KR200487736Y1 - Wet treating apparatus - Google Patents

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KR200487736Y1
KR200487736Y1 KR2020160003455U KR20160003455U KR200487736Y1 KR 200487736 Y1 KR200487736 Y1 KR 200487736Y1 KR 2020160003455 U KR2020160003455 U KR 2020160003455U KR 20160003455 U KR20160003455 U KR 20160003455U KR 200487736 Y1 KR200487736 Y1 KR 200487736Y1
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Abstract

본 고안은 화학 장비에 적용이 가능하며, 연결 과정이 간편하고, 결합 구조가 보다 견고하게 이루어진 플렉시블 배관 연결 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 제 1 배관; 상기 제 1 배관과 이웃하게 배치되는 플렉시블 배관; 일단은 상기 제 1 배관의 내부에 배치되고, 타단은 상기 플렉시블 배관의 내부에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 내측면 및 상기 제 1 배관의 내측면과 결합되는 인서트 배관; 상기 플렉시블 배관의 일단부 외측에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 외측면과 결합되는 클램프;를 포함하는 플렉시블 배관 연결 시스템을 제공한다.The present invention relates to a flexible piping connection system which can be applied to chemical equipment, has a simple connection process, and has a more rigid coupling structure. To this end, the present invention is directed to a first pipeline; A flexible pipe disposed adjacent to the first pipe; An insert pipe disposed at one end inside the first pipe and at the other end inside the flexible pipe, the insert pipe being coupled to an inner surface of the flexible pipe and an inner surface of the first pipe; And a clamp disposed outside the one end of the flexible pipe and coupled to an outer surface of the flexible pipe.

Description

습식처리장치{Wet treating apparatus}[0001] Wet treating apparatus [

본 고안은 플렉시블 배관 연결 시스템에 관한 것으로서, 화학 장비에 적용이 가능하며, 연결 과정이 간편하고, 결합 구조가 보다 견고하게 이루어진 플렉시블 배관 연결 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible piping connection system, and more particularly, to a flexible piping connection system which is applicable to chemical equipment, has a simple connection process, and has a more rigid coupling structure.

일반적으로, 수도 배관 및 화학약품을 사용하는 장치에 삽입되는 배관은 금속으로 이루어진 파이프을 연결하여 구성되는 경우가 대부분을 차지하지만, 금속 파이프에 플렉시블 파이프를 연결하여 구성되는 배관이 적용되어야 하는 경우가 발생한다.Generally, a pipe inserted into a water pipe or a device using a chemical is mostly constituted by connecting a pipe made of metal. However, there is a case where a pipe formed by connecting a flexible pipe to a metal pipe is applied do.

통상적으로, 금속 파이프간의 연결은 일측에 암나사를 형성하고 다른 일측에는 수나사를 형성하여 각각의 파이프에 형성되어 있는 암나사와 수나사를 체결하는 방식으로 이루어진다.Typically, the connection between the metal pipes is made by a method of forming a female thread on one side and a male thread on the other side and fastening a female screw and a male screw formed on each pipe.

그러나, 플렉시블 파이프의 경우에는 연성을 가지는 재질로 제작되어 플렉시블 파이프 자체에 나사산을 형성하는 것이 어려울 뿐만 아니라, 펠렉시블 파이프에 나사산을 형성하여도 사용자가 기대하는 역할을 제대로 수행하지 못하므로, 플렉시블 파이프와 금속 파이프간의 연결이 어려운 문제점이 있다.However, in the case of a flexible pipe, it is difficult to form a thread in the flexible pipe itself because it is made of a flexible material, and even if a thread is formed in the flexible pipe, There is a problem that the connection between the pipe and the metal pipe is difficult.

이러한 문제를 해결하기 위해 플렉시블 파이프와 금속 파이프는 클램프 또는 오링을 이용하여 연결하게 된다.To solve this problem, the flexible pipe and the metal pipe are connected using a clamp or an O-ring.

