JPH09118536A - Method and apparatus for inspecting shape at front end of burner of an apparatus for producing optical fiber preform - Google Patents

Method and apparatus for inspecting shape at front end of burner of an apparatus for producing optical fiber preform

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JPH09118536A
JPH09118536A JP27860895A JP27860895A JPH09118536A JP H09118536 A JPH09118536 A JP H09118536A JP 27860895 A JP27860895 A JP 27860895A JP 27860895 A JP27860895 A JP 27860895A JP H09118536 A JPH09118536 A JP H09118536A
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JP
Japan
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burner
tube
optical fiber
fiber preform
measuring instrument
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JP27860895A
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Japanese (ja)
Inventor
Junichi Takeda
純一 武田
Toshihiro Mikami
俊宏 三上
Yukio Komura
幸夫 香村
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners

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  • Materials Engineering (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for inspecting the shape at the front end of the burner of an apparatus for producing an optical fiber preform capable of inspecting the shape at the front end from the front end side of a multipipe burner. SOLUTION: A CCD camera 13 as a contactless type measuring device is arranged on the side facing the front end of the multipipe burner 5 in a vessel 1. This CCD camera 13 is so set that the axial direction of the multipipe burner 5 and the measuring direction of the CCD camera 13 are paralleled with each other. The shape at the front end of the multipipe burner 5 is inspected by the CCD camera 13 in such a state.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ＶＡＤ法により光
ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバー
ナ先端形状検査方法及び装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a burner tip shape inspection method and apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing an optical fiber preform by the VAD method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図９は、光ファイバ母材を製造する従来
の光ファイバ母材製造装置の構造を示したものである。2. Description of the Related Art FIG. 9 shows the structure of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing an optical fiber preform.

【０００３】該光ファイバ母材製造装置は容器１を備
え、該容器１の上部の開口部２から支持棒３が挿入さ
れ、該支持棒３は回転・引上げ機構４で回転しつつ引上
げられるようになっている。支持棒３の下端に対向する
ように容器１内の下部には、コア部形成用多重管バーナ
５とクラッド部形成用多重管バーナ６が該容器１を貫通
して配置され、これらバーナ５，６の先端の火炎中で合
成したＳｉＯ2 等のガラス微粒子を支持棒３の下端をタ
ーゲットとして付着させて多孔質の光ファイバ母材７を
成長させるようになっている。バーナ５，６の位置とは
光ファイバ母材７を間にして反対側の容器１の部分に
は、排気口８が設けられている。The optical fiber preform manufacturing apparatus comprises a container 1, into which a supporting rod 3 is inserted from an opening 2 in the upper portion of the container 1, so that the supporting rod 3 is pulled up while being rotated by a rotating / pulling mechanism 4. It has become. A core portion-forming multi-tube burner 5 and a cladding portion-forming multi-tube burner 6 are arranged so as to penetrate the container 1 at the lower part of the container 1 so as to face the lower end of the support rod 3, and these burners 5, 5 Glass microparticles such as SiO2 synthesized in the flame at the tip of 6 are attached with the lower end of the support rod 3 as a target to grow a porous optical fiber preform 7. An exhaust port 8 is provided in the portion of the container 1 opposite to the positions of the burners 5 and 6 with the optical fiber preform 7 interposed therebetween.

【０００４】このような光ファイバ母材製造装置におい
ては、原料ガスは燃焼ガス及び不活性ガスとともにバー
ナー５，６に供給され、これらバーナー５，６の先端の
火炎の中で反応してガラス微粒子となり、回転・引上げ
機構４で回転しつつある支持棒３の下端をターゲットと
して該ガラス微粒子が付着されて多孔質の光ファイバ母
材７が形成される。光ファイバ母材７の成長につれて回
転・引上げ機構４により該光ファイバ母材７は引上げら
れる。In such an optical fiber preform producing apparatus, the raw material gas is supplied to the burners 5 and 6 together with the combustion gas and the inert gas, and reacts in the flames at the tips of these burners 5 and 6 to react with the glass particles. Then, the glass particles are attached to the lower end of the supporting rod 3 which is being rotated by the rotating / pulling mechanism 4 as a target to form the porous optical fiber preform 7. As the optical fiber preform 7 grows, the optical fiber preform 7 is pulled up by the rotation / pulling mechanism 4.

【０００５】ここで用いられている多重管バーナ５，６
は、外径の異なる複数本の石英直管を同心配置して溶接
して製作するため、最外管に対して内管は偏心や斜めに
なり溶接されることがある。Multi-tube burners 5, 6 used here
Since a plurality of quartz straight tubes having different outer diameters are concentrically arranged and welded to each other, the inner tube may be eccentrically or obliquely welded to the outermost tube.

【０００６】ところで、光ファイバの屈折率分布は、支
持棒３の下端をターゲットとして堆積するガラス微粒子
と屈折率調整剤の分布により決定される。By the way, the refractive index distribution of the optical fiber is determined by the distribution of the glass fine particles and the refractive index adjusting agent deposited with the lower end of the support rod 3 as the target.

【０００７】従来、この調整は多重管バーナ５を例にと
って説明すると、図１０に示すように、多重管バーナ５
の後部にレーザ光源９をフレーム１０で、該レーザ光源
９から出るレーザ光１１が多重管バーナ５の中心を通る
ように連結し、該多重管バーナ５の中心を通り抜けたレ
ーザ光１１が光ファイバ母材７の先端面に当たる位置を
測定器１２で測定して、該多重管バーナ５の姿勢を変更
することにより行っていた（特開昭５５−１１６６３７
号）。Conventionally, this adjustment will be described taking the multi-tube burner 5 as an example. As shown in FIG.
A laser light source 9 is connected to a rear part of the frame 10 so that a laser light 11 emitted from the laser light source 9 passes through the center of the multi-tube burner 5, and the laser light 11 passing through the center of the multi-tube burner 5 is an optical fiber. This is done by measuring the position of the base material 7 which is in contact with the tip surface with a measuring device 12 and changing the posture of the multi-tube burner 5 (Japanese Patent Laid-Open No. 55-116637).
issue).

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多重管
バーナ５，６は石英で製作されているため、容器１内に
斜めに設置されると、自重やガス供給用配管から受ける
負荷により変形し、これら多重管バーナ５，６の各内管
が偏心した状態になることがある。そのため、光ファイ
バ母材７の試作を多重管バーナ５，６の姿勢の調整をし
ながら行っても、原料の流れが変化するため、目標の屈
折率分布が得られない場合がある。However, since the multi-tube burners 5 and 6 are made of quartz, if they are installed in the container 1 at an angle, they will be deformed by their own weight or a load received from the gas supply pipe, The inner tubes of these multi-tube burners 5, 6 may be eccentric. Therefore, even if the trial manufacture of the optical fiber preform 7 is performed while adjusting the postures of the multi-tube burners 5 and 6, the target refractive index distribution may not be obtained because the flow of the raw material changes.

【０００９】また、従来の検査方法では、多重管バーナ
５，６の各内管が偏心した状態になった場合、または多
重管バーナ５，６の先端形状が変形した場合、その検査
ができない問題点があった。Further, in the conventional inspection method, if the inner tubes of the multi-tube burners 5, 6 are eccentric, or if the tip shapes of the multi-tube burners 5, 6 are deformed, the inspection cannot be performed. There was a point.

【００１０】また、母材製造中に生じたガラス微粒子が
多重管バーナ５，６の先端に付着して変形することがあ
る。そのため、光ファイバ母材７を数本製造している間
に多重管バーナ５，６の先端形状が変形し、それにより
ガスの流れが変化することで屈折率分布が変化してしま
い、不良品が製造される。従来の検査方法では、このよ
うな多重管バーナ５，６の先端形状の変形を検出できな
い問題点があった。Further, glass particles produced during the production of the base material may adhere to the tips of the multi-tube burners 5 and 6 to be deformed. Therefore, the tip shapes of the multi-tube burners 5 and 6 are deformed during the production of several optical fiber preforms 7, which changes the flow of gas and changes the refractive index distribution. Is manufactured. The conventional inspection method has a problem that such deformation of the tip shapes of the multi-tube burners 5 and 6 cannot be detected.

【００１１】本発明の目的は、多重管バーナの先端側か
ら先端形状の検査を行える光ファイバ母材製造装置のバ
ーナ先端形状検査方法及び装置を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a burner tip shape inspection method and apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus which can inspect the tip shape from the tip side of a multi-tube burner.

【００１２】本発明の他の目的は、検査時の設定を容易
に行える光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査
方法及び装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a burner tip shape inspection method and apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus, which can be easily set during inspection.

【００１３】本発明の他の目的は、多重管バーナの先端
形状の検査時の測定値の補正を容易に行える光ファイバ
母材製造装置のバーナ先端形状検査方法を提供すること
にある。Another object of the present invention is to provide a burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus, which can easily correct a measurement value when inspecting the tip shape of a multi-tube burner.

【００１４】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、容器内で多重
管バーナの火炎中で合成したガラス微粒子をターゲット
に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファ
イバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法の改良に関
する。The present invention is directed to an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container on a target. The improvement of the burner tip shape inspection method.

【００１５】請求項１に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、多重管バーナの先
端に対向する側に非接触式測定器を配置し、多重管バー
ナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向とが平行にな
るように該非接触式測定器を動かしてその設定をし、か
かる状態で非接触式測定器により多重管バーナの先端形
状の検査を行うことを特徴とする。In the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a first aspect of the present invention, a non-contact type measuring device is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring device is arranged in the direction of the multi-tube burner axis. Characterized by moving the non-contact measuring instrument so that it is parallel to the measuring direction of the non-contact measuring instrument and setting it, and in this state, the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact measuring instrument. And

【００１６】なお、本発明で非接触式測定器の測定方向
とは、該非接触式測定器が測定対象物に向かう方向であ
る。In the present invention, the measurement direction of the non-contact type measuring device is the direction in which the non-contact type measuring device faces the object to be measured.

