KR20160004027U - 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치 - Google Patents

스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치 Download PDF

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KR20160004027U
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제만호
박영택
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(주)피에스엘
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Abstract

스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치가 개시된다.
개시되는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치는 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터가 잠기는 불림 세척수가 수용되어, 상기 불림 세척수에 상기 스크러버 트리 팩 필터가 잠겨 불려지면서 세척되는 불림 세척 부재; 상기 불림 세척 부재에서 불림 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터를 브러싱(brushing)하여 세척하는 브러쉬 세척 부재; 상기 브러쉬 세척 부재에서 브러싱 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 고압 세척수를 분사하여 상기 스크러버 트리 팩 필터를 세척하는 고압 세척 부재; 및 상기 고압 세척 부재에서 고압 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 에어를 불어주어 상기 스크러버 트리 팩 필터 표면의 이물질과 수분을 제거하는 에어 블로워 부재;를 포함한다.
개시되는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치에 의하면, 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치가 불림 세척 부재, 브러쉬 세척 부재, 고압 세척 부재 및 에어 블로워 부재를 포함함에 따라, 스크러버 트리 팩 필터를 전용으로 간편하고 신속하게 대량으로 세척할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치{Scrubber Tri pack filter cleaning apparatus}
본 고안은 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치에 관한 것이다.
스크러브(scrubber)는 반도체, TFT, OLED 등의 제조 라인 또는 화학 물질을 생산 및 취급하는 라인에 설치되어, 그러한 제조 라인에서 발생되는 산(acid) 또는 알칼리의 흄(fume)과 냄새를 제거하여 배출해주는 것이다.
이러한 스크러버에는 흄과 냄새 제거를 위한 트리 팩 필터(tri pack filter)가 설치되는데, 이러한 트리 팩 필터에 대하여는 필터링 성능 유지를 위하여 주기적인 세정을 통해 표면에 낀 슬러지 제거가 요구된다.
그러나, 종래에는, 스크러버 트리 팩 필터를 세정할만한 장치가 제대로 구비되지 못하여, 작업자의 수작업으로 물을 이용하여 일일이 스크러버 트리 팩 필터를 세척해주어야 하였고, 그에 따라 세정에 많은 시간과 인력이 투입되어야 하였고, 그러한 세정 시 발생되는 인체에 유해한 흄으로 인해 작업자에게 위험성이 있는 단점이 있었다.
등록특허 제 10-0118207호, 등록일자: 1997.07.14., 발명의 명칭: 반도체세정장치및웨이퍼카세트 등록특허 제 10-0423771호, 등록일자: 2004.03.09., 발명의 명칭: 반도체웨이퍼의세정,에칭,건조장치및그사용방법 공개특허 제 10-2002-0010955호, 등록일자: 2002.02.07., 발명의 명칭: 반도체소자의 세정방법과 장치
본 고안은 스크러버 트리 팩 필터를 전용으로 세척할 수 있는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치는 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터가 잠기는 불림 세척수가 수용되어, 상기 불림 세척수에 상기 스크러버 트리 팩 필터가 잠겨 불려지면서 세척되는 불림 세척 부재; 상기 불림 세척 부재에서 불림 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터를 브러싱(brushing)하여 세척하는 브러쉬 세척 부재; 상기 브러쉬 세척 부재에서 브러싱 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 고압 세척수를 분사하여 상기 스크러버 트리 팩 필터를 세척하는 고압 세척 부재; 및 상기 고압 세척 부재에서 고압 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 에어를 불어주어 상기 스크러버 트리 팩 필터 표면의 이물질과 수분을 제거하는 에어 블로워 부재;를 포함한다.
본 고안의 일 측면에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치에 의하면, 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치가 불림 세척 부재, 브러쉬 세척 부재, 고압 세척 부재 및 에어 블로워 부재를 포함함에 따라, 스크러버 트리 팩 필터를 전용으로 간편하고 신속하게 대량으로 세척할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치의 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터를 보이는 사진.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 보이는 사시도.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 불림 세척 부재를 보이는 도면.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 불림 세척 부재를 보이는 도면.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 브러쉬 세척 부재를 보이는 도면.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 고압 세척 부재를 보이는 도면.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 에어 블로워 부재를 보이는 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치의 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터를 보이는 사진이고, 도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 보이는 사시도이고, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 불림 세척 부재를 보이는 도면이고, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 불림 세척 부재를 보이는 도면이고, 도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 브러쉬 세척 부재를 보이는 도면이고, 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 고압 세척 부재를 보이는 도면이고, 도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치를 구성하는 에어 블로워 부재를 보이는 도면이다.
