KR20050014137A - Method for detecting error concerning of test power connection for testing semiconductor device - Google Patents

Method for detecting error concerning of test power connection for testing semiconductor device

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KR20050014137A
KR20050014137A KR1020030052618A KR20030052618A KR20050014137A KR 20050014137 A KR20050014137 A KR 20050014137A KR 1020030052618 A KR1020030052618 A KR 1020030052618A KR 20030052618 A KR20030052618 A KR 20030052618A KR 20050014137 A KR20050014137 A KR 20050014137A
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semiconductor device
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김윤민
최병욱
김준성
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삼성전자주식회사
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Abstract

PURPOSE: A method for detecting a connection failure of a test power source at a semiconductor device is provided to conveniently detect a failure that test power is connected to a chip on a chip improperly due to a wrong test standard or a failure that is caused by a wrong design of a test board. CONSTITUTION: A semiconductor device having cores operated at different operation voltages and at least one pad for each of the cores is tested by using test voltages applied thereto. A predetermined test voltage is applied to at least one pad which supplies the operation voltage to one core selected from the cores. Whether a test voltage is detected from the at least one pad supplying voltages to the rest cores is determined.

Description

반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원 연결의 오류를 검출하는 방법 {Method for detecting error concerning of test power connection for testing semiconductor device}Method for detecting error concerning of test power connection for testing semiconductor device}

본 발명은 반도체 장치의 테스트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 규격의 오류 및 테스트 보드의 설계 오류에 의하여 다수의 서로 다른 전원을 사용하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압을 잘못 연결하는 경우에 발생되는 전원 연결 오류를 검출할 수 있는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test method of a semiconductor device, and more particularly, in the case of incorrectly connecting a test voltage for testing a semiconductor device using a plurality of different power sources due to an error of a test standard and a design error of a test board. The present invention relates to a method for detecting a power connection error generated.

SOC(system on chip)가 집적화 될수록, 상기 SOC는 더욱 복잡해지고 상기 SOC에 사용되는 전원들의 종류도 다양해진다. 따라서 다양한 전원을 갖는 SOC를 테스트하기 위한 테스트 보드를 제작하고, 상기 SOC를 테스트하기 위한 프로그램을 작성하는 많은 시간이 소요된다. 또한, 상기 SOC를 테스트하는 시간도 점차 길어지고 있다.As the SOC (system on chip) is integrated, the SOC becomes more complicated and the types of power supplies used for the SOC also vary. Therefore, it takes a lot of time to manufacture a test board for testing an SOC having various power supplies and to write a program for testing the SOC. In addition, the time for testing the SOC is also getting longer.

그리고 상기 SOC의 설계자가 작성한 테스트 규격에 에러가 발생하는 경우, 또는 상기 SOC를 테스트하기 위한 테스트보드가 잘못 제작된 경우, 상기 SOC의 불량분석은 더욱 어려워지고, 이에 따라 상기 불량분석을 위한 시간도 증가된다.When an error occurs in a test standard written by the designer of the SOC or when a test board for testing the SOC is manufactured incorrectly, the failure analysis of the SOC becomes more difficult, and thus the time for the failure analysis is also increased. Is increased.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 잘못된 테스트 규격에 의하여 잘못된 테스트 전원을 SOC에 연결하는 오류, 또는 테스트 보드의 설계 잘못으로 인하여 발생되는 오류를 용이하게 검출할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method for easily detecting an error caused by a wrong test specification connecting an incorrect test power supply to an SOC, or an error caused by a design error of a test board.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.The detailed description of each drawing is provided in order to provide a thorough understanding of the drawings cited in the detailed description of the invention.

도 1은 두 종류의 전원을 갖는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원을 잘못 연결한 예를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating an example in which a test power source for testing a semiconductor device having two types of power sources is connected incorrectly.

