KR20050064930A - 액정표시장치용 스토커 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 스택커가 선반 또는 스토커 내부의 장치와 충돌하는 것을 방지함으로써 스토커가 장시간 작동되지 못하는 문제점을 해결하고 카세트에 적재된 기판의 파손을 방지하는 액정표시장치용 스토커를 제공하는데 있다.

이를 위해 본 발명은 기판이 수납되는 카세트가 저장되는 선반(shelf), 상기 카세트를 암 테이블에 적재하여 지정된 선반으로 로딩 또는 언로딩하는 스택커(Stacker)와, 상기 스택커에 설치되어 작업도중 선반등의 장애물이 감지되면 충돌을 방지하기 위한 일정한 신호를 발생시키는 감지수단과, 상기 스택커의 작동을 제어하며, 상기 감지수단의 신호를 수신하여 스택커를 장애물의 일정거리앞에서 정지시키는 스택커 컨트롤러를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커를 제공한다.

Description

액정표시장치용 스토커{The Stocker for Liquid Crystal Display Device}

본 발명은 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device)용 스토커(Stocker)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스토커 내부에 설치되어 카세트(Cassette)를 선반(shelf)으로 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)하는 스택커(Stacker)가 선반(Shelf)등과 충돌하는 것을 사전에 방지함으로써 스토커가 장시간 가동되지 못하는 것을 방지하고 카세트 파손 위험을 줄일수 있는 액정표시장치용 스토커에 관한 것이다.

평판 표시장치(Flat Panel Display) 중에서 a-Si 액정표시장치는 노트북 컴퓨터 응용을 시작으로 모니터(Monitor) 등 다른 응용 분야로 그 비중이 점차 증대되고 있다. 이러한 액정표시장치 산업의 발전과 그 응용의 보편화는 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 가속되었으며, 현재는 생산성 증대와 저가격화가 관건으로, 이를 위한 시도는 제조공정의 단순화와 수율 향상의 관점에서 제조 업체는 물론, 관련 재료 산업과 제조 장비 업체의 공동의 노력이 요구되고 있다.

이러한 상기 액정표시장치의 제조공정은 유리 기판상에 픽셀(Pixel) 단위의 신호를 인가하는 스위칭 소자들을 형성하는 TFT(Thin Film Transistor: 박막 트랜지스터) 공정과, 색상을 구현하기 위한 컬러 RGB(Red, Green, Blue) 어레이를 형성하는 컬러 필터(Color Filter) 공정, 그리고, 상기 각 공정을 거쳐 형성된 TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정 셀(Cell)을 형성하는 액정 공정으로 크게 나눌 수 있다.

이와 같은 상기 각 공정은 순차적으로 행하여 지며, 각 공정을 거치기 위해 상기 기판이 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 반송 또는 이송된다.

이때, 상기 각 기판들은 미세 먼지나 입자에 의해서도 쉽게 불량이 발생하기 때문에 상기 각 공정간을 이동하는 기판들은 매우 청정한 상태로 유지되어야 한다. 이를 위해 상기 기판들은 카세트에 수납된 상태로 공정간을 이동하게 되고, 상기 카세트 역시 각 공정간을 이동하면서 일정 장소에 위치하는 스토커의 내부에 저장된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 액정표시장치용 스토커에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치용 스토커의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 스토커(Stocker)는 카세트(2)를 저장하는 선반(Shelf)(1)과, 상기 카세트(2)를 선반(1)으로 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)하는 스택커(Stacker)(3)와, 스토커의 천정에 설치되는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit)(4)을 포함하여 구성된다.

상기 카세트(2)는 각 공정간을 이동하는 기판(미도시)을 수납하는 장비로 내부에는 다수개의 기판(미도시)이 적재된다. 이때, 동일한 카세트(2)에는 크기 및 작업 진행률이 동일한 기판들이 적재됨이 보통이다.

그리고, 상기 스택커(3)는 상기 카세트(2)의 적재 또는 반출을 위한 장치로 스토커의 중앙에 위치하며, 양쪽에 일렬로 설치된 선반(1)으로 카세트(2)를 로딩 또는 언로딩한다.

즉, 상기 카세트(2)가 운반수단(미도시)등에 의해 스토커 내부로 이송되면, 상기 스택커(3)는 각 카세트(2)를 지정된 선반(1)에 로딩하게 되며, 카세트(2)를 다음 공정으로 이동시킬 때에도 상기 스택커(3)가 지정된 선반(1)에서 카세트(2)를 언로딩하게 된다. 이를 위해 상기 스택커(3)는 상하 좌우 및 회전이동이 가능하도록 구성된다.

한편, 상기 스택커(3)는 스토커 내부의 시스템을 제어하는 스토커 컨트롤러(SMC: Stocker Master Controller)(6)와 인터 페이스 된다. 따라서, 상기 스택커(3)는 스토커 컨트롤러(6)에 의해 제어되어 각 카세트(2)를 지정된 선반(1)에 로딩하고, 지정된 선반(1)에서 원하는 카세트(2)를 언로딩하는 작업을 하게 된다.

