KR20050031171A - 응력측정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력측정장치는, 광을 발생하는 광원부와, 상기 광원부의 광을 확산하는 광확산부와, 상기 확산된 광중 일부만을 편광으로서 시료의 일측으로 제공하는 편광부와, 상기 시료의 타측으로 출력되는 광을 검광하여 프린지 패턴을 검출하는 검광부와, 상기 검광부가 출력하는 프린지 패턴을 촬상하는 촬상부와, 상기 프린지 패턴을 제공받아 특정 구간의 픽셀수를 계수하고, 그 계수된 픽셀수 및 상기 광원의 주파장, 편광이 투과한 길이를 이용하여 응력을 산출하는 제어부와, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 연산된 응력을 사용자에 안내하는 표시부로 구성됨을 특징으로 한다.

Description

응력측정장치 및 방법{STRESS MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 유리 또는 플라스틱 등의 투명체의 특성을 측정하는 시스템에 관한 것으로, 특히 자동으로 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력을 측정하여 안내하는 응력측정장치 및 방법에 관한 것이다.
건설 및 차량 등에 널리 사용되고 있는 유리 또는 플라스틱 등의 투명체는 그 사용 목적에 따라 다양한 특성을 가지도록 제조된다. 이에 따라 사용 목적에 부합되는 특성을 가지고 있는지를 확인하기 위해, 다양한 유리 또는 플라스틱 등의 투명체의 특성 측정 기술이 나날이 발전하고 있다.
특히, 종래에는 상기 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 특성중 응력(stress)을 자동으로 측정하여 안내할 수 있는 방법의 개발이 절실히 요망되었다.
따라서 본 발명의 목적은 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력을 자동으로 측정하는 응력측정장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 응력측정장치는, 광을 발생하는 광원부와, 상기 광원부의 광을 확산하는 광확산부와, 상기 확산된 광중 일부만을 편광으로서 시료의 일측으로 제공하는 편광부와, 상기 시료의 타측으로 출력되는 광을 검광하여 프린지 패턴을 검출하는 검광부와, 상기 검광부가 출력하는 프린지 패턴을 촬상하는 촬상부와, 상기 프린지 패턴을 제공받아 특정 구간의 픽셀수를 계수하고, 그 계수된 픽셀수 및 상기 광원의 주파장, 편광이 투과한 길이를 이용하여 응력을 산출하는 제어부와, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 연산된 응력을 사용자에 안내하는 표시부로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명의 설명에 앞서, 일반적인 유리 또는 플라스틱 등의 투명체가 가지는 일시응력에 대해 간략히 설명한다. 이하, 유리 또는 플라스틱 등의 투명체를 편이상 유리라 약칭한다.
상온의 유리를 가열하거나 냉각시키면 상기 유리의 표면과 내부간에는 온도차이가 발생한다. 특히 유리를 470°이하로 냉각시킬 경우에는 상기 유리의 두께 및 폭 방향의 고온 부위에서는 압축응력(compression stress)이 형성되고, 저온부위에서는 인장응력(tension stress)이 형성된다. 여기서 발생된 일시적인 인장응력 및 압축응력은 유리의 온도가 전체적으로 균일해지면서 소멸된다. 이와는 반대로 470°이상의 영구응력 영역에서는 유리의 두께 및 폭 방향의 고온 부위에서는 인장응력이 형성되고, 저온부위에서는 압축응력이 형성된다. 이러한 영구응력은 유리온도가 상온으로 유지되더라도 영원히 남아있게 된다. 이러한 영구응력의 크기가 유리의 절단면 상태에 영향을 미친다.
이제, 상기 인장응력 및 압축응력을 측정하는 과정을 도 1을 참조하여 개략적으로 설명한다.
응력이 형성되지 않은 유리에 편광들(u1,u2)을 입사하면, 입사된 편광성분들(u1,u2)은 도 1의 a)에 나타낸 바와 같이 동일한 속도로 투사된다.
