KR20050050143A - Method for manufacturing the preform of optical fiber, preform of optical fiber, optical fiber, apparatus for manufacturing the preform of optical fiber - Google Patents

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Abstract

An optical fiber mother material producing method comprises the following steps: a pipe holding step for holding a pipe (23) in a suspended state, a rod holding step for holding a rod (27) inserted in the pipe (23), a heating step for progressively axially heating the held pipe (23) and rod (27) by an annular heating furnace (15), an integrating step for progressively axially welding the heated pipe (23) and rod (27) for integration, a detection step for detecting changes in the inclination of the pipe (23) accompanying the progress of integration of the pipe (23) and rod (27), and a correction step for correcting the inclination of the pipe (23) in such a manner as to cancel the detected change in inclination in the midst of integration of the pipe(23) and rod (27).

Description

광섬유 모재의 제조방법, 광섬유 모재, 광섬유, 광섬유 모재 제조장치{METHOD FOR MANUFACTURING THE PREFORM OF OPTICAL FIBER, PREFORM OF OPTICAL FIBER, OPTICAL FIBER, APPARATUS FOR MANUFACTURING THE PREFORM OF OPTICAL FIBER}TECHNICAL FOR MANUFACTURING THE PREFORM OF OPTICAL FIBER, PREFORM OF OPTICAL FIBER, OPTICAL FIBER, APPARATUS FOR MANUFACTURING THE PREFORM OF OPTICAL FIBER}

본 발명은, 이른바 로드-인 튜브(Rod-In Tube)법에 의한 광섬유 모재의 제조방법, 제조장치, 및 그 제조방법으로 제조된 광섬유 모재, 광섬유에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber base material by a so-called Rod-In Tube method, a manufacturing apparatus, and an optical fiber base material and an optical fiber manufactured by the method.

광섬유는, 통신을 포함한 여러 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 광섬유는, 원주형의 광섬유 모재에 인출 가공을 실시함으로써 제조된다. 이 광섬유 모재는 예를 들어 MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition; 수정CVD)법, OVD(Outside Vapor-phase Deposition;외부 기상축 증착)법, VAD(Vapor-phase Axial Deposition;기상축 증착)법, 및 Rod-In Tube법으로 제조된다.Optical fiber is widely used in various fields including communication. Such an optical fiber is manufactured by carrying out drawing processing to a columnar optical fiber base material. This optical fiber base material is, for example, Modified Chemical Vapor Deposition (MCVD), Outside Vapor-Phase Deposition (OVD), Vapor-phase Axial Deposition (VAD), and Rod. Manufactured by In Tube method.

이 중, Rod-In Tube법은, 고리형의 가열로를 이용하여, 석영파이프와, 코어부를 포함하는 석영막대를 일체화시킴으로써, 광섬유 모재를 제조하는 방법이다. 구체적으로는, 그 축 방향이 가열로의 중심축과 동축이 되도록, 파이프유지부에 의해 파이프를 현수상태로 유지시킴과 동시에, 파이프 내부에 그 내주면으로부터 간격을 두면서 그 중심에 위치하도록 막대를 막대유지부로 유지시킨다. 파이프유지부 및 막대유지부는 모두 이동 가능하게 구성되며, 이들 유지부를 이동시킴으로써 파이프와 막대를 고리형 가열로 내로 순차 이송한다. 이와 같이 함으로써 파이프와 막대는, 가열 융착에 의해 그 축방향으로 일체화되게 되며, 그 결과 광섬유 모재가 제조된다(예를 들어 일특개평 7-10580호 공보 참조).Among these, the Rod-In Tube method is a method of manufacturing an optical fiber base material by integrating a quartz pipe and a quartz rod including a core part by using an annular heating furnace. Specifically, the rod is placed so as to be positioned at its center while keeping the pipe suspended by the pipe holding portion so that its axial direction is coaxial with the central axis of the heating furnace, and spaced from its inner circumferential surface within the pipe. Keep it with the holding part. Both the pipe holding portion and the rod holding portion are configured to be movable, and by moving these holding portions, the pipe and the rod are sequentially transferred into the annular heating furnace. In this way, the pipe and the rod are integrated in the axial direction by heat fusion, and as a result, an optical fiber base material is produced (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-10580).

이와 같이 Rod-In Tube법에 의한 광섬유 모재 제조에 있어서는, 파이프를 축경 변형시킴으로써 파이프와 막대 사이에 생기는 틈새를 없애고 파이프와 막대를 일체화시킨다. 이 때문에 광섬유 모재의 코어부가 편심되기 쉽다는 일반적인 문제가 있다.As described above, in manufacturing the optical fiber base material by the Rod-In Tube method, the pipe is axially deformed to eliminate the gap between the pipe and the rod and to integrate the pipe and the rod. For this reason, there exists a general problem that the core part of an optical fiber base material is easy to be eccentric.

또 광섬유 모재의 생산성 관점에서, 파이프 및 막대는 대형화되었다. 이에 따라 광섬유 모재의 코어부가 편심되어버린다. 즉 파이프가 대형화됨에 따라 그 파이프는 매우 중량이 무거워진다. 파이프유지부는, 이러한 중량물인 파이프를 유지하면 아랫방향으로 부하를 받아 휨이 발생한다. 더욱이 파이프유지부는 고정된 구조가 아닌 이동하는 구조이므로, 그 휨은 비교적 커진다. 때문에 파이프유지부에서 파이프를 유지하는 첫 단계에서는, 파이프유지부가 휜 상태에서 파이프 축이 가열로 축과 일치하도록 파이프 위치의 조정이 이루어진다.In addition, in terms of the productivity of the optical fiber base material, the pipes and rods are enlarged. As a result, the core of the optical fiber base material is eccentric. In other words, as the pipe becomes larger, the pipe becomes very heavy. When the pipe holding portion holds such a heavy pipe, the pipe holding portion receives a load in a downward direction and causes warping. Furthermore, since the pipe holding portion is a moving structure rather than a fixed structure, the warpage becomes relatively large. Therefore, in the first stage of holding the pipe in the pipe holding part, the pipe position is adjusted so that the pipe shaft coincides with the furnace shaft while the pipe holding part is in the idle state.

그러나 파이프 및 막대의 일체화가 진행되면, 파이프유지부에 부하되는 하중은 작아져 파이프유지부에 생기는 휨도 작아진다. 그리 되면 파이프 축이 가열로 축과 어긋나 막대가 파이프 중심으로부터 벗어나 버린다. 그 결과 이들을 가열 융착시켰을 때는, 파이프와 막대 사이의 틈이 작은 부분부터 차례로 이들이 일체화되게 된다. 또 파이프가 가열로 중심축에서 벗어남에 따라, 파이프에 가해지는 열량이 둘레방향으로 불균일해져, 막대와 일체화되기 전에 파이프 두께가 불균일해져버린다. 그 결과 광섬유 모재의 코어부는 편심되어버리고, 그 광섬유 모재를 인출시켜 얻어지는 광섬유도 코어가 편심된 것이 된다.However, as the integration of the pipe and the rod proceeds, the load on the pipe holding portion decreases, and the warpage generated in the pipe holding portion also decreases. The pipe shaft is then displaced from the furnace shaft and the rods are off the center of the pipe. As a result, when these are heat-sealed, they are integrated in order from the smallest gap between the pipe and the rod. In addition, as the pipe deviates from the central axis of the heating furnace, the heat applied to the pipe becomes nonuniform in the circumferential direction, and the pipe thickness becomes non-uniform before being integrated with the rod. As a result, the core part of the optical fiber base material is eccentric, and the optical fiber obtained by drawing out the optical fiber base material is also eccentric in the core.

도 1은 광섬유 모재의 제조장치를 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing an apparatus for manufacturing an optical fiber base material.

도 2는 광섬유 모재의 제조장치를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing an optical fiber base material.

도 3은 막대의 축 방향 길이와 지름방향 왜곡량 및 외경 변동과의 관계를 나타내는 그래프.3 is a graph showing the relationship between the axial length of a rod, the amount of radial distortion, and the outer diameter variation.

도 4는 도 3과는 다른 방향에 대한, 막대의 축 방향 길이와 지름방향 왜곡량 및 외경 변동과의 관계를 나타내는 그래프.4 is a graph showing the relationship between the axial length of the rod, the amount of radial distortion, and the outer diameter variation in a direction different from that of FIG.

도 5는 3 차원좌표에서의 축 방향 길이와 합성 왜곡량의 관계를 나타내는 그래프.Fig. 5 is a graph showing the relationship between the axial length and the combined distortion amount in three-dimensional coordinates.

도 6은 도 1의 VI 방향 화살표에서 본 도.6 is a view from the VI direction arrow of FIG.

도 7은 도 1의 VII 방향 화살표에서 본 도.FIG. 7 is a view from the arrow VII of FIG. 1; FIG.

도 8은 다림추를 이용하여 파이프 유지를 실시할 경우의 제조장치를 나타내는 사시도.8 is a perspective view showing a manufacturing apparatus for carrying out pipe holding using an iron weight;

도 9는 파이프를 가열로의 중심 축에 대해 기울인 자세로 한 상태를 나타내는 사시도.9 is a perspective view showing a state in which the pipe is inclined with respect to the central axis of the heating furnace.

도 10은 실시예1-1에 관한 광섬유 모재의 코어 편심 이동변이의 측정결과를 나타내는 도.10 is a diagram showing a measurement result of a core eccentric shift of an optical fiber base material according to Example 1-1.

도 11은 비교예1-1에 관한 광섬유 모재 코어 편심의 이동변이 측정결과를 나타내는 도.11 is a diagram showing a measurement result of a shift in the optical fiber base material core eccentricity according to Comparative Example 1-1.

도 12는 비교예1-2에 관한 광섬유 모재 코어 편심의 이동변이 측정결과를 나타내는 도.12 is a diagram showing a measurement result of a shift in the optical fiber base material core eccentricity according to Comparative Example 1-2.

도 13은 실시예1-1 및 비교예1-1, 1-2에 관한 광섬유 모재의 코어부 편심을 광섬유의 코어 편심으로 환산하여 비교하는 도.Fig. 13 is a diagram comparing core part eccentricity of optical fiber base materials according to Example 1-1 and Comparative Examples 1-1 and 1-2 in terms of core eccentricity of optical fiber.

도 14는 비교예2-1에 관한 광섬유 모재 코어 편심의 이동변이 측정결과를 나타내는 도.14 is a diagram showing a measurement result of a shift in the optical fiber base material core eccentricity according to Comparative Example 2-1.

도 15는 실시예2-1에 관한 광섬유 모재 코어 편심의 이동변이 측정결과를 나타내는 도.FIG. 15 is a diagram showing a measurement result of a shift in the optical fiber base material core eccentricity in Example 2-1. FIG.

도 16은 실시예2-1 및 비교예2-1에 관한 광섬유 모재의 코어부 편심을 광섬유의 코어 편심으로 환산하여 비교하는 도.Fig. 16 is a diagram comparing core part eccentricity of optical fiber base materials according to Example 2-1 and Comparative Example 2-1 in terms of core eccentricity of optical fiber.

본 발명은 이러한 점에 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 파이프와 막대를 일체화시켜 광섬유 모재를 제조할 때, 광섬유 모재의 코어부 편심을 억제하는 데 있다.This invention is made | formed in view of such a point, and the objective is to suppress the core part eccentricity of an optical fiber base material at the time of manufacturing an optical fiber base material by integrating a pipe and a rod.

본 발명의 광섬유 모재 제조방법은, 석영파이프를 현수상태로 유지시키는 파이프유지 단계와, 코어부를 포함하는 석영막대를 상기 파이프에 삽입한 상태로 유지시키는 막대유지 단계와, 상기 유지된 파이프 및 막대를, 중심축 방향이 수직방향인 고리형 가열로에 의해, 그 축 방향으로 순차 가열하는 가열단계와, 상기 가열된 파이프와 막대를 그 축 방향으로 순차 융착시켜 일체화시키는 일체화단계와, 상기 파이프와 막대의 일체화 진행에 수반하는 상기 파이프의 기울기 변화를 검지하는 검지단계와, 상기 파이프와 막대를 일체화시키는 도중에, 상기 검지된 기울기의 변화를 상쇄하도록 상기 파이프 기울기를 교정하는 교정단계를 포함한다.The method of manufacturing an optical fiber base material of the present invention includes a pipe holding step of maintaining a quartz pipe in a suspended state, a rod holding step of holding a quartz rod including a core part in an inserted state of the pipe, and maintaining the pipe and the rod. A heating step of sequentially heating in the axial direction by an annular heating furnace having a central axis direction in the vertical direction, and an integration step of fusion and fusion of the heated pipe and the rod in the axial direction, and the pipe and the rod. And a detecting step of detecting a change in inclination of the pipe accompanying the progress of integration of the pipe, and a step of correcting the inclination of the pipe so as to cancel the change in the detected inclination while integrating the pipe and the rod.

파이프 및 막대의 일체화가 진행되면, 파이프를 유지하는 파이프유지부에 부하되는 하중이 작아진다. 이로써 상기 파이프유지부에 생기는 휨이 작아져 파이프 기울기가 변화된다.As the integration of the pipe and the rod proceeds, the load on the pipe holding portion holding the pipe becomes small. As a result, the warpage generated in the pipe holding portion is reduced, and the pipe slope is changed.

상기 파이프 기울기가 변화됐을 때는, 그 기울기 변화를 상쇄하도록 파이프 기울기가 교정된다. 그 결과 상기 파이프 자세를 일정하게 유지한 채로 그 파이프와 막대를 일체화시킬 수 있다.When the pipe slope is changed, the pipe slope is corrected to offset the slope change. As a result, the pipe and the rod can be integrated while the pipe posture is kept constant.

상기 파이프유지 단계는, 상기 유지된 파이프의 중심축이 상기 가열로 중심축과 동축이 되도록 상기 파이프의 위치를 결정해도 된다.In the pipe holding step, the position of the pipe may be determined such that the central axis of the retained pipe is coaxial with the central axis of the furnace.

이렇게 함으로써 파이프 및 막대의 일체화 도중에 파이프유지부의 휨이 작아져도, 파이프 축은 가열로 중심축과 항상 일치한다. 그 결과 광섬유 모재의 코어부 편심이 억제된다.By doing so, even if the warpage of the pipe holding portion decreases during the integration of the pipe and the rod, the pipe axis always coincides with the central axis of the furnace. As a result, the core eccentricity of the optical fiber base material is suppressed.

상기 파이프의 위치결정은, 아랫단에 다림추를 단 실을 이용하여, 그 실을 상기 파이프 측방 위치에 내려트리고, 상기 파이프 축방향을 상기 실이 이어지는 방향으로 일치시키는 위치조정을 복수의 방향에서 실시해도 된다.Positioning of the pipe may be carried out in a plurality of directions by using a thread ironed at the lower end, lowering the thread to the pipe side position, and adjusting the pipe axial direction in the direction in which the thread is continued in a plurality of directions. do.

다림추는 일반적으로 건축물 기둥의 기울기 등, 비교적 큰 물체의 수직성을 알아보기 위해 사용되며, 그 정밀도가 높은 것으로 알려져 있다. 따라서 추를 이용하여 파이프의 위치조정을 실시함으로써, 파이프의 축방향을 높은 정밀도의 수직방향으로 하기가 가능해진다.Iron weights are generally used to determine the verticality of relatively large objects, such as the slope of building columns, and are known to be highly accurate. Therefore, by adjusting the position of the pipe using a weight, the axial direction of the pipe can be made the vertical direction with high precision.

상기 파이프의 위치결정은, 상기 파이프 측방 위치에서 수직방향으로 서로 떨어져 배치된 복수의 레이저 변위계를 이용하며, 그 각 레이저 변위계로부터 파이프로 레이저광을 조사하고, 이 각 레이저 변위계가 계측한 상기 파이프까지의 거리를 서로 일치시키는 위치조정을 복수의 방향에서 실시해도 된다.Positioning of the pipe uses a plurality of laser displacement meters arranged in a vertical direction apart from each other in the pipe side position, irradiates a laser beam from the respective laser displacement meters to the pipes, and up to the pipes measured by the respective laser displacement meters. The position adjustment which makes the distance of a mutually match mutually may be performed in several directions.

레이저 변위계는, 피측정물질의 표면에 경사지게 레이저광을 조사하는 레이저광원과, 피측정물질 표면으로부터의 반사광이 입사하는 수광부로 구성된다. 피측정물질 표면의 위치가 변화하면 반사광의 광축이 평행으로 이동하므로, 수광기의 입사점 위치를 검출함으로써 표면 변위량이 판명된다.The laser displacement meter is composed of a laser light source for irradiating the laser light obliquely to the surface of the material under measurement, and a light receiving portion to which reflected light from the surface of the material under measurement is incident. If the position of the surface of the substance under test changes, the optical axis of the reflected light moves in parallel, so that the amount of surface displacement is found by detecting the position of the incident point of the light receiver.

