KR200493732Y1

KR200493732Y1 - 진공흡착용 유체압 실린더

Info

Publication number: KR200493732Y1
Application number: KR2020160005967U
Authority: KR
Inventors: 히로시 구사카
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2016-10-17
Filing date: 2016-10-17
Publication date: 2021-05-27
Also published as: KR20180001147U

Abstract

진공흡착용 유체압 실린더(10)는, 실린더 본체(12)의 내부에 슬라이딩 가능하게 배열설치되는 피스톤(14)과, 피스톤(14)에 연결되는 피스톤 로드(16)와, 실린더 본체(12)에 고정되는 로드 커버(18)와, 로드 커버(18)로부터 외측으로 돌출하는 피스톤 로드(16)의 단부에 연결되는 슬라이더(20)를 구비하며, 슬라이더(20)에 노즐(21)이 장착되고, 피스톤(14)과 로드 커버(18)의 사이에 스프링(68)이 배열설치된다.

Description

진공흡착용 유체압 실린더 {FLUID PRESSURE CYLINDER FOR VACUUM SUCTION}

본 고안은, 압력유체의 공급작용 하에 피스톤을 축방향을 따라서 변위시키는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더에 관한 것이다.

종래로부터, 워크 등의 흡착 반송수단으로서 압력유체의 공급작용 하에 변위하는 피스톤을 가지는 유체압 실린더가 이용되고 있다(일본 공개특허 특개2015-212560호 공보 참조). 이 유체압 실린더에서는, 피스톤에 연결된 피스톤 로드의 선단에 변위 블록이 설치되고, 워크를 진공흡착 가능한 흡착 패드가 그 변위 블록에 장착되어 있다. 그리고, 유체압 실린더에 공급되는 압력유체에 의해서 피스톤이 변위하고, 변위 블록이 워크 쪽으로 이동하여 맞닿음으로써 워크가 흡착 패드에 의해서 흡착된다.

또, 이러한 유체압 실린더에 있어서, 노즐과 워크와의 접촉시에 발생하는 정전기를 접지시키도록 한 장치도 알려져 있다(한국 등록특허 제10-1000392호 공보 참조). 이 장치는, 노즐과 결합한 슬라이더와 실린더 본체와의 사이에 스프링을 배열설치한 것으로, 노즐과 워크의 접촉시에 발생하는 정전기가 그 스프링을 경유하여 실린더 본체에 도전되도록 하고 있다.

한국 등록특허 제10-1000392호 공보에 기재된 장치에 의하면, 노즐과 워크의 접촉시에 발생하는 정전기에 의한 워크의 대전을 방지할 수 있지만, 슬라이더와 실린더 본체와의 사이에 스프링을 배열설치하는 구조이기 때문에, 장치가 대형화할 우려가 있다.

본 고안은, 이러한 과제를 고려하여 이루어진 것으로서, 컴팩트한 구성에 의해서 노즐 혹은 노즐에 장착되는 진공 패드(이하 「노즐 등」이라고 한다)와 워크의 접촉시에 발생하는 정전기를 접지시킬 수 있는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 고안에 따른 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더는, 실린더 본체의 내부에 슬라이딩 가능하게 배열설치되는 피스톤과, 피스톤에 연결되는 피스톤 로드와, 실린더 본체에 고정되는 로드 커버와, 로드 커버로부터 외측으로 돌출하는 피스톤 로드의 단부에 연결되는 슬라이더를 구비하며, 슬라이더에 노즐이 장착되고, 피스톤과 로드 커버 사이에 스프링이 배열설치되는 것을 특징으로 한다.

상기 진공흡착용 유체압 실린더에 의하면, 컴팩트한 구성에 의해서 노즐 등과 워크의 접촉시에 발생하는 정전기를 접지시킬 수 있다.

상기 진공흡착용 유체압 실린더에 있어서, 스프링은 압축 코일 스프링인 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 피스톤과 로드 커버와의 사이에서 스프링을 용이하게 추종시킬 수 있다.

또, 슬라이더는, 버퍼 기구를 통하여 피스톤 로드에 연결되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 슬라이더에 결합되는 노즐과 워크와의 사이에 과도한 하중이 가해지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 슬라이더에 중공형상의 진공 로드가 연결되고, 진공 로드가 실린더 본체의 내부에 슬라이딩 가능하게 배열설치되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 부압 공급로를 구성하는 진공 로드를 슬라이더의 가이드 부재로서 이용할 수 있다.

