KR20050058019A - Stocker with multi-access port for automatic guided vehicle - Google Patents

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    • G02OPTICS
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    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은, 액정 표시 패널 제조시 사용되는 기판(glass)이 다수 수납된 카세트를 임시로 보관하는 스토커에 관한 것이다. 본 발명은, 다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여 카세트를 각각 입고할 수 있는 다수 개의 외부 입고 포트들과; 스태커 로봇이 접근하여, 상기 외부 입고 포트들에 입고된 후 이송되어온, 카세트를 로딩(loaidng)하는 하나의 내부 입고 포트를 가지는 입고 포트; 그리고 상기 스태커 로봇에 의해 선반에서 취출되어온 카세트가 언로딩(unloading)되는 하나의 내부 출고 포트와; 다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여, 상기 내부 출고 포트에 언로딩 된 후 이송된, 카세트를 각각 출고할 수 있는 다수 개의 외부 출고 포트들을 가지는 출고 포트를 포함하여 이루어진 스토커를 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker for temporarily storing a cassette in which a large number of glass substrates are used. The present invention includes a plurality of external receiving ports to which a plurality of automatic conveying apparatuses each approach and receive a cassette respectively; A receipt port having a stacker robot approaching and having one internal receipt port for loading a cassette, which has been transported after being received at the external receipt ports; And one internal shipping port through which the cassette taken out from the shelf by the stacker robot is unloaded; A plurality of automatic conveying apparatuses each approach and provide a stocker comprising a shipping port having a plurality of external shipping ports each capable of leaving a cassette, which are unloaded and transported to the internal shipping port.

Description

스토커{Stocker with multi-access port for automatic guided vehicle}Stalker {Stocker with multi-access port for automatic guided vehicle}

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정 표시 패널 제조시 사용되는 기판(glass)이 다수 수납된 카세트를 임시로 보관하는 스토커에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LCD manufacturing apparatus, and more particularly, to a stocker for temporarily storing a cassette containing a plurality of glass substrates used in manufacturing a liquid crystal display panel.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.In recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.Such a liquid crystal display may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel may have a space and be bonded to each other as shown in FIG. 1. And a liquid crystal layer 3 injected between the second substrates 1 and 2 and the first and second substrates 1 and 2.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.Here, the first substrate 1 (TFT array substrate) includes a plurality of gate lines 4 arranged in one direction at regular intervals and at regular intervals in a direction perpendicular to the respective gate lines 4. A plurality of pixel electrodes 6 and the gate formed in a matrix form in each of the pixel regions P defined by crossing the plurality of data lines 5 and the gate lines 4 and the data lines 5. A plurality of thin film transistors T, which are switched by the signal of the line 4 and transfer the signal of the data line 5 to the pixel electrodes P, are formed.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.The second substrate 2 (color filter substrate) includes a black matrix layer 7 for blocking light in portions other than the pixel region P, and R, G, and B color filter layers for expressing color colors. 8 and a common electrode 9 for implementing an image are formed. Of course, in the transverse electric field type liquid crystal display device, the common electrode is formed on the first substrate.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.The liquid crystal display having the above structure includes a process of manufacturing a thin film transistor array on the first substrate 1, a process of manufacturing a color filter array on the second substrate 2, and the first and second substrates 1. , 2) adhering the liquid crystal, injecting and sealing the liquid crystal between the two bonded substrates, testing and repairing each liquid crystal panel in which the liquid crystal is injected, and back light on the good liquid crystal panel It is manufactured through a process of manufacturing a liquid crystal display module by mounting a lamp and a driving circuit.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 자동 반송 장치(30)(Automatic guided vehicle)가 사용된다. 이때, 상기 자동 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 자동 반송 장치(30)가 반송하게 된다.As described above, the substrate is subjected to various processes to be completed as a liquid crystal display device, and as shown in FIG. 2, an automatic transfer device (not shown) is used to transport the substrate to equipment 20a and 20b performing each process. 30) (Automatic guided vehicle) is used. In this case, in order to increase the conveyance efficiency of the automatic conveying apparatus 30, after storing the plurality of substrates in a cassette 10 that can accommodate, the automatic conveying apparatus 30 conveys the cassette 10. .

따라서, 상기 자동 반송 장치(30)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. 이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 자동 반송 장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다.Accordingly, the automatic conveying apparatus 30 may move the cassette 10 to the stocker 40 while reciprocating between the stocker 40 temporarily stored in the cassette 10 and the equipment 20a and 20b performing each process. To each of the equipment (20a, 20b) and from each of the equipment (20a, 20b) to the stocker 40, respectively. To this end, a rail 11 is provided at the bottom of the production line to guide the automatic transfer device 30 to move along a predetermined path.

한편, 각 공정을 수행하는 상기 장비(20a, 20b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간은 다르다. 따라서, 어느 하나의 장비에서 다른 하나의 장비로 상기 카세트(10)를 반송하게 되면 버퍼링(buffering)이 발생하게 된다. 따라서, 버퍼링 문제를 효과적으로 해소하기 위해 어느 하나의 장비에서 처리된 기판이 수납된 카세트(10)를 상기 스토커(40)에 저장한 후 다른 장비로 반송하는 것이다.Meanwhile, substrate processing capacity and processing time of the apparatuses 20a and 20b performing each process are different. Therefore, when the cassette 10 is returned from one device to another device, buffering occurs. Therefore, in order to effectively solve the buffering problem, the cassette 10 containing the substrate processed by any one device is stored in the stocker 40 and then returned to another device.

도 3 및 도 4에는 상기한 역할을 하는 스토커(40)의 구조가 개략적으로 도시되어 있는데, 이하에서는 상기 도면들을 참조하여 상기 스토커(40)에 대해 보다 상세하게 설명한다.3 and 4 schematically illustrate the structure of the stocker 40, which plays the above-described role. Hereinafter, the stocker 40 will be described in more detail with reference to the drawings.

상기 스토커(40) 내에는 대략 평행하게 두 개의 선반(41)이 배치되고, 상기 선반(41)들에는 카세트(10)를 상기 스토커(40)에 입고하는 입고 포트(42)와 선반(41)에 저장된 카세트(10)를 외부로 출고하는 출고 포트(43)가 구비된다. 여기서, 상기 입고 포트(42)와 출고 포트(43)에는 각각 하나의 외부 입고 및 출고 포트(42a, 43a), 그리고 상기 외부 입고 및 출고 포트(42a, 43a)와 접하는 하나의 내부 입고 및 출고 포트(42b, 43b)가 구비된다.In the stocker 40, two shelves 41 are arranged in parallel with each other, and the shelves 41 have a stocking port 42 and a shelf 41 for storing a cassette 10 in the stocker 40. Outgoing port 43 for leaving the cassette 10 stored in the outside is provided. Here, each of the goods receipt port 42 and the goods receipt port 43 has one external goods receipt and delivery port 42a and 43a, and one inside goods receipt and shipment port 42 in contact with the external goods receipt and delivery ports 42a and 43a. 42b and 43b are provided.