레이저 변위계를 이용하여 파이프 변위량을 측정함으로써, 기계적으로 파이프 위치결정이 가능해진다. 수동으로 변위량을 측정하는 경우에 비해 고정밀도의 위치결정을 기대할 수 있다.By measuring the pipe displacement using a laser displacement meter, pipe positioning is possible mechanically. Higher precision positioning can be expected than in the case of manually measuring displacement.

Rod-In Tube법에서는, 광섬유 모재의 수율을 높이기 위해, 파이프 유효부와 그 상단 및 하단에 각각 접합된 상측 및 하측 더미파이프로 이루어지는 파이프를 이용한다. 또 막대유효부와 그 상단 및 하단에 각각 접합된 상측 및 하측 더미막대로 이루어지는 막대를 이용한다. 그리고 상기 파이프와 막대를 일체화시킨 일체화물에 있어서, 상기 각 유효부에 대응하는 부분을 절단한 것을 광섬유 모재로 한다.In the Rod-In Tube method, in order to increase the yield of the optical fiber base material, a pipe composed of a pipe effective portion and upper and lower dummy pipes joined to the upper and lower ends thereof, respectively, is used. Moreover, the rod effective part and the rod which consists of the upper and lower dummy bars joined to the upper part and the lower part respectively are used. And in the integrated cargo which integrated the said pipe and the rod, what cut | disconnected the part corresponding to each said effective part is made into an optical fiber base material.

광섬유 모재의 제조 시에, 상기 파이프는, 상기 상측 더미파이프가 파이프유지부로 유지됨으로써 현수상태로 유지된다.In the manufacture of the optical fiber base material, the pipe is maintained in a suspended state by the upper dummy pipe being held by the pipe holding portion.

상기 파이프 유효부와 상측 더미파이프가 일직선상에 정확하게 접합됐을 때는, 그 파이프의 무게중심은 더미파이프의 중심축 상에 있다. 이 경우는 파이프를 어느 방향(둘레방향의 방향)으로 유지시키더라도, 파이프와 막대의 일체화 진행에 따라, 파이프의 무게중심 위치는 일 평면상에서 이동한다. 이로써 파이프유지부 휨의 되돌아오는 방향이 일정 방향이 된다.When the pipe effective portion and the upper dummy pipe are correctly bonded in a straight line, the center of gravity of the pipe is on the central axis of the dummy pipe. In this case, even if the pipe is held in any direction (circumferential direction), the center of gravity position of the pipe moves on one plane as the pipe and the rod are integrated. As a result, the return direction of the bending of the pipe holding portion becomes a constant direction.

그러나 상기 파이프 유효부와 상기 더미파이프는, 통상, 서로 맞붙인 상태에서 용접으로 접합된다. 때문에 양자간에 굴곡이 발생할 경우가 있다. 파이프 유효부와 상측 더미파이프 사이에 굴곡이 생겼을 때는, 파이프 무게중심이 상측 더미파이프의 중심축 상에서 어긋난다. 이 때 상기 파이프유효부의 중심축과 상측 더미파이프 중심축과의 2 축 위를 지나는 평면과, 파이프를 유지한 파이프유지부의 휨으로 파이프유효부가 수직방향으로부터 기우는 방향이, 다른 방향으로 파이프를 유지하는 것으로 가정한다. 이 경우, 일체화의 진행에 따르는 파이프유지부 휨의 되돌아오는 방향이 일정 방향으로는 되지 않는다. 즉 파이프(유효부) 기울기 변화의 방향이 일정 방향으로 되지 않으므로, 교정단계에서 파이프의 기울기 변화를 교정하기가 어려워진다. 그 결과 파이프의 기울기가 변화함에 따라 그 중심축과 가열로 및 막대의 축이 서로 어긋나버려, 광섬유 모재의 코어부 편심을 초래하기 쉽다.However, the pipe effective portion and the dummy pipe are usually joined by welding in a state where they are joined to each other. As a result, bending may occur between them. When bending occurs between the pipe effective portion and the upper dummy pipe, the pipe center of gravity shifts on the central axis of the upper dummy pipe. At this time, the plane passing through two axes between the central axis of the pipe effective portion and the upper dummy pipe central axis, and the direction in which the pipe effective portion tilts from the vertical direction due to the bending of the pipe holding portion holding the pipe, hold the pipe in another direction. Assume that you do. In this case, the returning direction of the pipe holding portion deflection due to the progress of the integration does not become a constant direction. That is, since the direction of the pipe (effective portion) inclination change does not become a certain direction, it becomes difficult to correct the inclination change of the pipe in the calibration step. As a result, as the inclination of the pipe changes, the central axis and the axes of the heating furnace and the rod are shifted from each other, which tends to cause the core portion of the optical fiber base material to be eccentric.

그래서 상기 제조방법은, 상기 파이프 유효부와 상측 더미파이프의 굴곡 정도를 판정하는 파이프판정 단계를 추가로 포함해도 된다. 그리고 상기 파이프유지 단계는, 상기 파이프판정 단계의 판정결과에 기초하여, 상기 파이프 유효부 중심축과 상측 더미파이프 중심축의 2 축을 포함하는 평면과, 상기 파이프를 유지한 파이프유지부의 휨에 의해 상기 파이프 유효부가 수직방향에 대해 기우는 방향이 평행으로 되도록, 상기 파이프를 유지시키는 단계로 해도 된다.Therefore, the manufacturing method may further include a pipe determination step of determining the degree of bending of the pipe effective portion and the upper dummy pipe. And the pipe holding step includes a plane including two axes of the pipe effective part central axis and the upper dummy pipe central axis based on the determination result of the pipe determination step, and the bending of the pipe holding part holding the pipe. The pipe may be held so that the effective portion is inclined with respect to the vertical direction.

파이프 유효부와 상측 더미파이프와의 사이에 굴곡이 생겼을 때는, 각각의 중심축 상을 지나는 평면과, 파이프유지부의 휨으로 상기 파이프 유효부가 수직방향으로부터 기우는 방향이 평행으로 되도록, 상기 상측 더미파이프가 파이프유지부에 의해 유지된다. 즉, 파이프의 굴곡방향과 파이프유지부의 휨 방향을 일치시킨다. 이로써 일체화 진행에 따르는 파이프 무게중심위치의 이동범위는 거의 일평면 상으로 유지되어, 파이프유지부의 휨이 되돌아오는 방향은 일정 방향이 된다. 그 결과 교정단계의 파이프 기울기 교정이 용이해져, 광섬유 모재의 코어 편심이 억제된다.When the bending occurs between the pipe effective portion and the upper dummy pipe, the upper dummy pipe so that the plane passing over each central axis and the pipe holding portion are inclined in parallel due to the bending of the pipe holding portion. Is maintained by the pipe holding portion. That is, the bending direction of the pipe coincides with the bending direction of the pipe holding portion. As a result, the moving range of the center of gravity position of the pipe along the progress of integration is maintained on almost one plane, and the direction in which the deflection of the pipe retaining portion is returned becomes a constant direction. As a result, the pipe tilt correction in the calibration step becomes easy, and the core eccentricity of the optical fiber base material is suppressed.

그런데, 본 발명자가 검토을 거듭한 바, 광섬유 모재의 코어부 편심 원인의 하나로서, 파이프와 막대를 가열하는 고리형 가열로 내에서 둘레방향 온도분포의 불균일이 영향을 미치고 있음이 판명됐다. 즉 Rod-In Tube법에서는 탄소저항 가열로나 고주파 유도 가열로가 가열로로서 사용되는데, 예를 들어 그 가열로의 히터 조립상태 등에 의한 구조적 요인이나, 히터의 경시열화 불균일 등에 의한 경시적 요인으로, 가열로 내의 둘레방향 온도분포가 불균일해지는 경우가 있다.However, the inventors have repeatedly studied, and as one of the causes of the eccentricity of the core portion of the optical fiber base material, it was found that the nonuniformity of the circumferential temperature distribution is affected in the annular heating furnace for heating the pipe and the rod. In other words, in the Rod-In Tube method, a carbon resistance heating furnace or a high frequency induction heating furnace is used as a heating furnace. For example, due to structural factors such as heater assembly state of the heating furnace, or over time due to uneven deterioration of the heater, The circumferential temperature distribution in the furnace may be uneven.

이 가열로 내의 둘레방향 온도분포의 불균일성은, 파이프의 용융상태를 둘레방향으로 불균일하게 한다. 그 결과 파이프의 축경변형이 둘레방향으로 불균일해져 광섬유 모재의 코어부가 편심돼버린다. 구체적으로는, 가열로의 중심축에 대해 가장 온도가 높은 위치의 방향으로 코어부가 편심돼버린다.The nonuniformity of the circumferential temperature distribution in this heating furnace makes the molten state of a pipe nonuniform in the circumferential direction. As a result, the axial diameter deformation of the pipe is uneven in the circumferential direction and the core of the optical fiber base material is eccentric. Specifically, the core portion is eccentric in the direction of the position where the temperature is highest with respect to the central axis of the heating furnace.

그래서 상기 제조방법은, 상기 가열로 내에서의 둘레방향 온도분포를 측정하는 측정단계를 추가로 포함해도 된다. 그리고 상기 막대유지 단계는, 상기 막대를, 상기 가열로의 중심축과 거의 동축상태로 유지시키는 단계로 하며, 상기 파이프유지 단계는, 상기 측정단계의 측정결과에 기초하여 상기 파이프를, 상기 가열로의 중심축에 대해 상기 가열로 내의 온도가 가장 높은 위치의 방향으로 기울인 상태로 유지시키는 단계로 해도 된다.Thus, the manufacturing method may further include a measuring step of measuring a circumferential temperature distribution in the heating furnace. The rod holding step may include maintaining the rod substantially in a coaxial state with a central axis of the heating furnace, and the pipe holding step may include the pipe based on the measurement result of the measuring step. It is good also as a step of keeping it in the state which inclined in the direction of the position where the temperature in the said heating furnace is highest with respect to the central axis of the.

상기 가열로 내에서 둘레방향의 온도분포를 측정함으로써, 그 가열로 내에서 온도가 가장 높은 둘레방향 위치가 특정된다.By measuring the temperature distribution in the circumferential direction in the furnace, the circumferential position where the temperature is highest in the furnace is specified.

가열로 내에서 온도가 가장 높은 둘레방향 위치를 특정하면, 그 가열로의 중심축에 대해 온도가 가장 높은 위치의 방향으로 기울인 자세로 파이프가 유지된다. 이에 반해 막대는, 상기 가열로의 중심축과 거의 동축이 되는 자세로 유지된다. 이렇게 함으로써, 파이프 내주면과 막대 둘레면과의 간격은, 상기 가열로 내에서 온도가 가장 높은 둘레방향 위치에서 비교적 넓어진다.If the circumferential position with the highest temperature is specified in the furnace, the pipe is held in an inclined position in the direction of the position with the highest temperature with respect to the central axis of the furnace. In contrast, the rod is held in a position that is substantially coaxial with the central axis of the heating furnace. By doing so, the distance between the pipe inner circumferential surface and the rod circumferential surface becomes relatively wider at the circumferential position where the temperature is highest in the heating furnace.

이 자세로 유지된 상기 파이프와 막대를 가열로로 가열하고, 이로써 파이프와 막대를 일체화시켜 광섬유 모재를 제조한다.The pipe and the rod held in this posture are heated by a heating furnace, whereby the pipe and the rod are integrated to produce an optical fiber base material.

상술한 바와 같이, 광섬유 모재의 코어부는, 가열로의 중심축에 대해 가장 온도가 높은 위치의 방향으로 편심되기 쉽다. 여기서는 그 온도가 가장 높은 둘레방향 위치에서, 파이프 내주면과 막대 둘레면과의 간격을 넓게 한다. 이로써 파이프와 막대를 일체화시켰을 때는, 그 막대에 포함되는 코어부가, 그 온도가 가장 높은 둘레방향 위치로 편심돼버리는 것이 억제된다. 그 결과 광섬유 모재의 코어부 편심이 억제된다.As described above, the core portion of the optical fiber base material tends to be eccentric in the direction of the position where the temperature is highest with respect to the central axis of the heating furnace. Here, at the circumferential position where the temperature is the highest, the distance between the inner circumferential surface of the pipe and the rod circumferential surface is widened. As a result, when the pipe and the rod are integrated, the core portion included in the rod is suppressed from being eccentric to the circumferential position having the highest temperature. As a result, the core eccentricity of the optical fiber base material is suppressed.

상기 막대유지 단계는, (제 1) 막대를, 상기 가열로의 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 단계로 하며, 상기 파이프유지 단계는, (제 1) 파이프를, 상기 가열로의 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 단계로 한다. 이 경우 상기 제조방법은, 상기 일체화단계 후에, 상기 제 1 파이프와 제 1 막대를 일체화시킨 일체화물에 있어서, 상기 가열로 중심축에 대한 상기 코어부의 편심방향을 계측하는 계측단계와, 상기 제 1 막대와는 다른 제 2 막대를 상기 가열로 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 제 2 막대유지 단계와, 제 1 파이프와는 다른 제 2 파이프를 계측단계의 계측결과에 기초하여 상기 가열로 중심축에 대해 상기 일체화물의 코어부 편심방향으로 기울인 상태로 유지시키는 제 2 파이프유지 단계와, 상기 유지된 제 2 파이프와 제 2 막대를 상기 가열로로 가열하는 제 2 가열단계와, 상기 가열된 제 2 파이프와 제 2 막대를 일체화시키는 제 2 일체화 단계를 추가로 포함해도 된다.The rod holding step is to hold the (first) rod substantially coaxially with respect to the central axis of the heating furnace, and the pipe holding step includes the (first) pipe as the central axis of the heating furnace. It is set to remain substantially coaxial with respect to. In this case, the manufacturing method includes a measuring step of measuring an eccentric direction of the core portion with respect to the central axis of the furnace in the integrated product in which the first pipe and the first rod are integrated after the integration step; A second rod holding step of holding a second rod different from the rod substantially coaxially with respect to the central axis of the furnace; and a second pipe different from the first pipe based on the measurement result of the measuring step. A second pipe holding step of holding the inclined core portion eccentrically with respect to the shaft; a second heating step of heating the held second pipe and the second rod with the heating furnace; A second integration step of integrating the second pipe and the second rod may further be included.

제 1 파이프와 제 1 막대를 일체화하고, 그 일체화물에 있어서, 가열로 중심축에 대한 코어부의 편심방향을 계측한다. 이로써 그 가열로에서 파이프와 막대를 일체화시켰을 때의, 코어부 편심경향이 파악된다. 이는 가열로 내의 온도분포를, 간접적으로 확인하는 것과 같다.The 1st pipe and the 1st bar are integrated, and in the integrated goods, the eccentric direction of the core part with respect to the central axis of a furnace is measured. Thereby, the core part eccentricity tendency when the pipe and the rod are integrated in the heating furnace is grasped | ascertained. This is equivalent to indirectly confirming the temperature distribution in the furnace.

경시적 요인에 의한 가열로 내의 온도분포 불균일성은, 급격하게 변화하는 일은 없다. 또 구조적 요인에 의한 가열로 내의 온도분포 불균일성은, 동일 가열로라면 변하지 않는다. 이로써 제 1 파이프와 제 1 막대를 일체화시켰을 때의 코어부 편심경향과, 제 2 파이프와 제 2 막대를 일체화시켰을 때의 코어부 편심경향은 서로 동일해진다. 여기서 “동일 가열로”란, 예를 들어 히터 교환 전후의 가열로는, 같은 가열로가 아니다. 히터의 조립상태에 따라 온도분포의 불균일성이 발생하기 때문이다.The temperature distribution nonuniformity in a heating furnace by time-dependent factors does not change rapidly. Moreover, the temperature distribution nonuniformity in a heating furnace by structural factors does not change with the same heating furnace. Thereby, the core part eccentricity tendency when the 1st pipe and the 1st rod are integrated, and the core part eccentricity tendency when the 2nd pipe and the 2nd rod are integrated are mutually the same. Here, "the same heating furnace" is not the same heating furnace, for example, before and after heater exchange. This is because the nonuniformity of the temperature distribution occurs depending on the assembly state of the heater.