【００１７】このようにして検査すると、多重管バーナ
の先端側から先端形状の検査を行うことができる。この
ため多重管バーナの各内管の偏心、各内管の先端形状の
変形等を容易に検査することができる。特に、この検査
方法では、多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の
測定方向とを平行にして測定を行うので、測定結果に多
重管バーナの角度による誤差が出るのを防止できる。When the inspection is performed in this manner, the tip shape of the multi-tube burner can be inspected from the tip side. Therefore, the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like can be easily inspected. In particular, in this inspection method, since the pipe axis direction of the multi-tube burner and the measurement direction of the non-contact type measuring device are parallel to each other, the measurement result can be prevented from causing an error due to the angle of the multi-tube burner.

【００１８】また、この検査方法では、非接触式測定器
側を動かして測定時の調整をするので、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査でき、このため不良品を生む原因
となる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ母
材の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, in this inspection method, since the non-contact type measuring instrument side is moved for adjustment at the time of measurement, the state of the tip of the multi-tube burner with the multi-tube burner assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus is observed. It is possible to inspect, and therefore, the defect or deformation of the tip shape of the burner which causes a defective product can be detected in advance before manufacturing the optical fiber preform.

【００１９】請求項２に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、多重管バーナの先
端に対向する側に非接触式測定器を配置し、該非接触式
測定器にはその測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ
光源を連動可能に併設し、多重管バーナの管軸方向に位
置を異にし且つピンホールが整列するように該多重管バ
ーナに設けられている複数のピンホール形成体の各ピン
ホールにレーザ光が通るようにレーザ光源及び非接触式
測定器を一緒に動かしてその設定をし、かかる状態で非
接触式測定器により多重管バーナの先端形状の検査を行
うことを特徴とする。In the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a second aspect of the present invention, a non-contact type measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument has the non-contact type measuring instrument. A plurality of pins provided on the multi-tube burner are arranged so that a laser light source that emits a laser beam is provided in parallel with the measurement direction so that the positions are different in the tube axis direction of the multi-tube burner and the pinholes are aligned. Move the laser light source and the non-contact type measuring instrument together so that the laser light passes through each pinhole of the hole forming body, and set them.In this state, inspect the tip shape of the multi-tube burner with the non-contact type measuring instrument. It is characterized by performing.

【００２０】このように、非接触式測定器にその測定方
向と平行にレーザ光を出すレーザ光源を一体化して併設
し、多重管バーナにはその管軸方向に位置を異にし且つ
ピンホールが整列するように複数のピンホール形成体を
設け、これらピンホール形成体の各ピンホールにレーザ
光源からのレーザ光が通るようにレーザ光源及び非接触
式測定器を一緒に動かしてその設定をすると、多重管バ
ーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向とを容易に
平行に設定することができる。As described above, the non-contact type measuring device is integrally provided with a laser light source which emits a laser beam in parallel with the measuring direction, and the multi-tube burner has different positions in the axial direction and pin holes. When a plurality of pinhole forming bodies are provided so as to be aligned, the laser light source and the non-contact type measuring instrument are moved together so that the laser light from the laser light source passes through each pinhole of these pinhole forming bodies, and the setting is performed. The tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact type measuring device can be easily set in parallel.

【００２１】請求項３に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法では、非接触式測定器はその走
査線が多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通る
ように走査することを特徴とする。In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the third aspect, the non-contact type measuring device scans so that the scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. It is characterized by doing.

【００２２】このように非接触式測定器の走査線が多重
管バーナの先端側でその最外管の中心を通るように走査
すると、該多重管バーナの最外管の中心に対して対象に
測定でき、内管の偏心状態，各管の肉厚，各管の直径な
どの測定を容易に行うことができる。また、多重管バー
ナの最外管の直径が装置に応じて変わっていても、走査
距離を変えることにより容易に対処することができる。As described above, when the scanning line of the non-contact type measuring device is scanned so as to pass through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner, the center of the outermost tube of the multi-tube burner is targeted. Measurement is possible, and the eccentricity of the inner pipe, the wall thickness of each pipe, the diameter of each pipe, etc. can be easily measured. Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００２３】請求項４に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、多重管バーナの先
端に対向する側に非接触式測定器を配置し、該非接触式
測定器をその走査線が多重管バーナの先端側でその最外
管の中心を通るように走査して該多重管バーナの先端形
状の検査を行うことを特徴とする。In the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a fourth aspect, a non-contact type measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument is scanned. It is characterized in that the line is scanned so that it passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner, and the tip shape of the multi-tube burner is inspected.

【００２４】このようにして検査すると、多重管バーナ
の先端側から先端形状の検査を行うことができる。この
ため多重管バーナの各内管の偏心、各内管の先端形状の
変形等を容易に検査することができる。With this inspection, the tip shape of the multi-tube burner can be inspected from the tip side. Therefore, the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like can be easily inspected.

【００２５】また、この検査方法では、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査できるので、不良品を生む原因と
なる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ母材
の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, according to this inspection method, the state of the tip of the multi-tube burner can be inspected while the multi-tube burner is assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus, so that the tip shape of the burner which causes defective products can be checked. Defects and deformations can be detected in advance before manufacturing the optical fiber preform.

【００２６】また、このように非接触式測定器の走査線
が多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通るよう
に走査すると、該多重管バーナの最外管の中心に対して
対象に測定でき、内管の偏心状態，各管の肉厚，各管の
直径，非接触式測定器の測定方向と多重管バーナの管軸
とのなす角度θ等の測定を容易に行うことができる。ま
た、多重管バーナの最外管の直径が装置に応じて変わっ
ていても、走査距離を変えることにより容易に対処する
ことができる。When the scanning line of the non-contact type measuring instrument is scanned so as to pass through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner, the center of the outermost tube of the multi-tube burner is scanned. It is possible to measure the target, and to easily measure the eccentricity of the inner tube, the wall thickness of each tube, the diameter of each tube, the angle θ between the measuring direction of the non-contact measuring instrument and the tube axis of the multi-tube burner, etc. You can Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００２７】請求項５に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、非接触式測定器を
その走査線が多重管バーナの先端側でその最外管の中心
を通るように走査した時の非接触式測定器から多重管バ
ーナの最外管の先端部までの測定距離及び多重管バーナ
の最外管の直径の測定値から、非接触式測定器の測定方
向と多重管バーナの最外管の管軸とのなす角度θを求
め、この角度θを用いて測定値の補正を行うことを特徴
とする。In the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a fifth aspect of the present invention, the non-contact type measuring instrument is so arranged that its scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. From the measurement distance from the non-contact measuring instrument to the tip of the outermost tube of the multi-tube burner and the measurement value of the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner, the measuring direction of the non-contact measuring instrument and the multi-tube The angle θ formed by the outermost tube of the burner with the tube axis is obtained, and the measured value is corrected using this angle θ.

【００２８】このようにすると、例えば非接触式測定器
をその走査線が多重管バーナの先端側でその最外管の中
心を通るように走査した時の非接触式測定器から多重管
バーナの最外管の先端部における直径方向の両端までの
測定距離ｍ´，ｎ´及び多重管バーナの最外管の直径の
測定値Ｄ´から、非接触式測定器の測定方向と多重管バ
ーナの最外管の管軸とのなす角度θを θ＝arc sin ｜ｍ´−ｎ´｜／Ｄ として求めることができる。By doing so, for example, when the scanning line of the non-contact type measuring device is scanned so that the scanning line passes through the center of the outermost pipe on the tip side of the multi-pipe burning device, the non-contact type measuring device of the multi-pipe burning device is changed. From the measurement distances m ′, n ′ to both ends in the diameter direction at the tip of the outermost tube and the measured value D ′ of the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner, the measurement direction of the non-contact type measuring device and the multi-tube burner The angle θ formed by the tube axis of the outermost tube can be obtained as θ = arc sin | m′−n ′ | / D.

【００２９】このような角度θを用いると、非接触式測
定器の測定方向と多重管バーナの最外管の管軸とが平行
になっていないことによる測定値の補正を容易に行うこ
とができる。By using such an angle θ, it is possible to easily correct the measured value due to the fact that the measuring direction of the non-contact type measuring instrument and the tube axis of the outermost tube of the multi-tube burner are not parallel. it can.

【００３０】本発明は、容器内で多重管バーナの火炎中
で合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔
質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置
のバーナ先端形状検査装置の改良に関する。The present invention is directed to a burner tip shape inspection apparatus of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container on a target. Regarding improvement.

【００３１】請求項６に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、多重管バーナの先
端に対向する側に配置される非接触式測定器と、該非接
触式測定器側と多重管バーナ側とに分離して設けられて
多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向と
が平行になるように該非接触式測定器を動かしてその設
定をする測定機器姿勢設定機構とを備えていることを特
徴とする。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the sixth aspect, a non-contact type measuring instrument disposed on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument side. Position of the measuring instrument that is installed separately from the multi-tube burner and moves the non-contact measuring instrument so that the tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact measuring instrument are parallel to each other. And a setting mechanism.

【００３２】このような検査装置によれば、多重管バー
ナの先端側から先端形状の検査を行うことができる。こ
のため多重管バーナの各内管の偏心、各内管の先端形状
の変形等を容易に検査することができる。特に、この検
査装置では、非接触式測定器を動かして該非接触式測定
器の測定方向と多重管バーナの管軸方向とを平行にして
測定を行うので、測定結果に多重管バーナの角度による
誤差が出るのを防止できる。According to such an inspection apparatus, the tip shape of the multi-tube burner can be inspected from the tip side. Therefore, the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like can be easily inspected. In particular, in this inspection device, the non-contact type measuring device is moved to make the measurement direction of the non-contact type measuring device parallel to the pipe axis direction of the multi-tube burner, so that the measurement result depends on the angle of the multi-tube burner. You can prevent the error.

