KR20050004588A - Apparatus and method for detecting defects of display panel - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus and a method for detecting a defect of a display panel are provided to accurately differentiate an internal defect of the display panel from a foreign material on the display panel and prevent detection error occurred by detecting the internal defect and the foreign material through the same detection process. CONSTITUTION: A scanning part(310) generates defective images by photographing pattern reflected from a display panel. A foreign material removing part(330) removes a foreign material existing on the display panel by applying physical force to the display panel when the defective image is generated by the scanning part. A defect detecting part(320) detects an defect exiting on the display panel, comparing the first defect image with the second defect image, where the first defective image is inputted before removing the foreign material and the second defective image is inputted after removing the foreign material. Thus, the defect detecting part determines the detected defect as an internal defect of the display panel in the case that the defect exists within a certain distance by grasping the position of the defect.

Description

디스플레이 패널의 결함 검출 장치 및 방법{Apparatus and method for detecting defects of display panel}Apparatus and method for detecting defects of display panel

본 발명은 디스플레이 패널의 결함 검출 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물과 디스플레이 패널의 내부결함을 구분하여 디스플레이 패널의 내부결함을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for detecting a defect of a display panel, and more particularly, to an apparatus and method for detecting an internal defect of a display panel by distinguishing an upper foreign material present on the display panel from an internal defect of the display panel. will be.

디스플레이 패널에 부착된 이물들은 디스플레이 패널의 결함을 검출하는 시각 검사 장치에 의해 디스플레이 패널의 내부결함으로 오인될 수 있다. 이러한 이물들로 인해 양호한 품질을 갖는 디스플레이 패널이 불량제품으로 판정되는 경우가 발생하여 시각 검사 장치의 현장운용에 있어서 문제점가 되고 있다. 실질적으로, 디스플레이 패널의 상부에 부착된 이물들은 대부분 제거가 가능하기 때문에 디스플레이 패널의 품질에 영향을 끼치지 않는다. 그럼에도 불구하고, 디스플레이 패널에 부착된 이물들이 시각 검사 장치에 의해 내부결함으로 오인되면 해당 디스플레이 패널은 부적격 판정을 받아 폐기되어 수율감소를 초래한다.Foreign objects attached to the display panel may be mistaken as an internal defect of the display panel by a visual inspection device that detects a defect of the display panel. Such foreign matters cause display panels with good quality to be judged as defective products, which is a problem in the field operation of the visual inspection apparatus. Practically, foreign matters attached to the upper part of the display panel are mostly removable, and thus do not affect the quality of the display panel. Nevertheless, if foreign matters attached to the display panel are mistaken for internal defects by the visual inspection apparatus, the display panel is judged to be ineligible and discarded, resulting in reduced yield.

