CN114576391B - 用于对流体阀进行操作的方法及系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种用于对流体阀进行操作的方法。该方法包括对流体阀执行第一调节方法，在该第一调节方法中：绕着纵向中心轴线调节阀杆在流体室中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开流体阀的泄露；在检查气体的泄露小于第一预定阈值时，停止调节阀杆的定向并将第二驱动机构中的驱动气体压力从第一预定压力值增大到第三预定压力值，以保持阀杆的定向。本申请还提供了一种用于对流体阀进行操作的系统，该系统用于实现前述的方法。根据本申请，能够快速且操作方便地纠正流体阀的阀杆在流体室中的定向偏斜，从而对流体阀进行维修，使得流体阀能够被再次使用。这能够节约成本，并提高经济效益。

Description

用于对流体阀进行操作的方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制造设备的领域，具体而言，涉及半导体器件制造中使用的流体阀的泄漏检测和维修，和对流体阀进行操作的方法及系统，更具体地涉及用于对流体阀进行调节和验证的方法及系统。

背景技术

流体阀是用于控制流体流动的重要部件。例如，在半导体制造和测试领域中，热阵列系统被用于在老化测试平台中以在老化测试时提供温度控制。为此，流体阀被用于控制来自冷却系统的冷却剂到热阵列系统的流动。

一种典型的流体阀包括流体室、进入通道、第一排出通道和第二排出通道，其中该进入通道通过流体室分别与第一排出通道和第二排出通道流体连通，以形成第一流体通路和第二流体通路。阀杆被设置在流体室中，并且被配置成在流体室中移动以在第一极限位置与第二极限位置之间移动。该阀杆在处于第一极限位置时使第一流体通路被阻断而使第二流体通路处于接通，并且在处于第二极限位置时使第二流体通路被阻断而使第一流体通路处于接通。通过这种方式，流体阀能够在第一流体通路与第二流体通路之间切换，以实现对诸如冷却剂之类的流体流动的控制。

然而，由于诸如异物进入流体室、用于支承阀杆的机构移位之类的原因，会导致阀杆在流体室中的定向偏斜，从而导致这种流体阀在阀杆处于第一极限位置和/或第二极限位置时发生不期望的泄露。在诸如半导体制造之类的工业环境中，通常用新的流体阀替换存在泄露的流体阀，并将存在泄露的流体阀作为废品处理。这造成了极大的浪费。

因此，需要对这种流体阀进行操作的方法及系统，以维修存在泄露的流体阀。

发明内容

有鉴于此，本申请提供了用于对流体阀进行操作的方法及系统。

根据本申请的一个方面，提供了一种用于对流体阀进行操作的方法。所述流体阀包括：主体部分，所述主体部分设有流体室、进入通道、第一排出通道和第二排出通道，所述进入通道通过所述流体室分别与所述第一排出通道和所述第二排出通道流体连通，以形成第一流体通路和第二流体通路；被设置在所述流体室中的阀杆，所述阀杆限定纵向中心轴线；分别在所述主体部分的相反两侧被可拆卸地安装到所述主体部分的第一驱动机构和第二驱动机构，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构分别被配置成与所述阀杆可拆卸地连接，以将所述阀杆支承在所述流体室中，并且驱动所述阀杆沿着所述纵向中心轴线的方向在第一极限位置与第二极限位置之间移动，所述阀杆在处于所述第一极限位置时使所述第一流体通路被阻断而使所述第二流体通路处于接通，并且在处于所述第二极限位置时使所述第二流体通路被阻断而使所述第一流体通路处于接通，其中，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构分别被配置成能够在其中接收驱动气体以在驱动气体的压力作用下在所述纵向中心轴线的方向上对所述阀杆施加相向推力，并且响应于驱动气体的压力变化改变所述相向推力以驱动所述阀杆在所述第一极限位置与所述第二极限位置之间移动。所述方法包括对所述流体阀执行第一调节方法，所述第一调节方法包括以下步骤：从所述流体阀拆下所述第一驱动机构；向所述第二驱动机构供给驱动气体使所述第二驱动机构中的驱动气体压力被保持在第一预定压力值，以使所述阀杆处于所述第一极限位置；封堵所述第二排出通道，以阻止气体通过所述第二排出通道离开所述流体阀；向所述进入通道供给检查气体，以将所述第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值；绕着所述纵向中心轴线调节所述阀杆在所述流体室中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开所述流体阀的泄露；在检查气体的泄露小于第一预定阈值时，停止调节所述阀杆的定向并将所述第二驱动机构中的驱动气体压力从所述第一预定压力值增大到第三预定压力值，以保持所述阀杆的定向；将拆下的所述第一驱动机构安装回到所述流体阀。

根据本申请的另一个方面，提供了一种用于对流体阀进行操作的系统。所述系统用于实现前述的方法，所述系统包括：检查气体供给装置，所述检查气体供给装置被配置成用于连接在检查气体源与所述进入通道之间，并且可调节地将来自所述检查气体源的检查气体供给到所述进入通道；驱动气体供给装置，所述驱动气体供给装置被配置成用于连接在驱动气体源与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构之间，并且可调节地将来自所述驱动气体源的驱动气体供给到所述第一驱动机构和所述第二驱动机构；第一封堵装置，所述第一封堵装置被配置成用于连接到所述第一排出通道的出口，并且被配置成能够在第一封堵状态和第一开放状态之间切换，所述第一封堵装置在处于所述第一封堵状态时阻止气体从所述第一排出通道的出口排出所述流体阀，并且在处于所述第一开放状态时允许气体经由所述第一排出通道的出口排出所述流体阀；第二封堵装置，所述第二封堵装置被配置成用于连接到所述第二排出通道的出口，并且被配置成能够在第二封堵状态和第二开放状态之间切换，所述第二封堵装置在处于所述第二封堵状态时阻止气体从所述第二排出通道的出口排出所述流体阀，并且在处于所述第二开放状态时允许气体经由所述第二排出通道的出口排出所述流体阀；第一监测装置，所述第一监测装置被配置成用于监测通过检查气体供给装置向所述进入通道供给的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者；第二监测装置，所述第二监测装置被配置成用于在所述第一封堵装置处于所述第一开放状态、且所述第二封堵装置处于所述第二封堵状态时监测通过所述第一排出通道离开所述流体阀的检查气体流动，以及被配置成能够在所述第一封堵装置处于所述第一封堵状态、且所述第二封堵装置处于所述第二开放状态时监测通过所述第二排出通道离开所述流体阀的检查气体流动。

根据本申请，能够快速且操作方便地纠正流体阀的阀杆在流体室中的定向偏斜，从而对流体阀进行维修，使得流体阀能够被再次使用。这能够节约成本，并提高经济效益。

附图说明

下面将结合附图来更彻底地理解并认识本发明的上述和其它方面。应当注意的是，附图仅为示意性的，并非按比例绘制。在附图中：

图1示意性地示出了一种示例性流体阀的横截面图，根据本申请优选实施例的方法可用于对该流体阀进行操作；

图2A示意性地示出了根据本申请优选实施例的用于对流体阀进行操作的系统的第一构型，图1所示的流体阀被连接到该系统以被执行验证；

图2B示意性地示出了图2A所示系统的第二构型，图1所示的流体阀被连接到该系统以被执行调节，其中该流体阀的第一驱动机构被拆下；

图3示意性地根据本申请优选实施例的用于流体阀的第一验证方法的流程图；

图4示意性地根据本申请优选实施例的用于流体阀的第一调节方法的流程图；

图5示意性地示出了图1所示的流体阀，其中，该流体阀的第一驱动机构被拆下；

图6示意性地示出了图2A所示的系统的第一调节销；以及

图7示意性地示出了图2A所示的系统的四个第一引导销。

具体实施方式

下面结合示例详细描述本申请的一些优选实施例。本领域技术人员应理解到的是，这些实施例仅是示例性的，并不意味着对本申请形成任何限制。此外，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的特征可以相互组合。在附图中，为简要起见而省略了其它的部件，但这并不表明本申请的装置不可包括其它部件。应理解到，附图中各部件的尺寸、比例关系以及部件的数目均不作为对本申请的限制。