그런데, 응력이 형성된 유리는 광탄성특성을 가지므로, 상기 응력이 형성된 유리에 편광들(u1,u2)을 입사하면, 입사된 편광성분들(u1,u2)은 상기 광탄성특성에 따라 복굴절되어 도 1의 b)에 나타낸 바와 같이 서로 다른 속도로 투사되고, 두 편광성분들(u1,u2)간에는 광로차(R ;retardtion)가 존재하게 된다.
상기 광로차(R)는 하기 수학식 1에 나타낸 바와 같이 응력(F)과 편광의 통과길이(L)에 비례한다.
상기 수학식 1에서 R(nm)은 광로차, F(kg/cm2)는 응력, L(cm)은 편광이 통과한 길이, C(nm/cm)/(kg/cm2)는 광탄성 계수이다.
상기 수학식 1에 나타낸 바와 같이 유리의 응력은 상기 광로차를 토대로 산출될 수 있으므로, 본 발명은 상기 광로차를 측정하여 응력을 산출하고, 그 산출된 응력을 측정자에게 안내한다.
상기 광로차의 측정방법으로는 수정웨지(quartz wedge) 방식과 더블웨지(double wedge) 방식이 있다.
먼저, 수정웨지 방식은 도 2에 도시한 바와 같은 수정결정, 즉 1 내지 2.5°의 기울기를 가지는 웨지 형태로 절단된 수정결정을 이용하는 것이다.
상기 수정결정의 두께가 변화함에 따라 광로차 및 위상차가 변화하며, 이를 나타낸 것이 도 3이다. 상기 수정웨지의 광로차를 수학식으로 표현한 것이 수학식 2이다.
상기 수학식 2에서 d는 수정웨지의 각 지점의 두께를 나타낸다. 상기 수정웨지의 각 지점에서의 광로차는 상이하지만, 어느 한 지점에서 느린축 방향(n0)의 광로차는 동일하다.
이러한 수정웨지의 느린축(n0)을 단파장의 광원에서 올라오는 편광방향의 45°각도로 설치함과 동시에, 편광방향에 직교하여 분석장치(ANALYZER)인 편광판을 위치시키면 도 4에 도시한 바와 같이 주기적으로 휘도가 변화하는 프린지(fringe)가 형성된다.
상기한 방식에 따라 광을 수정웨지 및 편광판을 설치한 경우를 도시한 도 6을 참조하면, 상기 편광판에는 주기적으로 휘도가 변화하는 프린지가 형성되었다.
이제 상기 더블웨지 방법에 대해 설명한다.
상기 더블웨지 방법은 도 6에 도시한 바와 같이 기본적으로 수직으로 배열된 두개의 수정 웨지, 즉 더블 웨지를 사용하는 것이다. 상기 두개의 수정 웨지는 수직 배열된다. 예를들면, 상부 수정웨지의 그린색이 느린 축이면, 하부의 다른 수정웨지는 상기 느린 축에 수직하게 배열된다.
상기 더블 웨지의 광로차는 수학식 3과 같이 나타낼 수 있다.
상기 수학식 3에서 d1은 상부 수정웨지의 어느 한 지점에 대한 두께를 나타내고, d2는 상기 지점에 대응되는 하부 수정 웨지의 지점에서의 두께를 나타낸다.
두 개의 수정웨지를 포개어 형성한 더블 웨지는 중앙지점에서 두 수정웨지의 두께가 동일하므로, 광로차는 0[nm]가 된다. 즉, 하나의 수정웨지의 경우에는 광로차가 0[nm]인 지점이 가장자리에 위치하지만, 상기 더블 수정웨지의 경우에는 광로차가 0[nm]인 지점이 중앙에 위치한다.
이러한 더블 웨지의 광학 축을 단파장의 광원으로부터의 편광에 대해 45°각도로 설치하고, 동시에 편광에 대해 직교하여 분석장치인 편광판을 위치시키면 도 7에 도시한 바와 같은 프린지 패턴이 나타난다.
상기 도 7의 (a)는 유리가 없는 무응력상태의 프린지 패턴이고, 도 7의 (b)는 응력이 형성된 유리으로부터의 프린지 패턴이다.
이제 상기한 프린지 패턴을 이용하여 광로차를 구하는 과정을 도 8을 참조하여 설명한다.
