KR200484358Y1 - 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛 Download PDF

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KR200484358Y1 KR2020170002292U KR20170002292U KR200484358Y1 KR 200484358 Y1 KR200484358 Y1 KR 200484358Y1 KR 2020170002292 U KR2020170002292 U KR 2020170002292U KR 20170002292 U KR20170002292 U KR 20170002292U KR 200484358 Y1 KR200484358 Y1 KR 200484358Y1
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Abstract

반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛이 개시된다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 메인 필터; 상기 메인 필터의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 부가 필터; 및 상기 메인 필터 및 상기 부가 필터가 삽입되는 케이스;를 포함하고, 삼각뿔 형상인 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근에는 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스가 와류를 일으키도록 하는 와류 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에 의하면, 내구성이 강하여 잘 깨지지 않고, 케이스에서 분리하기가 매우 간편하면서도 세척이 쉽고 편리한 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛{Scrubber packing waste gas filtering unit of semiconductor and display facilities}
본 고안은 반도체 및 디스플레이 설비에서 스크러버의 충진물에 배기가스와의 접촉면적을 넓힘으로써, 상기 배기가스를 세정하는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이의 제조공정에 있어서 각종 파우더나 불산이 함유된 배기가스가 발생한다.
이러한 배기가스를 정화시키지 않고 대기로 그대로 방출시키면 환경오염의 문제로 이어지며, 이러한 배기가스에는 인체에 악영향을 끼치는 독성 가스, 또는 미세먼지가 다량 함유되어 있어 2차적으로 사람에게 그 피해가 발생한다.
그래서 이러한 배기가스를 정화없이 배출하지 못하도록 하며, 이러한 배기가스를 정화시키기 위해 포집하는 장치가 바로 스크러버이다.
스크러버의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
아래 제시된 특허문헌들을 포함한 종래의 스크러버를 살펴보면, 스크러버에 포집되는 배기가스의 유해물질을 정화시키기 위한 충진물이 적용된다.
여기서, 충진물을 장기간 사용하게 되면, 그 표면에 끼인 파우더가 점차 뭉쳐 충진물의 재역할이 불가능한 상태로 되거나, 그 일부가 깨지는 문제점이 발생하였다.
또한, 이러한 충진물을 재사용하기 위해 주기적으로 세척이 필요하였으나, 표면적을 넓히기 위한 복잡한 구조로 인해 깨끗하게 세척하는 작업이 매우 어려웠으며, 세척 대신 교체하려 해도 그 단가가 매우 비싸서 부담이 되는 문제점이 있었다.
공개실용신안 제 20-2016-0004027호, 공개 일자: 2016.11.23., 발명의 명칭: 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치 등록특허 제 10-0987462호, 등록일자: 2010.10.06., 발명의 명칭: 메쉬필터를 사용하는 스크러버 및 이를 이용한 반도체 제조장치의 배기 가스 처리장치 등록특허 제 10-1280541호, 등록일자: 2013.06.25., 발명의 명칭: 반도체 제조장치용 부산물 포집 장치
본 고안은 내구성이 강하여 잘 깨지지 않고, 케이스에서 분리하기가 매우 간편하면서도 세척이 쉽고 편리한 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 메인 필터; 상기 메인 필터의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 부가 필터; 및 상기 메인 필터 및 상기 부가 필터가 삽입되는 케이스;를 포함하고, 삼각뿔 형상인 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근에는 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스가 와류를 일으키도록 하는 와류 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 메인 필터; 상기 메인 필터의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 부가 필터; 및 상기 메인 필터 및 상기 부가 필터가 삽입되는 케이스;를 포함함으로써, 내구성이 강하여 잘 깨지지 않고, 케이스에서 분리하기가 매우 간편하면서도 세척이 쉽고 편리한 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 메인 필터를 위에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 정면에서 바라본 단면도.
도 4는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 위에서 내려다본 도면.
도 5는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 아래에서 내려다본 도면.
도 6은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 도 3의 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에서 복수 개 결합된 메인 필터를 더 삽입한 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 정면에서 바라본 단면도.
도 7은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터를 아래에서 비스듬히 올려다본 도면.
