KR20050070969A - 액정주입 장치 - Google Patents

액정주입 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20050070969A
KR20050070969A KR1020030101676A KR20030101676A KR20050070969A KR 20050070969 A KR20050070969 A KR 20050070969A KR 1020030101676 A KR1020030101676 A KR 1020030101676A KR 20030101676 A KR20030101676 A KR 20030101676A KR 20050070969 A KR20050070969 A KR 20050070969A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
chamber
vacuum chamber
pressure
crystal injection
Prior art date
Application number
KR1020030101676A
Other languages
English (en)
Inventor
박석홍
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020030101676A priority Critical patent/KR20050070969A/ko
Publication of KR20050070969A publication Critical patent/KR20050070969A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341—Filling or closing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조공정에서 액정패널에 액정을 주입하기 위한 액정주입 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정주입 장치는, 진공챔버(10)와, 진공챔버(10)내에 구비되어 다수개의 셀(P)을 적재하는 적재 카세트(12)와, 진공챔버(10) 내부를 가열하기 위한 히터(14)와, 진공챔버(10) 내부를 저압상태로 만들기 위한 드라이 펌프(16)와, 진공챔버(10) 내부의 공기를 순환시키는 순환팬(20)과, 진공챔버(10) 내로 불활성 기체를 주입하여 진공챔버(10) 내부를 가압하는 가압장치(22)와, 상기 드라이 펌프(16)와 이격 배치되며, 드라이 펌프(16)의 감압 작동시, 챔버(10) 내부의 감압상태가 균일하도록 조절하는 레귤레이터(24)를 포함하여 이루어진다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 액정주입 장치에 의하면 액정주입과정에서 가압장치를 이용하여 챔버 내부의 압력을 크게 높임으로써 액정의 주입속도를 향상시킬 수 있으며, 액정의 주입을 완료한 다음에는, 레귤레이터를 이용하여 감압 시의 압력저하 상태를 고르게 유지하여 셀 내부의 액정분포상태가 균일해지도록 함으로써 생산되는 액정표시장치의 생산성 및 품질 향상에 도움이 된다는 이점이 있다.

