KR20050015208A - 유체이송장치 - Google Patents

Abstract

유체이송장치는 유체라인의 사이에 설치되도록 그 양단에 제1,2플랜지가 마련된 플렉시블 호스와 제1,2플랜지의 사이에 설치되며 플렉시블 호스의 외측에 설치되어 플렉시블 호스의 변형을 방지하는 변형방지유닛을 포함한다.

Description

유체이송장치 { FLUID TRANSFER DEVICE }

본 발명은 유체이동장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배관에 사용되는 플렉시블 호스가 진동이나 순간압력 상승으로 인해 휘거나 이음부가 파손되는 것을 방지하는 유체이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 파이프 및 조인트는 펌프와 같은 각종 압력기기 등을 연결하여 압력회로를 구성하며 압력을 전달하는데 대단히 중요한 역할을 하는 요소이다. 압력장치는 대체로 고압이므로 조인트 부분에서 리크되기 쉽고 동력 손실을 크게 하므로 사용압력, 조건, 안전성 등을 고려하여 배관과 조인트를 적절히 선정하여야 한다.

중장비에서 사용되는 배관으로는 강관, 스테인레스강관, 금속관과, 플렉시블 호스가 있는데, 플렉시블 호스는 가요성 및 유연성이 있으므로 직관으로는 배관이 어려운 개소나, 장치부의 상대 위치가 변하는 경우 및 진동의 영향을 방지하고자 할 경우에 주로 사용된다.

즉, 배관이 복잡하거나 배관이 수평 혹은 수직으로만 연결될 수 없어 유연성이 요구되는 일부분에는 파이프 대신 신축성을 갖는 플렉시블 호스를 사용한다.

도 1은 종래의 플랙시블 호스를 도시한 단면도로써, 이 도면에 도시된 바와 같이, 상기 플렉시블 호스(1)는 플렉시블하게 구부려지도록 하기 위하여 외주면이 접혀지거나 펼쳐지도록 나선형상으로 주름지게 형성되며, 상기 플렉시블 호스(1)의 외주면에는 고압의 유체가 흐를 때, 압력으로 인하여 휘거나, 변형되어 관체가 파손되는 것을 방지하기 위하여 금속망을 서로 교차시켜 얽은 형상을 갖는 보호망(3)이 설치된다.

상기 플렉시블 호스(1)는 직관(5,5')과 플랜지(7)를 매개로 스크류(9)로 결합되며, 상기 보호망(3)은 양측 끝단이 플렉시블 호스(1)와 결합되는 플랜지(7)에 같이 끼워져 플렉시블 호스(1)의 외주면에 고정된다.

그런데, 이러한 종래의 플렉시블 호스(1)는 설비의 초기 가동시 발생되는 순간 압력이 상승하면, 금속망을 교차시켜 얽히게 형성된 보호망(3)이 파손되어 플렉시블 호스(1)가 외부로 노출되고, 플렉시블 호스(1)가 휘거나 변형되는 문제점이 발생한다.

또한, 상기 플렉시블 호스(1)가 휘거나 변형되면 플렉시블 호스(1)에 곡관부가 형성되고 유체가 곡관부를 통과하면서 캐비테이션을 발생시키므로 플렉시블 호스(1)가 마모되어 플렉시블 호스(1)가 파손되는 문제점이 발생한다.

그리고, 상기 보호망(3)이 플렉시블 호스(1)의 휨을 방지하지 못함에 따라, 플렉시블 호스(1) 및 이음부가 파손되어 플렉시블 호스(1)를 통과하던 유체가 외부로 유출되어 설비정지 및 생산 중단 등의 문제점이 발생한다.

한편, 유출된 유체가 설비의 모터 등의 전기코일과 접촉하여 쇼트되면, 안전사고 및 인명사고를 유발하는 문제점이 발생한다.

