磁石22と、可動磁石22の動作を検出するセンサ部13と、可動磁石22と一体的に駆動可能な移動体25と、可動磁石22と移動体25とを連結する連結部24と、可動磁石22を移動させる駆動部26と、を備えて構成されている。他に、第2実施形態の位置検出装置102は、外部機器と電気的に接続するためのコネクタCNが内蔵されたコネクタケースH18と、図示しない減圧源等の空気式制御装置にチューブ等で接続されるフィッティングF19と、を有している。   The position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention has an appearance as shown in FIGS. 9 to 11 and is formed by combining an upper case K11 and a lower case K19. As shown in FIG. K11 and movable magnet 22 that moves in the space in lower case K19, sensor unit 13 that detects the operation of movable magnet 22, movable body 25 that can be driven integrally with movable magnet 22, movable magnet 22 and movable body 25, and a drive unit 26 that moves the movable magnet 22. In addition, the position detection device 102 of the second embodiment is connected to a connector case H18 having a connector CN for electrical connection with an external device, and a pneumatic control device such as a decompression source (not shown) by a tube or the like. Fitting F19.

図12は、本発明の第2実施形態の位置検出装置102を説明する図であって、図11に示すXII−XII線における断面図である。図13は、図12に示す可動磁石22と移動体25と連結部24とを示した図である。図14は、本発明の第2実施形態に係わる位置検出装置102の動作を説明する図であって、図12の下限状態から可動磁石22が上方に移動して上限状態に位置した際の断面図である。   FIG. 12 is a diagram illustrating the position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line XII-XII shown in FIG. FIG. 13 is a diagram showing the movable magnet 22, the moving body 25, and the connecting portion 24 shown in FIG. 12. FIG. 14 is a diagram for explaining the operation of the position detection apparatus 102 according to the second embodiment of the present invention, and is a cross section when the movable magnet 22 moves upward from the lower limit state of FIG. 12 and is positioned in the upper limit state. FIG.

先ず、位置検出装置102の上ケースK11及び下ケースK19は、本発明の第1実施形態と同様に、金属材を加工して作製されており、上ケースK11と下ケースK19とが組み合わされた際には、図12及び図14に示すように、可動磁石22及び駆動部26を収容し可動磁石22が移動可能な収容部K1sを形成している。なお、上ケースK11及び下ケースK19は、本発明の第1実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。   First, the upper case K11 and the lower case K19 of the position detection device 102 are manufactured by processing a metal material as in the first embodiment of the present invention, and the upper case K11 and the lower case K19 are combined. In this case, as shown in FIGS. 12 and 14, the movable magnet 22 and the drive unit 26 are accommodated, and the accommodating part K1s in which the movable magnet 22 is movable is formed. Since the upper case K11 and the lower case K19 have the same configuration as that of the first embodiment of the present invention, detailed description thereof is omitted.

次に、位置検出装置102の可動磁石22は、円筒形状の永久磁石を用いており、図8、図12及び図13に示すように、合成樹脂で作製された円筒形状の可動磁石ホルダH22に保持されている。この可動磁石22は、可動磁石ホルダH22が可動磁石22の円筒内に挿入されることにより、保持されている。なお、可動磁石ホルダH22の合成樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT、polybutyleneterephtalate)やポリアミド樹脂(polyamide)等を用いるのが好適である。   Next, the movable magnet 22 of the position detection device 102 uses a cylindrical permanent magnet. As shown in FIGS. 8, 12, and 13, a cylindrical movable magnet holder H22 made of synthetic resin is used. Is retained. The movable magnet 22 is held by the movable magnet holder H22 being inserted into the cylinder of the movable magnet 22. As the synthetic resin material for the movable magnet holder H22, it is preferable to use polybutylene terephthalate resin (PBT, polybutyleneterephtalate) or polyamide resin (polyamide).

次に、位置検出装置102のセンサ部13は、本発明の第1実施形態と同様に、ホール素子と半導体素子とが熱硬化性の合成樹脂でパッケージングされて形成されおり、図12及び図14に示すように、上ケースK11の側壁を挟んで可動磁石22と対向する外壁面K11qに配設されている。そして、センサ部13は、可動磁石22の上下方向の動作に伴う磁界の変化を検出して可動磁石22の位置を検出している。   Next, as in the first embodiment of the present invention, the sensor unit 13 of the position detection device 102 is formed by packaging a Hall element and a semiconductor element with a thermosetting synthetic resin. As shown in FIG. 14, it is disposed on the outer wall surface K11q facing the movable magnet 22 with the side wall of the upper case K11 interposed therebetween. The sensor unit 13 detects the position of the movable magnet 22 by detecting a change in the magnetic field accompanying the vertical movement of the movable magnet 22.