【００３３】また、この検査装置では、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査することにより、不良品を生む原
因となる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ
母材の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, in this inspection apparatus, the state of the tip of the multi-tube burner is inspected while the multi-tube burner is assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus, and the tip shape of the burner that causes defective products is detected. It is possible to detect defects or deformation of the optical fiber before manufacturing the optical fiber preform.

【００３４】請求項７に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、多重管バーナの先
端に対向する側に配置される非接触式測定器と、該非接
触式測定器側と多重管バーナ側とに分離して設けられて
多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向と
が平行になるように該非接触式測定器を動かしてその設
定をする測定機器姿勢設定機構と、非接触式測定器をそ
の測定方向に対し直交する方向に走査する走査機構とを
備えていることを特徴とする。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the seventh aspect, a non-contact type measuring instrument arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument side Position of the measuring instrument that is installed separately from the multi-tube burner and moves the non-contact measuring instrument so that the tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact measuring instrument are parallel to each other. It is characterized by comprising a setting mechanism and a scanning mechanism for scanning the non-contact type measuring instrument in a direction orthogonal to the measuring direction.

【００３５】このように走査機構とを備えていると、非
接触式測定器の走査線が多重管バーナの先端側でその最
外管の中心を通るように走査することにより、該多重管
バーナの最外管の中心に対して対象に測定でき、内管の
偏心状態，各管の肉厚，各管の直径などの測定を容易に
行うことができる。また、多重管バーナの最外管の直径
が装置に応じて変わっていても、走査距離を変えること
により容易に対処することができる。When the scanning mechanism is provided in this manner, the scanning line of the non-contact type measuring instrument is scanned so that the scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. The target can be measured with respect to the center of the outermost tube, and the eccentricity of the inner tube, the wall thickness of each tube, and the diameter of each tube can be easily measured. Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００３６】請求項８に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、測定機器姿勢設定
機構が、非接触式測定器に連動可能に併設されて該非接
触式測定器の測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ光
源と、非接触式測定器とレーザ光源とを一緒に動かして
該非接触式測定器の測定姿勢の調整を行う測定機器姿勢
調整部と、多重管バーナの管軸方向に位置を異にし且つ
レーザ光源からのレーザ光が通り抜けるピンホールが整
列するように該多重管バーナに設けられている複数のピ
ンホール形成体とを備えて構成されていることを特徴と
する。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the eighth aspect, the measuring device attitude setting mechanism is provided side by side so as to be interlocked with the non-contact type measuring device. A laser light source that emits a laser beam in parallel with the non-contact measuring instrument and a laser light source that move the non-contact measuring instrument together to adjust the measurement posture of the non-contact measuring instrument; and a tube axis of a multi-tube burner. And a plurality of pinhole forming bodies provided in the multi-tube burner so that the pinholes through which the laser light from the laser light source passes are aligned. .

【００３７】このような測定機器姿勢設定機構によれ
ば、非接触式測定器側を動かす測定機器姿勢調整部の存
在によりレーザ光源のレーザ光が各ピンホールを通り抜
けるような調整を容易に行うことができる。According to such a measuring instrument posture setting mechanism, the presence of the measuring instrument posture adjusting section for moving the non-contact type measuring instrument side facilitates the adjustment so that the laser light of the laser light source passes through each pinhole. You can

【００３８】請求項９に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、走査機構は容器の
外に配置され、容器内の非接触式測定器は該容器の観察
窓を通る操作アームを介して走査機構に支持されている
ことを特徴とする。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the ninth aspect, the scanning mechanism is arranged outside the container, and the non-contact type measuring instrument in the container is operated through the observation window of the container. It is characterized in that it is supported by the scanning mechanism via an arm.

【００３９】このように走査機構を容器の外に配置する
と、該走査機構の大きさや設置方法に対する制約が少な
くなり、走査機構の走査精度を向上できるため、測定精
度をより向上させることができる。When the scanning mechanism is arranged outside the container as described above, restrictions on the size and installation method of the scanning mechanism are reduced, and the scanning accuracy of the scanning mechanism can be improved, so that the measurement accuracy can be further improved.

【００４０】[0040]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

［第１例］図１は、本発明に係る光ファイバ母材製造装
置のバーナ先端形状検査装置における実施の形態の第１
例を示したものである。なお、前述した図９と対応する
部分には、同一符号を付けて示している。[First Example] FIG. 1 shows a first embodiment of a burner tip shape inspection apparatus of an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.
This is an example. The parts corresponding to those in FIG. 9 described above are designated by the same reference numerals.

【００４１】本例のバーナ先端形状検査装置は、コア部
形成用多重管バーナ５の先端形状を検査する場合につい
て示している。該バーナ先端形状検査装置は、コア部形
成用多重管バーナ５の先端に対向する側に配置された非
接触式測定器としてのＣＣＤカメラ１３を有する。ま
た、多重管バーナ５の管軸方向とＣＣＤカメラ１３の測
定方向とが平行になるように該ＣＣＤカメラ１３の測定
姿勢を設定する測定機器姿勢設定機構１４が、ＣＣＤカ
メラ１３側と多重管バーナ５側とに分離して設けられて
いる。該測定機器姿勢設定機構１４は、ＣＣＤカメラ１
３と一体化するように同一のホルダ１５に併設されて該
ＣＣＤカメラ１３の測定方向と平行にレーザ光１１を出
すレーザ光源９と、該ＣＣＤカメラ１３とレーザ光源９
とを動かしてその姿勢の調整を行う測定機器姿勢調整部
１６と、多重管バーナ５の管軸方向に位置を異にし且つ
レーザ光源９からのレーザ光１１が通り抜けるピンホー
ル１７ａ，１８ａが整列するように該多重管バーナ５に
設けられている複数の板よりなるピンホール形成体１
７，１８とを備えて構成されている。測定機器姿勢調整
部１６は、本例では同一のホルダ１５を介してＣＣＤカ
メラ１３とレーザ光源９とを動かしてその姿勢を調整し
て設定する傾斜ステージ１９により構成されている。該
傾斜ステージ１９は、図示しないダイヤルを回すことに
より先端部分が円弧運動して角度を変えられるようにな
っている。該傾斜ステージ１９は、図示しないが容器１
内に配置したスタンド等に支持させる。非接触式測定器
としてのＣＣＤカメラ１３の撮影出力は、受像機２０に
写し出されるようになっている。The burner tip shape inspection apparatus of this example shows a case where the tip shape of the multi-tube burner 5 for forming a core portion is inspected. The burner tip shape inspection device has a CCD camera 13 as a non-contact type measuring device which is arranged on the side facing the tip of the core forming multi-tube burner 5. In addition, the measuring instrument attitude setting mechanism 14 that sets the measurement attitude of the CCD camera 13 so that the tube axis direction of the multi-tube burner 5 and the measurement direction of the CCD camera 13 are parallel to each other, the multi-tube burner and the CCD camera 13 side. It is provided separately from the 5 side. The measuring device attitude setting mechanism 14 is a CCD camera 1.
3, a laser light source 9 which is provided in the same holder 15 so as to be integrated with the laser light source 3 and emits a laser beam 11 in parallel with the measurement direction of the CCD camera 13, and the CCD camera 13 and the laser light source 9
And the measuring instrument attitude adjusting unit 16 for adjusting the attitude, and the pinholes 17a, 18a which are different in position in the tube axis direction of the multi-tube burner 5 and through which the laser light 11 from the laser light source 9 passes. 1. A pinhole forming body 1 composed of a plurality of plates provided in the multi-tube burner 5
7 and 18, and is comprised. In this example, the measuring instrument posture adjusting unit 16 is composed of a tilt stage 19 that moves the CCD camera 13 and the laser light source 9 through the same holder 15 to adjust and set the postures. The tip of the tilting stage 19 is circularly moved by turning a dial (not shown) so that the angle can be changed. The tilt stage 19 is not shown in the drawing, but the container 1
It is supported by a stand or the like placed inside. The photographing output of the CCD camera 13 as a non-contact type measuring device is displayed on the image receiver 20.

【００４２】このようなバーナ先端形状検査装置は、レ
ーザ光源９からのレーザ光１１が２つのピンホール形成
体１７，１８のピンホール１７ａ，１８ａを通り抜ける
ようにホルダー１５の向きを傾斜ステージ１９により調
整して設定する。これにより、ＣＣＤカメラ１３の向き
と多重管バーナ５の最外管の管軸方向とが平行になる。
この状態でＣＣＤカメラ１３により多重管バーナ５の先
端を撮影すると、受像機２０上に写される多重管バーナ
５の先端形状の画像に角度による誤差が出ることはな
い。受像機２０上に写される多重管バーナ５の先端形状
の画像は、図２のようになる。ここで、５ａは多重管バ
ーナ５の最外管、５ｂ，５ｃは該最外管５ａ内に同心配
置されている内管である。In such a burner tip shape inspection device, the holder 15 is oriented by the tilt stage 19 so that the laser light 11 from the laser light source 9 passes through the pinholes 17a, 18a of the two pinhole forming bodies 17, 18. Adjust and set. As a result, the direction of the CCD camera 13 and the tube axis direction of the outermost tube of the multi-tube burner 5 become parallel.
If the tip of the multi-tube burner 5 is photographed by the CCD camera 13 in this state, an error due to the angle does not appear in the image of the tip shape of the multi-tube burner 5 imaged on the receiver 20. An image of the tip shape of the multi-tube burner 5 displayed on the receiver 20 is as shown in FIG. Here, 5a is an outermost tube of the multi-tube burner 5, and 5b and 5c are inner tubes concentrically arranged in the outermost tube 5a.