그래서 제 2 파이프를, 가열로 중심축에 대해 상기 일체화물의 코어부 편심방향으로 기울어진 자세로 유지시킨다. 이에 반해 제 2 막대는, 상기 가열로의 중심축에 대해 거의 동축이 되는 자세로 유지된다. 이렇게 함으로써 파이프 내주면과 막대 외주면과의 간격은 상기 일체화물의 코어부 편심방향 위치에서, 비교적 넓어진다.Thus, the second pipe is held in an inclined position in the eccentric direction of the core portion of the integrated product with respect to the central axis of the furnace. In contrast, the second rod is held in a position that is substantially coaxial with respect to the central axis of the heating furnace. By doing so, the distance between the inner circumferential surface of the pipe and the outer circumferential surface of the rod becomes relatively wider at the core portion eccentric position of the integrated cargo.

이 자세로 유지된 제 2 파이프와 제 2 막대를 가열로로 가열하고, 이로써 제 2 파이프와 제 2 막대를 일체화시켜 광섬유 모재를 제조한다. 이렇게 제조된 광섬유 모재는, 제 1 파이프와 제 1 막대를 일체화시켰을 때 코어부가 편심된 방향으로 코어부가 편심되는 것이 억제된다. 그 결과 광섬유 모재의 코어부 편심이 억제된다.The second pipe and the second rod held in this posture are heated with a heating furnace, whereby the second pipe and the second rod are integrated to produce an optical fiber base material. In the optical fiber base material thus produced, when the first pipe and the first rod are integrated, the core part is suppressed from being eccentric in the direction in which the core part is eccentric. As a result, the core eccentricity of the optical fiber base material is suppressed.

여기서 제 2 파이프를 가열로 중심축에 대해 기울일 때의 기울기 양은, 제 1 파이프와 제 1 막대를 일체화시킨 일체화물의 코어부 편심량에 따라 적절히 설정하면 된다.What is necessary is just to set suitably the inclination amount at the time of inclining a 2nd pipe with respect to the central axis of a heating furnace according to the eccentricity of the core part of the integrated goods which integrated the 1st pipe and the 1st rod.

상기 막대유효부와, 상측 및/또는 하측 더미막대가 크게 굴곡된 상태에서 융착되면, 그 막대를 파이프에 삽입할 때, 막대가 파이프 내벽에 닿거나 쓸리거나 하여 흠이 생긴다. 이 흠은, 광섬유 모재의 휘점을 형성한다(광섬유 모재의 휘점은 광섬유의 손실불량을 초래함). 또 막대가 크게 굴곡되면, 막대를 파이프와 동축으로 위치시킬 수 없어, 광섬유 모재의 코어부 편심을 초래한다.When the rod effective portion and the upper and / or lower dummy rods are fused in a large bent state, when the rod is inserted into the pipe, the rod touches or sweeps the inner wall of the pipe, causing a defect. This flaw forms the bright spot of the optical fiber base material (the bright spot of the optical fiber base material causes the loss of optical fiber). In addition, if the rod is bent largely, the rod cannot be coaxially positioned with the pipe, resulting in core eccentricity of the optical fiber base material.

그래서 상기 제조방법은, 상기 막대유지 단계 전에, 상기 막대 굴곡량이 소정의 굴곡량 이하인지 여부를 판정하는 막대판정 단계를 추가로 포함해도 된다.Therefore, the manufacturing method may further include a bar determination step of determining whether the bar bending amount is equal to or less than a predetermined bending amount before the rod holding step.

막대의 굴곡량이 소정 굴곡량 이하인지 여부를 판정함으로써, 그 조건을 만족시키는 막대가 선별된다. 조건을 만족시키는 막대를 사용함으로써, 막대를 파이프 내에 삽입할 때, 막대가 파이프 내벽에 닿거나 쓸리거나 하여 흠이 생기는 것이 방지된다. 또 광섬유 모재의 코어부 편심이 억제된다. 여기서 “굴곡량”이란, 막대의 양끝 중심을 잇는 직선에 대한 단위길이당 막대중심의 왜곡량을 의미한다. 또 상기 소정의 굴곡량은, 1mm/m로 해도 된다.By determining whether the bending amount of the bar is equal to or less than the predetermined bending amount, the bar that satisfies the condition is selected. By using a rod that satisfies the condition, when the rod is inserted into the pipe, the rod is prevented from contacting or sweeping the inner wall of the pipe and causing scratches. Moreover, the core part eccentricity of an optical fiber base material is suppressed. Here, the "bending amount" means the amount of distortion of the bar center per unit length with respect to the straight line connecting the centers of both ends of the bar. The predetermined amount of bending may be 1 mm / m.

상기 제조방법은, 상기 막대판정 단계의 판정결과에 기초하여, 상기 막대의 굴곡량이 상기 소정 굴곡량보다 클 경우에, 그 굴곡량이 상기 소정의 굴곡량 이하로 되도록, 상기 막대와 상기 상측 더미막대 및/또는 상기 하측 더미막대의 융착상태를 수정하는 수정단계를 추가로 포함해도 된다.The manufacturing method is based on the determination result of the bar determination step, when the bending amount of the rod is larger than the predetermined bending amount, the rod and the upper dummy bar so that the bending amount is less than the predetermined bending amount; And / or a modification step of correcting the fusion state of the lower dummy rod.

소정의 굴곡량보다 큰 막대를 폐기하는 것은 비경제성을 낳게 돼버리지만, 그 막대를 수정하여 조건을 만족시키는 막대로 함으로써, 재료가 유용하게 활용된다.Discarding a rod larger than a predetermined amount of curvature leads to inconsistency, but by modifying the rod to a rod that satisfies the conditions, the material is usefully used.

상기 막대와, 상기 상측 더미막대 및/또는 상기 하측 더미막대는, 이들 축을 거의 수평으로 하여 융착 접합되는 것이 바람직하다.It is preferable that the rod, the upper dummy bar and / or the lower dummy bar are fusion-bonded with these axes almost horizontal.

막대유효부와 각 더미막대를 서로 세운 상태에서 융착 일체화시킬 경우는, 이들 굴곡량이 실제로는 커도 자체 무게 때문에 늘어나, 외견상으로는 굴곡량이 작은 것으로 인식되어버린다. 이 경우는, 막대와 파이프를 일체화시키는 도중에, 막대의 소비로 경량화됐을 때 굴곡상태가 현저히 나타난다. 즉 막대의 굴곡량이 커진다. 그 굴곡상태의 현저해짐에 따라 막대가 파이프 중심에서 어긋나버려 광섬유 모재의 코어부 편심이 커져버린다.In the case of fusion-integrating the rod effective portion and the dummy rods in a standing state, even if these bends are actually large, they increase due to their own weight, and apparently, the bends are perceived to be small. In this case, during the integration of the rod and the pipe, the bending state is remarkable when lightened due to the consumption of the rod. That is, the amount of bending of the rod increases. As the bending state becomes remarkable, the rod is displaced from the center of the pipe and the core eccentricity of the optical fiber base material increases.

그래서 막대유효부와 각 더미막대의 융착을, 이들 막대 축을 거의 수평으로 하여 실시한다. 이 경우는 휨에 따른 영향을 사전에 고려해두기만 하면, 막대유효부와 각 더미막대를 융착시킨 막대의 정확한 굴곡량을 파악하기가 가능해진다. 또 막대의 정확한 굴곡상태를 파악할 수 있으므로, 막대를 최적의 상태로 파이프에 삽입할 수 있다. 예를 들어 파이프의 굴곡상태와의 관계에서 가장 편심이 작아지는 방향으로, 굴곡방향을 맞추어 막대를 파이프에 삽입하기가 가능하다. Therefore, fusion of the rod effective portion and the dummy rods is performed with these rod axes almost horizontal. In this case, it is possible to grasp the exact bending amount of the rod which fused the rod effective part and each dummy bar only by considering the influence of the bending in advance. In addition, the precise bending state of the rod can be identified, so the rod can be inserted into the pipe optimally. For example, it is possible to insert a rod into the pipe in a direction in which the eccentricity becomes smaller in relation to the bent state of the pipe.

상기의 제조방법으로 작성한 본 발명의 광섬유 모재는, 코어부 편심이 작다.The optical fiber base material of this invention created by said manufacturing method has a small core part eccentricity.

또 상기 제조방법으로 작성한 광섬유 모재를 인출한 광섬유는, 광섬유 모재의 코어부 편심이 작으므로 코어 편심이 작다.Moreover, since the core part eccentricity of the optical fiber base material is small, the optical fiber which took out the optical fiber base material created by the said manufacturing method has a small core eccentricity.

본 발명의 광섬유 모재 제조장치는, 석영파이프와 석영막대를 가열하여 융착으로 일체화시키는 장치이다.The optical fiber base material manufacturing apparatus of this invention is an apparatus which heats a quartz pipe and a quartz rod and integrates it by fusion | melting.

이 제조장치는, 상기 파이프를 유지하며, 그 유지한 파이프를 그 축방향으로 이동시키는 파이프유지부와, 상기 파이프유지부에 의해 이동되는 파이프를, 그 축방향으로 순차 가열하는 고리형 가열로와, 상기 파이프유지부에 의해 이동되는 파이프의 기울기 변화를 검지하는 검지수단을 구비한다.The manufacturing apparatus includes a pipe holding portion for holding the pipe and moving the held pipe in the axial direction, and an annular heating furnace for sequentially heating the pipe moved by the pipe holding portion in the axial direction. And detecting means for detecting a change in inclination of the pipe moved by the pipe holding part.

검지수단이 파이프의 기울기를 검지하므로, 그 검지결과에 기초하여 수동으로 또는 기계적으로 파이프 기울기를 교정하기가 가능하다.Since the detection means detects the inclination of the pipe, it is possible to correct the pipe inclination manually or mechanically based on the detection result.

검지수단은, 파이프의 기울기 변화를 직접적으로 검지하는 것이라도 된다. 또 파이프유지부의 변위를 검지함으로써, 파이프의 기울기 변화를 간접적으로 검지하는 것이라도 된다. 예를 들어 검지수단으로서, 파이프유지부에 설치한 수준기, 파이프유지부에 설치한 타겟까지의 거리변화를 검지하는 레이저변위계, 파이프유지부의 기울기를 검출하는 각도검출기 등을 들 수 있다.The detecting means may directly detect the change in the inclination of the pipe. In addition, the inclination change of the pipe may be indirectly detected by detecting the displacement of the pipe holding portion. For example, as a detection means, the level sensor provided in the pipe holding | maintenance part, the laser displacement meter which detects the distance change to the target installed in the pipe holding | maintenance part, the angle detector which detects the inclination of a pipe holding part, etc. are mentioned.

상기 검지수단으로 파이프 기울기의 변화를 객관적으로 검출할 수 있더라도, 그 파이프의 기울기를 수동으로 교정하는 것은, 인적요소가 포함되므로, 정확한 교정이 어렵다.Although the change of the pipe inclination can be objectively detected by the detecting means, the manual correction of the inclination of the pipe includes human factors, so that accurate correction is difficult.

그래서 상기 제조장치는, 상기 검지수단의 검지결과에 기초하여, 상기 파이프의 기울기 변화를 상쇄하도록 상기 파이프유지부에 유지된 파이프의 기울기를 교정하는 변위수단을 추가로 구비해도 된다.Therefore, the manufacturing apparatus may further include displacement means for correcting the inclination of the pipe held in the pipe holding part so as to cancel the change in the inclination of the pipe based on the detection result of the detection means.

(제조장치)(Manufacturing device)

도 1 및 도 2는 광섬유 모재의 제조장치(10)를 나타낸다. 이 제조장치(10)는, Rod-In Tube법으로 광섬유 모재(30)를 제조하는 장치이다. 구체적으로는, 광섬유에서 클래드가 될 파이프(23)와, 광섬유에서 코어가 될, 또는 코어 및 클래드가 될 막대(27)를 일체화시켜 광섬유 모재(30)를 제조하는 장치이다.1 and 2 show an apparatus 10 for manufacturing an optical fiber base material. This manufacturing apparatus 10 is an apparatus which manufactures the optical fiber base material 30 by the Rod-In Tube method. Specifically, it is an apparatus for manufacturing the optical fiber base material 30 by integrating the pipe 23 to be clad in the optical fiber and the rod 27 to be the core in the optical fiber or to be the core and the clad.

상기 제조장치(10)는, Z방향(도 1 및 도 2의 상하방향)으로 이어지는 지주(11)와, 이 지주(11)에 설치된 파이프유지부(12)와, 이 파이프유지부(12)의 위쪽 위치에, 상기 지주(11)에 설치된 막대유지부(14)를 구비한다.The manufacturing apparatus 10 includes a support 11 extending in the Z direction (up and down directions in FIGS. 1 and 2), a pipe holding part 12 provided on the support 11, and the pipe holding part 12. In the upper position of, the rod holding portion 14 provided on the support 11 is provided.

상기 파이프유지부(12)는, 후술하는 바와 같이, 파이프(23)를 현수상태로 유지한다. 이 파이프유지부(12)는, 파이프 위치조정부(13)를 개재하고 상기 지주(11)에 설치된다. 상기 파이프유지부(12)는, 상기 파이프 위치조정부(13)와 함께, 지주(11)의 수직벽(11a)을 따라 Z방향으로 이동 가능하다.The pipe holding part 12 holds the pipe 23 in a suspended state, as will be described later. This pipe holding part 12 is provided in the said support | pillar 11 via the pipe position adjustment part 13. The pipe holding part 12 is movable along the vertical position 11a of the support 11 together with the pipe position adjusting part 13 in the Z direction.

상기 파이프(23)는, 파이프 유효부(22)와, 이 파이프 유효부(22) 상단에 융착된 상측 더미파이프(20)와, 그 하단에 융착된 하측 더미파이프(21)로 구성된다. 상측 더미파이프(20)의 외주면에는, 그 전 둘레에 걸쳐 홈(20a)이 형성된다. 여기서 파이프 유효부(22)와 상측 및 하측 더미파이프(20, 21)를 포함하는 파이프(23)의 총중량은 100∼200kg이다.The pipe 23 is composed of a pipe valid portion 22, an upper dummy pipe 20 fused to an upper end of the pipe effective portion 22, and a lower dummy pipe 21 fused to a lower end thereof. Grooves 20a are formed on the outer circumferential surface of the upper dummy pipe 20 over its entire circumference. The total weight of the pipe 23 including the pipe effective portion 22 and the upper and lower dummy pipes 20 and 21 is 100 to 200 kg.

상기 파이프유지부(12)는, 지주(11)의 수직벽(11a)과 직교하는 방향으로 이어지는 한 쌍의 결속스토퍼(係止)로 구성된 거의 포크형으로 형성된다. 이 한 쌍의 결속스토퍼 사이에, 상측 더미파이프(20)에 형성된 홈(20a)이 끼워져 고정된다. 이렇게 하여 파이프(23)는 Z방향으로 현수된 상태로 유지된다. 이와 같이 파이프유지부(12)는, 파이프(23)를 유지할 때는 외팔보 상태이다. 상술한 바와 같이 파이프(23)가 중량물인 점에서, 상기 파이프유지부(12)는, 파이프(23)를 유지한 상태에서는 아랫방향 하중을 받아 휨이 발생한다.The pipe holding portion 12 is formed in an almost fork shape composed of a pair of binding stoppers extending in a direction orthogonal to the vertical wall 11a of the strut 11. A groove 20a formed in the upper dummy pipe 20 is sandwiched and fixed between the pair of binding stoppers. In this way, the pipe 23 is kept suspended in the Z direction. Thus, the pipe holding part 12 is in a cantilever state when holding the pipe 23. As mentioned above, since the pipe 23 is a heavy object, the pipe holding part 12 is bent under the load in the state where the pipe 23 is held.

상기 파이프 위치조정부(13)는, 파이프(23)의 위치를 X방향(도 1의 지면 왼쪽 앞에서 우측 안쪽을 향하는 방향) 및 Y방향(도 1의 지면 좌측 안쪽에서 오른쪽 앞을 향하는 방향)으로 이동 가능하게 구성된다. 이와 함께 상기 파이프 위치조정부(13)는, 상기 파이프(23)의 Z방향에 대한 기울기(θ) 조정이 가능하게 구성된다.The pipe positioning unit 13 moves the position of the pipe 23 in the X direction (direction toward the right in front of the left side of the ground in Fig. 1) and Y direction (direction toward the right front in the left side of the ground in FIG. 1). It is possible. In addition, the pipe position adjusting unit 13 is configured to be capable of adjusting the tilt θ of the pipe 23 in the Z direction.

