KR20050061206A

KR20050061206A - Line for guiding cassette transfer vehicle

Info

Publication number: KR20050061206A
Application number: KR1020030093416A
Authority: KR
Inventors: 박두기
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2003-12-18
Filing date: 2003-12-18
Publication date: 2005-06-22

Abstract

본 발명은 기판이 수납된 카세트를 반송하는 장치의 주행을 안내하는 반송 라인에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying line for guiding travel of an apparatus for conveying a cassette in which a substrate is stored.

본 발명의 일 형태에서는, 카세트 반송 장치가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 라인; 그리고 상기 주 라인 중간에 이동 가능하게 배치되어 상기 주 라인 상을 이동하는 상기 카세트 반송 장치의 이동 경로를 변경하는 라인 변경부를 포함하여 이루어진 카세트 반송 장치 주행 안내를 위한 반송 라인을 제공한다.In one embodiment of the present invention, a main line for guiding the cassette conveying apparatus to travel along a predetermined track; And a line changer arranged to be movable in the middle of the main line to change a moving path of the cassette transfer device moving on the main line.

Description

Line for guiding cassette transfer vehicle

본 발명은 LCD 제조시 사용되는 기판을 반송하는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 수납된 카세트를 반송하는 장치의 주행을 안내하는 레일 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system for transporting a substrate used in LCD manufacturing, and more particularly, to a rail system for guiding the running of an apparatus for transporting a cassette in which a substrate is stored.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.In recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.Such a liquid crystal display may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel may have a space and be bonded to each other as shown in FIG. 1. And a liquid crystal layer 3 injected between the second substrates 1 and 2 and the first and second substrates 1 and 2.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.Here, the first substrate 1 (TFT array substrate) includes a plurality of gate lines 4 arranged in one direction at regular intervals and at regular intervals in a direction perpendicular to the respective gate lines 4. A plurality of pixel electrodes 6 and the gate formed in a matrix form in each of the pixel regions P defined by crossing the plurality of data lines 5 and the gate lines 4 and the data lines 5. A plurality of thin film transistors T, which are switched by the signal of the line 4 and transfer the signal of the data line 5 to the pixel electrodes P, are formed.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.The second substrate 2 (color filter substrate) includes a black matrix layer 7 for blocking light in portions other than the pixel region P, and R, G, and B color filter layers for expressing color colors. 8 and a common electrode 9 for implementing an image are formed. Of course, in the transverse electric field type liquid crystal display device, the common electrode is formed on the first substrate.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.The liquid crystal display having the above structure includes a process of manufacturing a thin film transistor array on the first substrate 1, a process of manufacturing a color filter array on the second substrate 2, and the first and second substrates 1. , 2) adhering the liquid crystal, injecting and sealing the liquid crystal between the two bonded substrates, testing and repairing each liquid crystal panel in which the liquid crystal is injected, and back light on the good liquid crystal panel It is manufactured through a process of manufacturing a liquid crystal display module by mounting a lamp and a driving circuit.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(31, 32)(Cassette transfer vehicle; CTV)가 사용된다. 이때, 상기 카세트 반송 장치(31, 32)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(31, 32)가 반송하게 된다.As described above, the substrate is subjected to various processes to be completed as a liquid crystal display device, and as shown in FIG. 2, a cassette conveying apparatus (not shown) is used to convey the substrate to the equipments 21 and 22 performing each process. 31, 32 (Cassette transfer vehicle; CTV) is used. In this case, in order to increase the conveyance efficiency of the cassette conveying apparatuses 31 and 32, the cassette 10 is stored in a cassette 10 capable of accommodating a plurality of substrates, and the cassette 10 is transferred to the cassette conveying apparatuses 31 and 32. Will be returned.

따라서, 상기 카세트 반송 장치(31, 32)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(21, 22)들로, 그리고 각 장비(21, 22)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다.Accordingly, the cassette conveying apparatuses 31 and 32 move the cassette 10 to the stocker while reciprocating between the stocker 40 in which the cassette 10 is temporarily stored and the equipments 21 and 22 performing the respective processes. 40 to each equipment 21, 22 and from each equipment 21, 22 to the stocker 40, respectively.

이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 카세트 반송 장치(31, 32)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 반송 라인(11)이 제공된다. 이러한 반송 라인(11)에는 상기 카세트 반송 장치(31, 32)의 주행 방향을 안내하는 레일(rail)이 구비되므로, 상기 카세트 반송 장치(30)는 상기 레일을 따라 정해진 궤도를 주행하게 된다. 따라서, 상기 카세트 반송 장치(31, 32)를 RGV(rail guided vehicle)라고 부르기도 한다.To this end, a conveying line 11 is provided at the bottom of the production line to guide the cassette conveying devices 31 and 32 to move along a predetermined path. Since the conveying line 11 is provided with a rail for guiding the traveling direction of the cassette conveying apparatuses 31 and 32, the cassette conveying apparatus 30 travels along a defined track along the rail. Therefore, the cassette conveying apparatuses 31 and 32 are also called a rail guided vehicle (RGV).

한편, 일반적으로 하나의 반송 라인(11)은 도 2에 도시된 바와 같이 닫힌 곡선 형태로 이루어지며, 상기 반송 라인(11)에 인접하게 다수 개의 장비(21, 22)들과 스토커(40)가 배치된다. 그리고 다수 대의 카세트 반송 장치(31, 32)가 상기 반송 라인(11)을 따라 일방향으로 주행하면서 카세트(10)를 스토커(40) 또는 장비(21, 22)에 전달한다.On the other hand, one conveying line 11 is generally formed in a closed curved shape as shown in FIG. 2, and a plurality of equipments 21 and 22 and a stocker 40 are adjacent to the conveying line 11. Is placed. Then, a plurality of cassette conveying devices 31 and 32 travel in one direction along the conveying line 11 and transmit the cassette 10 to the stocker 40 or the equipment 21, 22.