下面结合图1至图7来详细描述本申请的方法和系统的优选实施例。

图1示意性地示出了一种示例性流体阀1的横截面图，根据本申请的方法可用于对该流体阀1进行操作。该流体阀1例如可以在半导体制造和测试领域中使用，其可以是用于调节被提供到热阵列系统的冷却剂的流动的液体流动控制阀，该热阵列系统被用于在半导体芯片的老化测试平台中使用以提供温度控制。

如图1所示，流体阀1包括主体部分3、分别在主体部分3的相反两侧被可拆卸地安装到主体部分3的第一驱动机构5和第二驱动机构7、以及阀杆9。主体部分3设有流体室11、进入通道13、第一排出通道15和第二排出通道17。进入通道13通过流体室11分别与第一排出通道15和第二排出通道17流体连通，以形成第一流体通路和第二流体通路。也就是说，第一流体通路从进入通道13通过流体室11到第一排出通道15，并且第二流体通路从进入通道13通过流体室11到第二排出通道17。进入通道13、第一排出通道15和第二排出通道17分别被配置成与流体阀1的外部连通。

阀杆9被设置在流体室11中，并且限定纵向中心轴线19。第一驱动机构5和第二驱动机构7分别被配置成与阀杆9可拆卸地连接，以将阀杆9支承在流体室11中，并且驱动阀杆9沿着纵向中心轴线19的方向在第一极限位置(如图1所示)与第二极限位置之间移动。阀杆9在处于第一极限位置时使第一流体通路被阻断而使第二流体通路处于接通，并且在处于第二极限位置时使第二流体通路被阻断而使第一流体通路处于接通。通过这种方式，流体阀1能够在第一流体通路与第二流体通路之间切换。

具体而言，如图1所示，阀杆9包括从其本体朝着流体室11的内壁突出的第一环形突部9a，并且流体室11的内壁的一部分包括朝着阀杆9突出以形成第二环形突部11a。第一环形突部9a与第二环形突部11a被配置成当阀杆9在沿着纵向中心轴线19的第一方向上达到第一极限位置时彼此接合，以限制阀杆9在第一方向上进一步移动。在图1中示意性地示出了第一环形突部9a与第二环形突部11a的这种接合。第一环形突部9a与第二环形突部11a的这种接合能够阻挡流体从流体室11进入第一排出通道15，从而使第一流体通路被阻断，而不阻挡流体从流体室11进入第二排出通道17，从而使第二流体通路处于接通。如图1所示，流体阀1还包括被设置在流体室11中的阀座21。阀座21被固定在流体室11中。第一环形突部9a与阀座21被配置成当阀杆9在沿着纵向中心轴线19与第一方向相反的第二方向上达到第二极限位置时彼此接合，以限制阀杆9在第二方向上进一步移动。第一环形突部9a与阀座21的这种接合阻挡流体从流体室11(例如通过阀座21中的孔口)进入第二排出通道17，从而使第二流体通路被阻断，而不阻挡流体从流体室11进入第一排出通道15，从而使第一流体通路处于接通。如图1所示，第一极限位置可以比第二极限位置更靠近第一驱动机构5。

应理解到，以上描述的诸如第一环形突部9a、第二环形突部11a和阀座21仅是示例性的，本申请不限于此。流体阀1也可以包括其它合适形式的内部结构。

还应理解到，在一些示例中，阀杆9在处于第一极限位置与第二极限位置之间的其它位置时可以使第一流体通路和第二流体通路同时被接通，并且通过在第一位置与第二位置的移动来调节第一流体通路与第二流体通路的通流能力之比。

第一驱动机构5和第二驱动机构7分别被配置成能够在其中接收驱动气体以在驱动气体的压力作用下在纵向中心轴线19的方向上对阀杆9施加相向推力，并且响应于驱动气体的压力变化改变相向推力以驱动阀杆9在第一极限位置与第二极限位置之间移动。

如图1所示，第一驱动机构5包括设有第一驱动室5a的第一盖部5b、第一支承分隔件5c和第一驱动部5d。第一盖部5b被可拆卸地安装到主体部分3。第一支承分隔件5c被配置成安装在主体部分3与第一盖部5b之间，以将流体室11与第一驱动室5a分隔开。第一驱动部5d被配置成在阀杆9的沿着纵向中心轴线19的第一端处可拆卸地连接到阀杆9，使得第一支承分隔件5c被夹持在阀杆9与第一驱动部5d之间。

继续参考图1，第二驱动机构7包括设有第二驱动室7a的第二盖部7b、第二支承分隔件7c和第二驱动部7d。第二盖部7b被可拆卸地安装到主体部分3。第二支承分隔件7c被配置成安装在主体部分3与第二盖部7b之间，以将流体室11与第二驱动室7a分隔开。第二驱动部7d被配置成在阀杆9的沿着纵向中心轴线19且与第一端相反的第二端处可拆卸地连接到阀杆9，使得第二支承分隔件7c被夹持在阀杆9与第二驱动部7d之间。

第一支承分隔件5c和第二支承分隔件7c被配置成支承阀杆9、第一驱动部5d和第二驱动部7d，使得阀杆9在流体室11中，第一驱动部5d在第一驱动室5a中，且第二驱动部7d在第二驱动室7a中，并且使得阀杆9能够在第一极限位置与第二极限位置之间移动。

第一支承分隔件5c和第二支承分隔件7c例如可以是不锈钢片。在第一支承分隔件5c与主体部分3、第一盖部5b、阀杆9之间可以设置有O形圈，以提供气密密封。在第二支承分隔件7c与主体部分3、第二盖部7b、阀杆9之间也可以设置有O形圈，以提供气密密封。

第一驱动室5a和第二驱动室7a分别被配置成能够在其中接收驱动气体，并且第一驱动部5d和第二驱动部7d被配置成能够在第一驱动室5a和第二驱动室7a中的驱动气体的压力作用下对阀杆9施加相向推力，并且响应于第一驱动室5a和第二驱动室7a中的驱动气体的压力变化改变相向推力以驱动阀杆9。