또한, 상기 스택커(3)의 측면에는 트롤리(Trolley)(5)가 설치되어 스택커(3)의 카세트(2) 이송 또는 반송을 위한 전원을 공급한다. 상기 트롤리(5)는 브러시(Brush)가 접촉하여 전원을 공급하는 장치로 외부 전원(미도시)과 연결된다.

그리고, 상기 팬 필터 유닛(4)은 스토커 내부의 청정상태를 유지하기 위한 장치로 작업도중 발생된 먼지가 스토커 하부로 방출되도록 상부에서 하부로 유동하는 기류를 발생시킨다.

이와 같이 상기 스토커는 순차적으로 진행되는 작업공정의 원활한 진행을 위해 다음 공정으로 이동할 카세트(2)를 보관하고, 또한 보관된 카세트(2)를 다음 공정으로 반송하는 물류 저장소 역할을 한다.

하지만, 상기와 같은 종래 기술에 따른 액정표시장치용 스토커는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 종래 기술에 따른 스토커는 점검을 위해 스택커에 대한 검사를 실시하거나 스토커에 에러가 발생하여 이에 대한 조치를 취하고자 할 경우 사용자가 수동으로 스택커를 조작하게 된다. 이때, 사용자가 조작실수를 하게 되면 스택커가 선반 또는 스토커 내부의 일부 장치와 충돌하여 기구적으로 틀어질 수 있고 이에 따라 스토커 전체가 장시간 작동되지 못하는 문제점이 있다.

둘째, 종래 기술에 따른 스토커는 상기 스택커 자체가 장시간 사용에 따른 열화(劣化)에 의해 기구적으로 틀어질 경우에도 선반 또는 스토커 내부의 일부 장치와 충돌하여 스토커 전체가 장시간 작동되지 못하는 문제점이 있다.

또한, 상기 스택커가 카세트를 적재한 상태에서 선반 또는 스토커 내부의 일부 장치와 충돌하게 되면 카세트 내의 기판이 파손될 위험이 큰 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 스택커가 선반 또는 스토커 내부의 장치와 충돌하는 것을 방지함으로써 스토커가 장시간 작동되지 못하는 문제점을 해결하고 카세트에 적재된 기판의 파손을 방지하는 액정표시장치용 스토커를 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 기판이 수납되는 카세트가 저장되는 선반(shelf)과; 상기 카세트를 암 테이블에 적재하여 지정된 선반으로 로딩 또는 언로딩하는 스택커(Stacker)와; 상기 스택커에 설치되어 작업도중 선반등의 장애물이 감지되면 충돌을 방지하기 위한 일정한 신호를 발생시키는 감지수단과; 상기 스택커의 작동을 제어하며, 상기 감지수단의 신호를 수신하여 스택커를 장애물의 일정거리앞에서 정지시키는 스택커 컨트롤러를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어 종래 기술과 동일한 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용하며, 부가적인 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명에 따른 스택커의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스택커(100)는 스토커의 내부에 설치되어 기판(미도시)이 수납되는 카세트(미도시)를 로딩 또는 언로딩하여 목적지까지 이송해주는 장치로서, 크게 스택커 컨트롤러(SC:Stacker Controller)(110)와 주행부(120)와 암(Arm) 유닛(130)으로 이루어진다.

상기 스택커 컨트롤러(110)는 스토커 컨트롤러(SMC)(미도시)의 명령을 전달받아 스택커(100)의 작동을 제어하며, 상기 주행부(120)는 스택커(100)의 이동시 주행을 담당하는 부분으로 하부에 이동을 위한 바퀴가 장착되는 4개의 보행기(Walker)(121)로 이루어진다.

그리고, 상기 암 유닛(130)은 카세트의 로딩 또는 언로딩을 직접 담당하는 부분으로 암 바디(Arm Body)(131)와 제 1, 2암(Arm)(132, 133) 그리고, 암 테이블(Arm Table)(134)로 이루어진다.

상기 암 바디(131)는 스택커 컨트롤러(110)의 측면에 설치되어 암 유닛(130)의 베이스(Base)를 이루며, 상기 암 테이블(134)은 사각의 플레이트 형상으로 이루어져 상부에 카세트가 적재되도록 구성된다.

또한, 상기 제 1, 2암(132, 133)은 상기 암 바디(131)와 암 테이블(134) 사이에 설치되어 상하 좌우 이동이 가능하도록 구성된다. 따라서, 상기 암 테이블(134)은 제 1, 2암(132, 133)의 작동에 따라 상하 좌우 이동하며 상부에 적재되는 카세트를 로딩 또는 언로딩 시킨다.

한편, 상기 스택커(100)에는 상기 스택커 컨트롤러(110)와 접속(interface)되어 작업도중 선반(미도시)등의 장애물이 감지되면 충돌을 방지하기 위해 일정한 신호를 발생시키는 감지수단(200)이 설치된다.

