KR20050019696A - Method for preparing of pressure sensitive adhesive tape for dicing comprising pvc support and adhesive tape - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 코팅하여 PVC 지지체 형태 불량을 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지함으로써 안정적으로 점착강도를 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape comprising a PVC support and a pressure-sensitive adhesive tape, and more specifically, using a PVC film as a support, coating the pressure-sensitive adhesive composition not only does not cause a failure in the form of the PVC support. In addition, the present invention relates to a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape manufacturing method and pressure-sensitive adhesive tape comprising a PVC support that can maintain a stable adhesive strength by maintaining a constant level of adhesive strength over time.
반도체 집적 회로는 통상적으로 고순도 규소 단결정 등을 분할하여 웨이퍼를 얻고, 에칭에 의해 웨이퍼 표면상에 집적회로와 같은 주어진 회로 패턴을 형성시키고, 이어서 이 웨이퍼의 배면을 연마기로 연마하여 웨이퍼의 두께를 감소시키고, 최종적으로 웨이퍼를 다이싱(dicing)하여 칩을 형성시킨 후 형성된 칩을 분리하는 방법으로 제조된다. Semiconductor integrated circuits typically obtain a wafer by dividing a high purity silicon single crystal or the like, forming a given circuit pattern such as an integrated circuit on the wafer surface by etching, and then polishing the back side of the wafer with a polishing machine to reduce the thickness of the wafer. And finally dicing the wafer to form chips, and then separating the formed chips.
이때, 연마 또는 다이싱시에 점착제 테이프를 웨이퍼에 부착하여 연마 또는 다이싱하게 된다.At this time, the adhesive tape is attached to the wafer during polishing or dicing, thereby polishing or dicing.
이와 같이 사용되는 점착제 테이프는 연마 또는 다이싱 동안 점착제 테이프가 벗겨지지 않을 정도의 일정 시간 균일한 점착성을 필요로 하며, 동시에 웨이퍼를 연마 또는 다이싱 후에는 떼어낼 때 반도체 웨이퍼를 파손시키지 않고 이로부터 쉽게 벗겨낼 수 있을 정도의 점착성을 필요로 한다. 또한, 점착제 테이프는 웨이퍼의 정면 또는 배면상에 점착제 잔재를 남기지 않아 웨이퍼의 표면을 오염시키지 않는 것이 요구된다. The adhesive tape used in this way requires uniform adhesiveness for a certain period of time such that the adhesive tape does not peel off during polishing or dicing, and at the same time, after polishing or dicing, the adhesive tape is not damaged without breaking the semiconductor wafer. It needs to be sticky enough to peel off easily. In addition, the pressure-sensitive adhesive tape is required not to leave the pressure-sensitive adhesive residue on the front or rear surface of the wafer so as not to contaminate the surface of the wafer.
특히, 감압형 다이싱 점착제 테이프는 테이프가 웨이퍼와 접착된 상태에서 점착력 경시변화의 최소화를 필요로 한다. 즉, 점착력이 너무 약하게 되면 다이싱 공정에서 칩이 튕겨져 나가게 되는 문제가 발생할 수 있으며, 점착력이 너무 강할 경우에는 칩이 테이프에서 잘 떨어지지 않는 문제가 발생될 수 있기 때문에 시간이 경과하더라도 적정수준의 점착력을 일정하게 유지하는 특성이 요구된다.In particular, the pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape needs to minimize the change in adhesive force over time in the state where the tape is bonded to the wafer. In other words, if the adhesive strength is too weak, the chip may bounce in the dicing process, and if the adhesive strength is too strong, the chip may not easily fall off the tape. It is required to keep the property constant.
