KR20050015134A - Liquid crystal display and method for manufacturing the same - Google Patents

Liquid crystal display and method for manufacturing the same

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KR20050015134A
KR20050015134A KR1020030053815A KR20030053815A KR20050015134A KR 20050015134 A KR20050015134 A KR 20050015134A KR 1020030053815 A KR1020030053815 A KR 1020030053815A KR 20030053815 A KR20030053815 A KR 20030053815A KR 20050015134 A KR20050015134 A KR 20050015134A
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Abstract

PURPOSE: An LCD(Liquid Crystal Display) and a method for manufacturing the LCD are provided to form spacers using a plurality of color filters to omit a process of forming an overcoat film, to thereby simplify an LCD manufacturing process, reduce manufacturing cost and improve transmissivity of the LCD. CONSTITUTION: An LCD includes the first substrate(100), a plurality of color filters(130) formed on the first substrate, spacers(140) formed of the plurality of color filters, the second substrate(200) opposite to the first substrate, and a liquid crystal layer(300) formed between the first substrate and the second substrate.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Liquid crystal display device and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제조 공정이 간소화되고 투과율이 향상된 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the liquid crystal display with a simplified manufacturing process and improved transmittance.

액정 표시 장치(Liquid Crystal Display)는 스위칭 소자가 형성된 액정 표시 장치 사이에 주입되어 있는 액정 물질에 전계(electric field)를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상 신호를 얻는 표시 장치이다. 액정 표시 장치는 다른 디스플레이 장치에 비하여 얇고 가벼우며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖추고 있는 동시에 음극선관에 가까운 화상 표시가 가능하기 때문에 다양한 전자 장치에 광범위하게 사용되고 있다. The liquid crystal display applies an electric field to the liquid crystal material injected between the liquid crystal display devices in which the switching element is formed, and adjusts the intensity of the electric field to adjust the amount of light transmitted to the substrate. It is a display device which obtains a desired image signal. Liquid crystal display devices are thinner and lighter than other display devices, and are widely used in various electronic devices because they have low power consumption and low driving voltage and can display images close to cathode ray tubes.

최근, 보다 얇은 액정 표시 장치를 구현하기 위한 박형화를 위한 노력이 계속되고 있다. 액정 표시 장치의 박형화는 광효율과 밀접한 관계가 있으므로 액정 표시 장치의 경량화 및 에너지 소모량에 직접적인 영향을 미친다. 액정이 갖는 특성 가운데 응답 속도, 대비비, 시야각, 휘도 균일성 등은 상기 액정층의 두께와 밀접한 관련을 갖기 때문에, 상기 액정층의 두께(cell gap, 이하 '셀 갭'이라 함)를 일정하게 유지하는 것이 중요하다. 그러나, 상기 액정 표시 장치의 박형화에 의해 기판들 사이의 거리가 줄어들면, 기판들 사이에 개재되는 액정의 두께를 일정하게 유지하기 어렵다. 셀 갭을 일정하게 유지하기 위해 기판들 사이에 스페이서(spacer)를 배치할 수 있다.Recently, efforts for thinning a thinner liquid crystal display have been continued. Since the thinning of the liquid crystal display is closely related to the light efficiency, it has a direct influence on the weight reduction and the energy consumption of the liquid crystal display. Among the characteristics of the liquid crystal, the response speed, contrast ratio, viewing angle, luminance uniformity, etc. are closely related to the thickness of the liquid crystal layer, so that the thickness of the liquid crystal layer (hereinafter, referred to as a 'cell gap') is constant. It is important to keep. However, when the distance between the substrates is reduced by thinning the liquid crystal display device, it is difficult to keep the thickness of the liquid crystal interposed between the substrates constant. Spacers may be disposed between the substrates to keep the cell gap constant.

셀 갭을 유지하기 위한 스페이서로는 볼 스페이서(ball spacer)와 컬럼 스페이서(column spacer) 등이 있는데, 상기 컬럼 스페이서는 소정의 위치에 배치하는 것이 가능하며 셀 갭을 보다 일정하게 유지하는 장점이 있다. 상기 컬럼 스페이서는 상기 기판 상에 유기막을 도포한 후 패턴 형성 및 식각 공정을 통해서 형성한다.Spacers for maintaining cell gaps include ball spacers and column spacers, and the column spacers may be disposed at predetermined positions, and have an advantage of maintaining a constant cell gap. . The column spacer is formed through a pattern formation and an etching process after applying the organic film on the substrate.

컬럼 스페이서의 형성시에는 컬러 필터의 에지(edge)가 서로 겹쳐져 코팅되므로 먼저 코팅된 컬러 필터와 나중에 코팅된 컬러 필터 간에 단차가 형성된다. 이러한 단차는 액정 표시 장치의 셀 갭을 불균일하게 하여 불균일한 셀 갭이 형성된 부위에서 휘도 또는 컬러가 불균일해진다. 따라서, 이러한 컬러 필터간의 단차를 제거하기 위하여 컬러 필터 상에 컬러 필터를 형성하기 전에 오버 코팅층을 형성한다. In the formation of the column spacer, the edges of the color filters are overlapped and coated so that a step is formed between the first coated color filter and the later coated color filter. Such a step makes the cell gap of the liquid crystal display non-uniform, resulting in non-uniform brightness or color at the site where the non-uniform cell gap is formed. Therefore, an overcoating layer is formed before forming the color filter on the color filter in order to remove the step between the color filters.

종래의 액정 표시 장치는 상기 오버 코팅층으로 인해 액정 표시 장치의 투과율이 저하되는 단점이 있었다. 따라서, 컬러 필터간의 단차를 제거하기 위한 오버코팅층을 가지지 않고 셀 갭을 일정하게 유지할 수 있는 컬럼 스페이서를 구비한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법이 요구된다.The conventional liquid crystal display device has a disadvantage in that transmittance of the liquid crystal display device is lowered due to the overcoating layer. Therefore, there is a need for a liquid crystal display device having a column spacer capable of maintaining a constant cell gap without having an overcoating layer for removing a step between color filters, and a method of manufacturing the same.

따라서, 본 발명의 제1 목적은 간소화된 공정으로 제조할 수 있으며 투과율이 향상된 액정 표시 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is a first object of the present invention to provide a liquid crystal display device which can be manufactured by a simplified process and has improved transmittance.

또한, 본 발명의 제2 목적은 상기 액정 표시 장치를 제조하는 데 적합한 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.Moreover, the 2nd objective of this invention is providing the manufacturing method of the liquid crystal display device suitable for manufacturing the said liquid crystal display device.

상술한 본 발명의 제1 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제1 기판, 상기 제1 기판 상에 형성된 복수의 컬러 필터, 상기 복수의 컬러 필터가 적층되어 형성된 스페이서, 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판 및 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하는 액정 표시 장치를 제공한다.In order to achieve the first object of the present invention described above, the present invention is directed to a first substrate, a plurality of color filters formed on the first substrate, a spacer formed by stacking the plurality of color filters, facing the first substrate A liquid crystal display comprising a second substrate and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

또한, 상술한 본 발명의 제2 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제1 기판 상에 복수의 컬러 필터를 적층시켜 스페이서를 형성하는 단계, 상기 제1 기판에 대향하여 제2 기판을 형성하는 단계, 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.In addition, in order to achieve the above-described second object of the present invention, the present invention comprises the steps of forming a spacer by stacking a plurality of color filters on the first substrate, forming a second substrate facing the first substrate And forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate.

이러한 액정 표시 장치와 이의 제조 방법에 따르면, 복수의 컬러 필터를 이용하여 스페이서를 형성함으로써 오버 코팅층을 별도로 형성하지 않는다. 따라서 액정 표시 장치의 제조 공정이 간단하고, 제조 원가가 절감되며, 액정 표시 장치의 투과율이 향상된다.According to such a liquid crystal display and a manufacturing method thereof, the overcoating layer is not separately formed by forming a spacer using a plurality of color filters. Therefore, the manufacturing process of the liquid crystal display device is simple, the manufacturing cost is reduced, and the transmittance of the liquid crystal display device is improved.