그리고, 상기 두 개의 선반(41)들 사이에는 스태커 로봇(45)이 배치되며, 비록 도시하지는 않았지만, 상기 입고 포트(42)와 출고 포트(43)에는 각각 컨베이어가 구비된다. 상기 스태커 로봇(45)은 상기 선반(41)들 사이에 구비된 레일(44)을 따라 왕복 이동한다.And, the stacker robot 45 is disposed between the two shelves 41, although not shown, the receiving port 42 and the shipping port 43 is provided with a conveyor, respectively. The stacker robot 45 reciprocates along a rail 44 provided between the shelves 41.

상기한 구조를 가지면, 외부 입고 포트(42a)에 입고된 카세트(10)는 상기 내부 입고 포트(42b)를 경유한 후 상기 스태커 로봇(45)까지 이동하고, 상기 스태커 로봇(45)은 상기 레일(44)을 따라 이동한 후 상기 선반(41)에 상기 카세트(10)를 저장한다.With the above structure, the cassette 10 received in the external receiving port 42a moves to the stacker robot 45 after passing through the internal receiving port 42b, and the stacker robot 45 moves on the rail. After moving along 44, the cassette 10 is stored in the shelf 41.

그리고 출고되어야할 카세트(10)는 상기 스태커 로봇(45)에 의해 상기 내부 출고 포트(43b)까지 이동되며, 상기 내부 출고 포트(43b)는 상기 카세트(10)를 상기 외부 출고 포트(43a)로 반송하게 된다.And the cassette 10 to be shipped is moved to the internal shipping port 43b by the stacker robot 45, and the internal shipping port 43b moves the cassette 10 to the external shipping port 43a. Will be returned.

그리고 상기 외부 출고 포트(43a)로 반송된 카세트(10)는 상기 자동 반송 장치(30)에 의해 장비(20a, 20b)까지 반송된다.And the cassette 10 conveyed to the said external delivery port 43a is conveyed by the said automatic conveying apparatus 30 to equipment 20a, 20b.

한편, 상기 스토커(40)에는 시스템의 오류 등에 의해 상기 카세트(10)를 자동으로 입고하거나 출고할 수 없을 때, 작업자가 카세트(10)를 수동으로 입고하거나 출고할 수 있는 수동 입출고 포트(47)가 구비된다. 도 3의 미설명 부호 (49)는 카세트(10)의 수동 입출고 시 사용되는 수동 반송 장치(Manual Guided Vehicle)이다. 한편, 설명의 편의를 위해 도 4에는 상기 수동 입출고 포트의 도시를 생략하였다.On the other hand, when the stocker 40 can not automatically receive or leave the cassette 10 due to a system error or the like, a manual entry / exit port 47 that allows a worker to manually enter or leave the cassette 10. Is provided. Reference numeral 49 in FIG. 3 denotes a manual guided vehicle used for manual entry and exit of the cassette 10. Meanwhile, for convenience of description, the illustration of the manual entry and exit port is omitted in FIG. 4.

그러나, 상기한 구조의 스토커(40)가 구비된 카세트 반송 시스템에서는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 입고 포트(42)와 출고 포트(43)에 각각 한 대의 자동 반송 장치(30) 만이 접근하여 카세트(10)를 로딩하거나 언로딩할 수 있다.However, in the cassette conveying system equipped with the stocker 40 having the above-described structure, as shown in FIG. 4, only one automatic conveying apparatus 30 approaches the receiving port 42 and the leaving port 43, respectively. (10) can be loaded or unloaded.

그런데, 상기 스토커(40) 내부에서 카세트(10)를 반송하는 스태커 로봇(45)은 빠른 속도로 이동하면서 작업할 수 있는 반면, 스토커(40)와 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하는 자동 반송 장치(30)는 속도가 매우 느리다.However, the stacker robot 45 carrying the cassette 10 inside the stocker 40 can work while moving at a high speed, whereas the stacker robot 45 automatically moves back and forth between the stocker 40 and the equipment 20a, 20b. The conveying apparatus 30 is very slow.

따라서, 상기 스태커 로봇(45)과 상기 자동 반송 장치(30)의 작업 속도 차이에 의해, 상기 입고 포트(42) 및 출고 포트(43)에서는 버퍼링이 발생하게 되고, 많은 수의 자동 반송 장치(30)가 카세트(10)를 스토커(40)에 입고하거나 외부로 출고하기 위해 상기 입고 포트(42) 및 출고 포트(43) 앞에 대기하게 된다. 이에 따라 반송 효율이 저하되고, 생산성이 떨어지는 문제가 있다.Therefore, due to the difference in the working speeds of the stacker robot 45 and the automatic transfer device 30, buffering occurs at the receiving port 42 and the leaving port 43, and a large number of automatic transfer devices 30 are generated. In order to store the cassette 10 in the stocker 40 or to leave the outside, the stand 10 is waited in front of the receiving port 42 and the leaving port 43. Thereby, there exists a problem that conveyance efficiency falls and productivity falls.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 스태커 로봇과 자동 반송 장치의 작업 속도 차이에 의해 입력 및 출고 포트에서 발생하는 버퍼링 문제를 효과적으로 해결함으로써 카세트 반송 효율 및 생산성을 높이는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to increase the cassette conveyance efficiency and productivity by effectively solving the buffering problem occurring at the input and delivery ports due to the difference in the working speed of the stacker robot and the automatic conveying device. .