次に、位置検出装置102の連結部24は、図12ないし図14に示すように、磁石ホルダ部H14と、磁石ホルダ部H14の一方側に保持された第1連結磁石M14と、第1連結磁石M14と対向配置された第2連結磁石M24と、第2連結磁石M24を一方側に保持する移動体ホルダ部H24と、を有して構成されている。そして、図13に示すように、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24の対抗面は、複数組の磁極で着磁されている。このため、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが強い磁力により連結されるようになる。このことにより、振動等の外部影響があった場合でも、平面方向(図13に示すX方向)のズレを抑えることができ、駆動部26の動作を確実に可動磁石22に伝えることができる。   Next, as shown in FIGS. 12 to 14, the connecting portion 24 of the position detection device 102 includes a magnet holder portion H14, a first connecting magnet M14 held on one side of the magnet holder portion H14, and a first connecting portion. It has a second connecting magnet M24 disposed to face the magnet M14, and a moving body holder H24 that holds the second connecting magnet M24 on one side. And as shown in FIG. 13, the opposing surface of the 1st connection magnet M14 and the 2nd connection magnet M24 is magnetized by the multiple sets of magnetic poles. For this reason, the 1st connecting magnet M14 and the 2nd connecting magnet M24 come to be connected by strong magnetic force. Thus, even when there is an external influence such as vibration, the displacement in the plane direction (X direction shown in FIG. 13) can be suppressed, and the operation of the drive unit 26 can be reliably transmitted to the movable magnet 22.

また、図12及び図14に示すように、連結部24の磁石ホルダ部H14の他方側には、可動磁石22が対向配置されて、可動磁石22と連結部24とが磁力により連結されている。また、移動体ホルダ部H24の他方側には、移動体25が固着されている。このため、可動磁石22と移動体25とが磁力により連結されるようになる。なお、可動磁石22と連結部24とを磁力により好適に連結しているが、可動磁石ホルダH22と磁石ホルダ部H14とを嵌合させ、可動磁石22と連結部24とを連結しても良い。   As shown in FIGS. 12 and 14, the movable magnet 22 is disposed opposite to the other side of the magnet holder portion H <b> 14 of the connecting portion 24, and the movable magnet 22 and the connecting portion 24 are connected by magnetic force. . The moving body 25 is fixed to the other side of the moving body holder portion H24. For this reason, the movable magnet 22 and the moving body 25 are connected by magnetic force. In addition, although the movable magnet 22 and the connection part 24 are connected suitably by magnetic force, the movable magnet holder H22 and the magnet holder part H14 may be fitted and the movable magnet 22 and the connection part 24 may be connected. .

また、本発明の第2実施形態では、図12ないし図14に示すように、第2連結磁石M24とと対向する第1連結磁石M14の一方の表面には、その表面を樹脂で覆うように構成されたスペーサ部S24を備えている。これにより、可動磁石22が上下移動する際に、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが摺動して、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが摺接して可動磁石22が削れるのを防止することができる。   Moreover, in 2nd Embodiment of this invention, as shown in FIG. 12 thru | or 14, it covers so that the surface may be covered with resin on the one surface of the 1st connection magnet M14 facing the 2nd connection magnet M24. A configured spacer portion S24 is provided. Thereby, when the movable magnet 22 moves up and down, the first coupling magnet M14 and the second coupling magnet M24 slide, and the first coupling magnet M14 and the second coupling magnet M24 come into sliding contact with each other and the movable magnet 22 is in contact. Can be prevented from scraping.

更に、本発明の第2実施形態では、図12ないし図14に示すように、このスペーサ部S24における第2連結磁石M24と対向する対向面が曲面となっている。つまり、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが互いに対向する対向面の一方が曲面となっている構成である。なお、本発明の第2実施形態では、磁石ホルダ部H14及び移動体ホルダ部H24として合成樹脂を用いている。   Furthermore, in 2nd Embodiment of this invention, as shown in FIG. 12 thru | or 14, the opposing surface which opposes the 2nd connection magnet M24 in this spacer part S24 is a curved surface. That is, one of the facing surfaces where the first connecting magnet M14 and the second connecting magnet M24 face each other is a curved surface. In the second embodiment of the present invention, synthetic resin is used as the magnet holder portion H14 and the moving body holder portion H24.