【００４３】かくして得られた受像機２０上の多重管バ
ーナ５の先端の画像から該多重管バーナ５の各管５ａ，
５ｂ，５ｃの肉厚，及びガス流路幅が測定できる。ま
た、管の偏心量は、例えば内管５ｂの場合でＸ方向の偏
心量を例にとって説明すると、ガス流路幅ａ及びｂを測
定して、｜ａ−ｂ｜／２より求めることができる。From the thus obtained image of the tip of the multi-tube burner 5 on the receiver 20, each tube 5a of the multi-tube burner 5,
The wall thickness of 5b and 5c and the gas flow path width can be measured. Further, the eccentricity of the pipe can be obtained from | a−b | / 2 by measuring the gas flow passage widths a and b, for example, in the case of the inner pipe 5b, taking the eccentricity in the X direction as an example. .

【００４４】［第２例］図３は、本発明に係る光ファイ
バ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置における実施
の形態の第２例を示したものである。なお、前述した図
１と対応する部分には、同一符号を付けて示している。[Second Example] FIG. 3 shows a second example of the embodiment of the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention. The parts corresponding to those in FIG. 1 described above are denoted by the same reference numerals.

【００４５】本例のバーナ先端形状検査装置は、図４に
示すように最外管５ａと内管５ｂ，５ｃ，５ｄからなる
コア部形成用多重管バーナ５の先端形状を検査する場合
について示している。本例では、非接触式測定器として
非接触式変位計２１が、第１例のＣＣＤカメラ１３の代
わりにホルダ１５に支持されている。また本例では、非
接触式変位計２１としてレーザ変位計が用いられてい
る。一方、測定機器姿勢調整部１６の傾斜ステージ１９
とホルダ１５との間には、該ホルダ１５を介して非接触
式変位計２１とレーザ光源９とを一緒にＸ方向またはＹ
方向に走査する走査機構としてＸＹステージ２２が設け
られている。The burner tip shape inspecting apparatus of this example shows a case of inspecting the tip shape of the core part forming multi-tube burner 5 including the outermost tube 5a and the inner tubes 5b, 5c and 5d as shown in FIG. ing. In this example, a non-contact type displacement gauge 21 as a non-contact type measuring device is supported by the holder 15 instead of the CCD camera 13 of the first example. Further, in this example, a laser displacement gauge is used as the non-contact type displacement gauge 21. On the other hand, the tilt stage 19 of the measuring device attitude adjusting unit 16
Between the holder and the holder 15, the non-contact type displacement gauge 21 and the laser light source 9 are put together through the holder 15 in the X direction or Y direction.
An XY stage 22 is provided as a scanning mechanism for scanning in the directions.

【００４６】非接触式変位計２１の出力は、データ処理
部２３に入力されて後述する処理が行われるようになっ
ている。また、データ処理部２３からはステージコント
ローラ２４にコントロール指令が出て、該ステージコン
トローラ２４によってＸＹステージ２２がＸ方向または
Ｙ方向に駆動されるようになっている。The output of the non-contact type displacement gauge 21 is input to the data processing unit 23 and the processing described later is performed. Further, the data processing unit 23 outputs a control command to the stage controller 24, and the stage controller 24 drives the XY stage 22 in the X direction or the Y direction.

【００４７】この場合も該傾斜ステージ１９は、図示し
ないが容器１内に配置したスタンド等に支持させる。Also in this case, the tilting stage 19 is supported by a stand or the like arranged in the container 1 although not shown.

【００４８】この装置でも、レーザ光源９から出された
レーザ光１１がピンホール形成体１７，１８のピンホー
ル１７ａ，１８ａを通り抜けるようにホルダー１５の向
きを傾斜ステージ１９により調整して設定する。これに
より、非接触式変位計２１の向きと多重管バーナ５の最
外管５ａの管軸方向とが平行になる。Also in this apparatus, the orientation of the holder 15 is adjusted and set by the tilt stage 19 so that the laser light 11 emitted from the laser light source 9 passes through the pinholes 17a, 18a of the pinhole forming bodies 17, 18. As a result, the direction of the non-contact type displacement gauge 21 and the tube axis direction of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5 become parallel.

【００４９】この状態で、ステージコントローラ２４か
らの指令で非接触式変位計２１の走査線が図４に示す多
重管バーナ５の最外管５ａの中心５ｓを通るようにＸＹ
ステージ２２の駆動によって、Ｘ方向であれば図４のｃ
−ｄ線を走査線が通るように非接触式変位計２１を走査
し、Ｙ方向であれば図４のｅ−ｆ線を走査線が通るよう
に非接触式変位計２１を走査する。In this state, in response to a command from the stage controller 24, the scanning line of the non-contact displacement gauge 21 is moved so as to pass through the center 5s of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5 shown in FIG.
By driving the stage 22, in the X direction, c in FIG.
The non-contact type displacement meter 21 is scanned so that the scanning line passes through the −d line, and in the Y direction, the non-contact type displacement meter 21 is scanned so that the scanning line passes through the line ef of FIG.

【００５０】例えば、非接触式変位計２１の走査線が図
４のｃ−ｄ線を通るようにして、図５に示すように非接
触式変位計２１を走査すると、図６に示すようなＸＹス
テージ２２のステージ位置と、非接触式変位計２１から
多重管バーナ５の先端までの距離との関係を示すグラフ
が得られる。この場合、非接触式変位計２１の測定点が
多重管バーナ５の各管５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄのいずれ
かの端面上にあるときには非接触式変位計２１から多重
管バーナ５の該当管の先端までの距離を示し、多重管バ
ーナ５のガス流路５ａｇ，５ｂｇ，５ｃｇ，５ｄｇ上に
あるときには非接触式変位計２１の表示が無限大となっ
てこれを示す。For example, when the scanning line of the non-contact type displacement meter 21 passes through the line cd of FIG. 4 and the non-contact type displacement meter 21 is scanned as shown in FIG. 5, it is as shown in FIG. A graph showing the relationship between the stage position of the XY stage 22 and the distance from the non-contact displacement gauge 21 to the tip of the multi-tube burner 5 is obtained. In this case, when the measuring point of the non-contact type displacement meter 21 is on one of the end faces of each of the tubes 5a, 5b, 5c, 5d of the multi-tube burner 5, the non-contact type displacement meter 21 corresponds to the corresponding tube of the multi-tube burner 5. The distance to the tip of the non-contact type displacement gauge 21 is infinite when it is on the gas flow paths 5ag, 5bg, 5cg and 5dg of the multi-tube burner 5.

【００５１】この図６に示すグラフにより、管の肉厚
ｅ，ガス流路幅ｆ，管の突き出し量ｇ，管の端面の角度
ｈ及び管壁の面粗さｉを読み取ることができる。From the graph shown in FIG. 6, it is possible to read the wall thickness e of the pipe, the gas flow passage width f, the protruding amount g of the pipe, the angle h of the end face of the pipe, and the surface roughness i of the pipe wall.

【００５２】［第３例］図７は、本発明に係る光ファイ
バ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置における実施
の形態の第３例を示したものである。なお、前述した図
３と対応する部分には、同一符号を付けて示している。[Third Example] FIG. 7 shows a third example of the embodiment of the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention. Parts corresponding to those in FIG. 3 described above are denoted by the same reference numerals.

【００５３】本例のバーナ先端形状検査装置も、コア部
形成用多重管バーナ５の先端形状を検査する場合につい
て示している。本例でも、非接触式変位計２１としてレ
ーザ変位計が用いられている。本例の測定機器姿勢設定
機構１４は、ＣＣＤカメラ１３と一体化するように同一
のホルダ１５に併設されて該ＣＣＤカメラ１３の測定方
向と平行にレーザ光１１を出すレーザ光源９と、多重管
バーナ５の最外管５ａに支持されてレーザ光１１を受け
るレーザ光受け部２５とを備えて構成されている。レー
ザ光受け部２５を設ける位置は、該レーザ光受け部２５
にレーザ光１１が当たったとき、非接触式変位計２１の
測定範囲内に多重管バーナ５が来るようにしてある。容
器１の外には、該容器１の観察窓２６を通して操作アー
ム２７が挿入されて非接触式変位計２１とレーザ光源９
とをＸ方向またはＹ方向に走査する走査機構としてＸＹ
ステージ２２が設けられている。該ＸＹステージ２２は
アーム２８で支持されている。本例では、ＸＹステージ
２２が容器１の外に設けられていてホルダ１５の姿勢の
調整が外部から容易に行える関係で、測定機器姿勢調整
部１６は省略されている。その他の構成は、前述した図
３と同様になっている。The burner tip shape inspection apparatus of this example also shows a case where the tip shape of the multi-tube burner 5 for forming a core portion is inspected. Also in this example, a laser displacement gauge is used as the non-contact displacement gauge 21. The measuring instrument attitude setting mechanism 14 of this example is provided in the same holder 15 so as to be integrated with the CCD camera 13, and is provided with a laser light source 9 for emitting a laser beam 11 in parallel with the measurement direction of the CCD camera 13, and a multi-tube. The burner 5 is provided with a laser light receiving portion 25 which is supported by the outermost tube 5a and receives the laser light 11. The laser light receiving portion 25 is provided at a position where the laser light receiving portion 25 is provided.
The multi-tube burner 5 is positioned within the measurement range of the non-contact type displacement gauge 21 when the laser beam 11 hits. An operation arm 27 is inserted outside the container 1 through an observation window 26 of the container 1 so that the non-contact type displacement meter 21 and the laser light source 9 are provided.
XY as a scanning mechanism for scanning and in the X or Y direction
A stage 22 is provided. The XY stage 22 is supported by an arm 28. In the present example, the XY stage 22 is provided outside the container 1, and the posture of the holder 15 can be easily adjusted from the outside, so that the measuring instrument posture adjusting unit 16 is omitted. Other configurations are similar to those in FIG. 3 described above.

【００５４】次に、このようなバーナ先端形状検査装置
による多重管バーナ５の先端形状の検査方法について説
明する。Next, a method for inspecting the tip shape of the multi-tube burner 5 by using such a burner tip shape inspecting apparatus will be described.