이하, 본 발명의 실시예들에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 첨부한 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a liquid crystal display and a method of manufacturing the same according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

실시예 1 Example 1

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제1 기판(100), 제2 기판(200) 및 제1 기판(100) 및 제2 기판(200) 간에 형성된 액정층(300)을 포함한다. 도 1에서는 횡전계 방식인 IPS(In-Plane Switching) 구조를 갖는 액정 표시 장치를 설명하지만, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.Referring to FIG. 1, the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention includes a liquid crystal layer formed between the first substrate 100, the second substrate 200, and the first substrate 100 and the second substrate 200. 300. 1 illustrates a liquid crystal display having an in-plane switching (IPS) structure, which is a transverse electric field system, but the present invention is not limited thereto.

제1 기판(100)은 제1 투명 기판(110), 외부로부터 제공되는 광을 이용하여 소정의 색을 발현하기 위한 복수의 컬러 필터들(130) 및 복수의 컬러 필터(130)가 적층되어 형성된 스페이서(140)을 포함한다.The first substrate 100 is formed by stacking a plurality of color filters 130 and a plurality of color filters 130 for expressing a predetermined color using light provided from the first transparent substrate 110. Spacer 140.

보다 상세하게는, 제1 투명 기판(110)은 광을 투과할 수 있는 유리나 석영 또는 사파이어와 같은 재질로 이루어진다.More specifically, the first transparent substrate 110 is made of a material such as glass, quartz or sapphire that can transmit light.

상기 제1 투명 기판(110) 상면에는 차광층인 블랙 매트릭스(120)가 형성된다. 블랙 매트릭스(120)는 액정 표시 장치의 표시 영역에서 각각 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue) 컬러 필터의 에지 영역에 대응하여 형성되어 상기 복수의 컬러 필터(130)로부터 누설되는 광을 차단한다. 블랙 매트릭스(120)는 후술한 제2 기판(200)의 게이트 라인과 데이터 라인에 대응하여 격자 형상으로 형성된다.The black matrix 120, which is a light blocking layer, is formed on an upper surface of the first transparent substrate 110. The black matrix 120 is formed to correspond to the edge regions of the red, green, and blue color filters in the display area of the liquid crystal display, respectively, and is leaked from the plurality of color filters 130. To block. The black matrix 120 is formed in a lattice shape corresponding to the gate line and the data line of the second substrate 200 described later.

하나의 화소 단위에는 제1 컬러 필터(132a), 제2 컬러 필터(134a), 제3 컬러 필터(136a) 중 어느 하나가 위치한다. 상기 제1 투명 기판(110) 상에는 스페이서(140)가 구비된다. 스페이서(140)는 복수의 컬러 필터(130) 중 2 이상의 컬러 필터의 가장자리가 중첩되는 영역에 형성되며, 본 실시예에서는 블랙 매트릭스(120) 상에 존재한다. 스페이서(140)는 상기 제1 기판(100)과 상기 제2 기판(200)을 소정 간격으로 이격시킨다. One of the first color filter 132a, the second color filter 134a, and the third color filter 136a is positioned in one pixel unit. The spacer 140 is provided on the first transparent substrate 110. The spacer 140 is formed in an area where the edges of two or more color filters overlap among the color filters 130, and are present on the black matrix 120 in this embodiment. The spacer 140 spaces the first substrate 100 and the second substrate 200 at predetermined intervals.

스페이서(140)는 복수의 컬러 필터(130)가 적층되어 형성된다. 도면에 도시된 스페이서들 중 중앙에 위치한 스페이서를 일례로 들어 설명한다. 블랙 매트릭스(120) 상에 제1 컬러 필터(132b)가 형성되고, 제1 컬러 필터(132b) 상에 제2 컬러 필터(134a)가 형성된다. 제2 컬러 필터(134a)는 블랙 매트릭스(120) 상의 제1 컬러 필터(132b) 상과 이에 인접하는 화소 영역 상에 연속적으로 형성된다. 블랙 매트릭스(120) 상에 형성된 제1 컬러 필터(132b) 및 상기 제1 컬러 필터(132b) 상에 형성된 제2 컬러 필터(134a) 상부에는 제3 컬러 필터(136a)가 형성된다. 제3 컬러 필터(136a)는 제1 컬러 필터(132b) 상의 제2 컬러 필터(134a) 상과 이에 인접하는 화소 영역 상에 연속적으로 형성된다. 따라서 스페이서(140)는 제1 컬러 필터(132b), 제2 컬러 필터(134a) 및 제3 컬러 필터(136a)가 순서대로 적층된 구조를 가진다. The spacer 140 is formed by stacking a plurality of color filters 130. The spacer located in the center of the spacers shown in the drawings will be described as an example. The first color filter 132b is formed on the black matrix 120, and the second color filter 134a is formed on the first color filter 132b. The second color filter 134a is continuously formed on the first color filter 132b on the black matrix 120 and on the pixel region adjacent thereto. A third color filter 136a is formed on the first color filter 132b formed on the black matrix 120 and on the second color filter 134a formed on the first color filter 132b. The third color filter 136a is continuously formed on the second color filter 134a on the first color filter 132b and on the pixel region adjacent thereto. Therefore, the spacer 140 has a structure in which the first color filter 132b, the second color filter 134a, and the third color filter 136a are stacked in this order.

스페이서가(140) 형성될 영역의 컬러 필터들은 스페이서로서 역할을 할 수 있는 높이가 되면 충분하기 때문에 주변 화소 영역의 컬러 필터의 단차와 반드시 동일할 필요가 없다. 스페이서를 구성하는 컬러 필터 중 어느 하나의 높이가 화소 영역의 컬러 필터의 높이보다 더 낮아도 관계없다. 따라서 스페이서(140)를 구성하는 컬러 필터들 중 하나인 제1 컬러 필터(132b)의 높이는 인접하는 주위의 컬러 필터들의 높이보다 낮을 수 있다. 제1 컬러 필터(132b)는 노광시에 스페이서 영역의 상부에 슬릿을 가진 마스크를 이용하여 형성할 수 있다. Since the color filters of the region where the spacer 140 is to be formed are sufficient to have a height that can serve as a spacer, they do not necessarily have to be the same as the step of the color filter of the peripheral pixel region. The height of any one of the color filters constituting the spacer may be lower than the height of the color filter in the pixel region. Accordingly, the height of the first color filter 132b, which is one of the color filters constituting the spacer 140, may be lower than the height of the color filters adjacent to each other. The first color filter 132b may be formed using a mask having a slit on the spacer area at the time of exposure.

상기 설명에서는 132b를 제1 컬러 필터로, 134a를 제2 컬러 필터로, 136a를 제3 컬러 필터를 지칭하였으나, 도면으로부터 확인할 수 있듯이, 134b를 제1 컬러 필터로, 136a를 제2 컬러 필터로, 132a를 제3 컬러 필터로 지칭하거나, 136b를 제1 컬러 필터로, 132a를 제2 컬러 필터로, 134a를 제3 컬러 필터로 지칭할 수 있다는 것은 당업자가 쉽게 이해할 수 있을 것이다.In the above description, 132b refers to the first color filter, 134a refers to the second color filter, and 136a refers to the third color filter. As can be seen from the drawings, 134b refers to the first color filter and 136a refers to the second color filter. It will be readily understood by those skilled in the art that 132a may be referred to as a third color filter, 136b may be referred to as a first color filter, 132a may be referred to as a second color filter, and 134a may be referred to as a third color filter.

일반적으로 컬러 필터를 형성한 후 스페이서를 별도로 형성할 경우에는, 각 컬러 필터의 단차가 일정하지 않으므로 컬러 필터 상에 오버 코팅층을 형성하여야 한다. 그러나, 본 발명에서와 같이 컬러 필터(130)를 형성하는 동시에 컬러 필터(130)를 적층시켜 스페이서(140)를 형성할 경우에는 오버 코팅층을 형성하지 않고도 셀 갭을 일정하게 유지할 수 있다. 따라서 오버 코팅층을 형성하는 공정 및 그 후 별도의 스페이서 형성 공정을 생략할 수 있으므로 제조 원가가 절감된다.In general, when spacers are formed separately after the color filters are formed, an overcoating layer must be formed on the color filters because the level difference of each color filter is not constant. However, in the case of forming the spacer 140 by stacking the color filters 130 and forming the color filters 130 as in the present invention, the cell gap can be kept constant without forming the overcoating layer. Therefore, the process of forming the overcoating layer and the subsequent spacer forming process can be omitted, thereby reducing the manufacturing cost.