그런데, 상기한 구조의 통상적인 반송 라인(11)에서는 상기 카세트 반송 장치(31, 32)가 역주행 할 수 없기 때문에 각 카세트 반송 장치(31, 32)가 불필요하게 많은 주행을 하게 되는 경우가 많이 발생하는데, 이하에서는 이에 대해 간단히 설명한다.By the way, in the normal conveyance line 11 of the above-mentioned structure, since the cassette conveying apparatuses 31 and 32 cannot reversely run, each cassette conveying apparatus 31 and 32 carries out a lot of unnecessary running. This will be described briefly below.

두 대의 카세트 반송 장치(31, 32)가 각각 도 3에 도시된 바와 같이 배치된 상태에서 도 3의 두 장비(21, 22)로 카세트(10)를 반송하는 명령이 지시된 경우를 예를 들어 보자. 카세트(10)는 상기 스토커(40)에 저장되어 있으므로, 상기 각 카세트 반송 장치(31, 32)는 먼저 상기 스토커(40)를 경유하여 카세트(10)를 로딩한 후 각 장비(21, 22)들로 카세트(10)를 반송해야 한다. 그리고, 각 카세트 반송 장치(31, 32)들은 반송 라인(11)을 따라 역주행 할 수는 없다.For example, a case in which an instruction for conveying the cassette 10 to the two equipments 21 and 22 of FIG. 3 is instructed, with the two cassette conveying apparatuses 31 and 32 arranged as shown in FIG. Let's see. Since the cassette 10 is stored in the stocker 40, each of the cassette conveying devices 31 and 32 first loads the cassette 10 via the stocker 40, and then each equipment 21, 22. The cassette 10 must be conveyed. And each cassette conveying apparatus 31 and 32 cannot drive back along the conveying line 11.

따라서, 도 3의 위쪽에 배치된 카세트 반송 장치(31)는 하측의 장비(22)를 지나쳐 스토커(40)에서 카세트(10)를 로딩한 다음 장비(21)에 상기 카세트(10)를 공급하게 된다. 그리고, 도 3의 아래쪽에 배치된 카세트 반송 장치(32)는 스토커(40)에서 카세트(10)를 로딩한 다음 장비(21)을 지나쳐 장비(22)로 이동한 후 장비(22)에 카세트(10)를 공급한다.Accordingly, the cassette conveying apparatus 31 disposed above in FIG. 3 passes the lower equipment 22 to load the cassette 10 from the stocker 40 and then supplies the cassette 10 to the equipment 21. do. 3, the cassette conveying apparatus 32 disposed at the bottom of FIG. 3 loads the cassette 10 from the stocker 40, passes the equipment 21, moves to the equipment 22, and then moves the cassette 22 to the equipment 22. Supply 10).

이에 따라, 상기 두 대의 카세트 반송 장치(31, 32)들은 모두 상기 반송 라인(11)을 거의 한 바퀴씩 돈 다음에야 카세트(10)를 장비(21, 22) 들에 공급할 수 있게 된다. 물론, 상기 카세트 반송 장치(32)가 상기 장비(21)에 카세트(10)를 공급할 수도 있겠으나, 이 경우, 상기 카세트 반송 장치(31)이 상기 장비(22)에 카세트(10)를 공급하기 위해 반송 라인(11)을 한 바퀴 이상 회전해야 하며, 상기 카세트 반송 장치(32) 또한 주행로를 막지 않기 위해 함께 회전해야만 한다.Accordingly, the two cassette conveying apparatuses 31 and 32 can supply the cassette 10 to the equipment 21 and 22 only after turning the conveying line 11 almost once. Of course, the cassette conveying apparatus 32 may supply the cassette 10 to the equipment 21, but in this case, the cassette conveying apparatus 31 may supply the cassette 10 to the equipment 22. The conveying line 11 must be rotated more than one turn in order to prevent the cassette conveying device 32 from being rotated together so as not to block the driving path.

상기한 바와 같이 하나의 닫힌 곡선 형태로 이루어진 일반적인 반송 라인(11)에서는 카세트 반송 장치(31, 32)들이 너무 많은 거리를 주행해야 하는 문제가 있다. 또한, 상기 두 대의 카세트 반송 장치(31, 32)들 중에서 어느 하나에만 반송 명령이 내려진 경우에도 주행로가 막히지 않기 위해 두 대 모두 계속 회전해야 하기 때문에 비효율적인 문제가 있다. 따라서, 카세트 반송 장치(31, 32)의 반송 횟수 및 능력이 저하되어 반송 효율이 떨어진다.As described above, in the general conveying line 11 having one closed curved shape, there is a problem that the cassette conveying devices 31 and 32 must travel too much distance. In addition, even when a conveyance command is given to only one of the two cassette conveying apparatuses 31 and 32, there is an inefficient problem because both of the two conveying apparatuses must continuously rotate in order not to block the driving path. Therefore, the number of times of conveyance and capability of the cassette conveyance apparatuses 31 and 32 fall, and conveyance efficiency falls.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 카세트 반송 장치들이 카세트를 반송하거나 반송하지 않을 때 불필요하게 많은 주행을 하는 것을 방지하여 카세트 반송 효율을 향상시키는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to improve cassette conveyance efficiency by preventing the cassette conveying devices from unnecessarily running a lot when conveying or not conveying a cassette.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 카세트 반송 장치가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 라인; 그리고 상기 주 라인 중간에 이동 가능하게 배치되어 상기 주 라인 상을 이동하는 상기 카세트 반송 장치의 이동 경로를 변경하는 라인 변경부를 포함하여 이루어진 카세트 반송 장치 주행 안내를 위한 반송 라인을 제공한다.In one embodiment of the present invention for achieving the above object, a main line for guiding the cassette conveying apparatus to travel along a predetermined track; And a line changer arranged to be movable in the middle of the main line to change a moving path of the cassette transfer device moving on the main line.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 라인 변경부는, 상기 주 라인에 선택적으로 연결되어 서로 다른 경로를 형성하는 적어도 두 개의 변경 라인들을 포함하여 이루어진다.According to an aspect of the present invention, the line change unit may include at least two change lines selectively connected to the main line to form different paths.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 라인 변경부는, 상기 주 라인을 하나의 닫힌 곡선 경로를 가지도록 연결하는 제1 변경 라인, 그리고 상기 주 라인을 두 개의 독립된 닫힌 곡선 경로를 가지도록 연결하는 제2 변경 라인을 포함하여 이루어진다.According to another feature of the invention, the line change unit, the first change line connecting the main line to have one closed curve path, and the second connecting line to the main line to have two independent closed curve path Including change line.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 라인 변경부는, 상기 주 라인을 하나의 닫힌 곡선 경로를 가지도록 연결하는 제1 변경 라인, 그리고 상기 주 라인을 하나의 닫힌 곡선과 하나의 열린 곡선 경로를 가지도록 연결하는 제3 변경 라인을 포함하여 이루어진다.According to another feature of the invention, the line changing unit, the first change line connecting the main line to have one closed curve path, and the main line to have one closed curve and one open curve path And a third change line for connecting.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized are described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and symbols are used for the same components, and additional description thereof will be omitted below.