유리의 응력을 얻기 위해 상기 프린지 패턴에서 가장 어두운 부분들을 검출하고, 각 부분들 사이에 존재하는 픽셀수를 측정한다. 상기 가장 어두운 부분 사이가 광원의 주파장(λ)이다. 상기 주파장을 픽셀수로 나누어 제1값[nm/pixel]을 산출한다.
상기 제1값이 산출되면, 무응력선(neutral line)에서 두께방향의 각 지점에서 가장 어두운 지점까지의 픽셀수와 상기 제1값을 곱하여 각 지점에서의 광로차(nm)를 산출한다.
예를 들면, 주파장(λ)이 624[nm]인 적색의 LED 광원을 사용하는 경우에, 녹색 점선 사이의 픽셀수가 300개이면 상기 제1값은 2.08[nm/pixel]이 되고, 유리의 압축응력이 생성된 영역의 픽셀수가 100개이면 상기 압축응력이 생성된 영역의 광로차는 208[nm]가 된다.
이러한 과정을 거쳐 상기 유리의 각 지점에서의 광로차를 구할 수 있으며, 이와같이 각 지점에서의 광로차를 수학식 1에 대입함으로서 상기 유리의 각 지점에서의 응력(F)을 구할 수 있다.
이제 상기한 방식에 따라 유리의 응력을 검출하고, 그 검출된 응력을 측정자에게 안내하는 응력 측정 시스템에 대해 상세하게 설명한다.
먼저 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 응력 측정 시스템의 블록 구성도를 도시한 도 9를 참조하면, 상기 응력 측정 시스템은 크게 광학장치(100)와 제어장치(128)로 구성된다.
상기 광학장치(100)는 제1광학부(102), 제2광학부(112), 모터(118)로 구성된다.
상기 제1광학부(102)의 광원부(104)는 500[nm]이상의 장파장의 고휘도 LED 광원이나 레이저 광원이 채용될 수 있다. 상기 광원부(104)가 생성한 광은 광확산부(106)에 제공된다. 상기 광확산부(106)는 상기 광원부(104)가 제공하는 광이 내재하고 있는 광원부(104)의 패턴을 제거하고 광원부(104)으로부터의 광을 확산한다.
상기 광확산부(106)가 출력하는 광을 제공받은 편광부(108)는 상기 확산된 광을 선편광으로 전환한다. 상기 편광부(108)의 상부에는 시료(110)와의 마찰에 의한 스크래치를 방지하기 위한 보호용 유리가 더 구비될 수 있다.
시료(110)는 두께방향으로 상기 제1 및 제2광학부(102,112)사이에 삽입된다.
상기 편광부(108)가 출력하는 편광은 상기 시료(110)를 투과하여 제2광학부(112)의 검광부(114)에 입사된다. 상기 검광부(114)는 수정웨지방식 또는 더블웨지방식에 따라 상기 시료(110)를 투과한 광에 대해 프린지 패턴을 검출한다. 상기 제2광학부(112)의 CCD 카메라(116)는 상기 검광부(114)가 검출한 프린지 패턴을 촬상하여 제어장치(128)에 제공한다.
상기 모터(118)는 제어장치(120)의 제어에 따라 제1 및 제2광학부(102,112)를 이동시켜 두꺼운 시료(110)의 각부에 대한 응력측정을 가능하게 한다.
상기 제어장치(120)의 인터페이스부(122)는 상기 광학장치(100)의 CCD 카메라(116)와 제어부(124)간을 인터페이스하여, 상기 CCD 카메라(116)가 촬상한 이미지를 제어부(124)에 제공한다.
상기 제어부(124)가 구비하는 이미지 캡처 및 분석부(126), 응력 연산부(128)는 제어부(124)의 부하절감을 고려하여 펌웨어 등으로 구성될 수도 있다.
상기 이미지 캡처 및 분석부(126)는 상기 CCD 카메라(116)가 촬상한 이미지에서 가장 어두운 부분들을 검출하고, 그 부분들사이의 픽셀수를 검출하여 응력 연산부(128)에 제공한다. 여기서 상기 이미지 캡처 및 분석부(126)는 응력이 형성된 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수와 응력이 형성되지 않은 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수를 응력연산부(128)에 제공한다.
