KR20050078412A - Apparatus for inspecting alining of spacer automatically - Google Patents

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김태헌
박경도
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Abstract

본 발명은 FED(Field Emission Display)의 제조과정에서 기판에 정열된 스페이서의 정렬상태를 검사하는 스페이서정렬 검사장치에 관한 것으로, 특히 스페이서가 정렬된 기판을 카메라로 스캔하여 생성되는 영상정보를 사용하여 정렬상태를 자동으로 검사할 수 있는 스페이서정열 자동검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spacer alignment inspection apparatus for inspecting an alignment state of spacers arranged on a substrate in the manufacturing process of a field emission display (FED). The present invention relates to an automatic spacer alignment inspection device capable of automatically checking alignment.

본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치에 의하면 FED의 제조과정에서 다량의 스페이서가 정렬된 기판의 스페이서 정렬상태를 빠른 시간 안에 자동으로 검사할 수 있는 효과가 있다.According to the automatic spacer alignment inspection device of the present invention in the manufacturing process of the FED there is an effect that can automatically inspect the spacer alignment state of the substrate on which a large number of spacers are aligned.

Description

스페이서정렬 자동검사장치{Apparatus For Inspecting Alining of Spacer automatically}Apparatus For Inspecting Alining of Spacer automatically}

본 발명은 FED(Field Emission Display)의 제조과정에서 기판에 정열된 스페이서의 정렬상태를 검사하는 스페이서정렬 검사장치에 관한 것으로, 특히 스페이서가 정렬된 기판을 카메라로 스캔하여 생성되는 영상정보를 사용하여 정렬상태를 자동으로 검사할 수 있는 스페이서정열 자동검사장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spacer alignment inspection apparatus for inspecting an alignment state of spacers arranged on a substrate in the manufacturing process of a field emission display (FED). The present invention relates to an automatic spacer alignment inspection device capable of automatically checking alignment.

평판 디스플레이 장치인 FED는 음극기판과 양극기판이 일정간격을 유지하여 형성되며 음극기판과 양극기판 사이에는 일정 진공압이 형성된다. 따라서 상기 각 기판의 변형을 막기 위하여 기판 사이에는 일정 간격으로 다량의 스페이서를 실장하게 된다.The FED, which is a flat panel display device, is formed by maintaining a constant distance between a negative electrode substrate and a positive electrode substrate, and a constant vacuum pressure is formed between the negative electrode substrate and the positive electrode substrate. Therefore, in order to prevent deformation of each substrate, a large amount of spacers are mounted at regular intervals between the substrates.

도 1은 FED의 음극기판에 스페이서가 정열된 상태를 나타낸다. 도 1에서 보는 바와 같이 음극기판상(10)에 십자기둥형상의 스페이서(20)가 일정간격으로 배열된 것을 볼 수 있다. 십자기둥형상의 스페이서(20)는 현재 가장 많이 사용되며 크기가 1mm 정도이다. FED에는 기판(10)의 크기에 따라 수백 개에서 수천 개의 스페이서(20)가 사용되며, 스페이서(20)를 일정간격으로 기판(10)에 빠짐없이 정렬시키고 정열상태를 검사하는 과정은 최종 제품의 품질에 영향을 주게되므로 매우 중요하다.1 illustrates a state in which spacers are aligned on a negative electrode substrate of an FED. As shown in FIG. 1, the cross-shaped spacers 20 are arranged on the negative electrode substrate 10 at regular intervals. The cross-shaped spacer 20 is currently used most and is about 1 mm in size. In the FED, hundreds to thousands of spacers 20 are used according to the size of the substrate 10. The process of aligning the spacers 20 to the substrate 10 at regular intervals and inspecting the alignment state of the final product This is very important because it affects quality.

종래에 스페이서의 정렬상태를 검사하는 방법으로는 작업자가 확대경을 이용하여 육안으로 검사하는 방법이 사용되어 왔다. 작업자가 수동으로 검사하는 방법은 많은 시간이 소요되고, 작업자의 주관적인 판단과 컨디션에 따라 검사결과가 다르게 되어 최종 제품의 품질에 영향을 미치게 되는 문제점이 있다. Conventionally, as a method of inspecting the alignment state of the spacer, a method of visually inspecting by a worker using a magnifying glass has been used. The manual inspection method by the worker takes a lot of time, there is a problem that the inspection results are different depending on the subjective judgment and condition of the operator affects the quality of the final product.