상기의 경우에 있어서, 진공 로드의 내부공간이 슬라이더에 형성된 유로를 통하여 노즐의 내부공간에 연통하는 것이 바람직하다. 또, 진공 로드가 베어링을 통하여 실린더 본체에 지지되는 것이 바람직하다. 또한, 슬라이더와 연결되는 쪽과는 반대쪽의 진공 로드의 단부가 슬라이더로부터 외측으로 돌출하는 것이 바람직하다.

본 고안에 따른 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더에 의하면, 피스톤과 로드 커버 사이에 도전 경로를 구성하는 스프링을 배열설치 하므로, 컴팩트한 구성에 의해서 노즐 등과 워크의 접촉시에 발생하는 정전기를 접지시킬 수 있다.

상기 목적, 특징 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시형태의 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은, 본 고안의 실시형태에 따른 진공흡착용 유체압 실린더의 단면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 진공흡착용 유체압 실린더의 측면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 진공흡착용 유체압 실린더에 있어서 슬라이더가 실린더 본체로부터 이격되는 방향으로 이동한 상태를 나타내는 단면도이다.

본 고안에 따른 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더에 대해 바람직한 실시형태를 들어 첨부의 도면을 참조하면서 이하 상세하게 설명한다. 이하에 있어서, 「축방향」이라는 것은 도 1의 화살표 AB방향을 말한다. 또, 「일단」이라는 것은 도 1의 화살표 A방향을 말하고, 「타단」이라는 것은 도 1의 화살표 B방향을 말한다.

진공흡착용 유체압 실린더(10)은, 전자부품 등의 워크의 반송장치에 조립되어 사용되고, 도 1에 도시된 바와 같이, 실린더 본체(12), 피스톤(14), 피스톤 로드(16), 로드 커버(18), 슬라이더(20)를 포함한다.

실린더 본체(12)는, 금속재료로 형성되고, 직육면체 형상의 본체부(22)와 본체부(22)의 단부로부터 연장하는 부착판부(24)를 가진다. 본체부(22)의 내부에는, 축방향을 따라서 연장되는 실린더 구멍(26)과 로드 구멍(28)이 서로 평행하게 형성되어 있다. 실린더 구멍(26)은, 실린더 본체(12)의 일단 근방으로부터 타단까지 연장되고, 그 타단에서 개구된다. 로드 구멍(28)은, 실린더 본체(12)의 일단으로부터 타단까지 연장되고, 실린더 본체(12)의 축방향 양단에서 개구된다. 로드 구멍(28)은, 실린더 본체(12)의 타단측으로부터 소정 범위에 걸쳐서 직경이 확장되어, 후술하는 제2 베어링(90)을 수용한다. 부착판부(24)에는, 실린더 본체(12)를 도시하지 않은 반송장치에 부착시키기 위한 부착구멍(30) 및 위치결정 구멍(32)이 형성되어 있다.

실린더 구멍(26)에는 피스톤(14)이 슬라이딩 가능하게 배열설치되고, 피스톤(14)의 일측에 제1 압력실(34)이 구획형성되는 동시에, 피스톤(14)의 타측에 제2 압력실(36)이 구획형성된다. 실린더 본체(12)의 일단측에는, 제1 압력실(34)에 압력유체를 공급 및 배출시키기 위한 제1 포트(38) 및 제2 압력실(36)에 압력유체를 공급 및 배출시키기 위한 제2 포트(40)가 형성되어 있다. 제1 포트(38)는, 소직경인 제1 연락통로(42)를 통하여 제1 압력실(34)에 연통하고, 제2 포트(40)는, 실린더 구멍(26)에 근접하여 실린더 구멍(26)과 평행하게 연장되는 대직경의 축방향 통로(44) 및 이것에 직교하는 소직경의 제2 연락 통로(46)를 통하여 제2 압력실(36)에 연통한다. 제1 포트(38) 및 제2 포트(40)는, 도시하지 않은 배관 및 전환 밸브를 통하여, 도시하지 않은 압력유체 공급원에 접속된다. 또한, 참조부호 47로 나타내는 것은, 제2 연락 통로(46)를 가공할 때에 형성된 구멍을 폐쇄하는 마개체이다.

피스톤(14)은, 금속재료로 원통형으로 형성되고, 그 외주면에는 환형 홈을 통하여 한 쌍의 피스톤 패킹(48)이 장착된다. 피스톤 패킹(48)은 실린더 구멍(26)의 내주면에 슬라이딩 접촉된다. 피스톤(14)의 내부에는, 암나사를 가지는 피스톤구멍(52)이 축방향으로 관통하여 설치되어 있다.