플렉시블 파이프와 금속 파이프를 연결하는 클램프는 주로 금속으로 되어 있어 화학약품을 사용하는 장비에 사용시 부식의 우려가 있거나, 화학약품에 반응하지 않는 고가의 소재를 요구하는 문제점이 있다.The clamp connecting the flexible pipe and the metal pipe is mainly made of metal, and there is a concern that there is a fear of corrosion when using the equipment using the chemical or an expensive material that does not react with the chemical.

또한, 플렉시블 파이프와 금속 파이프를 클램프 또는 오링만을 이용하여 연결하였을 경우, 플렉시블 파이프에 내압이 발생하였을 때 플렉시블 파이프와 금속 파이프가 쉽게 이격되거나 분리되는 문제점이 있다.Also, when the flexible pipe and the metal pipe are connected by using only the clamp or the o-ring, there is a problem that the flexible pipe and the metal pipe are easily separated or separated when internal pressure is generated in the flexible pipe.

대한민국 등록특허공보 제 10-1266144(고안의 명칭: 플렉시블 파이프 결합 구조, 공고일: 2013년 05월 21일)Korean Registered Patent No. 10-1266144 (Name of Design: Flexible Pipe Coupling Structure, Notification Date: May 21, 2013)

본 고안에서 해결하고자 하는 과제는 화학 장비에 적용이 가능하며, 연결 과정이 간편하고, 결합 구조가 보다 견고하게 이루어진 플렉시블 배관 연결 시스템에 관한 것이다.A problem to be solved in the present invention relates to a flexible piping connection system which can be applied to chemical equipment, has a simple connection process, and has a more rigid coupling structure.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 고안은 제 1 배관; 상기 제 1 배관과 이웃하게 배치되는 플렉시블 배관; 일단은 상기 제 1 배관의 내부에 배치되고, 타단은 상기 플렉시블 배관의 내부에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 내측면 및 상기 제 1 배관의 내측면과 결합되는 인서트 배관; 상기 플렉시블 배관의 일단부 외측에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 외측면 및 제 1 배관과 결합되는 클램프;를 포함하는 플렉시블 배관 연결 시스템을 제공한다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a piping system comprising: a first pipe; A flexible pipe disposed adjacent to the first pipe; An insert pipe disposed at one end inside the first pipe and at the other end inside the flexible pipe, the insert pipe being coupled to an inner surface of the flexible pipe and an inner surface of the first pipe; And a clamp disposed outside the one end of the flexible pipe and coupled to the outer surface of the flexible pipe and the first pipe.

상기 플렉시블 배관과 결합되는 상기 인서트 배관 타단의 외측에는 상기 플렉시블 배관이 끼워져 결합되도록 하는 돌출부가 형성되어 있을 수 있다.And a protruding portion is formed on the outer side of the other end of the insert pipe which is coupled with the flexible pipe to allow the flexible pipe to be inserted and coupled.

상기 플렉시블 배관 중 상기 인서트 배관과 결합되는 일단의 영역은 확대되어 형성되되, 내측에는 상기 돌출부와 체결되는 체결부가 형성될 수 있다.An end of the flexible pipe connected to the insert pipe may be enlarged and a fastening part may be formed on the inner side of the flexible pipe to be coupled with the protrusion.

상기 클램프의 내경은 상기 플렉시블 배관의 외경보다 같거나 작게 형성될 수 있다.The inner diameter of the clamp may be equal to or smaller than the outer diameter of the flexible pipe.

상기 인서트 배관은 상기 제 1 배관과 연결되는 제 1 인서트부와, 상기 플렉시블 배관과 결합되는 제 2 인서트부를 포함하며, 상기 제 1 인서트부와 상기 제 2 인서트부는 단차지게 형성되고, 상기 제 1 인서트부의 외경은 상기 제 2 인서트부의 외경보다 크게 형성될 수 있다.Wherein the insert pipe includes a first insert connected to the first pipe and a second insert coupled to the flexible pipe, wherein the first insert and the second insert are stepped, The outer diameter of the portion may be larger than the outer diameter of the second insert portion.