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여 카세트를 각각 입고할 수 있는 다수 개의 외부 입고 포트들과; 스태커 로봇이 접근하여, 상기 외부 입고 포트들에 입고된 후 이송되어온, 카세트를 로딩(loaidng)하는 하나의 내부 입고 포트를 가지는 입고 포트; 그리고 상기 스태커 로봇에 의해 선반에서 취출되어온 카세트가 언로딩(unloading)되는 하나의 내부 출고 포트와; 다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여, 상기 내부 출고 포트에 언로딩 된 후 이송된, 카세트를 각각 출고할 수 있는 다수 개의 외부 출고 포트들을 가지는 출고 포트를 포함하여 이루어진 스토커를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the plurality of automatic conveying apparatus each of the plurality of external receiving ports that can be approached to receive the cassette; A receipt port having a stacker robot approaching and having one internal receipt port for loading a cassette, which has been transported after being received at the external receipt ports; And one internal shipping port through which the cassette taken out from the shelf by the stacker robot is unloaded; A plurality of automatic conveying apparatuses each approach and provide a stocker comprising a shipping port having a plurality of external shipping ports each capable of leaving a cassette, which are unloaded and transported to the internal shipping port.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 외부 입고 포트들과 외부 출고 포트들은, 다수 개의 자동 반송 장치가 동시에 각각 접근하여 작업할 수 있도록 상기 자동 반송 장치의 주행을 안내하는 레일과 나란하게 배치된다.According to an aspect of the present invention, the external receiving ports and the external shipping ports are arranged side by side with a rail for guiding the traveling of the automatic transporting device so that a plurality of automatic transporting devices can approach and work at the same time.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 각 외부 입고 포트들과 내부 입고 포트에는 각각 카세트를 반송하는 컨베이어가 구비된다.According to another feature of the invention, each of the outer and inner receiving port and the inner receiving port is provided with a conveyor for conveying a cassette, respectively.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 내부 입고 포트와 인접하게 배치된 외부 입고 포트에 입고된 카세트는 상기 내부 입고 포트에 직접 반송되고, 상기 내부 입고 포트와 떨어지게 배치된 외부 입고 포트들에 입고된 카세트는 반송 포트를 경유하여 상기 내부 입고 포트에 반송된다.According to another feature of the invention, the cassette received in the outer receiving port disposed adjacent to the inner receiving port is conveyed directly to the inner receiving port, the cassette received in the outer receiving ports disposed away from the inner receiving port Is conveyed to the said internal receiving port via a conveyance port.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 각 외부 출고 포트들과 내부 출고 포트에는 각각 카세트를 반송하는 컨베이어가 구비된다.According to another feature of the invention, each of the external shipping port and the internal shipping port is provided with a conveyor for conveying a cassette, respectively.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 내부 출고 포트는 상기 카세트를, 상기 내부 출고 포트와 인접하게 배치된 외부 출고 포트에 직접 반송하거나, 상기 내부 출고 포트와 떨어지게 배치된 외부 출고 포트들에 반송 포트를 경유시켜 반송한다.According to another feature of the present invention, the internal shipping port conveys the cassette directly to an external shipping port disposed adjacent to the internal shipping port, or to a external shipping port disposed away from the internal shipping port. It conveys via diesel.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 내부 입력 및 출고 포트는 각각 상기 각 선반과 일직선 상에 배치된다.According to another feature of the invention, the internal input and delivery ports are respectively arranged in line with the respective shelves.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 내부 입력 및 출고 포트는 각각 상기 각 선반들 사이에 배치된다.According to another feature of the invention, said internal input and delivery ports are respectively arranged between said respective shelves.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized are described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and symbols are used for the same components, and additional description thereof will be omitted below.

먼저, 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명한다. 본 발명에 따른 반송 시스템을 제어하는 제어 시스템은 도 5에 도시된 바와 같이 제1 내지 제5 호스트(101, 102, 103, 104, 105)를 포함하여 이루어진다.First, the cassette conveyance system according to the present invention will be described with reference to FIG. The control system for controlling the conveying system according to the present invention comprises first to fifth hosts 101, 102, 103, 104, 105 as shown in FIG. 5.

상기 제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.The first host 101 is the highest host that receives a conveying instruction from the operator to move the cassette 150. When a worker inputs a return command to the first host 101, the first host 101 transmits the return command to the second host 102 and the third host 103.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비(200)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(200)에 전달된다.The second host 102 communicates with the first host 101 and the third host 103 and controls the equipment 200 to perform any process. The return command sent from the first host 101 to the second host 102 is transmitted to the equipment 200.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.The third host 103 communicates with the first host 101 and the second host 102 and controls the fourth host 104 and the fifth host 105. The return command transmitted from the first host 101 to the third host 103 is transmitted to the fourth host 104 and the fifth host 105.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 자동 반송 장치(300)(Automatic guided vehicle)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 자동 반송 장치(300)에 전달된다.The fourth host 104 communicates with the third host 103 and controls the operation of the automatic guided vehicle 300. Of course, the transfer command received by the fourth host 104 is transmitted to the automatic transfer device 300.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.The fifth host 105 communicates with the third host 103 and controls a stocker 400 that stores a plurality of cassettes 150 on which a plurality of glasses are mounted. Of course, the return command received at the fifth host 105 is transmitted to the stocker 400.

한편, 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.Meanwhile, in order to process a plurality of cassettes 150 without errors, each cassette 150 has unique ID information, and the stocker 400 checks each ID information of the cassettes 150 and then turns the shelf. Will be stored in.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입고 포트(420)에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(405)가 구비된다. 또한, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)가 구비된다. 본 발명에서는, 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.To this end, the receiving port 420 of the stocker 400 is provided with a reader 405 that can check the ID information of the cassette 150, as shown in FIG. In addition, as shown in FIGS. 5 and 6, the ID display unit 151 in which ID information of the cassette 150 is recorded on at least one of an upper side and a lower side of the cassette 150. ) Is provided. In the present invention, as an example of the ID display unit 151, a bar code is presented.

상기한 구조를 가지면, 상기 리더기(405)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인하여 해당 카세트(150)를 선반으로부터 취출한 후 출고 포트(430)로 운송하게 된다.With the above structure, the reader 405 reads the ID display unit 151 so that the stocker 400 can check the ID information of the cassette 150. When the cassette 150 is shipped, the storage location of the cassette 150 having the ID information corresponding to the conveying information received by the stocker 400 is checked, and the cassette 150 is taken out from the shelf. Will be transported to port 430.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에서 상기 스토커(400)의 입고 포트(420)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출고 포트(430)에서 다른 장비(200)로 반송한다. 여기서, 상기 제4 호스트(104)는 적어도 한 대 이상의 자동 반송 장치(300)를 제어하며, 상기 각 자동 반송 장치(300)에는 상기 제4 호스트(104)의 명령에 따라 자동 반송 장치(300)의 각 구성요소를 제어하는 제어부가 구비된다.Meanwhile, the automatic conveying apparatus 300 controls the cassette 150 from the equipment 200 to the receiving port 420 of the stocker 400 and the stocker under the control of the fourth host 104. The shipment port 430 of 400 is returned to the other equipment (200). Here, the fourth host 104 controls at least one or more automatic conveying apparatuses 300, and each of the automatic conveying apparatuses 300 is provided to the automatic conveying apparatus 300 according to the command of the fourth host 104. The control unit for controlling each component of the is provided.

상기한 자동 반송 장치(300)는 상기 제어부의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부(310), 그리고 상기 주행부(310)의 일측, 예를 들면 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 탑재부(320)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 주행부(310)의 하단에는 도 6에 도시된 바와 같이 주행 모터에 의해 구동되는 다수 개의 바퀴(311)가 구비된다.The automatic conveying apparatus 300 is provided on a driving unit 310 for driving a predetermined section under the control of the controller, and on one side, for example, an upper portion of the driving unit 310, and the cassette 150 is The mounting portion 320 is raised. Here, a plurality of wheels 311 driven by the driving motor is provided at the lower end of the driving unit 310 as shown in FIG. 6.

그리고, 상기 탑재부(320)에는 상기 카세트(150)가 정확히 탑재될 수 있도록 안내하고, 탑재된 카세트(150)가 상기 주행부(310)의 이동시 움직이지 않도록 고정하는 가이드 블록(321)이 구비된다.In addition, the mounting unit 320 is provided with a guide block 321 for guiding the cassette 150 to be accurately mounted and fixing the mounted cassette 150 so as not to move when the traveling unit 310 is moved. .

