KR20050070945A - 가스 라인의 누출 차단장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스 라인의 누출 차단 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 밸브 내부의 가스 누출 발생시 가스 라인의 오염을 방지하는 누출 체크 밸브에 관한 것이다.

본 발명의 가스 라인의 누출 차단 장치는 챔버의 가스 라인의 브이 블럭 밸브에 장착되어 밸브 내부의 가스 유출을 차단하고 역으로 흐르는 가스를 방지하는 체크 밸브를 더 포함하여 구성됨에 기술적 특징이 있다.

따라서, 본 발명의 가스 라인의 누출 차단 장치는 챔버의 브이 홈 블럭에 체크 밸브를 장착하여 가스 라인의 오염을 방지하고 장비의 가동율을 향상시키는 효과가 있다.

Description

가스 라인의 누출 차단 장치{Leak preventing device of gas line}

본 발명은 가스 라인의 누출 차단 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 밸브 내부의 가스 누출 발생시 가스 라인의 오염을 방지하는 누출 체크 밸브에 관한 것이다.

종래의 체크 밸브는 일 방향성 밸브로서 밸브에 작용하는 양쪽 압력에 대하여 일 방향으로만 누출(leak)을 차단하게 되므로 진공 펌프와 진공관 사이에 사용하는 데 기술적 어려움이 있다.

즉, 상기 체크 밸브는 정상 작동 시에는 내부의 스프링이 입구로부터의 압력에 대해 버팀 힘을 행사하고 있으며, 입구를 폐쇄하고 있게 된다. 이때, 입구측에 비정상적으로 고압이 발생하여 스프링의 버팀 힘보다 큰 힘이 행사되는 경우 밸브가 열려서 입구측으로부터의 유속이 측면 통로를 통해 우회되는 작용을 하게 된다.

다른 종래 기술로 압력 차이에 의한 자동 차단 밸브 장치가 있다. 그러나, 자동 차단 밸브 장치는 밸브 양단 입구 및 출구 사이의 압력 이동시간에 비해 밸브 작동 응답 속도가 느리다.

즉, 종래 기술에 따라 전기 신호를 이용하는 방법은 밸브와 별도로 누출을 감지하여 신호를 밸브에 전달하여 주는 계기가 있어야 하는데, 상기 계기로서 진공 센서 또는 누출 감지기 등의 응답 속도가 일반적으로 신속하지 못하므로, 압력 이동에 의한 압력 확산 속도보다 현저히 느린 문제점이 있다.

따라서, 종래 기술에 따른 진공 밸브 장치는 갑작스런 누출에 대하여 신속히 대처할 수 없으며 방법을 찾아 적용한다 하더라도 시스템이 복잡하여지고 비용이 많이 드는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 가스 패널 내의 브이 블럭 밸브에 체크 밸브를 설치하여 가스 라인의 오염을 방지하는 가스 라인의 누출 차단 장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.

본 발명의 상기 목적은 가스 라인의 누출 차단 장치에 있어서, 챔버의 가스 라인의 브이 블럭 밸브에 장착되어 밸브 내부의 가스 유출을 차단하고 역으로 흐르는 가스를 방지하는 체크 밸브를 더 포함하여 구성된 가스 라인의 누출 차단 장치에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 누출 체크 밸브의 모식도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 브이 블럭 밸브(130)에 체크 밸브(120)를 장착하여 가스 라인의 오염을 방지하고자 한 것이다.

챔버의 가스 라인의 브이 블럭 밸브에 차단 밸브(120)를 장착하여 밸브 1(110)이 동작할 때 챔버로 가스가 흐르고, 밸브 2(100)가 동작할 때 퍼지(Purge)와 펌핑이 된다. 그러나 상기 밸브 2(100)가 동작시 밸브 내부에 가스가 누출되어 퍼지 가스 라인에 오염이 발생하는데 본 발명에 의한 체크 밸브(120)를 설치함으로써 가스 라인의 오염을 방지한다.

도 2는 본 발명에 따른 누출 체크 밸브의 구성도이다. 도 2를 살펴보면, 밸브 1(110)과 밸브 2(100) 사이의 브이홈 블럭에 체크 밸브(120)를 장착한다.

상기 체크 밸브(120)는 가스 라인의 오염을 방지하여 장비의 가동율을 향상시키고 역으로 흐르는 가스를 방지할 수 있다.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.

따라서, 본 발명의 가스 라인의 누출 차단 장치는 챔버의 브이 홈 블럭에 차단 밸브를 장착하여 가스 라인의 오염을 방지하고 장비의 가동율을 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 누출 체크 밸브의 모식도이다.

도 2는 본 발명에 따른 누출 체크 밸브의 구성도이다.

Claims (1)

1. 가스 라인의 누출 차단 장치에 있어서,

   챔버의 가스 라인의 브이 블럭 밸브에 장착되어 밸브 내부의 가스 유출을 차단하고 역으로 흐르는 가스를 방지하는 체크 밸브를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 가스 라인의 누출 차단 장치.