상기 응력연산부(128)는 상기 광원부(102)의 주파장을 응력이 형성된 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수로 나누어 제1값(nm/pixel)을 산출하고, 그 제1값과 응력이 형성되지 않은 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수를 곱하여 광로차를 산출한다. 상기 응력연산부(128)는 상기 광로차를 편광이 투과한 길이 및 광탄성 계수로 나누어 응력을 산출한다.
디스플레이 제어부(132)는 상기 제어부(124)의 제어에 따라 다양한 정보를 디스플레이 장치(134)에 표시한다.
입출력 인터페이스부(136)는 입력장치(138)를 통해 측정자가 입력하는 다양한 정보를 제어부(124)에 제공한다. 그리고 상기 입출력 인터페이스부(136)는 상기 제어부(124)의 제어에 따라 프린터 등의 출력장치(140)를 통해 다양한 정보를 출력한다.
모터 제어 및 구동부(130)는 상기 제어부(124)의 제어에 따라 상기 광학장치(100)에 설치된 모터(118)를 구동하여, 상기 광학장치(100)의 촬상영역을 이동시킨다.
상기 제어부(124)는 상기 응력연산부(128)가 산출한 응력 또는 상기 광학장치(100)의 CCD 카메라(116)가 촬상 이미지 등을 디스플레이 장치(134)에 표시하여 측정자에게 제공한다.
또한 상기 제어부(124)는 입력장치(138)를 통해 측정자가 입력하는 이동명령에 따라 모터 제어 및 구동부(130)를 제어하며, 상기 제어에 따라 상기 모터 제어 및 구동부(130)가 상기 광학장치(100)의 모터를 구동시켜, 상기 측정자가 원하는 위치로 상기 광학장치를 이동시킨다.
그리고 메모리부(142)는 상기 제어부(124)의 처리 프로그램 및 각종 정보를 저장하며, 이미지 캡처 및 분석부(126), 응력 연산부(128)가 필요로 하는 메모리 영역을 제공한다.
상기 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 응력측정장치의 실제 외관을 도시한 도 10을 참조하면, 흑백 카메라(A)와 광원(B)사이에 시료(C)가 위치하고, 상기 시료(C)와 흑백 카메라(A)사이에 검광장치(D)가 위치한다.
이제 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 응력측정장치를 도 11을 참조하여 설명한다.
상기 응력측정장치는 크게 광학장치(200)와 제어장치(224)로 구성되며, 상기 광학장치(200)는 제1광학부(202), 제2광학부(210), 모터(222)로 구성된다.
상기 제1광학부(202)의 광원부(204)는 500[nm]이상의 장파장의 고휘도 LED 광원이나 레이저 광원이 채용될 수 있다. 상기 광원부(204)가 생성한 광은 광확산부(206)에 제공된다. 상기 광확산부(206)는 상기 광원부(204)가 제공하는 광이 내재하고 있는 광원부(204)의 패턴을 제거하고 광원부(204)으로부터의 광을 확산한다.
상기 광확산부(206)가 출력하는 광을 제공받은 편광부(212)는 상기 확산된 광을 선편광으로 전환한다. 상기 편광부(212)의 상부에는 시료(208)와의 마찰에 의한 스크래치를 방지하기 위한 보호용 유리가 더 구비될 수 있다.
시료(208)는 폭방향으로 상기 제1 및 제2광학부(202,210)사이에 삽입된다.
상기 편광부(212)가 출력하는 편광은 상기 시료(208)를 투과하여 제2광학부(210)의 검광부(214)에 입사된다. 상기 검광부(214)는 수정웨지방식 또는 더블웨지방식에 따라 상기 시료(208)를 투과한 광에 대해 프린지 패턴을 검출한다. 상기 제2광학부(210)의 CCD 카메라(216)는 상기 검광부(214)가 검출한 프린지 패턴을 촬상하여 제어장치(224)에 제공한다.
그리고 상기 제2광학부(210)에 구비되는 두께측정장치(218)와 온도측정장치(220)는 시료(208)의 두께 및 온도를 각각 측정하고, 그 측정된 정보를 제어장치(224)에 제공한다.