한편, 상기 자동 반송 장치(300)에는, 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부(320)로부터 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)이 더 구비될 수 있다. 여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.The automatic transfer device 300 may further include a robot arm 330 for loading the cassette 150 into the mounting unit 320 or unloading from the mounting unit 320. Can be. Here, the robot arm 330 is mounted on the upper portion of the running portion 310 and the main shaft 331 that can move or rotate in the vertical direction, and mounted on the main shaft 331 can be stretched in the horizontal direction And a slider 335.

상기와 같이 자동 반송 장치(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200), 그리고 스토커(400)의 입고 포트(420) 및 출고 포트(430)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 탑재부(320)에 로딩하거나, 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(200) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.When the robot arm 330 is provided in the automatic transfer device 300 as described above, the automatic transfer device 300 is the equipment 200 and the stocking port 420 and the delivery port 430 of the stocker 400. It is possible to directly load the cassette 150 in the mounting portion 320, or to unload the cassette 150 loaded in the mounting portion 320 to the equipment 200 and the stocker 400.

그러나, 상기 자동 반송 장치(300)에 상기 로봇 암(330)이 구비되지 않고, 상기 스토커(400) 및 장비(200) 인근에 상기 카세트(150)를 로딩하거나 언로딩하는 별도의 로봇 암이 구비되어도 무방할 것이다.However, the robot arm 330 is not provided in the automatic transfer device 300, and a separate robot arm is provided for loading or unloading the cassette 150 near the stocker 400 and the equipment 200. It may be fine.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입고 포트(420) 및 출고 포트(430), 또는 장비(200) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다.On the other hand, the automatic conveying device 300 should be able to accurately position in front of the stock port 420 and the delivery port 430, or the equipment 200 of the stocker 400, when transporting the cassette 150.

이를 위해서 상기 자동 반송 장치(300)에는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 센서(340)가 구비되고, 상기 장비(200) 및 상기 스토커(400)에는 도 5에 도시된 바와 같이 마크 플레이트(250)가 구비된다. 여기서, 상기 제1 센서(340)는 상기 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 장비(200) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.To this end, the automatic conveying apparatus 300 is provided with a first sensor 340 as shown in FIG. 6, and the equipment 200 and the stocker 400 have a mark plate 250 as shown in FIG. 5. ) Is provided. Here, the first sensor 340 reads the mark plate to help the automatic conveying device 300 to be accurately positioned in front of the equipment 200 or stocker 400.

또한, 상기 장비(200) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치한 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 원활하고 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신할 수 있어야 한다.In addition, the automatic conveying device 300 accurately positioned in front of the equipment 200 or stocker 400 may communicate with the equipment 200 or stocker 400 to smoothly and accurately load or unload the cassette 150. It should be possible.

이를 위해, 상기 자동 반송 장치(300)에는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신하면서 정확한 로딩 또는 언로딩 작업을 도와주는 제2 센서(350)가 더 구비된다.To this end, the automatic conveying device 300 is further provided with a second sensor 350 to communicate with the equipment 200 or the stocker 400 as shown in FIG. .

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 상기 자동 반송 장치(300)에 의해서 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.Meanwhile, before the stocker 400 supplies the cassettes 150 on which the substrates of which process is completed to other equipment that performs the next process, the substrate processing capability and the processing time of the equipments that perform each process. In order to solve the buffering (buffering) problem caused by the difference of the, is a facility for temporarily storing the cassette 150. Therefore, the cassettes 150 on which substrates that have completed a predetermined process in any equipment are temporarily stored in the stocker 400 and then supplied to other equipment that performs another process by the automatic transfer device 300.

상기한 기능을 수행하는, 상기 스토커(400)에는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입고 포트(420)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(410)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출고 포트(430)(output port), 그리고 상기 입고 포트(420)와 선반(410) 사이 및 상기 선반(410)과 출고 포트(430) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(450)(stacker robot)을 포함하여 이루어진다.The stocker 400, which performs the above function, receives a cassette 150 on which a substrate on which a certain process is completed is loaded, and a plurality of shelves storing the cassettes 150. 410, an output port 430 from which the cassette 150 is shipped, and between the receiving port 420 and the shelf 410 and between the shelf 410 and the delivery port 430. It includes a stacker robot 450 (stacker robot) for carrying the cassette 150 in the stocker 400 while moving.

도 7 내지 도 9에는 본 발명에 따른 스토커(400)의 구조가 잘 도시 되어 있는데, 이하에서는 이들 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.7 to 9 illustrate the structure of the stocker 400 according to the present invention, which will be described below in more detail with reference to these drawings.

먼저, 본 발명에 따른 스토커(400)에는 다수 개, 예를 들면 두 개의 선반(410)들이 소정 간격을 가지고 나란하게 배열된다. 상기 각 선반(410)들에는 다수 개의 셀(411)(cell)이 있으며, 상기 셀(411)에 각 카세트(150)가 저장된다.First, a plurality of stockers 400 according to the present invention, for example, two shelves 410 are arranged side by side at a predetermined interval. Each shelf 410 has a plurality of cells 411, and each cassette 150 is stored in the cell 411.

상기 각 선반(410)들 사이의 공간에는 스태커 로봇(450)이 배치되는데, 상기 스태커 로봇(450)은 상기 선반(410)들 사이에 구비된 레일(440)을 따라 이동하면서 카세트(150)를 상기 선반(410)의 셀(411)에 저장하거나, 셀(411)에 저장된 카세트(150)를 취출한다.The stacker robot 450 is disposed in the space between the shelves 410, and the stacker robot 450 moves along the rail 440 provided between the shelves 410 to move the cassette 150. The cassette 150 stored in the cell 411 of the shelf 410 or stored in the cell 411 is taken out.

한편, 상기 선반(410)에는 입고 포트(420)와 출고 포트(430)가 구비된다. 본 발명에 따른 스토커(400)에서는 상기 입고 포트(420)와 출고 포트(430)에 각각 다수 대의 자동 반송 장치(300)가 동시에 각각 접근하여 작업할 수 있다.On the other hand, the shelf 410 is provided with a receipt port 420 and the delivery port 430. In the stocker 400 according to the present invention, a plurality of automatic transport apparatuses 300 may respectively approach and work on the receiving port 420 and the leaving port 430, respectively.

이를 위해서, 상기 입고 포트(420)에는 다수 개의 외부 입고 포트(421, 422)가 구비된다. 따라서, 다수 대의 자동 반송 장치(300)는 도 7에 도시된 바와 같이 각 외부 입고 포트(421, 422)에 각각 접근하여 카세트(150)를 상기 각 외부 입고 포트(421, 422)에 입고할 수 있게 된다.To this end, the receiving port 420 is provided with a plurality of external receiving ports (421, 422). Accordingly, the plurality of automatic conveying apparatuses 300 may access the respective external receiving ports 421 and 422, respectively, and receive the cassette 150 into each of the external receiving ports 421 and 422, as shown in FIG. Will be.