次に、位置検出装置102の移動体25は、可動磁石22と一体的に駆動可能となっており、図12及び図14に示すように、連結部24の移動体ホルダ部H24が固着されたピストン部P5と、ピストン部P5に係合された移動軸J5と、移動軸J5と係合しピストン部P5の下方(図12に示すZ2方向)に配設された補強板A5と、を有して構成されている。このため、可動磁石22と移動体25とが、可動磁石22と移動体25との間に配設された連結部24により、磁力で連結されるようになる。   Next, the moving body 25 of the position detecting device 102 can be driven integrally with the movable magnet 22, and the moving body holder portion H24 of the connecting portion 24 is fixed as shown in FIGS. A piston portion P5; a moving shaft J5 engaged with the piston portion P5; and a reinforcing plate A5 engaged with the moving shaft J5 and disposed below the piston portion P5 (Z2 direction shown in FIG. 12). Configured. For this reason, the movable magnet 22 and the movable body 25 are coupled by magnetic force by the coupling portion 24 disposed between the movable magnet 22 and the movable body 25.

移動体25のピストン部P5、補強板A5及び移動軸J5は、第1実施形態と同様に、金属材を用いて形成されている。なお、ピストン部P5、補強板A5及び移動軸J5は、本発明の第1実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。   The piston part P5, the reinforcing plate A5, and the moving shaft J5 of the moving body 25 are formed using a metal material as in the first embodiment. Since the piston part P5, the reinforcing plate A5, and the moving shaft J5 have the same configuration as that of the first embodiment of the present invention, detailed description thereof is omitted.

このように構成された移動体25の移動軸J5が図示しないバルブ等の操作対象部品に連結された際には、前述したように、操作対象部品の影響を受けて、移動体25の上下移動に伴い、移動軸J5が傾き移動体25全体が傾く場合が生じる。しかしながら、位置検出装置102は、可動磁石22と移動体25との間に、磁力により可動磁石22と移動体25とを連結している連結部24を設けているので、移動体25が僅かに傾き、移動体25と係合している連結部24の一方側(移動体ホルダ部H24側)が傾いても、可動磁石22が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石22は直線移動することになるので、移動体25の影響を受けることによるセンサ部13の検出精度の低下を抑えることができる。しかも、磁力により連結部24の一方側と、連結部24の他方側(磁石ホルダ部H14側)を介して可動磁石22と、が連結しているので、振動等の外部影響があった場合でも、連結部24一方側と連結部24の他方側とがずれることがなく、駆動部26の移動を確実に可動磁石22に伝えることができる。   When the moving axis J5 of the moving body 25 configured in this way is connected to an operation target component such as a valve (not shown), as described above, the vertical movement of the moving body 25 is influenced by the operation target component. As a result, the movement axis J5 is inclined and the entire moving body 25 is inclined. However, since the position detecting device 102 is provided with the connecting portion 24 that connects the movable magnet 22 and the moving body 25 by magnetic force between the movable magnet 22 and the moving body 25, the moving body 25 is slightly Even if one side (moving body holder portion H24 side) of the connecting portion 24 that is tilted and engaged with the moving body 25 is tilted, the movable magnet 22 is not tilted and is connected by a magnetic force while maintaining the same posture. . For this reason, since the movable magnet 22 moves linearly, a decrease in detection accuracy of the sensor unit 13 due to the influence of the moving body 25 can be suppressed. Moreover, since one side of the connecting portion 24 and the movable magnet 22 are connected via the other side (magnet holder portion H14 side) of the connecting portion 24 by magnetic force, even when there is an external influence such as vibration. The one side of the connecting portion 24 and the other side of the connecting portion 24 are not displaced, and the movement of the driving portion 26 can be reliably transmitted to the movable magnet 22.