상기 감지 수단(200)은 탈착 가능하게 설치되어 스택커(100)가 작업도중 선반 또는 스토커 내부의 장치와 일정거리 이상 가까워지면 충돌을 방지하기 위한 신호를 발생시키고, 상기 신호는 스택커 컨트롤러(110)에 전달된다. 그리고, 상기 감지수단(200)의 신호를 수신한 스택커 컨트롤러(110)는 스택커(100)가 선반등과 같은 장애물의 일정거리앞에서 정지되도록 한다.

이와 같은 상기 감지수단(200)은 암 유닛(130)의 작동시 장애물과 충돌을 일으킬 가능성이 가장 큰 암 테이블(134)에 설치됨이 바람직하며, 특히 상기 감지수단(200)은 스택커(100)와 장애물간의 거리를 측정하는 센서로 구성됨이 바람직하다.

물론, 상기 감지수단(200)은 제 1, 2암(132, 133)에 설치될 수 있는등 설치위치는 다양한 변형이 가능하다. 그리고, 상기 센서로는 빛을 이용하여 물체와의 거리를 측정할 수 있는 광 센서등이 사용됨이 바람직하다.

또한, 상기 감지수단(200)은 사각의 플레이트 형상을 가지는 암 테이블(134)의 단변을 따라 각각 3개씩 설치됨이 바람직하다. 즉, 상기 감지수단(200)은 암 테이블(134)의 각 모서리와 단변 중앙부에 하나씩 설치된다. 이와 같이 센서가 암 테이블(134)의 단변을 따라 각각 3개씩 설치되면, 암 테이블(134)이 장애물에 접근할 때 센서가 장애물을 감지하여 스택커 컨트롤러(110)에 미리 알려 주기 때문에 암 테이블(134)이 선반등과 같은 장애물과 충돌하는 것이 방지된다.

이와 같이 구성되는 스택커의 작동 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 감지수단이 장착된 스택커의 동작 상태를 나타내는 개략도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 스토커 전체를 제어하는 스토커 컨트롤러(140)에서 스택커(100)를 제어하는 스택커 컨트롤러(110)로 작업 명령을 내리게 되면, 상기 스택커 컨트롤러(110)는 상기 스택커(100)의 암 유닛(130)과 주행부(120)(도 2참조)등을 제어하여 스택커(100)를 작업 위치로 이동시킨다.

이때, 상기 스택커(100)의 암 테이블(134)에 설치된 감지수단(200)은 스택커 컨트롤러(110)와 접속되어 암 테이블(134)이 선반등과 같은 장애물(150)에 일정거리 이상 접근하면 상기 스택커 컨트롤러(110)로 경고 신호를 보낸다.

구체적으로 상기 감지수단(200)은 암 테이블(134)이 장애물(150)에 50mm이내로 접근하게 되면 온(on)되어 스택커 컨트롤러(110)에 스택커(100) 정지신호를 보내게 되고, 이에 따라 스택커 컨트롤러(110)는 스택커(100)의 동작을 정지시킨 후 스토커 컨트롤러(140)에 이에 대한 결과를 송신한다.

그리고, 상기 스토커 컨트롤러(140)는 상기 스택커 컨트롤러(110)의 신호를 수신하여 이를 사용자가 볼 수 있도록 화면상에 디스플레이 하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치용 스토커는 스택커에 설치되는 감지수단을 이용하여 스택커가 선반등과 충돌하는 것을 사전에 방지할 수 있어 충돌에 따른 장비손상을 막을 수 있을 뿐 만아니라 스토커가 장시간 운전되지 못하는 문제점을 예방하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

특히, 본 발명은 스택커가 카세트를 적재한 상태에서 선반등과 충돌하는 것을 방지할 수 있어 카세트 및 카세트내에 적재되는 기판을 안전하게 보호할 수 있는 효과가 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 액정표시장치용 스토커의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 스택커의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 감지수단이 장착된 스택커의 동작 상태를 나타내는 개략도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

100: 스택커 110: 스택커 컨트롤러

120: 주행부 121: 보행기

130: 암 유닛 131: 암 바디

132: 제 1암 133: 제 2암

134: 암 테이블 200: 감지수단

Claims (5)

1. 기판이 수납되는 카세트가 저장되는 선반(shelf)과,

   상기 카세트를 암 테이블에 적재하여 지정된 선반으로 로딩 또는 언로딩하는 스택커(Stacker)와,

   상기 스택커에 설치되어 작업도중 선반등의 장애물이 감지되면 충돌을 방지하기 위한 일정한 신호를 발생시키는 감지수단과,

   상기 스택커의 작동을 제어하며, 상기 감지수단의 신호를 수신하여 스택커를 장애물의 일정거리앞에서 정지시키는 스택커 컨트롤러를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 감지수단은 암 테이블에 설치되어 스택커와 장애물간의 거리를 측정하는 센서인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 암 테이블은 사각의 플레이트 형상이며, 상기 센서는 암 테이블의 단변을 따라 각각 3개씩 설치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 감지수단은 암 테이블이 선반등의 장애물에 50mm 이내로 접근하면 충돌방지를 위한 신호를 발생시키는 센서인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 감지수단은 탈착 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 액정표시장치용 스토커.