따라서, 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 설비의 초기가동시 상승하는 순간압력에 견딜 수 있는 인장강도를 갖는 변형방지유닛을 마련하여 설비가동중 플렉시블 호스의 파손을 방지하는 유체이송장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 유체라인의 사이에 설치되도록 그 양단에 제1,2플랜지가 마련된 플렉시블 호스와 상기 제1,2플랜지의 사이에 설치되며 상기 플렉시블 호스의 외측에 설치되어 상기 플렉시블 호스의 변형을 방지하는 변형방지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체이송장치를 제공한다.

나아가, 상기 변형방지유닛은 상기 제1,2플랜지 중 어느 한 측에 설치되며 상기 플랙시블 호스의 길이보다 짧은 길이를 갖는 삽입부재와 상기 삽입부재가 설치된 타측 플랜지에 설치되며 상기 삽입부재의 단부가 삽입되어 슬라이딩 가능하도록 통로가 마련된 가이딩부재를 포함하는 것이 바람직하다.

더 나아가, 상기 삽입부재 및 가이딩부재는 원통형으로 된 것이 바람직하다.

또한, 상기 가이딩부재는 상기 플렉시블 호스의 외측에 설치된 내측부재와, 상기 내측부재의 외측으로 소정의 간격을 두고 설치되어 상기 통로를 형성하는 외측부재로 구성된 것이 바람직하다.

그리고, 상기 삽입부재 및 가이딩부재는 서스, 스틸, 플라스틱, FRP 중 어느 하나로 제작된 것이 바람직하다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 유체이송장치를 도시한 단면도로써, 이 도면에 도시된 바와 같이, 유체가 흐르는 유체라인(12) 상에 플렉시블 호스(10)가 설치되고, 상기 플렉시블호스(10)는 변형장지유닛(20)이 구비된다.

상기 플렉시블 호스(10)는 플렉시블하게 구부려지도록 외주면이 접혀지거나 펼쳐지도록 나선형상으로 주름지게 형성되어 상기 유체라인(12) 상에 결합유닛(30)을 매개로 설치된다.

상기 결합유닛(30)은 상기 플랙시블 호스(10) 양단에 설치되는 제1,2플랜지(33a,33b)와 스크류(31)로 구성되는 것이 바람직하다.

변형방지유닛(20)은 제1플랜지(33a) 중 어느 한측에 고정되어 플렉시블 호스(10)를 감싸는 삽입부재(21)와 상기 제2플랜지(33b)에 일측이 고정되며 상기 삽입부재(21)의 단부가 삽입되어 슬라이딩 가능하도록 통로(22c)가 마련된 가이딩 부재(22)로 구성된다.

여기서, 상기 삽입부재(21) 및 가이딩부재(22)는 소정의 두께를 갖는 금속판으로 되어 원통형으로 형성되는 것이 바람직하고, 상기 삽입부재(21)는 플렉시블 호스(10)의 길이보다 짧게 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 가이딩부재(22)는 상기 플랙시블 호스(10)이 외측에 설치된 내측부재(22a)와 상기 내측부재(22a)의 외측으로 소정의 간격을 두고 설치되어 상기 통로(22c)를 형성하는 것이 바람직하다.

즉, 상기 플렉시블 호스(10)의 길이 보다 짧게 형성된 상기 삽입부재(21)와 내ㆍ외측부재(22a,22b) 각각의 타측은 고정되지 않고, 상기 내측부재(22a)와 외측부재(22b) 사이에 형성된 통로(22c)에 상기 삽입부재(21)가 삽입되도록 설치된다.

여기서, 상기 삽입부재(21) 및 가이딩부재(22)는 서스, 스틸, 플라스틱, FRP 중 어느 하나로 제작된 것이 바람직하다.

이에 따라, 상기 플렉시블 호스(10)가 설치된 설비가 가동하여 플렉시블 호스(10)가 소정의 압력을 받으면, 삽입부재(21)는 상기 내ㆍ외측부재(22a,22b) 사이를 조금씩 이동하면서 플렉시블 호스(10)가 변형되는 것을 방지한다.