상기와 같은 점착제 테이프는 일반적으로 PVC 지지체에 점착제 조성물을 코팅한 후, 이형 필름을 합지시키는 방법으로 제조되어 왔다. 점착제 조성물을 PVC 지지체에 코팅할 경우 80∼130 ℃의 온도 조건을 필요로 하나 PVC의 낮은 내열성으로 인하여 점착제 조성물 코팅시 적정 수준의 코팅이 되지 않고 PVC 표면이 수축하여 쭈글쭈글하게 형태가 변화되며, 이에 따라 점착강도의 일정한 유지가 되지 않고, 다이싱 후 칩을 박리할 때 안정적으로 공정을 유지하기 어렵다는 문제점이 있다.The pressure-sensitive adhesive tape as described above has been generally manufactured by coating a pressure-sensitive adhesive composition on a PVC support and then laminating a release film. When coating the pressure-sensitive adhesive composition on the PVC support requires a temperature condition of 80 ~ 130 ℃, but due to the low heat resistance of the PVC, the surface of the PVC shrinks due to shrinkage of the surface of the pressure-sensitive adhesive composition when coating the pressure-sensitive adhesive composition, Accordingly, there is a problem that it is difficult to maintain the process stably when peeling the chip after dicing without maintaining constant adhesion strength.
따라서, PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체 표면의 변형 없이 적정수준의 점착력을 유지할 수 있는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법에 대한 연구가 더욱 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for further research on a method for manufacturing a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape that can maintain an appropriate level of adhesive force without deforming the surface of the PVC support by coating the pressure-sensitive adhesive composition to an appropriate level while using a PVC film as a support.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자, 본 발명은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 코팅하여 PVC 지지체의 형태 불량을 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법 및 점착제 테이프를 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention not only does not cause a poor shape of the PVC support by coating the pressure-sensitive adhesive composition while using a PVC film as a support, at the same time to maintain a constant level of adhesion strength over time An object of the present invention is to provide a method for producing a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape containing a supportable PVC support and a pressure-sensitive adhesive tape.
본 발명의 다른 목적은 PVC 지지체의 형태가 변형되지 않아 점착강도가 우수할 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프 및 점착제 테이프를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape and pressure-sensitive adhesive comprising a PVC support which can not only deform the shape of the PVC support is not only excellent in adhesive strength, but also at the same time maintain a proper level of adhesive strength over time To provide a tape.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법에 있어서, PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시키는 것을 특징으로 하는 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is a method for producing a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape comprising a PVC support, after coating the pressure-sensitive adhesive composition on a PET film to transfer the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film to the PVC support Provided is a method for producing a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape comprising a PVC support.
또한 본 발명은 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제가 PVC 지지체에 전사되어 PVC 지지체, 전사된 점착제, 및 PET 필름을 순차적으로 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제공한다.In another aspect, the present invention provides a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape comprising a pressure-sensitive adhesive coated on the PET film, the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film is transferred to a PVC support, sequentially comprising a PVC support, a transferred pressure-sensitive adhesive, and a PET film. do.
이하 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
본 발명자들은 내열성이 낮은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서 PVC 지지체 표면의 변형 없이 일정한 점착성을 유지할 수 있는 점착제 테이프의 제조방법에 대하여 연구하던 중, PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시킨 결과, PVC 필름에 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하면서도 PVC 지지체의 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있음을 확인하고, 이를 토대로 본 발명을 완성하게 되었다.The inventors of the present invention while studying a method of manufacturing a pressure-sensitive adhesive tape that can maintain a constant adhesiveness without deformation of the surface of the PVC support while using a PVC film having a low heat resistance as a support, after coating the pressure-sensitive adhesive composition on the PET film, As a result of transferring the coated pressure-sensitive adhesive to the PVC support, it is confirmed that the pressure-sensitive adhesive composition is coated on the PVC film at an appropriate level while not deforming the shape of the PVC support, and at the same time, maintaining a proper level of adhesive force over time. Based on this, the present invention has been completed.
본 발명의 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 제조방법은 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅한 후, 상기 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시키는 것을 특징으로 한다.Method for producing a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is characterized in that after the pressure-sensitive adhesive composition is coated on a PET film, the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film is transferred to a PVC support.