스페이서(140)는 제2 기판(200)의 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 위치에 대응하는 제1 기판(100)상의 위치에 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 제2 기판(200)의 게이트 라인과 데이터 라인에 대응하여 블랙 매트릭스(120)가 제1 기판(100) 상에 형성되므로 스페이서(140)는 블랙 매트릭스(120) 상에 구비된다.The spacer 140 may be formed at a position on the first substrate 100 corresponding to a position where the gate line and the data line of the second substrate 200 intersect. In the present exemplary embodiment, since the black matrix 120 is formed on the first substrate 100 in correspondence to the gate line and the data line of the second substrate 200, the spacer 140 is provided on the black matrix 120.

한편, 제2 기판(200)은 제2 투명 기판(210) 상에 로우(row) 방향으로 연장된 다수의 데이터 라인(도시되지 않음)과 컬럼(column) 방향으로 연장된 다수의 게이트 라인(도시되지 않음)을 구비한다. Meanwhile, the second substrate 200 may include a plurality of data lines (not shown) extending in a row direction on the second transparent substrate 210 and a plurality of gate lines extending in a column direction. Not).

또한, 제2 투명 기판(210) 상에는 액정층(300)에 전압을 인가하고 차단하기 위한 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(TFT)(220), 제2 기판(210)에 공통 전압을 인가하기 위한 공통전극(230), 및 공통 전극(230)과 절연되는 화소 전극(240)이 형성된다. In addition, a thin film transistor (TFT) 220 which is a switching element for applying and blocking a voltage to the liquid crystal layer 300 on the second transparent substrate 210 and a common electrode for applying a common voltage to the second substrate 210. 230 and the pixel electrode 240 insulated from the common electrode 230 are formed.

상기 TFT(220)는 게이트 신호를 인가 받는 게이트 전극(221), 상기 게이트 전극(221)을 보호하기 위한 게이트 절연막(222), 게이트 절연막(222) 상부에 형성된 액티브층(223), 액티브층(223) 상부에 형성된 오믹 콘택층(224), 오믹 콘택층(224) 상부에 형성된 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)을 포함한다. 이때, TFT(220)의 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226) 상부에는 보호막(227)이 형성된다. 보호막(227)의 일부분이 식각되어 드레인 전극(226)의 일부분을 노출하기 위한 콘택홀(도시되지 않음)이 형성된다. 보호막(227) 상에는 유기 절연막(250)이 형성된다.The TFT 220 includes a gate electrode 221 receiving a gate signal, a gate insulating film 222 for protecting the gate electrode 221, an active layer 223 formed on the gate insulating film 222, and an active layer ( 223 includes an ohmic contact layer 224 formed on the top, a source electrode 225 and a drain electrode 226 formed on the ohmic contact layer 224. At this time, a passivation layer 227 is formed on the source electrode 225 and the drain electrode 226 of the TFT 220. A portion of the passivation layer 227 is etched to form a contact hole (not shown) for exposing a portion of the drain electrode 226. The organic insulating layer 250 is formed on the passivation layer 227.

보다 상세하게는, 상기 게이트 전극(221)은 게이트 라인으로부터 소정 면적으로 돌출되어 형성되며, 도전성 금속으로 이루어진다. 상기 도전성 금속으로는 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 등이 사용되며, 이중에서도 주로 알루미늄(Al)이 사용된다. In more detail, the gate electrode 221 is formed to protrude from a gate line to a predetermined area and is made of a conductive metal. As the conductive metal, aluminum (Al), chromium (Cr), molybdenum (Mo), and the like are used, and among these, aluminum (Al) is mainly used.

상기 게이트 전극(221)이 형성된 상기 제2 투명 기판(210) 상부에는 상기 게이트 전극(221)을 보호하기 위한 게이트 절연막(222)이 구비된다. 상기 게이트 절연막(222)은 금속물질과 접착력이 좋고 계면에 공기층 형성을 억제하는 실리콘 산화물이나 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물질로 이루어진다.A gate insulating layer 222 for protecting the gate electrode 221 is provided on the second transparent substrate 210 on which the gate electrode 221 is formed. The gate insulating layer 222 is made of an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, which has good adhesion with a metal material and suppresses formation of an air layer at an interface.

게이트 절연막(222)의 상부에는 상기 게이트 전극(221)과 대응하는 위치에 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(223) 및 n+ 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(224)이 순차적으로 적층된다. 이때, 상기 오믹 콘택층(224)은 중앙부가 식각되어 채널 영역을 형성한다. 액티브층(223)은 상기 채널 영역을 통해 일부분이 노출된다.An active layer 223 made of amorphous silicon and an ohmic contact layer 224 made of n + amorphous silicon are sequentially stacked on the gate insulating layer 222 at a position corresponding to the gate electrode 221. In this case, the ohmic contact layer 224 has a central portion etched to form a channel region. A portion of the active layer 223 is exposed through the channel region.

상기 채널 영역을 중심으로 두 개로 분리된 상기 오믹 콘택층(224)의 상부에는 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)이 각각 구비된다. 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)은 일측이 상기 오믹 콘택층(224)의 상면과 접하고, 타측이 상기 게이트 절연막(222)의 상면과 접한다. The source electrode 225 and the drain electrode 226 are disposed on the ohmic contact layer 224 separated into two around the channel region. One end of the source electrode 225 and the drain electrode 226 is in contact with the top surface of the ohmic contact layer 224, and the other end is in contact with the top surface of the gate insulating layer 222.

상기 소오스 전극(225)은 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 형성된 데이터 라인으로부터 소정 면적으로 돌출되어 형성된다. 상기 드레인 전극(226)은 상기 소오스 전극(225)으로부터 소정 간격 이격되어 형성되며, 상기 소오스 전극(225)과 상기 드레인 전극(226)의 사이에는 채널 영역이 위치한다.The source electrode 225 is formed to protrude a predetermined area from a data line formed in a second direction perpendicular to the first direction. The drain electrode 226 is formed spaced apart from the source electrode 225 by a predetermined interval, and a channel region is positioned between the source electrode 225 and the drain electrode 226.

소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)의 상부에는 보호막(227)을 증착한다. 보호막(227)은 금속물질과 접착력이 좋고 계면에 공기층 형성을 억제하는 실리콘 산화물이나 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물로 이루어지는 것이 바람직하다.The passivation layer 227 is deposited on the source electrode 225 and the drain electrode 226. The protective film 227 is preferably made of an inorganic insulator such as silicon oxide or silicon nitride, which has good adhesion with a metal material and suppresses formation of an air layer at an interface.

공통전극(230)은 제2 투명 기판(210) 상에 게이트 전극(221)의 형성과 함께 형성된다. 화소 전극(240)은 게이트 절연막(222) 상에 형성되고, 콘택홀을 통해 드레인 전극(226)과 접한다. 이에 따라, 화소 전극(240)은 TFT(220)와 전기적으로 연결되어 상기 액정층(300)으로 신호 전압을 인가한다. 상기 화소 전극(240)은 투명한 전도성 재질의 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : 이하, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO)로 이루어진다.The common electrode 230 is formed on the second transparent substrate 210 with the formation of the gate electrode 221. The pixel electrode 240 is formed on the gate insulating layer 222 and contacts the drain electrode 226 through the contact hole. Accordingly, the pixel electrode 240 is electrically connected to the TFT 220 to apply a signal voltage to the liquid crystal layer 300. The pixel electrode 240 is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) made of a transparent conductive material.

한편, 상기 제1 기판(100) 및 제1 기판(200) 사이에 개재된 상기 액정층(300)은 상기 액정 분자의 배열 방향을 이용하여 상기 광의 투과율을 조절한다.Meanwhile, the liquid crystal layer 300 interposed between the first substrate 100 and the first substrate 200 controls the transmittance of the light by using the alignment direction of the liquid crystal molecules.