Description

액정주입 장치 {liquid crystal injection apparatus}
본 발명은 액정표시장치의 제작공정에서 액정패널에 액정을 주입하기 위한 액정주입 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정의 주입 효율을 높이고 분산정도를 고르게 할 수 있는 액정주입 장치에 관한 것이다.
일반적으로 박막트랜지스터를 채택하는 액정모듈의 제조공정은 박막트랜지스터(TFT) 공정, 셀(Cell) 공정, 모듈(Module) 공정으로 나뉘어 진다.
TFT 공정은 반복하여 유리 기판 위에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정으로서, 진공실 내부에 증착에 필요한 가스를 주입하여 압력과 기판 온도가 설정되면 RF(Radio Frequency)전력을 이용하여 주입된 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 기판위에 증착하는 화학기상증착법(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 과정, RF 전력이나 DC 전력에 의해 형성된 플라즈마 내에서 높은 에너지를 갖고 있는 기체이온이 타겟표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 스퍼터링(Sputtering) 과정, 감광성 화학약품(PR: Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 현상(Photolithography) 과정, 기체 플라즈마로부터 만들어진 원자나 자유기(radical)와 같은 반응성 물질과 기판에 증착된 물질이 반응하여 휘발성 물질로 변하는 현상을 이용한 식각(Etch)과정으로 이루어진다.
그리고, 셀(Cell) 공정은 TFT 하판과 컬러필터가 형성된 상판에 배향막을 형성하는 배향막 도포과정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록 하는 러빙(rubbing) 과정, 스페이서(spacer)를 산포하는 스페이서 과정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지하는 액정주입과정으로 이루어진다. 한편, 최근에는 대형원판에 다수의 패널을 형성하고, 이들 원판에 일괄적으로 액정을 주입한 후, 각 패널별로 절단하는 방법이 행해지고 있다.
모듈(Module) 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버IC를 실장한 후 PCB(Printed Circuit Board)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(Backlight unit)과 기구물을 조립하게 된다.
이와 같은 액정표시장치의 제작공정 중 셀(Cell) 공정에서의 액정주입방법 중 하나는 가압작용 및 가열작용을 통해 액정의 주입속도와 주입상태의 균일성을 높이는 액정주입 장치를 통해 이루어지는데, 이에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 최근의 액정표시장치는 박형, 대형화 고속응답화 추세에 맞추어 구조상 낮은 셀갭(cell gap, 셀을 구성하는 상하기판 사이의 간극)과 저점도의 액정을 요구하고 있는데, 셀갭이 낮아지면 액정주입시간이 길어지기 때문에 생산효율이 저하되며, 액정의 점도가 낮아지면 주입된 액정이 중력 등의 요인에 의해 고르게 분포되지 않는 등의 문제가 발생하게 된다.
패널로 절단된 상태에서 액정을 주입하는 방법을 채택하는 종래의 액정주입 장치는 도 1에 나타난 것과 같이 챔버(10)와, 상기 챔버(10) 내에 구비되어 다수개의 패널(P)을 적재하는 적재 카세트(12a, 12b)와, 챔버(10) 내부를 가열하기 위한 다수개의 히터(14a, 14b, 14c)와, 챔버(10) 내부를 진공상태로 만들기 위한 드라이 펌프(16)와, 액정이 저장된 액정용기(18) 및 내부 공기를 순환시키는 순환팬(20) 등을 포함하여 이루어져 있다.
적재카세트(12a, 12b)는 제 1 열 적재카세트(12a)와 제 2 열 적재카세트(12b)로 나뉠 수 있으며, 각 카세트마다 약 50개 정도의 패널(P)이 적재되고, 히터는 전방히터(14a), 후방히터(14b) 및 탑히터(14c)가 구비되어 열이 골고루 전달되도록 하고 있다.
이러한 종래의 액정주입 장치에 의한 액정주입 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 챔버(10) 내의 적재 카세트(12a, 12b)에 액정을 주입할 패널(P)을 적재하고 드라이 펌프(16)를 이용하여 챔버(10) 내부를 감압하여 진공상태로 만든다. 이때 패널(P)내부의 액정주입공간 역시 진공이 되고, 이 상태에서 액정용기(18)를 패널(P)의 주입구와 연결하고, 드라이펌프(16)의 진공을 해제하게 된다.
이에 따라 패널(P) 내부는 진공상태이고 챔버(10)는 상대적으로 높은 압력을 가지게 되므로, 액정용기(18) 내의 액정이 패널(P) 내부로 유입되도록 한다.
이때 챔버(10) 내부의 각 히터(14a, 14b, 14c)를 이용하여 가온함으로써, 액정의 점도를 낮게하여 주입속도를 높이게 된다. 액정주입이 끝나면 패널(P)의 액정주입구가 상부로 향하게 하고, UV에 반응하는 봉지제를 바른 후, UV광으로 봉지제굳게 함으로써 액정주입이 완료된다.
그런데, 액정주입속도를 높이기 위해 히터(14a, 14b, 14c)를 이용하여 가온하지만, 온도가 50도 내지 70도 사이에서는 점도의 변화가 한계가 있으므로, 액정주입속도에 큰 차이가 없게되어 실제 액정주입속도 개선에 한계가 있게 된다.