본 발명의 제조방법을 자세히 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the present invention will be described in detail as follows.
본 발명에 사용되는 상기 PET 필름의 표면은 점착제층으로부터의 박리성을 높이기 위해서 실리콘 처리, 장쇄 알킬 처리, 불소 처리 등의 박리 처리를 할 수도 있으며, 특히 실리콘 처리를 하는 것이 좋다. 이때, PET 필름 표면에 처리된 물질이 점착제 코팅시 점착면으로 전이되지 않을 정도로 처리하는 것이 좋다.The surface of the PET film used in the present invention may be subjected to a peeling treatment such as silicone treatment, long chain alkyl treatment, fluorine treatment, etc. in order to increase the peelability from the pressure-sensitive adhesive layer, and in particular, it is preferable to perform silicone treatment. At this time, the material treated on the surface of the PET film is good enough to be treated so as not to transfer to the adhesive surface when the adhesive coating.
또한 상기 PET 필름의 강성을 높이기 위하여 1축 또는 2축의 연신 처리나 다른 플라스틱 필름 등을 적층할 수도 있다. In addition, in order to increase the rigidity of the PET film, one or two axes of stretching treatment or another plastic film may be laminated.
상기 PET 필름의 두께는 25 내지 50 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 35 내지 40 ㎛인 것이다. PET 필름의 두께가 상기 범위일 경우에는 PET 필름 박리시 떼어내기 용이한 잇점이 있다.The thickness of the PET film is preferably 25 to 50 ㎛, more preferably 35 to 40 ㎛. When the thickness of the PET film is in the above range, there is an advantage that it is easy to peel off the PET film peeling.
본 발명에 사용되는 상기 점착제 조성물은 크게 제한되지 않으며, 통상적으로 사용되는 점착제를 사용할 수 있다. 그 예로는 고무계, 아크릴계, 실리콘계, 또는 폴리비닐 에테르계 등의 점착제가 있으며, 바람직하게는 아크릴계 점착제를 사용하는 것이다.The pressure-sensitive adhesive composition used in the present invention is not particularly limited, it may be used a pressure-sensitive adhesive commonly used. Examples thereof include rubber-based, acrylic-based, silicone-based or polyvinyl ether-based adhesives, and preferably acrylic adhesives.
상기 아크릴계 점착제는 (메타)아크릴레이트 폴리머를 사용할 수 있으며, 그 예로는 메틸 아크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, 프로필 아크릴레이트, 부틸 아크릴레이트, 2-에틸헥실 아크릴레이트, 옥틸 아크릴레이트, 부틸 메타크릴레이트, 2-에틸헥실 메타크릴레이트, 또는 옥틸 메타크릴레이트 등이 있다. 이들 아크릴계 점착제는 단독 또는 2 종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 특히, 상기 아크릴계 점착제는 평균분자량이 800,000 내지 1,000,000인 것이 점착제의 응집력을 높이고 피착면의 오염을 방지하는데 있어 좋다.The acrylic pressure-sensitive adhesive may be a (meth) acrylate polymer, and examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl methacrylate, and the like. These acrylic adhesives can be used individually or in mixture of 2 or more types. In particular, the acrylic pressure-sensitive adhesive having an average molecular weight of 800,000 to 1,000,000 is good for increasing the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive and preventing contamination of the adherend.
상기 아크릴계 점착제는 필요에 따라 저급 알킬기의 아크릴아마이드, 메틸메타크릴레이트, 또는 스티렌 등의 코모노머와 함께 사용할 수 있다.The acrylic pressure-sensitive adhesive may be used with comonomers such as acrylamide, methyl methacrylate, or styrene of a lower alkyl group as necessary.
상기 코모노머는 점착제 조성물의 응집력을 향상시킬 수 있는 당업계에서 사용되는 통상의 함량으로 포함될 수 있다.The comonomer may be included in a conventional content used in the art that can improve the cohesion of the pressure-sensitive adhesive composition.