이하, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 일부를 공정순으로 나타낸 도면이다. 2A to 2D are diagrams illustrating a part of a manufacturing method of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention in a process order.

도 2a를 참조하면, 제1 투명 기판(110)의 한쪽 면에 크롬(Cr)막을 형성하고 크롬(Cr)막 위에 포지티브(Positive)형 포토레지스트를 도포한다. 또한 포토레지스트를 소정의 마스크를 사용하여 선택적으로 노광한 후 현상 처리하여 원하는 영역에 크롬(Cr)막을 남긴다. 이와 같이 형성된 크롬(Cr)막이 블랙 매트릭스(120)가 된다. 블랙 매트릭스(120)는 미도시된 어레이 기판의 게이트 라인 및 데이터 라인에 대응하여 제1 투명 기판(110) 상에 격자 형상을 가지고 형성된다.Referring to FIG. 2A, a chromium (Cr) film is formed on one surface of the first transparent substrate 110 and a positive photoresist is coated on the chromium (Cr) film. Further, the photoresist is selectively exposed using a predetermined mask and then developed to leave a chromium (Cr) film in a desired area. The chromium (Cr) film thus formed becomes the black matrix 120. The black matrix 120 is formed in a lattice shape on the first transparent substrate 110 to correspond to the gate line and the data line of the array substrate, not shown.

도 2b 내지 도 2d를 참조하면, 블랙 매트릭스(120)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 복수의 컬러 필터(132, 134, 136)를 형성하면서 상기 복수의 컬러 필터를 적층시켜 스페이서(140)를 형성한다. 2B to 2D, the plurality of color filters are stacked on the first transparent substrate 110 on which the black matrix 120 is formed, and the plurality of color filters are stacked to form a spacer 140. ).

도 2b를 참조하면, 적색을 구현하는 화소 영역 상에 제1 컬러 필터(132a)를 형성하고, 이와 동시에 이와 이격된 스페이서가 형성될 영역인 블랙 매트릭스(120) 상에 제1 컬러 필터(132b)를 형성한다. Referring to FIG. 2B, the first color filter 132a is formed on the pixel region that implements red color, and at the same time, the first color filter 132b is disposed on the black matrix 120, which is a region where spacers spaced apart from the first color filter 132a are to be formed. To form.

보다 상세하게는, 블랙 매트릭스(120)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 적색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 적색 포토레지스트를 노광시킨다. 상기 노광된 적색 포토레지스트를 현상하여 제1 컬러 필터(132)를 형성한다.More specifically, a photosensitive red photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the black matrix 120 is formed. The applied red photoresist is then exposed using a mask. The exposed red photoresist is developed to form a first color filter 132.

노광시에는 적색이 구현될 화소 영역 및 제1 투명 기판(110) 상의 스페이서가 형성될 영역에 상기 적색 포토레지스트가 잔존하도록 노광한다. 이 때 화소를 구현하는 영역의 컬러 필터의 마스크와 스페이서가 형성될 영역의 마스크의 형상을 다르게 할 수 있다. 스페이서가 형성될 영역의 컬러 필터는 스페이서로서 역할을 할 수 있는 높이가 되면 충분하기 때문에 주변 화소 영역의 컬러 필터의 단차와 반드시 동일할 필요가 없다. 스페이서를 구성하는 컬러 필터 중 어느 하나의 높이가 화소 영역의 컬러 필터의 높이보다 더 낮아도 관계없다. 따라서 스페이서가 형성될 영역의 상부에 슬릿을 가진 마스크(20)를 사용할 수 있다. 노광시 슬릿을 통하여 광이 투과되므로, 슬릿이 존재하지 않는 부분에 비하여 슬릿이 존재하는 부분의 포토레지스트는 더 많은 양이 노광된다. 이후 현상시에 노광된 부분이 용해되면 슬릿 하부의 포토레지스트의 높이는 노광되지 않은 포토레지스트의 높이보다 낮다. 상기 슬릿형 마스크의 슬릿 간격을 조절하여 상기 제1 컬러 필터의 단차를 조절할 수 있고, 이로써 이후 형성될 스페이서의 전체 높이를 조절할 수 있다. During exposure, the red photoresist is exposed to remain in the pixel region where the red is to be implemented and the region where the spacer on the first transparent substrate 110 is to be formed. In this case, the shape of the mask of the color filter of the region implementing the pixel and the mask of the region where the spacer is to be formed may be different. Since the color filter of the region where the spacer is to be formed has a height sufficient to serve as a spacer, it is not necessarily the same as the step of the color filter of the peripheral pixel region. The height of any one of the color filters constituting the spacer may be lower than the height of the color filter in the pixel region. Therefore, a mask 20 having a slit on the upper portion of the region where the spacer is to be formed may be used. Since light is transmitted through the slit during exposure, a larger amount of the photoresist in the portion where the slit is present is exposed to the portion where the slit is not present. Then, when the exposed portion is dissolved during development, the height of the photoresist under the slit is lower than that of the unexposed photoresist. The step difference of the first color filter may be adjusted by adjusting the slit gap of the slit mask, thereby adjusting the overall height of the spacer to be formed later.

도 2c를 참조하면, 녹색을 구현하는 화소 영역 상에 제2 컬러 필터(134a)를 형성하고, 이와 동시에 이와 인접한 제1 컬러 필터(132b) 상에 제2 컬러 필터(134b)를 형성한다. Referring to FIG. 2C, a second color filter 134a is formed on the pixel region that implements green, and at the same time, a second color filter 134b is formed on the first color filter 132b adjacent thereto.

보다 상세하게는, 제1 컬러 필터(132)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 녹색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 스페이서가 형성될 영역에는 슬릿형 마스크에 의하여 단차가 낮아진 제1 컬러 필터(132b)가 존재한다. 따라서 스페이서가 형성될 영역에서는 상기 녹색 포토레지스트의 높이가 주변 영역에 비하여 상기 제1 컬러 필터(132b)의 높이만큼 높아진다. 이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 녹색 포토레지스트를 노광시킨다. 상기 노광된 녹색 포토레지스트를 현상하여 제2 컬러 필터(134a)를 형성한다.More specifically, a photosensitive green photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the first color filter 132 is formed. In the region where the spacer is to be formed, the first color filter 132b having the step difference lowered by the slit mask is present. Therefore, in the region where the spacer is to be formed, the height of the green photoresist is increased by the height of the first color filter 132b compared to the peripheral region. The coated green photoresist is then exposed using a mask. The exposed green photoresist is developed to form a second color filter 134a.

녹색 포토레지스트의 노광시에도 녹색이 구현될 화소 영역 및 제1 투명 기판 상의 스페이서가 형성될 영역에 상기 녹색 포토레지스트가 잔존하도록 노광한다. 적색 포토레지스트의 노광시와는 달리, 녹색 포토레지스트는 화소 영역 및 스페이서가 형성될 영역이 인접하여 있다. 슬릿이 존재하지 않는 마스크를 사용하여 노광하면 상기 스페이서가 형성될 영역에 존재하는 컬러 필터들의 높이는 그대로 유지된다.Even when the green photoresist is exposed, the green photoresist is exposed to remain in the pixel region where green is to be realized and the region where spacers on the first transparent substrate are to be formed. Unlike the exposure of the red photoresist, the green photoresist has adjacent pixel regions and regions where spacers are to be formed. When the exposure is performed using a mask in which no slit exists, the height of the color filters existing in the region where the spacer is to be formed is maintained.

도 2d를 참조하면, 청색을 구현하는 화소 영역 상에 제3 컬러 필터(136a)를 형성하고, 이와 동시에 이에 인접한 제1 컬러 필터(132b) 및 제2 컬러 필터(134b) 상에 제3 컬러 필터(136b)를 형성한다. Referring to FIG. 2D, a third color filter 136a is formed on the pixel region that implements blue, and at the same time, a third color filter on the first color filter 132b and the second color filter 134b adjacent thereto. 136b is formed.