【００５５】容器１の観察窓２６をあけて、図７に示す
ように、容器１内で多重管バーナ５の先端に対向する位
置に非接触式変位計２１とレーザ光源９とをホルダ１５
と操作アーム２７とを介して配置する。操作アーム２７
は容器１の外のＸＹステージ２２に支持させ、該ＸＹス
テージ２２はアーム２８に支持させる。The observation window 26 of the container 1 is opened, and as shown in FIG. 7, the non-contact displacement gauge 21 and the laser light source 9 are placed in the holder 15 at a position facing the tip of the multi-tube burner 5 in the container 1.
And the operation arm 27. Operation arm 27
Is supported by an XY stage 22 outside the container 1, and the XY stage 22 is supported by an arm 28.

【００５６】次に、レーザ光源９からレーザ光１１を出
し、該レーザ光１１がレーザ光受け部２５に当たるよう
にする。このようにすると、レーザ光１１がレーザ光受
け部２５に当たったとき、非接触式変位計２１の測定範
囲内に多重管バーナ５が入る。Next, laser light 11 is emitted from the laser light source 9 so that the laser light 11 strikes the laser light receiving portion 25. In this way, when the laser light 11 hits the laser light receiver 25, the multi-tube burner 5 enters the measurement range of the non-contact displacement gauge 21.

【００５７】かかる状態で、ＸＹステージ２２の駆動に
より、非接触式変位計２１の走査線が多重管バーナ５の
最外管５ａの中心を通るようにして、図８に示すように
非接触式変位計２１をＸ方向に走査し、非接触式変位計
２１の走査線が多重管バーナ５の最外管５ａの一端ｊを
通るときの該非接触式変位計２１から最外管５ａの一端
ｊまでの距離ｍ´と、非接触式変位計２１の走査線が多
重管バーナ５の最外管５ａの他端ｋを通るときの該非接
触式変位計２１から最外管５ａの他端ｋまでの距離ｎ´
とを測定する。In this state, the XY stage 22 is driven so that the scanning line of the non-contact type displacement gauge 21 passes through the center of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5, and as shown in FIG. When the displacement meter 21 is scanned in the X direction and the scanning line of the non-contact displacement meter 21 passes through one end j of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5, the non-contact displacement meter 21 to one end j of the outermost tube 5a. From the non-contact type displacement meter 21 to the other end k of the outermost tube 5a when the scanning line of the non-contact type displacement meter 21 passes through the other end k of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5. Distance n '
And measure.

【００５８】すると、非接触式変位計２１の向きと多重
管バーナ５の軸線とのなす角θは、多重管バーナ５の直
径をＤとすると、 θ＝arc sin ｜ｍ´−ｎ´｜／Ｄ で表すことができる。Then, the angle θ formed by the direction of the non-contact displacement gauge 21 and the axis of the multi-tube burner 5 is θ = arc sin | m′−n ′ | /, where D is the diameter of the multi-tube burner 5. It can be represented by D 1.

【００５９】また、多重管バーナ５の最外管５ａの直径
の測定値Ｄ´と真の値Ｄとの関係は、 （真の値Ｄ）＝（測定値Ｄ´）／cos θ で表すことができ、非接触式変位計２１から最外管５ａ
の他端ｋまでの距離の測定値ｎ´と真の値ｎとの関係
は、 （真の値ｎ）＝cos θ×（測定値ｎ´） で表すことができる。The relationship between the measured value D'of the diameter of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5 and the true value D is expressed by (true value D) = (measured value D ') / cos θ. The non-contact displacement gauge 21 to the outermost tube 5a
The relationship between the measured value n ′ of the distance to the other end k of the and the true value n can be expressed by (true value n) = cos θ × (measured value n ′).

【００６０】このような補正をかけることで、非接触式
変位計２１の向きが多重管バーナ５の最外管５ａの軸線
と平行でなくても正確に測定することができる。By applying such a correction, accurate measurement can be performed even if the orientation of the non-contact displacement gauge 21 is not parallel to the axis of the outermost tube 5a of the multi-tube burner 5.

【００６１】また、このとき同様な手法で、非接触式変
位計２１の向きと多重管バーナ５の内管の軸線とのなす
角度を求めることにより、各内管の最外管に対する倒れ
角を求めることができる。Further, at this time, the inclination angle of each inner pipe with respect to the outermost pipe is obtained by obtaining the angle formed by the direction of the non-contact displacement gauge 21 and the axis of the inner pipe of the multi-tube burner 5 by a similar method. You can ask.

【００６２】特に、本例のように、容器１の外にＸＹス
テージ２２を設けると、該ＸＹステージ２２の大きさや
設置方法に対する制約が少なくなり、走査の精度を向上
できるため、測定精度はより向上する。In particular, when the XY stage 22 is provided outside the container 1 as in this example, restrictions on the size and installation method of the XY stage 22 are reduced, and the scanning accuracy can be improved, so that the measurement accuracy is further improved. improves.

【００６３】上記各例では、多重管バーナ５の先端形状
の測定について説明したが、多重管バーナ６の先端形状
の測定も同様にして行うことができる。In each of the above examples, the tip shape of the multi-tube burner 5 is described, but the tip shape of the multi-tube burner 6 can be measured in the same manner.

【００６４】以下、本明細書に記載した複数の発明のう
ち、幾つかの発明についてその構成要件を示すと、下記
の通りである。The constituent features of some of the plurality of inventions described in this specification are as follows.

【００６５】（１） 容器内で多重管バーナの火炎中で
合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質
の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法において、前記多重管バーナの
先端に対向する側に非接触式測定器を配置し、前記多重
管バーナの管軸方向と前記非接触式測定器の測定方向と
が平行になるように該非接触式測定器を動かしその設定
をし、かかる状態で前記非接触式測定器により前記多重
管バーナの先端形状の検査を行うことを特徴とする光フ
ァイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。(1) In a burner tip shape inspection method of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container on a target, A non-contact measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact measuring instrument is arranged so that the tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact measuring instrument are parallel to each other. Is set, and the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact type measuring instrument in such a state, and the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus.

【００６６】（２） 容器内で多重管バーナの火炎中で
合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質
の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法において、前記多重管バーナの
先端に対向する側に非接触式測定器を配置し、前記非接
触式測定器にはその測定方向と平行にレーザ光を出すレ
ーザ光源を一体化して併設し、前記多重管バーナの管軸
方向に位置を異にし且つピンホールが整列するように該
多重管バーナに設けられている複数のピンホール形成体
の前記各ピンホールに前記レーザ光が通るように前記レ
ーザ光源及び前記非接触式測定器を一緒に動かしてその
設定をし、かかる状態で前記非接触式測定器により前記
多重管バーナの先端形状の検査を行うことを特徴とする
光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。(2) In a burner tip shape inspection method of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container on a target, A non-contact measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and a laser light source that emits a laser beam in parallel with the measuring direction is integrated with the non-contact measuring instrument. The laser light source and the laser light source so that the laser light passes through the pinholes of the plurality of pinhole forming bodies provided in the multi-tube burner at different positions in the tube axis direction of the burner and the pinholes are aligned. An optical fiber preform manufacturing method, characterized in that the non-contact measuring instrument is moved together and set, and in this state, the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact measuring instrument. Inspection method of burner tip shape of equipment.

【００６７】（３） 前記非接触式測定器はその走査線
が前記多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通る
ように走査することを特徴とする前記（１）または
（２）に記載の光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形
状検査方法。(3) The non-contact type measuring device scans so that its scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. The method for inspecting the burner tip shape of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to.

【００６８】（４） 容器内で多重管バーナの火炎中で
合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質
の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法において、前記多重管バーナの
先端に対向する側に非接触式測定器を配置し、前記非接
触式測定器をその走査線が前記多重管バーナの先端側で
その最外管の中心を通るように走査して前記多重管バー
ナの先端形状の検査を行うことを特徴とする光ファイバ
母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。(4) In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing the porous optical fiber preform by depositing the glass fine particles synthesized in the flame of the multi-tube burner in the container on the target, A non-contact measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact measuring instrument is scanned so that its scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. Then, the tip shape of the multi-tube burner is inspected to inspect the burner tip shape of the optical fiber preform manufacturing apparatus.

【００６９】（５） 前記非接触式測定器をその走査線
が前記多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通る
ように走査した時の前記非接触式測定器から前記多重管
バーナの最外管の先端部までの測定距離及び前記多重管
バーナの最外管の直径の測定値から、前記非接触式測定
器の測定方向と前記多重管バーナの最外管の管軸とのな
す角度θを求め、この角度θを用いて前記測定値の補正
を行うことを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ母
材製造装置のバーナ先端形状検査方法。(5) When the scanning line of the non-contact type measuring device is scanned so that the scanning line passes through the center of the outermost pipe on the tip side of the multi-pipe burning device, the non-contact type measuring device is moved to the multi-pipe burning device. From the measurement distance to the tip of the outermost tube and the measured value of the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner, the measurement direction of the non-contact type measuring device and the tube axis of the outermost tube of the multi-tube burner The burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 4, wherein an angle θ formed is obtained and the measured value is corrected using this angle θ.

【００７０】（６） 前記非接触式測定器がＣＣＤカメ
ラである前記（１）〜（５）のいずれか１つに記載の光
ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。(6) The burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of (1) to (5), wherein the non-contact measuring device is a CCD camera.

【００７１】（７） 前記非接触式測定器が非接触式変
位計である前記（１）〜（５）に記載の光ファイバ母材
製造装置のバーナ先端形状検査方法。(7) The burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of (1) to (5), wherein the non-contact type measuring device is a non-contact type displacement meter.

【００７２】（８） 前記非接触式変位計がレーザ変位
計である前記（７）に記載の光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法。(8) The burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to (7), wherein the non-contact type displacement meter is a laser displacement meter.