피스톤 로드(16)는, 금속재료로 축 형상으로 형성되고, 그 일단부에는 중앙부보다 직경이 축소된 연결부(54)가 설치되어 있다. 연결부(54)는 외주에 수나사를 가지며, 연결부(54)가 피스톤 구멍(52)에 나사결합 함으로써 피스톤 로드(16)가 피스톤(14)에 연결된다. 피스톤 로드(16)의 타단부 부근의 외주에는 외주방향으로 연장되는 리브(56)가 설치되고, 피스톤 로드(16)의 타단부에는 수나사가 형성되어 있다.

피스톤 로드(16)의 연결부(54)는 피스톤(14)의 일단으로부터 돌출되며, 그 돌출부위에 댐퍼(58)가 장착된다. 댐퍼(58)는, 예를 들면 고무 등의 탄성재료로 이루어지며, 피스톤(14)이 실린더 구멍(26)의 일단측으로 변위하였을 때에, 실린더 구멍(26)의 벽면에 직접 접촉하는 것을 방지하여, 접촉시의 충격을 완화한다. 또, 피스톤(14)의 타단에 인접하는 피스톤 로드(16)의 외주에는 금속제의 스프링 가이드(60)가 장착된다. 스프링 가이드(60)는, 후술하는 스프링(68)의 일단이 착좌되는 플랜지(49)를 가진다.

로드 커버(18)는, 금속재료로 원통형으로 형성되고, 실린더 구멍(26)의 타단부측으로부터 삽입되어 나사결합된다. 로드 커버(18)는, 후술하는 엔드 플레이트(62)에 맞닿는 플랜지(50)를 가진다. 로드 커버(18)의 외주면에는 환형 홈을 통하여 밀봉 링(64)이 장착되고, 밀봉 링(64)은 실린더 구멍(26)의 내주면에 맞닿는다. 이것에 의해, 실린더 구멍(26)과 로드 커버(18) 사이로부터 압력유체가 누출하는 것이 방지된다.

로드 커버(18)의 내부에는 축방향으로 연장되는 관통공이 형성되고, 피스톤 로드(16)가 축방향으로 이동 가능하게 삽입된다. 로드 커버(18)의 관통공의 내주면에는 환형 홈을 통하여 로드 패킹(66)이 장착되고, 로드 패킹(66)은 피스톤 로드(16)의 외주면에 맞닿는다. 이것에 의해, 로드 커버(18)와 피스톤 로드(16) 사이로부터 압력유체가 누출하는 것이 방지된다.

제2 압력실(36)의 내부에서, 스프링 가이드(60)와 로드 커버(18)와의 사이에는, 금속제의 스프링(68)이 설치된다. 스프링(68)은, 압축 코일 스프링이며, 피스톤(14)이 로드 커버(18)로부터 가장 이격된 위치에 있을 때에도, 자연장으로부터 압축된 상태에 있다. 따라서, 스프링(68)의 일단부 및 타단부는 각각 스프링 가이드(60) 및 로드 커버(18)에 항상 접촉하고 있다.

슬라이더(20)는, 금속재료로 형성되어 축방향으로 연장되는 3개의 설치구멍, 즉, 피스톤 로드 설치구멍(70), 진공 로드 설치구멍(72) 및 노즐 설치구멍(74)을 갖는다. 피스톤 로드 설치구멍(70)은, 슬라이더(20)의 축방향 양단에서 개구되고, 그 축방향 소정의 개소에서 내측으로 돌출하는 환형의 플랜지부(76)가 설치되어 있다. 진공 로드 설치구멍(72)은, 슬라이더(20)의 일단측에서 개구된다. 노즐 설치구멍(74)은, 슬라이더(20)의 타단측에서 개구되는 대직경부와 그 끝에서 계속되는 소직경부를 가지며, 노즐 설치구멍(74)의 개구 부근의 부위에는 암나사가 형성되어 있다. 노즐 설치구멍(74)과 진공 로드 설치구멍(72)은, 이것들에 직교하는 제3 연락통로(78)에 의해 서로 접속된다. 또한, 참조부호 79로 나타내는 것은, 제3 연락통로(78)를 가공할 때에 형성된 구멍을 폐쇄시키는 마개체이다.

다음에, 슬라이더(20)와 피스톤 로드(16)와의 연결부에 설치되는 버퍼 기구에 대해 설명한다. 버퍼 기구는, 슬리브(80), 버퍼 로드(82) 및 버퍼 스프링(84)을 포함한다.