具体而言，如图1所示，第一驱动机构5可以包括第一驱动分隔件5e，其被设置在第一驱动室5a中以将第一驱动室5a分隔为第一子室51a和第二子室51b。第二驱动机构7可以包括第二驱动分隔件7e，其被设置在第二驱动室7a中以将第二驱动室7a分隔为第三子室71a和第四子室71b。第一驱动分隔件5e和第二驱动分隔件7e例如可以是柔性的隔膜，其能够阻隔气体流动并且响应于气压变化而形变。第一驱动机构5可以设有将第一子室51a与第一驱动机构5的外部连通以接收驱动气体的第一驱动气体通道5f、以及将第二子室51b与第一驱动机构5的外部连通以平衡压力的第一平衡通道5g。第二驱动机构7可以设有将第三子室71a与第二驱动机构7的外部连通以接收驱动气体的第二驱动气体通道7f、以及将第四子室71b与第二驱动机构7的外部连通以平衡压力的第二平衡通道7g。第一驱动部5d包括第一驱动端面51c，并且第二驱动部7d包括第二驱动端面71c。当流体阀1处于组装时，第一驱动部5d被连接到阀杆9使得第一驱动端面51c抵靠第一驱动分隔件5e，从而使得第一驱动室5a中的驱动气体的压力能够对第一驱动端面51c施加力，并且第二驱动部7d被连接到阀杆9使得第二驱动端面71c抵靠第二驱动分隔件7e，从而使得第二驱动室7a中的驱动气体的压力能够对第二驱动端面71c施加力。通过这种方式，第一驱动部5d和第二驱动部7d能够在第一驱动室5a和第二驱动室7a中的驱动气体的压力作用下对阀杆9施加相向推力，并且响应于第一驱动室5a和第二驱动室7a中的驱动气体的压力变化改变相向推力以驱动阀杆9。

在一些示例中，第一驱动端面51c与第二驱动端面71c可以具有不同面积。在这种情况下，例如可以通过在第一子室51a和第三子室71a中施加相同的驱动气体压力来驱动阀杆9处于某一位置(例如第一极限位置或第二极限位置)。在这些示例中的一个中，第一驱动端面51c的面积大于第二驱动端面71c的面积。应理解到，本申请不限于此。

还应理解到，以上描述的第一驱动机构5和第二驱动机构7的部件和结构仅是示例性的，本申请不限于此，并且第一驱动机构5和第二驱动机构7也可以呈其它合适的形式。

继续参考图1，第一驱动部5d被配置成通过第一螺栓23可拆卸地连接到阀杆9。阀杆9包括在其第一端处凹入阀杆9的第一螺纹孔9b，用以接收第一螺栓23。第一盖部5b被配置成通过至少两个第二螺栓25(图1中仅示出了一个第二螺栓)可拆卸地安装到主体部分3。主体部分3包括用以接收至少两个第二螺栓25的至少两个第二螺纹孔3a(图1中仅示出了一个第二螺纹孔)。当第一盖部5b被安装到主体部分3并且第一支承分隔件5c被安装在主体部分3与第一盖部5b之间时，第一螺栓23从第一驱动部5d穿过第一支承分隔件5c中的第一孔27延伸到阀杆9中，并且至少两个第二螺栓25穿过第一盖部5b中的相应至少两个第二孔29(图1中仅示出了一个第二孔)并穿过第一支承分隔件5c中的相应至少两个第三孔31(图1中仅示出了一个第三孔)延伸到主体部分3中。类似地，第二驱动部7d被配置成通过第三螺栓33可拆卸地连接到阀杆9。阀杆9包括在其第二端处凹入阀杆9的第三螺纹孔9c，用以接收第三螺栓33。第二盖部7b被配置成通过至少两个第四螺栓35(图1中仅示出了一个第四螺栓)可拆卸地安装到主体部分3。主体部分3包括用以接收至少两个第四螺栓35的至少两个第四螺纹孔3b(图1中仅示出了一个第四螺纹孔)。当第二盖部7b被安装到主体部分3并且第二支承分隔件7c被安装在主体部分3与第二盖部7b之间时，第三螺栓33从第二驱动部7d穿过第二支承分隔件7c中的第四孔37延伸到阀杆9中，并且至少两个第四螺栓35穿过第二盖部7b中的相应至少两个第五孔39(图1中仅示出了一个第五孔)且穿过第二支承分隔件7c中的相应至少两个第六孔41(图1中仅示出了一个第六孔)延伸到主体部分3中。应理解到，以上描述的连接方式仅是示例性的，本申请不限于此。

对于如图1所示的流体阀1，由于诸如异物进入流体室11、用于支承阀杆9的第一驱动机构5和/或第二驱动机构7(例如，第一驱动机构5的第一支承分隔件5c和/或第二驱动机构7的第二支承分隔件7c)移位之类的原因，会导致阀杆9在流体室11中的定向偏斜(例如，相对于居中于流体室11中的位置偏斜)，从而导致流体阀1在阀杆9处于第一极限位置和/或第二极限位置时发生不期望的泄露。

发明人已经意识到可以采取根据本申请优选实施例的方法和系统对流体阀1进行操作，以对流体阀1进行调节和验证。下面将结合图2A至图7来详细描述根据本申请优选实施例的方法和系统。

图2A示意性地示出了根据本申请优选实施例的用于对流体阀1进行操作的系统100的第一构型，该系统100可以实现本申请优选实施例的方法。如图2A所示，系统100被连接到流体阀1，以用于对流体阀1进行操作，这将在下文详细描述。系统100包括检查气体供给装置101、驱动气体供给装置103、第一封堵装置107、第二封堵装置109、第一监测装置111和第二监测装置113。这些装置能够以被组装成平台设备的方式或者以任何其它合适的方式来组成系统100。应理解到，系统100的装置不限于此，并且还可以包括任何其它合适的装置。

检查气体供给装置101被配置成用于连接在检查气体源105与流体阀1的主体部分3的进入通道13之间，并且可调节地将来自检查气体源105的检查气体向进入通道13供给。检查气体供给装置101被配置成可调节地将来自检查气体源105的检查气体供给到进入通道13意味着检查气体供给装置101能够通过调节向进入通道13供给的检查气体来调节流体阀1的第一流体通路和第二流体通路中的至少一者中的压力。例如，检查气体供给装置101可以根据流体阀1的第一流体通路和第二流体通路中的至少一者中的压力来调节向进入通道13供给的检查气体的量，从而将流体阀1的第一流体通路和第二流体通路中的至少一者中的压力保持在预设值。检查气体供给装置101可以是诸如压力调节阀(例如，减压阀)之类的机构。

驱动气体供给装置103被配置成用于连接在驱动气体源(在图2A中也以“105”标示)与第一驱动机构5和第二驱动机构7之间，并且可调节地将来自驱动气体源的驱动气体供给到第一驱动机构5和第二驱动机构7。具体而言，驱动气体供给装置103被配置成将驱动气体源分别连接到第一驱动机构5的第一驱动气体通道5f和第二驱动机构7的第二驱动气体通道7f，以将来自驱动气体源的驱动气体供给到第一驱动机构5的第一子室51a和第二驱动机构7的第三子室71a。驱动气体供给装置103被配置成可调节地将来自驱动气体源的驱动气体供给到第一驱动机构5和第二驱动机构7，意味着驱动气体供给装置103能够通过调节向第一驱动机构5和第二驱动机构7供给驱动气体，从而来调节第一驱动机构5和第二驱动机构7中的压力。通过这种方式，第一驱动机构5和第二驱动机构7能够在其中接收驱动气体，以在驱动气体的压力作用下对阀杆9施加前述的相向推力，并且响应于驱动气体的压力变化改变相向推力以驱动阀杆9在第一极限位置与第二极限位置之间移动。驱动气体供给装置103可以是任何合适类型的压力调节机构。在如图2A所示的示例中，检查气体源105和驱动气体源可以是同一气体源。检查气体和驱动气体例如可以是无油空气(OFA)。应理解到，本申请不限于此。