また、位置検出装置102は、前述したように、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが互いに対向する対向面の一方が曲面となっているので、移動体25が傾きながら移動する場合でも、その傾きを曲面が吸収して、対向する第1連結磁石M14と第2連結磁石M24との当接する部分の当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石22に対して傾きの影響を与ることなく、可動磁石22を直線移動させることができる。このことにより、可動磁石22による磁界が所望の値となるので、センサ部13が可動磁石22の動作を精度良く検出することができる。   In addition, as described above, in the position detection device 102, since one of the opposing surfaces where the first coupling magnet M14 and the second coupling magnet M24 face each other is a curved surface, the moving body 25 moves while tilting. However, the curved surface can absorb the inclination, and the contact of the first contact magnet M14 and the second connection magnet M24 facing each other can be made smooth. For this reason, the movable magnet 22 can be linearly moved without affecting the movable magnet 22 by an inclination. Thereby, since the magnetic field by the movable magnet 22 becomes a desired value, the sensor unit 13 can detect the operation of the movable magnet 22 with high accuracy.

最後に、位置検出装置102の駆動部26は、本発明の第1実施形態と同様に、図12及び図14に示すように、収容部K1s内を2つの空間に分けるダイヤフラムD6と、ダイヤフラムD6の底部26bを付勢する付勢部材F6と、を有して構成されている。なお、2つの空間とは、ダイヤフラムD6の上ケースK11側の減圧室とダイヤフラムD6の下ケースK19側の大気室とを指している。また、駆動部26は、本発明の第1実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。   Finally, as in the first embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 12 and 14, the drive unit 26 of the position detection device 102 includes a diaphragm D6 that divides the interior of the housing unit K1s into two spaces, and a diaphragm D6. And an urging member F6 for urging the bottom portion 26b. The two spaces refer to a decompression chamber on the upper case K11 side of the diaphragm D6 and an atmosphere chamber on the lower case K19 side of the diaphragm D6. Further, since the drive unit 26 has the same configuration as that of the first embodiment of the present invention, detailed description thereof is omitted.

以上のようにして構成された位置検出装置102は、図12に示す下限状態から減圧室が減圧されると、ダイヤフラムD6が変形し、付勢部材F6の付勢力に抗してダイヤフラムD6の底部26bが上方(図12に示すZ1方向)に移動するようになる。そして、減圧室の減圧による力が付勢部材F6の付勢力より勝った場合には、図14の上限状態にまでダイヤフラムD6の底部26bの移動が行われる。一方、減圧室の減圧が解除されると、付勢部材F6の付勢力により、図12の下限状態にまで、ダイヤフラムD6の底部26bの移動が行われる。このようにして、駆動部26が上下方向に移動することにより、可動磁石22及び移動体25が上下方向に移動している。本発明の第2実施形態の位置検出装置102は、この際の可動磁石22の上下方向における位置を検出している。   In the position detection device 102 configured as described above, when the decompression chamber is decompressed from the lower limit state shown in FIG. 12, the diaphragm D6 is deformed and resists the urging force of the urging member F6, and the bottom of the diaphragm D6. 26b moves upward (Z1 direction shown in FIG. 12). Then, when the force due to the decompression of the decompression chamber is greater than the urging force of the urging member F6, the bottom 26b of the diaphragm D6 is moved to the upper limit state of FIG. On the other hand, when the decompression of the decompression chamber is released, the bottom 26b of the diaphragm D6 is moved to the lower limit state of FIG. 12 by the biasing force of the biasing member F6. In this way, the movable part 22 moves in the vertical direction by moving the drive unit 26 in the vertical direction. The position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention detects the position of the movable magnet 22 in the vertical direction at this time.

以上のように構成された本発明の第2実施形態の位置検出装置102における、効果について、以下に纏めて説明する。   The effects of the position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention configured as described above will be collectively described below.

以上により、本発明の第2実施形態の位置検出装置102は、可動磁石22と移動体25との間に、磁力により可動磁石22と移動体25とを連結している連結部24を設けているので、移動体25が僅かに傾き、移動体25と係合している連結部24の一方側(移動体ホルダ部H24側)が傾いても、可動磁石22が傾くことはなくそのままの姿勢を保ちつつ磁力で連結されている。このため、可動磁石22は直線移動することになるので、移動体25の影響を受けることによるセンサ部13の検出精度の低下を抑えることができる。しかも、磁力により連結部24の一方側と、連結部24の他方側(磁石ホルダ部H14側)を介して可動磁石22と、が連結しているので、振動等の外部影響があった場合でも、連結部24一方側と連結部24の他方側とがずれることがなく、駆動部26の移動を確実に可動磁石22に伝えることができる。   As described above, the position detection device 102 according to the second embodiment of the present invention includes the connecting portion 24 that connects the movable magnet 22 and the moving body 25 by magnetic force between the movable magnet 22 and the moving body 25. Therefore, even if the moving body 25 is slightly tilted and the one side (moving body holder H24 side) of the connecting portion 24 that is engaged with the moving body 25 is tilted, the movable magnet 22 is not tilted and remains as it is. It is connected by magnetic force while maintaining. For this reason, since the movable magnet 22 moves linearly, a decrease in detection accuracy of the sensor unit 13 due to the influence of the moving body 25 can be suppressed. Moreover, since one side of the connecting portion 24 and the movable magnet 22 are connected via the other side (magnet holder portion H14 side) of the connecting portion 24 by magnetic force, even when there is an external influence such as vibration. The one side of the connecting portion 24 and the other side of the connecting portion 24 are not displaced, and the movement of the driving portion 26 can be reliably transmitted to the movable magnet 22.