슬리브(80)는, 금속재료로 원통형으로 형성되고, 외주에 단차부를 갖는다. 버퍼 로드(82)는, 대직경인 머리부(85)와 이것에 연결되는 원통형의 축부(86)를 가지며, 축부(86)에는 암나사를 가지는 구멍이 형성되어 있다. 피스톤 로드(16)의 타단측으로부터 슬리브(80)가 외부에 삽입되고, 피스톤 로드(16)의 타단부에서 버퍼 로드(82)가 나사결합되어 고정된다. 이것에 의해, 슬리브(80)는, 피스톤 로드(16)의 리브(56)와 버퍼 로드(82)의 축부(86)와의 사이에 끼워진다. 슬리브(80)와 버퍼 로드(82)의 축부(86)는, 슬라이더(20)의 피스톤 로드 설치구멍(70) 내에 수용된다. 버퍼 로드(82)는, 베어링(51)을 통하여 슬라이더(20)에 축방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된다. 버퍼 스프링(84)은, 금속제의 압축 코일 스프링으로 이루어지며, 피스톤 로드 설치구멍(70)으로부터 내측으로 돌출하는 플랜지부(76)와 슬리브(80)의 단차부와의 사이에 배열설치된다.

슬라이더(20)에 외력이 가해지지 않을 때, 버퍼 로드(82)는, 버퍼 스프링(84)의 가압력에 의해 그 머리부(85)의 배면에 있어서 슬라이더(20)의 단면에 맞닿고, 슬라이더(20)는 피스톤 로드(16)와 일체로 이동한다. 슬라이더(20)에 소정 이상의 외력이 가해졌을 때는, 버퍼 스프링(84)이 압축되고, 버퍼 로드(82)의 머리부(85)가 슬라이더(20)의 단면으로부터 멀어진다. 이것에 의해, 노즐(21)에 장착되는 흡착 패드(도시하지 않음)가 워크에 맞닿았을 때에 과도한 하중이 가해지는 것이 방지된다.

진공 로드(17)는, 실린더 본체(12)의 로드 구멍(28)에 삽입되고, 로드 구멍(28)의 일단측에 배열설치되는 제1 베어링(88) 및 로드 구멍(28)의 직경이 확대되는 타단측에 배열설치되는 제2 베어링(90)에 의해 축방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된다. 제2 베어링(90)은, 슬라이딩 운동 저항이 적은 볼스플라인형 베어링이며, 로드 구멍(28)의 타단측으로부터 삽입되어 실린더 본체(12)의 단부에 장착되는 엔드 플레이트(62)에 의해서 유지된다. 또한, 참조부호 89로 나타내는 것은, 제2 베어링(90)을 실린더 본체(12)에 고정시키는 고정도구이다. 엔드 플레이트(62)는, 실린더 본체(12)에 나사부재(91) 및 로드 커버(18)가 나사결합 됨으로써, 나사부재(91)의 머리부 및 로드 커버(18)의 플랜지(50)와 실린더 본체(12)와의 사이에 끼워져 고정된다.

진공 로드(17)의 내부에는, 축방향을 따라서 연장되는 진공통로(92)가 형성되고, 진공통로(92)는 진공 로드(17)의 축방향 양단에서 개구된다. 진공 로드(17)의 일단부는, 배관(도시하지 않음)에 의해 부압 공급원(도시하지 않음)에 접속되고, 진공 로드(17)의 타단부는, 슬라이더(20)의 진공 로드 설치구멍(72)에 삽입되어 고정된다. 진공 로드 설치구멍(72)의 내주면에는 환형 홈을 통하여 밀봉 링(97)이 장착되고, 밀봉 링(97)은 진공 로드(17)의 외주면에 맞닿는다.

노즐(21)은, 금속재료로 원통형으로 형성되고, 노즐 설치구멍(74)의 대직경부에 나사결합하는 대직경 몸통부(94)와 노즐 설치구멍(74)의 소직경부에 끼워맞춰지는 소직경 몸통부(95)를 가진다. 대직경 몸통부(94)의 외주면에는 환형 홈을 통하여 밀봉 링(93)이 장착되고, 밀봉 링(93)은 노즐 설치구멍(74)의 내주면에 맞닿는다. 노즐(21)의 내부에는, 축방향을 따라서 연장되는 제1 통로(96)와 제1 통로(96)에 직교하는 제2 통로(98)가 형성되어 있다. 대직경 몸통부(94)는 슬라이더(20)의 타단으로부터 돌출되고, 제1 통로(96)는 대직경 몸통부(94)의 타단에서 개구되어 있다. 대직경 몸통부(94)의 타단면에는, 도전성 재료로 이루어지는 진공 패드(도시하지 않음)가 장착된다. 제2 통로(98)는, 노즐(21)의 소직경 몸통부(95)의 측면에서 개구되고, 슬라이더(20)에 형성된 제3 연락통로(78)에 연통한다.