이러한 상황을 방지하기 위해, 종래의 결함 검출 장치는 빛의 산란을 이용하여 디스플레이 패널에 존재하는 상부이물과 디스플레이 패널의 내부결함을 구분한다. 도 1은 디스플레이 패널(100)상에 존재하는 상부이물(110)과 내부결함(120)을 도시한 도면이며, 도 2는 종래기술에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치가 상부이물과 내부결함을 구분하는 원리를 도시한 도면이다.In order to prevent such a situation, a conventional defect detection apparatus uses light scattering to distinguish between foreign matter present in the display panel and internal defects of the display panel. 1 is a diagram illustrating an upper foreign material 110 and an internal defect 120 existing on the display panel 100, and FIG. 2 illustrates a defect detection apparatus of a display panel according to the related art to distinguish between an upper foreign material and an internal defect. It is a figure which shows the principle to make.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 결함 검출 장치(210)는 디스플레이 패널(100)로 일정한 시야각을 주어 빛을 가하고 디스플레이 패널(100)로부터 반사되는 빛을 검출하여 디스플레이 패널(100)상에 존재하는 상부이물(110)을 검출한다. 일정한 시야각을 갖고 디스플레이 패널(100)의 내부결함(120)이 존재하는 위치로 빛이 입사되면, 디스플레이 패널(100)의 상부에 위치한 결함 검출 장치(210)에 의해 감지되지 않는다. 이와 달리, 일정한 시야각을 갖고 디스플레이 패널(100)에 부착된 상부이물(110)이 존재하는 위치로 빛이 입사되면, 입사된 빛은 상부이물(110)에 의해 산란되어 디스플레이 패널(100)의 상부에 위치한 결함 검출 장치(210)에 의해 감지된다. 결과적으로, 결함 검출 장치(210)는 빛의 검출여부에 따라 디스플레이 패널(100)에 부착된 상부이물(110)과 내부결함(120)을 구분할 수 있게 된다.1 and 2, the conventional defect detection apparatus 210 applies light to the display panel 100 by giving a constant viewing angle, detects light reflected from the display panel 100, and displays the light on the display panel 100. The upper foreign material 110 present is detected. When light is incident to a position where the internal defect 120 of the display panel 100 is present with a constant viewing angle, the light is not detected by the defect detection device 210 positioned above the display panel 100. On the contrary, when the light is incident to the position where the upper foreign material 110 attached to the display panel 100 has a constant viewing angle, the incident light is scattered by the upper foreign material 110 and thus the upper portion of the display panel 100. Detected by the defect detection device 210 located in. As a result, the defect detecting apparatus 210 may distinguish the upper foreign material 110 and the internal defect 120 attached to the display panel 100 according to whether light is detected.

그러나, 종래의 결함 검출 장치(210)를 적용하기 위해서는 디스플레이 패널(100)의 전면에 균일하게 직진하는 빛을 가할 수 있는 장치가 필요하므로, 제조비용이 증가하고 장치의 크기가 커진다는 문제점이 있다. 또한, 상부이물(110)이 내부결함(120)과 동일한 지점에 위치하면 디스플레이 패널(100)에 내부결함(120)이 존재함에도 불구하고 상부이물(110)로 판단하게 되는 오류를 범할 수 있다.However, in order to apply the conventional defect detection apparatus 210, a device capable of applying uniformly straight light to the front surface of the display panel 100 is required, and thus there is a problem that the manufacturing cost increases and the size of the device increases. . In addition, when the upper foreign material 110 is located at the same point as the internal defect 120, even if the internal defect 120 is present in the display panel 100, an error may be determined as the upper foreign material 110.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상부이물이 내부결함과 동일한 지점에 위치하는 경우에도 정확하게 내부결함을 검출할 수 있는 디스플레이 패널의 결함 검출 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.The present invention has been made in an effort to provide a defect detection apparatus and method for a display panel capable of accurately detecting an internal defect even when the upper foreign material is located at the same point as the internal defect.

도 1은 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물과 내부결함을 도시한 도면,1 is a diagram illustrating an upper foreign material and an internal defect present on a display panel;

도 2는 종래기술에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치가 상부이물과 내부결함을 구분하는 원리를 도시한 도면,2 is a view illustrating a principle of distinguishing an internal defect from an upper foreign material by a defect detecting apparatus of a display panel according to the related art;

도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치의 구성을 도시한 블록도,3 is a block diagram showing a configuration of a defect detection apparatus of a display panel according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치가 상부이물과 내부결함을 구분하는 원리를 도시한 도면,4 is a view illustrating a principle of distinguishing an internal defect from an upper foreign material by a defect detecting apparatus of a display panel according to the present invention;

도 5a 및 도 5b는 각각 종래기술에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치에 의한 결함 검출 결과 및 디스플레이 패널의 결함 검출 장치에 의한 결함 검출 결과를 도시한 도면, 그리고,5A and 5B show a defect detection result by a defect detection apparatus of a display panel and a defect detection result by a defect detection apparatus of a display panel according to the prior art, respectively, and