이러한 구조를 가지면, 상기 입고 포트(420)에서 발생했던 버퍼링 문제, 즉 자동 반송 장치(300)들이 상기 입고 포트(420)에 카세트(150)를 입고하기 위해 대기하던 문제를 효과적으로 해소할 수 있다.With this structure, it is possible to effectively solve the buffering problem that occurred in the receiving port 420, that is, the problem that the automatic conveying device 300 is waiting for the cassette 150 in the receiving port 420.

상기 각 외부 입고 포트(421, 422)에 입고된 카세트(150)들은 스태커 로봇(450)이 접근하여 로딩(loading)할 수 있는 내부 입고 포트(424)로 이송된다. 이를 위해 비록 도시하지는 않았지만, 상기 각 외부 입고 포트(421, 422)와 상기 내부 입고 포트(424)에는 각각 컨베이어가 구비된다.The cassettes 150 received at each of the external receiving ports 421 and 422 are transferred to the internal receiving port 424 which the stacker robot 450 can access and load. Although not shown for this purpose, each of the external receiving port (421, 422) and the internal receiving port 424 is provided with a conveyor, respectively.

본 발명에 따른 스토커(400)의 입고 포트(420)에서, 상기 내부 입고 포트(424)는 하나가 구비된다. 상기 외부 입고 포트(421, 422)가 다수개 구비되는 것이 비해 상기 내부 입고 포트(424)가 하나만 구비되는 이유는, 상기 자동 반송 장치(300)의 작업 속도에 비해 상기 스태커 로봇(450)의 작업 속도가 매우 빠르기 때문이다.In the receiving port 420 of the stocker 400 according to the present invention, one of the inner receiving port 424 is provided. The reason why only one inner receiving port 424 is provided, as compared with the plurality of external receiving ports 421 and 422, is that the operation of the stacker robot 450 is higher than the working speed of the automatic transfer device 300. This is because the speed is very fast.

또한, 상기 내부 입고 포트(424)가 여러개 구비될 경우에는 상기 내부 입고 포트(424)가 상기 선반(410)의 셀(411) 들 중 적어도 어느 하나를 침해해야하기 때문에 상기 카세트(150)를 저장할 수 있는 셀(411)의 수가 줄게 되는데, 상기 내부 입고 포트(424)가 하나만 구비되면, 선반(410)의 셀(411)을 침해하지 않고 셀(411)의 수를 유지할 수 있기 때문이다.In addition, when the internal receiving port 424 is provided with a plurality of internal storage port 424 to store the cassette 150 because it must invade at least one of the cells 411 of the shelf 410 The number of cells 411 can be reduced, because if only one inner receiving port 424 is provided, the number of cells 411 can be maintained without violating the cells 411 of the shelf 410.

한편, 상기 외부 입고 포트(421, 422)에 각각 입고된 카세트(150)는 상기한 바와 같이 컨베이어에 의해 자동으로 상기 내부 입고 포트(424)로 이송된다. 도 7에는 각 외부 입고 포트(421, 422)에 입고된 카세트(150)가 상기 내부 입고 포트(424)로 반송되는 방향이 화살표로 도시 되어 있다.On the other hand, the cassette 150 received in each of the external receiving port (421, 422) is automatically transferred to the internal receiving port 424 by a conveyor as described above. In Fig. 7, the direction in which the cassette 150 received at each of the external receiving ports 421 and 422 is conveyed to the internal receiving port 424 is shown by an arrow.

도 7을 참조하면, 상기 내부 입고 포트(424)와 인접하게 배치된 외부 입고 포트(421)에 입고된 카세트(150)는 상기 내부 입고 포트(424)로 직접 반송되고, 내부 입고 포트(424)로 이송된 카세트(150)는 반송 방향이 전환되어 스태커 로봇(450)측으로 반송된다.Referring to FIG. 7, the cassette 150 received at the external receiving port 421 disposed adjacent to the internal receiving port 424 is directly conveyed to the internal receiving port 424 and the internal receiving port 424. The cassette 150 transferred to is transferred to the stacker robot 450 side after the conveyance direction is changed.

그리고, 상기 내부 입고 포트(424)와 떨어지게 배치된 외부 입고 포트(422)로 입고된 카세트(150)는 반송 포트(423)를 경유한 후 상기 내부 입고 포트(424)로 반송된다. 즉, 상기 외부 입고 포트(422)에 입고된 카세트(150)는 상기 반송 포트(423)로 이송되고, 상기 반송 포트(423)는 반송 방향을 바꾸어 상기 내부 입고 포트(424)로 카세트(150)를 반송한다.Then, the cassette 150 received by the external receiving port 422 disposed apart from the internal receiving port 424 is conveyed to the internal receiving port 424 after passing through the conveying port 423. That is, the cassette 150 received at the external receiving port 422 is transferred to the conveying port 423, and the conveying port 423 changes the conveying direction to the cassette 150 at the inner receiving port 424. To return.

상기와 같은 반송 과정을 통해 상기 각 외부 입고 포트(421, 422)에 입고된 각 카세트(150)는 모두 상기 내부 입고 포트(424)로 반송된다. 상기 내부 입고 포트(424)로 반송된 카세트(150)는 상기 스태커 로봇(450)이 로딩한 후 상기 선반(410)의 셀(411)에 저장한다.Each cassette 150 received at each of the external receiving ports 421 and 422 is conveyed to the internal receiving port 424 through the above conveying process. The cassette 150 conveyed to the internal receiving port 424 is stored in the cell 411 of the shelf 410 after being loaded by the stacker robot 450.

한편, 상기 각 외부 입고 포트(421, 422)에 카세트(150)가 각각 동시에 입고된 경우에는, 상기 입고 포트(420)에 구비된 각 컨베이어의 구동을 제어함으로써 카세트(150)가 하나씩 상기 내부 입고 포트(424)에 전달될 수 있도록 한다.On the other hand, when the cassettes 150 are simultaneously received in each of the external receiving ports 421 and 422, the cassettes 150 are received one by one by controlling the driving of the conveyors provided in the receiving ports 420. To be forwarded to port 424.

한편, 상기 출고 포트(430)의 구조는 상기 입고 포트(420)의 구조와 매우 유사하다. 즉, 상기 출고 포트(430)에는 다수 대의 자동 반송 장치(300)가 각각 접근하여 작업할 수 있는 다수 개의 외부 출고 포트(431, 432)가 구비되고, 상기 스태커 로봇(450)이 선반(410)으로부터 취출한 카세트(150)를 언로딩할 수 있는 하나의 내부 출고 포트(434)가 구비된다. 물론, 상기 내부 출고 포트(434)에 언로딩된 카세트(150)를 상기 내부 출고 포트(434)와 떨어지게 배치된 외부 출고 포트(432)에 반송하는 반송 포트(433)도 구비된다.On the other hand, the structure of the delivery port 430 is very similar to the structure of the receiving port 420. That is, the shipping port 430 is provided with a plurality of external shipping ports 431 and 432 to which a plurality of automatic transfer devices 300 can approach and work, respectively, and the stacker robot 450 is a shelf 410. One internal shipping port 434 is provided for unloading the cassette 150 taken out from it. Of course, there is also a conveying port 433 for conveying the cassette 150 unloaded in the inner shipping port 434 to the outer shipping port 432 arranged to be separated from the inner shipping port 434.