도 2는 세 종류의 전원을 갖는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원을 잘못 연결한 예를 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a diagram illustrating an example in which a test power source for testing a semiconductor device having three types of power sources is incorrectly connected.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원의 연결정보의 오류를 검출하는 방법을 나타내는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a method of detecting an error in connection information of a test power source for testing a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 서로 다른 동작전압을 사용하는 코어들 및 상기 코어들 각각에 접속된 적어도 하나의 패드를 구비하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압의 연결 오류를 검출하는 방법은 상기 코어들 중에서 선택된 하나의 코어에 동작전원을 공급하는 적어도 하나의 패드로 소정의 테스트 전압을 인가하는 단계, 및 나머지 코어들 각각으로 전원을 공급하는 적어도 하나의 패드로부터 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 구비한다.A method of detecting a connection error of a test voltage for testing a semiconductor device having cores using different operating voltages and at least one pad connected to each of the cores for achieving the technical problem may include the cores. Applying a predetermined test voltage to at least one pad supplying operating power to one selected core from among the selected cores, and determining whether the test voltage is detected from at least one pad supplying power to each of the remaining cores It is equipped with a step.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 제1동작 전압을 사용하는 제1코어로 상기 제1동작전압을 공급하는 제1패드 및 제2동작 전압을 사용하는 제2코어로 상기 제2동작전압을 공급하는 제2패드를 구비하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압의 연결오류를 검출하는 방법은 상기 제1패드로 상기 테스트 전압을 인가하는 단계; 및 상기 제2패드에서 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 구비한다.The first pad for supplying the first operating voltage to the first core using the first operating voltage for achieving the technical problem and the second supplying voltage to the second core using the second operating voltage A method of detecting a connection error of a test voltage for testing a semiconductor device having two pads includes applying the test voltage to the first pad; And determining whether the test voltage is detected at the second pad.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 두 종류의 전원을 갖는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원을 잘못 연결한 예를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 반도체 장치(100)는 1.8V코어(101), 3.3V코어(103), CDL(105) 및 다수개의 PAD들(1 내지 14)을 구비한다.1 is a diagram illustrating an example in which a test power source for testing a semiconductor device having two types of power sources is connected incorrectly. Referring to FIG. 1, the semiconductor device 100 includes a 1.8V core 101, a 3.3V core 103, a CDL 105, and a plurality of PADs 1 to 14.

1.8V코어(101)는 1.8볼트를 동작전원으로 하는 소정의 회로들을 구비하고, 3.3V코어(103)는 3.3볼트를 동작전원으로 하는 소정의 회로들을 구비한다. 1.8V코어(101)와 3.3V코어(103)사이에 접속된 CDL(common discharge line; 105)는 약 2000볼트이상의 전압에서만 동작하는 양방향 다이오드이다.The 1.8V core 101 has predetermined circuits that use 1.8 volts as an operating power supply, and the 3.3V core 103 includes predetermined circuits that use 3.3 volts as an operating power supply. The common discharge line (CDL) 105 connected between the 1.8V core 101 and the 3.3V core 103 is a bidirectional diode that operates only at a voltage of about 2000 volts or more.

다수개의 PAD들(1 내지 14)각각은 ESD(electro static discharge)를 위한 패드 또는 패키지의 핀을 나타낸다. 여기서 다수개의 PAD들(1 내지 5)각각은 1.8V코어(101)의 전원 핀이고, 다수개의 PAD들(6 내지 14)각각은 3.3V코어(103)의 전원 핀이다.Each of the plurality of PADs 1-14 represents a pin of a pad or package for an electro static discharge (ESD). Here, each of the plurality of PADs 1 to 5 is a power supply pin of the 1.8V core 101, and each of the plurality of PADs 6 to 14 is a power supply pin of the 3.3V core 103.

만일, 반도체 장치(100)의 설계자가 테스트 규격을 작성할 때 1번, 4번 및 7번 핀들을 1.8V코어(101)의 전원 핀들로 정하고, 8번, 11번 및 14번 핀들을 3.3V코어(103)의 전원 핀들로 정했다고 가정한다.When the designer of the semiconductor device 100 prepares a test specification, pins 1, 4, and 7 are designated as power pins of the 1.8V core 101, and pins 8, 11, and 14 are 3.3V cores. Assume that the power pins of 103 are determined.