먼저, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명한다. 본 발명에 따른 반송 시스템을 제어하는 제어 시스템은 도 4에 도시된 바와 같이 제1 내지 제5 호스트(101, 102, 103, 104, 105)를 포함하여 이루어진다. First, the cassette conveyance system according to the present invention will be described with reference to FIG. The control system for controlling the conveying system according to the present invention comprises first to fifth hosts 101, 102, 103, 104, 105 as shown in FIG. 4.

상기 제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.The first host 101 is the highest host that receives a conveying instruction from the operator to move the cassette 150. When a worker inputs a return command to the first host 101, the first host 101 transmits the return command to the second host 102 and the third host 103.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비(210, 220)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(210, 220)에 전달된다.The second host 102 communicates with the first host 101 and the third host 103 and controls the equipment 210, 220 for performing any LCD manufacturing process. The return command sent from the first host 101 to the second host 102 is transmitted to the equipment 210, 220.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.The third host 103 communicates with the first host 101 and the second host 102 and controls the fourth host 104 and the fifth host 105. The return command transmitted from the first host 101 to the third host 103 is transmitted to the fourth host 104 and the fifth host 105.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 카세트 반송 장치(301, 302)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 카세트 반송 장치(301, 302)에 전달된다.The fourth host 104 communicates with the third host 103 and controls the operations of the cassette carriers 301 and 302. Of course, the conveyance command received by the fourth host 104 is transmitted to the cassette conveying apparatus 301, 302.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.The fifth host 105 communicates with the third host 103 and controls a stocker 400 that stores a plurality of cassettes 150 on which a plurality of glasses are mounted. Of course, the return command received at the fifth host 105 is transmitted to the stocker 400.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.Meanwhile, before the stocker 400 supplies the cassettes 150 on which the substrates of which process is completed to other equipment that performs the next process, the substrate processing capability and the processing time of the equipments that perform each process. In order to solve the buffering (buffering) problem caused by the difference of the, is a facility for temporarily storing the cassette 150. Therefore, the cassettes 150 on which substrates which have been finished in a certain process are mounted are temporarily stored in the stocker 400 and then supplied to other equipment which performs another process.

상기한 기능을 수행하는 상기 스토커(400)에는, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입고 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(미도시)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출고 포트(420)(output port), 그리고 상기 입고 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출고 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(미도시)(stacker robot)을 포함하여 이루어진다.In the stocker 400 performing the above function, a stock port 410 (input port) into which a cassette 150 on which substrates of any process is completed is received and a plurality of shelves storing the cassettes 150 are stored. (Not shown), the delivery port 420 (output port) from which the cassette 150 is shipped, and the stocker (420) while moving between the receiving port 410 and the shelf and between the shelf and the delivery port 420. And a stacker robot (not shown) that carries the cassette 150 within 400.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.Meanwhile, in order to process the plurality of cassettes 150 without errors as described above, each cassette 150 has unique ID information, and the stocker 400 confirms each ID information of each cassette 150. It is then stored on the shelf.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)에는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)(도 4 및 도 8 참조)가 구비된다. 본 발명에서는, 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.To this end, the receiving port 410 of the stocker 400 is provided with a reader 430 that can check the ID information of the cassette 150, as shown in FIG. In addition, an ID display unit 151 (see FIGS. 4 and 8) in which ID information of the cassette 150 is recorded on at least one of an upper side and a lower side, for example, at the front side of the cassette 150. It is provided. In the present invention, as an example of the ID display unit 151, a bar code is presented.

상기한 구조를 가지면, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출고 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.With the above structure, the reader 430 reads the ID display unit 151 so that the stocker 400 can check the ID information of the cassette 150. In addition, when the cassette 150 is shipped, the storage port of the cassette 150 having the ID information corresponding to the transport information received by the stocker 400 is confirmed, and then the delivery port 420 is released from the shelf using the stacker robot. The cassette 150 is transported.

한편, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(210, 220)에서 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출고 포트(420)에서 다른 장비(210, 220)로 반송한다. 여기서, 상기 제4 호스트(104)는 적어도 한 대 이상의 카세트 반송 장치(301, 302)를 제어하며, 상기 각 카세트 반송 장치(301, 302)에는 상기 제4 호스트(104)의 명령에 따라 카세트 반송 장치(301, 302)의 각 구성요소를 제어하는 제어부가 구비된다.Meanwhile, the cassette conveying apparatuses 301 and 302 control the cassette 150 from the equipment 210 and 220 to the receiving port 410 of the stocker 400 under the control of the fourth host 104. And, it is returned to the other equipment (210, 220) from the delivery port 420 of the stocker (400). Here, the fourth host 104 controls at least one or more cassette conveying apparatuses 301 and 302, and each cassette conveying apparatus 301 and 302 carries cassettes in accordance with an instruction of the fourth host 104. A control unit is provided for controlling each component of the apparatus 301, 302.