도 1 내지 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)는 불림 세척 부재(120)와, 브러쉬 세척 부재(130)와, 고압 세척 부재(140)와, 에어 블로워 부재(150)를 포함한다.
도면 번호 110은 상기 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)의 각 구성 요소가 수용되는 케이스이다.
상기 불림 세척 부재(120)는 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터가 잠기는 불림 세척수가 수용되어, 상기 불림 세척수에 상기 스크러버 트리 팩 필터가 잠겨 불려지면서 세척되는 것이다.
상세히, 상기 불림 세척 부재(120)는 상기 불림 세척수가 수용되는 불림 세척조(121)와, 상기 불림 세척조(121) 바닥부에 설치되어 상기 불림 세척조(121) 내부에 수용된 상기 불림 세척수를 가열시켜 주는 불림 세척 히터(122)와, 상기 불림 세척조(121) 내부의 상기 불림 세척수에 잠겨진 상기 스크러버 트리 팩 필터에 대한 세척이 이루어지도록 상기 불림 세척수 내에 에어 버블(air bubble)을 공급해주는 에어 버블 공급부(123)를 포함한다.
상기 에어 버블 공급부(123)는 에어 버블을 형성하는 공기 펌프 등의 에어 버블 형성 수단(126)과, 상기 에어 버블 형성 수단(126)에서 형성된 에어 버블이 이동되는 이동 배관(124)과, 상기 이동 배관(124)을 통해 이동된 에어 버블이 분배되어 상기 불림 세척조(121) 바닥의 복수 지점에서 상기 불림 세척수 내로 분출되도록 하는 에어 버블 분사 노즐(125)을 포함한다.
상기 불림 세척 히터(122)에 의해 상기 불림 세척수가 50 내지 60℃로 가열된 상태에서, 상기 에어 버블 공급부(123)에서 에어 버블이 공급되면, 상기 에어 버블에 의해 상기 불림 세척수에 담긴 상기 스크러버 트리 팩 필터에 세척될 수 있게 된다.
상기 브러쉬 세척 부재(130)는 상기 불림 세척 부재(120)에서 불림 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터를 브러싱(brushing)하여 세척하는 것이다.
상세히, 상기 브러쉬 세척 부재(130)는 원형 실린더 형상으로 이루어지는 브러쉬 세척 몸체(131)와, 상기 브러쉬 세척 몸체(131)의 표면에서 돌출 형성되어 상기 스크러버 트리 팩 필터에 닿아 세정을 수행하는 브러쉬 솔(132)과, 상기 브러쉬 세척 몸체(131)를 회전시켜 주는 모터 등의 브러쉬 세척 회전 수단(135)을 포함한다.
상기 브러쉬 솔(132)은 상기 브러쉬 세척 몸체(131)의 복수 지점에서 방사상으로 돌출된 형태로 이루어진다.
상기 브러쉬 세척 회전 수단(135)에 의해 상기 브러쉬 세척 몸체(131)가 회전되면서 상기 스크러버 트리 팩 필터가 상기 브러쉬 솔(132)에 의헤 세척될 수 있다.
상기 브러쉬 세척 부재(130)에 의해 상기 스크러버 트리 팩 필터가 세척되면서 상기 고압 세척 부재(140) 쪽으로 이송될 수 있다.
상기 고압 세척 부재(140)는 상기 브러쉬 세척 부재(130)에서 브러싱 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 고압 세척수를 분사하여 상기 스크러버 트리 팩 필터를 세척하는 것이다.
상기 고압 세척 부재(140)는 상기 스크러버 트리 팩 필터를 향해 상기 고압 세척수를 분사하는 고압 세척수 분사 노즐(141)과, 상기 고압 세척수 분사 노즐(141)로 상기 고압 세척수를 공급하여 주는 펌프 등의 고압 세척수 공급 수단(145)과, 상기 고압 세척수에 의해 상기 스크러버 트리 팩 필터가 외부로 임의 이탈되지 않도록 막아주는 메쉬 망(143)과, 상기 고압 세척수에 의한 세척 중에 발생되는 흄을 흡입하는 흄 흡입 노즐(146)과, 상기 흄 흡입 노즐(146)에 부압을 형성하여 상기 흄 흡입 노즐(146)을 통해 흄이 흡입될 수 있도록 하는 진공 펌프 등의 부압 형성 수단(147)을 포함한다.
도면 번호 142는 상기 고압 세척수 분사 노즐(141)과 상기 고압 세척수 공급 수단(145)을 연통시켜 주는 고압 세척수 연통 관이고, 도면 번호 146은 상기 흄 흡입 노즐(146)과 상기 부압 형성 수단(147)을 연통시켜 주는 흄 흡입 연통 관이다.
상기 고압 세척수 공급 수단(145)에서 공급되는 상기 고압 세척수가 상기 고압 세척수 분사 노즐(141)을 향해 분사됨으로써, 상기 스크러버 트리 팩 필터가 고압 세척될 수 있다. 이러한 과정에서, 상기 메쉬 망(143)이 적용됨에 따라 상기 고압 세척수의 강한 압력에 의해 상기 스크러버 트리 팩 필터가 외부로 튀어나가지 않게 되고, 상기 흄 흡입 노즐(146)이 적용됨에 따라 상기 고압 세척수에 의한 세척 중에 발생될 수 있는 인체에 유해한 흄이 확산되지 않고 제거될 수 있게 된다.
상기 에어 블로워 부재(150)는 상기 고압 세척 부재(140)에서 고압 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 에어를 불어주어 상기 스크러버 트리 팩 필터 표면의 이물질과 수분을 제거하는 것이다.
상세히, 상기 에어 블로워 부재(150)는 상기 스크러버 트리 팩 필터를 향해 에어를 분사하는 에어 분사 노즐(151)과, 상기 에어 분사 노즐(151)로 에어를 공급하여 주는 에어 펌프 등의 에어 공급 수단(155)을 포함한다.
도면 번호 152는 상기 에어 분사 노즐(151)과 상기 에어 공급 수단(155)을 연결하여 주는 배관이다.
도면 번호 170은 상기 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)의 각 구성 요소를 제어하기 위한 제어 부재이고, 도면 번호 160은 상기 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)의 각 구성 요소에 의해 세척 완료된 상기 스크러버 트리 팩 필터가 담기는 저장 통이다.
이하에서 상기 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)의 작동에 대하여 간단히 설명한다.
먼저, 상기 스크러버 트리 팩 필터가 상기 불림 세척 부재(120)의 상기 불림 세척조(121)에 잠긴 상태에서 상기 에어 버블 공급부(123)에서 공급되는 에어 버블에 의해 불림 세척된다.
그런 다음, 상기 브러쉬 세척 부재(130)에 의해 브러싱 세척되면서 상기 고압 세척 부재(140)로 이동되어, 상기 고압 세척 부재(140)에서 고압으로 분사되는 상기 고압 세척수에 의해 고압 세척된다.
그 후, 상기 에어 블로워 부재(150)에서 에어에 의해 표면의 이물질과 수분이 제거된 다음, 상기 저장 통(160)에 수용된다.
상기와 같이, 상기 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치(100)가 불림 세척 부재(120), 브러쉬 세척 부재(130), 고압 세척 부재(140) 및 에어 블로워 부재(150)를 포함함에 따라, 스크러버 트리 팩 필터를 전용으로 간편하고 신속하게 대량으로 세척할 수 있게 된다.
상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치에 의하면, 스크러버 트리 팩 필터를 전용으로 세척할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치
120 : 불림 세척 부재 130 : 브러쉬 세척 부재
140 : 고압 세척 부재 150 : 에어 블로워 부재