상기 막대유지부(14)는, 그 기단부가 지주(11)의 수직벽(11a)에 설치되는 설치부(14a)로 됨과 동시에, 그 선단부가 막대(27) 상단을 파지하는 파지부(14b)가 된다. 막대(27)는 막대유효부(26)와, 그 막대유효부(26) 상단에 융착된 상측 더미막대(24)와, 그 하단에 융착된 하측 더미막대(25)로 이루어진다.The rod holding portion 14 is a holding portion 14a whose proximal end is provided on the vertical wall 11a of the support 11, and at the same time, its holding portion 14b holds the upper end of the rod 27. Becomes The rod 27 includes a rod effective portion 26, an upper dummy rod 24 fused to an upper end of the rod effective portion 26, and a lower dummy rod 25 fused to a lower end thereof.

상기 막대(27)는, 파지부(14b)가 상측 더미막대(24)를 파지함으로써 상기 파이프(23) 내부에서 현수상태로 유지된다.The rod 27 is held in the suspended state inside the pipe 23 by the gripping portion 14b gripping the upper dummy bar 24.

이 막대유지부(14)는, 지주(11)의 수직벽(11a)을 따라 Z방향으로 이동 가능하다. 또 막대유지부(14)는, 유지된 막대(27)의 XY 평면 내 이동, 및 그 막대(27)의 Z축에 대한 기울기(θ) 조정이 가능하게 구성된다.The rod holding portion 14 is movable in the Z direction along the vertical wall 11a of the strut 11. Moreover, the rod holding part 14 is comprised so that the movement in the XY plane of the hold | maintained rod 27, and the inclination (theta) of the rod 27 with respect to the Z axis | shaft are possible.

파이프유지부(12)와 막대유지부(14)에 의해 파이프(23)와 막대(27)는 소정의 자세로 유지된다. 또 파이프유지부(12) 및 막대유지부(14)가 Z방향 아래쪽으로 이동함으로써, 파이프(23) 및 막대(27)가 각각 아래쪽으로 이동한다. 이 때 상기 파이프 및 막대 유지부(12, 14)의 이동속도는, 각각 변경 가능하다. 이로써 상기 파이프(23) 및 막대(27)의 이동속도(후술하는 가열로(15)로의 이송속도)가 조정 가능하다. 이와 더불어 파이프유지부(12)의 이동속도와 막대유지부(14)의 이동속도를 서로 다른 속도로 설정하는 것도 가능하다. 이로써 상기 파이프(23) 이송속도와 막대(27) 이송속도를 서로 다르게 하는 것도 가능하다.The pipe 23 and the rod 27 are held in a predetermined posture by the pipe holding portion 12 and the rod holding portion 14. In addition, the pipe holding portion 12 and the rod holding portion 14 move downward in the Z direction, so that the pipe 23 and the rod 27 move downward, respectively. At this time, the moving speeds of the pipe and rod holders 12 and 14 can be changed, respectively. Thereby, the moving speed of the said pipe 23 and the rod 27 (feeding speed to the heating furnace 15 mentioned later) can be adjusted. In addition, it is also possible to set the moving speed of the pipe holding part 12 and the moving speed of the bar holding part 14 to different speeds. As a result, the pipe 23 and the rod 27 may be different from each other.

상기 제조장치(10)는 또, 가열로(15)를 구비한다. 이 가열로(15)는 상기 파이프유지부(12)의 하방위치에 배설된다. 상기 가열로(15)는 거의 원통형이며, 상기 파이프(23) 및 막대(27)가 통과하는 삽입공(15a)을 갖는다. 가열로(15)는, 파이프(23) 및 막대(27)를 가열하는, 도시 생략된 히터를 구비한다. 이 가열로(15)는 예를 들어 탄소저항 가열로나 고주파 유도 가열로로 구성하면 된다.The manufacturing apparatus 10 further includes a heating furnace 15. The heating furnace 15 is disposed below the pipe holding part 12. The heating furnace 15 is substantially cylindrical and has an insertion hole 15a through which the pipe 23 and the rod 27 pass. The heating furnace 15 is equipped with the heater not shown in figure which heats the pipe 23 and the rod 27. As shown in FIG. This heating furnace 15 may be constituted by, for example, a carbon resistance heating furnace or a high frequency induction heating furnace.

상기 파이프 및 막대 유지부(12, 14)에 의해 파이프(23) 및 막대(27)가 아래쪽으로 이동하면, 이 파이프(23) 및 막대(27)는 그 하단에서 상단을 향해 축 방향으로, 상기 가열로(15) 및 삽입공(15a) 내를 순차 통과한다. 이렇게 하여 파이프(23) 및 막대(27)가 그 하단에서 상단을 향해 순차 가열된다.When the pipe 23 and the rod 27 are moved downward by the pipe and rod holders 12 and 14, the pipe 23 and the rod 27 are axially directed from the bottom to the top thereof. It passes through the inside of the heating furnace 15 and the insertion hole 15a sequentially. In this way, the pipe 23 and the rod 27 are sequentially heated from the bottom to the top.

상기 가열로(15)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이 그 둘레방향으로 거의 등간격을 두고 4 개의 온도센서(18, 18, ...)가 배설된다. 각 온도센서(18)에 의해 가열로(15) 내 온도가 측정된다. 이 각 온도센서(18)의 측정결과에 기초하여, 가열로(15) 내 둘레방향의 온도분포가 측정된다. 여기서 온도센서(18)는 필요에 따라 4 개보다 많이 배설해도 된다. 이 경우도, 온도센서(18)는 가열로 둘레방향으로 거의 등간격을 두고 배설하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 1, four temperature sensors 18, 18, ... are disposed in the heating furnace 15 at substantially equal intervals in the circumferential direction thereof. The temperature in the heating furnace 15 is measured by each temperature sensor 18. Based on the measurement result of each temperature sensor 18, the temperature distribution of the circumferential direction in the heating furnace 15 is measured. Here, more than four temperature sensors 18 may be disposed as necessary. Also in this case, it is preferable to arrange | position the temperature sensor 18 at substantially equal intervals in a heating furnace circumferential direction.

상기 제조장치(10)는 또, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 가열로(15)의 하방위치에 배설된 롤러(16, 16, ...)를 구비한다. 이 롤러(16, 16, ...)는, 가열로(15) 중심 축을 끼고 양쪽 위치에 각각 2 개씩 배설된다. 이 각 롤러(16)는 Y축을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 구성된다. 상기 가열로(15)를 통과함으로써 일체화된 파이프(23)와 막대(27)의 일체화물(광섬유 모재(30))은, 4 개의 롤러(16)에 개재되어 하방으로 유도된다. 이 각 롤러(16)의 회전속도는 변경 가능하며, 이로써 광섬유 모재(30)의, 가열로(15)로부터의 유도속도 조정이 가능하다. 광섬유 모재(30)의 가열로(15)로부터의 유도속도를 조정함으로써, 광섬유 모재(30)의 외경을 소정의 지름(목표 외경)으로 한다.As shown in FIG. 2, the manufacturing apparatus 10 includes rollers 16, 16,... Arranged at a lower position of the heating furnace 15. These rollers 16, 16, ... are disposed at each of two positions along the central axis of the heating furnace 15, respectively. Each of these rollers 16 is configured to be rotatable with the Y axis as the rotation center. The integrated product (optical fiber base material 30) of the pipe 23 and the rod 27 integrated by passing through the heating furnace 15 is interposed between the four rollers 16 and guided downward. The rotational speed of each of these rollers 16 can be changed, and thereby the induction speed of the optical fiber base material 30 from the heating furnace 15 can be adjusted. By adjusting the induction velocity from the heating furnace 15 of the optical fiber base material 30, the outer diameter of the optical fiber base material 30 is made into a predetermined diameter (target outer diameter).

상기 제조장치(10)는 도시 생략한 진공펌프를 구비한다. 이 진공펌프는, 폐지캡(29)에 접속된다(도 2 참조). 폐지캡(29)은, 상기 상측 더미파이프(20) 상단에, 그 상단 개구를 폐지하도록 설치된다. 광섬유 모재(30)의 제조 시에는, 이 진공펌프를 구동시킴으로써, 상기 파이프(23) 내를 감압한다.The manufacturing apparatus 10 is provided with a vacuum pump (not shown). This vacuum pump is connected to the waste cap 29 (see FIG. 2). The waste cap 29 is provided on the upper end of the upper dummy pipe 20 so as to close the upper end opening. At the time of manufacture of the optical fiber base material 30, the inside of the said pipe 23 is pressure-reduced by driving this vacuum pump.

상기 제조장치(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 합계 4 개의 레이저 변위계(17)를 구비한다. 레이저 변위계(17) 중 2 개는, 파이프유지부(12)로 유지된 파이프(23)(파이프유효부(22))의 상부위치에 대응하는 위치에 배치되며, 나머지 2 개는 파이프유효부(22)의 하부위치에 대응하는 위치에 배치된다. 상부위치 또는 하부위치에 배설된 2 개의 레이저 변위계(17, 17) 중, 한쪽 레이저 변위계(17)는 파이프유효부(22)에 대해 X방향의 측방위치에, 다른 쪽 레이저 변위계(17)는, 파이프유효부(22)에 대해 Y방향의 측방위치에, 각각 배설된다. 각 레이저 변위계(17)는, 파이프유효부(22)의 외주면까지의 거리를 검지한다. 이 각 레이저 변위계(17)의 검지결과는, 후술하는 바와 같이 파이프(23)를 파이프유지부(12)로 유지시킬 때 이용된다.As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 10 includes four laser displacement meters 17 in total. Two of the laser displacement meters 17 are disposed at positions corresponding to the upper positions of the pipes 23 (pipe valid portions 22) held by the pipe holding portions 12, and the other two are disposed on the pipe effective portions ( It is arranged at a position corresponding to the lower position of 22). Of the two laser displacement meters 17 and 17 disposed at the upper position or the lower position, one laser displacement gauge 17 is in a lateral position in the X direction with respect to the pipe effective portion 22, and the other laser displacement gauge 17 is It is arrange | positioned in the lateral position of the Y direction with respect to the pipe effective part 22, respectively. Each laser displacement meter 17 detects the distance to the outer peripheral surface of the pipe effective portion 22. The detection result of each laser displacement meter 17 is used when the pipe 23 is held by the pipe holding portion 12 as described later.

또한 상기 제조장치(10)는, 별도의 레이저 변위계(19)를 구비한다. 이 레이저 변위계(19)는, 상기 파이프 위치조정부(13)에 설치된다. 파이프유지부(12)의 선단부에는, 타겟(12a)이 입설된다. 이 레이저 변위계(19)는, 파이프유지부(12)와 일체로 되어 Z방향으로 이동하면서, 상기 타겟(12a)까지의 거리(L)를 검지한다. 이 검지결과에 따라 파이프유지부(12)의 기울기(휨)가 검출된다. 이 파이프유지부(12)의 기울기는, 파이프유지부(12)로 유지된 파이프(23)(유효부(22))의 기울기에 상당한다. 여기서 파이프유지부(12)의 기울기는, 상기 레이저변위계(19)를 파이프유지부(12)에 설치하여 수직벽(11a)까지의 거리를 검지함으로써도 검출 가능하다.Moreover, the said manufacturing apparatus 10 is equipped with the other laser displacement meter 19. Moreover, as shown in FIG. This laser displacement meter 19 is provided in the pipe position adjustment unit 13. The target 12a is installed in the front end of the pipe holding part 12. The laser displacement meter 19 detects the distance L to the target 12a while moving in the Z direction integrally with the pipe holding part 12. According to this detection result, the inclination (bending) of the pipe holding part 12 is detected. The inclination of the pipe holding portion 12 corresponds to the inclination of the pipe 23 (effective portion 22) held by the pipe holding portion 12. The inclination of the pipe holding part 12 can also be detected by providing the said laser displacement gauge 19 to the pipe holding part 12, and detecting the distance to the vertical wall 11a.

상기 파이프 위치조정부(13)는, 상세하게는 후술하지만 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시키는 도중에, 이 레이저변위계(19)가 검지한 파이프(23)의 기울기 변화를 상쇄하도록, 파이프유지부(12)에 유지된 파이프(23)의 기울기를 교정한다.Although the pipe position adjusting unit 13 will be described later in detail, the pipe holding unit 13 compensates for the inclination change of the pipe 23 detected by the laser displacement gauge 19 during the integration of the pipe 23 and the rod 27. The slope of the pipe 23 held in the portion 12 is corrected.

(광섬유 모재의 제조방법)(Manufacturing method of optical fiber base material)

광섬유 모재의 제조방법은, 크게 나누어 1) 막대의 축 왜곡 수정, 2) 파이프의 굴곡 판정, 3) 파이프 및 막대의 유지, 4) 파이프 및 막대의 일체화의, 4 가지 공정으로 이루어진다. 이하 각 공정에 대해 설명한다.The manufacturing method of the optical fiber base material is broadly divided into four steps: 1) correcting the axial distortion of the rod, 2) determining the bending of the pipe, 3) holding the pipe and the rod, and 4) integrating the pipe and the rod. Each process is demonstrated below.

(막대의 축 왜곡 수정)(Fix axis distortion)

상기 막대(27)(막대유효부(26))로는, VAD법으로 유리미립자를 퇴적시킨 유리미립자 퇴적체를 소결시켜 연신한 것이나, MCVD법으로 클래딩파이프 내면에 코어유리를 형성하고 충실화시킨 것이 이용된다. 막대유효부(26)는 그 지름이 φ45∼50mm 정도, 길이가 2500mm 정도의 것으로 하면 된다.As the rod 27 (rod effective portion 26), a glass particle deposit obtained by sintering glass fine particles deposited by the VAD method is sintered and stretched, or a core glass is formed and enriched on the inner surface of the cladding pipe by MCVD. do. The bar effective portion 26 may have a diameter of about 45 to 50 mm and a length of about 2500 mm.

이 막대(27)는 상술한 바와 같이, 막대유효부(26)와, 이 막대유효부(26)에 접합된 상측 및 하측 더미막대(24, 25)로 이루어진다. 이 막대(27)의 작성은 구체적으로 다음과 같이 하여 실시된다. 즉 막대유효부(26)와 하측 더미막대(25)를 각각 수평방향으로 눕힌 상태에서, 상기 막대유효부(26) 하단과, 하측 더미막대(25)의 상단을 서로 맞붙인다. 이 상태에서 그 맞붙인 부분을 가열원으로 가열시켜 막대유효부(26)와 하측 더미막대(25)를 융착시킨다. 마찬가지로 하여 상기 막대유효부(26)와 상측 더미막대(24)를 융착시킨다. 이렇게 하여 막대(27)를 작성하면, 그 막대(27)의 굴곡량을 검출한다. 즉 이 막대(27)의 한쪽 단부에 시점(I)을 설정함과 동시에, 다른 쪽 단부에 종점(E)을 설정하고, 이 상태에서 이하의 기준축선 설정과 왜곡량 검출을 실시한다.As described above, the rod 27 includes a rod effective portion 26 and upper and lower dummy bars 24 and 25 joined to the rod effective portion 26. Creation of this bar 27 is concretely carried out as follows. That is, in the state where the rod effective portion 26 and the lower dummy rod 25 are laid in the horizontal direction, respectively, the lower end of the rod effective portion 26 and the upper end of the lower dummy rod 25 are bonded to each other. In this state, the joined portion is heated with a heating source to fuse the rod effective portion 26 and the lower dummy rod 25 together. Similarly, the rod effective portion 26 and the upper dummy bar 24 are fused together. When the bar 27 is created in this way, the amount of bending of the bar 27 is detected. That is, the start point I is set at one end of the bar 27, the end point E is set at the other end, and the following reference axis setting and distortion amount detection are performed in this state.

기준축선 설정에서는, 왜곡량 검출에 필요한 기준축선을 설정한다. 기준축선은, 막대(27) 지름방향의 한 방향에서 시점(I) 및 종점(E) 폭 방향의 중심점 끼리를 이은 선으로 한다.In the reference axis setting, the reference axis required for the distortion amount detection is set. The reference axis is a line connecting the center points of the start point I and the end point E in the width direction in one direction in the radial direction of the bar 27.