在第一驱动端面51c的面积大于第二驱动端面71c的面积的示例中，驱动气体供给装置103包括压力调节阀103a和开关阀103b。压力调节阀103a被配置成能够可调节地向第一驱动机构5和第二驱动机构7供给来自驱动气体源的驱动气体，以将第一驱动机构5和第二驱动机构7中的压力保持在同一压力值。开关阀103b连接在压力调节阀103a与第一驱动机构5之间，并且被配置成能够在第一状态和第二状态之间切换。开关阀103b在处于第一状态时阻断驱动气体从压力调节阀103a到第一驱动机构5的流动，并且在处于第二状态时允许驱动气体从压力调节阀103a流动到第一驱动机构5。也就是说，在压力调节阀103a向第一驱动机构5和第二驱动机构7供给来自驱动气体源的驱动气体的情况下，在开关阀103b处于第二状态时，驱动气体被分别供给到第一驱动机构5和第二驱动机构7。在这种情况下，由于第一驱动端面51c的面积大于第二驱动端面71c的面积，第一驱动部5d受到的推力大于第二驱动部7d受到的推力，使得阀杆9被保持在第二极限位置。而在开关阀103b处于第一状态时，驱动气体仅被供给到第二驱动机构7。在这种情况下，第一驱动部5d受到的推力小于第二驱动部7d受到的推力，使得阀杆9被保持在第一极限位置。应理解到，本申请不限于此。例如，在其它部分示例中，开关阀103b也可以连接在压力调节阀103a与第二驱动机构7之间。

第一封堵装置107被配置成用于连接到第一排出通道15的出口，并且被配置成能够在第一封堵状态和第一开放状态之间切换。第一封堵装置107在处于第一封堵状态时阻止气体从第一排出通道15的出口排出流体阀1，并且在处于第一开放状态时允许气体经由第一排出通道15的出口排出流体阀1。类似地，第二封堵装置109被配置成用于连接到第二排出通道17的出口，并且被配置成能够在第二封堵状态和第二开放状态之间切换。类似于第一封堵装置107，第二封堵装置109在处于第二封堵状态时阻止气体从第二排出通道17的出口排出流体阀1，并且在处于第二开放状态时允许气体经由第二排出通道17的出口排出流体阀1。在一些示例中，如图2A所示，第一封堵装置107包括设置在第一支管107a上的第一开关阀107b，第一支管107a被配置成连接到第一排出通道15的出口，并且第二封堵装置109包括设置在第二支管109a上的第二开关阀109b，第二支管109a被配置成连接到第二排出通道17的出口。在其它部分示例中，第一封堵装置107和第二封堵装置109可以是密封件或堵头。应理解到，本申请不限于此，并且第一封堵装置107和第二封堵装置109可以呈任何其它合适的形式。

第一监测装置111被配置成用于监测通过检查气体供给装置101向进入通道13供给的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者。在一些示例中，如图2A所示，检查气体供给装置101被设置在将检查气体源105连接到进入通道13的第三支管101a上。第一监测装置111在检查气体供给装置101与进入通道13之间被连接到第三支管101a，以监测第三支管101a中的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者，从而监测通过检查气体供给装置101向进入通道13供给的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者。第一监测装置111可以是气体压力计、气体流量计或者其组合。

第二监测装置113被配置成用于在第一封堵装置107处于第一开放状态、且第二封堵装置109处于第二封堵状态时监测通过第一排出通道15离开流体阀1的检查气体流动，以及被配置成能够在第一封堵装置107处于第一封堵状态、且第二封堵装置109处于第二开放状态时监测通过第二排出通道17离开流体阀1的检查气体流动。在一些示例中，第二监测装置113包括在第一开关阀107b的下游连接到第一支管107a的第一气体流量计(未在图中示出)和在第二开关阀109b的下游连接到第二支管109a的第二气体流量计(未在图中示出)。第一气体流量计和第二气体流量计是同一气体流量计或不同的气体流量计。例如，如在图2A所示的示例中，第一气体流量计和第二气体流量计是同一气体流量计。

图3示意性地用于流体阀1的第一验证方法的流程图。第一验证方法能够用于验证流体阀1在第一极限位置是否存在向着第一排出通道15的不期望泄漏。第一验证方法能够由图2A中描绘的系统100的第一构型实现。应理解，不期望泄露是指超出允许范围的泄露，例如瞬时流量大于零或某一值的泄露。如在本文中所使用的，“瞬时流量”是指单位时间内流经一定截面的流体量。

如图3所示，在步骤S101，控制流体阀1的第一驱动机构5和第二驱动机构7使阀杆9处于第一极限位置。具体而言，可以通过前述系统100中的驱动气体供给装置103来可调节地向流体阀1的第一驱动机构5和第二驱动机构7供给来自驱动气体源的驱动气体，以调节阀杆9受到的相向推力，从而使阀杆9处于第一极限位置。

接下来，在步骤S102，封堵流体阀1的第二排出通道17的出口以阻止气体通过第二排出通道17离开流体阀1，并且开放流体阀1的第一排出通道15的出口以允许气体通过第一排出通道15离开流体阀1。具体而言，可以通过使前述系统100中的第一封堵装置107处于第一开放状态且使前述系统100中的第二封堵装置109处于第二封堵状态来封堵第二排出通道17的出口并开放第一排出通道15的出口。

接下来，在步骤S103，向流体阀1的进入通道13供给检查气体，以将流体阀1的第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值(例如，0.3MPa或其它合适的值)。具体而言，可以通过前述系统100中的检查气体供给装置101来可调节地将来自检查气体源105的检查气体向进入通道13供给，以调节第二流体通路中的检查气体，从而将第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值。

接下来，在步骤S104，监测通过第一排出通道15离开流体阀1的检查气体是否超出第一预定阈值。在监测到通过第一排出通道15离开流体阀1的检查气体超出第一预定阈值时，确定在阀杆9处于第一极限位置时存在向着第一排出通道15的不期望泄漏。具体而言，可以通过前述系统100中的第二监测装置113来监测通过第一排出通道15离开流体阀1的检查气体流动。在这种情况下，第一预定阈值可以是瞬时流量值。在监测到通过第一排出通道15离开流体阀1的检查气体超出第一预定阈值时，可以确定从第一环形突部9a与第二环形突部11a之间进入第一排出通道15的泄露过大，阀杆9在流体室11中的定向可能偏斜。

通过图3中描绘的第一验证方法，能够快速且准确地验证流体阀1在第一极限位置是否存在不期望的泄漏。

根据本申请优选实施例的方法还可以包括用于流体阀1的第二验证方法。第二验证方法能够用于验证流体阀1在第二极限位置是否存在向着第二排出通道17的不期望泄漏。类似于图3中描绘的第一验证方法，第二验证方法可以包括如下步骤：(i)控制第一驱动机构5和第二驱动机构7使阀杆9处于第二极限位置；(ii)封堵第一排出通道15的出口以阻止气体通过第一排出通道15离开流体阀1，并且开放第二排出通道17的出口以允许气体通过第二排出通道17离开流体阀1；(iii)向进入通道13供给检查气体，以将第一流体通路中的检查气体压力保持在第五预定压力值；(iv)监测通过第二排出通道17离开流体阀1的检查气体是否超出第二预定阈值，在监测到通过第二排出通道17离开流体阀1的检查气体超出第二预定阈值时，确定在阀杆9处于第二极限位置时存在向着第二排出通道17的不期望泄漏。类似于图3中描绘的第一验证方法，第二验证方法的上述步骤也可以通过系统100实现。通过第二验证方法，能够快速且准确地验证流体阀1在第二极限位置是否存在不期望的泄漏。