상기 반도체 장치(100)를 테스트하는 경우, 테스트 장치(미 도시)의 제1전원단자(110)는 1번, 4번 및 7번 핀들에 접속되고 상기 테스트 장치의 제2전원단자(120)는 8번, 11번 및 14번 핀들에 접속된다.When the semiconductor device 100 is tested, the first power supply terminal 110 of the test device (not shown) is connected to pins 1, 4, and 7 and the second power supply terminal 120 of the test device is It is connected to pins 8, 11 and 14.

따라서 상기 테스트 장치는 7번 핀이 잘못 연결되었다는 것을 판단하지 못하므로, 상기 테스트 장치는 상기 반도체 장치(100)를 불량으로 판정한다.Therefore, since the test apparatus does not determine that pin 7 is erroneously connected, the test apparatus determines that the semiconductor device 100 is defective.

또한, 반도체 장치(100)를 테스트하기 위한 테스트 보드의 설계 오류에 의하여, 상기 테스트 장치의 제1전원단자(110)는 1번, 4번 및 7번 핀들에 접속되고 상기 테스트 장치의 제2전원단자(120)는 8번, 11번 및 14번 핀들에 접속되는 경우, 상기 테스트 장치는 7번 핀이 잘못 연결되었다는 것을 판단하지 못하므로, 상기 테스트 장치는 상기 반도체 장치(100)를 불량으로 판정한다.In addition, due to a design error of the test board for testing the semiconductor device 100, the first power supply terminal 110 of the test device is connected to pins 1, 4, and 7 and the second power supply of the test device. When the terminal 120 is connected to pins 8, 11, and 14, the test apparatus does not determine that pin 7 is incorrectly connected, and thus the test apparatus determines that the semiconductor device 100 is defective. do.

도 2는 세 종류의 전원을 갖는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원을 잘못 연결한 예를 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a diagram illustrating an example in which a test power source for testing a semiconductor device having three types of power sources is incorrectly connected.

도 2를 참조하면, 반도체 장치(200)는 1.2V코어(201), 1.8V코어(203), 3.3V코어(205), 다수개의 CDL들(202, 204, 206) 및 다수개의 PAD들(1 내지 14)을 구비한다. src1 내지 src3은 테스트 장치의 채널(또는 전원공급단자)이다.Referring to FIG. 2, the semiconductor device 200 may include a 1.2V core 201, a 1.8V core 203, a 3.3V core 205, a plurality of CDLs 202, 204, and 206 and a plurality of PADs ( 1 to 14). src1 to src3 are the channels (or power supply terminals) of the test apparatus.

1.2V코어(201)는 1.2볼트를 동작전원으로 하는 소정의 회로들을 구비하고, 1.8V코어(203)는 1.8볼트를 동작전원으로 하는 소정의 회로들을 구비하고, 3.3V코어(205)는 3.3볼트를 동작전원으로 하는 소정의 회로들을 구비한다.The 1.2V core 201 has predetermined circuits for operating voltage of 1.2 volts, the 1.8V core 203 has predetermined circuits for operating voltage of 1.8 volts, and the 3.3V core 205 has 3.3. Certain circuits using a volt as an operating power source are provided.

CDL(202)는 1.2V코어(201)와 1.8V코어(203)사이에 접속되고, CDL(204)는 1.8V코어(203)와 3.3V코어(205)사이에 접속되고, CDL(206)는 3.3V코어(205)와 1.2V코어(201)사이에 접속된다.The CDL 202 is connected between the 1.2V core 201 and the 1.8V core 203, the CDL 204 is connected between the 1.8V core 203 and the 3.3V core 205, and the CDL 206 is connected. Is connected between the 3.3V core 205 and the 1.2V core 201.