보다 상세하게는, 제1 컬러 필터(132) 및 제2 컬러 필터(134)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 청색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 도 2c에서 설명한 바와 마찬가지로, 스페이서가 형성될 영역에는 슬릿형 마스크에 의하여 단차가 낮아진 제1 컬러 필터(132b) 및 상기 제1 컬러 필터(132b) 상에 도포된 제2 컬러 필터(134c)가 존재한다. 따라서 스페이서가 형성될 영역에서는 상기 청색 포토레지스트의 높이가 주변 영역에 비하여 상기 제1 컬러 필터(132b)의 높이만큼 높아진다. 이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 청색 포토레지스트를 노광시킨다. 상기 노광된 청색 포토레지스트를 현상하여 제3 컬러 필터(134)를 형성한다.More specifically, a photosensitive blue photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the first color filter 132 and the second color filter 134 are formed. As described with reference to FIG. 2C, in the region where the spacer is to be formed, there is a first color filter 132b having a step difference lowered by a slit mask and a second color filter 134c applied on the first color filter 132b. do. Therefore, in the region where the spacer is to be formed, the height of the blue photoresist is increased by the height of the first color filter 132b compared to the peripheral region. The coated blue photoresist is then exposed using a mask. The exposed blue photoresist is developed to form a third color filter 134.

제1 투명 기판(110) 상에 제1 컬러 필터(132b), 제2 컬러 필터(134b) 및 제3 컬러 필터(136b)를 형성함으로써 스페이서(140)를 형성할 수 있다.The spacer 140 may be formed by forming the first color filter 132b, the second color filter 134b, and the third color filter 136b on the first transparent substrate 110.

도 2a 내지 2d에서는 한 영역에서 스페이서가 형성되는 과정을 설명하기 위하여 기타의 스페이서 영역에서는 스페이서의 형상을 도시하지 않았다. 그러나 상기 과정을 다른 스페이서 영역에도 적용하면 모든 스페이서 영역에 도 2d의 스페이서(140)와 유사한 형상의 스페이서가 형성됨을 알 수 있을 것이다.2A to 2D, the shape of the spacer is not illustrated in other spacer regions in order to explain a process of forming the spacer in one region. However, if the above process is applied to other spacer regions, it can be seen that spacers having a shape similar to the spacer 140 of FIG. 2D are formed in all the spacer regions.

제1 투명 기판(110) 상에 컬러 필터를 형성하는 공정에서 제1 컬러 필터(132)를 적색 필터, 제2 컬러 필터(134)를 녹색 필터, 제3 컬러 필터(134)를 청색 필터로 한정할 필요는 없고, 적색, 녹색, 청색의 색깔은 상호 변경되어도 본 발명의 목적을 충실히 수행할 수 있음은 자명하다.In the process of forming the color filter on the first transparent substrate 110, the first color filter 132 is limited to the red filter, the second color filter 134 to the green filter, and the third color filter 134 to the blue filter. It is obvious that the objects of the present invention can be faithfully performed even if the colors of red, green, and blue are mutually changed.

또한, 상기에서는 도 1에서 구체적으로 설명한 스페이서를 예로 들어 설명하지만, 다른 스페이서들도 동일한 방법으로 제조할 수 있음은 자명하다.In addition, although the spacer described in detail in FIG. 1 is described as an example, it is obvious that other spacers may be manufactured by the same method.

도 2a 내지 2d에서 살펴본 바와 같이, 제1 투명 기판(110) 상에 블랙 매트릭스(120)를 형성한 후 복수의 컬러 필터(132, 134, 136)를 형성하는 동시에 스페이서(140)를 형성함으로써 제1 기판(100)을 완성할 수 있다.As shown in FIGS. 2A to 2D, the black matrix 120 is formed on the first transparent substrate 110, and then a plurality of color filters 132, 134, and 136 are formed and the spacers 140 are formed. One substrate 100 can be completed.

이어서 미도시된 제2 기판과 대향 결합하고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 액정층을 형성하여 액정 표시 장치를 제조한다.Subsequently, a liquid crystal layer is formed between the second substrate and the second substrate, which is not shown, to form a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate.

실시예 2Example 2

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

상기 실시예 1에서는 컬러 필터가 형성된 기판과 대향되는 기판 상에 스위칭 소자가 형성되는 경우를 설명하였지만, 실시예 2에서는 스위칭 소자와 컬러 필터가 동일한 기판에 형성되는 경우를 예로 들어 설명한다. 도 1에서는 컬러 필터가 형성되는 기판을 제1 기판(100)으로 지칭하고, 이에 대향하는 기판을 제2 기판(200)으로 지칭하였으므로, 이에 대응하여 도 3에서도 컬러 필터가 형성되는 기판을 제3 기판(400)으로 지칭하고, 이에 대향하는 기판을 제4 기판(500)으로 지칭한다. In the first embodiment, the case where the switching element is formed on the substrate facing the substrate on which the color filter is formed has been described. In the second embodiment, the case where the switching element and the color filter are formed on the same substrate will be described as an example. In FIG. 1, the substrate on which the color filter is formed is referred to as the first substrate 100 and the substrate opposite thereto is referred to as the second substrate 200. Accordingly, the substrate on which the color filter is formed is also referred to as a third substrate in FIG. 3. The substrate 400 is referred to as an opposing substrate, and the substrate 400 is referred to as a fourth substrate 500.

실시예 2에서 실시예 1과 동일한 구조를 가지는 부재에는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.In Embodiment 2, members having the same structure as in Embodiment 1 are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제3 기판(400), 제4 기판(500) 및 제3 기판(400) 및 제4 기판(500) 간에 형성된 액정층(600)을 포함한다. 도 3에서는 TFT와 컬러 필터의 어셈블리 미스를 감소시키기 위하여 제안된 COA(Color Filter on Array) 구조의 액정 표시 장치를 설명하지만, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.Referring to FIG. 3, the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention includes a liquid crystal layer formed between the third substrate 400, the fourth substrate 500, and the third substrate 400 and the fourth substrate 500. And 600. Although FIG. 3 illustrates a liquid crystal display device having a color filter on array (COA) structure proposed to reduce assembly errors between the TFT and the color filter, the present invention is not limited thereto.

제3 기판(400)은 제1 투명 기판(110) 상에 데이터 라인(도시되지 않음)과 게이트 라인(도시되지 않음)을 구비한다. 또한, 제1 투명 기판(110) 상에는 액정층(600)에 전압을 인가하고 차단하기 위한 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(TFT)(220)가 형성된다. TFT(220), 게이트 전극(221), 게이트 절연막(222), 액티브층(223), 오믹 콘택층(224), 소오스 전극(225), 드레인 전극(226) 및 보호막(227)은 실시예 1에서와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.The third substrate 400 includes a data line (not shown) and a gate line (not shown) on the first transparent substrate 110. In addition, a thin film transistor (TFT) 220, which is a switching element for applying and blocking a voltage to the liquid crystal layer 600, is formed on the first transparent substrate 110. The TFT 220, the gate electrode 221, the gate insulating film 222, the active layer 223, the ohmic contact layer 224, the source electrode 225, the drain electrode 226 and the protective film 227 are the first embodiment. Since the same as in the description thereof will be omitted.

TFT(220) 상에는 스페이서(440)가 형성된다. 스페이서(440)는 복수의 컬러 필터(430) 중 2 이상의 컬러 필터의 가장자리가 중첩되는 영역에 형성되며, 본 실시예에서는 데이터 라인과 게이트 라인이 교차하는 지점 상에 존재한다. 스페이서(440)는 상기 제1 기판(100)과 상기 제2 기판(200)을 소정 간격으로 이격시킨다.The spacer 440 is formed on the TFT 220. The spacer 440 is formed in a region where edges of two or more color filters overlap among the plurality of color filters 430. In the present embodiment, the spacer 440 is positioned at the intersection of the data line and the gate line. The spacer 440 separates the first substrate 100 and the second substrate 200 at predetermined intervals.