상기 제 1 인서트부의 외측면에는 상기 제 1 배관이 배치되고, 상기 제 2 인서트부의 외측면에는 상기 플렉시블 배관이 배치되며, 상기 제 1 인서트부와 상기 제 2 인서트부의 경계면상에서 상기 제 1 배관의 일단, 상기 플렉시블 배관의 일단 및 상기 플랜지의 일단이 서로 결합될 수 있다.Wherein the flexible pipe is disposed on an outer surface of the second insert part and the flexible pipe is disposed on an outer surface of the first insert part and a first end of the first pipe on an interface between the first insert part and the second insert part, , One end of the flexible pipe and one end of the flange may be coupled to each other.

상기 클램프, 상기 플렉시블 배관 및 상기 인서트 배관은 본딩 또는 열융착에 의하여 결합될 수 있다.The clamp, the flexible pipe, and the insert pipe may be joined by bonding or heat fusion.

상기 클램프의 내측면에는 상기 클램프와 상기 플렉시블 배관의 결합을 위해 포함되는 접착제가 외부로 유출되는 것을 방지하는 접착제 유출방지 홈이 형성될 수 있다.An adhesive leakage preventing groove may be formed on the inner surface of the clamp to prevent the adhesive contained in the clamp and the flexible pipe from flowing out.

본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템은 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.The flexible piping connection system according to the present invention can be expected to have the following effects.

첫째, 인서트 배관을 사용하여 제 1 배관과 플렉시블 배관을 더욱 견고하게 연결할 수 있는 이점이 있다.First, there is an advantage that the first pipe and the flexible pipe can be more firmly connected by using the insert pipe.

둘째, PVC, PE 또는 PP와 같은 수지류 소재를 사용하여 플렉시블 배관과 연결하기 위하여 포함되는 부재를 구성함으로써 화학약품에 의한 부식을 방지할 수 있으며, 이에 따라 화학 약품을 사용하는 장비에 적용이 가능한 이점이 있다.Second, it is possible to prevent the corrosion by chemical agents by constructing the members included for connection with the flexible piping by using resin materials such as PVC, PE, or PP, so that it can be applied to equipment using chemicals There is an advantage.

셋째, 플렉시블 배관과 인서트 배관에 결합을 위한 요철을 형성함으로써 플렉시블 배관 연결 시스템이 보다 견고하게 결합상태를 유지할 수 있는 이점이 있다.Third, there is an advantage that the flexible pipe connection system can maintain a more firmly coupled state by forming irregularities for coupling to the flexible pipe and the insert pipe.

넷째, 수지류의 소재로 구성된 클램프를 플렉시블 배관의 외경과 같거나 작게 형성하고, 본딩 또는 열융착을 통하여 클램프를 플렉시블 배관과 결합하여 고정함으로써 플렉시블 배관에 내압이 발생할 경우 플렉시블 배관과 인서트 배관의 접촉 부분에 이격이 발생하는 현상을 방지하는 이점이 있다.Fourth, when a clamp made of a resin material is formed to be equal to or smaller than the outer diameter of the flexible pipe, and the clamp is fixedly coupled with the flexible pipe through bonding or heat fusion to generate an internal pressure in the flexible pipe, contact between the flexible pipe and the insert pipe There is an advantage of preventing a phenomenon that a gap is generated in a part.

다섯째, 클램프의 내측면에 홈을 형성함으로써 플렉시블 배관과의 결합을 위해 포함되는 접착제가 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.Fifth, by forming a groove in the inner surface of the clamp, it is possible to prevent the adhesive contained for bonding with the flexible pipe from flowing out to the outside.

도 1은 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템이 적용될 수 있는 습식처리장치의 개략도를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템이 결합 완료된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템의 종단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템의 결합관계를 확대하여 나타낸 종단면도이다. 1 is a schematic view of a wet processing apparatus to which a flexible piping connection system according to the present invention can be applied.
2 is a perspective view showing a state in which the flexible piping connection system according to the present invention is fully engaged.
3 is a longitudinal sectional view of a flexible piping connection system according to the present invention.
4 is an enlarged vertical cross-sectional view showing a coupling relationship of the flexible piping connection system according to the present invention.