도 6은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 방법의 수행과정을 도시한 흐름도이다.6 is a flowchart illustrating a process of detecting a defect of a display panel according to the present invention.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치는, 디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 결함이미지를생성하는 스캐닝부; 상기 스캐닝부에 의해 상기 결함이미지가 생성되면 상기 디스플레이 패널에 물리적인 힘을 가하여 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물을 이동시키거나 제거하는 이물제거부; 및 상기 이물제거부에 의해 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물이 이동되거나 제거되기 전에 상기 스캐닝부로부터 입력된 제1결함이미지 및 상기 이물제거부에 의해 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물이 이동되거나 제거된 후에 상기 스캐닝부로부터 입력된 제2결함이미지로부터 결함의 위치를 파악하고, 상기 제1결함이미지 및 제2결함이미지 각각으로부터 파악된 일정한 거리이내에 존재하는 결함을 상기 디스플레이 패널의 내부결함으로 판정하는 결함검출부;를 구비한다.In order to achieve the above technical problem, a defect detection apparatus of a display panel according to the present invention, the scanning unit for imaging the pattern reflected from the display panel to generate a defect image; A foreign material removing unit for moving or removing the upper foreign matter present on the display panel by applying a physical force to the display panel when the defect image is generated by the scanning unit; And the first defect image input from the scanning unit and the upper foreign matter present on the display panel by the foreign matter removing unit before the upper foreign matter existing on the display panel is moved or removed by the foreign substance removing unit. After the removal or removal, the position of the defect is determined from the second defect image input from the scanning unit, and the defect existing within a predetermined distance determined from each of the first defect image and the second defect image by the internal defect of the display panel. And a defect detection unit for determining.

상기의 다른 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 방법은, (a) 디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 제1결함이미지를 생성하는 단계; (b) 상기 제1결함이미지로부터 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 결함의 위치를 산출하는 단계; (c) 상기 디스플레이 패널에 물리적인 힘을 가하여 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물을 이동시키거나 제거하는 단계; (d) 상기 디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 제2결함이미지를 생성하는 단계; (e) 상기 제2결함이미지로부터 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 결함의 위치를 산출하는 단계; 및 (f) 상기 제1결함이미지 및 제2결함이미지 각각으로부터 파악된 일정한 거리이내에 존재하는 결함을 상기 디스플레이 패널의 내부결함으로 판정하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of detecting a defect of a display panel, the method comprising: (a) photographing a pattern reflected from a display panel to generate a first defect image; calculating a position of a defect existing on the display panel from the first defect image; (c) moving or removing the upper foreign material present on the display panel by applying a physical force to the display panel; (d) photographing a pattern reflected from the display panel to generate a second defect image; (e) calculating a position of a defect existing on the display panel from the second defect image; And (f) determining a defect existing within a predetermined distance identified from each of the first defect image and the second defect image as an internal defect of the display panel.

이에 의해, 디스플레이 패널에 존재하는 내부결함과 동일한 지점에 위치하는상부이물을 내부결함과 정확하게 구분할 수 있다.As a result, the upper foreign material located at the same point as the internal defect existing in the display panel can be accurately distinguished from the internal defect.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치 및 방법의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the defect detection apparatus and method of the display panel according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치에 대한 바람직한 일 실시예의 구성을 도시한 블록도이다.3 is a block diagram showing a configuration of a preferred embodiment of a defect detection apparatus of a display panel according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치는 광원부(300), 스캐닝부(310), 결함검출부(320), 이물제거부(330), 및 제어부(340)를 구비한다.Referring to FIG. 3, the defect detection apparatus of the display panel according to the present invention includes a light source unit 300, a scanning unit 310, a defect detection unit 320, a foreign material removal unit 330, and a controller 340.

광원부(300)는 디스플레이 패널(100)로 빛을 출사한다. 스캐닝부(310)는 디스플레이 패널(100)로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 그레이 레벨의 2차원 이미지를 생성한다. 스캐닝부(310)로는 광원부(300)로부터 출사된 빛이 디스플레이 패널(100)에 반사되어 진행하는 경로상에 설치되는 CCD카메라가 채택될 수 있다. 또한, 광원부(300)와 CCD카메라가 일체화되어 스캐닝부(310)를 구성할 수도 있다.The light source 300 emits light to the display panel 100. The scanning unit 310 generates a gray level two-dimensional image by capturing a pattern reflected from the display panel 100. As the scanning unit 310, a CCD camera installed on a path through which light emitted from the light source unit 300 is reflected by the display panel 100 may be adopted. In addition, the light source unit 300 and the CCD camera may be integrated to form the scanning unit 310.

