KR200491787Y1 - 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 등의 재료로 사용되는 분입체를 원통형 본체 내에서 회전되는 로터로 낙하 공급하는 분입체 정량 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 입구측에서 로터로 공급되는 분입체의 파손과 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치에 관한 으로써, 본체의 입구측에 경사면을 형성하여 로터에 근접하는 입구 단면을 축소하여 분입체의 파손을 저감하고, 상기 분입체가 로터의 둘레면과 상기 둘레면과 인접한 본체의 내부 둘레면 사이에 걸림 되는 것을 방지하며, 로터 측면부를 밀봉하여 공기압의 역류를 방지하고, 분입체를 제거한 로터의 구획된 공간의 공기압을 용이하게 제거할 수 있는 분입체 정량 공급장치에 관한 것이다.

Description

분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치{Quantitative feeder that prevents the trapping of minute particles}

본 고안은 반도체 등의 재료로 사용되는 분입체를 원통형 본체 내에서 회전되는 로터로 낙하 공급하는 분입체 정량 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 입구측에서 로터로 공급되는 분입체의 파손과 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 등의 재료는 정량으로 이송되어 필요한 양이 사용되는 것으로서, 분입체 정량 공급장치 즉 로터리 피더에 의하여 정량 이송된다.

즉 종래의 분입체 정량 공급장치는 모터의 회전력이 벨트에 의하여 전달되어 축이 회전되고, 이 축과 연동하여 둘레 방향으로 따라 다수개의 공간이 구획된 로터가 원통형 본체 내에서 회전되며, 상기 본체의 입구에 분입체가 공급되어 로터를 통하여 출구로 낙하 배출되는 것으로서, 도시하지 않았지만 상기 로터의 측면에는 실링으로 밀봉하지 않고 본체에 의하여 단순히 지지되는 구조로 이루어진다.

그리고 종래의 분입체 정량 공급장치에서 배출되는 분입체는 상기 본체의 출구에 연결되는 벤튜리관에 의하여 이송되는데, 상기 벤튜리관의 일측에 공기압이 공급되며, 이 공기압에 의하여 상기 분입체가 타측으로 공기압과 함께 이송되는 것이다.

그러나 종래에는 로터의 측면이 제대로 밀봉되지 않기 때문에 분입체를 벤튜리관을 통하여 이송하기 위한 공기압이 로터의 측면부로 배출되어 공기압의 손실량이 증대한다는 단점이 있다.

또한, 분입체가 제거된 로터의 구획된 공간에 공기압이 남게 되어 본체의 입구측에서 분입체가 공기압에 의하여 흐름의 지장을 받게되기 때문에, 분입체가 로터의 구획된 공간에 정량으로 쉽게 유입되지 않는다는 다른 단점이 있다.

더욱이 본체의 입구 단면적이 크기 때문에 로터의 회전으로 인하여 분입체 상호간의 상대 운동량이 커지게 되어 분입체의 파손과 걸림 현상이 발생할 수 있다는 문제점이 있다.

이에 종래에는 등록번호 제20-0163342호의 '분입체 정량공급장치'가 개시되었지만, 상기한 문제점에 대해서는 여전히 개선되고 있지 않은 실정이다.

본 고안은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출해낸 것으로써, 본체의 입구측에 경사면을 형성하여 로터에 근접하는 입구 단면을 축소하여 분입체의 파손을 저감하고, 상기 분입체가 로터의 둘레면과 상기 둘레면과 인접한 본체의 내부 둘레면 사이에 걸림 되는 것을 방지하며, 로터 측면부를 밀봉하여 공기압의 역류를 방지하고, 분입체를 제거한 로터의 구획된 공간의 공기압을 용이하게 제거할 수 있는 분입체 정량 공급장치를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.