왜곡량 검출에서는, 시점(I)에서 종점(E)까지 소정 간격마다 막대(27)의 폭 방향 중심점을 측정한다. 이로써 기준축선을 가로축, 및 왜곡량(Dx)을 세로축으로 한 도 3의 중앙 곡선(Cx)이 얻어진다. 이 곡선(Cx)에 의해, 막대(27)를 지름방향의 한 방향에서 본 경우의 기준축선에 대한 중심점 위치 어긋남의 경향 및 그 정도, 즉 굴곡의 발생경향 및 굴곡량을 시각적이며 정량적으로 파악할 수 있다. 여기서 도 3에 있어서, 위쪽의 곡선은 막대(27) 폭 방향 한쪽의 외형위치 길이방향을 따른 추이를 나타내며, 아래쪽 곡선은 막대(27) 폭 방향 다른 한쪽의 외형위치 길이방향을 따른 추이를 나타낸다. 즉 도 3의 중앙 곡선(Cx)은, 위쪽 곡선과 아래쪽 곡선의 중심 궤적이다.In the distortion amount detection, the width direction center point of the bar 27 is measured at predetermined intervals from the start point I to the end point E. FIG. Thereby, the center curve Cx of FIG. 3 which has the reference axis as the horizontal axis and the distortion amount Dx as the vertical axis is obtained. By this curve Cx, it is possible to visually and quantitatively grasp the tendency and the degree of misalignment of the center point with respect to the reference axis when the rod 27 is viewed from one direction in the radial direction, that is, the tendency of bending and the amount of bending. have. Here, in FIG. 3, the upper curve shows the trend along the outer position longitudinal direction of one bar 27 width direction, and the lower curve shows the transition along the outer position longitudinal direction of the other one bar 27 width direction. That is, the center curve Cx of FIG. 3 is the center locus of the upper curve and the lower curve.

다음으로 상기 한쪽 방향으로 직교하는 지름방향의 다른 쪽 방향에서 막대(27)를 본 경우에 대한 왜곡량(Dy) 측정을 상기와 마찬가지로 실시한다. 이로써, 도 4의 중앙에 곡선(Cy)으로 나타내는 바와 같이, 막대(27)를 지름방향의 다른 쪽 방향에서 본 경우의 기준축선에 대한 중심점 위치 왜곡의 경향 및 그 정도를 시각적이며 정량적으로 파악할 수 있다.Next, the distortion amount Dy is measured similarly to the above in the case where the rod 27 is viewed from the other direction in the radial direction perpendicular to the one direction. Thereby, as shown by the curve Cy in the center of FIG. 4, it is possible to visually and quantitatively grasp the tendency and the degree of the center point position distortion with respect to the reference axis when the bar 27 is viewed from the other direction in the radial direction. have.

왜곡량(Dx, Dy)을 측정한 후, 이들 왜곡량(Dx, Dy)에 기초하여 합성 왜곡량(Q)을 다음 식으로 연산한다.After measuring the distortion amounts Dx and Dy, the synthesized distortion amount Q is calculated in the following equation based on these distortion amounts Dx and Dy.

Q={(Dx)2+(Dy)2}1/2 Q = {(Dx) 2 + (Dy) 2 } 1/2

그리고 도 5에 나타내는 바와 같이, 막대(27)의 축방향 길이(L)를 Z축으로, 왜곡량(Dx)을 X축으로, 왜곡량(Dy)을 Y축으로 한 3 차원 좌표를 설정한다. 그리고 이 3 차원 좌표에, 각 측정위치에서의 합성왜곡량(Qi)(i는 측정위치)을 플롯함으로써, 이들을 곡선으로 이은 합성곡선(Cp)이 얻어진다. 여기서 도 5에는 합성곡선(Cp)과 더불어, 왜곡량(Dx)과 , 왜곡량(Dy)으로 구성되는 사각형(도 5에 점선으로 나타내는 사각형)과, 이 사각형의 각을 통과하는 X좌표 면의 곡선(Cx) 및 Y좌표 면의 곡선(Cy)을 표시한다.As shown in FIG. 5, three-dimensional coordinates are set in which the axial length L of the rod 27 is the Z axis, the distortion amount Dx is the X axis, and the distortion amount Dy is the Y axis. . Then, by plotting the combined distortion amount Qi (i is the measured position) at each measurement position on the three-dimensional coordinates, a synthesis curve Cp connecting these curves is obtained. Here, in FIG. 5, a square (represented by a dotted line in FIG. 5) composed of the distortion amount Dx and the distortion amount Dy, together with the composite curve Cp, and the X coordinate surface passing through the angle of the rectangle, are shown. The curve Cx and the curve Cy of the Y coordinate surface are displayed.

상기 합성곡선(Cp), 곡선(Cx), 곡선(Cy)에 의해 막대(27)의 굴곡 발생상황, 그 경향(방향), 및 그 양을 3 차원적으로 적확하게 파악할 수 있다. 그리고 막대(27)의 단위길이당 왜곡량, 즉 굴곡량이 1mm/m보다 클 경우에는, 상기 막대(27)의 막대유효부(26)와 상측 더미막대(24) 및/또는 하측 더미막대(25)와의 융착부분을 재가열하여, 상기 굴곡량이 1mm/m 이하로 되도록 막대(27)의 굴곡을 수정한다.According to the synthesis curve Cp, the curve Cx, and the curve Cy, the occurrence state of the bending of the rod 27, its tendency (direction), and the amount thereof can be grasped accurately in three dimensions. When the amount of distortion per unit length of the rod 27, that is, the amount of bending, is greater than 1 mm / m, the rod effective portion 26, the upper dummy rod 24, and / or the lower dummy rod 25 of the rod 27 are used. Re-heat the fused portion with) to correct the bending of the rod 27 so that the bending amount is 1 mm / m or less.

(파이프의 굴곡 판정)(Pipe bending judgment)

상기 파이프(23)(파이프유효부(22))로는, OVD법 등으로 제조된 것이 이용된다. 파이프유효부(22)는, 그 외경이 φ180mm 정도, 내경이 φ50mm 정도, 길이가 2000mm 정도의 것으로 하면 된다.As the pipe 23 (pipe effective portion 22), one manufactured by the OVD method or the like is used. The pipe effective portion 22 may have an outer diameter of about 180 mm, an inner diameter of about 50 mm, and a length of about 2000 mm.

이 파이프(23)는 상술한 바와 같이, 파이프유효부(22)와, 이 파이프유효부(22)에 접합된 상측 및 하측 더미파이프(20, 21)로 구성된다. 파이프유효부(22)와 상측 더미파이프(20)는, 단면 끼리를 맞붙여 융착시키므로, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이 파이프유효부(22)와 상측 더미파이프(20) 사이에 굴곡이 생기는 경우가 있다. 여기서, 도 6에서는 이해를 돕기 위해, 파이프유효부(22)와 상측 더미파이프(20) 사이의 굴곡을 과장시켜 도시한다. 파이프유효부(22) 및 상측 더미파이프(20) 사이에 생긴 굴곡은, 광섬유 모재(30)의 코어부 편심을 초래한다. 또 파이프유효부(22)와 하측 더미파이프(21) 사이의 굴곡은 광섬유 모재(30)의 코어 편심에는 영향을 미치지 않는다.As described above, the pipe 23 is constituted by a pipe valid portion 22 and upper and lower dummy pipes 20 and 21 joined to the pipe effective portion 22. Since the pipe effective portion 22 and the upper dummy pipe 20 are bonded to each other by fusion of end faces, as shown in FIGS. 6 and 7, bending occurs between the pipe effective portion 22 and the upper dummy pipe 20. There is a case. Here, in FIG. 6, the bending between the pipe effective portion 22 and the upper dummy pipe 20 is exaggerated for clarity. The bending caused between the pipe effective portion 22 and the upper dummy pipe 20 causes the core portion of the optical fiber base material 30 to be eccentric. In addition, the bending between the pipe effective portion 22 and the lower dummy pipe 21 does not affect the core eccentricity of the optical fiber base material 30.

코어부 편심을 억제하기 위해, 파이프유효부(22)에 상측 및 하측 더미파이프(20, 21)를 융착시켜 파이프(23)를 작성한 후, 그 파이프(23)의 굴곡을 측정한다. 굴곡 측정방법은 어떤 방법이라도 된다. 일례로서, 상세하게는 도시하지 않지만, 파이프유효부(22)가 수평으로 되도록 상기 파이프(23)를 놓고, 파이프유효부(22) 하측을 롤러로 지지하면서 파이프(23)를 90도씩 회전시킨다. 그리고 다이얼 게이지(dial gauge)로 상측 더미파이프(20)의 변위를 4 점 측정한다. 그 4 점의 변위에 따라 파이프유효부(22)와 상측 더미파이프(20) 사이의 굴곡 방향을 판정할 수 있다.In order to suppress the core portion eccentricity, the pipe effective portion 22 is fused to the upper and lower dummy pipes 20 and 21 to form a pipe 23, and then the bending of the pipe 23 is measured. The method of measuring bending may be any method. As an example, although not shown in detail, the pipe 23 is placed so that the pipe effective portion 22 is horizontal, and the pipe 23 is rotated by 90 degrees while supporting the lower portion of the pipe effective portion 22 with a roller. Then, the displacement of the upper dummy pipe 20 is measured by a dial gauge (four points). The bending direction between the pipe effective part 22 and the upper dummy pipe 20 can be determined according to the displacement of the four points.

상기 판정결과로부터, 파이프유효부(22)와 상측 더미파이프(20) 사이의 굴곡방향, 즉 파이프유효부(22) 중심축(C1)과 상측 더미파이프(20)의 중심축(C2)의 2 중심축을 포함하는 평면(A)(도 6, 7 참조)이 판명되면, 그 평면(A)을 나타내는 눈금표시(28)를 상측 더미파이프(20)의 상면에 설정한다(도 1 참조). 여기서 파이프유효부(22) 중심축(C1)과 상측 더미파이프(20)의 중심축(C2)이 완전히 일치할 때는, 눈금표시(28)를 상측 더미파이프(20) 상면의 임의위치에 설정하면 된다.From the determination result, the bending direction between the pipe effective portion 22 and the upper dummy pipe 20, that is, two of the central axis C1 of the pipe effective portion 22 and the central axis C2 of the upper dummy pipe 20, is determined. When the plane A (refer FIG. 6, 7) containing a center axis | shaft is found out, the graduation mark 28 which shows the plane A is set in the upper surface of the upper dummy pipe 20 (refer FIG. 1). Here, when the central axis C1 of the pipe effective portion 22 and the central axis C2 of the upper dummy pipe 20 are completely coincident with each other, the scale mark 28 is set at an arbitrary position on the upper surface of the upper dummy pipe 20. do.

(파이프 및 막대의 유지)(Keep of pipes and rods)

이상과 같이 하여 파이프(23) 및 막대(27) 각각의 준비가 완료된다. 다음 공정에서는, 파이프(23) 및 막대(27)를 각각 제조장치(10)에 유지시킨다.The preparation of each of the pipe 23 and the rod 27 is completed as mentioned above. In the next step, the pipe 23 and the rod 27 are held in the manufacturing apparatus 10, respectively.

우선 상측 더미파이프(20)의 홈(20a)을 파이프유지부(12) 내에 끼워 넣어, 파이프(23)를 현수상태로 한다. 이 때 파이프(23)는 중량물이므로, 파이프유지부(12)가 아래쪽으로 부하를 받아 Y방향으로 휨이 발생한다. 이어서, 상측 더미파이프(20)에 설정한 눈금표시(28)를 이용하여, 상기 평면(A)이 파이프유지부(12)의 휨 방향(Y방향)과 평행이 되도록 파이프(23)의 방향을 설정한다.First, the groove 20a of the upper dummy pipe 20 is inserted into the pipe holding portion 12 to put the pipe 23 in a suspended state. At this time, since the pipe 23 is a heavy object, the pipe holding part 12 receives a load downward and warp occurs in the Y direction. Subsequently, using the graduation marks 28 set on the upper dummy pipe 20, the direction of the pipe 23 is adjusted so that the plane A is parallel to the bending direction (Y direction) of the pipe holding part 12. Set it.

다음으로, 레이저 변위계(17)를 이용하여, 파이프유효부(22)의 외주면까지의 거리를, X방향에 대해 상부와 하부 2 점, Y방향에 대해 상부와 하부 2 점, 계 4 점 측정한다. 그리고 그 측정값의, 상하간 차가 최소로 되도록 파이프 위치조정부(13)로 파이프(23)의 기울기를 조정한다. 즉 파이프유효부(22)의 축방향이 수직방향으로 되도록 파이프(23)의 기울기를 조정한다. 파이프유효부(22)의 축방향을 수직방향으로 한 후, 파이프(23)의 X방향 및 Y방향의 위치조정을 한다. 이로써 파이프유효부(22)의 중심축을 가열로(15) 중심축에 일치시킨다. 이렇게 하여 파이프(23) 유지가 완료된다.Next, using the laser displacement meter 17, the distance to the outer peripheral surface of the pipe effective part 22 is measured in upper and lower two points in the X direction, upper and lower two points in the Y direction, and four points in total. . And the inclination of the pipe 23 is adjusted with the pipe position adjustment part 13 so that the difference of the measured value may be minimum. That is, the inclination of the pipe 23 is adjusted so that the axial direction of the pipe effective part 22 may become a vertical direction. After making the axial direction of the pipe effective part 22 into a vertical direction, the position adjustment of the pipe 23 in the X direction and a Y direction is performed. As a result, the central axis of the pipe effective portion 22 coincides with the central axis of the heating furnace 15. In this way, the maintenance of the pipe 23 is completed.

다음에, 상측 더미막대(24)의 상단부분을 막대유지부(14)로 파지하고, 이 막대유지부(14)에 의해, 상기 막대(27)가 가열로(15) 중심축과 거의 동축이 되도록 상기 막대(27)의 X, Y 방향위치 및 그 기울기를 각각 조정한다. 그리고 막대(27)를 파이프(23) 내에 삽입한다. 이렇게 하여 막대(27)의 유지가 완료된다.Next, the upper end portion of the upper dummy bar 24 is gripped by the rod holding portion 14, and the rod holding portion 14 causes the rod 27 to be substantially coaxial with the central axis of the heating furnace 15. The positions of the rods 27 in the X and Y directions and their inclinations are adjusted. The rod 27 is then inserted into the pipe 23. In this way, the holding of the rod 27 is completed.

여기서는, 파이프(23)를 유지시킬 때, 레이저 변위계(17)를 이용하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 레이저 변위계(17) 대신, 다림추를 이용해도 된다. 즉 도 8에 나타내는 바와 같이, 파이프(23)의 길이방향을 따라 한 끝에 다림추(31)를 단 실(32)을 늘어뜨려, 파이프유효부(22)의 축방향을 실(32)이 이어지는 방향과 일치시킨다. 구체적으로는, 파이프유효부(22)와 실(32)의 거리를, X방향에 대해 상부와 하부 2 점, Y방향에 대해 상부와 하부 2 점, 계 4 점 측정한다. 이렇게 하여 상하에서의 측정값이 서로 동일해지도록 파이프 위치조정부(13)에 의해, 파이프유효부(22)의 기울기를 조정한다. 이렇게 해도, 파이프유효부(22)의 축 방향을 가열로(15) 축 방향과 일치시킬 수 있다.Here, the laser displacement meter 17 is used when the pipe 23 is held, but is not limited thereto. For example, an ironing weight may be used instead of the laser displacement meter 17. That is, as shown in FIG. 8, the thread 32 which cut off the iron weight 31 at one end along the longitudinal direction of the pipe 23 is lined up, and the direction in which the thread 32 continues the axial direction of the pipe effective part 22 is shown. Matches Specifically, the distance between the pipe effective part 22 and the seal 32 is measured by two points, the upper and lower parts in the X direction, and the upper and lower two points and the four points in the Y direction. In this way, the inclination of the pipe effective part 22 is adjusted by the pipe position adjustment part 13 so that the measured value may be mutually equal to each other. Even in this way, the axial direction of the pipe effective portion 22 can be matched with the axial direction of the heating furnace 15.

또 레이저 변위계(17)와 다림추를 병용하여 파이프(23)를 수직으로 위치시켜도 된다. 예를 들어 레이저 변위계(17)를 이용하여 파이프유효부(22)를 수직으로 위치시킨 후에, 다림추를 이용하여 그 파이프유효부(22)가 수직으로 위치됐는지 여부를 확인한다. 이 때 필요에 따라 파이프유효부(22)의 기울기를 미세 조정한다. 이렇게 함으로써 파이프(23)의 위치조정을 보다 정밀도 높게 실시하기가 가능하다.In addition, the pipe 23 may be positioned vertically by using the laser displacement meter 17 and the iron weight together. For example, after positioning the pipe effective portion 22 vertically using the laser displacement meter 17, it is checked whether the pipe effective portion 22 is vertically positioned using the ironing weight. At this time, the inclination of the pipe effective part 22 is finely adjusted as needed. By doing in this way, the position adjustment of the pipe 23 can be performed more accurately.