도 8은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터에 배기가스가 유입되는 모습을 정면 아래에서 바라본 도면.
도 9는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 아래에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 10은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 메인 필터에 배기가스가 유입되는 모습을 정면 아래에서 바라본 도면.
도 11은 본 고안의 제 4 실시예에 따른 메인 필터에 세척액이 유입되는 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 12는 본 고안의 제 4 실시예에 따른 도 11의 A에 대한 확대도.
도 13은 본 고안의 제 4 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 아래에서 비스듬히 내려다본 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에 대하여 설명한다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 메인 필터를 위에서 비스듬히 내려다본 도면이고, 도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면이고, 도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 정면에서 바라본 단면도이고, 도 4는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 위에서 내려다본 도면이고, 도 5는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 아래에서 내려다본 도면이고, 도 6은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 도 3의 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에서 복수 개 결합된 메인 필터를 더 삽입한 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛을 정면에서 바라본 단면도이다.
도 1 내지 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛(100)은 메인 필터(110)와, 부가 필터(120)와, 케이스(130)를 포함한다.
상기 메인 필터(110)는 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 것이다.
이러한 상기 메인 필터(110)는 그 표면에 상기 배기가스 내의 파우더가 들러붙을 수 있는 직조체(111)로 형성되어 있고, 상기 직조체(111)는 도 1에 도시된 바와 같이 삼각 뿔의 그물망 형상을 이룬다.
상기와 같이 형성되면, 종래의 내부 구조가 복잡하던 필터에 대비하여, 상기 메인 필터(110)는 그 내부 구조 없이 삼각 뿔 형상의 표면에만 상기 파우더가 들러붙을 수 있는 상기 직조체(111)로 이루어져 있으므로, 세척이 매우 용이하다는 장점이 있다.
또한, 상기 직조체(111)는 고압의 가스에 충돌되더라도 잘 끊어지지 않는 내구성이 높은 폴리에틸렌(PE) 재질로 형성될 수 있다.
상기 부가 필터(120)는 상기 메인 필터(110)의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 것이다.
이러한 상기 부가 필터(120)는 상기 케이스(130) 내에서 상기 메인 필터(110)의 상·하부에 각각 설치되고, 그 표면이 상기 파우더를 흡착하는 다공성의 폴리우레탄 발포 필터로 형성된다.
자세히, 상기 부가 필터(120)는 상기 메인 필터(110)에 비해 가격이 저렴하고 착탈이 용이하나, 다공성 형상으로, 세척이 어려워 일회용으로 쓰이게 된다.
상기 케이스(130)는 상기 메인 필터(110) 및 상기 부가 필터(120)가 삽입되는 틀로, 그 내부는 상기 부가 필터(120) 및 상기 메인 필터(110)가 삽입될 수 있도록 비어있으며, 상기 케이스(130) 내의 상기 부가 필터(120) 및 상기 메인 필터(110)에 상기 배기가스가 유입될 수 있도록 사방이 외부와 관통되어 있다. 또한, 상기 케이스(130)의 전면부(131) 가장자리에서는 상기 전면부(131) 내측에 배치된 상기 부가 필터(120)가 임의로 방출되지 않도록 상기 부가 필터(120)의 가장자리가 덮여지도록 형성된다.
도 5를 살펴보면, 상기 케이스(130)의 후면부를 나타낸 도면으로, 상기 케이스(130)의 후면부에서 상기 배기가스 내의 상기 파우더가 걸러지고 남은 상기 배기가스가 외부로 방출되어, 상기 케이스(130)의 후면부에 배치된 상기 부가 필터(120)가 외부로 임의 방출되지 않도록 막아주는 방지틀(132)이 형성되어 있다.
상기와 같이 형성됨으로써, 상기 케이스(130) 내에 상기 케이스(130) 내의 상기 메인 필터(110) 및 상기 부가 필터(120)를 안전하게 가둘 수 있다.
이러한 상기 케이스(130)는 예를 들어, 투명 피브이씨(PVC), 아크릴 또는 폴리카보네이트 중 하나 이상의 재질로 형성될 수 있다.