【００７３】（９） 容器内で多重管バーナの火炎中で
合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質
の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置において、前記多重管バーナの
先端に対向する側に配置される非接触式測定器と、前記
非接触式測定器側と前記多重管バーナ側とに分離して設
けられて前記多重管バーナの管軸方向と前記非接触式測
定器の測定方向とが平行になるように該非接触式測定器
を動かしてその設定をする測定機器姿勢設定機構とを備
えていることを特徴とする光ファイバ母材製造装置のバ
ーナ先端形状検査装置。(9) In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing the porous optical fiber preform by depositing the glass particles synthesized in the flame of the multi-tube burner in the container, A non-contact type measuring device arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and a non-contact type measuring device side and a multi-tube burner side, which are separately provided, and in the pipe axial direction of the multi-tube burner. And an apparatus for setting an attitude of a measuring instrument for moving and setting the non-contact measuring instrument so that the measuring direction of the non-contact measuring instrument is parallel to the measuring direction of the non-contact measuring instrument. Burner tip shape inspection device.

【００７４】（１０） 容器内で多重管バーナの火炎中
で合成したガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔
質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置
のバーナ先端形状検査装置において、前記多重管バーナ
の先端に対向する側に配置される非接触式測定器と、前
記非接触式測定器側と前記多重管バーナ側とに分離して
設けられて前記多重管バーナの管軸方向と前記非接触式
測定器の測定方向とが平行になるように該非接触式測定
器を動かしてその設定をする測定機器姿勢設定機構と、
前記非接触式測定器をその測定方向に対し直交する方向
に走査する走査機構とを備えていることを特徴とする光
ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置。(10) In a burner tip shape inspection device of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container, A non-contact type measuring device arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and a non-contact type measuring device side and a multi-tube burner side, which are separately provided, and in the pipe axial direction of the multi-tube burner. And a measuring instrument attitude setting mechanism for moving the non-contact measuring instrument so that the measuring direction of the non-contact measuring instrument is parallel to the measuring direction.
A burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus, comprising: a scanning mechanism that scans the non-contact type measuring instrument in a direction orthogonal to the measurement direction.

【００７５】（１１） 前記測定機器姿勢設定機構は、
前記非接触式測定器に連動可能に併設されて該非接触式
測定器の測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ光源
と、前記非接触式測定器と前記レーザ光源とを一緒に動
かして該非接触式測定器の測定姿勢の調整を行う測定機
器姿勢調整部と、前記多重管バーナの管軸方向に位置を
異にし且つ前記レーザ光源からのレーザ光が通り抜ける
ピンホールが整列するように該多重管バーナに設けられ
ている複数のピンホール形成体とを備えて構成されてい
ることを特徴とする前記（９）または（１０）に記載の
光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置。(11) The measuring instrument attitude setting mechanism is
A laser light source that is provided so as to be interlocked with the non-contact type measuring device and emits a laser beam in parallel with the measuring direction of the non-contact type measuring device, and the non-contact type by moving the non-contact type measuring device and the laser light source together. Measuring instrument attitude adjusting section for adjusting the measuring attitude of the multi-type measuring instrument, and the multiple tube so that the pinholes through which the laser light from the laser light source passes are aligned, the positions being different in the tube axis direction of the multiple tube burner. The burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to (9) or (10) above, which is configured to include a plurality of pinhole forming bodies provided in the burner.

【００７６】（１２） 前記走査機構は前記容器の外に
配置され、前記容器内の前記非接触式測定器は該容器の
観察窓を通る操作アームを介して前記走査機構に支持さ
れていることを特徴とする前記（１０）に記載の光ファ
イバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置。(12) The scanning mechanism is arranged outside the container, and the non-contact measuring instrument in the container is supported by the scanning mechanism via an operation arm passing through an observation window of the container. A burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to (10) above.

【００７７】（１３） 前記非接触式測定器がＣＣＤカ
メラである前記（９）〜（１２）のいずれか１つに記載
の光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置。(13) The burner tip shape inspection device of the optical fiber preform manufacturing device according to any one of (9) to (12), wherein the non-contact type measuring device is a CCD camera.

【００７８】（１４） 前記非接触式測定器が非接触式
変位計である前記（９）〜（１２）のいずれか１つに記
載の光ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装
置。(14) The burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of (9) to (12), wherein the non-contact type measuring device is a non-contact type displacement meter.

【００７９】（１５） 前記非接触式変位計がレーザ変
位計である前記（１４）に記載の光ファイバ母材製造装
置のバーナ先端形状検査装置。(15) The burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to (14), wherein the non-contact type displacement gauge is a laser displacement gauge.

【００８０】[0080]

【発明の効果】請求項１に係る光ファイバ母材製造装置
のバーナ先端形状検査方法においては、多重管バーナの
先端に対向する側に非接触式測定器を配置し、多重管バ
ーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向とが平行に
なるように該非接触式測定器を動かしてその設定をし、
かかる状態で非接触式測定器により多重管バーナの先端
形状の検査を行うので、多重管バーナの先端側からその
先端形状の検査を行うことができる。In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the first aspect of the present invention, the non-contact type measuring device is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the tube axis of the multi-tube burner is arranged. The non-contact type measuring instrument is moved and set so that the direction and the measuring direction of the non-contact type measuring instrument are parallel,
In this state, since the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact type measuring instrument, the tip shape of the multi-tube burner can be inspected from the tip side.

【００８１】このため多重管バーナの各内管の偏心、各
内管の先端形状の変形等を容易に検査することができ
る。Therefore, the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like can be easily inspected.

【００８２】特に、この検査方法では、多重管バーナの
管軸方向と非接触式測定器の測定方向とを平行にして測
定を行うので、測定結果に多重管バーナの角度による誤
差が出るのを防止できる。In particular, in this inspection method, since the pipe axis direction of the multi-tube burner and the measurement direction of the non-contact type measuring device are parallel to each other, the measurement result has an error due to the angle of the multi-tube burner. It can be prevented.

【００８３】また、この検査方法では、非接触式測定器
側を動かして測定時の調整をするので、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査でき、このため不良品を生む原因
となる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ母
材の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, in this inspection method, since the non-contact type measuring instrument side is moved for adjustment during measurement, the state of the tip of the multi-tube burner can be checked while the multi-tube burner is assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus. It is possible to inspect, and therefore, the defect or deformation of the tip shape of the burner which causes a defective product can be detected in advance before manufacturing the optical fiber preform.

【００８４】請求項２に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、非接触式測定器に
その測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ光源を一体
化して併設し、多重管バーナにはその管軸方向に位置を
異にし且つピンホールが整列するように複数のピンホー
ル形成体を設け、これらピンホール形成体の各ピンホー
ルにレーザ光源からのレーザ光が通るようにレーザ光源
及び非接触式測定器を一緒に動かして設定をするので、
多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向と
を容易に平行に設定することができる。In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the second aspect, a laser light source that emits laser light in parallel with the measuring direction is integrally provided in the non-contact type measuring device, and the multi-tube is used. The burner is provided with a plurality of pinhole forming bodies at different positions in the tube axis direction so that the pinholes are aligned, and a laser is provided so that the laser light from the laser light source passes through each pinhole of these pinhole forming bodies. Since the light source and the non-contact type measuring instrument are moved together and set,
The tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact type measuring device can be easily set in parallel.

【００８５】請求項３に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法では、非接触式測定器の走査線
が多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通るよう
に走査するので、該多重管バーナの最外管の中心に対し
て対象に測定でき、内管の偏心状態，各管の肉厚，各管
の直径などの測定を容易に行うことができる。また、多
重管バーナの最外管の直径が装置に応じて変わっていて
も、走査距離を変えることにより容易に対処することが
できる。In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the third aspect, the scanning line of the non-contact type measuring instrument scans so that the scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. Therefore, the measurement can be performed on the center of the outermost tube of the multi-tube burner, and the eccentricity of the inner tube, the wall thickness of each tube, the diameter of each tube, etc. can be easily measured. Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００８６】請求項４に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、多重管バーナの先
端に対向する側に非接触式測定器を配置し、該非接触式
測定器をその走査線が多重管バーナの先端側でその最外
管の中心を通るように走査して該多重管バーナの先端形
状の検査を行うので、多重管バーナの先端側から先端形
状の検査を行うことができる。In the burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a fourth aspect of the present invention, a non-contact measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact measuring instrument scans the non-contact measuring instrument. Since the line is scanned so that it passes through the center of the outermost pipe on the tip side of the multi-tube burner, the tip shape of the multi-tube burner is inspected. Therefore, the tip shape of the multi-tube burner can be inspected from the tip side. it can.

【００８７】このため多重管バーナの各内管の偏心、各
内管の先端形状の変形等を容易に検査することができ
る。Therefore, it is possible to easily inspect the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like.

【００８８】また、この検査方法では、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査できるので、不良品を生む原因と
なる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ母材
の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, according to this inspection method, the state of the tip of the multi-tube burner can be inspected while the multi-tube burner is assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus, so that the tip shape of the burner, which causes defective products, Defects and deformations can be detected in advance before manufacturing the optical fiber preform.