이물제거부(330)는 일차적으로 스캐닝부(310)에 의해 디스플레이 패널(100)에 대한 이미지의 촬상이 수행되면 디스플레이 패널(100)에 물리적인 힘을 가하여 상부이물(110)을 제거한다. 이물제거부(330)는 압축공기를 디스플레이 패널(100)에 분사하여 상부이물(100)을 제거하는 공압장치, 디스플레이 패널(100)에 스크래치를 형성하지 않을 정도의 연성을 가진 물질에 의해 디스플레이 패널(100)을 쓸어주는 장치(예를 들면, 일측에 부드러운 물질이 부착된 와이퍼, 외주에 부드러운 물질이 부착된 로울러 등)가 채택될 수 있다.The foreign material removing unit 330 first removes the upper foreign material 110 by applying a physical force to the display panel 100 when imaging of the image of the display panel 100 is performed by the scanning unit 310. The foreign material removing unit 330 is a pneumatic device for spraying compressed air to the display panel 100 to remove the upper foreign material 100, the display panel by a material having a soft enough to not scratch the display panel 100 A device for sweeping the 100 may be adopted (for example, a wiper having a soft material attached to one side, a roller having a soft material attached to the outer circumference).

제어부(340)는 각각의 구성요소를 제어한다. 특히, 제어부(340)는 스캐닝부(310)에 의해 디스플레이 패널(100)이 일차적으로 스캐닝된 후 이물제거부(330)로 디스플레이 패널(100)상의 이물을 제거하도록 하는 제어신호를 출력한다. 또한, 제어부(340)는 이물제거부(330)에 의한 이물제거동작이 완료되면 스캐닝부(310)로 디스플레이 패널(100)을 다시 스캐닝하도록 하는 제어신호를 출력한다. 이러한 제어부(340)의 제어동작은 설정되어 있는 이물제거 횟수만큼 반복된다.The controller 340 controls each component. In particular, the controller 340 outputs a control signal for removing the foreign material on the display panel 100 to the foreign material removing unit 330 after the display panel 100 is primarily scanned by the scanning unit 310. In addition, the controller 340 outputs a control signal for scanning the display panel 100 again to the scanning unit 310 when the foreign substance removing operation by the foreign substance removing unit 330 is completed. The control operation of the controller 340 is repeated as many times as the number of foreign matter removal.

결함검출부(320)는 스캐닝부(310)로부터 입력된 복수의 이미지를 기초로 디스플레이 패널(100)에 존재하는 내부결함(120)을 검출한다. 결함검출부(320)는 스캐닝부(310)로부터 입력된 각각의 이미지에 대한 영상처리를 수행하여 상부이물(110)과 내부결함(120)이 포함된 결함을 검출한 후 검출된 결함의 위치, 결함의 크기, 결함의 부호 등을 계산하여 저장한다. 결함검출부(320)는 스캐닝부(310)로부터 입력된 이미지상의 현재픽셀의 밝기값과 현재픽셀로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치한 복수의 이웃픽셀들의 밝기값의 차이가 일정한 임계값보다 큰 경우에 해당 픽셀에 결함이 존재하는 것으로 판정한다. 이 때, 이웃픽셀들의 밝기값은 각각의 이웃픽셀의 주변에 존재하는 픽셀들의 밝기값을 평균한 평균값으로 설정될 수 있으며, 각각의 이웃픽셀의 주변에 존재하는 픽셀들의 밝기값에 현재픽셀로부터 각각의 이웃픽셀의 주변에 존재하는 픽셀들까지의 거리비를 승산하여 얻어진 값으로 설정될 수도 있다.The defect detector 320 detects the internal defect 120 existing in the display panel 100 based on the plurality of images input from the scanning unit 310. The defect detector 320 detects a defect including the upper foreign material 110 and the internal defect 120 by performing image processing on each image input from the scanning unit 310, and then detects the position and defect of the detected defect. Calculate the size of the, the sign of the defect and save. The defect detector 320 is a pixel in which the difference between the brightness value of the current pixel on the image input from the scanning unit 310 and the brightness value of a plurality of neighboring pixels positioned at a predetermined distance from the current pixel is larger than a predetermined threshold value. It is determined that a defect exists in the. In this case, the brightness value of the neighboring pixels may be set to an average value obtained by averaging the brightness values of pixels existing around each neighboring pixel, and from the current pixel to the brightness value of the pixels existing around each neighboring pixel, respectively. It may be set to a value obtained by multiplying a ratio of distances to pixels existing in the vicinity of a neighboring pixel of.