한편, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 반송 라인을 따라 주행하는데, 이하에서는 본 발명에 따른 반송 라인의 구조에 대해 상세하게 설명한다.On the other hand, although the cassette conveying apparatuses 301 and 302 run along a conveying line, the structure of the conveying line which concerns on this invention is demonstrated in detail below.

도 7을 참조하면, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)의 주행 궤도를 형성하는 주 라인(510)은 빔(511), 축받이(512), 상판(513), 프레임(514), 그리고 레일(515)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 빔(511)은 한 쌍이 작업장의 바닥면에 나란하게 고정되며, 상기 축받이(512)는 각 빔(511)의 상부에서 수직하게 세워진다. Referring to FIG. 7, the main line 510 that forms the driving trajectory of the cassette carriers 301 and 302 includes a beam 511, a bearing 512, a top plate 513, a frame 514, and a rail ( 515). Here, the pair of beams 511 are fixed side by side on the floor of the workplace, the bearing 512 is erected vertically on top of each beam 511.

상기 각 빔(511)의 상부에는 각각 상판(513)이 지면과 수평하게 구비되는데, 상기 각 상판(513)들은 도 7에 도시된 바와 같이 서로 소정 거리 이격된 상태를 유지한다. 여기서, 상기 상판(513)들은 경도가 낮은 알루미늄 재질로 제작되며, 작업장(청정실)의 기류가 통과할 수 있도록 다수 개의 홀(미도시)이 상판(513)에 형성된다.An upper plate 513 is provided on the upper portion of each of the beams 511 to be horizontal to the ground, and the upper plates 513 are spaced apart from each other by a predetermined distance as shown in FIG. 7. Here, the top plate 513 is made of a low hardness aluminum material, a plurality of holes (not shown) are formed in the top plate 513 so that the air flow of the workplace (clean room) can pass.

상기 프레임(514)은 양측이 각각 상기 축받이(512)에 고정된다. 따라서, 상기 도 7에 도시된 바와 같이 상기 상판(513)들과 프레임(514) 사이에는 소정의 공간이 형성된다. 상기 공간에는 레일(515)이 설치되는데, 상기 레일(515)은 그 하부가 상기 프레임(514)의 상면에 고정되고, 그 상부는 상기 각 상판(513)들 사이에 이격된 갭(gap)과 마주보도록 배치된다.Both sides of the frame 514 are fixed to the bearing 512. Therefore, as shown in FIG. 7, a predetermined space is formed between the top plates 513 and the frame 514. The space is provided with a rail 515, the rail 515 is fixed to the upper surface of the frame 514, the upper portion of the gap (gap) spaced between the upper plate (513) It is arranged to face each other.

상기와 같은 구조를 가지는 주 라인(510)에는 또한, 상기 주행부(310)에 지속적으로 전류를 공급해 주기 위한 장치가 구비된다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이 트롤리 암(516)(trolley arm)이 상기 상판(513)과 프레임(514) 사이에 형성된 공간의 일측에 구비된다.The main line 510 having the structure as described above is also provided with a device for continuously supplying current to the driving unit 310. That is, as shown in FIG. 7, a trolley arm 516 is provided on one side of the space formed between the top plate 513 and the frame 514.

한편, 이하에서는 상기한 구조를 가지는 본 발명에 따른 반송 라인의 전체적인 구조에 대해 도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명한다. 참고로, 도 5a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 카세트 반송 라인을 보여주는 평면도이고, 도 5b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 카세트 반송 라인을 보여주는 평면도이다.Meanwhile, the overall structure of the conveying line according to the present invention having the above structure will be described with reference to FIGS. 5A and 5B. For reference, FIG. 5A is a plan view showing a cassette conveying line according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a plan view showing a cassette conveying line according to a second embodiment of the present invention.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 발명에 따른 반송 라인은 주 라인(510)과 라인 변경부(520)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 주 라인(510)은 상기 도면에 도시된 바와 같이 카세트 반송 장치(301, 302)가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내할 수 있도록 생산 라인의 바닥에 고정 배치된다. 이러한 주 라인(510)은 상기 도면에 도시된 바와 같이 두 개의 열린 곡선 형태의 경로를 가지는데, 이들 열린 곡선들은 서로 마주보게 배치된다.5A and 5B, the conveying line according to the present invention includes a main line 510 and a line changing unit 520. Here, the main line 510 is fixedly arranged at the bottom of the production line so as to guide the cassette conveying devices 301 and 302 to travel along a predetermined track as shown in the figure. This main line 510 has two open curved paths as shown in the figure, which are arranged facing each other.

상기한 바와 같이 두 개의 열린 곡선이 마주보는 형태로 배치된 상기 주 라인(510)의 중간 지점에는 라인 변경부(520)가 이동 가능하게 배치된다. 이를 위해 생산 라인의 바닥면에는 공동부(530)가 제공되며, 상기 공동부(530)에 상기 라인 변경부(520)가 이동 가능하게 장착된다.As described above, the line change unit 520 is movably disposed at an intermediate point of the main line 510 in which two open curves face each other. To this end, the cavity 530 is provided on the bottom surface of the production line, and the line changer 520 is movably mounted to the cavity 530.

여기서, 상기 라인 변경부(520)는 상기 공동부(530)의 길이 방향을 따라 미끄러지면서 왕복 가능하게 설치된다. 이러한 구조는 당업자라면 상기한 설명 만으로도 충분히 구현할 수 있을 것이므로, 이에 대해 더 이상의 자세한 설명은 생략한다. 한편, 상기한 라인 변경부(520)는 상기 제어 시스템에 의해 자동으로 이동하도록 설계되는 것이 바람직하다.Here, the line change unit 520 is installed to reciprocate while sliding along the longitudinal direction of the cavity 530. Such a structure may be sufficiently implemented by those skilled in the art by the above description, and thus, further detailed description thereof will be omitted. On the other hand, the line change unit 520 is preferably designed to move automatically by the control system.