借助于图2A中描绘的系统100，能够实现图3中描绘的第一验证方法和第二验证方法。系统100的结构简单，易于操作，并且能够实现对流体阀1泄露的快速、准确的验证。

应理解到，前述的一些步骤的顺序可以在彼此之间切换、同时进行。在其它部分实施例中，可以包括附加的步骤。

发明人还意识到，在确定流体阀1在第一极限位置存在向着第一排出通道15的不期望泄漏时，可以对流体阀1执行第一调节方法，以纠正阀杆9在流体室11中的定向。图4示意性地示出了第一调节方法的流程图。第一验证方法能够由图2B中描绘的系统100的第二构型实现。

如图4所示，在步骤S201，从流体阀1拆下第一驱动机构5。图5示意性地示出了第一驱动机构被拆下的流体阀1。具体而言，如图5所示，拆下第一驱动机构5的步骤包括从流体阀1拆下第一盖部5b、第一支承分隔件5c和第一驱动部5d，以使得阀杆9仅由第二驱动机构7支承和驱动。此外，在采用前述螺栓连接方式的示例中，拆下第一驱动机构5的步骤还包括拆下第一螺栓23和至少两个第二螺栓25。应理解到，本申请不限于此，并且从流体阀1拆下第一驱动机构5的具体步骤因第一驱动机构5的形式而异。

接下来，在步骤S202，向第二驱动机构7供给驱动气体使第二驱动机构7中的驱动气体压力被保持在第一预定压力值，以使阀杆9处于第一极限位置。这可以借助系统100的驱动气体供给装置103实现。如图2B所示，由于第一驱动机构5已经被从流体阀1拆下，在一些示例中，可以使前述的开关阀103b处于第一状态，借此压力调节阀103a仅向第二驱动机构7供给驱动气体，从而使第二驱动机构7中的驱动气体压力被保持在第一预定压力值，以使阀杆9处于第一极限位置。

接下来，在步骤S203，封堵第二排出通道17，以阻止气体通过第二排出通道17离开流体阀1。这可以借助系统100的第二封堵装置109实现。具体而言，可以使第二封堵装置109处于第二封堵状态来阻止气体从第二排出通道17的出口排出流体阀1。

接下来，在步骤S204，向进入通道13供给检查气体，以将第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值。这可以借助系统100的检查气体供给装置101实现。具体而言，可以通过检查气体供给装置101来可调节地将来自检查气体源105的检查气体向进入通道13供给，以调节第二流体通路中的检查气体，从而将第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值。应理解到，尽管在此使用了与前文描述的第一验证方法中相同的术语“第二预定压力值”，但是第一验证方法与第一调节方法中的第二预定压力值可以相同或者不同。

接下来，在步骤S205，绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开流体阀1的泄露。

在一些示例中，调节阀杆9的定向的步骤包括提供图6所示的第一调节销300、以及将第一调节销300通过第一螺纹孔9b连接到阀杆9并通过第一调节销300销绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向。如图6所示，第一调节销300包括被配置成用于通过第一螺纹孔9b连接到阀杆9的第一螺纹端部301、与第一螺纹端部301相反的操作端303、以及连接在第一螺纹端部301与操作端303之间的销体305。应理解到，第一调节销300的构型不限于此，其仅是用于绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向的部件的示例性表示。

在调节期间监测检查气体离开流体阀1的泄露可以包括：(i)通过监测被向进入通道13供给的检查气体的压力波动来监测检查气体的泄露，在压力波动低于第一压力波动阈值时确定检查气体的泄露小于第一预定阈值；和/或(ii)通过监测被向进入通道13供给的检查气体的瞬时流量来监测检查气体的泄露，在瞬时流量低于第一瞬时流量阈值时确定检查气体的泄露小于第一预定阈值。这可以借助系统100的第一监测装置111实现。

接下来，在步骤S206，在检查气体的泄露小于第一预定阈值时，停止调节阀杆9的定向并将第二驱动机构7中的驱动气体压力从第一预定压力值增大到第三预定压力值，以保持阀杆9的定向。如上所述，这可以借助系统100的检查气体供给装置101实现。通过这种方式，能够将阀杆9可靠地保持在当前的定向，在该定向中检查气体离开流体阀1的泄露小于第一预定阈值。也就是说，在该定向的情况下，阀杆9在处于第一极限位置时没有不期望的泄漏。

接下来，在步骤S207，将拆下的第一驱动机构5安装回到流体阀1。在一些示例中，将拆下的第一驱动机构5安装回到流体阀1的步骤可以包括：(i)提供至少两个第一引导销400(在图7中示出了四个第一引导销400)，并且将至少两个第一引导销400中的每个安装到至少两个第二螺纹孔3a中的相应一个；(ii)将相应至少两个第三孔31中的每个与至少两个第一引导销400中的相应一个对准，以引导第一支承分隔件5c定位到主体部分3上；(iii)使用第一螺栓23将第一驱动部5d固定到阀杆9，使得第一支承分隔件5c被夹持在阀杆9与第一驱动部5d之间；(iv)将相应至少两个第二孔29中的每个与至少两个第一引导销400中的相应一个对准，以引导第一盖部5b定位到主体部分3上；(v)使用至少两个第二螺栓25逐个替换至少两个第一引导销400，以将第一盖部5b固定到主体部分3。通过这种方式，可以将第一支承分隔件5c准确地定位和安装到主体部分3和第一驱动部5d，并且可以将第一盖部5b准确地定位和安装到主体部分3，从而保持阀杆9的当前定向。

如图7所示，每个第一引导销400包括被配置成连接到第二螺纹孔3a的第一螺纹端部401、以及从第一螺纹端部401延伸的销体403。应理解到，第一引导销400的构型不限于此，其仅是用于定位和引导第一支承分隔件5c和第一盖部5b的部件的示例性表示。

通过图4中描绘的第一调节方法，能够快速且操作方便地纠正阀杆9在流体室11中的定向偏斜，从而消除流体阀1在阀杆9处于第一极限位置的不期望泄露。这使得流体阀1能够被再次利用，这减少了浪费，节约了成本，从而提高经济效益。

根据本申请优选实施例的方法还可以包括用于流体阀1的第二调节方法。在确定流体阀1在第二极限位置存在向着第二排出通道17的不期望泄漏时，可以对流体阀1执行第二调节方法，以纠正阀杆9在流体室11中的定向。类似于图4中描绘的第一调节方法，第二调节方法可以包括(i)从流体阀1拆下第二驱动机构7；(ii)向第一驱动机构5供给驱动气体使第一驱动机构5中的驱动气体压力被保持在第四预定压力值，以使阀杆9处于第二极限位置；(iii)封堵第一排出通道15，以阻止气体通过第一排出通道15离开流体阀1；(iv)向进入通道13供给检查气体，以将流体室11中的检查气体压力保持在第五预定压力值；(v)绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开流体阀1的泄露；(vi)在检查气体的泄露小于第二预定阈值时，停止调节阀杆9的定向并将第一驱动机构5中的驱动气体压力从第四预定压力值增大到第六预定压力值，以保持阀杆9的定向；(vii)将拆下的第二驱动机构7安装回到流体阀1。通过第二调节方法，能够快速且操作方便地纠正阀杆9在流体室11中的定向偏斜，从而消除流体阀1在阀杆9处于第二极限位置的不期望泄露。这使得流体阀1能够被再次利用，这减少了浪费，节约了成本，从而提高经济效益。

在一些示例中，类似于图4中描绘的第一调节方法，在第二调节方法中，监测检查气体的泄露的步骤可以包括：(i)通过监测被向进入通道13供给的检查气体的压力波动来监测检查气体的泄露，在压力波动低于第二压力波动阈值时确定检查气体的泄露小于第二预定阈值；和/或(ii)通过监测被向进入通道13供给的检查气体的瞬时流量来监测检查气体的泄露，在瞬时流量低于第二瞬时流量阈值时确定检查气体的泄露小于第二预定阈值。