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above-mentioned problems to be solved can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and the same symbols are used for the same configurations, and additional description therefor will be omitted below.

도 1 내지 도 4를 참조하여 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템을 설명하면 다음과 같다.The flexible piping connection system according to the present invention will now be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG.

도 1은 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템이 적용될 수 있는 습식처리장치이다.1 is a wet processing apparatus to which a flexible piping connection system according to the present invention can be applied.

상기 습식처리장치는 기판이 처리되는 기판처리조(10), 약액저장소(20), 펌프유닛(30), 그리고 연결배관(40)을 포함하여 구성되어 있다.The wet processing apparatus comprises a substrate processing tank 10, a chemical liquid reservoir 20, a pump unit 30, and a connection pipe 40, on which a substrate is to be processed.

상기 연결배관(40)은 상기 펌프유닛(30)과 상기 약액저장소(20)를 연결하면서 상기 약액저장소(20)에 위치하는 약액의 공급통로를 형성하게 된다.The connection pipe 40 connects the pump unit 30 and the chemical solution reservoir 20 to form a chemical solution supply passage located in the chemical solution reservoir 20.

상기 연결배관(40)을 구성하는 파이프는 연성재질를 가지는 플렉시블 파이프를 포함할 수 있으며, 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템은 상기 습식처리장치가 상기 연결배관(40)에 적용될 수 있다.The pipe constituting the connection pipe 40 may include a flexible pipe having a soft material. In the flexible pipe connection system according to the present invention, the wet processing device may be applied to the connection pipe 40.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시 예에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템은 제 1 배관(50), 인서트 배관(70), 플렉시블 배관(60), 그리고 클램프(80)를 포함한다.2 to 4, the flexible pipe connection system according to the present embodiment includes a first pipe 50, an insert pipe 70, a flexible pipe 60, and a clamp 80.

상기 제 1 배관(50)과 상기 제 1 인서트부(71)의 결합은 접착제를 이용한 본딩 또는 열융착으로 이루어 질 수 있다.The first pipe 50 and the first insert part 71 may be joined by bonding using an adhesive or by thermal fusion.

상기 인서트 배관(70)과 연결되지 않는 제 1 배관(50)의 일단부는 수지류 배관과 연결하여 본 고안에 따른 플렉시블 배관 연결 시스템이 장착되는 장치에 구성되는 탱크와 연결될 수 있으며, 상기 제 1 배관(50)의 일단부와 상기 탱크의 연결은 용접이나 본딩으로 이루어질 수 있다.One end of the first pipe 50 not connected to the insert pipe 70 may be connected to a reservoir pipe and may be connected to a tank constructed in a device in which the flexible pipe connection system according to the present invention is mounted, The connection between the one end of the tank 50 and the tank may be made by welding or bonding.

상기 인서트 배관(70)의 일단은 상기 제 1 배관(50)의 내부에 배치되고, 타단은 상기 플렉시블 배관(60)의 내부에 배치되되, 상기 플렉시블 배관(60)의 내측면 및 상기 제 1 배관(50)의 내측면과 결합된다.One end of the insert pipe 70 is disposed inside the first pipe 50 and the other end is disposed inside the flexible pipe 60. The other end of the insert pipe 70 is connected to the inner surface of the flexible pipe 60, (50).

구체적으로, 상기 인서트 배관(70)은 상기 제 1 배관(50)과 연결되는 제 1 인서트부(71)와, 상기 플렉시블 배관(60)과 결합되는 제 2 인서트부(73)를 포함한다.Specifically, the insert pipe 70 includes a first insert part 71 connected to the first pipe 50 and a second insert part 73 coupled to the flexible pipe 60.