스페이서(440)는 복수의 컬러 필터(430)가 적층되어 형성된다. 도면에 도시된 스페이서들 중 중앙에 위치한 스페이서를 일례로 들어 설명한다. TFT(220) 상 및 이에 인접하는 화소 영역 상에 연속적으로 제1 컬러 필터(432a)가 형성된다. 제1 컬러 필터(432a) 상 및 이에 인접한 다른 화소 영역 상에 제2 컬러 필터(434a)가 연속적으로 형성된다. 제3 컬러 필터(436b)는 제1 컬러 필터(432a) 상의 제2 컬러 필터(434a) 상에 형성된다. 따라서 스페이서(440)는 제1 컬러 필터(432b), 제2 컬러 필터(434a) 및 제3 컬러 필터(436a)가 순서대로 적층된 구조를 가진다. The spacer 440 is formed by stacking a plurality of color filters 430. The spacer located in the center of the spacers shown in the drawings will be described as an example. The first color filter 432a is successively formed on the TFT 220 and on the pixel region adjacent thereto. The second color filter 434a is continuously formed on the first color filter 432a and on another pixel area adjacent thereto. The third color filter 436b is formed on the second color filter 434a on the first color filter 432a. Accordingly, the spacer 440 has a structure in which the first color filter 432b, the second color filter 434a, and the third color filter 436a are sequentially stacked.

스페이서(440)를 구성하는 컬러 필터들 중 하나인 제3 컬러 필터(436b)의 높이는 인접하는 주위의 컬러 필터들의 높이보다 낮을 수 있다. 제3 컬러 필터(436b)는 노광시에 스페이서 영역의 상부에 슬릿을 가진 마스크를 이용하여 형성할 수 있다. The height of the third color filter 436b, which is one of the color filters constituting the spacer 440, may be lower than the height of adjacent color filters. The third color filter 436b may be formed by using a mask having a slit on the spacer area at the time of exposure.

상기 설명에서는 432a를 제1 컬러 필터로, 434a를 제2 컬러 필터로, 436b를 제3 컬러 필터를 지칭하였으나, 도면으로부터 확인할 수 있듯이, 434a를 제1 컬러 필터로, 436a를 제2 컬러 필터로, 432b를 제3 컬러 필터로 지칭하거나, 436a를 제1 컬러 필터로, 432a를 제2 컬러 필터로, 434b를 제3 컬러 필터로 지칭할 수 있다는 것은 당업자가 쉽게 이해할 수 있을 것이다.In the above description, 432a refers to the first color filter, 434a refers to the second color filter, and 436b refers to the third color filter. As can be seen from the drawings, 434a refers to the first color filter and 436a refers to the second color filter. It will be readily understood by those skilled in the art that 432b may be referred to as a third color filter, or 436a may be referred to as a first color filter, 432a may be referred to as a second color filter, and 434b may be referred to as a third color filter.

실시예 1에서와 마찬가지로 오버 코팅층을 형성하지 않고도 셀 갭을 일정하게 유지할 수 있다. 따라서 오버 코팅층을 형성하는 공정 및 그 후의 스페이서 형성 공정을 생략할 수 있으므로 제조 원가가 절감된다.As in Example 1, the cell gap can be kept constant without forming the overcoating layer. Therefore, the process of forming the overcoating layer and the subsequent spacer forming process can be omitted, thereby reducing the manufacturing cost.

상기 컬러 필터(430)의 상부에는 화소 전극(240)이 구비된다. 상기 화소 전극(240)은 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극(226)과 접한다. 화소 전극(240)은 스페이서(440) 상부 영역에는 형성되지 않는다. The pixel electrode 240 is disposed on the color filter 430. The pixel electrode 240 contacts the drain electrode 226 through a contact hole. The pixel electrode 240 is not formed in the upper region of the spacer 440.

상기 제3 기판(400)의 상부에는 제4 기판(500)이 구비된다. 상기 제4 기판(500)은 제2 투명 기판(210), 상기 제2 투명 기판(210) 상에 형성된 차광층인 블랙 매트릭스(120) 및 공통 전극(230)을 포함한다. The fourth substrate 500 is provided on the third substrate 400. The fourth substrate 500 includes a second transparent substrate 210, a black matrix 120 that is a light blocking layer formed on the second transparent substrate 210, and a common electrode 230.

상기 제2 투명 기판(210) 상면에 블랙 매트릭스(120)가 형성되고, 상기 블랙 매트릭스(120)가 형성된 상기 제2 투명 기판(210)의 상부에는 공통 전극(230)이 구비된다. 블랙 매트릭스(120)는 실시예 1에서 설명한 바와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. The black matrix 120 is formed on an upper surface of the second transparent substrate 210, and the common electrode 230 is provided on the second transparent substrate 210 on which the black matrix 120 is formed. Since the black matrix 120 is the same as described in Embodiment 1, description thereof will be omitted.

한편, 상기 제3 기판(400) 및 제4 기판(500) 사이에 개재된 상기 액정층(600)은 액정 분자의 배열 방향이 상기 제3 기판(400) 및 제4 기판(500)에 대하여 연속적으로 90°트위스트된 네마틱 (twisted nematic) 액정으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 액정층(600)은 상기 액정 분자의 배열 방향을 이용하여 상기 광의 투과율을 조절한다.Meanwhile, the liquid crystal layer 600 interposed between the third substrate 400 and the fourth substrate 500 has a continuous arrangement direction of liquid crystal molecules with respect to the third substrate 400 and the fourth substrate 500. It is preferably formed of a twisted nematic liquid crystal 90 °. The liquid crystal layer 600 adjusts the transmittance of the light by using the alignment direction of the liquid crystal molecules.

상기 제3 기판(400)과 상기 제4 기판(500)은 결합시, 상기 컬러 필터(430)와 상기 공통 전극(230)이 서로 마주보도록 결합한다.When the third substrate 400 and the fourth substrate 500 are combined, the color filter 430 and the common electrode 230 are coupled to face each other.

컬러 필터를 형성한 후 별도로 스페이서를 형성하는 공정이 요구되지 않으므로, 컬러 필터 간의 단차를 제거하기 위한 오버 코팅막이 필요하지 않다. 따라서, 액정 표시 장치의 제조 공정이 단순화되며, 오버 코팅막으로 인한 투과율 감소를 해소할 수 있다. 한편, 스페이서를 형성하기 위한 마스크를 별도로 준비하지 않고 컬러 필터를 형성하는 중간에 스페이서를 형성하므로 제조 원가를 절감시킬 수 있다. Since a process of forming a spacer separately after forming the color filter is not required, an overcoating film for removing a step between the color filters is not necessary. Therefore, the manufacturing process of the liquid crystal display device is simplified, and the decrease in transmittance due to the overcoating film can be eliminated. On the other hand, since the spacer is formed in the middle of forming the color filter without separately preparing a mask for forming the spacer, the manufacturing cost can be reduced.

이하, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 일부를 공정순으로 나타낸 도면이다.4A to 4D are diagrams illustrating a part of a manufacturing method of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention in the order of process.

도 4a를 참조하면, 제1 투명 기판(110) 상에 게이트 전극(221), 게이트 절연막(222), 액티브층(223), 오믹 콘택층(224), 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)을 포함하는 스위칭 소자인 TFT(220)를 형성한 후, 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226) 상부에 보호막(227)을 형성한다.Referring to FIG. 4A, a gate electrode 221, a gate insulating layer 222, an active layer 223, an ohmic contact layer 224, a source electrode 225, and a drain electrode 226 are formed on the first transparent substrate 110. After forming the TFT 220, which is a switching element including the (), a passivation layer 227 is formed on the source electrode 225 and the drain electrode 226.

도 4b 내지 도 4d를 참조하면, TFT(220) 및 보호막(227)이 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 복수의 컬러 필터(432, 434, 436)를 형성하면서 상기 복수의 컬러 필터를 적층시켜 스페이서(440)를 형성한다. 4B to 4D, the plurality of color filters are stacked while the plurality of color filters 432, 434, and 436 are formed on the first transparent substrate 110 on which the TFT 220 and the protective film 227 are formed. To form a spacer 440.