상기와 같이 형성되면, 우선 상기 케이스(130) 내측에 상기 부가 필터(120)를 깔고, 그 위에 상기 메인 필터(110)를 넣는다. 그 다음, 상기 메인 필터(110)위에 상기 부가 필터(120)를 더 깔면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 케이스(130) 내에서 상기 부가 필터(120) 사이에 상기 메인 필터(110)가 끼워진 것처럼 형성될 수 있다.
여기서, 상기 메인 필터(110)의 꼭짓점 부근(113)이 상기 케이스(130)의 후면부를 향하게 배치한다. 그러면 상기 배기가스가 상기 메인 필터(110)에 도달할 때, 상기 메인 필터(110)의 넓게 개방된 개방부(112)에 먼저 도달하면서, 점차 상기 메인 필터(110)의 상기 꼭짓점 부근(113)을 지나게 되고 이러한 과정에서 상기 배기가스의 상기 파우더가 상기 직조체(111)에 들러붙게 된다.
또한, 상기 케이스(130) 내에서 상기 메인 필터(110)가 낱개로 다수 개 배치되어있는 것이 아닌, 도 2에 도시된 것처럼 상기 메인 필터(110)가 복수 개가 연결되어 하나의 판으로 형성됨으로써, 상기 케이스(130) 내에서 분리하기가 매우 간편하다.
또한, 상기 메인 필터(110)의 상기 직조체(111)에는 상기 파우더가 유입되는 방향인 상기 전면부(131)를 향하여 상기 직조체(111)에 들러붙어 쌓이게 된다. 그러므로 상기 케이스(130) 내에서 분리된 상기 메인 필터(110)를 세척시, 상기 직조체(111)에 상기 파우더가 쌓인 반대 방향으로 세척액을 분사시켜서 상기 메인 필터(110)를 세척한다. 자세히,상기 메인 필터(110)의 상기 꼭짓점 부근(113)에서부터 상기 개방부(112)를 향해 세척액을 분사시켜줌으로써, 상기 메인 필터(110)의 상기 파우더가 쉽게 씻겨 내려갈 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 고안의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 7은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터를 아래에서 비스듬히 올려다본 도면이고, 도 8은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터에 배기가스가 유입되는 모습을 정면 아래에서 바라본 도면이고, 도 9는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 아래에서 비스듬히 내려다본 도면이다.
도 7 내지 도 9를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 메인 필터(210)와, 부가 필터와, 케이스를 포함한다.
상기 메인 필터(210)는 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스(10) 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 것으로, 그 표면에 상기 배기가스(10) 내의 파우더가 들러붙을 수 있는 직조체(211)로 형성되어 있다.
이러한 삼각뿔 형상인 상기 메인 필터(210)의 꼭짓점 부근(213)에는 상기 메인 필터(210)의 꼭짓점 부근(213)을 향해 들어오는 상기 배기가스(10)가 와류를 일으키도록 하는 와류 부재(214)가 형성되어 있다.
상기 와류 부재(214)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 메인 필터(210)의 꼭짓점 부근(213)에서 움푹 파인 곡면형으로 형성된다. 그러면, 상기 꼭짓점 부근(213)을 향해 유동되는 상기 배기가스(10)가 상기 와류 부재(214)의 움푹 파인 곡면을 만나 그 곡면의 기울기를 따라 상기 배기가스(10)가 와류된다.
여기서, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 배기가스(10)가 와류되면서 재차 상기 메인 필터(210)를 향해 유동될 수 있고, 이로 인해 상기 메인 필터(210)가 상기 배기가스(10) 내의 상기 파우더를 더 포집할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 와류 부재(214)는 도 8에 도시된 바와 같이, 삼각뿔의 형상으로 형성되어 있으므로, 상기 와류 부재(214)의 뾰족한 꼭짓점 부근을 향해 세척액이 주입되더라도, 상기 꼭짓점 부근에 평평한 면이 생성되어 있지 않으므로 상기 세척액이 튀겨나가지 않고 그 빗변을 따라 상기 메인 필터(210)의 상기 직조체(211)로 유동될 수 있다.
상기 부가 필터는 상기 메인 필터(210)의 전·후면에서 상기 배기가스(10)가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 것이다.