상기 제 1 인서트부(71)의 외경은 상기 제 2 인서트부(73)의 외경보다 크게 형성되며, 이에 따라 상기 제 1 인서트부(71)와 상기 제 2 인서트부(73)는 단차지게 형성되어 있다.The outer diameter of the first insert part 71 is formed to be larger than the outer diameter of the second insert part 73 so that the first insert part 71 and the second insert part 73 are stepped have.

본 고안은 이에 한정되지 아니하며, 상기 제 1 배관(50)의 내측에는 상기 인서트 배관(70)과의 연결을 위한 나사산이 형성될 수 있다.The present invention is not limited to this, and a thread for connection with the insert pipe 70 may be formed inside the first pipe 50.

또한, 상기 제 1 인서트부(71)의 외측은 상기 제 1 배관(50)과의 연결을 위한 나사산이 형성될 수 있다.In addition, a thread for connection to the first pipe 50 may be formed on the outer side of the first insert part 71.

이에 따라, 상기 제 1 배관(50)의 내측에 형성된 나사산과, 상기 제 1 인서트부(71)의 외측에 형성된 나사산이 맞물이면서 연결됨으로써 상기 제 1 배관(50)과 상기 제 1 인서트부(71)는 결합될 수 있다.The first piping 50 and the first insert part 71 are connected to each other by a screw thread formed on the inside of the first piping 50 and a thread formed on the outside of the first insert part 71, ) Can be combined.

상기 제 1 배관(50)과 상기 제 1 인서트부(71)의 결합에 있어, 별도의 실링장치를 부가하여 연결될 수 있으며, 이에 따라 상기 제 1 배관(50)과 상기 제 1 인서트부(71)를 흐르는 유체의 누출을 방지할 수 있다. The first pipe 50 and the first insert part 71 may be connected to each other by a separate sealing device so that the first pipe 50 and the first insert part 71 are connected to each other, It is possible to prevent the leakage of the fluid flowing through the fluid passage.

상기 플렉시블 배관(60)과 결합되는 상기 제 2 인서트부(73)의 외측에는 상기 플렉시블 배관(60)이 끼워져 결합될 수 있도록 하는 돌출부(70a)가 형성되어 있다.A protrusion 70a is formed on the outer side of the second insert part 73 coupled with the flexible pipe 60 so that the flexible pipe 60 can be inserted and coupled.

상기 제 2 인서트부(73)에 형성된 돌출부(70a)는 상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)가 결합되는 면적, 상기 상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)에 흐르는 유체의 속도 및 압력에 따라 갯수와 크기가 자유롭게 변경하여 설계되는 것이 바람직하다.The projecting portion 70a formed on the second insert portion 73 is formed to have an area where the flexible pipe 60 and the second insert portion 73 are coupled to each other and an area where the flexible pipe 60 and the second insert portion 73 It is desirable that the number and size of the fluid are designed to be freely changed according to the velocity and pressure of the fluid flowing in the fluid.

상기 인서트 배관(70)은 PVC, PE, 또는 PP와 같은 수지류의 소재를 사용하여 제작된다.The insert pipe 70 is made of a resin material such as PVC, PE, or PP.

이에 따라, 상기 인서트 배관(70)은 화학 약품을 다루는 장비에 적용될 수 있고, 상기 인서트 배관(70)이 화학 약품에 노출이 되어도 부식이 되는 확률이 낮아지게 된다. Accordingly, the insert piping 70 can be applied to equipment for handling chemicals, and the probability that the insert piping 70 is corroded even when it is exposed to chemicals is lowered.