また、可動磁石22と移動体25とを磁力により連結する連結部24を第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とで構成することで、振動等の外部影響があった場合でも、平面方向のズレを確実に抑えることができる。このことにより、駆動部26の動作を確実に可動磁石22に伝えることができ、検出精度の低下をより抑えることができる。   In addition, since the connecting portion 24 that connects the movable magnet 22 and the moving body 25 by magnetic force is configured by the first connecting magnet M14 and the second connecting magnet M24, even when there is an external influence such as vibration, the planar direction It is possible to reliably suppress the deviation. As a result, the operation of the drive unit 26 can be reliably transmitted to the movable magnet 22 and a decrease in detection accuracy can be further suppressed.

また、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24の互いに対向する表面が樹脂で覆われているので、可動磁石22が移動する際に、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24とが摺接して、第1連結磁石M14と第2連結磁石M24が削れるのを防止することができる。このことにより、位置検出装置102の耐久性を向上させることができる。   Further, since the surfaces of the first connecting magnet M14 and the second connecting magnet M24 facing each other are covered with resin, when the movable magnet 22 moves, the first connecting magnet M14 and the second connecting magnet M24 slide. In contact therewith, it is possible to prevent the first coupling magnet M14 and the second coupling magnet M24 from being scraped. As a result, the durability of the position detection device 102 can be improved.

また、磁石ホルダ部H14と移動体ホルダ部H24とが当接する箇所の少なくとも一方が曲面となっているので、移動体25が傾きながら移動する場合でも、その傾きを曲面が吸収して、対向する第1連結磁石M14と第2連結磁石M24との当接する部分の当接を滑らかなものとすることができる。このため、可動磁石22に対して傾きの影響を与ることなく、可動磁石22を移動させることができる。このことにより、可動磁石22による磁界が所望の値となるので、センサ部13が可動磁石22の動作を精度良く検出することができる。   In addition, since at least one of the portions where the magnet holder portion H14 and the moving body holder portion H24 come into contact with each other is a curved surface, even when the moving body 25 moves while tilting, the curved surface absorbs the tilt and opposes it. The contact of the first contact magnet M14 and the second connection magnet M24 in contact with each other can be made smooth. For this reason, the movable magnet 22 can be moved without affecting the movable magnet 22 by an inclination. Thereby, since the magnetic field by the movable magnet 22 becomes a desired value, the sensor unit 13 can detect the operation of the movable magnet 22 with high accuracy.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, For example, it can deform | transform and implement as follows, These embodiments also belong to the technical scope of this invention.

図15は、本発明の第1実施形態に係わる位置検出装置101の変形例を説明する図であって、図15(a)は、可動磁石12及び連結部B14を示した変形例1の構成断面図であり、図15(b)は、可動磁石12及び連結部C14を示した変形例2の構成断面図である。図16は、本発明の第2実施形態に係わる位置検出装置102の変形例を説明する図であって、図16(a)は、可動磁石22及び連結部B24を示した変形例5の構成断面図であり、図16(b)は、可動磁石22及び連結部24を示した変形例6の構成断面図である。   FIG. 15 is a diagram for explaining a modification of the position detection apparatus 101 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 15A shows the configuration of the modification 1 showing the movable magnet 12 and the connecting portion B14. It is sectional drawing, FIG.15 (b) is a structure sectional drawing of the modification 2 which showed the movable magnet 12 and the connection part C14. FIG. 16 is a diagram for explaining a modification of the position detection apparatus 102 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 16A shows the configuration of the modification 5 showing the movable magnet 22 and the connecting portion B24. It is sectional drawing and FIG.16 (b) is a structure sectional drawing of the modification 6 which showed the movable magnet 22 and the connection part 24. As shown in FIG.