상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 기판에 정렬된 다량의 스페이서의 정렬상태를 자동으로 검사할 수 있는 스페이서정렬 자동검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems is to provide an automatic spacer alignment inspection device that can automatically inspect the alignment of a large amount of spacers aligned on the substrate.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치는 베이스에 안착된 기판에 정렬되어있는 다수의 스페이서의 정렬상태를 검사하는 장치에 있어서, 상기 기판의 상부에서 일정경로로 이동하면서 상기 스페이서의 상면에 빛을 비추는 조명수단과, 상기 조명수단과 소정거리 이격되어 이동하면서 상기 스페이서의 상면에서 반사되는 빛을 받아들여 스페이서의 정렬상태에 대한 영상정보를 생성하여 전송하는 스캔카메라와, 상기 스캔카메라와 상기 조명수단을 지지하여 x축 방향으로 이송시키는 x축이송수단과, 상기 기판을 y축 방향으로 이송시키는 y축이송수단과, 상기 스캔카메라의 영상정보를 표시하는 모니터 및 상기 영상정보가 저장되는 영상저장부를 포함하며 상기 x축이송수단과 상기 y축이송수단과 상기 조명수단 및 상기 모니터의 작동을 제어하고 상기 영상정보를 상기 모니터에 전송하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Automatic spacer alignment inspection device of the present invention for solving the above problems in the device for inspecting the alignment of the plurality of spacers that are aligned on the substrate seated on the base, while moving in a predetermined path from the top of the substrate Illumination means for shining light on the upper surface of the spacer, a scan camera for receiving and reflecting the light reflected from the upper surface of the spacer while moving away from the lighting means for generating and transmitting image information about the alignment state of the spacer, and X-axis transfer means for supporting the scan camera and the lighting means in the x-axis direction, y-axis transfer means for transferring the substrate in the y-axis direction, a monitor for displaying image information of the scan camera, and the image information. It includes an image storage unit for storing the x-axis transfer means and the y-axis transfer means and the lighting means and Characterized in that a control unit for controlling operation of the monitor group and transmitting the video information to the monitor.

또한 본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치의 상기 제어부는 상기 영상정보와 상기 영상정보가 생성되는 기판상의 위치에 대한 위치정보를 함께 저장하도록 형성될 수 있다.The control unit of the automatic spacer alignment inspection apparatus of the present invention may be formed to store the image information and the position information of the position on the substrate on which the image information is generated.

또한 본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치는 상기 x축이송수단에 지지되어 이동되며 상기 기판의 스페이서 정렬상태에 대한 확대영상을 상기 제어부로 전송하는 리뷰카메라가 더 포함되도록 형성될 수 있다.In addition, the automatic spacer alignment inspection apparatus of the present invention may be formed to include a review camera that is supported and moved to the x-axis transfer means and transmits an enlarged image of the spacer alignment state of the substrate to the controller.

또한 본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치의 상기 제어부는 상기 스페이서의 정렬상태에 결함이 있는 위치에 대한 결함위치정보를 더 포함하여 저장하며, 상기 결함위치정보에 따라 상기 리뷰카메라를 결함위치로 이송시키도록 형성될 수 있다.In addition, the control unit of the spacer alignment automatic inspection device of the present invention further includes the defect position information for the position of the defect in the alignment state of the spacer, and stores the review camera to the defect position according to the defect position information. It can be formed to be.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 스페이서정렬 자동검사장치의 구성도를 나타낸다. 도 3은 도 2의 스캔카메라와 조명수단의 작용관계를 나타낸다.2 is a block diagram of a spacer alignment automatic inspection device according to the present invention. FIG. 3 illustrates an operation relationship between the scan camera and the lighting unit of FIG. 2.

도 2에서 보는 바와 같이 본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치는 조명수단(30)과 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50)와 모니터(60)와 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80) 및 제어부(90)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the automatic spacer alignment inspection apparatus according to the present invention includes a lighting means 30, a scan camera 40, a review camera 50, a monitor 60, an x-axis transfer means 70, and a y-axis transfer means. 80 and the control part 90 are comprised.