(파이프 및 막대의 일체화)(Integration of pipes and rods)

이상과 같이 하여, 파이프(23) 및 막대(27) 각각이 유지된다. 다음 공정에서는, 이 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시킨다.As described above, each of the pipe 23 and the rod 27 is retained. In the next step, the pipe 23 and the rod 27 are integrated.

우선, 상기 상측 더미파이프(20)의 상단 개구를 폐지캡(29)으로 폐지시키고 진공펌프로 파이프(23) 내를 감압한다. 이 상태에서 파이프유지부(12) 및 막대유지부(14)를 각각 소정 속도로 아래쪽으로 이동시킨다.First, the upper opening of the upper dummy pipe 20 is closed with a waste cap 29, and the pressure inside the pipe 23 is reduced with a vacuum pump. In this state, the pipe holding part 12 and the rod holding part 14 are respectively moved downward at a predetermined speed.

이로써 상기 파이프(23)와 막대(27)는, 그 축 방향으로 가열로(15)의 삽입공(15a) 내를 통과하며, 이 파이프(23)와 막대(27)는 가열로(15)에 의해 그 하단에서 상단을 향해 순차 가열된다. 파이프(23)와 막대(27)는 그 하단에서 상단을 향해 순차 용융되지만, 파이프(23) 내부가 감압됨으로써 용융된 파이프(23)는 그 내외 압력차에 의해 축경된다. 그 결과 파이프(23) 및 막대(27)가 그 축 방향으로 순차 융착되어 일체화된다.As a result, the pipe 23 and the rod 27 pass through the insertion hole 15a of the heating furnace 15 in the axial direction, and the pipe 23 and the rod 27 are connected to the heating furnace 15. Thereby sequentially heating from the bottom to the top. The pipe 23 and the rod 27 are sequentially melted from the lower end toward the upper end, but the molten pipe 23 is reduced by the pressure difference between the inside and the outside by depressurizing the inside of the pipe 23. As a result, the pipe 23 and the rod 27 are sequentially fused and integrated in the axial direction thereof.

여기서 파이프(23)와 막대(27)의 일체화가 진행되면, 파이프유지부(12)에 아랫방향으로 부하되는 하중이 작아져, 파이프유지부(12)의 휨도 작아진다. 이로써 가열로(15) 중심축에 대한 파이프(23)의 기울기 양이 변화된다.When the integration of the pipe 23 and the rod 27 proceeds here, the load to the pipe holding portion 12 is lowered, and the bending of the pipe holding portion 12 is also reduced. This changes the amount of inclination of the pipe 23 with respect to the central axis of the furnace 15.

그래서 광섬유 모재(30)의 제조 중에는, 레이저 변위계(19)에 의해 파이프(23)의 자세 변화를 검지한다. 그리고 그 검지한 파이프(23)의 자세변화가 상쇄되도록, 파이프 위치조정부(13)는 파이프(23)의 자세를 교정한다.Therefore, during manufacture of the optical fiber base material 30, the position change of the pipe 23 is detected by the laser displacement meter 19. As shown in FIG. And the pipe position adjustment part 13 corrects the attitude | position of the pipe 23 so that the change of attitude | position of the detected pipe 23 may be canceled.

이 때 상술한 바와 같이, 상기 평면(A)과, 파이프유지부(12)의 휨 방향(Y방향)이 평행으로 된다. 이로써 일체화의 진행에 따라 파이프(23)의 무게중심위치는 거의 평면(A) 상에서 이동한다. 즉 파이프(23)는, Y방향으로만 기울기를 변화시키게 된다. 그러므로 파이프 위치조정부(13)는 파이프(23)의 Y방향의 기울기만 교정하면 된다.At this time, as mentioned above, the bending direction (Y direction) of the said plane A and the pipe holding part 12 becomes parallel. As a result, the center of gravity of the pipe 23 moves on the plane A as the integration progresses. That is, the pipe 23 changes the inclination only in the Y direction. Therefore, the pipe position adjusting unit 13 only needs to correct the inclination of the pipe 23 in the Y direction.

이렇게 하여 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에는, 파이프(23)의 중심축이 가열로(15) 중심축과 항상 일치한다.In this way, during the integration of the pipe 23 and the rod 27, the central axis of the pipe 23 always coincides with the central axis of the furnace 15.

또 여기서는 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에 있어서의 파이프(23) 자세변화를, 레이저 변위계(19)로 계측하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 파이프유지부(12)에 수준기를 설치하고, 이로써 파이프(23)의 자세변화를 계측해도 된다. 또 각도 검출기로 파이프유지부(12)의 기울기를 검출함으로써 파이프(23)의 자세변화를 계측해도 된다.In addition, although the attitude | position change of the pipe 23 in the integration of the pipe 23 and the rod 27 is measured by the laser displacement meter 19, it is not limited to this. For example, the level holding part may be provided in the pipe holding part 12 to measure the change in posture of the pipe 23. In addition, you may measure the attitude | position change of the pipe 23 by detecting the inclination of the pipe holding | maintenance part 12 with an angle detector.

파이프(23) 및 막대(27)가 일체화 된 일체화물은, 롤러(16)에 의해 유도된다. 이로써 상기 일체화물은 소정의 외경으로 될 때까지 연신된다. 이렇게 하여 광섬유 모재(30)가 완성된다. 광섬유 모재(30)는 도시 생략한 인출장치에 의해 선 인출가공이 실시되어 광섬유가 된다.The integrated product in which the pipe 23 and the rod 27 are integrated is guided by the roller 16. As a result, the integrated product is stretched until it reaches a predetermined outer diameter. In this way, the optical fiber base material 30 is completed. The optical fiber base material 30 is predrawn with a drawing device, not shown, to become an optical fiber.

이상 설명한 바와 같이, 상기 광섬유 모재의 제조방법에 의하면, 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에, 상기 파이프(23)의 기울기 변화를 레이저변위계(17)로 검출하고, 그 검출값에 기초하여 상기 파이프(23)의 중심축과 가열로의 축이 일치하도록, 그 파이프(23)를 변위시킨다. 때문에 코어부 편심량이 작은 광섬유 모재(30)를 제조할 수 있다.As described above, according to the method for manufacturing the optical fiber base material, the slope change of the pipe 23 is detected by the laser displacement gauge 17 during the integration of the pipe 23 and the rod 27 and based on the detected value. Thus, the pipe 23 is displaced so that the central axis of the pipe 23 coincides with the axis of the heating furnace. Therefore, the optical fiber base material 30 with a small amount of eccentricity of a core part can be manufactured.

또 평면(A)과 파이프유효부(22)가 수직방향으로부터 기울어지는 방향이 평행으로 되도록, 상기 파이프(23)를 유지함으로써, 일체화 중에 파이프(23) 기울기가 변화하는 방향이 일정 방향이 된다. 파이프 위치조정부(13)는, 한 방향의 기울기만을 교정하는 것만으로 파이프(23)를 가열로(15)와 동축으로 위치시킬 수 있다.Further, by holding the pipe 23 so that the plane A and the pipe effective portion 22 are inclined from the vertical direction in parallel, the direction in which the inclination of the pipe 23 changes during integration is a constant direction. The pipe positioning unit 13 can position the pipe 23 coaxially with the heating furnace 15 only by correcting the inclination in one direction.

또 막대(27)의 굴곡량을 측정하여, 그 굴곡량이 클 때는 막대유효부(26)와 상측 더미막대(24) 및/또는 하측 더미막대(25)의 융착상태를 미리 수정한다. 이로써 막대(27)를 파이프(23) 내에 삽입할 때, 막대(27)가 파이프(23) 내벽에 닿거나 쓸리거나 하여 흠이 생기는 것이 방지된다. 또한 광섬유 모재(30)의 코어부 편심이 억제된다. 더욱이 막대(27)의 굴곡량이 커도 그 막대(27)를 수정하여 사용하므로, 재료를 효과적으로 활용할 수 있다.In addition, the bending amount of the bar 27 is measured, and when the bending amount is large, the fusion state of the rod effective portion 26, the upper dummy bar 24 and / or the lower dummy bar 25 is corrected in advance. Thus, when the rod 27 is inserted into the pipe 23, the rod 27 is prevented from coming in contact with the inner wall of the pipe 23 or being swept away from being scratched. In addition, the core part eccentricity of the optical fiber base material 30 is suppressed. Moreover, even if the bending amount of the rod 27 is large, the rod 27 is modified and used, so that the material can be effectively utilized.

그리고 막대유효부(26)와 상측 더미막대(24) 및 하측 더미막대(25)의 융착을, 이들 막대 축을 거의 수평으로 하여 실시함으로써 정확한 굴곡량을 파악할 수 있다. 이로써 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에 막대(27)의 굴곡량이 커지는 일이 없다. 이 점에서도 광섬유 모재(30)의 코어부 편심이 억제된다.The rod bending portion 26, the upper dummy bar 24, and the lower dummy bar 25 are fused together with these bar axes almost horizontal to determine the exact amount of bending. As a result, the bending amount of the rod 27 does not increase during the integration of the pipe 23 and the rod 27. Also in this respect, the core part eccentricity of the optical fiber base material 30 is suppressed.

(가열로의 온도분포를 고려한 파이프 유지)(Keep the pipe in consideration of the temperature distribution of the furnace)

-첫째--first-

상술한 제조방법에 의해 광섬유 모재(30)를 제조하면, 통상은, 그 코어부의 편심이 억제된다. 그러나 조건에 따라서는 코어부의 편심이 비교적 커지는 경우도 있다. 이는 가열로(15)의 둘레방향 온도분포의 불균일에 그 원인의 하나가 있다. 즉 가열로(15) 내의 둘레방향 온도분포가 불균일해짐으로써, 파이프(23)의 용융상태가 둘레방향으로 불균일해지고, 그 결과 가열로(15)의 중심축에 대해 가장 온도가 높은 위치의 방향으로 코어부가 편심돼버리는 것이다. 그래서 온도분포의 불균일이 비교적 클 때는, 다음과 같이 하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 이로써 코어부의 편심을 작게 하기가 가능해진다.When the optical fiber base material 30 is manufactured by the manufacturing method mentioned above, the eccentricity of the core part is normally suppressed. However, depending on the conditions, the eccentricity of the core portion may be relatively large. This is one of the reasons for the nonuniformity of the circumferential temperature distribution of the heating furnace (15). In other words, the temperature distribution in the circumferential direction in the heating furnace 15 becomes uneven, so that the molten state of the pipe 23 becomes uneven in the circumferential direction, and as a result, in the direction of the position where the temperature is highest with respect to the central axis of the heating furnace 15. The core is eccentric. Therefore, when the nonuniformity of temperature distribution is comparatively large, the optical fiber base material 30 is manufactured as follows. This makes it possible to reduce the eccentricity of the core portion.

즉 상술한 순서에 따라 파이프(23) 및 막대(27)를, 그 각 중심축이 가열로의 중심축과 동축이 되는 상태로 유지한다. 그 후 상기 가열로(15)에 설치한 각 온도센서(18)에 의해, 가열로(15) 내의 온도를 측정하고 그 측정결과로부터 가열로(15) 내 둘레방향의 온도분포를 계측한다. 그리고 파이프 위치조정부(13)에 의해 상기 파이프(23)를, 상기 가열로(15) 중심축에 대해 이 가열로(15) 내의 온도가 가장 높은 위치 방향으로 기울인 자세로 한다. 이로써 도 9에 나타내는 바와 같이, 막대(27)의 중심축(Z1)은 가열로(15) 중심축과 거의 동축으로 되는데 반해, 파이프(23)(유효부(22))의 중심축(C1)은 가열로(15) 중심축에 대해 기울어진다(도면 예에서는 가열로(15) 내의 온도가 가장 높은 위치의 방향이 X방향의 양(+) 쪽인 것으로 간주하여, 파이프(23) 중심축(C1)을 가열로(15) 중심축에 대해 X방향의 양(+) 쪽으로 기울인 양상을 나타냄). 그 결과 파이프(23)의 내주면과 막대(27) 둘레면과의 틈새는, X방향의 +쪽 위치에서 비교적 넓어진다. 여기서 도면 예에서는, 이해를 돕기 위해 파이프(23)의 기울기를 실제보다 과장시켜 나타낸다.That is, the pipe 23 and the rod 27 are maintained in the state which each center axis becomes coaxial with the center axis of a heating furnace according to the above-mentioned procedure. Then, the temperature in the heating furnace 15 is measured by each temperature sensor 18 provided in the heating furnace 15, and the temperature distribution of the circumferential direction in the heating furnace 15 is measured from the measurement result. And the pipe 23 is made into the attitude | position which inclined the said pipe 23 to the position direction with the highest temperature in this heating furnace 15 with respect to the central axis of the said heating furnace 15 by the pipe position adjustment part 13. As a result, as shown in FIG. 9, the central axis Z1 of the rod 27 is substantially coaxial with the central axis of the heating furnace 15, while the central axis C1 of the pipe 23 (effective portion 22) is provided. Is inclined with respect to the central axis of the furnace 15 (in the drawing example, the direction of the position where the temperature in the furnace 15 is highest is assumed to be the positive side in the X direction, so that the central axis C1 of the pipe 23 is ) Is inclined to the positive direction in the X direction with respect to the central axis of the furnace (15). As a result, the clearance between the inner peripheral surface of the pipe 23 and the circumferential surface of the rod 27 becomes relatively wider at the + side of the X direction. Here, in the drawing example, the inclination of the pipe 23 is shown to be exaggerated rather than actual for clarity.

이 상태에서, 파이프(23)와 막대(27)의 일체화를 실시한다. 이 일체화 중에는, 레이저 변위계(19)로 파이프(23)의 기울기 변화를 검출하고, 그 변화가 상쇄되도록 파이프(23)의 기울기를 교정한다. 이로써 파이프(23)는 당초의 자세를 유지하게 된다. 또 이 경우 파이프(23)의 중심축과 가열로(15)의 중심축은 반드시 일치하지는 않는다.In this state, the pipe 23 and the rod 27 are integrated. During this integration, the inclination change of the pipe 23 is detected by the laser displacement meter 19, and the inclination of the pipe 23 is corrected so as to cancel the change. As a result, the pipe 23 maintains its original posture. In this case, the central axis of the pipe 23 and the central axis of the heating furnace 15 do not necessarily coincide.

이 제조방법에 의하면, 가열로(15) 내에서 온도가 높은 둘레방향 위치에서는, 파이프(23)와 막대(27)의 틈새를 크게 한 상태에서, 파이프(23)와 막대(27)의 일체화가 실시된다. 코어부는, 가열로(15) 내에서 가장 온도가 높은 위치 방향으로 편심되기 쉽지만, 이 위치에서는 파이프(23)와 막대(27)의 틈새가 커져있다. 그러므로 코어부의 편심은 억제된다.According to this manufacturing method, the integration of the pipe 23 and the rod 27 is performed in the state where the clearance between the pipe 23 and the rod 27 is increased at the circumferential position where the temperature is high in the heating furnace 15. Is carried out. Although the core part tends to be eccentric in the direction of the highest temperature in the heating furnace 15, the clearance between the pipe 23 and the rod 27 is large in this position. Therefore, the eccentricity of the core portion is suppressed.

또 파이프(23)와 막대(27)의 일체화가 진행됨에 따라, 파이프유지부(12)의 휨이 작아지고, 이에 수반하여 파이프(23) 자세가 변화되지만, 레이저변위계(19)로 파이프(23)의 기울기 양의 변화를 계측하고, 그에 따라 파이프(23)의 자세를 당초의 자세로 유지한다. 이로써 광섬유 모재(30)의 축 방향 전체에 걸쳐, 코어부의 편심을 억제할 수 있다.In addition, as the integration of the pipe 23 and the rod 27 proceeds, the bending of the pipe holding portion 12 decreases, and thus the attitude of the pipe 23 changes, but the pipe 23 with the laser displacement gauge 19. The change of the inclination amount of) is measured, and accordingly, the posture of the pipe 23 is maintained in the original posture. Thereby, the eccentricity of a core part can be suppressed over the whole axial direction of the optical fiber base material 30.