상기한 바와 같이 출고 포트(430)의 구조는 입고 포트(420)의 구조와 유사하므로 더 이상의 설명은 생략한다. 다만, 상기 내부 출고 포트(434)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 스태커 로봇(450)에 의해 언로딩된 카세트(150)를 상기 내부 출고 포트(434)와 인접하게 배치된 외부 출고 포트(431)에 직접 반송하거나, 상기 내부 출고 포트(434)와 떨어지게 배치된 외부 출고 포트(432)에 상기 반송 포트(433)를 경유시켜 반송할 수 있다.As described above, since the structure of the delivery port 430 is similar to that of the goods receipt port 420, further description thereof will be omitted. However, as shown in FIG. 7, the internal shipping port 434 is an external shipping port in which the cassette 150 unloaded by the stacker robot 450 is disposed adjacent to the internal shipping port 434. The transfer may be performed directly to the 431 or via the transfer port 433 to the external release port 432 disposed to be separated from the internal release port 434.

상기한 구조를 가지는 본 발명에 따른 스토커(400)에서 상기 입고 포트(420) 및 출고 포트(430), 좀더 상세하게는 외부 입고 포트들(421, 422)과 외부 출고 포트들(431, 432)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 자동 반송 장치(300)의 주행을 안내하는 레일(301)과 나란하게 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 구조를 가지면, 상기 외부 입고 포트들(421, 422)과 외부 출고 포트들(431, 432)에 다수 개의 자동 반송 장치(300)가 동시에 각각 접근하여 작업할 수 있게 된다.In the stocker 400 according to the present invention having the above-described structure, the receiving port 420 and the leaving port 430, more specifically, the outer receiving ports 421 and 422 and the outer leaving ports 431 and 432. As shown in FIG. 7, it is preferable to be disposed side by side with the rail 301 for guiding the traveling of the automatic conveying apparatus 300. With such a structure, a plurality of automatic conveying apparatuses 300 can simultaneously approach and work on the external receiving ports 421 and 422 and the external leaving ports 431 and 432, respectively.

한편, 상기 스토커(400)에서 상기 입고 포트(420)와 출고 포트(430)는 다양한 배열 형태로 상기 선반(410)에 구비될 수 있다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이 내부 입고 포트(424)와 내부 출고 포트(434)가 각각 상기 각 선반(410)과 일직선 상에 배치되거나, 도 8에 도시된 바와 같이 내부 입고 포트(424)와 내부 출고 포트(434)가 각각 상기 각 선반(410)들 사이에 배치될 수도 있다.On the other hand, the stocking port 420 and the delivery port 430 in the stocker 400 may be provided on the shelf 410 in a variety of arrangements. That is, as shown in FIG. 7, the inner receiving port 424 and the inner leaving port 434 are disposed in line with the respective shelves 410, or as shown in FIG. 8, the inner receiving port 424. And an internal shipping port 434 may be disposed between the respective shelves 410.

도 7에 도시된 바와 같은 구조의 경우에는 상기 도 4를 참조하여 설명된 종래의 스토커(40)에 외부 입고 포트(422) 및 반송 포트(423), 그리고 외부 출고 포트(432) 및 반송 포트(433) 만을 부가로 장착하여 본 발명에 따른 개선된 구조의 스토커(400)를 구현할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 설비 비용이 저렴하고, 공간 활용도를 높일 수 있게 된다.In the case of the structure as shown in Figure 7, the conventional stocker 40 described with reference to Figure 4, the external receiving port 422 and the conveying port 423, the external leaving port 432 and the conveying port ( 433) by additionally mounting only has the advantage that can implement the stocker 400 of the improved structure according to the present invention. Therefore, the installation cost is low and space utilization can be increased.

도 8에 도시된 바와 같은 구조의 경우에는, 외부 입고 포트(421) 및 내부 입고 포트(424), 그리고 외부 출고 포트(431) 및 외부 출고 포트(434)가 각각 상기 각 선반(410)들 사이에 더 구비되어야 한다. 따라서, 상기 각 선반(410)들 사이가 좁게 설계된 스토커(400)의 경우에는 각 선반(410) 사이를 넓히는 설계 변경이 필요하다.In the case of the structure as shown in FIG. 8, an external goods receipt port 421 and an internal goods receipt port 424, and an external goods receipt port 431 and an external goods receipt port 434 are respectively located between the shelves 410. Should be equipped with more. Therefore, in the case of the stocker 400 narrowly designed between the shelves 410, a design change is required to widen the spaces between the shelves 410.

한편, 상기 도 7 및 도 8에는 상기 입고 포트(420)와 출고 포트(430)에 상기 외부 입고 포트(421, 422)와 외부 출고 포트(431, 432)가 각각 두 개씩 구비된 예가 도시되어 있다. 그러나, 상기 외부 입고 및 출고 포트는 도 9에 도시된 바와 같이 상기 입고 포트(420) 및 출고 포트(430)에 각각 다수 개가 연속되게 구비될 수 있다.7 and 8 illustrate an example in which the external receiving ports 421 and 422 and the external leaving ports 431 and 432 are provided at the receiving port 420 and the leaving port 430, respectively. . However, as illustrated in FIG. 9, a plurality of external receiving and leaving ports may be provided in succession in each of the receiving and receiving ports 420 and 430.

한편, 상기 스토커(40)에는 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 LCD 제조 공정을 수행하는 장비, 즉 인라인 장비(500)가 직접 연결될 수 있다. 이와 같이 스토커(400)에 인라인 장비(500)가 연결되면, 상기 스태커 로봇(450)이 상기 인라인 장비(500)에 직접 카세트(150)를 공급할 수 있으므로 반송 효율이 향상되고 생산성이 높아진다.Meanwhile, as shown in FIGS. 7 to 9, the stocker 40 may be directly connected to a device for performing an LCD manufacturing process, that is, an inline device 500. As such, when the inline equipment 500 is connected to the stocker 400, the stacker robot 450 may directly supply the cassette 150 to the inline equipment 500, thereby increasing the transfer efficiency and increasing productivity.