Claims (5)

  1. 세척 대상체인 스크러버 트리 팩 필터가 잠기는 불림 세척수가 수용되어, 상기 불림 세척수에 상기 스크러버 트리 팩 필터가 잠겨 불려지면서 세척되는 불림 세척 부재;
    상기 불림 세척 부재에서 불림 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터를 브러싱(brushing)하여 세척하는 브러쉬 세척 부재;
    상기 브러쉬 세척 부재에서 브러싱 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 고압 세척수를 분사하여 상기 스크러버 트리 팩 필터를 세척하는 고압 세척 부재; 및
    상기 고압 세척 부재에서 고압 세척된 상기 스크러버 트리 팩 필터에 에어를 불어주어 상기 스크러버 트리 팩 필터 표면의 이물질과 수분을 제거하는 에어 블로워 부재;를 포함하는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 불림 세척 부재는
    상기 불림 세척수가 수용되는 불림 세척조와,
    상기 불림 세척조 내부에 수용된 상기 불림 세척수를 가열시켜 주는 불림 세척 히터와,
    상기 불림 세척조 내부의 상기 불림 세척수에 잠겨진 상기 스크러버 트리 팩 필터에 대한 세척이 이루어지도록 상기 불림 세척수 내에 에어 버블(air bubble)을 공급해주는 에어 버블 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 브러쉬 세척 부재는
    원형 실린더 형상으로 이루어지는 브러쉬 세척 몸체와,
    상기 브러쉬 세척 몸체의 표면에서 돌출 형성되어 상기 스크러버 트리 팩 필터에 닿아 세정을 수행하는 브러쉬 솔과,
    상기 브러쉬 세척 몸체를 회전시켜 주는 브러쉬 세척 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고압 세척 부재는
    상기 스크러버 트리 팩 필터를 향해 상기 고압 세척수를 분사하는 고압 세척수 분사 노즐과,
    상기 고압 세척수 분사 노즐로 상기 고압 세척수를 공급하여 주는 고압 세척수 공급 수단과,
    상기 고압 세척수에 의해 상기 스크러버 트리 팩 필터가 외부로 임의 이탈되지 않도록 막아주는 메쉬 망과,
    상기 고압 세척수에 의한 세척 중에 발생되는 흄을 흡입하는 흄 흡입 노즐과,
    상기 흄 흡입 노즐에 부압을 형성하여 상기 흄 흡입 노즐을 통해 흄이 흡입될 수 있도록 하는 부압 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 블로워 부재는
    상기 스크러버 트리 팩 필터를 향해 에어를 분사하는 에어 분사 노즐과,
    상기 에어 분사 노즐로 에어를 공급하여 주는 에어 공급 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 트리 팩 필터 전용 세정 장치.
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