이에 본 고안은 로터의 측면 둘레면에 면방향으로 돌출되는 환형턱을 일체로 형성하고, 상기 로터의 환형턱의 외측 둘레면과 본체 내부 측면 사이에 다수개의 실링을 설치하며, 상기 실링의 측면에 압축링을 설치하고, 상기 압축링을 실링쪽으로 이동하는 다수의 조정볼트가 측면 커버에 등간격으로 관통 체결되며, 상기 본체의 입구가 로터측으로 진행하면서 단면적이 축소되면서 로터의 둘레면쪽의 입구 폭이 축소될 수 있도록 단면이 다수회 절곡되는 경사부가 일체로 형성되어 모터의 회전력에 의해 회전되는 로터가 측면커버와 본체 내에 설치되어 상기 본체 입구에서 공급되는 분입체를 본체 출구로 낙하 배출하는 분입체 정량 공급장치에 있어서, 상기 경사부의 저면에는 상부방향으로 일정 깊이를 가지는 가이드 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치를 그 기술적 특징으로 한다.

본 고안에 따른 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치에 따르면, 로터의 측면부를 밀봉함으로써 공기압의 역류되지 않아 분입체가 용이하게 배출되어 공기압과 합께 용이하게 특정한 장소로 이송할 수 있고, 조정볼트로 실링을 더욱 압축할 수 있으므로 실링이 마모되더라도 보상할 수 있으며, 로터에 잔존하는 공기압이 관통구를 통하여 외부 등으로 배출됨으로써 로터에 잔존된 공기압이 본체의 입구측으로 나오지 않게 되어 분입체가 로터로 정량적으로 공급할 수 있고, 본체의 입구를 로터의 둘레 방향으로 그 단면적을 축소하여 로터에 분입체를 용이하게 공급하여 분입체 상호간의 상대운동에 따른 파손을 저감할 수 있으며, 상기 축소된 단면적의 저면에 가이드 홈을 형성하여 분입체의 걸림 현상을 방지하고, 로터의 둘레면과 상기 둘레면과 인접한 본체의 내부 둘레면에도 가이드 홈을 형성하여 분입체의 걸림 현상을 미연에 방지할 수 있는 등 그 효과가 큰 고안이다.

도 1은 본 고안에 의한 분입체 정량 공급장치의 평면도
도 2는 도 1의 A - A선 단면도
도 3은 도 2의 B - B선 부분 단면도
도 4는 도 3의 C부 확대단면도
도 5는 본 고안에 의한 분입체 정량 공급장치의 다른 예를 나타내는 단면도
도 6은 본 고안에 의한 분입체 정량 공급장치의 사용상태를 나다내는 단면도
도 7은 본 고안인 정량 공급장치를 나타내는 평면도
도 8은 도 7의 본체 경사부와 가이드홈을 나타내는 확대도
도 9는 도 8의 A - A 를 나타내는 정면도와 측단면도
도 10은 본 고안인 정량 공급장치를 나타내는 측면도
도 11은 본 고안의 핵심인 가이드홈의 연장부분을 나타내는 측면도

이하, 상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 바람직한 구성 및 작용에 대해 도 1 내지 도 11을 참고로 설명하면 다음과 같다.

본 고안인 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치는 로터(2)의 측면 둘레면에 면방향으로 돌출되는 환형턱(2a)을 일체로 형성하고, 상기 로터(2)의 환형턱(2a)의 외측 둘레면과 본체(4) 내부 측면 사이에 다수개의 실링(5)을 설치하며, 상기 실링(5)의 측면에 압축링(6)을 설치하고, 상기 압축링(6)을 실링(5)쪽으로 이동하는 다수의 조정볼트(7)가 측면 커버에 등간격으로 관통 체결되며, 상기 본체(4)의 입구(4a)가 로터(2)측으로 진행하면서 단면적이 축소되면서 로터(2)의 둘레면쪽의 입구 폭이 축소될 수 있도록 단면이 다수회 절곡되는 경사부(4c)가 일체로 형성되어 모터의 회전력에 의해 회전되는 로터(2)가 측면커버와 본체(4) 내에 설치되어 상기 본체(4) 입구(4a)에서 공급되는 분입체를 본체(4) 출구(4b)로 낙하 배출하는 분입체 정량 공급장치에 있어서, 상기 경사부(4c)의 저면에는 상부방향으로 일정 깊이를 가지는 가이드 홈이 형성되어 있다.