-둘째--second-

‘둘째’에 관한 제조방법은, 가열로(15) 내의 온도분포 불균일성에 기인하는 코어부의 편심은 재현성을 갖는 점에 주목한 제조방법이다. 왜냐하면, 경시적 요인에 의한 가열로(15) 내의 온도분포 불균일성은 급격히 변화하는 일이 없으며, 구조적 요인에 따른 가열로(15) 내의 온도분포 불균일성은 동일한 가열로(15)라면 변함이 없기 때문이다. 즉 ‘둘째’에 관한 제조방법은, 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시켜 광섬유 모재(30)를 제조하고, 그 광섬유 모재(30)의 코어부 편심방향 및 편심량을 계측한다. 그리고 그 다음 광섬유 모재(30)를 제조할 때에, 그 계측결과에 따라 파이프(23)를 가열로(15) 중심축에 대해 기울어진 자세로 유지한다. 이하 ‘둘째’에 관한 제조방법에 대해 구체적으로 설명한다.The manufacturing method which concerns on "second" is a manufacturing method which paid the attention that the eccentricity of the core part resulting from the temperature distribution nonuniformity in the heating furnace 15 has reproducibility. This is because the temperature distribution nonuniformity in the heating furnace 15 due to time-dependent factors does not change rapidly, and the temperature distribution nonuniformity in the heating furnace 15 due to structural factors does not change if the same heating furnace 15 is used. . That is, in the manufacturing method of the "second", the pipe 23 and the rod 27 are integrated, the optical fiber base material 30 is manufactured, and the core part eccentric direction and the eccentricity of the optical fiber base material 30 are measured. Then, when the optical fiber base material 30 is manufactured, the pipe 23 is held in an inclined position with respect to the central axis of the heating furnace 15 according to the measurement result. Hereinafter, the manufacturing method regarding "second" is explained concretely.

우선 파이프(23)를 파이프유지부(12)로 유지시킴과 동시에, 막대(27)를 막대유지부(14)로 유지시켜, 파이프(23)와 막대(27) 각각을, 가열로(15) 중심축에 대해 거의 동축으로 되도록 위치시킨다. 이 점은 상술한 제조방법과 마찬가지이다.First, the pipe 23 is held by the pipe holder 12, and the rod 27 is held by the rod holder 14, so that each of the pipe 23 and the rod 27 is heated by the heating furnace 15. Position it to be nearly coaxial with respect to the central axis. This point is the same as the manufacturing method mentioned above.

이 상태에서 상기 파이프(23)와 막대(27)의 일체화를 실시한다. 이 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에는, 파이프(23)와 가열로(15) 중심축과의 동축 상태를 유지하도록 파이프 위치조정부(13)가 파이프(23) 자세를 교정한다. 이렇게 하여 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시킨 광섬유 모재(30)(제 1 광섬유 모재)가 완성된다.In this state, the pipe 23 and the rod 27 are integrated. During the integration of the pipe 23 and the rod 27, the pipe position adjusting unit 13 corrects the pipe 23 attitude so as to maintain a coaxial state between the pipe 23 and the central axis of the heating furnace 15. In this way, the optical fiber base material 30 (1st optical fiber base material) which integrated the pipe 23 and the rod 27 is completed.

그리고 이 완성된 제 1 광섬유 모재(30)의 코어부 편심 상태를 계측한다. 구체적으로는 코어부 가열로(15)의 중심축에 대한 편심방향과 그 편심량을 계측한다.And the core part eccentric state of this completed 1st optical fiber base material 30 is measured. Specifically, the eccentric direction with respect to the central axis of the core part heating furnace 15 and the amount of eccentricity are measured.

다음으로 별도의 파이프(23)를 파이프유지부(12)로 유지시킴과 동시에, 별도의 막대(27)를 막대유지부(14)로 유지시킨다. 그리고 이들 파이프(23)와 막대(27)가 가열로(15) 중심축에 대해 거의 동일축으로 되도록 파이프 위치조정부(13) 및 막대유지부(14)로 파이프(23) 및 막대(27)의 자세를 각각 조정한다.Next, while maintaining the separate pipe 23 as the pipe holding portion 12, and maintaining a separate bar 27 as the rod holding portion (14). The pipes 23 and the rods 27 are connected to the pipe positioning portion 13 and the rod holding portion 14 such that the pipes 23 and the rods 27 are substantially coaxial with respect to the central axis of the furnace 15. Adjust your posture individually.

그리고 상기 제 1 광섬유 모재(30)에서 계측한 코어부의 편심방향에 따라 파이프(23)를, 상기 가열로(15)의 중심축에 대해 그 편심방향으로 기울어진 자세로 한다(도 9 참조). 이 때 파이프(23)의 기울기 양은, 제 1 광섬유 모재(30)의 코어부 편심량에 따라 적절히 조정하면 된다. 예를 들어 코어부 편심량이 0.1mm 오더라면, 파이프(23)의 기울기 양을 0.1mm/m(파이프 1m당 기울기 양) 오더로 설정하면 된다.The pipe 23 is inclined in the eccentric direction with respect to the central axis of the heating furnace 15 along the eccentric direction measured by the first optical fiber base material 30 (see FIG. 9). At this time, the inclination amount of the pipe 23 may be appropriately adjusted according to the amount of eccentricity of the core portion of the first optical fiber base material 30. For example, if the amount of eccentricity of the core part is 0.1 mm order, what is necessary is just to set the inclination amount of the pipe 23 to 0.1 mm / m (the inclination amount per 1 m pipes) order.

이 상태에서 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시켜 광섬유 모재(30)를 제조한다. 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에는, 레이저 변위계(19)로 검지한 파이프(23)의 자세변화가 상쇄되도록, 파이프 위치조정부(13)가 파이프유지부(12)로 유지된 파이프(23)의 자세를 교정한다.In this state, the pipe 23 and the rod 27 are integrated to manufacture the optical fiber base material 30. During the integration of the pipe 23 and the rod 27, the pipe in which the pipe positioning portion 13 is held by the pipe holding portion 12 so as to cancel the change in the attitude of the pipe 23 detected by the laser displacement meter 19 ( 23) Correct the posture.

이와 같이 ‘둘째’에 관한 제조방법에 의하면, 가열로(15)의 중심축에 대해 거의 동축으로 파이프(23)와 막대(27)를 유지시켜 광섬유 모재(30)를 제조함으로써, 상기 가열로(15)를 이용하여 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시켰을 때의, 코어부 편심 경향을 파악할 수 있다.As described above, according to the second manufacturing method, the optical fiber base material 30 is manufactured by keeping the pipe 23 and the rod 27 substantially coaxial with respect to the central axis of the heating furnace 15, thereby producing the heating furnace ( 15), the tendency of the core part eccentricity can be grasped | ascertained when the pipe 23 and the rod 27 are integrated.

그리고 다음은, 파이프(23)를, 그 코어부의 편심 경향이 억제되도록, 가열로(15) 중심축에 대해 기울어진 자세로 유지시켜 광섬유 모재(30)를 제조한다. 이로써 새로 제조된 광섬유 모재(30)는 코어부 편심이 억제된다.Next, the optical fiber base material 30 is manufactured by holding the pipe 23 in the inclined attitude with respect to the central axis of the heating furnace 15 so that the eccentricity tendency of the core part is suppressed. As a result, the newly manufactured optical fiber base material 30 is suppressed from the core part eccentricity.

예를 들어 가열로(15)의 히터를 교환한 전후에는, 가열로(15) 내의 온도 분포가 바뀐다. 때문에 히터 교환 직후에 제조한 광섬유 모재(30)에 의해 코어부의 편심 경향을 파악하고, 다음부터는 그 편심 경향에 대응하여 파이프(23)를 기울인 자세로 유지시켜 광섬유 모재(30)를 제조하면 된다.For example, before and after replacing the heater of the heating furnace 15, the temperature distribution in the heating furnace 15 changes. Therefore, the eccentric tendency of the core part is grasped | ascertained by the optical fiber base material 30 manufactured immediately after replacing a heater, and the optical fiber base material 30 may be manufactured by maintaining the pipe 23 in the inclined posture correspondingly to the eccentric tendency from then on.

또 가열로(15)의 온도 분포는, 히터의 경시열화에 의해 경시적으로 변화한다. 때문에 직전에 제조한 광섬유 모재(30)의 코어부 편심 경향을 확인한 상태에서, 다음에 제조할 때의 파이프(23) 기울기 방향 및 기울기 양을 미세 조정하는 것이 바람직하다.Moreover, the temperature distribution of the heating furnace 15 changes with time by deterioration of a heater. For this reason, it is preferable to fine-adjust the inclination direction and the inclination amount of the pipe 23 at the time of next manufacture, in the state which confirmed the core part eccentricity tendency of the optical fiber base material 30 manufactured just before.

여기서 ‘둘째’에 관한 광섬유 모재의 제조방법에 이용하는 장치는, 도 1, 2에 나타내는 제조장치(10)와 거의 동일하다. 단, 가열로(15) 내의 온도 분포를 계측할 필요가 있으므로, 온도센서(18)는, 가열로(15) 내 온도를 모니터링하는 것으로서 적어도 1 개 구비하면 된다.The apparatus used for the manufacturing method of the optical fiber base material which concerns on the "second" here is substantially the same as the manufacturing apparatus 10 shown to FIG. However, since it is necessary to measure the temperature distribution in the heating furnace 15, the temperature sensor 18 should just be equipped with at least 1 as monitoring the temperature in the heating furnace 15. As shown in FIG.

(실시예)(Example)

다음에 구체적으로 실시한 실시예에 대해 설명한다.Next, the Example concretely implemented is demonstrated.

-제 1 실시예-First Embodiment

파이프의 굴곡에 관해, 실제로 실시한 실시예에 대해 설명한다.With regard to the bending of the pipe, an embodiment actually carried out will be described.

우선 실시예 1-1로서, 상기의 제조장치(10)를 이용하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 이 때 사용한 파이프(23)는 외경 179.4mm, 내경 54.1mm의 것이며, 막대(27)는 외경 51.4mm의 것이다. 파이프(23)의 내주면과 막대(27) 둘레면과의 평균 틈새는 1.35mm이다. 또 제조조건으로서, 파이프(23) 이송속도와 막대(27) 이송속도를 모두 14.4m/min로 한다.First, as Example 1-1, the optical fiber base material 30 is manufactured using the manufacturing apparatus 10 mentioned above. The pipe 23 used at this time is an outer diameter of 179.4 mm and an inner diameter of 54.1 mm, and the rod 27 is an outer diameter of 51.4 mm. The average clearance between the inner circumferential surface of the pipe 23 and the circumferential surface of the rod 27 is 1.35 mm. In addition, as a manufacturing condition, both the feed rate of the pipe 23 and the feed rate of the rod 27 are 14.4 m / min.

실시예 1-1에서는, 눈금(28)이 파이프유지부(12)의 휨 방향과 일치하도록, 파이프(23) 방향을 맞추어 상기 파이프유지부(12)에 유지시킴과 동시에, 파이프(23)와 막대(27)의 일체화 중에는 파이프(23) 기울기를 교정한다.In Example 1-1, while the scale 28 is kept in the pipe holding portion 12 in the pipe holding direction 12 so as to coincide with the bending direction of the pipe holding portion 12, the pipe 23 and The pipe 23 tilts during the integration of the rod 27.

또 비교예 1-1로서 상기 제조장치(10)를 이용하여, 동일 형상의 파이프(23) 및 막대(27)를 사용하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 제조조건은, 실시예 1-1의 경우와 동일하지만, 비교예 1-1에서는, 눈금(28)이 파이프유지부(12)의 휨 방향과 일치하지 않도록, 파이프(23)를 파이프유지부(12)에 유지시킨다. 또 일체화 중에는 파이프(23)의 기울기 교정을 하지 않는다.As the comparative example 1-1, the optical fiber base material 30 is manufactured using the pipe 23 and the rod 27 of the same shape using the said manufacturing apparatus 10. FIG. The manufacturing conditions are the same as in the case of Example 1-1, but in Comparative Example 1-1, the pipe 23 is connected to the pipe holding portion so that the scale 28 does not coincide with the bending direction of the pipe holding portion 12. 12). In addition, during the integration, the inclination of the pipe 23 is not corrected.

또한 비교예 1-2로서 상기 제조장치(10)를 이용하여, 동일 형상의 파이프(23) 및 막대(27)를 사용하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 제조조건은, 실시예 1-1의 경우와 동일하지만, 비교예 1-2에서는, 눈금(28)이 파이프유지부(12)의 휨 방향과 일치하지 않도록, 파이프(23)를 파이프유지부(12)에 유지시킨다. 또 일체화 중에는 파이프(23)의 기울기를 교정한다.In addition, as the comparative example 1-2, the optical fiber base material 30 is manufactured using the pipe 23 and the rod 27 of the same shape using the said manufacturing apparatus 10. FIG. The manufacturing conditions are the same as in the case of Example 1-1, but in Comparative Example 1-2, the pipe 23 is connected to the pipe holding part so that the scale 28 does not coincide with the bending direction of the pipe holding part 12. 12). In addition, the slope of the pipe 23 is corrected during integration.

도 10∼도 12는 각각, 실시예 1-1, 비교예 1-1 및 1-2에서 제조한 광섬유 모재(30)의 단면에 있어서, 제조 개시부터 종료까지의 코어부 편심량의 변이를 나타낸다.10-12, the cross section of the optical fiber base material 30 manufactured in Example 1-1, Comparative Example 1-1, and 1-2 respectively shows the variation of the core part eccentricity from manufacture start to finish.

도 11에 나타내는 바와 같이, 파이프(23)의 굴곡을 고려하지 않고 파이프(23)를 유지시키며, 또 일체화 중에 파이프(23)의 기울기를 교정하지 않은 경우, 코어부는 X방향 및 Y방향으로 크게 편심된다.As shown in FIG. 11, when the pipe 23 is held without considering the bending of the pipe 23 and the inclination of the pipe 23 is not corrected during integration, the core portion is greatly eccentric in the X and Y directions. do.

또 도 12에 나타내는 바와 같이, 파이프(23)의 굴곡을 고려하지 않고 파이프(23)를 유지시키기는 하지만, 일체화 중에는 파이프(23)의 기울기를 교정한 경우, 코어부는 한 방향(Y방향)으로 편심이 억제되기는 해도, 다른 방향(X방향)으로는 크게 편심된다.As shown in FIG. 12, although the pipe 23 is held without considering the bending of the pipe 23, when the inclination of the pipe 23 is corrected during integration, the core portion is in one direction (Y direction). Although eccentricity is suppressed, it is largely eccentric in the other direction (X direction).

이에 반해 도 10에 나타내는 바와 같이, 파이프(23)의 굴곡을 고려하여 그 파이프(23)를 유지시킴과 동시에, 일체화 중에 파이프(23) 기울기를 교정한 경우는, 코어부의 편심이 억제됨을 알 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 10, when the pipe 23 is held in consideration of the bending of the pipe 23 and the slope of the pipe 23 is corrected during integration, the core eccentricity is suppressed. have.

도 13은, 실시예 1-1 및 비교예 1-1, 1-2에서 제조한 광섬유 모재(30)의 코어부 편심을, 광섬유의 코어 편심으로 환산한 결과를 비교하는 그래프이다. 이에 따르면, 실시예 1-1의 코어 편심량은, 각 비교예의 코어 편심량에 비해 대폭으로 작아졌다.FIG. 13 is a graph comparing the results of converting the core portion eccentricity of the optical fiber base materials 30 manufactured in Example 1-1 and Comparative Examples 1-1 and 1-2 into the core eccentricity of the optical fiber. According to this, the amount of core eccentricity of Example 1-1 was significantly smaller than the amount of core eccentricity of each comparative example.

따라서 파이프(23)의 굴곡을 고려하여 유지시킴과 동시에, 일체화 중에 파이프(23) 기울기를 교정함으로써, 코어부의 편심 억제가 가능하다.Therefore, by maintaining the pipe 23 in consideration of the bending and correcting the inclination of the pipe 23 during integration, it is possible to suppress the eccentricity of the core portion.

-실시예 2-Example 2-

가열로의 온도분포에 관해 실제로 실시한 실시예에 대해 설명한다. 우선 비교예 2-1로서, 상기 제조장치(10)를 이용하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 이 때 사용한 파이프(23)는 외경 180mm, 내경 54mm의 것이며, 막대(27)는 외경 50mm의 것이다. 파이프(23)의 내주면과 막대(27) 둘레면과의 평균 틈새는 2.32mm이다. 또 제조조건으로서, 유리처리량(단위시간당 일체화되는 파이프(23) 및 막대(27)의 총 유리량)을, 360ml/min으로 한다. 여기서 유리처리량은, 파이프(23) 및 막대(27)의 가열로(15)에의 이송속도를 조정함으로써 조정한다. 또한 파이프(23)의 이송속도와 막대(27) 이송속도의 비인 속도비를, 0.90으로 설정한다.The Example actually performed about the temperature distribution of a heating furnace is demonstrated. First, as the comparative example 2-1, the optical fiber base material 30 is manufactured using the said manufacturing apparatus 10. FIG. The pipe 23 used at this time has an outer diameter of 180 mm and an inner diameter of 54 mm, and the rod 27 has an outer diameter of 50 mm. The average clearance between the inner circumferential surface of the pipe 23 and the circumferential surface of the rod 27 is 2.32 mm. Moreover, as manufacturing conditions, glass processing amount (total glass amount of the pipe 23 and the rod 27 integrated per unit time) shall be 360 ml / min. Here, the glass processing amount is adjusted by adjusting the conveyance speed of the pipe 23 and the rod 27 to the heating furnace 15. Moreover, the speed ratio which is the ratio of the feed speed of the pipe 23 and the feed speed of the rod 27 is set to 0.90.