상기와 같이 설치되는 라인 변경부(520)는 좌우로 이동하면서 상기 주 라인(510) 상을 이동하는 상기 카세트 반송 장치(301, 302)의 이동 경로를 변경하게 된다. 이러한 라인 변경부(520)에는 상기 주 라인(510)에 선택적으로 연결되는 적어도 두 개의 변경 라인들이 구비된다. 상기 변경 라인들은 상기 주 라인(510)에 연결되었을 때 상기 카세트 반송 장치(301, 302)의 이동 경로를 서로 다르게 변경하게 되는데, 이하에서는 이에 대해 각 실시예 별로 보다 상세하게 설명한다.The line change unit 520 installed as described above changes the moving paths of the cassette conveying apparatuses 301 and 302 moving on the main line 510 while moving from side to side. The line change unit 520 includes at least two change lines selectively connected to the main line 510. When the change lines are connected to the main line 510, the moving paths of the cassette carriers 301 and 302 are changed differently, which will be described below in more detail for each embodiment.

도 5a를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에서 상기 라인 변경부(520)에는 제1 변경 라인(521)과 제2 변경 라인(522)이 구비된다. 상기 제1 변경 라인(521)은 나란히 배치된 두 개의 직선 라인으로 이루어지는데, 이들 각 직선 라인은 도 5a에 도시된 바와 같이 상기 주 라인(510)의 각 단부에 각각 연결된다.5A, in the first embodiment of the present invention, the line change unit 520 includes a first change line 521 and a second change line 522. The first change line 521 is composed of two straight lines arranged side by side, each of which is connected to each end of the main line 510, as shown in Figure 5a.

따라서, 상기 제1 변경 라인(521)이 상기 주 라인(510)과 연결되면, 상기 주 라인(510)은 하나의 커다란 닫힌 곡선 경로를 이루게되고, 상기 주 라인(510) 상에 있는 카세트 반송 장치(301, 302)들은 상기 주 라인(510)의 중간에 있는 제1 변경 라인(521)을 경유하여 하나의 커다란 닫힌 곡선 경로를 주행하게 된다.Thus, when the first change line 521 is connected to the main line 510, the main line 510 forms one large closed curved path, and the cassette conveying apparatus is on the main line 510. 301 and 302 will drive one large closed curved path via a first change line 521 in the middle of the main line 510.

상기 제2 변경 라인(522)은 두 개의 아크(arc) 형태의 라인을 포함하여 이루어진다. 여기서 각 아크 라인들의 단부는 각각 상기 주 라인(510)의 각 단부들과 연결된다. 따라서, 상기 제2 변경 라인(522)이 상기 주 라인(510)에 연결되면, 본 발명에 따른 반송 라인은 도 9a에 도시된 바와 같이 서로 독립된 두 개의 작은 닫힌 곡선 형태의 경로를 가지게 된다.The second change line 522 includes two arc shaped lines. Here the ends of each arc line are respectively connected with the respective ends of the main line 510. Thus, when the second change line 522 is connected to the main line 510, the conveying line according to the present invention has two small closed curved paths independent of each other as shown in Figure 9a.

도 5b를 참조하면, 제2 실시예에 따른 반송 라인에서 상기 라인 변경부(520)에는 제1 변경 라인(521)과 제3 변경 라인(523)이 구비된다. 여기서, 상기 제1 변경 라인(521)은 상기 도 5a를 참조하여 설명된 것과 동일한 구조를 가진다. 그리고 상기 제3 변경 라인(523)은 도 5b에 도시된 바와 같이 아크 형태를 가진 하나의 라인을 가진다. 이러한 아크 라인은 상기 주 라인(510)의 열린 곡선 경로들 중 어느 하나에 연결된다.Referring to FIG. 5B, the line change unit 520 is provided with a first change line 521 and a third change line 523 in the transfer line according to the second embodiment. Here, the first change line 521 has the same structure as described with reference to FIG. 5A. The third change line 523 has one line having an arc shape as shown in FIG. 5B. This arc line is connected to any one of the open curved paths of the main line 510.

따라서, 상기 제3 변경 라인(523)이 상기 주 라인(510)에 연결되면, 본 발명에 따른 반송 라인은 도 9b에 도시된 바와 같이 하나의 작은 닫힌 곡선 형태와, 하나의 작은 열린 곡선 형태의 경로를 가지게 된다.Therefore, when the third change line 523 is connected to the main line 510, the conveying line according to the present invention has one small closed curve shape and one small open curve shape as shown in FIG. 9B. You have a path.

한편, 상기한 구조를 가진 반송 라인을 따라 주행하는 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 제어부의 제어에 따라 정해진 구간을 따라 주행하는 주행부(310)(도 6 및 도 7 참조), 그리고 상기 주행부(310)의 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 이재부(320)를 포함하여 이루어진다. On the other hand, the cassette conveying apparatus (301, 302) running along the conveying line having the above-described structure is a traveling portion 310 (see Figs. 6 and 7) running along a section determined by the control of the control unit, and It is provided on the upper portion of the driving unit 310, and comprises a transfer unit 320, the cassette 150 is mounted.

여기서, 상기 주행부(310)에는 다수 개의 캐스터(312)들, 컬렉트 암(313)(collect arm), 주행 휠(311), 그리고 센서 브라켓(314) 등이 구비된다.The driving unit 310 includes a plurality of casters 312, a collect arm 313, a traveling wheel 311, and a sensor bracket 314.

상기 캐스터(312)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 레일(515)의 양 측면에 맞물려 주행부(310)의 이동 방향을 안내하며, 상기 컬렉트 암(313)은 상기 트롤리 암(516)과 대응하도록 배치되어 상기 트롤리 암(516)으로 부터 전류를 공급 받는다. 따라서, 상기 컬렉트 암(313)을 통해 공급 받는 전류로 상기 주행부가 구동된다.As shown in FIG. 7, the caster 312 is engaged with both side surfaces of the rail 515 to guide the moving direction of the driving unit 310, and the collect arm 313 is connected to the trolley arm 516. Disposed so as to receive current from the trolley arm 516. Therefore, the driving unit is driven by the current supplied through the collect arm 313.