상기 모터(222)는 제어장치(224)의 제어에 따라 제1 및 제2광학부(202,210)를 이동시켜 넓은 폭의 시료(208)의 각부에 대한 응력 측정을 가능하게 한다.
상기 제어장치(224)의 인터페이스부(226)는 상기 광학장치(200)의 CCD 카메라(216)와 제어부(228)간을 인터페이스하여, 상기 CCD 카메라(216)가 촬상한 이미지, 온도 측정 장치(220)의 측정결과, 두께 측정 장치(218)의 측정결과를 제어부(228)에 제공한다.
상기 제어부(228)가 구비하는 이미지 캡처 및 분석부(230), 온도 및 두께 분석부(232), 응력 연산부(234)는 제어부(228)의 부하절감을 고려하여 펌웨어 등으로 구성될 수도 있다.
상기 이미지 캡처 및 분석부(230)는 상기 CCD 카메라(216)가 촬상한 이미지에서 가장 어두운 부분들을 검출하고, 그 부분들사이의 픽셀수를 검출하여 응력 연산부(234)에 제공한다. 여기서 상기 이미지 캡처 및 분석부(234)는 응력이 형성된 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수와 응력이 형성되지 않은 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수를 응력연산부(234)에 제공한다.
그리고 온도 및 두께 분석부(232)는 온도 측정 장치(220)의 측정결과, 두께 측정 장치(218)의 측정결과를 분석하여 응력 연산부(234)에 제공한다.
상기 응력연산부(234)는 상기 광원부(204)의 주파장을 응력이 형성된 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수로 나누어 제1값(nm/pixel)을 산출하고, 그 제1값과 응력이 형성되지 않은 유리의 이미지로부터 검출한 픽셀수를 곱하여 광로차를 산출한다. 상기 응력연산부(128)는 상기 광로차를 편광이 투과한 길이 및 광탄성 계수로 나누어 응력을 산출한다. 여기서 상기 투과길이는 상기 두께 측정장치(218)가 측정한 유리의 두께가 된다.
또한 상기 응력연산부(234)는 응력연산 시점에서의 온도 및 두께 측정결과를 이용하여 응력(measured stress)을 산출함은 물론이며, 일시응력(temporary stress)과 영구응력(remained stress)에 대한 정보를 제공한다.
그리고 디스플레이 제어부(236)는 상기 제어부(228)의 제어에 따라 다양한 정보를 디스플레이 장치(238)에 표시한다.
입출력 인터페이스부(240)는 입력장치(242)를 통해 측정자가 입력하는 다양한 정보 및 명령 등을 제어부(228)에 제공한다. 그리고 상기 입출력 인터페이스부(240)는 상기 제어부(228)의 제어에 따라 프린터 등의 출력장치(244)를 통해 다양한 정보를 출력한다.
모터 제어 및 구동부(248)는 상기 제어부(228)의 제어에 따라 상기 광학장치(200)에 설치된 모터(222)를 구동하여, 상기 광학장치(200)의 측정영역을 이동시킨다.
상기 제어부(228)는 상기 응력연산부(234)가 산출한 응력 또는 상기 광학장치(200)의 CCD 카메라(216)가 촬상 이미지 등을 디스플레이 장치(238)에 표시하여 측정자에게 제공한다.
또한 상기 제어부(228)는 입력장치(242)를 통해 측정자가 입력하는 이동명령에 따라 모터 제어 및 구동부(248)를 제어하며, 상기 제어에 따라 상기 모터 제어 및 구동부(248)가 상기 광학장치(200)의 모터(222)를 구동시켜, 상기 측정자가 원하는 측정위치로 상기 광학장치(200)를 이동시킨다.
그리고 메모리부(246)는 상기 제어부(228)의 처리 프로그램 및 각종 정보를 저장하며, 상기 이미지 캡처 및 분석부(230), 온도 및 두께 분석부(232), 응력 연산부(234)가 필요로 하는 메모리 영역을 제공한다.