상기 플렉시블 배관(60)은 상기 제 1 배관(50)과 이웃하게 배치됨과 동시에, 상기 플렉시블 배관(60)의 내측면은 상기 인서트 배관(70)에 포함되는 제 2 인서트부(73)의 외측면과 결합된다. The flexible pipe 60 is disposed adjacent to the first pipe 50 and the inner surface of the flexible pipe 60 is connected to the outer surface of the second insert part 73 included in the insert pipe 70. [ Lt; / RTI >

이때, 상기 제 2 인서트부(73)의 외경은 상기 플렉시블 배관(60)의 내경보다 5%~20% 크게 형성되어, 상기 플렉시블 배관(60)이 가지고 있는 고유의 탄성력을 이용하여 상기 제 2 인서트부(73)의 외측면을 긴밀하게 감싸면서 상기 제 2 인서트부(73)와 연결될 수 있다.At this time, the outer diameter of the second insert part 73 is formed to be 5% to 20% larger than the inner diameter of the flexible pipe 60, and the elasticity of the second insert part 73, Can be connected to the second insert part (73) while tightly covering the outer surface of the first insert part (73).

상기 플렉시블 배관(60) 중 상기 제 2 인서트부(73)와 결합되는 일단의 영역은 확대되어 형성되되, 내측에는 제 2 인서트부(73)에 형성된 돌출부(70a)와 체결되는 체결부(60a)가 형성된다.The first portion of the flexible pipe 60 to be coupled with the second insert portion 73 is enlarged and has a fastening portion 60a which is fastened to the protrusion 70a formed on the second insert portion 73, .

상기 체결부(60a)는 상기 돌출부(70a)와 결합될 수 있도록 갯수와 크기가 상기 돌출부(70a)와 대응되도록 설계되는 것이 바람직하다.The fastening portion 60a may be designed so that the number and size of the fastening portions 60a are matched with the projecting portions 70a so as to be engaged with the projecting portions 70a.

상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)에 서로 대응되는 돌출부(70a)와 체결부(60a)를 형성함으로써, 상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)의 결합은 보다 견고하게 이루어질 수 있다.The flexible pipe 60 and the second insert portion 73 are formed with the protrusions 70a and the fastening portions 60a that correspond to each other and the joints of the flexible pipe 60 and the second insert portions 73 Can be made more robust.

이에 따라, 상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)를 경유하는 유체의 누출을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 유체에 의해 상기 플렉시블 배관(60)에 내압이 발생할 경우 상기 플렉시블 배관(60)과 상기 제 2 인서트부(73)의 이격 현상을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent leakage of the fluid passing through the flexible pipe 60 and the second insert part 73, as well as to prevent leakage of the fluid through the flexible pipe 60, It is possible to prevent the second insert portion (73) from being separated from the second insert portion (60).

결과적으로, 상기 제 1 인서트부(71)의 외측면에는 상기 제 1 배관(50)이 배치되고, 상기 제 2 인서트부(73)의 외측면에는 상기 플렉시블 배관(60)이 배치된다.As a result, the first pipe 50 is disposed on the outer surface of the first insert part 71, and the flexible pipe 60 is disposed on the outer surface of the second insert part 73.

도 3의 A에서 도시된 바와 같이, 상기 제 1 인서트부(71)와 상기 제 2 인서트부(73)의 단차에 의해 형성되는 경계면상에서 상기 제 1 배관(50)의 일단, 상기 플렉시블 배관(60)의 일단 및 상기 클램프(80)의 일단은 동일선상에 배치된다.As shown in FIG. 3 A, one end of the first pipe 50 and one end of the flexible pipe 60 (60) are formed on an interface formed by a step between the first insert part 71 and the second insert part 73, ) And one end of the clamp 80 are arranged on the same line.

동일선상에 배치되는 상기 제 1 배관(50)의 일단, 상기 플렉시블 배관(60)의 일단 및 상기 클램프(80)의 일단은 본딩 또는 열융착에 의하여 결합될 수 있다.One end of the first pipe 50, one end of the flexible pipe 60, and one end of the clamp 80, which are arranged on the same line, can be coupled by bonding or heat fusion.

또한, 상기 플렉시블 배관(60)은 연성 재질로 구성됨으로써 상기 플렉시블 배관(60)이 가지고 있는 고유의 탄성력과 유연성으로 외부에서 가해지는 충격을 완화할 수 있으므로 충격에 의한 파손의 확률이 낮아진다. Since the flexible pipe 60 is made of a soft material, the elastic force and flexibility inherent to the flexible pipe 60 can mitigate the impact externally applied thereto, so that the probability of breakage due to the impact is lowered.