상기 주행 휠(311)은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 상판(513) 상면과 접촉되도록 구비되며, 상기 컬렉트 암(313)을 통해 공급 받은 전류로 구동되는 주행 모터(미도시)에 의해 회전된다. 따라서, 상기 주행 휠(311)이 상기 상판(513) 상면에서 회전하면, 상기 주행부(310)가 움직이게 되고, 움직이는 주행부(310)는 상기 레일(515)의 양측면에 맞물린 캐스터(312)의 안내에 따라서 상기 레일(515)을 따라 주행하게 된다.As shown in FIG. 7, the driving wheel 311 is provided to be in contact with the upper surface of the upper plate 513, and is rotated by a driving motor (not shown) driven by a current supplied through the collect arm 313. do. Therefore, when the traveling wheel 311 rotates on the upper surface of the upper plate 513, the traveling portion 310 moves, and the moving traveling portion 310 of the caster 312 engaged with both sides of the rail 515. In accordance with the guidance it will travel along the rail 515.

상기 센서 브라켓(314)은 주 레일(510)에 구비된 위치 센서(517)와 마주볼 수 있도록 배치된다. 여기서, 상기 위치 센서(517)은 상기 주 레일(510)에 소정 간격을 따라 다수 개가 구비되며, 상기 주행부(310)가 상기 위치 센서(517)가 있는 곳을 지나갈때 상기 센서 브라켓(314)이 도 6에 도시된 바와 같이 상기 위치 센서(517)와 마주 보게 된다. 이때, 상기 제어 시스템은 상기 카세트 반송 장치(300)의 정확한 현재 위치를 파악할 수 있게 된다. 그리고, 상기 제어 시스템은 상기 센서 브라켓(314)과 상기 위치 센서(517)를 통해서 파악한 카세트 반송 장치(300)의 위치에 기초하여 상기 주행부(310)의 속도 등을 제어하게 된다.The sensor bracket 314 is disposed to face the position sensor 517 provided on the main rail 510. Here, a plurality of position sensors 517 are provided on the main rail 510 along a predetermined interval, and the sensor bracket 314 when the driving part 310 passes through the position sensor 517. As shown in FIG. 6, the position sensor 517 is faced. At this time, the control system can determine the exact current position of the cassette carrier 300. In addition, the control system controls the speed of the traveling unit 310 based on the position of the cassette conveying apparatus 300 identified through the sensor bracket 314 and the position sensor 517.

한편, 상기 주행부(310)에는 상기한 구성 요소들 외에도 전원 장치(미도시), 그리고 통신 유닛(미도시) 등의 다양하고 복잡한 장치들이 더 구비된다.Meanwhile, the driving unit 310 may further include various and complicated devices such as a power supply device (not shown) and a communication unit (not shown) in addition to the above components.

한편, 상기 주행부(310)의 상부에 형성되는 이재부(320)에는, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)를 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)(도 3 및 도 7 참조), 그리고, 상기 카세트(150)가 정확히 탑재될 수 있도록 안내하고, 탑재된 카세트(150)가 상기 주행부(310)의 이동시 움직이지 않도록 고정하는 가이드 블록(321)이 구비된다.On the other hand, the transfer portion 320 formed on the running portion 310, the robot arm 330 for loading (unloading) or loading (unloading) the cassette 150, as shown in FIG. 3 and 7), and a guide block 321 for guiding the cassette 150 to be mounted correctly and fixing the mounted cassette 150 so as not to move when the driving unit 310 moves. It is provided.

여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.Here, the robot arm 330 is mounted on the upper portion of the running portion 310 and the main shaft 331 that can move or rotate in the vertical direction, and mounted on the main shaft 331 can be stretched in the horizontal direction And a slider 335.

상기와 같이 카세트 반송 장치(301, 302)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 장비(210, 220), 그리고 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 이재부(320)에 로딩하거나, 상기 이재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(210, 220) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.When the robot arm 330 is provided in the cassette conveying apparatus 301, 302 as described above, the cassette conveying apparatus 301, 302 is the equipment 210, 220 and the receiving port 410 of the stocker 400. And directly loading the cassette 150 in the delivery port 420 into the transfer part 320 or loading the cassette 150 loaded in the transfer part 320 into the equipment 210 and 220 and the stocker 400. You can unload at.

한편, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420), 또는 장비(210, 220) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다. 이를 위해서 상기 카세트 반송 장치(301, 302)에는 도 7에 도시된 바와 같이 제1 센서(340)가 구비되고, 상기 장비(210, 220) 및 상기 스토커(400)에는 도 3에 도시된 바와 같이 마크 플레이트(250)가 구비된다. 여기서, 상기 제1 센서(340)는 상기 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 카세트 반송 장치(301, 302)가 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.On the other hand, the cassette conveying apparatus (301, 302) is to be located exactly in front of the storage port 410 and the delivery port 420, or equipment 210, 220 of the stocker 400, when conveying the cassette 150 It should be possible. To this end, the cassette conveying apparatuses 301 and 302 are provided with a first sensor 340 as shown in FIG. 7, and the equipment 210 and 220 and the stocker 400 are shown in FIG. 3. The mark plate 250 is provided. Here, the first sensor 340 reads the mark plate to help the cassette conveying apparatus 301, 302 to be accurately positioned in front of the equipment 210, 220 or stocker 400.

또한, 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치한 카세트 반송 장치(301, 302)는 카세트(150)를 원활하고 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400)와 통신할 수 있어야 한다. 이를 위해, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)에는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400)와 통신하면서 정확한 로딩 또는 언로딩 작업을 도와주는 제2 센서(350)가 더 구비된다.In addition, the cassette conveying devices 301 and 302 located precisely in front of the equipment 210 or 220 or the stocker 400 may smoothly and accurately load or unload the cassette 150 to the equipment 210 or 220 or the stocker. Must be able to communicate with (400). To this end, the cassette conveying apparatus 301, 302 has a second sensor 350 that communicates with the equipment 210, 220 or stocker 400 to assist in accurate loading or unloading as shown in FIG. 7. Is further provided.