또 비교예 2-1에서는, 가열로(15)의 중심축에 대해 각각 거의 동축으로 되도록 파이프(23)와 막대(27)를 유지시켜 양자를 일체화시킨다. 그리고 일체화 중에는, 파이프(23)와 가열로(15) 중심축과의 동축 상태가 유지되도록 파이프(23)의 자세를 교정한다.In Comparative Example 2-1, the pipe 23 and the rod 27 are held so as to be substantially coaxial with respect to the central axis of the heating furnace 15, thereby integrating both. During the integration, the attitude of the pipe 23 is corrected so that the coaxial state between the pipe 23 and the central axis of the heating furnace 15 is maintained.

도 14는, 비교예에서 제조한 광섬유 모재(30)의 단면에서, 제조 개시부터 종료까지의 코어부 편심량의 변이를 나타낸다. 도 14에 따르면, 비교예에서는 X방향의 음(-) 쪽으로 코어부가 편심되는 경향이 있음을 알 수 있다.FIG. 14: shows the variation of the core part eccentricity from manufacture start to the end in the cross section of the optical fiber base material 30 manufactured by the comparative example. According to FIG. 14, it can be seen that in the comparative example, the core part tends to be eccentric toward the negative (-) side in the X direction.

다음으로 실시예 2-1로서, 상기 비교예의 경우와 동일한 제조장치(10)를 이용하여, 동일한 형상의 파이프(23) 및 막대(27)를 사용하여 광섬유 모재(30)를 제조한다. 제조장치(10)가 동일하므로, 실시예의 것을 제조했을 때의 가열로(15) 내 온도 분포는, 비교예 2-1의 것을 제조했을 때와 마찬가지이다.Next, as Example 2-1, the optical fiber base material 30 is manufactured using the pipe 23 and the rod 27 of the same shape using the same manufacturing apparatus 10 as the case of the said comparative example. Since the manufacturing apparatus 10 is the same, the temperature distribution in the heating furnace 15 at the time of manufacturing the thing of an Example is the same as when manufacturing the thing of the comparative example 2-1.

실시예 2-1에서는, 상기 비교예 2-1의 광섬유 모재(30)에서 코어부 편심 상태에 기초하여 파이프(23)를, 가열로(15) 중심축에 대해 X방향의 음 쪽으로, 0.3mm/m의 기울기 양으로 기운 자세로 유지시킨다. 여기서 막대(27)는, 가열로(15)의 중심축과 거의 동축이 되는 자세로 유지시킨다. 이 상태에서 파이프(23)와 막대(27)를 일체화시켜 광섬유 모재(30)를 제조한다. 그리고 파이프(23)의 자세가 당초 유지된 자세를 유지하도록, 일체화 중에는 그 파이프(23)의 자세를 교정한다. In Example 2-1, the pipe 23 is 0.3 mm in the negative direction in the X direction with respect to the central axis of the heating furnace 15 in the optical fiber base material 30 of Comparative Example 2-1, based on the core eccentric state. Keep in a tilted position with a slope of / m. The rod 27 is maintained in the attitude | position which becomes substantially coaxial with the center axis of the heating furnace 15 here. In this state, the pipe 23 and the rod 27 are integrated to manufacture the optical fiber base material 30. And the attitude | position of the pipe 23 is correct | amended during integration so that the attitude | position of the pipe 23 may maintain the attitude | position which was originally maintained.

도 15는 실시예 2-1에서 제조한 광섬유 모재(30)의 단면에서, 제조 개시에서 종료까지의 코어부 편심량 변이를 나타낸다. 도 15에 의하면, 비교예 2-1에서는, X방향의 음 쪽으로 코어부가 편심되는 경향이었지만, 실시예 2-1에서는 그 경향이 억제되어 코어부 편심량이 작아졌음을 알 수 있다.FIG. 15 shows a variation in core portion eccentricity from the start of manufacture to the end in the cross section of the optical fiber base material 30 manufactured in Example 2-1. According to FIG. 15, in the comparative example 2-1, the core part tended to be eccentric toward the negative direction of the X direction, but in Example 2-1, the tendency was suppressed and the amount of core part eccentricity became small.

다음으로 도 16은, 실시예 2-1 및 비교예 2-1에서 제조한 광섬유 모재(30)의 코어부 편심을, 광섬유 코어 편심으로 환산한 결과를 비교하는 그래프이다. 도 16에 나타내는 바와 같이, 실시예 2-1의 코어 편심량은, 비교예 2-1의 코어 편심량에 비해 대폭으로 작아졌다.Next, FIG. 16 is a graph which compares the result which converted the core part eccentricity of the optical fiber base material 30 manufactured by Example 2-1 and the comparative example 2-1 into the optical fiber core eccentricity. As shown in FIG. 16, the amount of core eccentricity of Example 2-1 was significantly smaller than the amount of core eccentricity of Comparative Example 2-1.

따라서 가열로(15) 내의 온도 분포 불균일성에 의한 코어부 편심은, 파이프(23)를 가열로(15) 중심축에 대해 적절히 기울인 자세로 유지시킴으로써 해소할 수 있다.Therefore, the core part eccentricity by the temperature distribution nonuniformity in the heating furnace 15 can be eliminated by maintaining the pipe 23 in the attitude | position inclined suitably with respect to the central axis of the heating furnace 15. FIG.

본 발명은, 이른바 로드-인 튜브(Rod-In Tube)법에 의한 광섬유 모재의 제조방법, 제조장치, 및 그 제조방법으로 제조된 광섬유 모재, 광섬유에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber base material by a so-called Rod-In Tube method, a manufacturing apparatus, and an optical fiber base material and an optical fiber manufactured by the method.

Claims (15)

석영파이프를 현수상태로 유지시키는 파이프유지 단계와,A pipe holding step of keeping the quartz pipe suspended; 코어부를 포함하는 석영막대를 상기 파이프에 삽입시킨 상태로 유지시키는 막대유지 단계와,A rod holding step of maintaining the quartz rod including the core portion inserted into the pipe; 상기 유지된 파이프 및 막대를, 중심축 방향이 수직방향인 고리형 가열로에 의해, 그 축 방향으로 순차 가열하는 가열단계와,A heating step of sequentially heating the retained pipes and rods in an axial direction thereof by an annular heating furnace having a central axis direction perpendicular thereto; 상기 가열된 파이프와 막대를 그 축 방향으로 순차 융착시켜 일체화시키는 일체화단계와,An integration step of integrating the heated pipes and rods sequentially by fusion in the axial direction thereof; 상기 파이프와 막대의 일체화 진행에 수반하는 상기 파이프의 기울기 변화를 검지하는 검지단계와,A detecting step of detecting a change in inclination of the pipe accompanying the integration of the pipe and the rod; 상기 파이프와 막대를 일체화시키는 도중에, 상기 검지된 기울기의 변화를 상쇄하도록 상기 파이프 기울기를 교정하는 교정단계를 포함하는 광섬유 모재의 제조방법.And a calibrating step of calibrating the pipe inclination to cancel the change in the detected inclination during the integration of the pipe and the rod. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 파이프유지 단계는, 상기 유지된 파이프의 중심축이 상기 가열로 중심축과 동축이 되도록 상기 파이프의 위치를 결정하는, 광섬유 모재의 제조방법.In the pipe holding step, the position of the pipe is determined so that the central axis of the maintained pipe is coaxial with the central axis of the furnace. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 파이프의 위치결정은, 아랫단에 다림추를 단 실을 이용하여, 그 실을 상기 파이프 측방 위치에 내려트리고, 상기 파이프 축방향을 상기 실이 이어지는 방향으로 일치시키는 위치조정을 복수의 방향에서 실시함으로써 이루어지는, 광섬유 모재의 제조방법.Positioning of the pipe is performed by lowering the thread to the side of the pipe using a thread ironed at a lower end, and performing a position adjustment in a plurality of directions to match the pipe axial direction to the direction in which the thread continues. A method for producing an optical fiber base material. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 파이프의 위치결정은, 상기 파이프 측방 위치에서 수직방향으로 서로 떨어져 배치된 복수의 레이저 변위계를 이용하며, 그 각 레이저 변위계로부터 파이프로 레이저광을 조사하고, 이 각 레이저 변위계가 계측한 상기 파이프까지의 거리를 서로 일치시키는 위치조정을 복수의 방향에서 실시함으로써 이루어지는, 광섬유 모재의 제조방법.Positioning of the pipe uses a plurality of laser displacement meters arranged in a vertical direction apart from each other in the pipe side position, irradiates a laser beam from the respective laser displacement meters to the pipes, and up to the pipes measured by the respective laser displacement meters. A method for manufacturing an optical fiber base material, which is performed by performing a position adjustment in a plurality of directions so as to coincide with each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 파이프는, 유효부와, 그 유효부 상단에 접합된 더미파이프로 이루어지며, 상기 파이프는, 상기 더미파이프가 파이프유지부로 유지됨으로써 현수상태로 유지되고,The pipe is composed of an effective part and a dummy pipe joined to an upper end of the effective part, and the pipe is held in a suspended state by the dummy pipe being held by the pipe holding part. 상기 유효부와 더미파이프의 굴곡 정도를 판정하는 파이프판정 단계를 추가로 포함하며,Further comprising a pipe determination step of determining the degree of bending of the effective portion and the dummy pipe, 상기 파이프유지 단계는, 상기 파이프판정 단계의 판정결과에 기초하여, 상기 유효부 중심축과 더미파이프 중심축의 2 축을 포함하는 평면과, 상기 파이프를 유지한 파이프유지부의 휨에 의해 상기 유효부가 수직방향에 대해 기우는 방향이 평행으로 되도록, 상기 파이프를 유지시키는 단계인, 광섬유 모재의 제조방법.The pipe holding step includes a plane including two axes of the effective part central axis and the dummy pipe central axis based on the determination result of the pipe determining step, and the effective part being vertically oriented by the bending of the pipe holding part holding the pipe. And holding the pipe so that the tilting direction is parallel to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가열로 내에서 둘레방향의 온도분포를 측정하는 온도측정단계를 추가로 구비하며,Further comprising a temperature measuring step of measuring the temperature distribution in the circumferential direction in the heating furnace, 상기 막대유지 단계는, 상기 막대를, 상기 가열로의 중심축과 거의 동축상태로 유지시키는 단계이며,The rod holding step is to maintain the rod in a state substantially coaxial with the central axis of the heating furnace, 상기 파이프유지 단계는, 상기 측정단계의 측정결과에 기초하여 상기 파이프를, 상기 가열로의 중심축에 대해 상기 가열로 내의 온도가 가장 높은 위치의 방향으로 기울어진 상태로 유지시키는 단계인, 광섬유 모재의 제조방법.The pipe holding step is a step of maintaining the pipe in a state in which the pipe is inclined in the direction of the position where the temperature in the heating furnace is the highest with respect to the central axis of the heating furnace based on the measurement result of the measuring step. Manufacturing method. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 막대유지 단계는, 상기 막대를, 상기 가열로의 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 단계이며,The rod holding step is to maintain the rod in a state substantially coaxial with respect to the central axis of the heating furnace, 상기 파이프유지 단계는, 상기 파이프를, 상기 가열로의 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 단계이고,The pipe holding step is to maintain the pipe substantially coaxial with respect to the central axis of the furnace, 상기 일체화단계 후에, 상기 파이프와 막대를 일체화시킨 일체화물에 있어서, 상기 가열로 중심축에 대한 상기 코어부의 편심방향을 계측하는 계측단계와,A measuring step of measuring an eccentric direction of the core portion with respect to the central axis of the heating furnace in the integrated package in which the pipe and the rod are integrated after the integration step; 제 2 막대를, 상기 가열로 중심축에 대해 거의 동축 상태로 유지시키는 제 2 막대유지 단계와,A second rod holding step of holding the second rod substantially coaxial with respect to the central axis of the furnace; 제 2 파이프를, 계측단계의 계측결과에 기초하여, 상기 가열로 중심축에 대해 상기 일체화물의 코어부 편심방향으로 기울어진 상태로 유지시키는 제 2 파이프유지 단계와,A second pipe holding step of holding the second pipe in an inclined state in an eccentric direction of the core part of the integrated cargo with respect to the central axis of the heating furnace, based on the measurement result of the measuring step; 상기 유지된 제 2 파이프와 제 2 막대를 상기 가열로로 가열하는 제 2 가열단계와,A second heating step of heating the retained second pipe and the second rod with the heating furnace, 상기 가열된 제 2 파이프와 제 2 막대를 일체화시키는 제 2 일체화 단계를 추가로 포함하는, 광섬유 모재의 제조방법.And a second integration step of integrating the heated second pipe and the second rod. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 막대는, 유효부와, 이 유효부 상단에 융착 접합된 상측 더미막대와, 그 유효부 하단에 융착 접합된 하측 더미막대로 이루어지며,The rod is composed of an effective portion, an upper dummy rod fusion-bonded to the upper end of the effective portion, and a lower dummy rod fusion-bonded to the lower end of the effective portion, 상기 막대유지 단계 전에, 상기 막대의 굴곡량이 소정 굴곡량 이하인지 여부를 판정하는 막대판정 단계를 추가로 포함하는, 광섬유 모재의 제조방법.Before the rod holding step, further comprising a bar determination step of determining whether the bending amount of the bar is less than a predetermined bending amount, the manufacturing method of the optical fiber base material. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 소정의 굴곡량은 1mm/m인, 광섬유 모재의 제조방법.The predetermined amount of bending is 1mm / m, the manufacturing method of the optical fiber base material. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 막대판정 단계의 판정결과에 기초하여, 상기 막대의 굴곡량이 상기 소정 굴곡량보다 클 경우에, 그 굴곡량이 상기 소정의 굴곡량 이하로 되도록, 상기 막대와 상기 상측 더미막대 및/또는 상기 하측 더미막대의 융착상태를 수정하는 수정단계를 추가로 포함하는, 광섬유 모재의 제조방법.Based on the determination result of the bar determination step, when the bending amount of the rod is larger than the predetermined bending amount, the rod and the upper dummy bar and / or the lower dummy so that the bending amount is less than or equal to the predetermined bending amount. Further comprising a modification step of correcting the fusion state of the rod, the optical fiber base material manufacturing method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 막대와, 상기 상측 더미막대 및/또는 상기 하측 더미막대는, 그들 축을 거의 수평으로 하여 융착 접합되는, 광섬유 모재의 제조방법.The rod, the upper dummy bar and / or the lower dummy bar are fusion bonded together with their axes substantially horizontal. 제 1 항 기재의 제조방법으로 작성한 광섬유 모재.The optical fiber base material created by the manufacturing method of Claim 1. 제 1 항 기재의 제조방법으로 작성한 광섬유 모재를 인출한 광섬유.The optical fiber which extracted the optical fiber base material created by the manufacturing method of Claim 1. 석영파이프와 석영막대를 가열하여 융착에 의해 일체화시키는 광섬유 모재의 제조장치에 있어서,In the optical fiber base material manufacturing apparatus which heats a quartz pipe and a quartz rod and integrates it by fusion | melting, 상기 파이프를 유지하며, 그 유지한 파이프를 그 축방향으로 이동시키는 파이프유지부와,A pipe holding portion which holds the pipe and moves the pipe in the axial direction; 상기 파이프유지부에 의해 이동되는 파이프를, 그 축방향으로 순차 가열하는 고리형 가열로와,An annular heating furnace that sequentially heats the pipe moved by the pipe holding unit in the axial direction thereof; 상기 파이프유지부에 의해 이동되는 파이프의 기울기 변화를 검지하는 검지수단을 구비하는 광섬유 모재의 제조장치.Apparatus for manufacturing an optical fiber base material having a detecting means for detecting a change in inclination of a pipe moved by the pipe holding part. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 검지수단의 검지결과에 기초하여, 상기 파이프의 기울기 변화를 상쇄하도록 상기 파이프유지부에 유지된 파이프의 기울기를 교정하는 변위수단을 추가로 구비하는, 광섬유 모재의 제조장치.And a displacement means for correcting the inclination of the pipe held in the pipe holding portion so as to cancel the change in the inclination of the pipe on the basis of the detection result of the detection means.
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