노즐(21)에 형성된 제1 통로(96)와 제2 통로(98), 슬라이더(20)에 형성된 제3 연락통로(78)와 진공 로드 설치구멍(72)의 일부, 진공 로드(17)에 형성된 진공통로(92)는, 이 순서대로 연속하여 워크를 흡착하기 위한 부압 생성유로가 된다.

본 실시형태에 따른 진공흡착용 유체압 실린더(10)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것이며, 이하, 도 1 및 도 3을 참조하면서, 그 작용에 대해 설명한다. 여기에서는, 도 1에 도시된 바와 같이 피스톤(14)이 실린더 본체(12)의 일단부 측에 위치하고 있는 상태를 초기위치로 한다. 또한, 도 1에 있어서의 상하방향은, 진공흡착용 유체압 실린더(10)가 반송장치에 장착되어 사용될 때의 연직 방향과 일치하는 것이 아니고, 예를 들면, 도 1의 B방향이 연직 하방이 된다.

이 초기위치에 있어서, 도시하지 않은 압력유체 공급원으로부터 제1 포트(38)에 압력유체를 공급하면, 제1 압력실(34)에 압력유체가 도입되어 피스톤(14)이 실린더 본체(12)의 타단측(화살표 B방향)을 향해 변위한다. 그것에 수반하여, 피스톤 로드(16) 및 슬라이더(20)가 일체로 변위한다. 또한, 이 경우, 제2 포트(40)는 대기 개방상태로 해둔다.

슬라이더(20)가 변위함으로써, 슬라이더(20)에 연결되어 있는 진공 로드(17)가 제1 베어링(88) 및 제2 베어링(90)에 지지된 상태로 축방향(화살표 B방향)으로 일체로 변위한다. 슬라이더(20)에 장착된 노즐(21)은, 도시하지 않은 워크로 접근한다.

그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 더욱 더 피스톤(14)이 실린더 본체(12)의 타단부측으로 변위하여, 진공 패드가 워크에 맞닿는다. 노즐(21)의 내부에 설치된 제1 통로(96)와 제2 통로(98)에는, 부압 공급원에 접속된 진공 로드(17)의 진공통로(92)로부터 슬라이더(20)의 진공 로드 설치구멍(72)의 일부 및 제3 연락통로(78)를 통해서 부압이 공급되고 있기 때문에, 진공 패드에 워크가 흡착된다.

워크의 흡착이 확인된 후, 도시하지 않은 전환 밸브에 의해서 제1 포트(38)에 공급되어 있던 압력유체를 제2 포트(40)에 공급하면, 제2 압력실(36)에 압력유체가 도입되고, 피스톤(14)이 실린더 본체(12)의 일단부(화살표 A방향)를 향하여 변위한다. 그것에 수반하여, 진공 패드에 워크를 흡착시킨 채로 슬라이더(20)가 실린더 본체(12)에 접근하도록 이동한다. 또한, 이 경우, 제1 포트(38)는 대기 개방상태로 해둔다.

그리고, 피스톤(14)이 실린더 구멍(26)의 일단부까지 이동한 상태로, 진공흡착용 유체압 실린더(10)가 소정의 반송위치까지 반송된 후, 제2 포트(40)로부터 제1 포트(38)로 압력유체의 공급을 전환시킴으로써 슬라이더(20)를 실린더 본체(12)로부터 이격시킨다. 그 후, 워크를 소정위치에 올려놓은 상태로 부압 공급원으로부터 진공통로(92)로의 부압의 공급을 정지시킨다. 이것에 의해, 진공 패드에 있어서의 워크의 흡착 상태가 해제되고, 워크의 반송 작업이 완료된다.