한편, 상기와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 레일 시스템이 구비된 카세트 반송 시스템은 다음과 같은 과정을 통해 카세트(150)를 스토커(400) 또는 장비(210, 220)에 반송해준다.On the other hand, the cassette conveying system with a rail system according to the present invention having the structure as described above conveys the cassette 150 to the stocker 400 or the equipment (210, 220) through the following process.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.First, when an operator confirms the ID of the cassette 150 to be conveyed and then inputs a conveyance command of the cassette 150 to the first host 101, the first host 101 transmits the second host. The transfer command is issued to 102 and the third host 103.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(210, 220)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 카세트 반송 장치(301, 302)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.The second host 102 having received the return command forwards it to the equipment 210, 220, and the third host 103 forwards it to the fourth host 104 and the fifth host 105. The fourth host 104 transmits the conveyance command to the cassette conveyance devices 301 and 302, and the fifth host 105 transmits the conveyer command to the stocker 400.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇을 제어하여 해당 카세트(150)를 출고 포트(420)로 운반한다. 그리고 반송 명령을 받은 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출고 포트(420)에 놓인 카세트(150)를 이재부(320)에 로딩한다.The stocker 400 having received the transfer command controls the stacker robot and transports the cassette 150 to the delivery port 420. And the cassette conveying apparatus 301, 302 which received the conveyance instruction moves in front of the stocker 400, and loads the cassette 150 put in the delivery port 420 to the transfer part 320. FIG.

상기 카세트(150)를 로딩한 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 장비(210, 220)로 이동한다. 제1 센서(340)의 도움으로 상기 장비(210, 220) 앞에 정확하게 위치한 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 제2 센서(350)의 도움을 받아 상기 카세트(150)를 상기 장비(210, 220)에 정확하게 언로딩한다.The cassette conveying apparatus 301, 302 which loads the cassette 150 moves to the equipment 210, 220. The cassette conveying devices 301 and 302 located precisely in front of the equipment 210 and 220 with the help of the first sensor 340 may move the cassette 150 to the equipment 210 with the help of the second sensor 350. Unload correctly).

상기 카세트(150)가 상기 장비(210, 220)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(210, 220)는 리더기(201)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(210, 220)의 리더기(201)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(210, 220)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.When the cassette 150 is completely unloaded into the equipment 210, 220, the equipment 210, 220 reads the ID display unit 151 of the cassette 150 using the reader 201. ID information of the cassette 150 read by the reader 201 of the equipment 210, 220 is transmitted to the second host 102, and the second host 102 is sent from the first host 101. The ID information of the cassette 150 is compared with the transport information received and transmitted to the equipment 210 and 220.

비교 결과, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(210, 220)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.As a result of the comparison, when the conveyance information transmitted to the equipment 210 and 220 and the ID information of the cassette 150 match, the equipment 210 or 220 takes out a substrate mounted on the cassette 150 and performs a predetermined process. Perform.

그러나, 상기 장비(210, 220)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 장비(210, 220)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 이재부(320)에 로딩한다.However, since the equipment 210 and 220 and the stocker 400 are controlled by different hosts, when any one of the control lines malfunctions, the returned information transmitted to the equipment 210 and 220 is controlled. And ID information of the cassette 150 may be inconsistent. Therefore, as a result of the comparison, if the conveyance information transmitted to the equipment 210, 220 and the ID information of the cassette 150 do not match, the conveying system generates an alarm sound, and the cassette conveying apparatus 301, 302 may The cassette 150 unloaded in the equipment 210 or 220 is loaded back into the transfer part 320.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 카세트 반송 장치(301, 302)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입고 포트(410)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.The cassette conveying apparatuses 301 and 302 which reload the cassette 150 reload the cassette 150 to the stocker 400 and then unload the cassette 150 to the receiving port 410 of the stocker 400. When the operator finds a control line in which an error occurs and solves the problem, the operator inputs a transfer command to the first host 101 again, and the transfer procedure of the cassette 150 of the above process is performed again.

한편, 상기한 반송 과정 동안 상기 라인 변경부(520)는 상기 도 5a 및 도 5b에 도시된 위치, 즉 상기 제1 변경 라인(521)과 상기 주 라인(510)이 연결되는 위치를 많이 유지하게 된다. 그러나, 상기 카세트 반송 장치(301, 302)들 중 어느 하나는 반송 작업을 수행하고 다른 하나는 반송 작업을 수행하지 않는 경우, 또는 이들이 각각 카세트(150)를 반송하기 위해 너무 많은 거리를 주행하여야 할 경우에는 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이 상기 라인 변경부(520)가 위치를 변경하여 보다 효율적인 반송을 유도하게 된다. 이를 도면을 참조하여 간단히 설명한다.In the meantime, the line change unit 520 maintains a large number of positions shown in FIGS. 5A and 5B, that is, a position where the first change line 521 and the main line 510 are connected. do. However, either one of the cassette conveying apparatuses 301, 302 performs a conveying operation and the other does not carry a conveying operation, or they have to travel too much distance to convey the cassette 150, respectively. In this case, as illustrated in FIGS. 9A and 9B, the line change unit 520 may change positions to induce more efficient conveyance. This will be briefly described with reference to the drawings.

도 9a에 도시된 바와 같이 제2 변경 라인(522)이 주 라인(510)에 연결되면, 반송 라인은 두 개의 작은 닫힌 곡선 경로를 가지게 된다. 이 경우, 상기 카세트 반송 장치(302)는 스토커(400)에서 카세트(150)를 로딩한 후 상기 제2 변경 라인(522)을 경유한 후 장비(220)에 상기 카세트(150)를 전달할 수 있기 때문에 이동 거리가 매우 짧아진다.When the second change line 522 is connected to the main line 510 as shown in FIG. 9A, the conveying line will have two small closed curved paths. In this case, the cassette conveying apparatus 302 may load the cassette 150 from the stocker 400 and then transfer the cassette 150 to the equipment 220 after passing through the second change line 522. Because of this, the travel distance becomes very short.