상기 클램프(80)는 상기 플렉시블 배관(60)의 일단부 외측에 배치되되, 상기 플렉시블 배관(60)의 외측면 및 상기 제 1 배관과 결합된다. The clamp 80 is disposed outside one end of the flexible pipe 60 and is coupled to the outer surface of the flexible pipe 60 and the first pipe.

상기 클램프(80)의 내경은 상기 플렉시블 배관(60)의 외경보다 같거나 작게 형성될 수 있다.The inner diameter of the clamp 80 may be equal to or smaller than the outer diameter of the flexible pipe 60.

이에 따라, 상기 플렉시블 배관(60)에 상기 유체에 의한 내압이 발생할 경우 상기 인서트 배관(70)과 상기 플렉시블 내경의 접촉 부분에 이격이 발생하는 현상을 방지할 수 있다.Accordingly, when the internal pressure of the fluid is generated in the flexible pipe 60, it is possible to prevent the gap between the insert pipe 70 and the flexible inner diameter from being disturbed.

상기 클램프(80)와 상기 플렉시블 배관(60)은 접착체를 이용한 본딩 또는 열융착에 의하여 결합된다.The clamp 80 and the flexible pipe 60 are joined by bonding or heat fusion using an adhesive.

상기 클램프(80)의 내측면에는 상기 클램프(80)와 상기 플렉시블 배관(60)의 결합을 위해 포함되는 상기 접착제가 외부로 유출되는 것을 방지하는 접착제 유출방지 홈(80a)이 형성된다. An adhesive leakage preventing groove 80a is formed on the inner surface of the clamp 80 to prevent the adhesive included in the clamp 80 and the flexible pipe 60 from flowing out to the outside.

상기 클램프(80)는 PVC, PE, 또는 PP와 같은 수지류의 소재를 사용하여 제작된다.The clamp 80 is made of a resin material such as PVC, PE, or PP.

이에 따라, 상기 클램프(80)는 화학 약품을 다루는 장비에 적용될 수 있고, 상기 클램프(80)가 화학 약품에 노출이 되어도 부식이 되는 확률이 낮아지게 된다. Thus, the clamp 80 can be applied to equipment that treats chemicals, and the probability of corrosion of the clamp 80 when the clamp 80 is exposed to chemicals is low.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 고안의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention as defined in the claims. And such variations are within the scope of the present invention.

10: 기판처리조 20: 약액저장소
30: 펌프유닛 40: 연결배관
50: 제 1 배관 60: 플렉시블 배관
60a: 체결부 70: 인서트 배관
70a: 돌출부 71: 제 1 인서트부
73: 제 2 인서트부 80: 클램프
80a: 접착제 유출방지 홈10: Substrate treatment tank 20:
30: Pump unit 40: Connection piping
50: first pipe 60: flexible pipe
60a: fastening portion 70: insert piping
70a: projection part 71: first insert part
73: second insert part 80: clamp
80a: adhesive leakage preventing groove

Claims (8)