도 4b를 참조하면, 적색을 구현하는 화소 영역 및 스페이서가 형성될 이에 인접한 영역인 TFT(220) 상에 제1 컬러 필터(432a)를 형성한다.Referring to FIG. 4B, a first color filter 432a is formed on the TFT 220, which is a region adjacent to the pixel region and the spacer for implementing red.

보다 상세하게는, TFT(220) 및 보호막(227)이 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 적색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 적색 포토레지스트를 노광시킨다. 노광시에는 적색이 구현될 화소 영역 및 스페이서가 형성될 이에 인접한 영역에 상기 적색 포토레지스트가 잔존하도록 노광한다. 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 두 영역들은 연속적이다. 상기 노광된 적색 포토레지스트를 현상하여 제1 컬러 필터(432a)를 형성한다.More specifically, a photosensitive red photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the TFT 220 and the protective film 227 are formed. The applied red photoresist is then exposed using a mask. In exposure, the red photoresist is exposed to remain in the pixel region where red is to be implemented and the region adjacent to where the spacer is to be formed. As shown in FIG. 4B, the two regions are continuous. The exposed red photoresist is developed to form a first color filter 432a.

도 4c를 참조하면, 녹색을 구현하는 화소 영역 및 스페이서가 형성될 이에 인접한 영역인 TFT(220) 상에 제2 컬러 필터(434a)를 형성한다.Referring to FIG. 4C, a second color filter 434a is formed on the TFT 220, which is a region adjacent to where the pixel region and the spacer to implement green are formed.

보다 상세하게는, 제1 컬러 필터(432a)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 녹색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 녹색 포토레지스트를 노광시킨다. 노광시에는 녹색이 구현될 화소 영역 및 스페이서가 형성될 이에 인접한 영역에 상기 녹색 포토레지스트가 잔존하도록 노광한다. 도 4c에 도시된 바와 같이 상기 두 영역들은 연속적이다. 스페이서가 형성될 영역에는 제1 컬러 필터(432a)가 존재하므로 적층된 포토레지스트들의 전체 높이가 주변 영역에 비하여 상기 제1 컬러 필터(432a)의 높이만큼 높아진다. More specifically, a photosensitive green photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the first color filter 432a is formed. The coated green photoresist is then exposed using a mask. In exposure, the green photoresist is exposed to remain in the pixel region where green is to be realized and the region adjacent to where the spacer is to be formed. As shown in FIG. 4C, the two regions are continuous. Since the first color filter 432a exists in the region where the spacer is to be formed, the overall height of the stacked photoresists is increased by the height of the first color filter 432a compared to the peripheral region.

상기 노광된 녹색 포토레지스트를 현상하여 제2 컬러 필터(434)를 형성한다.The exposed green photoresist is developed to form a second color filter 434.

도 4d를 참조하면, 청색을 구현하는 화소 영역 상에 제3 컬러 필터(436a)를 형성하고, 이와 동시에 스페이서가 형성될 영역인 제1 컬러 필터(432) 및 제2 컬러 필터(434) 상에 제3 컬러 필터(436b)를 형성한다. Referring to FIG. 4D, a third color filter 436a is formed on a pixel area that implements blue, and at the same time, on the first color filter 432 and the second color filter 434, which are areas in which a spacer is to be formed. The third color filter 436b is formed.

보다 상세하게는, 제1 컬러 필터(432) 및 제2 컬러 필터(434)가 형성된 제1 투명 기판(110) 상에 감광성의 청색 포토레지스트(도시되지 않음)를 도포한다. 스페이서가 형성될 영역에는 제1 컬러 필터(432a) 및 제2 컬러 필터(434a)가 존재한다. 따라서 스페이서가 형성될 영역에서는 적층된 포토레지스트들의 전체 높이가 주변 영역에 비하여 상기 제1 컬러 필터(432a)의 높이만큼 높다. More specifically, a photosensitive blue photoresist (not shown) is applied onto the first transparent substrate 110 on which the first color filter 432 and the second color filter 434 are formed. The first color filter 432a and the second color filter 434a exist in the region where the spacer is to be formed. Therefore, in the region where the spacer is to be formed, the overall height of the stacked photoresists is as high as the height of the first color filter 432a compared to the peripheral region.

이어서 마스크를 이용하여 상기 도포된 청색 포토레지스트를 노광시킨다. 노광시에는 청색이 구현될 화소 영역 및 제1 투명 기판 상의 스페이서가 형성될 영역에 상기 청색 포토레지스트가 잔존하도록 노광한다. 이 때 화소를 구현하는 영역의 컬러 필터의 마스크와 스페이서가 형성될 영역의 마스크의 형상을 다르게 할 수 있다. 스페이서가 형성될 영역의 컬러 필터는 스페이서로서 역할을 할 수 있는 높이가 되면 충분하기 때문에 주변 화소 영역의 컬러 필터의 단차와 반드시 동일할 필요가 없다. 스페이서를 구성하는 컬러 필터 중 어느 하나의 높이가 화소 영역의 컬러 필터의 높이보다 더 낮아도 관계없다. 따라서 스페이서가 형성될 영역의 상부에 슬릿을 가진 마스크(40)를 사용할 수 있다. 노광시 슬릿을 통하여 광이 투과되므로, 슬릿이 존재하지 않는 부분에 비하여 슬릿이 존재하는 부분의 포토레지스트는 더 많은 양이 노광된다. 이후 현상시에 노광된 부분이 용해되면 슬릿 하부의 포토레지스트의 높이는 노광되지 않은 포토레지스트의 높이보다 낮다. 상기 슬릿형 마스크의 슬릿 간격을 조절하여 상기 제1 컬러 필터의 단차를 조절할 수 있고, 이로써 이후 형성될 스페이서의 전체 높이를 조절할 수 있다. The coated blue photoresist is then exposed using a mask. During exposure, the blue photoresist is exposed to remain in the pixel area where blue is to be implemented and the area where spacers on the first transparent substrate are to be formed. In this case, the shape of the mask of the color filter of the region implementing the pixel and the mask of the region where the spacer is to be formed may be different. Since the color filter of the region where the spacer is to be formed has a height sufficient to serve as a spacer, it is not necessarily the same as the step of the color filter of the peripheral pixel region. The height of any one of the color filters constituting the spacer may be lower than the height of the color filter in the pixel region. Therefore, a mask 40 having a slit on the upper portion of the region where the spacer is to be formed may be used. Since light is transmitted through the slit during exposure, a larger amount of the photoresist in the portion where the slit is present is exposed to the portion where the slit is not present. Then, when the exposed portion is dissolved during development, the height of the photoresist under the slit is lower than that of the unexposed photoresist. The step difference of the first color filter may be adjusted by adjusting the slit gap of the slit mask, thereby adjusting the overall height of the spacer to be formed later.

상기 노광된 청색 포토레지스트를 현상하여 제3 컬러 필터(436b)를 형성한다.The exposed blue photoresist is developed to form a third color filter 436b.

상기에서 설명한 바와 같이, 제1 투명 기판 상에 복수의 컬러 필터를 적층시켜 형성함으로써 스페이서(440)를 형성할 수 있다. As described above, the spacer 440 may be formed by stacking a plurality of color filters on the first transparent substrate.

도 4a 내지 4d에서는 한 영역에서 스페이서가 형성되는 과정을 설명하기 위하여 기타의 스페이서 영역에서는 스페이서의 형상이 도시되지 않았다. 그러나 상기 과정을 다른 스페이서 영역에도 적용하면 모든 스페이서 영역에 도 4d의 스페이서(440)와 유사한 형상의 스페이서가 형성됨을 알 수 있을 것이다. 4A to 4D, the shape of the spacer is not illustrated in other spacer regions to explain a process of forming the spacer in one region. However, if the above process is applied to other spacer regions, it can be seen that spacers having a shape similar to the spacer 440 of FIG. 4D are formed in all spacer regions.

제1 투명 기판(110) 상에 컬러 필터를 형성하는 공정에서 적색(432), 녹색(434), 청색(436)을 상기의 순서와 같이 형성할 필요는 없고 어느 것을 먼저 형성하고 다른 것을 나중에 형성하더라도 본 발명의 목적을 충실히 수행할 수 있음은 자명하다.In the process of forming the color filter on the first transparent substrate 110, the red 432, the green 434, and the blue 436 need not be formed in the above order, which is formed first and the other is formed later. Even if it is obvious that the object of the present invention can be fulfilled.