상기 조명수단(30)은 도 3을 참조하여 보면 조명등(32)과 조명등(32)을 상하로 이송시키는 상하이송수단(34)을 포함하여 구성되며, 상하이송수단(34)은 상기 x축이송수단(70)에 고정되어 기판(10)의 상부에서 x축 방향으로 이송되도록 설치된다. 조명등(32)은 상하이송수단(34)에 지지되며 기판(10)의 소정높이로 하강되어 기판(10)에 정렬된 스페이서(20)의 상면에 조명을 비추어 스페이서(20)의 상면에서 빛이 반사되도록 형성된다. 또한 조명등(32)은 상하이송수단(34)에 상하로 회전이 가능하게 지지되어 기판(10)에 빛을 비추는 각도가 조정될 수 있도록 할 수 있다. 바람직하게는 상기 조명등(32)으로는 할로겐램프가 사용되고, 상기 상하이송수단(34)으로는 공압실린더가 사용된다. The lighting means 30 is configured to include a shanghai conveying means 34 for conveying the illuminating light 32 and the illuminating light 32 up and down with reference to Figure 3, Shanghai conveying means 34 is the x-axis conveying It is fixed to the means 70 is installed to be transferred in the x-axis direction from the top of the substrate 10. The lighting lamp 32 is supported by the shanghai conveying means 34 and is lowered to a predetermined height of the substrate 10 to illuminate the upper surface of the spacer 20 aligned with the substrate 10 so that light is emitted from the upper surface of the spacer 20. It is formed to be reflected. In addition, the lamp 32 may be supported to be rotated up and down by the Shanghai transport means 34 so that the angle of light shining on the substrate 10 can be adjusted. Preferably, a halogen lamp is used as the lamp 32 and a pneumatic cylinder is used as the shanghai conveying means 34.

조명등(32)에는 할로겐램프 외에도 레이저빔 발생장치 등 빛을 발생시키는 다른 수단으로 대체될 수 있다. 상기 상하이송수단(34)으로는 공압실린더 외에도 리니어가이드, 벨트, 기어 등이 사용될 수 있다. In addition to the halogen lamp, the lamp 32 may be replaced with other means for generating light such as a laser beam generator. The shanghai conveying means 34 may be used in addition to the pneumatic cylinder, a linear guide, a belt, a gear.

상기 스캔카메라(40)는 영상을 촬영하여 아날로그 또는 디지털 신호로 영상을 전송할 수 있는 카메라가 사용되며, CCD(Charge Coupled Device)카메라 등이 사용될 수 있다. 스캔카메라(40)는 조명수단(30)에 의하여 스페이서(20)의 상면에 조사되어 반사되는 빛을 받아들이도록 상기 x축이송수단(70)에 지지되어 설치된다. 따라서 조명수단(30)과 스캔카메라(40)는 빛이 조사되는 스페이서(20)를 기준으로 좌우 대칭이 되도록 기판(10)의 상부에 위치된다. 스캔카메라(40)는 조명수단(30)의 조명에 의하여 스페이서(20)의 상면에서 반사되는 빛의 간격과 밝기를 촬영하여 생성한 영상정보를 상기 제어부(90)로 전송한다. 스페이서(20)는 유리재질로 형성되므로 상면에 빛이 조사되면 반사시키게 된다. 또한 스페이서(20)는 기판(10)에 일정한 간격으로 정렬되므로 영상정보에서 일정한 간격으로 나타나는 빛은 스페이서(20)의 정렬상태를 나타내게 된다. 따라서 일정간격으로 형성되는 빛이 특정위치에서 누락되면 그 위치에는 스페이서(20)가 없는 것으로 스페이서(20) 정렬에 결함이 있는 위치로 파악된다.The scan camera 40 may be a camera capable of capturing an image and transmitting an image as an analog or digital signal, and a CCD (Charge Coupled Device) camera may be used. The scan camera 40 is supported and installed on the x-axis transfer means 70 so as to receive light reflected from the upper surface of the spacer 20 by the lighting means 30. Therefore, the luminaire 30 and the scan camera 40 are positioned on the substrate 10 so as to be symmetrical with respect to the spacer 20 to which light is irradiated. The scan camera 40 transmits the image information generated by photographing the interval and the brightness of the light reflected from the upper surface of the spacer 20 by the illumination of the lighting means 30 to the controller 90. Since the spacer 20 is formed of a glass material, it is reflected when light is irradiated on the upper surface. In addition, since the spacers 20 are aligned at regular intervals on the substrate 10, light appearing at regular intervals in the image information indicates the alignment state of the spacers 20. Therefore, when the light formed at a predetermined interval is missing at a specific position, it is determined that there is no spacer 20 at the position, and the position of the spacer 20 is defective.