기판이 처리되는 기판처리조;
약액저장소;
펌프유닛; 및
상기 펌프유닛과 연결되면서 상기 약액저장소에 위치하는 약액의 공급통로를 형성하는 플렉시블 배관 연결 시스템;을 포함하며,
상기 플렉시블 배관 연결 시스템은,
제 1 배관;
상기 제 1 배관과 이웃하게 배치되는 플렉시블 배관;
일단은 상기 제 1 배관의 내부에 배치되고, 타단은 상기 플렉시블 배관의 내부에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 내측면 및 상기 제 1 배관의 내측면과 결합되는 인서트 배관; 및
상기 플렉시블 배관의 일단부 외측에 배치되되, 상기 플렉시블 배관의 외측면 및 상기 제 1 배관과 결합되는 클램프;를 포함하고,
상기 플렉시블 배관과 결합되는 상기 인서트 배관 타단의 외측에는 상기 플렉시블 배관이 끼워져 결합되도록 하는 돌출부가 형성되며,
상기 플렉시블 배관 중 상기 인서트 배관과 결합되는 일단의 영역은 확대되어 형성되되, 내측에는 상기 돌출부와 체결되는 체결부가 형성되며,
상기 클램프의 내경은 상기 플렉시블 배관의 외경보다 같거나 작게 형성되고,
상기 인서트 배관은 상기 제 1 배관과 연결되는 제 1 인서트부와, 상기 플렉시블 배관과 결합되는 제 2 인서트부를 포함하며, 상기 제 1 인서트부와 상기 제 2 인서트부는 단차지게 형성되고, 상기 제 1 인서트부의 외경은 상기 제 2 인서트부의 외경보다 크게 형성되며,
상기 제 1 인서트부의 외측면에는 상기 제 1 배관이 배치되고, 상기 제 2 인서트부의 외측면에는 상기 플렉시블 배관이 배치되며, 상기 제 1 인서트부와 상기 제 2 인서트부의 경계면상에서 상기 제 1 배관의 일단, 상기 플렉시블 배관의 일단 및 상기 클램프의 일단이 서로 결합되고,
상기 클램프, 상기 플렉시블 배관 및 상기 인서트 배관은 본딩 또는 열융착에 의하여 결합되며,
상기 클램프의 내측면에는 상기 클램프와 상기 플렉시블 배관의 결합을 위해 포함되는 접착제가 외부로 유출되는 것을 방지하는 접착제 유출방지 홈이 형성되고,
상기 돌출부는 상기 제 2 인서트부에 형성되며,
상기 돌출부의 개수와 크기는 상기 플렉시블 배관과 상기 제 2 인서트부가 결합되는 면적, 상기 플렉시블 배관과 상기 제2 인서트부에 흐르는 상기 약액의 속도 및 압력에 의하여 변화하는 것을 특징으로 하는 습식처리장치.A substrate processing tank for processing the substrate;
Chemical solution storage;
A pump unit; And
And a flexible piping connection system connected to the pump unit to form a supply passage for the chemical solution located in the chemical solution reservoir,
The flexible pipe connection system includes:
A first pipe;
A flexible pipe disposed adjacent to the first pipe;
An insert pipe disposed at one end inside the first pipe and at the other end inside the flexible pipe, the insert pipe being coupled to an inner surface of the flexible pipe and an inner surface of the first pipe; And
And a clamp disposed outside the one end of the flexible pipe and coupled to the outer surface of the flexible pipe and the first pipe,
A protrusion is formed on the outer side of the other end of the insert pipe to be coupled to the flexible pipe to allow the flexible pipe to be inserted thereinto,
A flexible pipe having a first end connected to the insert pipe and a second end connected to the insert pipe,
The inner diameter of the clamp is formed to be equal to or smaller than the outer diameter of the flexible pipe,
Wherein the insert pipe includes a first insert connected to the first pipe and a second insert coupled to the flexible pipe, wherein the first insert and the second insert are stepped, The outer diameter of the portion is formed to be larger than the outer diameter of the second insert portion,
Wherein the flexible pipe is disposed on an outer surface of the second insert part and the flexible pipe is disposed on an outer surface of the first insert part and a first end of the first pipe on an interface between the first insert part and the second insert part, , One end of the flexible pipe and one end of the clamp are coupled to each other,
Wherein the clamp, the flexible pipe, and the insert pipe are joined by bonding or heat fusion,
An adhesive leakage preventing groove is formed on an inner surface of the clamp to prevent an adhesive included for coupling the clamp and the flexible pipe from flowing out to the outside,
The protrusion is formed in the second insert part,
Wherein the number and size of the protrusions vary depending on an area where the flexible tube and the second insert part are combined and a speed and a pressure of the chemical solution flowing through the flexible tube and the second insert part. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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