즉, 챔버부의 온도를 높이는 가온 처리 만으로는 액정주입 속도를 높이는데 한계가 있으며, 챔버(10) 내부의 상압과정이 단순히 외기를 유입하는 방식으로 이루어지기 때문에 가압에 따른 주입 속도 향상이 미흡하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 액정주입 과정의 주입속도를 높일 수 잇는 액정주입장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 제공되는 액정주입 장치는, 챔버와, 챔버내에 구비되어 다수개의 패널을 적재하는 적재 카세트와, 챔버 내부를 가열하기 위한 히터와, 챔버 내부를 저압상태로 만들기 위한 드라이 펌프와, 액정이 저장된 액정용기와, 챔버 내부의 공기를 순환시키는 순환팬과, 상기 챔버 내로 불활성 기체를 주입하여 챔버 내부를 가압하는 가압장치와, 상기 드라이 펌프와 이격 배치되며, 드라이 펌프의 감압 작동시, 챔버 내부의 감압상태가 균일하도록 조절하는 레귤레이터를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도 2를 참조로 하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 액정주입 장치는, 도면에 나타난 것과 같이 챔버(10)내에 구비되어 다수개의 패널(P)을 적재하는 적재 카세트(12a, 12b)와, 챔버(10) 내부를 가열하기 위한 다수개의 히터(14a, 14b, 14c)와, 챔버(10) 내부를 저압상태로 만들기 위한 드라이 펌프(16)와, 챔버(10) 내부의 공기를 순환시키는 순환팬(20)과, 챔버(10) 내로 불활성 기체를 주입하여 챔버(10) 내부를 가압하는 가압장치(22)와, 챔버(10) 내부의 감압상태가 균일하도록 조절하는 레귤레이터(24)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 레귤레이터(24)는 드라이 펌프(16)와 진공흡입 권역을 고르게 배분할 수 있도록 드라이 펌프(16)와 대향방향으로 이격 배치된다.
상술한 바와 같이 구성된 액정주입 장치에 의한 액정주입 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 챔버(10) 내의 적재 카세트(12a, 12b)에 패널(P)을 적재한 상태에서 드라이 펌프(16)를 사용하여 챔버(10) 내의 압력을 낮추게 되면, 패널(P)내부의 압력 역시 낮아지게 된다. 이때 패널(P)의 액정주입구를 액정용기(18)에 접촉시키고, 드라이펌프(16)를 해제하면서 액정의 주입이 시작되면, 히터(14a, 14b,14c)를 이용하여 챔버(10)의 내부 온도를 높이고, 가압장치(22)를 가동하여 챔버(10) 내로 질소 등의 불활성 기체를 주입함으로써 챔버(10) 내의 압력을 상압 이상으로 크게 높이게 된다.
이러한, 상기 가압장치(22)의 강압(强壓)작용에 따르면, 패널(P) 내부의 압력이 패널(P) 외부에 비해 상대적으로 크게 낮아지기 때문에 액정의 주입속도가 가속된다.
그리고, 액정주입이 완료되면, 이 상태의 패널(P)에는 도 3에 도시한 바와 같이, 패널(P) 내부에 액정(L)이 과하게 주입되고, 아울러, 패널(P)은 대기압에서 사용되는 것이므로, 대기압으로의 감압작용을 시행하게 되는데, 이때에는 드라이 펌프(16)와 함께 레귤레이터(24)를 가동함으로써 감압작용이 균일하게 한다. 감압을 함으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 패널(P)은 액정이 필요충분한 상태로 주입된 정상적인 상태로 돌아오게 된다. 이후 봉지제를 바르고 UV광을 조사하여 액정주입은 완료된다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였으나, 이는 예시이며, 다양한 변화와 변형이 가능할 것이나,이러한 변화와 변형은 본 발명의 권리범위에 속하게 됨은 후술하는 청구범위를 통해 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 액정주입 장치에 의하면, 액정주입과정에서 챔버 내부의 압력을 크게 높임으로써 액정의 주입속도를 향상시킬 수 있으며, 액정의 과주입을 완료한 다음, 감압 시의 압력저하 상태를 고르게 유지하여 셀 내부의 액정분포상태를 균일하게 처리하게 된다.
만일 액정주입속도를 높이기 위해 가압만 하고 자연상태로 대기압으로 떨어지게 한 경우에는 시간이 많이 소요됨은 물론이고, 감압되는 압력이 불안정하여, 중력불량, 터치(touch)불량 및 내부에 기체가 생기는 기포불량 등이 발생하게 되는데 , 본 발명은 이러한 압력변화로 인한 액정주입불량을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
도 1는 종래기술에 따른 액정주입 장치의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정주입 장치의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 가압된 상태에서 액정이 주입된 패널을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 대기압으로 감압된 상태의 패널상태를 도시한 도면이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 진공챔버 12: 적재 카세트
14: 히터 16: 드라이 펌프
18: 액정용기 20: 순환팬
22: 가압장치 24: 레귤레이터