다수개의 PAD들(1 내지 14)각각은 ESD를 위한 패드 또는 패키지의 핀을 나타낸다. 여기서 다수개의 PAD들(5 내지 7)각각은 1.2V코어(201)의 전원 핀이고, 다수개의 PAD들(1 내지 4)각각은 1.8V코어(203)의 전원 핀이고, 다수개의 PAD들(8 내지 14)각각은 3.3V코어(103)의 전원 핀이다.Each of the plurality of PADs 1-14 represents a pin of a pad or package for ESD. Here, each of the plurality of PADs 5 to 7 is a power supply pin of a 1.2V core 201, each of the plurality of PADs 1 to 4 is a power supply pin of a 1.8V core 203, and a plurality of PADs ( Each is a power supply pin of the 3.3V core 103.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전원의 연결정보의 오류를 검출하는 방법을 나타내는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a method of detecting an error in connection information of a test power source for testing a semiconductor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

테스트 규격의 오류 및/또는 테스트 보드의 설계 오류에 의하여 5번 핀에 전원이 잘못 연결되었다고 가정하고, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 장치를 테스트하기 위한 전원 연결 정보의 오류를 검출하는 방법을 설명하면 다음과 같다.It is assumed that power is incorrectly connected to pin 5 due to an error of a test standard and / or a design error of a test board, and an error of power connection information for testing a semiconductor device according to the present invention is described with reference to FIGS. 2 and 3. The detection method is as follows.

테스트 장치(미 도시)의 제1채널(src1)은 반도체 장치(200)의 각 패드(1, 4 및 5)에 접속되고, 제2채널(src2)은 반도체 장치(200)의 각 패드(8, 11, 14)에 접속되고, 제3채널(src3)은 반도체 장치(200)의 패드(6)에 접속된다.The first channel src1 of the test device (not shown) is connected to each of the pads 1, 4, and 5 of the semiconductor device 200, and the second channel src2 is connected to each pad 8 of the semiconductor device 200. , 11 and 14, and the third channel src3 is connected to the pad 6 of the semiconductor device 200.

310단계에서 상기 테스트 장치는 반도체 장치(200)에 몇 개의 채널들(210, 220, 230)이 접속되어 있는지를 판단한다.In operation 310, the test apparatus determines how many channels 210, 220, and 230 are connected to the semiconductor device 200.

만일 상기 테스트 장치가 최대 N(여기서 N은 자연수이고, N은 4)개의 채널들을 사용하여 서로 다른 전압을 상기 반도체 장치(200)에 공급하는 장치라고 가정할 경우, 상기 테스트 장치는 소정의 테스트 프로그램을 통하여 상기 반도체 장치(200)에 접속된 채널 수가 3라고 판단한다. 따라서 상기 테스트 장치는 제4번 채널(src[4])은 상기 반도체 장치(200)와 접속되지 않았다고 판단한다(311단계).If the test device is assumed to be a device for supplying different voltages to the semiconductor device 200 using at most N (where N is a natural number and N is 4) channels, the test device is a predetermined test program. Through this, it is determined that the number of channels connected to the semiconductor device 200 is three. Therefore, the test apparatus determines that the fourth channel src [4] is not connected to the semiconductor device 200 (step 311).

상기 테스트 장치의 제1채널(Src[1]; 210)은 null이 아니므로, 상기 테스트 장치는 320단계를 수행한다.Since the first channel Src [1] 210 of the test device is not null, the test device performs step 320.

320단계에서, 상기 테스트 장치는 테스트 전압(Vsrc[1])을 상기 제1채널 (src1)로 입력한다. 이하 테스트 전압(Vsrc[1])이 2V이고, 상기 제1채널(210)로 입력되는 최대 입력 허용 전류(isrc)는 200㎃이고, 다른 채널들(220, 230)각각으로부터 출력되는 최대 출력 허용 전류(isink)는 200㎃이라 가정한다.In operation 320, the test device inputs a test voltage Vsrc [1] to the first channel src1. Hereinafter, the test voltage Vsrc [1] is 2V, the maximum input allowable current isrc input to the first channel 210 is 200 kHz, and the maximum output allowed from each of the other channels 220 and 230 is allowed. Assume that the current is 200 mA.