또한, 결함검출부(320)는 각각의 이미지로부터 검출된 결함의 위치를 비교하여 상부이물(110)과 내부결함(120)을 구분한다. 만약, 검출된 결함의 위치가 복수의 이미지에 대해 일정한 거리 이내이면, 결함검출부(320)는 해당 위치에 내부결함(120)이 존재하는 것으로 판정한다. 그러나, 상부이물(110)의 경우에는 이물제거부(330)에 의해 위치가 이동하여 각각의 이미지로부터 검출된 결함의 위치가 상이하게 나타난다. 따라서, 검출된 결함의 위치가 복수의 이미지에 대해 일정한 거리를 초과하면, 결함검출부(320)는 해당 위치에 상부이물(110)이 존재하는 것으로 판정한다. 도 4에는 디스플레이 패널(100)에 존재하는 상부이물(110)이 이물제거부(330)에 위치가 변경되는 예가 도시되어 있다.In addition, the defect detection unit 320 distinguishes the upper foreign material 110 and the internal defect 120 by comparing the position of the defect detected from each image. If the position of the detected defect is within a certain distance with respect to the plurality of images, the defect detection unit 320 determines that the internal defect 120 exists at the corresponding position. However, in the case of the upper foreign material 110, the position is moved by the foreign material removing unit 330 so that the position of the defect detected from each image is different. Therefore, if the position of the detected defect exceeds a certain distance with respect to the plurality of images, the defect detection unit 320 determines that the upper foreign material 110 exists at the corresponding position. 4 illustrates an example in which the upper foreign material 110 present in the display panel 100 is changed in the foreign material removing part 330.

도 5a 및 도 5b는 각각 종래기술에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치에 의한 결함 검출 결과 및 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치에 의한 결함 검출 결과를 도시한 도면이다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 결함 검출 결과는 디스플레이 패널에 4×4의 결함을 인위적으로 형성한 후 종래기술 및 본 발명을 적용하여 검사대상 디스플레이 패널로부터 검출된 내부결함들이다. 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 종래기술을 적용한 경우에 다수의 상부이물이 내부결함으로 오인되어 검출된 반면, 본 발명을 적용한 경우에는 하나의 상부이물이 내부결함으로 오인되어 검출됨을 알 수 있다.5A and 5B are diagrams illustrating a defect detection result by a defect detection apparatus of a display panel according to the related art and a defect detection result by a defect detection apparatus of a display panel according to the present invention, respectively. The defect detection results shown in FIGS. 5A and 5B are internal defects detected from the inspection target display panel by applying a prior art and the present invention after artificially forming a 4 × 4 defect on the display panel. 5A and 5B, when the prior art is applied, a plurality of upper foreign matters are detected as being mistaken for internal defects, while in the case of applying the present invention, one upper foreign material is mistaken for being detected as internal defects. .

도 6은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 방법의 수행과정을 도시한 흐름도이다.6 is a flowchart illustrating a process of detecting a defect of a display panel according to the present invention.