상기 스캔카메라(40)는 x축이송수단(70)에 의하여 x축 방향으로 상기 일정속도로 이송되면서 스페이서(20)의 정렬상태를 스캔하게 된다. 스캔카메라(40)는 1회 스캔영역으로 스페이서(20)의 1열 이상을 검사할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 기판(10)은 y축이송수단(80)에 의하여 y축 방향으로 이송되므로 스캔카메라(40)는 기판(10) 전체를 일정한 순서로 스캔하게 된다. The scan camera 40 scans the alignment state of the spacer 20 while being transported at the constant speed in the x-axis direction by the x-axis transfer means 70. The scan camera 40 may be configured to inspect one or more rows of the spacers 20 in one scan area. In addition, since the substrate 10 is transferred in the y-axis direction by the y-axis transfer means 80, the scan camera 40 scans the entire substrate 10 in a predetermined order.

상기 스캔카메라(40)는 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)에 의하여 기판(10)의 특정 기준점부터 시작하여 x축과 y축 방향으로 일정간격으로 스캔하게되므로 영상정보와 함께 영상정보에 대응되는 기판(10)의 위치를 표시하는 위치정보가 상기 제어부(90)에 의하여 함께 기록될 수 있다. 상기 위치정보는 기준점을 기준으로 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)의 이동거리가 되며 (x좌표, y좌표)로 표시된다. 따라서 작업자는 영상정보와 함께 저장되는 위치정보로부터 스페이서(20) 정렬에 결함이 있는 기판(10)의 위치를 쉽게 파악하여 재검사할 수 있게 된다. 또한 위치정보에는 스페이서(20)의 정렬상태에 결함이 있는 위치정보만을 결함위치정보가 별도로 저장되어, 작업자가 전체 검사가 종료된 후에 스페이서(20)의 정렬에 결함이 있는 위치를 용이하게 파악하여 재검사할 수 있도록 할 수 있다.The scan camera 40 scans at predetermined intervals in the x-axis and y-axis directions starting from a specific reference point of the substrate 10 by the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80. Position information indicating the position of the substrate 10 corresponding to the image information may be recorded together by the controller 90. The position information is a moving distance between the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 on the basis of the reference point and is represented by (x coordinate, y coordinate). Therefore, the operator can easily check the position of the substrate 10 having a defect in the alignment of the spacer 20 from the position information stored together with the image information, and retest the position. In addition, the positional information is stored only in the positional information of the defective position in the alignment state of the spacer 20 separately, the operator easily grasp the position of the defect in the alignment of the spacer 20 after the entire inspection is finished Can be retested.

상기 리뷰카메라(50)는 상기 스캔카메라(40)와 유사한 카메라 또는 현미경으로 구성되며 바람직하게는 소정배율의 줌기능을 갖도록 형성된다. 리뷰카메라(50)는 x축이송수단(70)에 스캔카메라(40)와 소정거리 이격되어 지지되며, 제어부(90)의 제어에 의하여 상기 영상정보에서 파악된 스페이서(20)의 결함위치로 이동하여 결함위치의 스페이서(20) 정렬상태를 확대한 확대영상을 모니터(60)로 전송하게된다. 따라서 작업자는 스페이서(20)의 정렬의 결함상태를 재확인하고 스페이서(20)를 다시 공급하는 등 필요한 조치를 취할 수 있게된다.The review camera 50 is composed of a camera or microscope similar to the scan camera 40 and is preferably formed to have a zoom function of a predetermined magnification. The review camera 50 is supported by the x-axis transfer means 70 and spaced apart from the scan camera 40 by a predetermined distance, and moves to a defective position of the spacer 20 identified by the image information under the control of the controller 90. Then, the enlarged image in which the spacer 20 is aligned at the defect position is transmitted to the monitor 60. Therefore, the operator can check the defective state of the alignment of the spacer 20 and take necessary measures such as supplying the spacer 20 again.

상기 리뷰카메라(50)는 제어부(90)에서 상기 결함위치정보를 이용하여 결함위치로 자동으로 이송되도록 형성될 수 있다. 따라서 작업자는 빠른 시간에 결함위치에 대한 재확인과 조치를 취하도록 할 수 있다.The review camera 50 may be formed so that the control unit 90 is automatically transferred to the defect position using the defect position information. This allows the operator to quickly recheck and take action on the location of the defect.

상기 리뷰카메라(50)에는 기판(10)의 결함위치를 비추기 위한 별도의 조명등이 추가로 포함될 수 있다. The review camera 50 may further include a separate lamp for illuminating the defect position of the substrate 10.