330단계에서, 상기 테스트 장치는 각 채널(220, 230)에서 출력되는 전압을 측정한다. 만일 제2채널(src2; 220)에서 출력되는 전압(Vsrc[2])이 기준전압(Vdet)보다 작은 경우, 제1채널(210)에 접속되는 적어도 하나의 패드에 대한 전원정보와 제2채널(220)에 접속되는 적어도 하나의 패드에 대한 전원정보는 정확하다고 판단할 수 있다. 여기서 기준전압(Vdet)은 테스트 전압보다 낮게 설정되는 것이 바람직하다.In operation 330, the test apparatus measures the voltage output from each channel 220 or 230. If the voltage Vsrc [2] output from the second channel src2 220 is smaller than the reference voltage Vdet, the power information and the second channel of at least one pad connected to the first channel 210 may be used. Power information on at least one pad connected to 220 may be determined to be accurate. The reference voltage Vdet is preferably set lower than the test voltage.

만일 도 2에 도시된 바와 같이 5번 패드에 대한 테스트 규격이 잘못되거나, 또는 5번 패드에 대한 테스트 보드의 설계가 잘못되어 5번 패드가 제1채널(210)과 접속되는 경우, 제3채널(src3; 230)에서 출력되는 전압(Vsrc[3])은 기준전압(Vdet)보다 크다.As shown in FIG. 2, when the test standard for the pad 5 is incorrect or the design of the test board for the pad 5 is incorrect, the pad 5 is connected to the first channel 210. The voltage Vsrc [3] output from the src3 230 is greater than the reference voltage Vdet.

이 경우 테스트 장치는 에러 메시지를 발생하므로(360단계), 테스트 업무를 수행하는 자는 제1채널(210)과 접속된 패드들(1, 4, 및 5)중에서 적어도 어느 하나의 패드에 대한 테스트 규격 또는 테스트 보드에 대한 설계가 잘못되었음을 잠정적으로 판단할 수 있다. 따라서 상기 테스트 업무를 수행하는 자는 테스트를 중지할 수 있다(370단계).In this case, since the test device generates an error message (step 360), the tester performs a test specification for at least one of the pads 1, 4, and 5 connected to the first channel 210. Or you can provisionally determine that the design of the test board is incorrect. Therefore, the person performing the test task may stop the test (step 370).

제1채널(210)로 테스트 전압(Vsrc[1])을 인가한 후 제2채널(220) 및 제3채널(230)각각으로부터 출력되는 전압(Vsrc[2] 또는 Vsrc[3])이 기준 전압 (Vdet)보다 모두 작은 경우(330단계), 상기 테스트 장치는 제2채널(220)에 테스트 전압(Vsrc[2])을 인가한 후 제1채널(210) 및 제3채널(230)각각으로부터 출력되는 전압(Vsrc[1], Vsrc[3])이 기준 전압(Vdet)보다 모두 작은 지의 여부를 판단하고, 그 판단 결과에 따라 340단계와 360단계 중에서 어느 하나의 단계를 수행한다.After applying the test voltage Vsrc [1] to the first channel 210, the voltage Vsrc [2] or Vsrc [3] output from the second channel 220 and the third channel 230, respectively, is referenced. If the voltage Vdet is smaller than all of them (step 330), the test apparatus applies the test voltage Vsrc [2] to the second channel 220 and then the first channel 210 and the third channel 230, respectively. It is determined whether the voltages Vsrc [1] and Vsrc [3] output from the both are smaller than the reference voltage Vdet, and any one of steps 340 and 360 is performed according to the determination result.

또한, 상기 테스트 장치는 제3채널(230)에 테스트 전압(Vsrc[3])을 인가한 후 제1채널(210) 및 제2채널(220)각각으로부터 출력되는 전압(Vsrc[1], Vsrc[2])이 기준 전압(Vdet)보다 모두 작은 지의 여부를 판단한다(330단계).In addition, the test apparatus applies the test voltage Vsrc [3] to the third channel 230, and then outputs the voltages Vsrc [1] and Vsrc output from the first and second channels 210 and 220, respectively. In operation 330, it is determined whether the reference voltage Vdet is smaller than the reference voltage Vdet.

330단계의 판단결과, 제1채널(210)에서 출력되는 전압(Vsrc[1])이 기준전압보다 크므로, 테스트 장치는 에러 메시지를 발생한다(360단계).As a result of the determination in step 330, since the voltage Vsrc [1] output from the first channel 210 is greater than the reference voltage, the test apparatus generates an error message (step 360).

