KR20050090635A - 반도체 제조 설비의 냉각수 유량을 조절하기 위한 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 냉각수 유량 조절 장치에 관한 것이다. 본 발명의 냉각수 유량 조절 장치는 냉각수 유량 압력이 일정하지 않는 난조 현상(hunting)을 방지하기 위하여, 냉각수 공급원과 반도체 제조 설비 사이의 배관에 이중 구조의 레귤레이터 밸브들을 구비한다. 이중 구조의 레귤레이터 밸브들은 2 차적으로 냉각수 유량을 조절함으로써, 냉각수 유량 압력의 난조 현상에 대응하여 안정적인 냉각수를 공급한다.

Description

반도체 제조 설비의 냉각수 유량을 조절하기 위한 장치{APPARATUS FOR CONTROLLING FLOW OF WATER IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 확산 설비의 냉각수 유량을 안정적으로 조절하기 위한 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 설비에서 냉각수(water)의 유량을 제어하는 레큘레이터 밸브(regulator valve)의 기능은 냉각수 공급원으로부터 유입되는 냉각수 압력을 수동으로 조절하여 밸브의 개폐에 따른 유량을 제어한다.

이 때, 기 조절된 레귤레이터 밸브는 수동으로 재 조절하지 않는 이상, 항상 일정한 냉각수가 공급되도록 고정되어 있다. 그러나 냉각수 공급원의 압력은 여러가지 원인으로 항상 일정하지 않고 변화하기 때문에, 플로우 미터를 통하여 냉각수의 유량을 확인해보면, 유량이 일정하지 않는 난조 현상(hunting)이 발생된다.

냉각수 유량의 난조 현상이 발생되면, 반도체 제조 설비는 공정 조건이 변하게 되거나, 냉각 기능을 제대로 수행하지 못하게 되어, 각종 사고를 유발할 수 있다.

도 1을 참조하면, 일반적인 냉각수 유량 조절 장치(10)는 배관(16)에 하나의 레귤레이터 밸브(12)를 구비하여 유량을 제어한다. 그러나, 실제로 현장에서 플로우 미터(14)를 통해 냉각수의 유량을 확인해 보면, 유량이 일정하지 않는 난조 현상이 발생되는 경우가 빈번하다.

상술한 바와 같이, 일반적인 냉각수 유량 조절 장치(10)는 냉각수 유량을 제어하는 레귤레이터 밸브(12)가 냉각수 배관에 연결되어 유량을 조절하게 되고, 플로우 미터(flow meter)(14)를 통하여 유량을 측정하게 되는데, 플로우 미터의 유량을 확인 시, 유량이 일정하지 않고 일정한 폭의 난조 현상을 가지고 유입된다.

또한 난조 현상으로 인하여 냉각수 유량에 따라 튜브(tube) 온도가 변화하는 공정에서 튜브 온도 변화에 의해 작업 사고가 발생될 수 있다.

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 일정한 냉각수 유량을 유지하도록 조절하여 안정적으로 냉각수를 공급하기 위한 장치를 제공하는데 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은 유량이 일정하지 않는 난조 현상으로 발생되는 작업 사고를 예방하기 위한 냉각수 유량 조절 장치를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 설비의 냉각수 유량을 조절하는 장치는, 냉각수 공급원으로부터 상기 반도체 제조 설비로 냉각수를 공급하는 배관과; 상기 배관에 장착되어 상기 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 조절하는 이중 구조의 레귤레이터 밸브들을 갖는 레귤레이터 모듈 및; 상기 배관으로 공급되는 냉각수의 유량을 측정하는 플로우 미터를 포함한다.

이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 레귤레이터 모듈은; 상기 배관에 장착되어 상기 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 1차적으로 조절하는 제 1 레귤레이터 밸브 및, 상기 제 1 레귤레이터 밸브와 직렬로 연결되며, 일정한 냉각수 유량을 조절하기 위해 2 차적으로 조절하는 제 2 레귤레이터 밸브를 포함한다.

따라서 본 발명에 의하면, 이중 구조의 레귤레이터 밸브를 구비함으로써, 2 차적으로 유량을 조절하여 안정적으로 냉각수를 공급한다.

이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 반도제 제조 설비에서의 냉각수 유량 조절 장치의 구성을 도시한 도면이다.

도면을 참조하면, 상기 냉각수 유량 조절 장치(100)는 배관(106)과, 플로우 미터(104) 및 레귤레이터 모듈(110)을 포함한다.

상기 배관(106)은 냉각수 공급원(미도시됨)으로부터 반도체 제조 설비(미도시됨)로 냉각수를 공급한다.

상기 레귤레이터 모듈(110)은 상기 배관(106)에 장착되어 상기 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 조절하는 이중 구조의 레귤레이터 밸브들(102, 108)을 포함한다.

상기 레귤레이터 모듈(110)은 상기 배관(106)에 제 1 및 제 2 레귤레이터 밸브(102, 108)가 직렬로 설치되며, 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 2 차에 걸쳐 유량을 조절한다. 즉, 상기 제 1 레귤레이터 밸브(102)는 1차적으로 유량 압력을 조절하고, 상기 제 2 레귤레이터 밸브(108)는 2 차적으로 조절한다.

그리고 상기 플로우 미터(104)는 상기 레귤레이터 모듈(110)로부터 출력되는 냉각수 유량을 측정하여, 상기 배관(106)으로 공급되는 냉각수의 유량을 검사한다.

그러므로 본 발명의 냉각수 유량 조절 장치(100)는 제 1 레귤레이터 밸브(102)를 통해 1 차 냉각수 압력을 제어하고, 제 2 레귤레이터 밸브(108)를 통해 제 1 레귤레이터 밸브(102)로부터 출력되는 냉각수의 압력을 2 차로 제어하여 유량을 조절함으로써, 냉각수 유량의 난조 폭을 줄인다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 냉각수 유량 제어 장치는 이중 구조의 레귤레이터 밸브들을 구비하여 냉각수 유량을 조절함으로써, 안정적으로 냉각수를 공급할 수 있으며, 이로 인해 난조 현상으로 발생되는 작업 사고를 예방할 수 있다.

도 1은 일반적인 반도제 제조 설비에서의 냉각수 유량 조절 장치의 구성을 도시한 도면; 그리고

도 2는 본 발명에 따른 반도제 제조 설비에서의 냉각수 유량 조절 장치의 구성을 도시한 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100 : 유량 조절 장치

102 : 제 1 레귤레이터 밸브

104 : 플로우 미터

106 : 배관

108 : 제 2 레귤레이터 밸브

Claims (2)

1. 반도체 제조 설비의 냉각수 유량을 조절하는 장치에 있어서:

   냉각수 공급원으로부터 상기 반도체 제조 설비로 냉각수를 공급하는 배관과;

   상기 배관에 장착되어 상기 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 조절하는 이중 구조의 레귤레이터 밸브들을 갖는 레귤레이터 모듈 및;

   상기 배관으로 공급되는 냉각수의 유량을 측정하는 플로우 미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 유량 조절 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 레귤레이터 모듈은;

   상기 배관에 장착되어 상기 냉각수 공급원으로부터 일정한 냉각수 유량이 공급되도록 1차적으로 조절하는 제 1 레귤레이터 밸브 및,

   상기 제 1 레귤레이터 밸브와 직렬로 연결되며, 일정한 냉각수 유량을 조절하기 위해 2 차적으로 조절하는 제 2 레귤레이터 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각수 유량 조절 장치.