상기 모니터(60)는 영상정보를 표시하는 브라운관모니터 또는 액정모니터로 구성되며, 제어부(90)에 연결되어 스캔카메라(40) 또는 리뷰카메라(50)에서 전송되는 영상을 표시하게 된다. 상기 모니터(60)는 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50)에 각각 연결되어 각 카메라에서 전송되는 영상을 표시하도록 구성될 수 있음은 물론이다. 따라서 스캔카메라(40)의 영상정보를 표시하는 스캔모니터와 리뷰카메라(50)의 확대영상을 표시하는 리뷰모니터로 형성될 수 있다.The monitor 60 is configured as a CRT monitor or LCD monitor for displaying image information, and is connected to the control unit 90 to display an image transmitted from the scan camera 40 or the review camera 50. The monitor 60 may be configured to be connected to the scan camera 40 and the review camera 50, respectively, to display an image transmitted from each camera. Accordingly, the scan monitor 40 may be formed of a scan monitor displaying image information of the scan camera 40 and a review monitor displaying an enlarged image of the review camera 50.

상기 x축이송수단(70)은 기판(10)이 안착되는 베이스(도면에 표시하지 않음)의 일측에 지지되며, 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50) 및 조명수단(30)을 지지하여 제어부(90)의 제어에 따라 x축 방향으로 이송하게 된다. x축이송수단(70)은 모터에 의하여 구동되는 볼스크류와 볼스크류의 회전에 의하여 직선으로 이동하는 리니어가이드가 포함되어 구성되며, 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50) 및 조명수단(30)은 리니어가이드에 결합되는 지지부재에 지지되어 이송된다. 상기 x축이송수단(70)은 리니어가이드의 이송위치를 정확하게 제어하는 것이 요구되므로 상기 모터는 바람직하게는 스텝핑모터가 사용된다.The x-axis transfer means 70 is supported on one side of the base (not shown) on which the substrate 10 is seated, and supports the scan camera 40, the review camera 50, and the lighting means 30. Under the control of the control unit 90 is transferred in the x-axis direction. The x-axis transfer means 70 includes a ball screw driven by a motor and a linear guide moving in a straight line by the rotation of the ball screw, the scan camera 40 and the review camera 50 and the lighting means 30 ) Is supported and transported by a support member coupled to the linear guide. Since the x-axis transfer means 70 is required to accurately control the transfer position of the linear guide, the motor is preferably a stepping motor.

상기 x축이송수단(70)은 리니어가이드 외에도 이송위치제어가 가능한 벨트, 기어 등이 사용될 수 있다.In addition to the linear guide, the x-axis transfer means 70 may be a belt, a gear, or the like capable of controlling the transfer position.

상기 y축이송수단(80)은 기판(10)의 하부에 위치되며, 제어부(90)의 제어에 의하여 기판(10)을 y축 방향으로 이송하게 된다. y축이송수단(80)은 모터에 의하여 구동되는 볼스크류와 볼스크류의 회전에 의하여 직선으로 이송되는 리니어가이드를 포함하여 구성된다. y축이송수단(80)은 바람직하게는 x축이송수단(70)과 동일한 구성으로 형성되는 것이 상기 스캔카메라(40)의 스캔위치 제어에 효과적이게 된다. y축이송수단(80)도 리니어가이드 외에도 이송위치제어가 가능한 벨트, 기어 등이 사용될 수 있다.The y-axis transfer means 80 is positioned below the substrate 10 and transfers the substrate 10 in the y-axis direction under the control of the controller 90. The y-axis transfer means 80 is configured to include a ball screw driven by a motor and a linear guide fed in a straight line by the rotation of the ball screw. The y-axis transfer means 80 is preferably formed in the same configuration as the x-axis transfer means 70 is effective to control the scan position of the scan camera 40. In addition to the linear guide, the y-axis transfer means 80 may be a belt, a gear, or the like capable of controlling the transfer position.

상기 제어부(90)는 스캔카메라(40)에서 전송되는 영상정보를 저장하는 영상저장부(95)를 포함하여 구성되며, 각 구성요소와 연결되어 신호를 송수신하고 작동을 제어하게 된다.The control unit 90 is configured to include an image storage unit 95 for storing the image information transmitted from the scan camera 40, it is connected to each component to transmit and receive signals and to control the operation.