또한 상기 점착제 조성물은 상기의 모노머들 이외에 가교제, 경화제, 광중합 개시제, 점착 부여제, 충전제, 노화방지제, 착색제 등을 추가로 사용할 수 있다.In addition, the pressure-sensitive adhesive composition may further use a crosslinking agent, a curing agent, a photopolymerization initiator, a tackifier, a filler, an anti-aging agent, a colorant, and the like in addition to the monomers.
상기 가교제는 경시변화 폭을 최소화하는 작용을 하며, 특히 본 발명의 점착제 조성물은 이소시아네이트계 화합물에 에폭시계 수지를 동시에 함유하는 가교제를 사용한다.The crosslinking agent has a function of minimizing the change over time, and in particular, the pressure-sensitive adhesive composition of the present invention uses a crosslinking agent simultaneously containing an epoxy resin in an isocyanate compound.
상기 가교제는 아크릴계 점착제 100 중량부에 대하여 0.5 내지 2 중량부로 포함되는 것이 바람직하며, 상기 함량 범위일 경우 이소시아네이트계만을 단독으로 사용할 경우 발생하게 되는 점착력 경시변화의 폭이 커지는 문제점을 해결하여 경시변화 폭을 최소화할 수 있는 효과가 있다.The cross-linking agent is preferably included in 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive, in the case of the content range to solve the problem that the width of the change in the adhesive force with time is increased when using only the isocyanate-based alone change width over time There is an effect that can be minimized.
상기 경화제는 점착제 조성물의 응집력을 향상시키는 작용을 한다.The curing agent serves to improve the cohesion of the pressure-sensitive adhesive composition.
상기 경화제는 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 디에틸프로필아민, N-아미노에틸피페라진, 벤질디메틸아민, 디메틸아미노페닐 페놀, 메타페닐렌디아민, 디아미노페닐메탄, 디아미노디페닐술폰, 디시안디아미드, 크실렌디아민, 비스아미노프로필??라옥사스피로운데칸, 에틸메틸이미다졸, 무수프탈산, 무수말레인산, 무수도데실숙신산, 무수헥사히드로프탈산, 무수피로멜리트산, 무수벤조페논테트라카르본산, 또는 무수디클로로숙신산 등을 사용할 수 있다.The curing agent is diethylenetriamine, triethylenetetraamine, diethylpropylamine, N-aminoethylpiperazine, benzyldimethylamine, dimethylaminophenyl phenol, metaphenylenediamine, diaminophenylmethane, diaminodiphenyl sulfone, Dicyandiamide, xylenediamine, bisaminopropyl-laoxaspirone decane, ethylmethylimidazole, phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecylsuccinic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride Main acid, dichlorosuccinic anhydride, etc. can be used.
상기 경화제는 점착제 조성물의 응집력을 향상시킬 수 있는 당업계에서 사용되는 통상의 함량으로 포함될 수 있다.The curing agent may be included in a conventional content used in the art that can improve the cohesion of the pressure-sensitive adhesive composition.
상기와 같은 성분을 포함하는 점착제 조성물은 PET 필름 단면 또는 양면에 코팅되며, 코팅방법은 크게 제한되지 않으나, 특히 통상의 코팅공정에서 사용하는 그라비아 도막, 코팅 등을 사용하는 것이 좋다.The pressure-sensitive adhesive composition comprising the above components are coated on one or both sides of the PET film, the coating method is not particularly limited, in particular, it is preferable to use a gravure coating, coating, etc. used in a conventional coating process.
상기 코팅은 80 내지 130 ℃의 온도에서 1 내지 2 분 동안 실시되는 것이 바람직하다.The coating is preferably carried out for 1 to 2 minutes at a temperature of 80 to 130 ℃.
상기 PET 필름에 코팅된 점착제 조성물의 두께는 5 내지 20 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 5 내지 10 ㎛인 것이다.The thickness of the pressure-sensitive adhesive composition coated on the PET film is preferably 5 to 20 ㎛, more preferably 5 to 10 ㎛.