상기와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템은 다음과 같은 과정을 통해 카세트(150)를 스토커(400) 또는 장비(200)에 반송해준다.The cassette conveying system according to the present invention having the structure as described above conveys the cassette 150 to the stocker 400 or the equipment 200 through the following process.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.First, when an operator confirms the ID of the cassette 150 to be conveyed and then inputs a conveyance command of the cassette 150 to the first host 101, the first host 101 transmits the second host. The transfer command is issued to 102 and the third host 103.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(200)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 자동 반송 장치(300)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.The second host 102 having received the return command forwards it to the equipment 200, and the third host 103 forwards it to the fourth host 104 and the fifth host 105. In addition, the fourth host 104 transmits the conveyance command to the automatic conveyance device 300, and the fifth host 105 transmits the conveyer command to the stocker 400.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇(450)을 제어하여 해당 카세트(150)를 출고 포트(430)의 내부 출고 포트(434)로 운반한다. 상기 스태커 로봇(450)이 상기 카세트(150)를 상기 내부 출고 포트(434)에 언로딩하면, 상기 카세트(150)는 상기 외부 출고 포트(431)로 직접 반송되거나 상기 반송 포트(433)를 경유한 후 상기 외부 출고 포트(432)로 반송된다.The stocker 400 having received the transfer command controls the stacker robot 450 and transports the cassette 150 to the internal warehouse port 434 of the warehouse port 430. When the stacker robot 450 unloads the cassette 150 to the internal delivery port 434, the cassette 150 is directly transported to the external delivery port 431 or via the transport port 433. After that, it is returned to the external shipping port 432.

그리고 반송 명령을 받은 자동 반송 장치(300)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출고 포트(430)에 놓인 카세트(150)를 탑재부(320)에 로딩한다. 이때, 카세트(150)가 상기 외부 출고 포트(431, 432)에 모두 있는 경우, 상기 자동 반송 장치(300)는 도 7에 도시된 바와 같이 두 대가 각각 상기 각 외부 출고 포트(431, 432)로 부터 카세트(150)를 로딩한다.In addition, the automatic conveying apparatus 300 having received the conveyance command moves in front of the stocker 400 and loads the cassette 150 placed at the delivery port 430 into the mounting unit 320. In this case, when the cassette 150 is present in both the external shipping ports 431 and 432, the automatic transfer device 300 has two units as the external shipping ports 431 and 432, respectively, as shown in FIG. From the cassette 150 is loaded.

상기 카세트(150)를 로딩한 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200)로 이동한다. 제1 센서(340)의 도움으로 상기 장비(200) 앞에 정확하게 위치한 자동 반송 장치(300)는 상기 제2 센서(350)의 도움을 받아 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에 정확하게 언로딩한다.The automatic conveying device 300 loaded with the cassette 150 moves to the equipment 200. With the aid of the first sensor 340, the automatic conveying device 300 correctly positioned in front of the equipment 200 is correctly unloaded into the equipment 200 with the aid of the second sensor 350. do.

상기 카세트(150)가 상기 장비(200)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(200)는 리더기(210)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(200)의 리더기(210)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(200)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.When the cassette 150 is completely unloaded into the equipment 200, the equipment 200 reads the ID display unit 151 of the cassette 150 using the reader 210. The ID information of the cassette 150 read by the reader 210 of the device 200 is transmitted to the second host 102, and the second host 102 receives the information from the first host 101. The transport information transmitted to the equipment 200 is compared with the ID information of the cassette 150.

비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(200)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.As a result of comparison, when the conveyed information transmitted to the equipment 200 and the ID information of the cassette 150 match, the equipment 200 takes out the substrates mounted on the cassette 150 and performs a predetermined process.

그러나, 상기 장비(200)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 탑재부(320)에 로딩한다.However, since the equipment 200 and the stocker 400 are controlled by different hosts, when any one of the control lines causes a malfunction, the conveyance information and the cassette ( ID information of 150 may be inconsistent. Therefore, when the comparison result, the conveying information transmitted to the equipment 200 and the ID information of the cassette 150 is inconsistent, the conveying system generates an alarm sound, and the automatic conveying device 300 is the equipment 200 The cassette 150, which is unloaded in, is loaded into the mounting unit 320 again.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 자동 반송 장치(300)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입고 포트(420)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.The automatic conveying apparatus 300 reloading the cassette 150 reloads the cassette 150 to the stocker 400 and then unloads the stock 150 to the receiving port 420 of the stocker 400. When the operator finds a control line in which an error occurs and solves the problem, the operator inputs a transfer command to the first host 101 again, and the transfer procedure of the cassette 150 of the above process is performed again.

한편, 카세트(150)의 입고 명령이 내려지면, 자동 반송 장치(300)는 상기 외부 입고 포트(421, 422) 중 어느 하나에 카세트(150)를 입고한다. 물론, 스토커(400)로 입고되어야할 카세트(150)의 양이 많은 경우에는 도 7에 도시된 바와 같이 두 대의 자동 반송 장치(300)가 각각 상기 외부 입고 포트(421, 422)에 카세트(150)를 각각 언로딩한다.On the other hand, when the receipt command of the cassette 150 is issued, the automatic conveying apparatus 300 receives the cassette 150 in any one of the external receipt ports 421 and 422. Of course, when the amount of the cassette 150 to be stored in the stocker 400 is large, as shown in FIG. 7, two automatic conveying apparatuses 300 each have the cassette 150 at the external receiving ports 421 and 422. Unload each).

상기 외부 입고 포트(421, 422)에 언로딩된 카세트(150)는 상기 내부 입고 포트(424)로 직접 반송되거나, 상기 반송 포트(423)을 경유한 후 상기 내부 입고 포트(424)로 반송된다.The cassette 150 unloaded to the external receiving ports 421 and 422 is directly conveyed to the internal receiving port 424 or to the internal receiving port 424 after passing through the conveying port 423. .

상기 내부 입고 포트(424)로 들어온 카세트(150)는 상기 스태커 로봇(450)이 로딩한 후 해당 카세트(150)가 저장되어야 할 선반(410)의 셀(411)을 찾아 해당 셀(411)에 상기 카세트(150)를 저장한다.The cassette 150 that enters the internal receiving port 424 finds a cell 411 of the shelf 410 on which the cassette 150 is to be stored after being loaded by the stacker robot 450, and stores the cell 411 in the cell 411. The cassette 150 is stored.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. Although several embodiments have been described above, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other forms without departing from the spirit and scope thereof.

따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.Accordingly, the described embodiments are to be considered as illustrative and not restrictive, and all embodiments within the scope of the appended claims and their equivalents are included within the scope of the present invention.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 스토커에는 여러 대의 자동 반송 장치가 동시에 입력 및 출력 포트에 각각 접근하여 카세트를 입고하거나 출고할 수 있다. 그러므로, 많은 량의 카세트가 반송되더라도, 스태커 로봇과 자동 반송 장치의 작업 속도 차이에 의한 입력 및 출고 포트에서의 버퍼링 현상이 발생하지 않는다. 따라서, 상기 스토커의 입력 포트 및 출력 포트에 다수 대의 자동 반송 장치가 입고 및 출고를 위해 대기할 필요가 없고, 이에 따라 반송 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, in the stocker according to the present invention, a plurality of automatic conveying apparatuses may access the input and output ports at the same time, and may receive or store a cassette. Therefore, even if a large amount of cassettes are conveyed, no buffering phenomenon occurs at the input and exit ports due to the difference in the working speeds of the stacker robot and the automatic conveying apparatus. Therefore, a large number of automatic conveying apparatuses do not have to wait for receipt and delivery at the input port and the output port of the stocker, thereby improving the conveyance efficiency and productivity.