도 6을 참조하면, 스캐닝부(310)는 디스플레이 패널(100)을 스캐닝하여 그레이 레벨의 제1이미지를 생성하여 결함검출부(320)로 출력한다(S600).결함검출부(320)는 제1이미지로부터 결함의 위치를 산출하여 검출된 결함의 위치, 결함의 크기, 결함의 부호를 포함하는 제1결함데이터를 생성한다(S610). 이물제거부(330)는 디스플레이 패널(100)을 쓸어내려 디스플레이 패널(100)상에 존재하는 상부이물을 이동시키거나 제거한다(S620). 스캐닝부(310)는 디스플레이 패널(100)을 다시 한번 스캐닝하여 그레이 레벨의 제2이미지를 생성하여 결함검출부(320)로 출력한다(S630). 결함검출부(320)는 제2이미지로부터 결함의 위치를 산출하여 검출된 결함의 위치, 결함의 크기, 결함의 부호를 포함하는 제2결함데이터를 생성한다(S640). 다음으로, 결함검출부(320)는 제1결함데이터와 제2결함데이터에 포함되어 있는 결함의 위치를 비교한다(S650). 결함검출부(320)는 제1결함데이터와 제2결함데이터에 포함되어 있는 결함의 위치가 동일하면 해당 결함을 디스플레이 패널(100)의 내부결함으로 판정한다(S660).Referring to FIG. 6, the scanning unit 310 scans the display panel 100 to generate a first gray level image and outputs the first image to the defect detection unit 320 (S600). The position of the defect is calculated from the first defect data including the position of the detected defect, the size of the defect, and the sign of the defect (S610). The foreign material removing unit 330 sweeps the display panel 100 to move or remove the upper foreign matter present on the display panel 100 (S620). The scanning unit 310 scans the display panel 100 once again, generates a second gray level image, and outputs the second image to the defect detection unit 320 (S630). The defect detector 320 calculates the position of the defect from the second image and generates second defect data including the detected position of the defect, the size of the defect, and the sign of the defect (S640). Next, the defect detection unit 320 compares the position of the defect included in the first defect data and the second defect data (S650). The defect detector 320 determines that the defect is an internal defect of the display panel 100 when the positions of the defects included in the first defect data and the second defect data are the same (S660).

본 발명은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광데이터 저장장치 등이 있으며, 또한 캐리어 웨이브(예를 들어 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현되는 것도 포함한다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.The invention can also be embodied as computer readable code on a computer readable recording medium. The computer-readable recording medium includes all kinds of recording devices in which data that can be read by a computer system is stored. Examples of computer-readable recording media include ROM, RAM, CD-ROM, magnetic tape, floppy disk, optical data storage, and the like, and may also be implemented in the form of a carrier wave (for example, transmission over the Internet). Include. The computer readable recording medium can also be distributed over network coupled computer systems so that the computer readable code is stored and executed in a distributed fashion.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.Although the preferred embodiments of the present invention have been shown and described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and the present invention belongs to the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Various modifications can be made by those skilled in the art, and such changes are within the scope of the claims.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 결함 검출 장치 및 방법에 의하면, 디스플레이 패널에 존재하는 내부결함과 동일한 지점에 위치하는 상부이물을 내부결함과 정확하게 구분할 수 있다. 또한, 상부이물을 검출하기 위해 물리적인 힘을 사용하므로, 상부이물의 검출과 내부결함의 검출을 동일한 방식에 의해 수행하는 종래기술에서 발생하는 다수의 상부이물 검출에 따른 검사오류를 방지할 수 있다.According to the defect detecting apparatus and method of the display panel according to the present invention, the upper foreign material located at the same point as the internal defect present in the display panel can be accurately distinguished from the internal defect. In addition, since the physical force is used to detect the upper foreign material, it is possible to prevent the inspection error due to the detection of a plurality of upper foreign substances occurring in the prior art, which performs the detection of the upper foreign material and the detection of internal defects in the same manner.