이후 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시킨다. Then, the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film is transferred to the PVC support.
상기 PVC 지지체는 단일층이거나 또는 라미네이트된 것일 수 있으며, 그 두께는 70 내지 120 ㎛인 것이 좋다.The PVC support may be a single layer or laminated, the thickness is preferably 70 to 120 ㎛.
상기 전사 방법은 크게 제한되지 않으며, 통상의 전사공정에 사용하는 방법을 실시할 수 있다. 구체적인 예로는, 점착제가 코팅된 PET 필름의 점착제 코팅 부분이 PVC 필름의 표면과 맞닿도록 합지한 후, PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체 표면에 전사시키는 방법으로 실시한다.The transfer method is not particularly limited, and the transfer method can be used in a normal transfer step. As a specific example, the pressure-sensitive adhesive coating of the pressure-sensitive adhesive PET film is laminated so as to be in contact with the surface of the PVC film, and then the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film is transferred to the PVC support surface.
또한 PET 필름에 점착제 조성물을 코팅 후 PVC 지지체에 전사시키기 전에 일정 시간 건조시키면 더욱 좋다. 상기 건조는 80 내지 130 ℃의 온도에서 1 내지 2 분 동안 실시하는 것이 경시변화에 크게 영향을 주지 않아 좋다.In addition, after coating the pressure-sensitive adhesive composition on the PET film it is better to dry for a certain time before transferring to the PVC support. The drying may be performed for 1 to 2 minutes at a temperature of 80 to 130 ° C. and does not significantly affect the change over time.
상기와 같이 제조된 점착제 테이프는 권취, 숙성, 절단 등의 단계를 거쳐 최종 제품이 된다. 특히, 상기 권취시 이형필름인 PET 필름은 점착제층 위에 밀착되면서 함께 감기도록 하며, 사용시에는 PET 필름을 제거한 후 사용하게 된다.The pressure-sensitive adhesive tape prepared as described above is a final product through the steps of winding, aging, cutting and the like. In particular, the PET film is a release film during the winding to be wound together while being in close contact with the pressure-sensitive adhesive layer, and in use is used after removing the PET film.
상기와 같은 본 발명의 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프 제조방법은 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체의 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력(80∼130 g/25㎜)을 일정하게 유지함으로써 안정적으로 점착강도를 유지할 수 있다는 장점이 있다.Pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape manufacturing method comprising a PVC support of the present invention as described above is not only deform the shape of the PVC support by coating the pressure-sensitive adhesive composition to an appropriate level while using a PVC film as a support, at the same time Accordingly, there is an advantage in that the adhesive strength can be stably maintained by maintaining a moderate level of adhesive force (80 to 130 g / 25 mm).
또한 본 발명은 상기 방법으로 제조되어 PET 필름에 코팅된 점착제가 PVC 지지체에 전사되어 PVC 지지체, 전사된 점착제, 및 PET 필름을 순차적으로 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제공하는 바, 상기 감압형 다이싱용 점착제 테이프는 PVC 지지체가 쭈글쭈글해지는 형태 불량이 없으며, 점착강도가 다이싱 공정시 균일하게 유지된다. 특히, 본 발명의 PVC 지지체를 포함하는 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 점착강도는 약 10 일 정도 경과한 후에도 80∼130 g/25㎜의 점착력을 유지하는 것이 바람직하며, 일면으로부터 PET 필름 25∼50 ㎛, 점착제 5∼20 ㎛, PVC 지지체 70∼120 ㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하다.In another aspect, the present invention provides a pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape prepared by the above method is a pressure-sensitive adhesive coated on a PET film is transferred to a PVC support, comprising a PVC support, a transferred pressure-sensitive adhesive, and a PET film, the pressure-sensitive type The dicing adhesive tape does not have a shape defect in which the PVC support becomes crumpled, and the adhesive strength is kept uniform during the dicing process. In particular, the pressure-sensitive adhesive tape of the pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape containing the PVC support of the present invention preferably maintains the adhesive strength of 80 to 130 g / 25 mm even after about 10 days, PET film 25-50 from one side It is preferable to have thickness of the micrometer, the adhesive 5-20 micrometers, and the PVC support body 70-120 micrometers.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred examples are provided to help understanding of the present invention, but the following examples are merely to illustrate the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the following examples.