在一些示例中，类似于图4中描绘的第一调节方法，在第二调节方法中，拆下第二驱动机构7的步骤可以包括从流体阀1拆下第二盖部7b、第二支承分隔件7c和第二驱动部7d，以使得阀杆9仅由第一驱动机构5支承和驱动。

在一些示例中，类似于图4中描绘的第一调节方法，在第二调节方法中，拆下第二驱动机构7的步骤可以包括拆下第三螺栓33。调节阀杆9的定向的步骤可以包括：提供第二调节销以及将第二调节销通过第三螺纹孔9c连接到阀杆9，并通过第二调节销绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向。在一些示例中，第二调节销可以与图6所示的第一调节销300具有相同的构型。在其它部分示例中，第二调节销可以是图6所示的第一调节销300。也就是说，第一调节方法和第二调节方法共用图7所示的调节销。

在一些示例中，类似于图4中描绘的第一调节方法，在第二调节方法中，拆下第二驱动机构7的步骤可以包括拆下至少两个第四螺栓35。将拆下的第二驱动机构7安装回到流体阀1的步骤可以包括：(i)提供至少两个第二引导销，并且将至少两个第二引导销中的每个安装到至少两个第四螺纹孔3b中的相应一个；(ii)将相应至少两个第六孔41中的每个与至少两个第二引导销中的相应一个对准，以引导第二支承分隔件7c定位到主体部分3上；(iii)使用第三螺栓33将第二驱动部7d固定到阀杆9，使得第二支承分隔件7c被夹持在阀杆9与第二驱动部7d之间；(iv)将相应至少两个第五孔39中的每个与至少两个第二引导销中的相应一个对准，以引导第二盖部7b定位到主体部分3上；(v)使用至少两个第四螺栓35逐个替换至少两个第二引导销，以将第二盖部7b固定到主体部分3。在一些示例中，第二引导销可以与图7所示的第一引导销400具有相同或不同的构型。在其它部分示例中，第二引导销可以是图7所示的第一引导销400。也就是说，第一调节方法和第二调节方法共用图7所示的引导销。

应理解到，第二调节方法中的各步骤由图2B的系统100实现的具体方式类似于第一调节方法中的各步骤由图2B的系统100实现的方式，故在此不再赘述。

如上所述，第一调节方法和第二调节方法中的每个可以通过图2B所示的系统100实现。如图2B所示，第一驱动机构5被从流体阀1拆下，并且驱动气体供给装置103与第一驱动机构5之间的连接被断开。

还应理解到，前述的第一调节销300、至少两个第一引导销400、第二调节销和至少两个第二引导销可以是系统100的一部分。也就是说，系统100还可以包括：(i)被配置成用于在第一驱动机构5被从流体阀1拆下、并且阀杆9处于第一极限位置时，绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向的第一调节销300；(ii)被配置成在将第一驱动机构5安装到主体部分3时引导和定位第一驱动机构5的至少两个第一引导销；(iii)被配置成用于在第二驱动机构7被从流体阀1拆下、并且阀杆9处于第二极限位置时，绕着纵向中心轴线19调节阀杆9在流体室11中的定向的第二调节销；(iv)被配置成在将第二驱动机构7安装到主体部分3时引导和定位第二驱动机构7的至少两个第二引导销。

尽管上文描述的是第一验证方法在第一调节方法之前执行并且第二验证方法在第二调节步骤之前执行，但应理解到，本申请不限于此，第一验证方法也在第一调节方法之后执行，和/或第二验证方法也可以在第二调节步骤之后执行。在这种情况下，可以在调节之后验证阀杆9在流体室11中的定向偏斜是否得以纠正。

此外，应理解到，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”和“第六”仅用于将一个元件或部件与另一个元件或部件区分开来，但是这些元件和/或部件不应受到此类术语的限制。

以上结合具体实施例对本发明进行了详细描述。显然，以上描述以及在附图中示出的实施例均应被理解为是示例性的，而不构成对本发明的限制。对于本领域技术人员而言，可以在不脱离本发明的精神的情况下对其进行各种变型或修改，这些变型或修改均不脱离本发明的范围。

Claims (20)

1.一种用于对流体阀(1)进行操作的方法，其特征在于：

所述流体阀(1)包括：

主体部分(3)，所述主体部分(3)设有流体室(11)、进入通道(13)、第一排出通道(15)和第二排出通道(17)，所述进入通道(13)通过所述流体室(11)分别与所述第一排出通道(15)和所述第二排出通道(17)流体连通，以形成第一流体通路和第二流体通路；

被设置在所述流体室(11)中的阀杆(9)，所述阀杆(9)限定纵向中心轴线(19)；以及

分别在所述主体部分(3)的相反两侧被可拆卸地安装到所述主体部分(3)的第一驱动机构(5)和第二驱动机构(7)，所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)分别被配置成与所述阀杆(9)可拆卸地连接，以将所述阀杆(9)支承在所述流体室(11)中，并且驱动所述阀杆(9)沿着所述纵向中心轴线(19)的方向在第一极限位置与第二极限位置之间移动，所述阀杆(9)在处于所述第一极限位置时使所述第一流体通路被阻断而使所述第二流体通路处于接通，并且在处于所述第二极限位置时使所述第二流体通路被阻断而使所述第一流体通路处于接通，其中，所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)分别被配置成能够在其中接收驱动气体，以在驱动气体的压力作用下在所述纵向中心轴线(19)的方向上对所述阀杆(9)施加相向推力，并且响应于驱动气体的压力变化改变所述相向推力以驱动所述阀杆(9)在所述第一极限位置与所述第二极限位置之间移动；

所述方法包括对所述流体阀(1)执行第一调节方法，所述第一调节方法包括以下步骤：

从所述流体阀(1)拆下所述第一驱动机构(5)；

向所述第二驱动机构(7)供给驱动气体使所述第二驱动机构(7)中的驱动气体压力被保持在第一预定压力值，以使所述阀杆(9)处于所述第一极限位置；

封堵所述第二排出通道(17)，以阻止气体通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)；

向所述进入通道(13)供给检查气体，以将所述第二流体通路中的检查气体压力保持在第二预定压力值；

绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开所述流体阀(1)的泄露；

在检查气体的泄露小于第一预定阈值时，停止调节所述阀杆(9)的定向并将所述第二驱动机构(7)中的驱动气体压力从所述第一预定压力值增大到第三预定压力值，以保持所述阀杆(9)的定向；

将拆下的所述第一驱动机构(5)安装回到所述流体阀(1)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一调节方法中，监测检查气体的泄露的步骤包括：

通过监测被向所述进入通道(13)供给的检查气体的压力波动来监测检查气体的泄露，在所述压力波动低于第一压力波动阈值时确定检查气体的泄露小于所述第一预定阈值；和/或

通过监测被向所述进入通道(13)供给的检查气体的瞬时流量来监测检查气体的泄露，在所述瞬时流量低于第一瞬时流量阈值时确定检查气体的泄露小于所述第一预定阈值。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：

所述第一驱动机构(5)包括设有第一驱动室(5a)的第一盖部(5b)、第一支承分隔件(5c)和第一驱动部(5d)，所述第一盖部(5b)被可拆卸地安装到所述主体部分(3)，所述第一支承分隔件(5c)被配置成安装在所述主体部分(3)与所述第一盖部(5b)之间，以将所述流体室(11)与所述第一驱动室(5a)分隔开，所述第一驱动部(5d)被配置成在所述阀杆(9)的沿着所述纵向中心轴线(19)的第一端处可拆卸地连接到所述阀杆(9)，使得所述第一支承分隔件(5c)被夹持在所述阀杆(9)与所述第一驱动部(5d)之间；