한편, 상기 카세트 반송 장치(301)가 상기 스토커(400)에서 카세트(150)를 로딩한 후 상기 제2 변경 라인(522)이 주 라인(510)과 연결되면, 상기 카세트 반송 장치(301)는 도 9a에 도시된 바와 같은 짧은 경로만 주행한 후 장비(210)에 카세트(150)를 공급할 수 있다. 도 9a에 도시된 제 1 실시예의 경우, 비록 도시하지는 않았지만, 상기 카세트 반송 장치(301)이 주행하는 작은 닫힌 곡선 경로에 또 다른 스토커(미도시)가 구비될 수도 있을 것이다.Meanwhile, if the second change line 522 is connected to the main line 510 after the cassette conveying device 301 loads the cassette 150 from the stocker 400, the cassette conveying device 301 After only driving a short path as shown in FIG. 9A, the cassette 150 may be supplied to the equipment 210. In the case of the first embodiment shown in Fig. 9A, although not shown, another stocker (not shown) may be provided in a small closed curved path on which the cassette conveying apparatus 301 travels.

한편, 상기 카세트 반송 장치(301)가 반송 명령을 받지 않았으면 이동하지 않고 정지해 있으면 된다. 왜냐하면, 상기 카세트 반송 장치(301)는 상기 카세트 반송 장치(302)의 주행을 방해하지 않기 때문이다. 이러한 원리는 도 9b에 도시된 제2 실시예에서도 동일하게 적용된다.On the other hand, if the cassette conveyance apparatus 301 does not receive a conveyance instruction, it should just stop without moving. This is because the cassette carrier 301 does not interfere with the running of the cassette carrier 302. This principle applies equally to the second embodiment shown in Fig. 9B.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다.Although several embodiments have been described above, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other forms without departing from the spirit and scope thereof.

따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.Accordingly, the described embodiments are to be considered as illustrative and not restrictive, and all embodiments within the scope of the appended claims and their equivalents are included within the scope of the present invention.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 반송 라인은 상기 라인 변경부의 위치를 변경시켜 반송 라인의 이동 경로를 다양한 형태로 변경할 수 있다. 그러므로, 카세트 반송 장치들이 카세트를 반송하거나 반송하지 않을 때 발생했던 불필요한 장거리 주행을 효과적으로 방지할 수 있다. 따라서, 카세트 반송 장치들이 짧은 거리 주행만으로도 카세트를 반송할 수 있어 보다 많은 반송 회수를 수행할 수 있다. 따라서, 반송 시스템의 반송 효율 및 능력이 향상되고, 생산성이 향상된다.As described above, the conveying line according to the present invention may change the moving path of the conveying line in various forms by changing the position of the line changing unit. Therefore, unnecessary long distance travel that occurred when the cassette conveying devices conveyed or not conveyed the cassette can be effectively prevented. Therefore, the cassette conveying apparatuses can convey the cassette even with a short distance travel, thereby performing more conveying times. Therefore, the conveyance efficiency and capability of a conveyance system improve, and productivity improves.

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display panel;

도 2는 일반적인 카세트 반송 라인을 보여주는 평면도;2 is a plan view showing a typical cassette conveying line;

도 3은 도 2의 반송 라인에서 각 카세트 반송 장치들의 이동 경로를 나타내는 평면도;3 is a plan view showing a movement path of each cassette conveying apparatus in the conveying line of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도;4 is a schematic view for explaining a cassette conveying system according to the present invention;

도 5a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 카세트 반송 라인을 보여주는 평면도;5A is a plan view showing a cassette conveying line according to the first embodiment of the present invention;

도 5b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 카세트 반송 라인을 보여주는 평면도;5B is a plan view showing a cassette conveying line according to the second embodiment of the present invention;

도 6은 도 4의 카세트 반송 장치를 나타낸 정면도;FIG. 6 is a front view showing the cassette conveying apparatus of FIG. 4; FIG.

도 7은 도 6의 카세트 반송 장치의 주행부와 반송 라인 구조를 나타낸 단면도;FIG. 7 is a cross-sectional view showing a traveling part and a conveying line structure of the cassette conveying apparatus of FIG. 6; FIG.

도 8은 도 6의 카세트 반송 장치의 이재부를 나타낸 측면도;FIG. 8 is a side view showing a transfer part of the cassette conveyance device of FIG. 6; FIG.

도 9a는 도 5a의 카세트 반송 라인의 작동을 나타낸 평면도; 그리고9A is a plan view showing the operation of the cassette conveying line of FIG. 5A; And

도 9b는 도 5b의 카세트 반송 라인의 작동을 나타낸 평면도이다.9B is a plan view showing the operation of the cassette conveyance line of FIG. 5B.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

101: 제1 호스트 102: 제2 호스트 101: first host 102: second host

103: 제3 호스트 104: 제4 호스트103: third host 104: fourth host

105: 제5 호스트 150: 카세트105: fifth host 150: cassette

210, 220: 장비 301, 302: 카세트 반송 장치210, 220: equipment 301, 302: cassette conveying apparatus

310: 주행부 320: 이재부310: driving part 320: moving part

330: 로봇 암 400: 스토커330: robot arm 400: stalker

510: 주 라인 520: 라인 변경부510: main line 520: line change unit

521: 제1 변경 라인 522: 제2 변경 라인521: first change line 522: second change line

523: 제3 변경 라인523: third change line

Claims

A main line for guiding the cassette conveying apparatus to travel along a predetermined track; And

And a line changer arranged to be movable in the middle of the main line to change a moving path of the cassette conveying device moving on the main line.

The method of claim 1,

The line change unit,

And at least two change lines selectively connected to the main line to form different paths.

The method of claim 1,

The line change unit,

A first change line connecting the main line to have one closed curved path, and

And a second change line connecting the main line to have two independent closed curved paths.

The method of claim 1,

The line change unit,

And a third change line connecting the main line to have one closed curve and one open curve path.