【００８９】また、このように非接触式測定器の走査線
が多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通るよう
に走査すると、該多重管バーナの最外管の中心に対して
対象に測定でき、内管の偏心状態，各管の肉厚，各管の
直径，非接触式測定器の測定方向と多重管バーナの管軸
とのなす角度θ等の測定を容易に行うことができる。ま
た、多重管バーナの最外管の直径が装置に応じて変わっ
ていても、走査距離を変えることにより容易に対処する
ことができる。When the scanning line of the non-contact type measuring device is scanned so as to pass through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner, the center of the outermost tube of the multi-tube burner is scanned. It is possible to measure the target, and to easily measure the eccentricity of the inner tube, the wall thickness of each tube, the diameter of each tube, the angle θ between the measuring direction of the non-contact measuring instrument and the tube axis of the multi-tube burner, etc. You can Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００９０】請求項５に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査方法においては、非接触式測定器を
その走査線が多重管バーナの先端側でその最外管の中心
を通るように走査した時の非接触式測定器から多重管バ
ーナの最外管の先端部までの測定距離及び多重管バーナ
の最外管の直径の測定値から、非接触式測定器の測定方
向と多重管バーナの最外管の管軸とのなす角度θを求め
るので、例えば非接触式測定器をその走査線が多重管バ
ーナの先端側でその最外管の中心を通るように走査した
時の非接触式測定器から多重管バーナの最外管の先端部
における直径方向の両端までの測定距離ｍ´，ｎ´及び
多重管バーナの最外管の直径の測定値Ｄ´から、非接触
式測定器の測定方向と多重管バーナの最外管の管軸との
なす角度θを θ＝arc sin ｜ｍ´−ｎ´｜／Ｄ として容易に求めることができる。In the burner tip shape inspection method of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the fifth aspect, the non-contact type measuring instrument is so arranged that its scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. From the measurement distance from the non-contact measuring instrument to the tip of the outermost tube of the multi-tube burner and the measurement value of the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner, the measuring direction of the non-contact measuring instrument and the multi-tube Since the angle θ formed by the outermost tube of the burner with the tube axis is obtained, for example, the non-contact type measuring instrument is used when the scanning line is scanned so that the scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. Non-contact measurement from the measurement distances m ', n'from the contact type measuring device to the diametrically opposite ends of the outermost tube of the multi-tube burner and the measured value D'of the outermost tube diameter of the multi-tube burner. The angle between the measuring direction of the vessel and the tube axis of the outermost tube of the multi-tube burner is θ = arc si It can be easily obtained as n | m′−n ′ | / D.

【００９１】また、この角度θを用いて測定値の補正を
行うので、非接触式測定器の測定方向と多重管バーナの
最外管の管軸とが平行になっていないことによる測定値
の補正を容易に行うことができる。Further, since the measured value is corrected using this angle θ, the measured value due to the fact that the measuring direction of the non-contact measuring instrument and the tube axis of the outermost tube of the multi-tube burner are not parallel The correction can be easily performed.

【００９２】請求項６に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、多重管バーナの先
端に対向する側に配置される非接触式測定器と、該非接
触式測定器側と多重管バーナ側とに分離して設けられて
多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向と
が平行になるように該非接触式測定器を動かしてその設
定をする測定機器姿勢設定機構とを備えた構造になって
いるので、多重管バーナの先端側からその先端形状の検
査を容易に行うことができる。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the sixth aspect, a non-contact type measuring instrument disposed on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument side Position of the measuring instrument that is installed separately from the multi-tube burner and moves the non-contact measuring instrument so that the tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact measuring instrument are parallel to each other. Since the structure is provided with the setting mechanism, the tip shape of the multi-tube burner can be easily inspected from the tip side.

【００９３】このため多重管バーナの各内管の偏心、各
内管の先端形状の変形等を容易に検査することができ
る。Therefore, the eccentricity of each inner tube of the multi-tube burner, the deformation of the tip shape of each inner tube, and the like can be easily inspected.

【００９４】特に、この検査装置では、非接触式測定器
を動かして該非接触式測定器の測定方向と多重管バーナ
の管軸方向とを平行にして測定を行うので、測定結果に
多重管バーナの角度による誤差が出るのを防止できる。In particular, in this inspection apparatus, since the non-contact type measuring instrument is moved to make the measuring direction of the non-contact type measuring instrument parallel to the tube axis direction of the multi-tube burner, the multi-tube burner is added to the measurement result. It is possible to prevent the error due to the angle of.

【００９５】また、この検査装置では、多重管バーナを
光ファイバ母材製造装置に組み付けたまま該多重管バー
ナの先端の様子を検査することにより、不良品を生む原
因となる該バーナの先端形状の不良や変形を光ファイバ
母材の製造に入る前に事前に察知することができる。Further, in this inspection apparatus, the state of the tip of the multi-tube burner is inspected while the multi-tube burner is assembled in the optical fiber preform manufacturing apparatus, so that the tip shape of the burner which causes defective products. It is possible to detect defects or deformation of the optical fiber before manufacturing the optical fiber preform.

【００９６】請求項７に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、多重管バーナの先
端に対向する側に配置される非接触式測定器と、該非接
触式測定器側と多重管バーナ側とに分離して設けられて
多重管バーナの管軸方向と非接触式測定器の測定方向と
が平行になるように該非接触式測定器を動かしてその設
定をする測定機器姿勢設定機構と、非接触式測定器をそ
の測定方向に対し直交する方向に走査する走査機構とを
備えた構造になっているので、この走査機構を用いて非
接触式測定器の走査線が多重管バーナの先端側でその最
外管の中心を通るように走査することにより、該多重管
バーナの最外管の中心に対して対象に測定でき、内管の
偏心状態，各管の肉厚，各管の直径などの測定を容易に
行うことができる。また、多重管バーナの最外管の直径
が装置に応じて変わっていても、走査距離を変えること
により容易に対処することができる。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the seventh aspect, a non-contact type measuring instrument arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact type measuring instrument side Position of the measuring instrument that is installed separately from the multi-tube burner and moves the non-contact measuring instrument so that the tube axis direction of the multi-tube burner and the measuring direction of the non-contact measuring instrument are parallel to each other. Since the structure is provided with a setting mechanism and a scanning mechanism that scans the non-contact type measuring instrument in a direction orthogonal to the measuring direction, the scanning lines of the non-contact type measuring instrument are multiplexed using this scanning mechanism. By scanning the tip side of the tube burner so as to pass through the center of the outermost tube, the object can be measured with respect to the center of the outermost tube of the multi-tube burner, the eccentric state of the inner tube, and the wall thickness of each tube. , The diameter of each pipe can be easily measured Further, even if the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner changes depending on the device, it can be easily dealt with by changing the scanning distance.

【００９７】請求項８に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、測定機器姿勢設定
機構が、非接触式測定器に連動可能に併設されて該非接
触式測定器の測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ光
源と、非接触式測定器とレーザ光源とを一緒に動かして
該非接触式測定器の測定姿勢の調整を行う測定機器姿勢
調整部と、多重管バーナの管軸方向に位置を異にし且つ
レーザ光源からのレーザ光が通り抜けるピンホールが整
列するように該多重管バーナに設けられている複数のピ
ンホール形成体とを備えて構成されているので、非接触
式測定器側を動かす測定機器姿勢調整部によりレーザ光
源のレーザ光が各ピンホールを通り抜けるような調整を
容易に行うことができる。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the eighth aspect, the measuring device attitude setting mechanism is provided so as to be interlocked with the non-contact type measuring device, and the measuring direction of the non-contact type measuring device is set. A laser light source that emits a laser beam in parallel with the non-contact measuring instrument and a laser light source that move the non-contact measuring instrument together to adjust the measurement posture of the non-contact measuring instrument; and a tube axis of a multi-tube burner. Since it is provided with a plurality of pinhole forming bodies provided in the multi-tube burner so that the pinholes that are different in position in the direction and through which the laser light from the laser light source passes are aligned, a non-contact type By the measuring device attitude adjusting unit that moves the measuring device side, it is possible to easily perform adjustment so that the laser light of the laser light source passes through each pinhole.

【００９８】請求項９に係る光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置においては、走査機構を容器の
外に配置しているので、該走査機構の大きさや設置方法
に対する制約が少なくなり、走査機構の走査精度を向上
できるため、測定精度をより向上させることができる。In the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the ninth aspect, since the scanning mechanism is arranged outside the container, restrictions on the size and installation method of the scanning mechanism are reduced. Since the scanning accuracy of the scanning mechanism can be improved, the measurement accuracy can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係る光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査装置における実施の形態の第１例を示す縦
断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view showing a first example of an embodiment of a burner tip shape inspection apparatus of an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.

【図２】図１に示す装置で得られた多重管バーナの先端
形状の画像の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of an image of a tip shape of a multi-tube burner obtained by the device shown in FIG.

【図３】本発明に係る光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査装置における実施の形態の第２例を示す縦
断面図である。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a second example of the embodiment of the burner tip shape inspection apparatus of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.

【図４】第２例で用いている多重管バーナの先端形状の
正面図である。FIG. 4 is a front view of a tip shape of a multi-tube burner used in a second example.

【図５】第２例で非接触式変位計を多重管バーナに対し
て走査する過程を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory view showing a process of scanning a non-contact type displacement meter with respect to a multi-tube burner in the second example.

【図６】第２例で非接触式変位計を多重管バーナに対し
て走査して得られた多重管バーナの先端形状を示すグラ
フである。FIG. 6 is a graph showing a tip shape of a multi-tube burner obtained by scanning a multi-tube burner with a non-contact displacement meter in the second example.

【図７】本発明に係る光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査装置における実施の形態の第３例を示す縦
断面図である。FIG. 7 is a vertical cross-sectional view showing a third example of the embodiment of the burner tip shape inspection device of the optical fiber preform manufacturing device according to the present invention.

【図８】第３例で非接触式変位計を多重管バーナに対し
て走査する場合の測定過程を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a measurement process when a non-contact displacement gauge is scanned on a multi-tube burner in the third example.

【図９】従来の光ファイバ母材製造装置の構造を示す縦
断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing the structure of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus.