도 3은 상술한 유체이송장치가 반도체 제조설비에 적용된 예를 도시한 도면이다.

도시된 바와 같이, 반도체 공정을 진행하기 위해 소정의 처리 공간을 갖는 공정챔버(40)와 상기 공정챔버(40)의 일측에는 공정이 진행될 때 온도가 상승하는 것을 방지하기 위한 워터재킷(45)에 물을 공급하는 물탱크(43)와 연결된 유체라인(41)이 설치된다.

상기 유체라인(41)상에 상술한 바와 같은 변형방지유닛(20)을 갖는 플렉시블 호스(10)가 설치된다.

따라서, 공정챔버(40)의 온도 유지를 위하여 물탱크(43)에서 유체라인(41)을 통해 물이 방출되면, 상기 유체라인(41) 상에 설치된 플렉시블 호스(10) 내부로 물이 방출됨에 따라 플렉시블 호스(10) 내의 압력이 급격히 변동되어 플렉시블 호스(10)가 휘거나 급격히 변동될 수 있다.

이때, 변형방지유닛(20)의 내ㆍ외측부재(22a,22b)에 삽입된 삽입부재(21)가 조금씩 이동하면서 플렉시블 호스(10)의 압력과 진동을 해소시키므로 플렉시블 호스(10)의 휨이나 변형이 방지된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 변형방지유닛을 갖는 플렉시블 호스는 변형방지유닛이 금속판으로 형성되어 압력이나 진동을 해소시키면서 소정간격 이동하므로 가해지는 압력이나 진동을 견딜 수 있는 인장력을 갖게 되는 효과가 있다.

또한, 고정부재와 내ㆍ외측고정부재에 의해 플렉시블 호스가 감싸지므로, 플렉시블 호스에서 리크가 발생해도 이송유체가 주변으로 확산되지 않으므로 설비가 오염되거나 쇼트 등으로 인해 파손되는 것을 방지하고, 설비 파손에 따른 안전 및 인명사고를 방지하는 효과가 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

도 1은 종래의 플렉시블 호스를 도시한 단면도,

도 2는 본 발명에 따른 유체이송장치를 도시한 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 유체이송장치가 반도체 제조설비에 적용된 예를 도시한 도면이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *

10 : 플렉시블 호스 20 : 변형방지유닛

21 : 삽입부재 22 : 가이딩부재

22a : 내측부재 22b : 외측부재

30 : 결합유닛 31 : 스크류

33 : 플랜지 40 : 공정챔버

41 : 유체라인 43 : 물탱크

45 : 워터재킷

Claims (5)

1. 유체라인의 사이에 설치되도록 그 양단에 제1,2플랜지가 마련된 플렉시블 호스;

   상기 제1,2플랜지의 사이에 설치되며 상기 플렉시블 호스의 외측에 설치되어 상기 플렉시블 호스의 변형을 방지하는 변형방지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체이송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 변형방지유닛은 상기 제1,2플랜지 중 어느 한 측에 설치되며 상기 플랙시블 호스의 길이보다 짧은 길이를 갖는 삽입부재;

   상기 삽입부재가 설치된 타측 플랜지에 설치되며 상기 삽입부재의 단부가 삽입되어 슬라이딩 가능하도록 통로가 마련된 가이딩부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체이송장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 삽입부재 및 가이딩부재는 원통형으로 된 것을 특징으로 하는 유체이송장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 가이딩부재는 상기 플렉시블 호스의 외측에 설치된 내측부재와, 상기 내측부재의 외측으로 소정의 간격을 두고 설치되어 상기 통로를 형성하는 외측부재로 구성된 것을 특징으로 하는 유체이송장치.
5. 제 2항에 있어서,

   상기 삽입부재 및 가이딩부재는 서스, 스틸, 플라스틱, FRP 중 어느 하나로 제작된 것을 특징으로 하는 유체이송장치.