상기 제어부(90)는 스캔카메라(40)와 연결되어 스캔카메라(40)에서 전송되는 영상정보를 상기 영상저장부(95)에 저장하고, 영상정보를 모니터(60)로 전송하여 영상정보가 모니터(60)에 표시되도록 한다.The controller 90 is connected to the scan camera 40 and stores the image information transmitted from the scan camera 40 in the image storage unit 95, and transmits the image information to the monitor 60 to monitor the image information. (60).

상기 제어부(90)는 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)과 연결되며, 기판(10)에 정렬되는 스페이서(20)의 정렬간격을 고려하여 스캔카메라(40)가 일정한 간격으로 기판(10)을 스캔할 수 있도록 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)의 작동을 제어한다.The control unit 90 is connected to the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80, the scan camera 40 is a constant interval in consideration of the alignment interval of the spacer 20 aligned with the substrate 10 It controls the operation of the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 to scan the substrate 10 by.

상기 제어부(90)는 스캔카메라(40)의 영상정보를 저장할 때 x축이송수단(70) 및 y축이송수단(80)의 이동거리로부터 상기 영상정보가 생성된 위치에 대한 위치정보를 함께 저장하며, 필요에 따라서는 스페이서(20)의 정렬에 결함이 있는 위치에 대한 결함위치정보만을 별도로 저장하게 된다. 제어부(90)는 스페이서(20)의 정렬간격을 기준으로 정해진 정렬위치에서 반사되는 빛의 세기를 기준 값과 비교하여 스페이서(20)의 정해진 정렬위치에 스페이서(20)가 있는지 여부를 판단하며 스페이서(20)가 없다고 판단되는 기판(10)의 위치를 결함위치로 인식하게 된다. When the control unit 90 stores the image information of the scan camera 40, the control unit 90 stores the position information on the position where the image information is generated from the moving distances of the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80. If necessary, only the defect position information for the position where the alignment of the spacer 20 is defective is stored separately. The controller 90 determines whether or not the spacer 20 is located at the predetermined alignment position of the spacer 20 by comparing the intensity of light reflected at the predetermined alignment position based on the alignment interval of the spacer 20 with a reference value. The position of the board | substrate 10 judged that there is no (20) is recognized as a defect position.

상기 제어부(90)는 스캔카메라(40)에 의하여 스캔이 완료된 후 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)을 작동시켜 결함위치로 리뷰카메라(50)를 이송하게 된다. 제어부(90)는 리뷰카메라(50)와 연결되며, 리뷰카메라(50)에 의하여 전송되는 결함위치의 확대영상이 모니터(60)에 표시되도록 한다.The control unit 90 transfers the review camera 50 to the defective position by operating the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 after the scan is completed by the scan camera 40. The control unit 90 is connected to the review camera 50, so that the enlarged image of the defect position transmitted by the review camera 50 is displayed on the monitor 60.

상기 제어부(90)는 조명수단(30)과 연결되어 조명등(32)의 점등과 상하이송수단(34)의 작동을 제어하게된다.The control unit 90 is connected to the lighting means 30 to control the lighting of the lighting lamp 32 and the operation of the shanghai transport means 34.

다음은 본 발명의 스페이스정렬 자동검사장치의 작용에 대하여 설명한다.Next, the operation of the automatic space alignment inspection device of the present invention will be described.

상기 스캔카메라(40)가 기판(10)의 스캔을 시작하기 전에 상기 제어부(90)에 기판(10)에서 스페이서(20)가 정렬된 간격과 영역을 설정하고 스캔영역과 스캔간격을 지정한다. 제어부(90)는 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)을 제어하여 스캔카메라(40)와 조명수단(30)을 스캔이 시작되는 기준점으로 이동시키고 조명등(32)을 점등하여 스캔을 시작한다. 제어부(90)는 먼저 x축이송수단(70)을 작동시켜 x축 방향으로 스캔을 시작하며 스캔카메라(40)에서 전송되는 영상정보와 스캔위치인 위치정보를 영상저장부(95)에 저장하게 된다. 제어부(90)는 필요시에 모니터(60)로 영상정보를 전송하여 스캔위치의 영상이 표시되도록 한다. 스캔카메라(40)가 x축 방향으로 처음부터 끝까지 스캔하게 되면 제어부(90)는 y축이송수단(80)을 작동시켜 기판(10)을 소정간격 이송시킨다.Before the scan camera 40 starts scanning the substrate 10, the controller 90 sets an interval and an area in which the spacers 20 are arranged on the substrate 10 and specifies a scan area and a scan interval. The control unit 90 controls the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 to move the scan camera 40 and the luminaire 30 to a reference point at which scanning starts, and to turn on the illumination lamp 32. Start the scan. The controller 90 first starts the scan in the x-axis direction by operating the x-axis transfer means 70 and stores the image information transmitted from the scan camera 40 and the position information, which is the scan position, in the image storage unit 95. do. The controller 90 transmits the image information to the monitor 60 as necessary so that the image of the scan position is displayed. When the scan camera 40 scans from the beginning to the end in the x-axis direction, the controller 90 operates the y-axis transfer means 80 to transfer the substrate 10 by a predetermined interval.