<変形例1>
上記第1実施形態では、連結部14のホルダ部H4を合成樹脂の材質を用いて構成したが、図15(a)に示すように、鉄等の軟磁性体の材質を用いてホルダ部BH4を好適に構成しても良い。これにより、ホルダ部BH4がヨークとなり、より磁力が向上し、可動磁石12と連結部B14との磁力による連結を強固なものとすることができる。
<Modification 1>
In the first embodiment, the holder portion H4 of the connecting portion 14 is configured using a synthetic resin material. However, as shown in FIG. 15A, the holder portion BH4 is formed using a soft magnetic material such as iron. May be suitably configured. Thereby, the holder part BH4 becomes a yoke, the magnetic force is further improved, and the connection by the magnetic force between the movable magnet 12 and the connecting part B14 can be strengthened.

<変形例2>
上記第1実施形態では、連結部14を磁性体M4とホルダ部H4とで構成にしたが、図15(b)に示すように、鉄等の軟磁性体の材質を用いて磁性体CM4として構成しても良い。これにより、部品点数の削減ができ、位置検出装置101を容易にしかも安く作製することができる。また、図15(b)に示すように、可動磁石12と磁性体CM4との間に配設されるスペーサ部BS4を磁性体CM4側に設け、磁性体CM4とスペーサ部BS4とで連結部C14を構成しても良い。
<Modification 2>
In the first embodiment, the connecting portion 14 is composed of the magnetic body M4 and the holder portion H4. However, as shown in FIG. 15B, the magnetic body CM4 is made of a soft magnetic material such as iron. It may be configured. Thereby, the number of parts can be reduced, and the position detection apparatus 101 can be manufactured easily and inexpensively. Further, as shown in FIG. 15B, a spacer portion BS4 disposed between the movable magnet 12 and the magnetic body CM4 is provided on the magnetic body CM4 side, and the connecting portion C14 is formed by the magnetic body CM4 and the spacer portion BS4. May be configured.

<変形例3>
上記第1実施形態では、可動磁石12と磁性体M4とが互いに対向する表面の内、一方が樹脂で覆われている構成としたが、両方の表面を樹脂で覆う構成としても良い。更に、両方の表面を曲面としても良い。
<Modification 3>
In the first embodiment, one of the surfaces of the movable magnet 12 and the magnetic body M4 facing each other is covered with the resin. However, both surfaces may be covered with the resin. Furthermore, both surfaces may be curved.

<変形例4>
上記第1実施形態では、磁性体M4として永久磁石を用いたが、鉄等の軟磁性体の材質を用いたブロック体であっても良い。
<Modification 4>
In the said 1st Embodiment, although the permanent magnet was used as the magnetic body M4, the block body using the material of soft magnetic bodies, such as iron, may be sufficient.

<変形例5>
上記第2実施形態では、連結部24の移動体ホルダ部H24を合成樹脂の材質を用いて構成したが、図16(a)に示すように、鉄等の軟磁性体の材質を用いて移動体ホルダ部BH24を好適に構成しても良い。これにより、移動体ホルダ部BH24がヨークとなり、より磁力が向上し、可動磁石22と連結部B24との磁力による連結を強固なものとすることができる。
<Modification 5>
In the second embodiment, the movable body holder portion H24 of the connecting portion 24 is configured using a synthetic resin material. However, as illustrated in FIG. 16A, the movable body holder portion H24 is moved using a soft magnetic material such as iron. The body holder part BH24 may be suitably configured. Thereby, the moving body holder part BH24 becomes a yoke, magnetic force improves more, and the connection by the magnetic force of the movable magnet 22 and connection part B24 can be strengthened.

<変形例6>
図16(b)に示すように、上記第2実施形態の可動磁石22の外周に、第1実施形態と同様なリブ部CH22rを設けた構成でも良い。これにより、図12の下限状態と図14の上限状態との間を可動磁石22が上下移動(図12に示すZ方向移動)する際には、上ケースK11の内壁面K11pが案内面となり、可動磁石22の上下移動をガイドするようになる。このことにより、可動磁石22が上下方向(図12に示すZ方向)で直線移動することとなる。
<Modification 6>
As shown in FIG. 16B, a configuration in which a rib portion CH22r similar to that of the first embodiment is provided on the outer periphery of the movable magnet 22 of the second embodiment may be employed. Thereby, when the movable magnet 22 moves up and down (moving in the Z direction shown in FIG. 12) between the lower limit state of FIG. 12 and the upper limit state of FIG. 14, the inner wall surface K11p of the upper case K11 becomes a guide surface. The vertical movement of the movable magnet 22 is guided. As a result, the movable magnet 22 moves linearly in the vertical direction (Z direction shown in FIG. 12).