상기 가이드 홈은 본체(4)의 입구(4a)에서 절곡을 위해 축소되는 시작부분과, 상기 시작부분에서 입구(4a)의 둘레면으로 연결된 연결부분의 저면에 형성된다.

상기 가이드 홈은 시작부분에서 연결부분까지 갈수록 좁아지는 형상으로 형성된다.

상기 가이드 홈은 원형 또는 다각형의 형상으로 형성된다.

상기 가이드 홈은 연결부분에서 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면까지 연장되어 형성된다.

상기 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면은 텅스텐으로 코팅되어 있다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 더욱 상세하게 설명한다.

본 고안에 의한 분입체 정량 공급장치인 로터리 피더는 반도체 등의 재료로 사용되는 분입체를 원통형본체 내에서 회전되는 로터로 낙하 공급하여 공기압으로 이송하는 것이다.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 모터(1)의 회전력에 의하여 회전되는 로터(2)가 측면커버(3)와 본체(4) 내에 설치되어 본체(4)의 입구(4a)에서 공급되는 분입체를 본체(4)의 출구(4b)로 낙하 배출하는 구조로 이루어진다.

그리고 본 고안의 분입체 정량 공급장치는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 로터(2)의 측면 둘레면에 면방향으로 일체로 돌출 형성되는 환형턱(2a), 상기 로터(2)의 환형턱(2a)의 외측 둘레면과 본체내부 측면 사이에 설치되는 다수개의 실링(5), 상기 실링(5)의 측면에 설치되는 압축링(6), 그리고 상기 압축링(6)을 실링(5)쪽으로 이동하는 것으로 측면 커버(3)에 등간격으로 관통 체결되는 다수의 조정볼트(7)를 포함한다.

본 고안은 상기 본체(4)의 입구(4a)가 로터(2)측으로 진행하면서 단면적이 축소되면서 로터(2)의 둘레면 방향의 입구(4a) 폭이 축소될 수 있도록 단면이 다수회 절곡되는 경사부(4c)를 일체로 형성하는 것을 포함한다.

또한 본 고안에서는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 분입체(20)가 없는 로터(2)의 구획된 공간쪽의 본체(4) 측면에 로터(2)의 구획된 공간에 연통된 공기압배출구(4d)를 형성하여 로터(2)의 구획된 공간에 있는 공기압을 공기압배출구(4d)를 통하여 외부로 배출하게 되거나, 도시하지 않았지만 분입체(20)를 초기에 저장하는 탱크(8)의 상측부로 배출할 수 있다.

그러면 상기 로터(2)는 상기 모터(1)의 모터축에 설치된 스프로킷(11)과 상기 로터(2)와 연동하는 축(12)에 설치된 스프로킷(13) 사이를 체인(14)으로 연결하게 되어 모터(1)의 회전력에 의하여 천천히 회전되는 것으로서, 둘레 방향으로 다수의 공간으로 구획되어 있으며, 양측면을 원판부(2b) 형상에 의하여 막혀져 있는 것이며, 이에 따라 상기 환형턱(2a)이 상기 원판부(2b)의 외측부에 돌출되는 구조로 이루어진다.

또한 상기 공기압배출구(4d)의 외부에는 연결구(9)를 설치하여 외부로 공기압이 용이하게 배출되게 하거나, 상기 탱크(8)와 호스 등으로 연결하게 되는 것이다.

이와 같이 이루어지는 분입체 정량 공급장치는 도 6에 도시한 바와 같이, 본체(4)의 입구측에는 분입체(20)를 저장한 탱크(8)가 설치되고, 출구측에는 일측에 공기압이 유입됨과 아울러 타측에 공기압과 분입체(20)가 배출되는 벤튜리관(10)이 설치되어 정량으로 분입체(20)를 이송하게 된다.

상기와 같이 탱크(8)와 벤튜리관(10)이 설치된 분입체 정량 공급장치는 전기가 인가되면 모터(1)가 회전력을 발생하여 스프로킷(11), 체인(14) 및 다른 스프로킷(13)에 의하여 축(12)이 천천히 회전되며, 이에 따라 로터(2)가 연동하여 천천히 회전하게 된다.