Claims (7)

디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 결함이미지를 생성하는 스캐닝부;A scanning unit which picks up a pattern reflected from the display panel and generates a defect image; 상기 스캐닝부에 의해 상기 결함이미지가 생성되면 상기 디스플레이 패널에 물리적인 힘을 가하여 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물을 이동시키거나 제거하는 이물제거부; 및A foreign material removing unit for moving or removing the upper foreign matter present on the display panel by applying a physical force to the display panel when the defect image is generated by the scanning unit; And 상기 이물제거부에 의해 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물이 이동되거나 제거되기 전에 상기 스캐닝부로부터 입력된 제1결함이미지 및 상기 이물제거부에 의해 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물이 이동되거나 제거된후에 상기 스캐닝부로부터 입력된 제2결함이미지로부터 결함의 위치를 파악하고, 상기 제1결함이미지 및 제2결함이미지 각각으로부터 파악된 일정한 거리이내에 존재하는 결함을 상기 디스플레이 패널의 내부결함으로 판정하는 결함검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 장치.The first defect image input from the scanning unit and the upper foreign matter present on the display panel are moved by the foreign matter removing unit before the upper foreign matter existing on the display panel is moved or removed by the foreign material removing unit. After removal, the position of the defect is determined from the second defect image input from the scanning unit, and the defect existing within a predetermined distance determined from each of the first defect image and the second defect image is determined as an internal defect of the display panel. Defect detection unit of the display panel, characterized in that it comprises a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이물제거부는 압축공기를 상기 디스플레이 패널에 분사하여 상기 상부이물을 이동시키거나 제거하는 수단 및 상기 디스플레이 패널을 쓸어주어 상기 상부이물을 이동시키거나 제거하는 수단 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 장치.The foreign material removing unit includes at least one of a means for moving or removing the upper foreign matter by spraying compressed air to the display panel and a means for moving or removing the upper foreign matter by sweeping the display panel. Defect detection device of display panel. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 디스플레이 패널은 액정표시장치(Liquid crystal display), (유기전계발광장치(Organic Light Emitting Diodes Device), 및 플라즈마표시장치(plasma display panel) 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 장치.The display panel may detect at least one of a liquid crystal display, an organic light emitting diodes device, and a plasma display panel. Device. (a) 디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 제1결함이미지를 생성하는 단계;(a) imaging the pattern reflected from the display panel to generate a first defect image; (b) 상기 제1결함이미지로부터 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 결함의위치를 산출하는 단계;calculating a position of a defect existing on the display panel from the first defect image; (c) 상기 디스플레이 패널에 물리적인 힘을 가하여 디스플레이 패널상에 존재하는 상부이물을 이동시키거나 제거하는 단계;(c) moving or removing the upper foreign material present on the display panel by applying a physical force to the display panel; (d) 상기 디스플레이 패널로부터 반사되는 패턴을 촬상하여 제2결함이미지를 생성하는 단계;(d) photographing a pattern reflected from the display panel to generate a second defect image; (e) 상기 제2결함이미지로부터 상기 디스플레이 패널상에 존재하는 결함의 위치를 산출하는 단계; 및(e) calculating a position of a defect existing on the display panel from the second defect image; And (f) 상기 제1결함이미지 및 제2결함이미지 각각으로부터 파악된 일정한 거리이내에 존재하는 결함을 상기 디스플레이 패널의 내부결함으로 판정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 방법.and determining a defect existing within a predetermined distance determined from each of the first defect image and the second defect image as an internal defect of the display panel. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 (c)단계는 압축공기를 상기 디스플레이 패널에 분사하여 상기 상부이물을 이동시키거나 제거하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 방법.In the step (c), the compressed air is blown onto the display panel to move or remove the upper foreign matter. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 (c)단계는 상기 디스플레이 패널을 쓸어주어 상기 상부이물을 이동시키거나 제거하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 방법.In the step (c), the upper panel is moved or removed by sweeping the display panel. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 디스플레이 패널은 액정표시장치(Liquid crystal display), (유기전계발광장치(Organic Light Emitting Diodes Device), 및 플라즈마표시장치(plasma display panel) 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 결함 검출 방법.The display panel may detect at least one of a liquid crystal display, an organic light emitting diodes device, and a plasma display panel. Way.
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