따라서 테스트 업무를 수행하는 자는 제1채널(230)과 접속된 패드들(1, 4, 및 5)중에서 적어도 어느 하나의 패드에 대한 테스트 규격 또는 테스트 보드에 대한 설계가 잘못되었음을 판단할 수 있다.Therefore, the person performing the test task may determine that a test specification for at least one of the pads 1, 4, and 5 connected to the first channel 230 or the design of the test board is incorrect.

즉, 제1채널(210)로 테스트 전압을 인가한 경우 제3채널(230)로부터 출력되는 전압(Vsrc[3])이 기준전압(Vdet)보다 크고, 제3채널(230)로 테스트 전압을 인가한 경우 제1채널(210)로부터 출력되는 전압(Vsrc[1])이 기준전압(Vdet)보다 크므로, 제1채널(230)과 접속된 패드들(1, 4, 및 5)중에서 적어도 어느 하나의 패드에 대한 테스트 규격 또는 테스트 보드에 대한 설계가 잘못되었음을 최종적으로 판단할 수 있다.That is, when the test voltage is applied to the first channel 210, the voltage Vsrc [3] output from the third channel 230 is greater than the reference voltage Vdet, and the test voltage is applied to the third channel 230. When applied, since the voltage Vsrc [1] output from the first channel 210 is greater than the reference voltage Vdet, at least one of the pads 1, 4, and 5 connected to the first channel 230. You can finally determine that the test specification for either pad or the design of the test board is incorrect.

그러나 제1채널(210)로 테스트 전압을 인가한 경우 제3채널(230)로부터 출력되는 전압(Vsrc[3])이 기준전압(Vdet)보다 크고, 제3채널(230)로 테스트 전압을 인가한 경우 제1채널(210)로부터 출력되는 전압(Vsrc[1])이 기준전압(Vdet)보다 작은 경우, 1.2V코어(201)와 1.8V 코어(203)사이에 접속된 CDL에 문제가 있다고 판단할 수 있다.However, when the test voltage is applied to the first channel 210, the voltage Vsrc [3] output from the third channel 230 is greater than the reference voltage Vdet, and the test voltage is applied to the third channel 230. In one case, when the voltage Vsrc [1] output from the first channel 210 is smaller than the reference voltage Vdet, there is a problem in the CDL connected between the 1.2V core 201 and the 1.8V core 203. You can judge.

다수개의 채널들 중에서 어느 하나의 채널로 테스트 전압을 인가한 후 나머지 각 채널로부터 출력되는 전압이 기준전압보다 모두 작은 경우, 상기 테스트 장치 또는 테스트 업무를 수행하는 자는 다음 테스트를 진행할 수 있다(350).When the test voltage is applied to any one of the plurality of channels and the voltages output from the remaining channels are all smaller than the reference voltage, the test apparatus or the person performing the test task may proceed to the next test (350). .

본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장치를 테스트하기 위한 전원 연결 정보의 오류를 검출하는 방법은 잘못된 테스트 규격에 의하여 잘못 연결된 테스트 전원에 의하여 발생되는 제품불량을 짧은 시간 내에 검출할 수 있는 효과가 있다.As described above, the method of detecting an error in power connection information for testing a semiconductor device according to the present invention has an effect of detecting a product defect caused by a test power source connected incorrectly by a wrong test standard in a short time. .

또한, 본 발명에 따른 반도체 장치의 전원 연결 정보의 오류를 검출하는 방법은 잘못된 테스트 보드의 설계에 의한 제품불량을 짧은 시간 내에 검출할 수 있는 효과가 있다.In addition, the method of detecting an error in power connection information of a semiconductor device according to the present invention has an effect of detecting a product defect caused by an incorrect test board design in a short time.

그리고, 본 발명에 따른 반도체 장치의 전원 연결 정보의 오류를 검출하는 방법은 1회의 테스트만으로도 테스트 규격의 오류를 검출할 수 있는 효과가 있다.In addition, the method of detecting an error in power connection information of a semiconductor device according to the present invention has an effect of detecting an error of a test standard by only one test.