상기 케이스는 상기 메인 필터(210) 및 상기 부가 필터가 삽입되는 틀로 그 내부에 상기 부가 필터와 상기 메인 필터(210)가 삽입된다.
상기와 같이 형성되면, 우선 상기 케이스 내측에 상기 부가 필터를 깔고, 그 위에 상기 메인 필터(210)를 넣는다. 그다음 상기 메인 필터(210)위에 상기 부가 필터를 더 깔면, 상기 케이스 내에서 상기 부가 필터 사이에 상기 메인 필터(210)가 끼워진 것처럼 형성될 수 있다.
도 10은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 메인 필터에 배기가스가 유입되는 모습을 정면 아래에서 바라본 도면이다.
도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 메인 필터(310)와, 부가 필터와, 케이스를 포함한다.
상기 메인 필터(310)는 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스(10) 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 것으로, 그 표면에 상기 배기가스(10) 내의 파우더가 들러붙을 수 있는 직조체(311)로 형성되어 있다.
이러한 삼각뿔 형상인 상기 메인 필터(310)의 꼭짓점 부근에는 상기 메인 필터(310)의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스(10)가 분산되어 와류를 일으키도록 하는 분산 와류 부재(315)가 형성되어 있다.
상기 분산 와류 부재(315)는 상기 메인 필터(310)의 꼭짓점 부근에서 움푹 파인 곡면형의 톱니와 같은 삼각 뿔 형상이 복수 개로 형성된다. 그러면, 상기 꼭짓점 부근을 향해 유동되는 상기 배기가스(10)가 톱니와 같은 상기 분산 와류 부재(315)의 움푹 파인 곡면을 만나 그 곡면의 기울기를 따라 상기 배기가스(10)가 와류된다.
여기서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 배기가스(10)가 분산 및 와류되면서 재차 상기 메인 필터(310)를 향해 유동될 수 있고, 이로 인해 상기 메인 필터(310)가 상기 배기가스(10) 내의 상기 파우더를 더욱 포집할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 분산 와류 부재(315)는 도 10에 도시된 바와 같이, 삼각뿔의 형상으로 형성되어 있으므로, 상기 분산 와류 부재(315)의 뾰족한 꼭짓점 부근을 향해 세척액이 주입되더라도, 상기 꼭짓점 부근에 평평한 면이 생성되어 있지 않으므로 상기 세척액이 튀겨나가지 않고 그 빗변을 따라 상기 메인 필터(310)의 상기 직조체(311) 유동될 수 있다.
상기 부가 필터는 상기 메인 필터(310)의 전·후면에서 상기 배기가스(10)가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 것이다.
상기 케이스는 상기 메인 필터(310) 및 상기 부가 필터가 삽입되는 틀로 그 내부에 상기 부가 필터와 상기 메인 필터(310)가 삽입된다.
상기와 같이 형성되면, 우선 상기 케이스 내측에 상기 부가 필터를 깔고, 그 위에 상기 메인 필터(310)를 넣는다. 그 다음, 상기 메인 필터(310) 위에 상기 부가 필터를 더 깔면, 상기 케이스 내에서 상기 부가 필터 사이에 상기 메인 필터(310)가 끼워진 것처럼 형성될 수 있다.
도 11은 본 고안의 제 4 실시예에 따른 메인 필터에 세척액이 유입되는 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면이고, 도 12는 본 고안의 제 4 실시예에 따른 도 11의 A에 대한 확대도이고, 도 13은 본 고안의 제 4 실시예에 따른 메인 필터가 복수 개 결합된 모습을 아래에서 비스듬히 내려다본 도면이다.
도 11 내지 도 13을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 메인 필터(410)와, 부가 필터와, 케이스를 포함한다.
상기 메인 필터(410)는 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 것으로, 그 표면에 상기 배기가스 내의 파우더가 들러붙을 수 있는 직조체(411)로 형성되어 있다.
이러한 삼각뿔 형상인 상기 메인 필터(410)의 꼭짓점 부근에는 상기 메인 필터(410)의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스가 와류를 일으키도록 하는 와류 부재(414)가 형성되어 있다.