本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.

12、22 可動磁石
13 センサ部
14、24、B14、B24、C14 連結部
H4、BH4 ホルダ部
H14 磁石ホルダ部
H24、BH24 移動体ホルダ部
M4、CM4 磁性体
M14 第1連結磁石
M24 第2連結磁石
15、25 移動体
16、26 駆動部
101、102 位置検出装置
12, 22 Movable magnet 13 Sensor part 14, 24, B14, B24, C14 Connecting part H4, BH4 Holder part H14 Magnet holder part H24, BH24 Moving body holder part M4, CM4 Magnetic body M14 First connecting magnet M24 Second connecting magnet 15, 25 Moving body 16, 26 Drive unit 101, 102 Position detection device

Claims (7)

可動磁石と、該可動磁石の動作を検出するセンサ部と、前記可動磁石を移動させる駆動部と、を有する位置検出装置において、
前記可動磁石と一体的に駆動可能な移動体を有し、
前記可動磁石と前記移動体との間に、磁力により前記可動磁石と前記移動体とを連結する連結部が設けられていることを特徴とする位置検出装置。
In a position detection device having a movable magnet, a sensor unit that detects the operation of the movable magnet, and a drive unit that moves the movable magnet,
A movable body that can be driven integrally with the movable magnet;
A position detecting device, wherein a connecting portion for connecting the movable magnet and the moving body by a magnetic force is provided between the movable magnet and the moving body.
前記連結部は、前記可動磁石に対向するように配設された磁性体と、前記移動体が固着され前記磁性体を保持するホルダ部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。   The said connection part has the magnetic body arrange | positioned so as to oppose the said movable magnet, and the holder part to which the said moving body adheres and hold | maintains the said magnetic body, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Position detection device. 前記可動磁石と前記磁性体とが互いに対向する少なくとも一方の表面は、樹脂で覆われていることを特徴とする請求項2に記載の位置検出装置。   The position detection device according to claim 2, wherein at least one surface of the movable magnet and the magnetic body facing each other is covered with a resin. 前記可動磁石と前記磁性体とが互いに対向する対向面の少なくとも一方は、曲面となっていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の位置検出装置。   4. The position detection device according to claim 2, wherein at least one of facing surfaces where the movable magnet and the magnetic body face each other is a curved surface. 5. 前記連結部は、第1連結磁石を一方側に保持する磁石ホルダ部と、第2連結磁石を一方側に保持する移動体ホルダ部と、を有し、
前記磁石ホルダ部の他方側には、前記可動磁石が対向配置され、
前記移動体ホルダ部の他方側には、前記移動体が固着され、
前記第1連結磁石と前記第2連結磁石とが対向配置されており、
前記第1連結磁石と前記第2連結磁石の対抗面は複数組の磁極で着磁されていることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
The connecting portion has a magnet holder portion that holds the first connecting magnet on one side, and a moving body holder portion that holds the second connecting magnet on the one side,
The movable magnet is disposed opposite to the other side of the magnet holder part,
The movable body is fixed to the other side of the movable body holder part,
The first connecting magnet and the second connecting magnet are arranged opposite to each other;
The position detecting device according to claim 1, wherein opposing surfaces of the first connecting magnet and the second connecting magnet are magnetized by a plurality of sets of magnetic poles.
前記第1連結磁石と前記第2連結磁石とが互いに対向する少なくとも一方の表面は、樹脂で覆われていることを特徴とする請求項5に記載の位置検出装置。   The position detecting device according to claim 5, wherein at least one surface of the first connecting magnet and the second connecting magnet facing each other is covered with a resin. 前記第1連結磁石と第2連結磁石とが互いに対向する対向面の少なくとも一方は、曲面となっていることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の位置検出装置。   The position detection device according to claim 5 or 6, wherein at least one of opposing surfaces of the first connecting magnet and the second connecting magnet facing each other is a curved surface.
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