다시 스캔카메라(40)는 x축이송수단(70)에 의하여 x축 방향으로 이동하면서 기판(10)을 스캔하게 된다. 이러한 과정의 반복으로 기판(10)에 대한 스캔이 완료되면 제어부(90)는 조명등(32)을 소등하고 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)을 작동시켜 스캔카메라(40)와 기판(10)을 초기위치로 이송시키고 스캔을 종료하게 된다.The scan camera 40 scans the substrate 10 while moving in the x-axis direction by the x-axis transfer means 70. When the scan of the substrate 10 is completed by repeating this process, the control unit 90 turns off the lamp 32 and operates the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 to scan the camera 40. The substrate 10 is transferred to the initial position and the scanning is finished.

상기 제어부(90)는 스캔과정에서 스캔카메라(40)에서 전송되는 영상정보로부터 스페이서(20)의 정렬에 결함이 있는 결함위치를 결함위치정보로 별도로 저장하게 할 수 있다.The controller 90 may separately store a defect position having a defect in alignment of the spacer 20 from the image information transmitted from the scan camera 40 in the scanning process as the defect position information.

다음은 기판(10)의 스캔결과로부터 스페이서(20) 정렬에 결함이 있는 결함위치를 재확인하는 과정을 설명한다.Next, a process of reconfirming a defect position having a defect in alignment of the spacer 20 from the scan result of the substrate 10 will be described.

상기 제어부(90)는 x축이송수단(70)과 y축이송수단(80)의 작동을 제어하여 결함위치정보를 근거로 리뷰카메라(50)를 결함위치로 이송시킨다. 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50)는 x축이송수단(70)에 소정의 간격을 두고 설치되므로, 제어부(90)는 스캔카메라(40)의 영상정보에 저장된 결함위치와 스캔카메라(40)와 리뷰카메라(50)의 설치간격을 고려하여 리뷰카메라(50)를 결함위치로 이송시키게 된다. 리뷰카메라(50)는 결함위치의 스페이서(20) 정렬상태에 대한 확대영상을 제어부(90)로 전송하며 제어부(90)는 모니터(60)에 해당위치의 확대영상을 표시하게 된다. 기판(10)의 스페이서(20) 정렬에 결함이 있는 결함위치가 다수 있으면 상기와 같은 과정을 반복하여 재확인을 하게 된다. The controller 90 controls the operation of the x-axis transfer means 70 and the y-axis transfer means 80 to transfer the review camera 50 to the defect position based on the defect position information. Since the scan camera 40 and the review camera 50 are installed at predetermined intervals in the x-axis transfer means 70, the control unit 90 stores the defect position and the scan camera 40 stored in the image information of the scan camera 40. ) And the review camera 50 is transferred to the defective position in consideration of the installation interval of the review camera 50. The review camera 50 transmits an enlarged image of the alignment state of the spacer 20 at the defective position to the controller 90, and the controller 90 displays the enlarged image of the corresponding position on the monitor 60. If there are a large number of defective positions in the alignment of the spacers 20 of the substrate 10, the above process is repeated to confirm again.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.As described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and any person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Various modifications are possible, of course, and such changes are within the scope of the claims.

본 발명의 스페이서정렬 자동검사장치에 의하면 FED의 제조과정에서 다량의 스페이서가 정렬된 기판의 스페이서 정렬상태를 빠른 시간 안에 자동으로 검사할 수 있는 효과가 있다.According to the automatic spacer alignment inspection device of the present invention in the manufacturing process of the FED there is an effect that can automatically inspect the spacer alignment state of the substrate on which a large number of spacers are aligned.