이와같이 구성된 기기는 소재의 두께 및 응력측정을 통해 실제 측정응력(measured stress)을 계산하고, 동시에 온도측정을 측정을 통해 일시 응력(temporary stress)과 영구 응력(remained stress)을 분해할 수 있다.
참고로, 각 측정응력의 계산식은 아래와 같다.
상술한 바와 같이 본 발명은 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력을 자동으로 측정하여 안내함으로써, 측정상의 편리성을 제공할 수 있는 이점이 있다.
도 1의 (a) 및 (b)는 유리 또는 플라스틱 등의 투명체의 광로차를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수정웨지를 도시한 도면.
도 3은 수정웨지의 느린축(n0)과 빠른 축의 굴절율 변화를 도시한 도면.
도 4는 수정웨지로 검출한 프린지 특성을 도시한 도면.
도 5는 수정웨지와 편광판을 조합하여 실제 프린지 패턴을 검출한 예를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 더블웨지를 도시한 도면.
도 7은 더블웨지로 검출한 프린지 패턴을 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 응력측정과정을 도시한 도면.
도 9는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 응력측정장치의 구성도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 응력측정장치의 외관도.
도 11은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 응력측정장치의 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 광학장치 102 : 제1광학부
104 : 광원부 106 : 광확산부
108 : 편광부 110 : 시료
114 : 검광부 116 : CCD 카메라
118 : 모터 120 : 제어장치
122 : 인터페이스부 124 : 제어부
126 : 이미지 캡쳐 및 분석부 128 : 응력 연산부
130 : 모터 제어 및 구동부 132 : 디스플레이 제어부
134 : 디스플레이 장치 136 : 입출력 인터페이스부
138 : 입력장치 140 : 출력장치
142 : 메모리부

Claims (6)

  1. 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력측정장치에 있어서,
    광을 발생하는 광원부와,
    상기 광원부의 광을 확산하는 광확산부와,
    상기 확산된 광중 일부만을 편광으로서 시료의 일측으로 제공하는 편광부와,
    상기 시료의 타측으로 출력되는 광을 검광하여 프린지 패턴을 검출하는 검광부와,
    상기 검광부가 출력하는 프린지 패턴을 촬상하는 촬상부와,
    상기 프린지 패턴을 제공받아 특정 구간의 픽셀수를 계수하고, 그 계수된 픽셀수 및 상기 광원의 주파장, 편광이 투과한 길이를 이용하여 응력을 산출하는 제어부와,
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 연산된 응력을 사용자에 안내하는 표시부로 구성됨을 특징으로 하는 응력측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검광부가,
    수정 웨지 방식 또는 더블 웨지 방식에 따라 프린지 패턴을 검출함을 특징으로 하는 응력측정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 시료의 온도를 측정하기 위한 온도측정장치,
    상기 시료의 두께를 측정하기 위한 두께측정장치를 더 구비하여,
    상기 제어부가, 상기 측정된 시료의 온도 및 두께 정보를 이용하여 응력을 산출함을 특징으로 하는 응력측정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 시료의 응력측정지점을 가변하기 위해 상기 광원부, 광확산부, 편광부, 검광부, 촬상부를 이송하는 이송기구 및 모터를 더 구비함을 특징으로 하는 응력측정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 프린지 패턴의 특정 구간의 픽셀수를 이용하여 광로차를 산출하고,
    그 광로차를 광원의 주파장과 편광이 투과한 길이를 곱한 값으로 나누어 응력을 산출함을 특징으로 하는 응력측정장치.
  6. 유리 또는 플라스틱 등의 투명체에 대한 응력측정방법에 있어서,
    확산된 광중 일부만을 편광으로서 시료의 일측으로 제공하는 단계와,
    상기 시료의 타측으로 출력되는 광을 검광하여 프린지 패턴을 검출하는 단계와,
    상기 프린지 패턴을 촬상하는 단계와,
    상기 프린지 패턴을 제공받아 특정 구간의 픽셀수를 계수하고, 그 계수된 픽셀수 및 상기 광원의 주파장, 편광이 투과한 길이를 이용하여 응력을 산출하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 응력측정방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180055993A (ko) * 2016-11-17 2018-05-28 삼성디스플레이 주식회사 유리 기판의 결함 검출 방법

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