[실시예]EXAMPLE
실시예 1Example 1
아크릴계 점착제로 부틸아크릴레이트 및 2-에틸헥실아크릴레이트, 코모노머로 아크릴아마이드, 가교제로 이소시안 및 에폭시 수지, 경화제로 디에틸렌트리아민, 및 광중합 개시제로 벤질디메틸케탈를 균일하게 혼합하여 점착제 조성물을 제조하였다.Butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate as acryl-based adhesive, acrylamide as comonomer, isocyanate and epoxy resin as crosslinking agent, diethylenetriamine as curing agent, and benzyldimethyl ketal as photopolymerization initiator are uniformly mixed. Prepared.
두께가 38 ㎛인 PET 필름에 상기 준비한 점착제 조성물을 80∼130 ℃에서 2 분 동안 코팅하여 점착제층의 두께가 5 ㎛가 되도록 한 후, 80∼130 ℃에서 2 분 동안 건조시켰다.The prepared pressure-sensitive adhesive composition was coated on a PET film having a thickness of 38 μm for 2 minutes at 80 to 130 ° C. to have a thickness of 5 μm, and then dried at 80 to 130 ° C. for 2 minutes.
그 다음, 상기 점착제가 코팅된 PET 필름을 점착제층 부분이 PVC 지지체에 맞닿도록 합지하여 PET 필름에 코팅된 점착제를 PVC 지지체에 전사시켜 점착제 테이프를 제조하였다.Then, the pressure-sensitive adhesive coated PET film was laminated so that the pressure-sensitive adhesive layer part abuts on the PVC support, and the pressure-sensitive adhesive coated on the PET film was transferred to the PVC support to prepare a pressure-sensitive adhesive tape.
상기 제조한 점착제 테이프를 사용하여 23±2 ℃의 온도와 50±10%의 습도의 조건에서 LF500(LLOYD INSTRUMENT LTD, 영국)을 이용하여 90° Peeling Strength 방법으로 시간경과에 따른 점착력을 측정하고, 그 결과를 도 1에 나타내었다.Using the pressure-sensitive adhesive tape prepared above, the adhesive force over time was measured by a 90 ° Peeling Strength method using LF500 (LLOYD INSTRUMENT LTD, UK) at a temperature of 23 ± 2 ° C. and a humidity of 50 ± 10%. The results are shown in FIG.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 제조한 점착제 테이프는 10 일이 경과하여도 균일한 점착성을 유지함을 확인할 수 있었고, 이로부터 다이싱 후 픽업(pick up) 공정까지의 기간 동안 균일한 점착성을 유지할 수 있음을 알 수 있었다.As shown in FIG. 1, the prepared pressure-sensitive adhesive tape was confirmed to maintain uniform adhesiveness even after 10 days, and from this, it was possible to maintain uniform adhesiveness for a period up to a pick up process after dicing. I could see that.
비교예 1Comparative Example 1
두께가 75 ㎛인 PVC 지지체에 상기 실시예 1에서 준비한 점착제 조성물을 도포하여 80∼130 ℃에서 2 분 동안 코팅하여 점착제층의 두께가 5 ㎛가 되도록 한 후, 80∼130 ℃에서 2 분 동안 건조시켰다.The pressure-sensitive adhesive composition prepared in Example 1 was applied to a PVC support having a thickness of 75 μm and coated at 80 to 130 ° C. for 2 minutes to obtain a thickness of the adhesive layer of 5 μm, followed by drying at 80 to 130 ° C. for 2 minutes. I was.