본 발명에 따른 반도체 장치의 전원 연결 정보의 오류를 검출하는 방법은 1회의 테스트만으로도 테스트 보드의 설계 오류를 검출할 수 있는 효과가 있다.The method of detecting an error in power connection information of a semiconductor device according to the present invention has an effect of detecting a design error of a test board by only one test.

Claims (5)

서로 다른 동작전압을 사용하는 코어들 및 상기 코어들 각각에 접속된 적어도 하나의 패드를 구비하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압의 연결 오류를 검출하는 방법에 있어서,A method of detecting a connection error of a test voltage for testing a semiconductor device having cores using different operating voltages and at least one pad connected to each of the cores, the method comprising: 상기 코어들 중에서 선택된 하나의 코어에 동작전원을 공급하는 적어도 하나의 패드로 소정의 테스트 전압을 인가하는 단계; 및Applying a predetermined test voltage to at least one pad for supplying operating power to one of the cores selected from among the cores; And 나머지 코어들 각각으로 전원을 공급하는 적어도 하나의 패드로부터 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 전압의 연결오류 검출방법.Determining whether the test voltage is detected from at least one pad supplying power to each of the remaining cores. 제1동작 전압을 사용하는 제1코어로 상기 제1동작전압을 공급하는 제1패드 및 제2동작 전압을 사용하는 제2코어로 상기 제2동작전압을 공급하는 제2패드를 구비하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압의 연결오류를 검출하는 방법에 있어서,A semiconductor device comprising a first pad supplying the first operating voltage to a first core using a first operating voltage and a second pad supplying the second operating voltage to a second core using a second operating voltage. In the method for detecting a connection error of the test voltage for testing the, 상기 제1패드로 상기 테스트 전압을 인가하는 단계; 및Applying the test voltage to the first pad; And 상기 제2패드에서 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 전압의 연결오류 검출방법.And determining whether the test voltage is detected in the second pad. 제1동작 전압을 사용하는 제1코어로 상기 제1동작전압을 공급하는 제1패드, 제2동작 전압을 사용하는 제2코어로 상기 제2동작전압을 공급하는 제2패드, 및 제3동작 전압을 사용하는 제3코어로 상기 제3동작전압을 공급하는 제3패드를 구비하는 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스트 전압의 연결오류를 검출하는 방법에 있어서,A first pad supplying the first operating voltage to a first core using a first operating voltage, a second pad supplying the second operating voltage to a second core using a second operating voltage, and a third operation A method for detecting a connection error of a test voltage for testing a semiconductor device having a third pad for supplying the third operating voltage to a third core using a voltage, the method comprising: 상기 제1패드로 상기 테스트 전압을 인가하는 단계; 및Applying the test voltage to the first pad; And 상기 제2패드 및 상기 제3패드에서 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 전압의 연결오류 검출방법.And determining whether or not the test voltage is detected at the second pad and the third pad. 제3항에 있어서, 상기 테스트 전압의 연결오류 검출방법은,The method of claim 3, wherein the connection error detection method of the test voltage comprises: 상기 제2패드로 상기 테스트 전압을 인가하는 단계; 및Applying the test voltage to the second pad; And 상기 제1패드 및 상기 제3에서 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 전압의 연결오류 검출방법.And determining whether the test voltage is detected at the first pad and the third. 제3항에 있어서, 상기 테스트 전압의 연결오류 검출방법은,The method of claim 3, wherein the connection error detection method of the test voltage comprises: 상기 제3패드로 상기 테스트 전압을 인가하는 단계; 및Applying the test voltage to the third pad; And 상기 제1패드 및 상기 제2에서 상기 테스트 전압이 검출되는지의 여부를 판단하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 전압의 연결오류 검출방법.And determining whether the test voltage is detected at the first pad and the second.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010112976A2 (en) * 2009-03-31 2010-10-07 Freescale Semiconductor, Inc. Connection quality verification for integrated circuit test
WO2010112976A3 (en) * 2009-03-31 2011-06-30 Freescale Semiconductor, Inc. Connection quality verification for integrated circuit test
US9097758B2 (en) 2009-03-31 2015-08-04 Freescale Semiconductor, Inc. Connection quality verification for integrated circuit test

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