또한, 상기 메인 필터(410)에는 상기 메인 필터(410)에 쌓인 상기 파우더를 세척하기 위한 세척액(20)을 상기 파우더가 쌓인 반대 방향으로 분사시킬 때, 분사된 상기 세척액(20)을 상기 메인 필터(410)로 재차 튀겨주는 세척 부재(417)가 형성되어 있다.
상기 세척 부재(417)는 도 11에 도시된 바와 같이, 개방부(412)의 모서리 부근에 형성되되 상기 개방부(412)를 향해 들어오는 상기 세척액(20)이 상기 메인 필터(410)로 재차 튀겨질 수 있도록 움푹 파인 곡면형으로 형성된다. 그러면, 상기 개방부(412) 부근을 향해 유동되는 상기 세척액(20)이 상기 세척 부재(417)의 움푹 파인 곡면을 만나 그 곡면의 기울기를 따라 방향이 틀어지면서 상기 메인 필터(410)로 재차 튀겨지게 된다.
그러면, 상기 세척액(20)이 상기 메인 필터(410)로 재차 튀겨져 상기 메인 필터(410)의 상기 직조체(411)에 부딪치게 되어 상기 직조체(411)의 상기 파우더가 떨어져 나가도록 세척할 수 있다. 다시 말해, 상기 세척액(20)이 상기 메인 필터(410)로 재차 튀겨지면서 재사용됨으로써 상기 메인 필터(410)의 세척이 잘 이루어지는 효과가 있다.
또한, 상기 세척 부재(417)는 도 12에 도시된 바와 같이, 삼각뿔의 형상으로 형성되어 있으므로, 상기 세척 부재(417)의 뾰족한 꼭짓점 부근을 향해 상기 배기가스가 주입되더라도, 상기 꼭짓점 부근에 평평한 면이 생성되어 있지 않으므로 상기 배기가스가 튀겨나가지 않고 그 빗변을 따라 상기 메인 필터(410)의 상기 직조체(411)로 유동될 수 있다.
상기 부가 필터는 상기 메인 필터(410)의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 것이다.
상기 케이스는 상기 메인 필터(410) 및 상기 부가 필터가 삽입되는 틀로 그 내부에 상기 부가 필터와 상기 메인 필터(410)가 삽입된다.
상기와 같이 형성되면, 우선 상기 케이스 내측에 상기 부가 필터를 깔고, 그 위에 상기 메인 필터(410)를 넣는다. 그다음, 상기 메인 필터(410)위에 상기 부가 필터를 더 깔면, 상기 케이스 내에서 상기 부가 필터 사이에 상기 메인 필터(410)가 끼워진 것처럼 형성될 수 있다.
상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛은 내구성이 강하여 잘 깨지지 않고, 케이스에서 분리하기가 매우 간편하면서도 세척이 쉽고 편리하므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛
110 : 메인 필터
120 : 부가 필터
130 : 케이스

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 메인 필터;
    상기 메인 필터의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 부가 필터; 및
    상기 메인 필터 및 상기 부가 필터가 삽입되는 케이스;를 포함하고,
    삼각뿔 형상인 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근에는
    상기 메인 필터의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스가 와류를 일으키도록 하는 와류 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛.
  5. 삼각 뿔의 그물망 형상으로 형성되어 배기가스 내의 파우더가 그 표면에 들러붙는 메인 필터;
    상기 메인 필터의 전·후면에서 상기 배기가스가 필터링 되도록 발포층을 형성하는 부가 필터; 및
    상기 메인 필터 및 상기 부가 필터가 삽입되는 케이스;를 포함하고,
    삼각뿔 형상인 상기 메인 필터의 꼭짓점 부근에는
    상기 메인 필터의 꼭짓점 부근을 향해 들어오는 상기 배기가스가 분산되어 와류를 일으키도록 하는 분산 와류 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 메인 필터에는
    상기 메인 필터에 쌓인 상기 파우더를 세척하기 위한 세척액을 상기 파우더가 쌓인 반대 방향으로 분사시킬 때, 분사된 상기 세척액을 상기 메인 필터로 재차 튀겨주는 세척 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 설비의 스크러버 충진물 배기가스 필터링 유닛.
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