所述第二驱动机构(7)包括设有第二驱动室(7a)的第二盖部(7b)、第二支承分隔件(7c)和第二驱动部(7d)，所述第二盖部(7b)被可拆卸地安装到所述主体部分(3)，所述第二支承分隔件(7c)被配置成安装在所述主体部分(3)与所述第二盖部(7b)之间，以将所述流体室(11)与所述第二驱动室(7a)分隔开，所述第二驱动部(7d)被配置成在所述阀杆(9)的沿着所述纵向中心轴线(19)且与所述第一端相反的第二端处可拆卸地连接到所述阀杆(9)，使得所述第二支承分隔件(7c)被夹持在所述阀杆(9)与所述第二驱动部(7d)之间；

其中，所述第一支承分隔件(5c)和所述第二支承分隔件(7c)被配置成支承所述阀杆(9)、所述第一驱动部(5d)和所述第二驱动部(7d)，使得所述阀杆(9)在所述流体室(11)中，所述第一驱动部(5d)在所述第一驱动室(5a)中，且所述第二驱动部(7d)在所述第二驱动室(7a)中，并且使得所述阀杆(9)能够在所述第一极限位置与所述第二极限位置之间移动；

所述第一驱动室(5a)和所述第二驱动室(7a)分别被配置成能够在其中接收驱动气体，并且所述第一驱动部(5d)和所述第二驱动部(7d)被配置成能够在所述第一驱动室(5a)和所述第二驱动室(7a)中的驱动气体的压力作用下对所述阀杆(9)施加所述相向推力，并且响应于所述第一驱动室(5a)和所述第二驱动室(7a)中的驱动气体的压力变化改变所述相向推力以驱动所述阀杆(9)。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，拆下所述第一驱动机构(5)的步骤包括从所述流体阀(1)拆下所述第一盖部(5b)、所述第一支承分隔件(5c)和所述第一驱动部(5d)，以使得所述阀杆(9)仅由所述第二驱动机构(7)支承和驱动。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

所述第一驱动部(5d)被配置成通过第一螺栓(23)可拆卸地连接到所述阀杆(9)，所述阀杆(9)包括在所述第一端处凹入所述阀杆(9)的第一螺纹孔(9b)，用以接收所述第一螺栓(23)；

拆下所述第一驱动机构(5)的步骤包括拆下所述第一螺栓(23)；

调节所述阀杆(9)的定向的步骤包括提供第一调节销、以及将所述第一调节销通过所述第一螺纹孔(9b)连接到所述阀杆(9)并通过所述第一调节销绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：

所述第一盖部(5b)被配置成通过至少两个第二螺栓(25)可拆卸地安装到所述主体部分(3)，所述主体部分(3)包括用以接收所述至少两个第二螺栓(25)的至少两个第二螺纹孔(3a)；

当所述第一盖部(5b)被安装到所述主体部分(3)并且所述第一支承分隔件(5c)被安装在所述主体部分(3)与所述第一盖部(5b)之间时，所述第一螺栓(23)从所述第一驱动部(5d)穿过所述第一支承分隔件(5c)中的第一孔(27)延伸到所述阀杆(9)中，并且所述至少两个第二螺栓(25)穿过所述第一盖部(5b)中的相应至少两个第二孔(29)并穿过所述第一支承分隔件(5c)中的相应至少两个第三孔(31)延伸到所述主体部分(3)中；

拆下所述第一驱动机构(5)的步骤还包括拆下所述至少两个第二螺栓(25)；

将拆下的所述第一驱动机构(5)安装回到所述流体阀(1)的步骤包括：

提供至少两个第一引导销，并且将所述至少两个第一引导销中的每个安装到所述至少两个第二螺纹孔(3a)中的相应一个；

将所述相应至少两个第三孔(31)中的每个与所述至少两个第一引导销中的相应一个对准，以引导所述第一支承分隔件(5c)定位到所述主体部分(3)上；

使用所述第一螺栓(23)将所述第一驱动部(5d)固定到所述阀杆(9)，使得所述第一支承分隔件(5c)被夹持在所述阀杆(9)与所述第一驱动部(5d)之间；

将所述相应至少两个第二孔(29)中的每个与所述至少两个第一引导销中的相应一个对准，以引导所述第一盖部(5b)定位到所述主体部分(3)上；

使用所述至少两个第二螺栓(25)逐个替换所述至少两个第一引导销，以将所述第一盖部(5b)固定到所述主体部分(3)。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括对所述流体阀(1)执行第二调节方法，所述第二调节方法包括以下步骤：

从所述流体阀(1)拆下所述第二驱动机构(7)；

向所述第一驱动机构(5)供给驱动气体使所述第一驱动机构(5)中的驱动气体压力被保持在第四预定压力值，以使所述阀杆(9)处于所述第二极限位置；

封堵所述第一排出通道(15)，以阻止气体通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)；

向所述进入通道(13)供给检查气体，以将所述流体室(11)中的检查气体压力保持在第五预定压力值；

绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开所述流体阀(1)的泄露；

在检查气体的泄露小于第二预定阈值时，停止调节所述阀杆(9)的定向并将所述第一驱动机构(5)中的驱动气体压力从所述第四预定压力值增大到第六预定压力值，以保持所述阀杆(9)的定向；

将拆下的所述第二驱动机构(7)安装回到所述流体阀(1)。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在所述第二调节方法中，监测检查气体的泄露的步骤包括：

通过监测被向所述进入通道(13)供给的检查气体的压力波动来监测检查气体的泄露，在所述压力波动低于第二压力波动阈值时确定检查气体的泄露小于所述第二预定阈值；和/或

通过监测被向所述进入通道(13)供给的检查气体的瞬时流量来监测检查气体的泄露，在所述瞬时流量低于第二瞬时流量阈值时确定检查气体的泄露小于所述第二预定阈值。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，拆下所述第二驱动机构(7)的步骤包括从所述流体阀(1)拆下所述第二盖部(7b)、所述第二支承分隔件(7c)和所述第二驱动部(7d)，以使得所述阀杆(9)仅由所述第一驱动机构(5)支承和驱动。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：

所述第二驱动部(7d)被配置成通过第三螺栓(33)可拆卸地连接到所述阀杆(9)，所述阀杆(9)包括在所述第二端处凹入所述阀杆(9)的第三螺纹孔(9c)，用以接收所述第三螺栓(33)；

拆下所述第二驱动机构(7)的步骤包括拆下所述第三螺栓(33)；

调节所述阀杆(9)的定向的步骤包括提供第二调节销以及将所述第二调节销通过所述第三螺纹孔(9c)连接到所述阀杆(9)并通过所述第二调节销绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于：

所述第二盖部(7b)被配置成通过至少两个第四螺栓(35)可拆卸地安装到所述主体部分(3)，所述主体部分(3)包括用以接收所述至少两个第四螺栓(35)的至少两个第四螺纹孔(3b)；

当所述第二盖部(7b)被安装到所述主体部分(3)并且所述第二支承分隔件(7c)被安装在所述主体部分(3)与所述第二盖部(7b)之间时，所述第三螺栓(33)从所述第二驱动部(7d)穿过所述第二支承分隔件(7c)中的第四孔(37)延伸到所述阀杆(9)中，并且所述至少两个第四螺栓(35)穿过所述第二盖部(7b)中的相应至少两个第五孔(39)且穿过所述第二支承分隔件(7c)中的相应至少两个第六孔(41)延伸到所述主体部分(3)中；