또한 본 발명에 의하면 기판의 스페이서 정렬상태에 대한 영상정보가 위치정보와 함께 저장되므로 특정위치의 스페이서 정렬상태를 신속하게 재확인 할 수 있으며, 특히 스페이서의 정렬에 결함이 있는 결함위치만을 자동으로 찾아가 결함상태를 재확인하고 필요한 조치를 취하는 것이 가능한 효과가 있다. In addition, according to the present invention, since the image information about the spacer alignment state of the substrate is stored together with the position information, the spacer alignment state of a specific position can be quickly reconfirmed, and in particular, only the defect position having a defect in alignment of the spacer is automatically found and defected. It is possible to reaffirm the status and take the necessary action.

도 1은 FED에 사용되는 스페이서와 스페이서가 정렬된 음극기판의 사시도.1 is a perspective view of a negative electrode substrate in which spacers and spacers used for FED are aligned.

도 2는 본 발명에 따른 스페이서정렬 자동검사장치의 구성도.2 is a block diagram of a spacer alignment automatic inspection device according to the present invention.

도 3은 도 2의 스캔카메라와 조명수단의 작용관계를 나타내는 구성도.3 is a configuration diagram showing an operation relationship between the scan camera and the lighting means of FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the reference numerals for the main parts of the drawings>

30 - 조명수단 40 - 스캔카메라30-Lighting 40-Scan Camera

50 - 리뷰카메라 60 - 모니터50-Review Camera 60-Monitor

70 - x축이송수단 80 - y축이송수단70-x-axis means 80-y-axis means

90 - 제어부 90-control unit

Claims (6)

FED 기판에 정렬되는 다수의 스페이서의 정렬상태를 검사하는 장치에 있어서,In the apparatus for checking the alignment of the plurality of spacers aligned to the FED substrate, 상기 기판의 상부에서 일정경로로 이동하면서 상기 스페이서의 상면에 빛을 비추는 조명수단;Illumination means for illuminating the upper surface of the spacer while moving in a predetermined path from the upper portion of the substrate; 상기 조명수단과 소정거리 이격되어 이동하면서 상기 스페이서의 상면에서 반사되는 빛을 받아들여 스페이서의 정렬상태에 대한 영상정보를 생성하여 전송하는 스캔카메라;A scan camera which receives the light reflected from the upper surface of the spacer while moving away from the lighting means and generates and transmits image information on the alignment state of the spacer; 상기 스캔카메라와 상기 조명수단을 지지하여 x축 방향으로 이송시키는 x축이송수단;X-axis transfer means for supporting the scan camera and the lighting means to transfer in the x-axis direction; 상기 기판을 y축 방향으로 이송시키는 y축이송수단;Y-axis transfer means for transferring the substrate in the y-axis direction; 상기 스캔카메라의 영상정보를 표시하는 모니터; 및A monitor displaying image information of the scan camera; And 상기 영상정보가 저장되는 영상저장부를 포함하며 상기 x축이송수단과 상기 y축이송수단과 상기 조명수단 및 상기 모니터의 작동을 제어하고 상기 영상정보를 상기 모니터로 전송하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.And a control unit for controlling the operation of the x-axis transfer unit, the y-axis transfer unit, the lighting unit, and the monitor, and transmitting the image information to the monitor. Spacer alignment automatic inspection device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부는 상기 영상정보와 상기 영상정보가 생성된 기판상의 위치에 대한 위치정보를 함께 저장하는 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.And the control unit stores the image information together with the position information of the position on the substrate where the image information is generated. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 x축이송수단에 지지되며 상기 기판의 스페이서 정렬상태에 대한 확대영상을 상기 제어부로 전송하는 리뷰카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.And a review camera supported by the x-axis transfer means and transmitting an enlarged image of the spacer alignment state of the substrate to the controller. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제어부는 상기 스페이서의 정렬상태에 결함이 있는 위치에 대한 결함위치정보를 더 포함하여 저장하며, 상기 결함위치정보에 따라 상기 리뷰카메라를 결함위치로 이송시키는 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.And the control unit further stores defect position information on a position in which the spacer is in alignment, and transfers the review camera to a defect position according to the defect position information. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 상하이송수단은 공압실린더인 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.The Shanghai transport means is a spacer alignment automatic inspection device, characterized in that the pneumatic cylinder. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 x축이송수단과 상기 y축이송수단은 스텝핑모터에 의하여 구동되는 볼스크류와 상기 볼스크류의 회전에 의하여 직선으로 이동하는 리니어가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스페이서정렬 자동검사장치.And the x-axis feed means and the y-axis feed means comprise a ball screw driven by a stepping motor and a linear guide moving linearly by the rotation of the ball screw.
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