그 다음, 상기 점착제가 코팅된 PVC 지지체를 PET 필름과 합지시켜 점착제 테이프를 제조하였다.Then, the pressure-sensitive adhesive coated PVC support was laminated with a PET film to prepare a pressure-sensitive adhesive tape.
상기와 같이 제조한 점착제 테이프는 PVC 지지체의 표면이 수축하여 쭈글쭈글하게 형태가 변화가 일어남을 확인할 수 있었다.The pressure-sensitive adhesive tape prepared as described above could be confirmed that the surface of the PVC support shrinks and changes in shape.
비교예 2Comparative Example 2
시중에 판매되는 점착제 테이프인 SPV-224(NITTO DENKO, 일본)를 사용하였다.Commercially available adhesive tape SPV-224 (NITTO DENKO, Japan) was used.
비교예 3Comparative Example 3
시중에 판매되는 점착제 테이프인 KL-680(NITTO DENKO, 일본)를 사용하였다.A commercially available adhesive tape, KL-680 (NITTO DENKO, Japan) was used.
상기 실시예 1, 및 비교예 2 또는 4에서 제조한 점착제 테이프를 사용하여 점착력, 인장강도, 및 신장률을 측정하고, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 이때, 점착력은 23±2 ℃의 온도와 50±10%의 습도의 조건에서 LF500(LLOYD INSTRUMENT LTD, 영국)을 이용하여 90° Peeling Strength 방법으로 시간경과에 따른 점착력을 측정하였고, 인장강도 및 신장률 측정시 시료의 크기는 폭 20 ㎜ × 길이 50 ㎜로 측정하였다.Adhesive pressure, tensile strength, and elongation rate were measured using the pressure-sensitive adhesive tape prepared in Example 1 and Comparative Example 2 or 4, and the results are shown in Table 1 below. At this time, the adhesive strength was measured by the 90 ° Peeling Strength method using the LF500 (LLOYD INSTRUMENT LTD, UK) under the temperature of 23 ± 2 ℃ and humidity of 50 ± 10%, tensile strength and elongation rate In the measurement, the size of the sample was measured to be 20 mm wide by 50 mm long.
상기 표 1을 통하여, 본 발명에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프는 비교예 2 또는 3의 종래 점착제 테이프와 비교하여 시간경과에 따른 점착성이 우수하며, 경시변화 폭이 적을 뿐만 아니라, 인장강도 및 신장률도 우수하게 나타남을 확인할 수 있었다.Through the above Table 1, the pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape prepared according to the present invention is excellent in tack over time, compared to the conventional pressure-sensitive adhesive tape of Comparative Example 2 or 3, not only the width of change over time, but also tensile strength And elongation rate was also found to be excellent.
본 발명에 따르면 PVC 필름을 지지체로 사용하면서도 점착제 조성물을 적정 수준으로 코팅하여 PVC 지지체의 수축이 없어 형태를 변형시키지 않을 뿐만 아니라, 동시에 시간경과에 따라 적정수준의 점착력을 일정하게 유지할 수 있는 감압형 다이싱용 점착제 테이프를 제조할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, while using a PVC film as a support, coating the pressure-sensitive adhesive composition to an appropriate level, there is no shrinkage of the PVC support, so as not to deform the shape, at the same time pressure-sensitive type that can maintain a proper level of adhesive strength over time There exists an effect which can manufacture the adhesive tape for dicing.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 단면도를 나타낸 그림이다.1 is a view showing a cross-sectional view of the pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape prepared according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 감압형 다이싱용 점착제 테이프의 시간 경과별 점착력을 나타낸 그래프이다.Figure 2 is a graph showing the adhesive force over time of the pressure-sensitive dicing pressure-sensitive adhesive tape prepared according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings
1 : PET 필름 2 : 전사된 점착제1: PET film 2: Transferred pressure-sensitive adhesive
3 : PVC 지지체3: PVC support
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