拆下所述第二驱动机构(7)的步骤还包括拆下所述至少两个第四螺栓(35)；

将拆下的所述第二驱动机构(7)安装回到所述流体阀(1)的步骤包括：

提供至少两个第二引导销，并且将所述至少两个第二引导销中的每个安装到所述至少两个第四螺纹孔(3b)中的相应一个；

将所述相应至少两个第六孔(41)中的每个与所述至少两个第二引导销中的相应一个对准，以引导所述第二支承分隔件(7c)定位到所述主体部分(3)上；

使用所述第三螺栓(33)将所述第二驱动部(7d)固定到所述阀杆(9)，使得所述第二支承分隔件(7c)被夹持在所述阀杆(9)与所述第二驱动部(7d)之间；

将所述相应至少两个第五孔(39)中的每个与所述至少两个第二引导销中的相应一个对准，以引导所述第二盖部(7b)定位到所述主体部分(3)上；

使用所述至少两个第四螺栓(35)逐个替换所述至少两个第二引导销，以将所述第二盖部(7b)固定到所述主体部分(3)。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在执行所述第一调节方法之前和/或之后对所述流体阀(1)执行第一验证方法，所述第一验证方法包括以下步骤：

控制所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)使所述阀杆(9)处于所述第一极限位置；

封堵所述第二排出通道(17)的出口以阻止气体通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)，并且开放所述第一排出通道(15)的出口以允许气体通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)；

向所述进入通道(13)供给检查气体，以将所述第二流体通路中的检查气体压力保持在所述第二预定压力值；

监测通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)的检查气体是否超出所述第一预定阈值，在监测到通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)的检查气体超出所述第一预定阈值时，确定在所述阀杆(9)处于所述第一极限位置时存在向着所述第一排出通道(15)的不期望泄漏。

13.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在执行所述第二调节方法之前和/或之后对所述流体阀(1)执行第二验证方法，所述第二验证方法包括以下步骤：

控制所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)使所述阀杆(9)处于所述第二极限位置；

封堵所述第一排出通道(15)的出口以阻止气体通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)，并且开放所述第二排出通道(17)的出口以允许气体通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)；

向所述进入通道(13)供给检查气体，以将所述第一流体通路中的检查气体压力保持在所述第五预定压力值；

监测通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)的检查气体是否超出所述第二预定阈值，在监测到通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)的检查气体超出所述第二预定阈值时，确定在所述阀杆(9)处于所述第二极限位置时存在向着所述第二排出通道(17)的不期望泄漏。

14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述流体阀(1)是用于调节被提供到热阵列系统的冷却剂的流动的液体流动控制阀，所述热阵列系统用于在半导体芯片的老化测试平台中使用以提供温度控制。

15.一种用于对流体阀(1)进行操作的系统(100)，其特征在于，所述系统(100)用于实现根据权利要求1至14中任一项所述的方法，所述系统(100)包括：

检查气体供给装置(101)，所述检查气体供给装置(101)被配置成用于连接在检查气体源与所述进入通道(13)之间，并且可调节地将来自所述检查气体源的检查气体供给到所述进入通道(13)；

驱动气体供给装置(103)，所述驱动气体供给装置(103)被配置成用于连接在驱动气体源与所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)之间，并且可调节地将来自所述驱动气体源的驱动气体供给到所述第一驱动机构(5)和所述第二驱动机构(7)；

第一封堵装置(107)，所述第一封堵装置(107)被配置成用于连接到所述第一排出通道(15)的出口，并且被配置成能够在第一封堵状态和第一开放状态之间切换，所述第一封堵装置(107)在处于所述第一封堵状态时阻止气体从所述第一排出通道(15)的出口排出所述流体阀(1)，并且在处于所述第一开放状态时允许气体经由所述第一排出通道(15)的出口排出所述流体阀(1)；

第二封堵装置(109)，所述第二封堵装置(109)被配置成用于连接到所述第二排出通道(17)的出口，并且被配置成能够在第二封堵状态和第二开放状态之间切换，所述第二封堵装置(109)在处于所述第二封堵状态时阻止气体从所述第二排出通道(17)的出口排出所述流体阀(1)，并且在处于所述第二开放状态时允许气体经由所述第二排出通道(17)的出口排出所述流体阀(1)；

第一监测装置(111)，所述第一监测装置(111)被配置成用于监测通过检查气体供给装置(101)向所述进入通道(13)供给的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者；以及

第二监测装置(113)，所述第二监测装置(113)被配置成用于在所述第一封堵装置(107)处于所述第一开放状态、且所述第二封堵装置(109)处于所述第二封堵状态时监测通过所述第一排出通道(15)离开所述流体阀(1)的检查气体流动，以及被配置成能够在所述第一封堵装置(107)处于所述第一封堵状态、且所述第二封堵装置(109)处于所述第二开放状态时监测通过所述第二排出通道(17)离开所述流体阀(1)的检查气体流动。

16.根据权利要求15所述的系统(100)，其特征在于：

所述第一封堵装置(107)包括设置在第一支管(107a)上的第一开关阀(107b)，所述第一支管(107a)被配置成连接到所述第一排出通道(15)的出口；

所述第二封堵装置(109)包括设置在第二支管(109a)上的第二开关阀(109b)，所述第二支管(109a)被配置成连接到所述第二排出通道(17)的出口；

所述第二监测装置(113)包括在所述第一开关阀(107b)的下游连接到所述第一支管(107a)的第一气体流量计和在所述第二开关阀(109b)的下游连接到所述第二支管(109a)的第二气体流量计；

其中，所述第一气体流量计和所述第二气体流量计是同一气体流量计或不同的气体流量计。

17.根据权利要求15所述的系统(100)，其特征在于：

所述检查气体供给装置(101)被设置在将所述检查气体源连接到所述进入通道(13)的第三支管(101a)上；

所述第一监测装置(111)在所述检查气体供给装置(101)与所述进入通道(13)之间被连接到所述第三支管(101a)，以监测所述第三支管(101a)中的检查气体的压力波动和瞬时流量中的至少一者。

18.根据权利要求15所述的系统(100)，其特征在于，所述检查气体源和所述驱动气体源是同一气体源，并且所述检查气体和所述驱动气体是无油空气。

19.根据权利要求15所述的系统(100)，其特征在于，所述系统(100)还包括：

被配置成用于在所述第一驱动机构(5)被从所述流体阀(1)拆下、并且所述阀杆(9)处于所述第一极限位置时，绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向的第一调节销；

被配置成用于在所述第二驱动机构(7)被从所述流体阀(1)拆下、并且所述阀杆(9)处于所述第二极限位置时，绕着所述纵向中心轴线(19)调节所述阀杆(9)在所述流体室(11)中的定向的第二调节销；

其中，所述第一调节销和所述第二调节销是同一调节销或不同的调节销。

20.根据权利要求15所述的系统(100)，其特征在于，所述系统(100)还包括：

被配置成在将第一驱动机构(5)安装到所述主体部分(3)时引导和定位所述第一驱动机构(5)的至少两个第一引导销；

被配置成在将第二驱动机构(7)安装到所述主体部分(3)时引导和定位所述第二驱动机构(7)的至少两个第二引导销；

其中，所述至少两个第一引导销和所述至少两个第二引导销是同一组引导销或不同的引导销。