상기 로터(2)가 회전되면 구획된 공간에 분입체(20)가 채워지며, 이에 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 분입체(20)가 본체(4)의 출구(4b)로 배출됨과 아울러 공기압이 벤튜리관(10)을 통과하게 되어 분입체(20) 및 공기압이 벤튜리관의 출구측으로 배출되며, 상기 분입체(20)의 정량이 이송되는 것이다.

여기서 본 고안에 적용되는 본체의 입구(4a)는 구조가 개선되어 분입체(20)상호간의 상대운동을 줄이게 되며, 로터(2)의 측면부가 완전히 밀봉되어 벤튜리관(9)에 공급되는 공기압이 역류되지 않게 되고, 로터(2)에서 분입체(20)가 배출된 뒤에 내장되는 공기압이 관통구(4d)를 통하여 연결구(9)로 배출되어 공기압에 의하여 본체(4)의 출구(4a) 측의 분입체(20)에 영향이 제거된다.

특히 본 고안의 고압 로터리 피더를 많이 사용하게 되면 로터(2)의 환형턱(2a)의 원주면에 설치된 실링(5)이 마모되어 밀봉 상태를 유지하지 못하더라도 조정볼트(7)를 회전시켜 압축링(6)이 실링(5)을 압축함으로써 밀봉 정도를 다시 증대할 수 있다.

한편 본 고안에서는 도 5에 도시한 바와 같이, 본체(4)를 알루미늄 재질로 주조할 수 있으며, 이 때 로터(2)의 둘레면에 위치하는 본체(4)의 입구에 형성된 경사부(4c) 아래면에 강도가 우수한 재질의 보강재(4e)를 인서트 주조 가공하게 된다.

즉 상기 보강재(4e)의 재질은 강도가 우수한 스테인레스스틸 및 세라믹 재질로 이루어짐이 바람직하다.

상기한 본체(4)의 재질을 변형하면 공급장치의 전체 무게를 절감하면서 필요위치에 보강재(4e)를 부착함으로써 무게를 감소하면서도 기능의 저하를 방지할 수 있는 것이다.

다른 한편 분입체를 이송할 경우, 고압용으로 사용하는 경우에는 로터의 재질이 금속으로 이루어지나, 저압용으로 사용하는 경우에는 로터의 재질을 변경할 수 있는데, 저압용으로 사용되는 분입체 정량 공급장치는 가벼운 가루 형상의 분입체를 정량으로 공급하기 위한 것이다.

이 때 로터(2)를 우레탄 재질로 사용할 수 있는바, 이 우레탄 재질의 로터(2)를 사용함으로써 로터(2)의 둘레면과 본체(4)의 내부면 사이의 밀봉을 더욱 강화하게 된다.

이렇게 본 고안에 의한 분입체 정량 공급장치는 반도체 등에 사용되는 분입체를 정량 이송하여 필요한 장소로 공급시킨다.

도 7 내지 도 11을 참고로 설명하면,

본 고안의 핵심구성인 가이드 홈(h)은 경사부(4c)의 저면에 상부방향으로 일정 깊이를 가지며 형성된다.

상기 가이드 홈(h)은 본체(4)의 입구(4a)에서 절곡을 위해 축소되는 시작부분(h1)과, 상기 시작부분(h1)에서 입구(4a)의 둘레면으로 연결된 연결부분(h2)의 저면에 형성된다.

상기 가이드 홈(h)은 시작부분(h1)에서 연결부분(h2)까지 동일한 깊이를 가지거나 또는 시작부분(h1)에서 연결부분(h2)까지 갈수록 좁아지는 형상으로 형성된다.

또한, 상기 가이드 홈(h)은 반원형 또는 다각형의 형상으로 형성될 수 있음으로 상기한 형상에 대해서는 한정하지 않겠다.

도 11을 참고로 설명하면, 상기 가이드 홈(h)은 시작부분(h1)에서 연결부분(h2)까지 동일한 깊이가 형성 시에는, 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면까지 연장된 연장부분(h3)이 형성된다.

상기 가이드 홈(h)인 시작부분(h1)에서 연결부분(h2)까지 형성된 외측에는 로터(2)의 보조가이드 홈이 형성된다.

상기 보조가이드 홈은 로터(2)의 회전방향으로 형성되며, 사용에 따라 일정 각도를 이루며 회전방향으로 형성될 수도 있다.

또한, 상기 보조가이드 홈은 하나 이상 다수개가 형성될 수 있으며, 보조가이드 홈의 시작부분에서 연결부분까지는 동일한 깊이를 가지거나 또는 시작부분에서 연결부분까지 갈수록 좁아지는 형상으로 형성될 수 있다.

본 고안인 정량공급장치의 본체(4)는 알루미늄재질로 형성되고, 상기 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면은 텅스텐으로 코팅된다.

이상과 같은 본 고안에 따르면, 로터의 측면부를 밀봉함으로써 공기압의 역류되지 않아 분입체가 용이하게 배출되어 공기압과 합께 용이하게 특정한 장소로 이송할 수 있고, 조정볼트로 실링을 더욱 압축할 수 있으므로 실링이 마모되더라도 보상할 수 있으며, 로터에 잔존하는 공기압이 관통구를 통하여 외부 등으로 배출됨으로써 로터에 잔존된 공기압이 본체의 입구측으로 나오지 않게 되어 분입체가 로터로 정량적으로 공급할 수 있고, 본체의 입구를 로터의 둘레 방향으로 그 단면적을 축소하여 로터에 분입체를 용이하게 공급하여 분입체 상호간의 상대운동에 따른 파손을 저감할 수 있으며, 상기 축소된 단면적의 저면에 가이드 홈을 형성하여 분입체의 걸림 현상을 방지하고, 로터의 둘레면과 상기 둘레면과 인접한 본체의 내부 둘레면에도 가이드 홈을 형성하여 분입체의 걸림 현상을 미연에 방지할 수 있다.

2 : 로터 2a : 환형턱
4 : 본체 4a : 입구
4b : 출구 4c : 경사부
4d : 공기압배출구 5 : 실링
6 : 압축링 7 : 조절볼트
h : 가이드 홈

Claims (5)

1. 로터(2)의 측면 둘레면에 면방향으로 돌출되는 환형턱(2a)을 일체로 형성하고, 상기 로터(2)의 환형턱(2a)의 외측 둘레면과 본체(4) 내부 측면 사이에 다수개의 실링(5)을 설치하며, 상기 실링(5)의 측면에 압축링(6)을 설치하고, 상기 압축링(6)을 실링(5)쪽으로 이동하는 다수의 조정볼트(7)가 측면 커버에 등간격으로 관통 체결되며, 상기 본체(4)의 입구(4a)가 로터(2)측으로 진행하면서 단면적이 축소되면서 로터(2)의 둘레면쪽의 입구 폭이 축소될 수 있도록 단면이 다수회 절곡되는 경사부(4c)가 일체로 형성되어 모터의 회전력에 의해 회전되는 로터(2)가 측면커버와 본체(4) 내에 설치되어 상기 본체(4) 입구(4a)에서 공급되는 분입체를 본체(4) 출구(4b)로 낙하 배출하는 분입체 정량 공급장치에 있어서,
   상기 경사부(4c)의 저면에는 상부방향으로 일정 깊이를 가지는 가이드 홈(h)이 형성되되,
   상기 가이드 홈(h)은 본체(4)의 입구(4a)에서 절곡을 위해 축소되는 시작부분(h1)과,
   상기 시작부분(h1)에서 입구(4a)의 둘레면으로 연결된 연결부분(h2)의 저면에 형성되는 것을 특징으로 하는 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치.
   
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 가이드 홈(h)은 시작부분(h1)에서 연결부분(h2)까지 갈수록 좁아지는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 가이드 홈(h)은 연결부분(h2)에서 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면까지 연장되는 연장부분(h3)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치.
   
5. 제 1항에 있어서,
   상기 로터(2)의 둘레면과 인접된 본체(4)의 내부 둘레면은 텅스텐으로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 분입체의 걸림 현상을 방지하는 정량 공급장치.
   

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