한편, 본 발명에 따른 입력 포트 및 출고 포트는 종래의 일반적인 스토커의 입력 및 출력 포트에 간단한 구성 요소를 부가함으로써 쉽게 구현할 수 있다. 따라서, 큰 설계 변경 없이 개선된 구조의 스토커를 얻을 수 있기 때문에 설비 비용을 절감할 수 있다.On the other hand, the input port and the shipping port according to the present invention can be easily implemented by adding a simple component to the input and output port of the conventional stocker. Therefore, it is possible to obtain an improved stocker without major design changes, thereby reducing the installation cost.

또한, 본 발명에 따른 입력 포트 및 출고 포트에는, 스태커 로봇이 접근하여 카세트를 로딩하거나 언로딩하는, 내부 입력 포트 및 출고 포트가 각각 하나씩 구비된다. 따라서, 본 발명에 따른 입력 포트 및 출고 포트를 구현하기 위해서, 카세트가 저장되는 셀을 침해할 필요가 없으므로, 카세트 저장 공간을 그대로 유지할 수 있다.In addition, the input port and the shipping port according to the present invention are provided with one internal input port and one shipping port, respectively, to which a stacker robot approaches and loads or unloads a cassette. Therefore, in order to implement the input port and the shipping port according to the present invention, it is not necessary to invade the cell in which the cassette is stored, so that the cassette storage space can be maintained as it is.

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display panel;

도 2는 일반적인 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도;2 is a schematic diagram for explaining a general cassette conveying system;

도 3은 도 2의 스토커를 나타낸 정면도;3 is a front view of the stocker of FIG. 2;

도 4는 도 2의 스토커를 개략적으로 나타낸 평면도;4 is a plan view schematically showing the stocker of FIG. 2;

도 5는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도;5 is a schematic view for explaining a cassette conveying system according to the present invention;

도 6은 도 5의 자동 반송 장치를 나타낸 정면도;6 is a front view showing the automatic conveying device of FIG.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 나타낸 평면도;7 is a plan view schematically showing a stocker according to the first embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 나타낸 평면도;8 is a plan view schematically showing a stocker according to a second embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 나타낸 평면도이다.9 is a plan view schematically illustrating a stocker according to a third embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

101: 제1 호스트 102: 제2 호스트101: first host 102: second host

103: 제3 호스트 104: 제4 호스트103: third host 104: fourth host

105: 제5 호스트 150: 카세트105: fifth host 150: cassette

200: 장비 300: 자동 반송 장치200: equipment 300: automatic conveying device

310: 주행부 320: 탑재부 310: driving unit 320: mounting unit

340: 제1 센서 350: 제2 센서340: first sensor 350: second sensor

400: 스토커 410: 선반400: stocker 410: shelf

420: 입고 포트 421, 422: 외부 입고 포트420: receipt port 421, 422: external receipt port

423, 433: 반송 포트 424: 내부 입고 포트423, 433: return port 424: internal receiving port

430: 출고 포트 431, 432: 외부 출고 포트430: Shipping port 431, 432: External shipping port

434: 내부 출고 포트 450:스태커 로봇434: internal shipping port 450: stacker robot

500: 인라인 장비500: inline equipment

Claims (8)

다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여 카세트를 각각 입고할 수 있는 다수 개의 외부 입고 포트들과; 스태커 로봇이 접근하여, 상기 외부 입고 포트들에 입고된 후 이송되어온, 카세트를 로딩(loaidng)하는 하나의 내부 입고 포트를 가지는 입고 포트; 그리고A plurality of external receiving ports through which a plurality of automatic conveying apparatuses can respectively approach and receive a cassette respectively; A receipt port having a stacker robot approaching and having one internal receipt port for loading a cassette, which has been transported after being received at the external receipt ports; And 상기 스태커 로봇에 의해 선반에서 취출되어온 카세트가 언로딩(unloading)되는 하나의 내부 출고 포트와; 다수 대의 자동 반송 장치가 각각 접근하여, 상기 내부 출고 포트에 언로딩 된 후 이송된, 카세트를 각각 출고할 수 있는 다수 개의 외부 출고 포트들을 가지는 출고 포트를 포함하여 이루어진 스토커.One internal shipping port to unload the cassette taken out from the shelf by the stacker robot; A stocker comprising a delivery port having a plurality of external delivery ports, each capable of leaving a cassette, each of which is accessed by a plurality of automatic conveying devices, unloaded into the internal delivery port, and then transported. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 외부 입고 포트들과 외부 출고 포트들은,The external receiving ports and external shipping ports, 다수 개의 자동 반송 장치가 동시에 각각 접근하여 작업할 수 있도록 상기 자동 반송 장치의 주행을 안내하는 레일과 나란하게 배치된 것을 특징으로 하는 스토커.And a plurality of automatic conveying apparatus arranged side by side with the rail for guiding the traveling of the automatic conveying apparatus so that each of the automatic conveying apparatus can simultaneously approach and work. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 외부 입고 포트들과 내부 입고 포트에는 각각 카세트를 반송하는 컨베이어가 구비된 것을 특징으로 하는 스토커.The stocker, characterized in that each of the outer receiving port and the inner receiving port is provided with a conveyor for conveying a cassette. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 내부 입고 포트와 인접하게 배치된 외부 입고 포트에 입고된 카세트는 상기 내부 입고 포트에 직접 반송되고,Cassettes received in the outer receiving port disposed adjacent to the inner receiving port are returned directly to the inner receiving port, 상기 내부 입고 포트와 떨어지게 배치된 외부 입고 포트들에 입고된 카세트는 반송 포트를 경유하여 상기 내부 입고 포트에 반송되는 것을 특징으로 하는 스토커.And a cassette received at the outer receiving ports disposed away from the inner receiving port is conveyed to the inner receiving port via a conveying port. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 외부 출고 포트들과 내부 출고 포트에는 각각 카세트를 반송하는 컨베이어가 구비된 것을 특징으로 하는 스토커.The stocker, characterized in that each of the external shipping port and the internal shipping port is provided with a conveyor for conveying a cassette. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 내부 출고 포트는 상기 카세트를,The inner shipping port is the cassette, 상기 내부 출고 포트와 인접하게 배치된 외부 출고 포트에 직접 반송하거나,Or directly to an external shipping port disposed adjacent to the internal shipping port, 상기 내부 출고 포트와 떨어지게 배치된 외부 출고 포트들에 반송 포트를 경유시켜 반송하는 것을 특징으로 하는 스토커.The stocker for conveying via the transport port to the external shipping port disposed to be separated from the internal shipping port. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 내부 입력 및 출고 포트는 각각 상기 각 선반과 일직선 상에 배치된 것을 특징으로 하는 스토커.Wherein said internal input and delivery ports are arranged in line with said respective shelves. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 내부 입력 및 출고 포트는 각각 상기 각 선반들 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 스토커.Wherein said internal input and delivery ports are each disposed between said shelves.
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