【図１０】従来の光ファイバ母材製造装置のバーナ先端
形状検査装置を示す縦断面図である。FIG. 10 is a vertical cross-sectional view showing a burner tip shape inspection device of a conventional optical fiber preform manufacturing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 容器 ２ 開口部 ３ 支持棒 ４ 回転・引上げ機構 ５ コア部形成用多重管バーナ ５ａ 最外管 ５ｂ，５ｃ，５ｄ 内管 ５ａｇ，５ｂｇ，５ｃｇ，５ｄｇ ガス流路 ６ クラッド部形成用多重管バーナ ７ 光ファイバ母材 ８ 排気口 ９ レーザ光源 １０ フレーム １１ レーザ光 １２ 測定器 １３ ＣＣＤカメラ（非接触式測定器） １４ 測定機器姿勢設定機構 １５ ホルダ １６ 測定機器姿勢調整部 １７，１８ ピンホール形成体 １７ａ，１８ａ ピンホール １９ 傾斜ステージ ２０ 受像機 ２１ 非接触式変位計（非接触式測定器） ２２ ＸＹステージ（走査機構） ２３ データ処理部 ２４ ステージコントローラ ２５ レーザ光受け部 ２６ 観察窓 ２７ 操作アーム ２８ アーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container 2 Opening 3 Support rod 4 Rotation / pulling mechanism 5 Multi-tube burner for core part formation 5a Outermost tube 5b, 5c, 5d Inner tube 5ag, 5bg, 5cg, 5dg Gas flow path 6 Multi-tube burner for formation of clad part 7 Optical fiber base material 8 Exhaust port 9 Laser light source 10 Frame 11 Laser light 12 Measuring instrument 13 CCD camera (non-contact type measuring instrument) 14 Measuring instrument attitude setting mechanism 15 Holder 16 Measuring instrument attitude adjusting part 17, 18 Pinhole forming body 17a, 18a Pinhole 19 Tilt stage 20 Image receiver 21 Non-contact type displacement meter (non-contact type measuring instrument) 22 XY stage (scanning mechanism) 23 Data processing section 24 Stage controller 25 Laser light receiving section 26 Observation window 27 Operation arm 28 arm

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 容器内で多重管バーナの火炎中で合成し
たガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査方法において、 前記多重管バーナの先端に対向する側に非接触式測定器
を配置し、 前記多重管バーナの管軸方向と前記非接触式測定器の測
定方向とが平行になるように該非接触式測定器を動かし
てその設定をし、 かかる状態で前記非接触式測定器により前記多重管バー
ナの先端形状の検査を行うことを特徴とする光ファイバ
母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。1. A burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner inside a container, wherein: A non-contact measuring instrument is arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and the non-contact measuring instrument is arranged so that the tube axis direction of the multi-tube burner is parallel to the measuring direction of the non-contact measuring instrument. A burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus, wherein the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact type measuring instrument in such a state that the burner tip shape is moved and set. 【請求項２】 容器内で多重管バーナの火炎中で合成し
たガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査方法において、 前記多重管バーナの先端に対向する側に非接触式測定器
を配置し、 前記非接触式測定器にはその測定方向と平行にレーザ光
を出すレーザ光源を一体化して併設し、 前記多重管バーナの管軸方向に位置を異にし且つピンホ
ールが整列するように該多重管バーナに設けられている
複数のピンホール形成体の前記各ピンホールに前記レー
ザ光が通るように前記レーザ光源及び前記非接触式測定
器を一緒に動かしてその設定をし、 かかる状態で前記非接触式測定器により前記多重管バー
ナの先端形状の検査を行うことを特徴とする光ファイバ
母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。2. A burner tip shape inspection method of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container to produce a porous optical fiber preform. A non-contact measuring instrument is arranged on the side opposite to the tip of the multi-tube burner, and a laser light source that emits laser light in parallel with the measuring direction is integrated with the non-contact measuring instrument, and the multi-tube burner is installed. Of the laser light source and the laser light source so that the laser light passes through the pinholes of a plurality of pinhole forming bodies provided in the multi-tube burner so that the positions are different in the tube axis direction and the pinholes are aligned. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the non-contact measuring instrument is moved together and set, and in this state, the tip shape of the multi-tube burner is inspected by the non-contact measuring instrument. Burner tip shape inspection method. 【請求項３】 前記非接触式測定器はその走査線が前記
多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通るように
走査することを特徴とする請求項１または２に記載の光
ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。3. The light according to claim 1, wherein the non-contact type measuring device scans so that its scanning line passes through the center of the outermost tube at the tip side of the multi-tube burner. Burner tip shape inspection method for fiber preform manufacturing equipment. 【請求項４】 容器内で多重管バーナの火炎中で合成し
たガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査方法において、 前記多重管バーナの先端に対向する側に非接触式測定器
を配置し、 前記非接触式測定器をその走査線が前記多重管バーナの
先端側でその最外管の中心を通るように走査して前記多
重管バーナの先端形状の検査を行うことを特徴とする光
ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査方法。4. A burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container to produce a porous optical fiber preform. A non-contact measuring instrument is arranged on the side opposite to the tip of the multi-tube burner, and the non-contact measuring instrument is scanned so that its scanning line passes through the center of its outermost tube on the tip side of the multi-tube burner. A method of inspecting the tip shape of the multi-tube burner, the method of inspecting the tip shape of a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus. 【請求項５】 前記非接触式測定器をその走査線が前記
多重管バーナの先端側でその最外管の中心を通るように
走査した時の前記非接触式測定器から前記多重管バーナ
の最外管の先端部までの測定距離及び前記多重管バーナ
の最外管の直径の測定値から、前記非接触式測定器の測
定方向と前記多重管バーナの最外管の管軸とのなす角度
θを求め、この角度θを用いて前記測定値の補正を行う
ことを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ母材製造
装置のバーナ先端形状検査方法。5. The non-contact measuring instrument is moved from the non-contact measuring instrument to the multi-tube burner when the scanning line is scanned so that the scanning line passes through the center of the outermost tube on the tip side of the multi-tube burning instrument. From the measurement distance to the tip of the outermost tube and the measured value of the diameter of the outermost tube of the multi-tube burner, the measurement direction of the non-contact type measuring instrument and the tube axis of the outermost tube of the multi-tube burner are formed. The burner tip shape inspection method for an optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the angle θ is obtained, and the measured value is corrected using the angle θ. 【請求項６】 容器内で多重管バーナの火炎中で合成し
たガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査装置において、 前記多重管バーナの先端に対向する側に配置される非接
触式測定器と、 前記非接触式測定器側と前記多重管バーナ側とに分離し
て設けられて前記多重管バーナの管軸方向と前記非接触
式測定器の測定方向とが平行になるように該非接触式測
定器側を動かしてその設定をする測定機器姿勢設定機構
とを備えていることを特徴とする光ファイバ母材製造装
置のバーナ先端形状検査装置。6. A burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus, which manufactures a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container, wherein: A non-contact type measuring device arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and a non-contact type measuring device side and a multi-tube burner side, which are provided separately from each other, and a pipe axial direction of the multi-tube burner. An optical fiber preform manufacturing apparatus, comprising: a measuring instrument attitude setting mechanism for moving and setting the non-contact measuring instrument side so that the measuring direction of the non-contact measuring instrument is parallel to the measuring direction. Burner tip shape inspection device. 【請求項７】 容器内で多重管バーナの火炎中で合成し
たガラス微粒子をターゲットに堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置のバーナ
先端形状検査装置において、 前記多重管バーナの先端に対向する側に配置される非接
触式測定器と、 前記非接触式測定器側と前記多重管バーナ側とに分離し
て設けられて前記多重管バーナの管軸方向と前記非接触
式測定器の測定方向とが平行になるように該非接触式測
定器側を動かしてその設定をする測定機器姿勢設定機構
と、 前記非接触式測定器をその測定方向に対し直交する方向
に走査する走査機構とを備えていることを特徴とする光
ファイバ母材製造装置のバーナ先端形状検査装置。7. A burner tip shape inspection apparatus of an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass particles synthesized in a flame of a multi-tube burner in a container, A non-contact type measuring device arranged on the side facing the tip of the multi-tube burner, and a non-contact type measuring device side and a multi-tube burner side, which are provided separately from each other, and a pipe axial direction of the multi-tube burner. A measuring device attitude setting mechanism for moving and setting the non-contact measuring device side so that the measuring direction of the non-contact measuring device is parallel to the measuring direction, and the non-contact measuring device is orthogonal to the measuring direction. 1. A burner tip shape inspection apparatus for an optical fiber preform manufacturing apparatus, comprising: a scanning mechanism for scanning in a direction. 【請求項８】 前記測定機器姿勢設定機構は、 前記非接触式測定器に連動可能に併設されて該非接触式
測定器の測定方向と平行にレーザ光を出すレーザ光源
と、 前記非接触式測定器と前記レーザ光源とを一緒に動かし
て該非接触式測定器の測定姿勢の調整を行う測定機器姿
勢調整部と、 前記多重管バーナの管軸方向に位置を異にし且つ前記レ
ーザ光源からのレーザ光が通り抜けるピンホールが整列
するように該多重管バーナに設けられている複数のピン
ホール形成体とを備えて構成されていることを特徴とす
る請求項６または７に記載の光ファイバ母材製造装置の
バーナ先端形状検査装置。8. The measuring device attitude setting mechanism is provided side by side with the non-contact type measuring device so as to be interlocked with the non-contact type measuring device, and emits a laser beam in parallel with the measuring direction of the non-contact type measuring device, Measuring device posture adjusting section for adjusting the measuring posture of the non-contact type measuring device by moving the measuring device and the laser light source together, and the laser from the laser light source having different positions in the axial direction of the multi-tube burner. The optical fiber preform according to claim 6 or 7, further comprising: a plurality of pinhole forming bodies provided in the multi-tube burner so that the pinholes through which light passes are aligned. Burner tip shape inspection device for manufacturing equipment. 【請求項９】 前記走査機構は前記容器の外に配置さ
れ、前記容器内の前記非接触式測定器は該容器の観察窓
を通る操作アームを介して前記走査機構に支持されてい
ることを特徴とする請求項７に記載の光ファイバ母材製
造装置のバーナ先端形状検査装置。9. The scanning mechanism is arranged outside the container, and the non-contact type measuring instrument in the container is supported by the scanning mechanism via an operation arm passing through an observation window of the container. The burner tip shape inspection device of the optical fiber preform manufacturing device according to claim 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114136241A (en) * 2021-12-01 2022-03-04 南通大学 Eccentricity measurement method for optical fiber preform

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114136241A (en) * 2021-12-01 2022-03-04 南通大学 Eccentricity measurement method for optical fiber preform
CN114136241B (en) * 2021-12-01 2024-04-19 南通大学 Method for measuring eccentricity of optical fiber preform

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