진공 패드가 워크에 맞닿았을 때에 발생하는 정전기는, 노즐(21), 슬라이더(20), 버퍼 스프링(84), 슬리브(80), 피스톤 로드(16), 피스톤(14), 스프링 가이드(60), 스프링(68), 로드 커버(18), 실린더 본체(12)의 순서로 도전하여 접지된다. 이것에 의해, 워크가 대전하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 정전기는, 슬라이더(20)로부터 진공 로드(17)에 도전되고, 계속해서 제1 베어링(88) 또는 제2 베어링(90)을 거쳐 실린더 본체(12)에 도전되는 경우도 있지만, 제1 베어링(88) 및 제2 베어링(90)에는 비도전성 윤활유가 존재하기 때문에, 그 도전 경로는 항상 성립하는 것은 아니다.

또, 진공 패드가 워크에 맞닿았을 때에 노즐(21)에 소정 이상의 하중이 가해지면, 버퍼 스프링(84)이 수축하여 슬라이더(20)가 피스톤 로드(16)에 대해서 상대이동 한다. 이것에 의해, 노즐(21)과 워크 사이에 과도한 하중이 가해지는 것이 방지된다.

본 실시형태에 따른 진공흡착용 유체압 실린더(10)에 의하면, 피스톤(14)과 로드 커버(18) 사이에 도전 경로를 구성하는 스프링(68)을 배열설치하는 것으로, 컴팩트한 구성에 의해서 노즐(21) 등과 워크의 접촉시에 발생하는 정전기를 접지시킬 수 있다.

전술한 실시형태에서는, 슬라이더와 피스톤 로드와의 사이에 버퍼 기구를 설치하였지만, 버퍼 기구를 설치하지 않고, 슬라이더를 피스톤 로드에 대해서 일체로 연결하여도 좋다. 또, 스프링 가이드를 통하여 스프링을 피스톤에 맞닿음 시켰지만, 스프링 가이드는 없어도 좋다. 또한, 피스톤과 로드 커버와의 사이에 배열설치되는 스프링으로서 압축 코일 스프링을 이용하였지만, 피스톤의 이동에 추종하면서 항상 피스톤 혹은 스프링 가이드와 로드 커버에 접촉하는 도전성 스프링이라면, 다른 종류의 것이라도 좋다.

본 고안에 따른 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더는, 전술한 실시형태에 한정되지 않고, 본 고안의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지의 구성을 채택할 수 있는 것은 물론이다.

12: 실린더 본체
14: 피스톤
16: 피스톤 로드
17: 진공 로드
18: 로드 커버
20: 슬라이더
21: 노즐
68: 스프링
72, 78: 유로
80, 82, 84: 버퍼 기구
88, 90: 베어링

Claims

실린더 본체(12)의 내부에 슬라이딩 가능하게 배열설치되는 피스톤(14)과, 상기 피스톤(14)에 연결되는 피스톤 로드(16)와, 상기 실린더 본체(12)에 고정되는 로드 커버(18)와, 상기 로드 커버(18)로부터 외측으로 돌출하는 상기 피스톤 로드(16)의 단부에 연결되는 슬라이더(20)를 구비하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더로서,
상기 슬라이더(20)에 노즐(21)이 장착되고, 상기 피스톤(14)과 상기 로드 커버(18) 사이에 스프링(68)이 배열설치되며,
상기 슬라이더(20)는, 버퍼 기구(80, 82, 84)를 통하여 상기 피스톤 로드(16)에 연결되며,
상기 노즐(21), 상기 슬라이더(20), 상기 버퍼 기구, 상기 피스톤 로드(16), 상기 피스톤(14), 상기 스프링(68), 상기 로드 커버(18), 및 상기 실린더 본체(12)가 정전기를 접지하기 위한 도전 경로를 형성하는 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.
청구항 1에 있어서,
상기 스프링(68)은 압축 코일 스프링인 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.
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청구항 1에 있어서,
상기 슬라이더(20)에 중공형상의 진공 로드(17)가 연결되고, 상기 진공 로드(17)는 상기 실린더 본체(12)의 내부에 슬라이딩 가능하게 배열설치되는 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.
청구항 4에 있어서,
상기 진공 로드(17)의 내부공간은 상기 슬라이더(20)에 형성된 유로(72, 78)를 통하여 상기 노즐(21)의 내부공간에 연통하는 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.
청구항 4에 있어서,
상기 진공 로드(17)는 베어링(88, 90)을 통하여 상기 실린더 본체(12)에 지지되는 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.
청구항 6에 있어서,
상기 슬라이더(20)와 연결되는 쪽과는 반대쪽의 상기 진공 로드(17)의 단부가 상기 슬라이더(20)로부터 외측으로 돌출하는 것
을 특징으로 하는 복동형의 진공흡착용 유체압 실린더.