또한, 상기에서는 도 3에서 구체적으로 설명한 스페이서를 예로 들어 설명하지만, 다른 스페이서들도 동일한 방법으로 제조할 수 있음은 자명하다.In addition, although the spacer described in detail in FIG. 3 is described as an example, it is obvious that other spacers may be manufactured by the same method.

도시하지는 않았지만 스페이서(440)를 형성한 후, 스페이서(440) 상부를 제외한 제1 투명 기판(110) 상에 화소 전극을 형성한다. 화소 전극은 개구율을 감소시키기 위하여 스페이서와 최대한 근접하도록 형성된다.Although not shown, after forming the spacer 440, the pixel electrode is formed on the first transparent substrate 110 except for the upper portion of the spacer 440. The pixel electrode is formed to be as close to the spacer as possible to reduce the aperture ratio.

이상에서 살펴본 바와 같이, 제1 투명 기판(110) 상에 TFT(220)를 형성한 후 복수의 컬러 필터(430)와 동시에 스페이서(440)를 형성한 후, 화소 전극을 형성함으로써 제3 기판(400)을 완성할 수 있다.As described above, after the TFT 220 is formed on the first transparent substrate 110, the spacer 440 is formed simultaneously with the plurality of color filters 430, and the pixel electrode is formed to form the third substrate ( 400) can be completed.

이어서 미도시된 제4 기판과 대향 결합하고, 상기 제3 기판과 상기 제4 기판 사이에 액정층을 형성하여 액정 표시 장치를 제조한다.Subsequently, a liquid crystal layer is formed between the fourth substrate and the fourth substrate, which is not shown, to form a liquid crystal layer between the third substrate and the fourth substrate.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 컬러 필터를 형성한 후 별도로 스페이서를 형성하는 공정이 요구되지 않으므로, 컬러 필터 간의 단차를 제거하기 위한 오버 코팅막이 필요하지 않다. 따라서, 액정 표시 장치의 제조 공정이 단순화되며, 오버 코팅막으로 인한 투과율 감소를 해소할 수 있다. 한편, 스페이서를 형성하기 위한 마스크를 별도로 준비하지 않고 컬러 필터를 형성하는 중간에 스페이서를 형성하므로 제조 원가를 절감시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, since a process of forming a spacer separately after forming the color filter is not required, an overcoating film for removing a step between the color filters is not necessary. Therefore, the manufacturing process of the liquid crystal display device is simplified, and the decrease in transmittance due to the overcoating film can be eliminated. On the other hand, since the spacer is formed in the middle of forming the color filter without separately preparing a mask for forming the spacer, the manufacturing cost can be reduced.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 일부를 공정순으로 나타낸 도면이다.2A to 2D are diagrams illustrating a part of a manufacturing method of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention in a process order.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 일부를 공정순으로 나타낸 도면이다.4A to 4D are diagrams illustrating a part of a manufacturing method of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention in the order of process.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100, 200, 400, 500: 기판100, 200, 400, 500: substrate

110: 제1 투명 기판 120: 블랙 매트릭스110: first transparent substrate 120: black matrix

130, 430: 컬러 필터 140, 440: 스페이서130, 430: color filter 140, 440: spacer

210: 제2 투명 기판 220: 스위칭 소자210: second transparent substrate 220: switching element

221: 게이트 전극 222: 게이트 절연막221: gate electrode 222: gate insulating film

223: 액티브층 224: 오믹 콘택층223: active layer 224: ohmic contact layer

225: 소오스 전극 226: 드레인 전극225: source electrode 226: drain electrode

227: 보호막 230: 공통 전극227: protective film 230: common electrode

240: 화소 전극 250: 유기 절연막240: pixel electrode 250: organic insulating film

300, 600: 액정300, 600: liquid crystal

Claims (13)

제1 기판;A first substrate; 상기 제1 기판 상에 형성된 복수의 컬러 필터;A plurality of color filters formed on the first substrate; 상기 복수의 컬러 필터가 적층되어 형성된 스페이서;A spacer formed by stacking the plurality of color filters; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판; 및A second substrate facing the first substrate; And 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. 제1항에 있어서, 상기 스페이서가 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the spacers include the same color filters as the color filters on adjacent pixel areas. 제1항에 있어서, 상기 스페이서가 인접하는 화소 영역을 사이에 두고 이격하는 다른 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the spacers include the same color filters as the color filters on other pixel areas spaced apart from each other with adjacent pixel areas therebetween. 제3항에 있어서, 인접하는 화소 영역을 사이에 두고 이격하는 다른 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터는 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터들보다 높이가 낮은 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display of claim 3, wherein the same color filter as the color filter on the other pixel area spaced apart from each other with the adjacent pixel area interposed therebetween is lower than the color filters on the adjacent pixel area. 제4항에 있어서, 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터들보다 높이가 낮은 컬러 필터가 슬릿을 가진 마스크에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device according to claim 4, wherein a color filter having a height lower than that of color filters on adjacent pixel areas is formed by a mask having a slit. 제1항에 있어서, 상기 스페이서와 상기 제1 기판 사이에 차광층이 형성되고, 상기 제2 기판 상에 공통 전극 및 화소 전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device of claim 1, wherein a light blocking layer is formed between the spacer and the first substrate, and a common electrode and a pixel electrode are formed on the second substrate. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판 상에 스위칭 소자가 형성되고, 제2 기판 상에 차광층이 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a switching element is formed on the first substrate, and a light shielding layer is formed on the second substrate. 제1 기판 상에 복수의 컬러 필터를 적층시켜 스페이서를 형성하는 단계; Stacking a plurality of color filters on the first substrate to form a spacer; 상기 제1 기판에 대향하여 제2 기판을 형성하는 단계; 및Forming a second substrate opposite the first substrate; And 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate. 제8항에 있어서, 상기 스페이서를 형성하는 단계가The method of claim 8, wherein forming the spacers 상기 제1 기판 상의 스페이서가 형성될 영역에 컬러 필터용 포토레지스트를 도포하는 단계;Applying a photoresist for color filters to a region where a spacer on the first substrate is to be formed; 마스크를 이용하여 상기 도포된 포토레지스트를 노광시키는 단계; 및Exposing the applied photoresist using a mask; And 상기 노광된 포토레지스트를 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And developing the exposed photoresist. 제8항에 있어서, 상기 스페이서를 형성하는 단계가, 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터를 상기 제1 기판 상의 스페이서가 형성될 영역 상에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.10. The liquid crystal display of claim 8, wherein the forming of the spacers includes forming a same color filter on the region where the spacers on the first substrate are to be formed, the same color filter on the adjacent pixel region. Method of manufacturing the device. 제8항에 있어서, 상기 스페이서를 형성하는 단계가, 인접하는 화소 영역을 사이에 두고 이격하는 다른 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터를 상기 제1 기판 상의 스페이서가 형성될 영역에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 8, wherein the forming of the spacer comprises: forming the same color filter in the region where the spacer on the first substrate is to be formed, the same as the color filter on the other pixel region spaced apart by the adjacent pixel region. The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by including. 제11항에 있어서, 인접하는 화소 영역을 사이에 두고 이격하는 다른 화소 영역 상의 컬러 필터와 동일한 컬러 필터를 형성할 때, 스페이서가 형성될 영역 상의 컬러 필터의 높이를 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터들의 높이보다 낮게 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.12. The method of claim 11, wherein when forming the same color filter as the color filter on another pixel region spaced apart by the adjacent pixel region, the height of the color filter on the region where the spacer is to be formed It forms lower than height, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제12항에 있어서, 인접하는 화소 영역 상의 컬러 필터들의 높이보다 낮게 형성된 컬러 필터의 형성시에 스페이서 상부 영역에 슬릿을 가진 마스크로 노광하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 12, wherein the formation of the color filter lower than the height of the color filters on the adjacent pixel area is performed by using a mask having a slit in the spacer upper area.
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