Claims (3)

  1. 챔버와,
    챔버내에 구비되어 다수개의 패널을 적재하는 적재 카세트와,
    챔버 내부를 가열하기 위한 히터와,
    챔버 내부를 저압상태로 만들기 위한 드라이 펌프와,
    액정이 저장된 액정용기와,
    챔버 내부의 공기를 순환시키는 순환팬과,
    상기 챔버 내로 불활성 기체를 주입하여 챔버 내부를 가압하는 가압장치와,
    상기 가압장치를 이용하여 가압상태에서 액정을 상기 패널에 주입한 후, 챔버 내부의 감압상태가 균일하도록 조절하는 레귤레이터
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정주입 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 불활성 기체는 질소인 것을 특징으로 하는 액정주입 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 레귤레이터는 상기 가압장치와 대향하는 방향에 위치한 액정주입장치.
KR1020030101676A 2003-12-31 2003-12-31 액정주입 장치 KR20050070969A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030101676A KR20050070969A (ko) 2003-12-31 2003-12-31 액정주입 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030101676A KR20050070969A (ko) 2003-12-31 2003-12-31 액정주입 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050070969A true KR20050070969A (ko) 2005-07-07

Family

ID=37260978

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030101676A KR20050070969A (ko) 2003-12-31 2003-12-31 액정주입 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20050070969A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526916A (zh) * 2016-11-28 2017-03-22 武汉华星光电技术有限公司 基板清洁干燥装置及其节能方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526916A (zh) * 2016-11-28 2017-03-22 武汉华星光电技术有限公司 基板清洁干燥装置及其节能方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100207506B1 (ko) 액정 표시 소자의 제조방법
US7038758B2 (en) Liquid crystal cell, display device, and particular method of fabricating liquid crystal cell by dropping and capillary action
US8189167B2 (en) Mask holder for irradiating UV-rays
JP4854127B2 (ja) 液晶表示装置用インラインシステム及びそれを構成する製造装置、液晶表示装置の製造方法
US7701546B2 (en) Method and apparatus for manufacturing an LCD
CN109765730B (zh) 配向膜的制作方法及配向膜
KR20050070969A (ko) 액정주입 장치
US6844908B2 (en) Apparatus for injecting liquid crystal materials and methods for manufacturing liquid crystal panels by using the same
KR100714882B1 (ko) 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치
KR100583253B1 (ko) 티씨피 가압착툴의 가압착 헤드
KR20090070760A (ko) 액정표시장치의 제조장치와 이를 이용한 제조방법
CN111124176B (zh) 一种触控面板制程方法及触控面板
KR100485709B1 (ko) 액정표시장치용 기판제조를 위한 챔버
KR100243273B1 (ko) 액정 표시장치의 제조방법
KR20050111872A (ko) 이온빔 조사를 이용한 배향법
KR100796804B1 (ko) 액정 표시 장치용 인라인 시스템 및 이를 이용하는 액정표시 장치의 제조 방법
KR20010048351A (ko) 액정주입방법
JP2007101638A (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR100506259B1 (ko) 액정표시장치의 제조장치
KR20070071914A (ko) 액정표시장치 제조용 진공 건조장치
WO2004036295A1 (en) Apparatus of assembling display panels and method of manufacturing display device using assembling apparatus
JP2002350871A (ja) 液晶表示素子の製造方法および製造装置
KR20040087118A (ko) 플라즈마 화학 기상 증착 장치
KR20070068545A (ko) 플라즈마 박막처리장치 및 박막처리방법
KR100769187B1 (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination